KR102146124B1 - 로드포트의 풉 안내구조 - Google Patents
로드포트의 풉 안내구조 Download PDFInfo
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Abstract
로드포트의 풉 안내구조가 개시된다.
본 발명에 따른 로드포트의 풉 안내구조는 풉의 위치를 결정하기 위한 위치결정부재들을 구비하며, 상기 스테이지에 안착된 풉을 고정하기 위한 클램프를 구비한 로드포트에 있어서, 상기 풉이 상기 스테이지에 안착되어 상기 위치결정부재들에 의해 위치가 결정된 후 상기 위치결정홈의 꼭지점에 안착하여 상기 풉을 추가로 고정하는 커플링유닛부재(120)을 포함하고, 이 커플링유닛부재(120)는, 상기 위치결정홈의 경사면에서 미끄러져 접촉하는 제1강구(122);및 중공의 원통형 바디부재와, 이 바디부재의 상부는 개구부를 이루되 그 상연부는 내측으로 상기 제1강구 내측으로 오므라진 이탈방지연부를 이루고, 이 제1강구 하측에는 제1강구의 하측 접촉이 이루어지는 반원곡면부를 형성하고, 상기 바디부재의 하측은 상기 스테이지의 하방으로 나사맞춤으로 고정되는 고정부를 형성하고, 이 상기 스테이지와 결합하는 플랜지를 형성한 인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 로드포트의 풉 안내구조는 풉의 위치를 결정하기 위한 위치결정부재들을 구비하며, 상기 스테이지에 안착된 풉을 고정하기 위한 클램프를 구비한 로드포트에 있어서, 상기 풉이 상기 스테이지에 안착되어 상기 위치결정부재들에 의해 위치가 결정된 후 상기 위치결정홈의 꼭지점에 안착하여 상기 풉을 추가로 고정하는 커플링유닛부재(120)을 포함하고, 이 커플링유닛부재(120)는, 상기 위치결정홈의 경사면에서 미끄러져 접촉하는 제1강구(122);및 중공의 원통형 바디부재와, 이 바디부재의 상부는 개구부를 이루되 그 상연부는 내측으로 상기 제1강구 내측으로 오므라진 이탈방지연부를 이루고, 이 제1강구 하측에는 제1강구의 하측 접촉이 이루어지는 반원곡면부를 형성하고, 상기 바디부재의 하측은 상기 스테이지의 하방으로 나사맞춤으로 고정되는 고정부를 형성하고, 이 상기 스테이지와 결합하는 플랜지를 형성한 인 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 로드포트(LPM : Load Port Module)의 FOUP 및 FOSB(이하 풉으로 통일함)안내구조에 관한 것으로, 특히, 로드포트의 스테이지상에 정확하게 안착하기 위한 로드포트의 풉 안내구조에 관한 것이다.
일반적으로, FOUP(풉)[전방 개방 통합형 포드(front opening unified pod)의 약자] 및 FOSB[전방 개방 선적 박스(front opening shipping container)의 약자]로서 공지된 기판 캐리어는, 예를 들어 300 ㎜ 웨이퍼 용기, 프로세싱 장비에 의해 제공되는 캐리어 경계부에 대해 캐리어를 적절하게 배향시키기 위한 안내판과 같은, 운동 커플링을 갖는 하향 대면 장비 경계부를 포함한다.
장비 경계부의 형상은 세미(SEMI; Semiconductor Equipment and Materials International)에 의해 공표되는 산업 표준으로서 통상 규정된다. 300 ㎜ 웨이퍼 용기용 장비 경계부는 운동 커플링으로서 공지된 용기의 바닥에 위치된다. 다른 장비 경계부는 기판 캐리어에 또한 존재할 수도 있다. 소정의 기판 캐리어는 캐리어의 용기부로서 동일한 주형으로 통합되는 운동 커플링으로 구성되는 장비 경계 구조체를 갖는다. 혹은 캐리어로부터 이격되어 성형되고 그 후에 캐리어에 부착되는 장착판(미도시)을 활용한다. 또 다른 기판 캐리어는, 미국특허 제6,520,338호에 서술되고 도 3에 도시되는, 기판 캐리어의 외부면으로부터 직접적으로 연장되는 칸막이에 프로세싱 장비의 중심이 접촉하도록 안내판을 활용한다. 외부 프로세싱 장비와 경계를 이루는 구조부는 장착판 또는 안내판과 일체로 성형될 수 있고, 기본 구조체 상에 오버몰드될 수 있고, 또한 기본 구조체에 분리식으로 형성되고 부착될 수 있다. 통상, 안내판 또는 운동 커플링 판은 중심축을 중심으로 등변으로 배열되는 경사면과, 중심축에서 대향하여 상부가 좁고 하부가 넓은 위치결정용홈(정점축)을 가질 것이다. 프로세싱 장비는 통상 안정된 3개의 장착 지점(위치결정용홈)을 제공하도록 장착핀과 정점축에 맞물린다.
