KR101895273B1

KR101895273B1 - 스토커용 헤더 회동장치

Info

Publication number: KR101895273B1
Application number: KR1020180009404A
Authority: KR
Inventors: 현세환
Original assignee: 현세환
Priority date: 2018-01-25
Filing date: 2018-01-25
Publication date: 2018-09-05

Abstract

본 발명은 헤더를 용이하게 회동할 수 있도록 해 주는 스토커용 헤더 회동장치에 관한 것으로, 본 발명은 본체(102)와; 상기 본체(102)의 정면에 위치되되, 본체(102)의 내부에 설치된 회동구동부의 일측에 설치되어 평면디스플레이의 마스크 기판을 잡아 줌과 아울러 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 꽂는 헤더(104)와; 상기 본체(102)의 내부에 설치되어 헤더(104)를 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동수단(106)을 포함한다.

Description

스토커용 헤더 회동장치{device for header rotating of stocker}

본 발명은 스토커용 헤더 회동장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 헤더를 용이하게 회동할 수 있도록 해 주는 스토커용 헤더 회동장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)가 등장하기 시작하였다.

상기 평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 액정표시장치(LCD, liquid crystal display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP, Plasma Display Panel), 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes) 등이 포함될 수 있다.

상기 평면디스플레이(FPD) 중 하나인 박막트랜지스터(TFT, Thin Film Transistor) 액정표시장치(TFTLCD)는, 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.

여기서, 상기 평면디스플레이(FPD)는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능으로 인하여 빠른 속도로 기존의 음극선관(CRT)을 대체하고 있는데, 현재, 액정표시장치(LCD)는 전자시계를 비롯하여 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.

한편, 상기 액정표시장치(LCD) 또는 유기전계발광다이오드(OLED, Organic Light Emitting Diodes)와 같은 평면디스플레이에서 마스크(Mask) 기판의 역할과 기능은 극히 중요한데, 이는 마스크 기판에 형성되는 다수의 회로소자의 기능에 따라 평면디스플레이의 전체적인 품질이 영향을 받기 때문이다.

그리고, 상기 평면디스플레이의 마스크 기판은 그 특성상 외부로부터 가해지는 충격에 매우 취약한 성질을 가지고 있기 때문에 취급에 있어서 특별한 주의가 요구된다.

따라서, 상기 평면디스플레이를 제조하는 제조공정에서 마스크 기판을 훼손 없이 효율적으로 이송, 보관할 수 있다면, 생산성을 향상시킬 수 있음은 물론 평면디스플레이의 품질도 유지할 수 있을 것이다.

그리고, 각 공정을 수행하는 각 장비들의 마스크 기판 처리 능력 및 처리 시간의 차이에 의해 발생하는 버퍼링(buffering) 문제를 해소하기 위함이다.

그리고, 마스크 기판을 이동시키는 수단으로 스토커가 사용된다. 여기서, 스토커는 레일을 따라 이동하면서 마스크 기판을 카세트로 인입하여 적재하거나, 카세트로부터 마스크 기판을 인출하는 등의 일련의 작업을 수행한다.

한편, 종래의 스토커는 대한민국 공개특허 10-2009-0046890에 개시되어 있는 바와 같이, 카세트 승강을 위해 마스트(mast)와 벨트 구동 방식이 적용되어 있는데, 이러한 벨트 구동 방식은 카세트 승하강 구동 시 기계적 마찰과 진동으로 심하고, 더욱이 다량의 파티클을 발생시키는 요인이 된다.

이로 인해, 비산된 파티클은 카세트 내부에 수용되어 있는 마스크 기판을 오염시키고 결국 제품의 품질을 저하시키게 되는 문제점이 있었다.