운동 커플링은 로봇식 조작으로 사전 설정된 높이에서 캐리어 내에 캐리어 및 기판을 위치설정하는 안정적이고 반복적인 수단으로 제공된다.
캐리어가 프로세싱 장비에 대해 허용할 수 있는 높이 또는 배향에 위치하지 않는다면, 로봇식 조작기는 조립 라인에서 지연될 뿐만 아니라 기판 또는 캐리어의 손상을 발생시키는기능 불량이 될 수도 있다. 운동 커플링에 직면하는 공통의 문제는 경계부가 때때로 프로세싱 장비의 접촉면에 마찰식으로 부착되거나 "접착(stick)"되는 것이다.
접착이 캐리어가 장착핀에 안정적으로 착석되기 전에 발생한다면, 캐리어는 수용할 수 없는 높이에 "걸림(hang up)"과 잔류할 수도 있거나, 로봇식 조작기에 대해 캐리어가 견딜수 없는 각도로 기울어질 수도 있다.
또한, 로봇식 조작기가 기판을 다루기 시작할 때, 캐리어는 하향으로 비틀어지는 캐리어를 발생시키기능 불량이 될 수도 있다. 운동 커플링에 직면하는 공통의 문제는 경계부가 때때로 프로세싱 장비의 접촉면에 마찰식으로 부착되거나 "접착(stick)"되는 것이다. 접착이 캐리어가 장착핀에 안정적으로 착석되기 전에 발생한다면, 캐리어는 수용할 수 없는 높이에 "걸림(hang up)"과 잔류할 수도 있거나, 로봇식 조작기에 대해 캐리어가 견딜수 없는 각도로 기울어질 수도 있다. 또한, 로봇식 조작기가 기판을 다루기 시작할 때, 캐리어는 하향으로 비틀어지는 캐리어를 발생시키고 로봇식 조작기와 기판 사이의 접속을 손상시킬 위험을 발생하는 접착 지점이 갑자기 미끄러질 수도 있다.
상술한 풉의 안정적 위치결정을 위한 운동 커플링은 로봇식 조작으로 사전 설정된 높이에서 캐리어 내에 캐리어 및 기판을 위치설정하는 안정적이고 반복적인 수단으로 제공되지만, 캐리어가 프로세싱 장비에 대해 허용할 수 있는 높이 또는 배향에 위치하지 않는다면, 지연될 뿐만 아니라 기판 또는 캐리어의 손상을 발생시키는기능 불량이 될 수 있고, 공통적으로 경계부가 때때로 프로세싱 장비의 접촉면에 마찰식으로 부착되거나 "접착(stick)"되는 것이며, 혹은 캐리어가 장착핀에 안정적으로 착석되기 전에 캐리어가 수용할 수 없는 높이에 "걸림(hang up)"과 잔류할 수도 있거나, 조작에 있어서 캐리어가 견딜수 없는 각도로 기울어질 수도 있고, 또한, 기판을 다루기 시작할 때, 캐리어는 하향으로 비틀어지는 캐리어를 발생시키기능 불량이 될 수도 있고, 접착 지점이 갑자기 미끄러져 기판 사이의 접속이 손상될 수도 있다.
비특허문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 제2011-187539호 공보
본 발명의 목적은, 풉 바닥의 위치결정홈과의 접촉시 경사면을 따라 안내되지 않아 풉이 정확하게 위치결정홈에 안착되지 않는 문제점을 개선하고자 하는데에 있다.
본 발명의 목적은, 풉이 로드포트의 스테이지에 안착하는 때에 풉의 비정상 안착상태로 인하여 내부 적층 웨이퍼의 맵핑 오류 발생을 개선하는 수단을 제공하고자 하는 데에 있다.
본 발명의 목적은, 종래 위치결정홈의 경사면에 슬립을 원활하게 하는 윤활성 기모등을 형성하지 않고도 슬립이 원활하게 이루어지도록 접촉저항을 줄일 수 있는 수단을 제공하는 데에 그 목적이 있다.
상기 목적은, 반도체 웨이퍼 처리 장치 중 풉 저면에 위치결정홈들이 구비된 상기 풉이 스테이지에 안착되면 상기 위치결정홈에 삽입되어 상기 풉의 위치를 결정하기 위한 로드포트의 풉 안내구조에 있어서, 상기 위치결정홈의 경사면에서 미끄러져 접촉하는 제1강구; 및
중공의 원통형 바디부재와, 이 바디부재의 상부는 개구부를 이루되 그 상연부는 내측으로 상기 제1강구가 이탈하지 못하도록 내측에서 지지하는 이탈방지연부를 이루고, 이 제1강구 하측에는 제1강구의 하측 접촉이 이루어지는 반원곡면부를 형성하고, 상기 바디부재의 하측은 상기 스테이지의 하방으로 나사맞춤으로 고정되는 고정부를 형성하고, 이 상기 스테이지와 결합하는 플랜지를 형성한 커플링유닛부재;를 포함하여, 상기 풉이 상기 커플링유닛부재들에 의해 상기 위치결정홈에 안정적으로 안착되는 로드포트의 풉 안내구조에 의하여 달성될 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 로드포트 풉 안내구조의 상기 커플링유닛부재는, 상기 위치결정홈에 상승하는 커플링유닛부재의 제1강구 하측에서 제1강구와 접촉하여 미끄러되도록 제1강구 보다 작은 크기의 제2강구들을 더 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 로드포트 풉 안내구조의 상기 커플링유닛부재는, 제1강구가 내장되어 슬립 접촉하는 원통형 공간을 이루되 그 하부는 연결용 관통공을 형성하고, 하방은 개구되는 하부바디부; 상부는 상기 제1강구가 위치하는 반원형 곡면을 형성하고,상기 연결용 관통공에 대응하는 관통공을 형성하고, 하부는 스테이지면에 결합하는 플랜지를 형성하되 하단은 고정부를 형성하여 상기 상부바디부에 삽입되어 체결되는 하부바디부; 및 상기 상부 바디부와 하부바디부의 관통공을 관통하는 체결부재;를 포함하여, 상기 바디부재를 분할하여 상부바디와 하부바디로 분리,조립하도록 하는 특징을 가질 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 로드포트 풉 안내구조의 상기 안내부재는, 상기 스테이지 하측에 고정된 지지대; 및 이 지지대의 기단부에 설치되어 풉의 스테이지 안착을 안내하는 안내구;를 포함할 수 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명 로드포트 풉 안내구조의 상기 안내부재는, 경사면과, 이 경사면에서 안착상태를 검출하는 감지센서와, 감지센서로서 출력신호를 송출하는 신호발생기와, 스테이지 하방에서 지지대를 전후진 이동하도록 상기 감지센서의 출력신호로서 구동하는 구동모터와, 이 구동모터로서 구동하는 랙기어와, 지지대 하면에 형성되어 상기 랙기어에 치합 접속된 피니언기어를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 풉이 로드포트의 스테이지에 안착하는 때에 풉의 비정상 안착상태로 인한 들뜸이나 떨림없이 안정되게 안착할 수 있는 수단을 제공하는데 있다.
본 발명에 의하면, 풉이 로드포트의 스테이지에 안착하는 때에 풉의 비정상 안착상태로 인하여 내부 적층 웨이퍼의 맵핑 오류 발생을 개선하는 수단을 제공한다.
본 발명에 의하면, 풉 바닥의 위치결정홈과의 접촉시 경사면을 따라 안내되지 않아 풉이 정확하게 위치결정홈에 안착되지 않는 문제점을 개선한다.
본 발명에 의하면, 종래 위치결정홈의 경사면에 슬립을 원활하게 하는 윤활성 기모등을 형성하지 않고도 슬립이 원활하게 이루어지도록 접촉저항을 줄일 수 있는 수단을 제공한다.