상기 문제점을 해결하기 위해, 2013년 12월 06일자 출원번호 제10-2013-0151053호(발명의 명칭 : 스토커 장치)를 살펴보면, 청구범위는 " 카세트(Cassette)의 적재를 위한 선반들 사이를 이동 가능하게 설치되는 스토커 본체; 및 상기 스토커 본체에 승강 가능하도록 연결되어 상기 선반에 카세트를 적재하거나 상기 선반으로부터 상기 카세트를 반출하기 위하여 상기 카세트를 핸들링하는 포크 유닛을 포함하며, 상기 스토커 본체는, 상기 선반들 사이에서 이동하는 스토커 베이스 프레임; 및 상기 스토커 베이스 프레임에 상호 대향되게 마련되는 한 쌍의 수직 프레임부와, 상기 한 쌍의 수직 프레임부와 상기 포크 유닛에 연결되어 접철과 펼침 동작에 의해 상기 포크 유닛을 승강시키는 승강 링크부와, 상기 승강 링크부에 연결되어 상기 승강 링크부가 접철 또는 펼침 동작되도록 구동시키는 접철 구동부를 포함하는 접철식 포크 승강유닛을 포함하며, 상기 승강 링크부는, 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각에 상호 대향되고 회전 가능하게 연결되며, 대칭되게 동작하는 한 쌍의 제1 링크 아암부; 및 일단부가 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부 각각에 상호 대향되고 회전 가능하게 연결되고 타단부가 상기 포크 유닛에 연결되며, 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부와 연동되어 대칭되게 동작하여 상기 포크 유닛을 승강시키는 한 쌍의 제2 링크 아암부를 포함하며, 상기 접철 구동부는 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각의 상단부에 마련되어 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부를 회전시키기 위한 동력을 제공하며, 상기 한 쌍의 수직 프레임부 각각은, 제1 수직 프레임; 및 상기 제1 수직 프레임과 이격 공간을 두고 대향되게 배치되는 제2 수직 프레임을 포함하며, 상기 한 쌍의 제1 링크 아암부 각각은, 일단부가 상기 이격 공간에 배치되며 상기 접철 구동부에 의해 상기 제1 수직 프레임과 상기 제2 수직 프레임 사이에서 회전되는 제1 링크 아암을 포함하며, 상기 한 쌍의 제2 링크 아암부 각각은, 상기 제1 링크 아암을 사이에 두고 상기 제1 링크 아암에 회전 가능하게 연결되는 한 쌍의 제2 링크 아암을 포함하며, 상기 제2 링크 아암의 길이는 상기 제1 링크 아암의 길이보다 작은 것을 특징으로 하는 스토커 장치. " 이다.

그러나, 상기 종래의 스토커 장치는 헤더를 용이하게 회동할 수 있도록 해 주는 스토커용 헤더 회동장치가 없는 문제점이 있었다.

이로 인해, 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 용이하게 탑재할 수 없는 문제점이 있었다.

따라서, 본 발명은 상기한 종래 기술에 따른 제반 문제점을 해결하기 위하여 개량발명된 것으로서, 본 발명의 목적은 헤더를 용이하게 조절할 수 있도록 해 주는 스토커용 헤더 조절장치를 제공하는 데 있다.

그러나 본 발명의 목적은 상기에 언급된 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 스토커용 헤더 회동장치는,

본체(102)와;

상기 본체(102)의 정면에 위치되되, 본체(102)의 내부에 설치된 회동구동부의 일측에 설치되어 평면디스플레이의 마스크 기판을 잡아 줌과 아울러 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 꽂는 헤더(104)와;

상기 본체(102)의 내부에 설치되어 헤더(104)를 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동수단(106)을 포함한다.

이상에서 상술한 바와 같이 본 발명에 따른 스토커용 헤더 회동장치는 헤더를 용이하게 조절해 줌으로써, 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 용이하게 탑재할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명이 적용되는 스토커 시스템을 나타낸 도면,
도 2는 도 1의 스토커 시스템에 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치가 설치된 상태를 나타낸 도면,
도 3 내지 도 6은 도 2의 스토커용 헤더 회동장치의 요부 확대도,
도 7은 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치의 사용 상태를 나타낸 도면이다.