결과적으로, 풉이 안정된 고정상태를 유지하게 되므로 로드포트 스테이지에 안착상태가 유지되면서 풉 도어의 오픈 및 웨이퍼 매핑등이 수평 오차없이 로드포트의 스테이지상에서의 작동들을 안정적으로 수행할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 풉이 안착된 상태를 도시한 개략 사시도이고,
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 풉이 안착되기 전 분리 상태를 도시한 분리 사시도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 풉의 바닥을 도시한 사시도이고,
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지를 발췌한 사시도이고,
도 5a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 발췌사시도이고,
도 5b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 분해사시도이고,
도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 분해단면도이고,
도 6b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이고,
도 7a,7b,7c는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조가 설치되어 작동되는 상태를 설명하기 위한 요부확대 단면도들이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이고,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 안내부재의 결합단면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 풉이 안착되기 전 분리 상태를 도시한 분리 사시도이고,
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 풉의 바닥을 도시한 사시도이고,
도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지를 발췌한 사시도이고,
도 5a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 발췌사시도이고,
도 5b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 분해사시도이고,
도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 분해단면도이고,
도 6b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이고,
도 7a,7b,7c는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조가 설치되어 작동되는 상태를 설명하기 위한 요부확대 단면도들이고,
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이고,
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 안내부재의 결합단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하면 다음과 같다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서, 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.
첨부된 도면 중에서,
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 풉이 안착된 상태를 도시한 개략 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 풉이 안착되기 전 분리 상태를 도시한 분리 사시도이고, 도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 풉의 바닥을 도시한 사시도이고, 도 4는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지를 발췌한 사시도이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 풉 안내구조는,
도 1과 도 2에서 도시하는 바와 같이 로드포트(100)와 이 로드포트(100)의 일방향으로 수평설치된 스테이지(110)를 형성하며, 이 스테이지(110)상에 다수의 웨이퍼를 내장한 풉(200)이 내려앉게 되는 것이다. 이러한 스테이지(110)에는 커플링유닛부재(120)가 설치되어 있으며,그 외에도 감지센서들,클램핑부재,퍼지수단등이 설치될 수 있다(자세한 설명은 생략).
도 1에서 도시하는 바와 같은 본 발명 로드포트의 풉 안내구조의 풉(200)의 안착은 먼저 스테이지(110)의 외주에 위치한 수개의 안내부재(130)로서 가장 넓은 범위의 안내가 이루어지고, 이어서 스테이지(110)에 형성된 커플링유닛부재(120)로서 풉(200)을 안내하게 된다. 즉, 안내부재(130)은 충분히 넓은 범위로 고정되거나 신축될 수 있는 지지대(135)에 설치된 소정의 슬립경사부재(132)에 접촉하여 안내될 것이다.
다만, 후술하는 바와 같이 이 슬립경사부재(132)에는 안착후 수평상태를 검출하는 감지센서(134)를 더 구비하여 신호발생기(131)로서 신호를 출력신호로서 구동하는 구동모터(135c)가 랙기어(135a)를 구동하고, 랙기어(135a)는 피니언기어(135b)를 이동시켜 전,후진 이동 가능하게 할 수 있다.
풉(200)이 스테이지(110)위에서 이동하여 안정적으로 수평 착지하기 위해서는 커플링유닛부재(120)의 안내가 중요하다. 종래 이 부분에서의 문제점은 전술한 바 있듯이 본 발명 로드포트의 풉 안내구조는 이러한 풉(200)의 스테이지(110) 착지시의 불안정함을 개선하는 것이다. 풉(200)의 안정적인 스테이지(110) 착지는 커플링유닛부재(120)가 풉(200)의 위치결정홈(210)에 매끄럽게 접속함에 의하여 안정적 착지가 이루어진다. 도 3에서 도시하는 바와 같이 풉(120)의 바닥에 형성된 위치결정홈(210)의 경사면(212)을 따라 후술하는 커플링유닛부재(120)의 제1강구(122)가 꼭지점(213)까지 경사면(212)을 따라 안내되어 안착됨으로써, 다음 단계의 정위치 감지센싱, 클램핑, 퍼지 등의 기능들이 수행될 것이다.
첨부 도면중 도 5a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 발췌사시도이고, 도 5b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 분해사시도이고, 도 6a는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재를 도시한 분해단면도이고, 도 6b는 본 발명의 제1 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이다.
상기 도면에 따르는 본 발명 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재(120)는,
풉(200)의 위치결정홈(210)의 경사면(212)에서 미끄러져 접촉하는 제1강구(122)와, 중공의 통형으로 이루어진 바디부재(120a)를 형성할 수 있다.