이하, 본 발명에 따른 스토커용 헤더 회동장치의 바람직한 실시 예를 설명한다.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.

도 1은 본 발명이 적용되는 스토커 시스템을 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 스토커 시스템에 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치가 설치된 상태를 나타낸 도면이며, 도 3 내지 도 6은 도 2의 스토커용 헤더 회동장치의 요부 확대도이다.

도 1 내지 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 스토커용 헤더 회동장치(100)는,

본체(102)와;

여기서, 상기 회동수단(106)은,

회동 가능하게 설치된 회동박스(108)와;

상기 회동박스(108)의 내부를 관통하여 회동박스(108)에 설치 고정되는 연결봉(110)과;

상기 연결봉(110)의 일단에 설치 고정되어 회동박스(108)를 1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제1측판(112)과;

상기 제1측판(112)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 연결봉(110)의 일단에 설치 고정되어 회동박스(108)를 1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제2측판(114)과;

상기 제1측판(112)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되는 제1레일(116)과;

상기 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제2측판(114)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되는 제2레일(118)과;

상기 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 설치 고정되는 제3레일(120)과;

상기 제2레일(118)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 설치 고정되는 제4레일(122)과;

상기 제4레일(122)로부터 일정간격을 두고 바닥면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(124)와;

상기 축 구동부(124)로부터 일정간격을 두고 마주보게 바닥면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(126)와;

상기 이탈방지부재(126)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(124)에 연결되어 축 구동부(124)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(128)과;

상기 제3레일(120)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(130)와;

상기 제1슬라이딩부(130)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제4레일(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(132)와;

상기 제1슬라이딩부(130)의 상면 및 제2슬라이딩부(132)의 상면에 설치되는 제1연결판(134)과;

상기 제1연결판(134)의 저면 중앙 일측에 설치되는 제2연결판(136)과;

상기 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 제1레일(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되어 제1측판(112)을 상측 또는 하측으로 회동시키는 제3슬라이딩부(138)와;

상기 제3슬라이딩부(138)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 제2레일(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되어 제2측판(114)을 상측 또는 하측으로 회동시키는 제4슬라이딩부(140)와;

상기 회동박스(108)의 배면 일측에 설치되되, 헤더(104)에 연결되어 헤더(104)를 2차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동구동부(142)를 포함한다.

상기와 같이 구성된 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치(100)의 설치과정 및 사용 상태를 살펴보면 다음과 같다.

여기서, 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치(100)의 설치과정은 설치자에 따라 얼마든지 변경될 수 있다.

먼저, 본체(102)를 설치한 후, 상기 본체(102)의 정면에 평면디스플레이의 마스크 기판을 잡아 줌과 아울러 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 꽂는 헤더(104)를 위치시킨다.

그리고, 상기 본체(102)의 내부에 회동수단(106)을 설치하되, 헤더(104)의 배면 일측에 회동수단(106)의 회동구동부(142)를 연결한다.

상기 본체(102)의 내부에 회동수단(106)의 설치과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 회동박스(108)를 회동 가능하게 설치한 후, 상기 회동박스(108)의 내부를 관통하여 회동박스(108)에 연결봉(110)를 설치 고정한다.

그리고, 상기 연결봉(110)의 일단에 회동박스(108)를 1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제1측판(112)을 설치 고정한 후, 제1측판(112)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 연결봉(110)의 일단에 회동박스(108)1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제2측판(114)을 설치 고정한다.

그리고, 상기 제1측판(112)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 제1레일(116)을 설치한 후, 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제2측판(114)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 제2레일(118)을 설치 고정한다.

그리고, 상기 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 제3레일(120)을 설치 고정한 후, 제2레일(118)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 제4레일(122)을 설치 고정한다.