바디부재(120a)는 상부에서 개구부를 이루되 내측에서 제1강구(122)의 선방 이탈을 차단하도록 내측으로 오므라진 이탈방지연부(121a)를 이루고, 이 제1강구(122) 하측에는 제1강구(122)의 하측 접촉이 이루어지는 반원곡면부(123d)를 형성하고, 바디부재(121)의 하측은 스테이지(110)의 하방으로 나사맞춤으로 고정되는 고정부(123b)를 형성하고, 스테이지(110)와 결합하는 플랜지(123c)를 형성할 수 있다.
본 발명 실시예에 따르는 로드포트의 풉 안내구조의 커플링유닛부재(120)는,하나의 바디부재를 분할하여 상부바디부(121)와 하부바디부(123)로 분리,조립할 수 있다. 즉, 제1강구(122)가 내장되어 슬립 접촉하는 원통형 공간을 이루되 그 하부는 연결용 관통공(121b)을 형성하고, 하방은 개구된 상부바디부(121)와, 제1강구(122)를 받치는 반원형 곡면(123d)을 형성하는 삽입부(123a)를 형성하되 연결용 관통공(121b)에 대응하는 관통공(123e)을 중간부에 관통 형성하고, 하부는 스테이지(110)면에 결합하는 플랜지(123c)를 형성하되 하단은 고정부(123b)를 형성한 하부바디부(123)와, 상부 바디부(121)와 하부바디부(123)의 관통공(121b)(123e)들을 관통하여 삽입되어 체결되는 체결부재(125)로서 이루어질 수 있다. 이러한 커플링유닛부재(120)는 하나의 바디부재를 분할하여 상부바디부(121)와 하부바디부(123)으로 분리,조립할 수 있다.
다만, 본 발명 로드포트의 풉 안내구조의 상부바디부(121)와 하부바디부(123)는 첨부 도면중 도 8에서 도시하는 바와 같이, 제1강구(122)와, 이 제1강구(122)를 상방에 내장하되 제1강구(122)가 내장되어 슬립 접촉하는 원통형 공간을 이루되 그 내부는 나선부(121c)을 형성하고, 하방은 개구된 상부바디부(121)와, 상부는 제1강구(122)를 받치는 반원형 곡면(123d)을 형성하고, 하부는 상기 상부바디부(121)의 개구된 하부로 삽입되는 삽입부(123a)를 형성하되 상기 나선부(121c)에 대응하는 나선부(123f)을 형성하고, 하부는 스테이지(110)면에 결합하는 플랜지(123c)를 형성하되 하단은 고정부(123b)를 형성한 하부바디부(123)로서 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명 로드포트의 풉 안내구조는 도 8에서 도시하는 바와 같은 커플링유닛부재(120)가 체결부재(125)없이 실시 할 수 있다.
한편, 본 발명 실시예에 따르는 로드포트의 풉 안내구조의 커플링유닛부재(120)는, 위치결정홈(210)에 상승하는 커플링유닛부재(120)의 제1강구(122) 하측에서 제1강구(122)와 접촉하여 슬립되도록 제1강구(122) 보다 작은 크기의 수개의 제2강구(124)들을 더 형성할 수 있다.
또한, 본 발명 실시예에 따르는 로드포트의 풉 안내구조이 커플링유닛부재(120)는, 스테이지(110)에 적어도 하나 이상을 형성할 수 있다.
풉(200)의 위치결정홈은 양측이 경사지고 상부가 좁고 하부가 넓은 상협하광의 경사면을 갖는 홈을 이루도록 할 수 있다.
첨부 도면 중 도 7a는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조가 설치되어 작동되는 상태를 설명하기 위한 요부확대 단면도에서 스테이지 안착 초기상태를 나타내고,
도 7b는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조가 설치되어 작동되는 상태를 설명하기 위한 요부확대 단면도에서 커플링유닛부재(120)가 위치결정홈(210)의 경사면(212)에 접촉하면서 꼭지점(213)을 향하여 상승하는 상태를 나타내는 요부 확대 단면도이고, 도 7c는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조가 설치되어 작동되는 상태를 설명하기 위한 요부확대 단면도로서 커플링유닛부재의 상부가 위치결정홈(210)의 꼭지점(213)에 닿아 안정적으로 스테이지에 안착된 상태를 나타내는 요부 확대단면도이다.