그리고, 상기 제4레일(122)로부터 일정간격을 두고 바닥면 일측에 축 구동부(124)를 설치 고정한 후, 축 구동부(124)로부터 일정간격을 두고 마주보게 바닥면 일측에 이탈방지부재(126)를 설치 고정한다.

그리고, 제어부(도시는 생략함)에 축 구동부(124)를 전기적으로 연결한다.

그리고, 상기 이탈방지부재(126)의 내부 중앙에 축 구동부(124)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(128)을 위치시킨 후, 제3레일(120)에 전진 또는 후진 가능하게 제1슬라이딩부(130)를 설치한다.

그리고, 상기 제1슬라이딩부(130)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제4레일(122)에 전진 또는 후진 가능하게 제2슬라이딩부(132)를 설치한다.

그리고, 상기 제1슬라이딩부(130)의 상면 및 제2슬라이딩부(132)의 상면에 제1연결판(134)을 설치한 후, 제1연결판(134)의 저면 중앙 일측에 제2연결판(136)을 설치한다.

그리고, 상기 축(128)의 일단을 제2연결판(136)에 연결한다.

그리고, 상기 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 제3슬라이딩부(138)를 설치한 후, 제3슬라이딩부(138)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 제4슬라이딩부(140)를 설치한다.

그리고, 상기 회동박스(108)의 배면 일측에 회동구동부(142)를 설치하되, 헤더(104)의 배면 일측에 헤더(104)를 2차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동구동부(142)를 연결한다.

그리고, 제어부(도시는 생략함)에 회동구동부(142)를 전기적으로 연결한다.

상기와 같이 본 발명의 스토커용 헤더 회동장치(100)의 설치가 완료되고,

평면디스플레이의 마스크 기판(204)이 장착된 헤더(104)를 구비하고 있는 수직지지대(202)가 수평지지대(200)의 상면 끝단부 측으로 이동시키고 난 후, 헤더(104)를 상측으로 회동하고자 할 경우,

제어부(도시는 생략함)는 축 구동부(124)로 제어신호를 보낸다.

상기 축 구동부(124)는 제어부의 제어신호에 따라 도 7에 도시된 바와 같이, 축(128)을 후진시킨다.

그리고, 상기 축(128)의 후진에 따라 제2연결판(136)에 연결된 제1연결판(134)이 경사진 제1레일(116), 경사진 제2레일(118) 그리고 제3레일(120), 제4레일(122)을 타고 후진한다. 이때, 상기 제1연결판(134)의 후진에 따라 도 7에 도시된 바와 같이, 제1측판(122)의 전방부 및 제2측판(114)의 전방부가 상측으로 회동한다.

그리고, 상기 제1측판(122)의 전방부 및 제2측판(114)의 전방부가 상측으로 회동함에 따라 회동박스(108)가 상측으로 회동한다.

상기 회동박스(108)가 상측으로 회동함에 따라 헤더(104)가 1차적으로 상측으로 회동한다.

그리고, 제어부(도시는 생략함)는 회동구동부(142)로 제어신호를 보낸다.

상기 회동구동부(142)는 제어부의 제어신호에 따라 헤더(104)를 2차적으로 상측으로 회동한다.

반대로, 상기 헤더(104)를 하측으로 회동하고자 할 경우,

상기 축 구동부(124)는 제어부의 제어신호에 따라 도 6에 도시된 바와 같이, 축(128)을 전진시킨다.

그리고, 상기 축(128)의 전진에 따라 제2연결판(136)에 연결된 제1연결판(134)이 경사진 제1레일(116), 경사진 제2레일(118) 그리고 제3레일(120), 제4레일(122)을 타고 전진한다. 이때, 상기 제1연결판(134)의 전진에 따라 제1측판(122)의 전방부 및 제2측판(114)의 전방부가 하측으로 회동한다.

그리고, 상기 제1측판(122)의 전방부 및 제2측판(114)의 전방부가 하측으로 회동함에 따라 회동박스(108)가 하측으로 회동한다.