상기 도면들에 따르는 본 발명 로드포트의 풉 안내구조의 실시예에 따르는 커플링유닛부재의 작동은,
도 7a에서 도시하는 바와 같이 풉(200) 이동되어스테이지(110)위에 내려앉는초기 상태로서 커플링유닛부재(120)의 상단이 풉(200)의 위치결정홈(210)에 대략 근접한 상태를 나타내고 있다. 이 상태에서 커플링유닛부재(120)는 점차 상승하게 된다. 즉, 도 7b에서 도시하는 바와 같이 본 발명 로드포트의 풉 안내구조에서 근접하는 커플링유닛부재(120)가 풉(200)의 위치결정홈(210)의 경사면(212)에 접촉하면서 미끄러져 꼭지점(213)을 향하여 상승하고 있다.
이후 도 7c에서 도시하는 바와 같이 본 발명 로드포트의 풉 안내구조의 커플링유닛부재(120)의 상부가 위치결정홈(210)의 꼭지점(213)에 맞닿으면서 안정적으로 안착상태를 유지하고 있다.
이후 스테이지는 클램핑수단으로 잠그어지며, 여러가지 수평 감지센서의 작동이라든가,풉 도어를 개방하거나 웨이퍼 매핑을 수핸하는 등의 작동들이 이어질것이다.
첨부 도면중 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 커플링유닛부재의 결합단면도이다.
이 도면에서 도시하는 바와 같이 본 발명 로드포트의 풉 안내구조의 상부바디부(121)와 하부바디부(123)는 도 8에서 도시하는 바와 같이, 제1강구(122)와, 이 제1강구(122)를 상방에 내장하되 제1강구(122)가 내장되어 슬립 접촉하는 원통형 공간을 이루되 그 내부는 나선부(121c)을 형성하고, 하방은 개구된 상부바디부(121)와, 상부는 제1강구(122)를 받치는 반원형 곡면(123d)을 형성하고, 하부는 상기 상부바디부(121)의 개구된 하부로 삽입되는 삽입부(123a)를 형성하되 상기 나선부(121c)에 대응하는 나선부(123f)을 형성하고, 하부는 스테이지(110)면에 결합하는 플랜지(123c)를 형성하되 하단은 고정부(123b)를 형성한 하부바디부(123)로서 이루어질 수 있다. 따라서 본 발명 로드포트의 풉 안내구조는 도 8에서 도시하는 바와 같은 커플링유닛부재(120)가 체결부재(125)없이 실시 할 수 있다.
첨부 도면중 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 로드포트의 스테이지에 설치된 안내부재의 결합단면도이다.
상기 안내부재(130)는 경사면(132)과, 이 경사면(132)에서 안착상태를 검출하는 감지센서(134)와, 감지센서(134)로서 출력신호를 송출하는 신호발생기(133)와, 스테이지(110)하방에서 지지대(135)를 전후진 이동하도록 감지센서(134)의 출력신호로서 구동하는 구동모터(135c)와, 이 구동모터(135c)로서 구동하는 랙기어(135a)와, 지지대(135)하면에 형성되어 상기 랙기어(135a)에 치합 접속된 피니언기어(135b)를 더 형성할 수 있다. 더하여 경사면(132)에 풉(200) 바닥면의 코너연부의 직각부에 접촉하여 부드럽게 슬립이 이루어지도록하는 기도등의 슬립접촉부재를 형성할 수 있다.
도 9에서 도시하는 바와 같이 경사면(132)에는 안착후 수평상태를 검출하는 감지센서(134)를 더 구비할 수 있고, 그 내부에서 소정의 신호를 출력하도록 신호발생기(133)를 구비할 수 있고, 지지대(135)는 스테이지(110)하방에서 진퇴 이동하도록 상기 감지센서(134)의 출력신호로서 구동하는 구동모터(135c) 혹은 액츄에이터(도시생략)로서 랙기어(135a)를 구동하여 지지대(135)하면의 피니언기어(135b)를 이동시켜 전,후진 이동하는 신축 이동기능을 부여 할 수 있다. 더하여 슬립경사부재(132)의 경사면에는 풉(200)의 바닥의 직각연부와 접촉이 부드럽게 하는 슬립접촉부재를 형성하여 풉의 스테이지 안착시의 최대의 부드러움을 제공할 수 있다.
앞에서, 본 발명의 특정한 실시예가 설명되고 도시되었지만 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고,본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 일이다. 따라서, 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 기술적 사상이나 관점으로 부터 개별적으로 이해되어서는 안되며, 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
100:로드포트 본체, 110: 스테이지부;
120:커플링유닛부재, 121:상부바디부,
121a:이탈방지연부, 121b:관통공,
121c:나선부, 122:제1강구,
123:하부바디부, 123a:삽입부,
123b:고정부, 123c:플랜지,
123d:반원곡면부, 123e:관통공,
123f:나선부, 124:제2강구,
125:체결부재, 130:안내부재,
131:안내구, 132:경사면,
133:신호발생기, 134:감지센서,
135:지지대, 135a:랙기어,
135b:피니언기어, 135c:구동모터,
200:풉(FOUP), 210:위치결정홈,
212:경사면, 213:꼭지점,
120:커플링유닛부재, 121:상부바디부,
121a:이탈방지연부, 121b:관통공,
121c:나선부, 122:제1강구,
123:하부바디부, 123a:삽입부,
123b:고정부, 123c:플랜지,
123d:반원곡면부, 123e:관통공,
123f:나선부, 124:제2강구,
125:체결부재, 130:안내부재,
131:안내구, 132:경사면,
133:신호발생기, 134:감지센서,
135:지지대, 135a:랙기어,
135b:피니언기어, 135c:구동모터,
200:풉(FOUP), 210:위치결정홈,
212:경사면, 213:꼭지점,
Claims (5)
- 반도체 웨이퍼 처리 장치 중 풉 저면에 위치결정홈들이 구비된 상기 풉이 스테이지에 안착되면 상기 위치결정홈에 삽입되어 상기 풉의 위치를 결정하기 위한 로드포트의 풉 안내구조에 있어서,
상기 위치결정홈의 경사면에서 미끄러져 접촉하는 제1강구; 및
중공의 원통형 바디부재와, 이 바디부재의 상부는 개구부를 이루되 그 상연부는 내측으로 상기 제1강구가 이탈하지 못하도록 내측에서 지지하는 이탈방지연부를 이루고, 이 제1강구 하측에는 제1강구의 하측 접촉이 이루어지는 반원곡면부를 형성하고, 상기 바디부재의 하측은 상기 스테이지의 하방으로 나사맞춤으로 고정되는 고정부를 형성하고, 이 상기 스테이지와 결합하는 플랜지를 형성한 커플링유닛부재;
를 포함하고,
상기 커플링유닛부재는,
상기 위치결정홈에 상승하는 커플링유닛부재의 제1강구 하측에서 제1강구와 접촉하여 미끄러되도록 제1강구 보다 작은 크기의 제2강구들;
상기 제1,제2강구가 내장되어 슬립 접촉하는 원통형 공간을 이루되 그 하부는 연결용 관통공을 형성하고, 하방은 개구되는 상부바디부;
상부는 상기 제1강구가 위치하는 반원형 곡면을 형성하고,상기 연결용 관통공에 대응하는 관통공을 형성하고, 하부는 스테이지면에 결합하는 플랜지를 형성하되 하단은 고정부를 형성하여 상기 상부바디부의 하방에서 삽입되는 하부바디부; 및
상기 상부바디부와 하부바디부의 결합후 각각의 관통공을 관통하여 체결하는 체결부재;
를 포함하고,
상기 스테이지 하측에 고정된 지지대와, 이 지지대의 기단부에 설치되어 풉의 스테이지 안착을 안내하는 안내구로 이루어지는 안내부재;
를 포함하고,
상기 안내부재는,
경사면과, 이 경사면에서 안착상태를 검출하는 감지센서와, 감지센서로서 출력신호를 송출하는 신호발생기와, 스테이지 하방에서 지지대를 전후진 이동하도록 상기 감지센서의 출력신호로서 구동하는 구동모터와, 이 구동모터로서 구동하는 랙기어와, 지지대 하면에 형성되어 상기 랙기어에 치합 접속된 피니언기어로 이루어져,
상기 풉이 상기 커플링유닛부재들에 의해 상기 위치결정홈에 안정적으로 안착되는 것을 특징으로 하는 로드포트의 풉 안내구조.
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| KR1020200031809A KR102146124B1 (ko) | 2020-03-16 | 2020-03-16 | 로드포트의 풉 안내구조 |
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| KR102518414B1 (ko) * | 2022-12-16 | 2023-04-07 | 주식회사 테크엑스 | 반도체용 엘피엠에 구비되는 풉의 탑재안내모듈 |
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-
2020
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