상기 회동박스(108)가 하측으로 회동함에 따라 헤더(104)가 1차적으로 하측으로 회동한다.

상기 회동구동부(142)는 제어부의 제어신호에 따라 헤더(104)를 2차적으로 하측으로 회동한다.

상기 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다.

그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

100 : 스토커용 헤더 회동장치 102 : 본체
104 : 헤더 106 : 회동수단
108 : 회동박스 110 : 연결봉
112 : 제1측판 114 : 제2측판
116 : 제1레일 118 : 제2레일
120 : 제3레일 122 : 제4레일
124 : 축 구동부 126 : 이탈방지부재
128 : 축 130 : 제1슬라이딩부
132 : 제2슬라이딩부 134 : 제1연결판
136 : 제2연결판 138 : 제3슬라이딩부
140 : 제4슬라이딩부 142 : 회동구동부

Claims

본체(102)와;
상기 본체(102)의 정면에 위치되되, 본체(102)의 내부에 설치된 회동구동부의 일측에 설치되어 평면디스플레이의 마스크 기판을 잡아 줌과 아울러 평면디스플레이의 마스크 기판을 카세트(Cassette)에 꽂는 헤더(104)와;
상기 본체(102)의 내부에 설치되어 헤더(104)를 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동수단(106)을 포함하되,
상기 회동수단(106)은,
회동 가능하게 설치된 회동박스(108)와;
상기 회동박스(108)의 내부를 관통하여 회동박스(108)에 설치 고정되는 연결봉(110)과;
상기 연결봉(110)의 일단에 설치 고정되어 회동박스(108)를 1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제1측판(112)과;
상기 제1측판(112)으로부터 일정간격을 두고 마주보게 연결봉(110)의 일단에 설치 고정되어 회동박스(108)를 1차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 제2측판(114)과;
상기 제1측판(112)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되는 제1레일(116)과;
상기 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제2측판(114)의 내면 하부에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되는 제2레일(118)과;
상기 제1레일(116)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 설치 고정되는 제3레일(120)과;
상기 제2레일(118)로부터 일정간격을 두고 수직 일직선상 바닥면 일측에 설치 고정되는 제4레일(122)과;
상기 제4레일(122)로부터 일정간격을 두고 바닥면 일측에 설치 고정되는 축 구동부(124)와;
상기 축 구동부(124)로부터 일정간격을 두고 마주보게 바닥면 일측에 설치 고정되는 이탈방지부재(126)와;
상기 이탈방지부재(126)의 내부 중앙을 관통하여 축 구동부(124)에 연결되어 축 구동부(124)의 구동에 따라 전진 또는 후진하는 축(128)과;
상기 제3레일(120)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제1슬라이딩부(130)와;
상기 제1슬라이딩부(130)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제4레일(122)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되는 제2슬라이딩부(132)와;
상기 제1슬라이딩부(130)의 상면 및 제2슬라이딩부(132)의 상면에 설치되는 제1연결판(134)과;
상기 제1연결판(134)의 저면 중앙 일측에 설치되는 제2연결판(136)과;
상기 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 제1레일(116)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되어 제1측판(112)을 상측 또는 하측으로 회동시키는 제3슬라이딩부(138)와;
상기 제3슬라이딩부(138)로부터 일정간격을 두고 마주보게 제1연결판(134)의 상면 일측에 일측으로 갈 수록 경사지게 설치 고정되되, 제2레일(118)에 전진 또는 후진 가능하게 설치되어 제2측판(114)을 상측 또는 하측으로 회동시키는 제4슬라이딩부(140)를 포함한 것을 특징으로 하는 스토커용 헤더 회동장치.
제 1 항에 있어서,
상기 회동수단(106)은,
회동박스(108)의 배면 일측에 설치되되, 헤더(104)에 연결되어 헤더(104)를 2차적으로 상측 또는 하측으로 회동시키는 회동구동부(142)를 포함한 것을 특징으로 하는 스토커용 헤더 회동장치.
삭제