KR20090090268A - 반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기, 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템 - Google Patents

반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기, 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템 Download PDF

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가부시키가이샤 라이트세이사쿠쇼
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Abstract

본 발명은, 반송(搬送) 용기의 커버체를 커버 착탈 장치의 도어 부재에 강한 힘으로 가압해도, 반송 용기가 부상(浮上)하는 것을 방지할 수 있는 반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템을 제공한다. 반송 용기의 커버 착탈 장치(100)는, 반송 용기(200)를 탑재하여 이동 가능한 테이블(15)과, 반송 용기(200)의 하면의 단면 V자 홈(205a∼205c)에 형성되어 이동 방향(M)과는 대략 직각인 고정면(205a-1∼205c-1)에 걸어 맞추어지고, 테이블(15)에 설치되어 이동 방향(M)과는 대략 직각인 위치 결정핀(15a∼15)을 가진다.
Figure P1020090009264
반송 용기, 커버 착탈 장치, 커버 착탈 시스템, 테이블, 위치 결정핀

Description

반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기, 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템 {APPARATUS FOR INSTALLING AND REMOVING A POD COVER, A POD, AND SYSTEM FOR INSTALLING AND REMOVING A POD COVER}
본 발명은, 반도체 웨이퍼 등의 박형(薄型) 기판을 수용하여 반송(搬送)하는 반송 용기를, 클린룸에 장착하여, 서로의 클린도를 유지한 채, 그 커버를 장착 및 분리하는 반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기, 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템에 관한 것이다.
종래부터, 반도체 웨이퍼를 반송하는 FOUP(FRONT OPENING UNIFIED POD) 등으로 불리는 반송 용기의 커버체를, 도어 부재에 장착 및 분리 가능하게 유지시키고, 또한, 수평 방향 및 수직 방향의 2방향으로 이동시키는 로드 포트가 있었다(예를 들면, 특허 문헌 1).
로드 포트는, 이동 테이블 상에 반송 용기를 탑재하고, 반송 용기의 커버체를 도어 부재에 가압하여 밀착시키는 공정을 거쳐, 반송 용기의 커버체를 도어 부재에 유지하고 있다. 이 이동 테이블과 반송 용기는, 이동 테이블 상에 설치된 핀과, 반송 용기의 저면에 설치된 V자 홈에 의해, 연직(鉛直) 방향 및 수평 방향으로 위치 결정되어 있다.
그러나, 반송 용기가 직경 300mm 정도를 넘는 대구경 웨이퍼를 수용하는 경우에는, 로드 포트는, 반송 용기의 커버체를 도어 부재에 강한 힘으로 강하게 누를 필요가 있다. 이 경우, 반송 용기의 저면의 V자 홈이 이동 테이블의 핀에 올라앉아 버려, 반송 용기가 부상(浮上)하여 버릴 가능성이 있었다.
[특허 문헌 1] 일본 특허출원 공개번호 1999-288991호 공보
본 발명의 과제는, 반송 용기의 커버체를 커버 착탈 장치의 도어 부재에 강한 힘으로 가압해도, 반송 용기의 부상을 방지할 수 있는 반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템을 제공하는 것이다.
본 발명은, 다음과 같은 해결 수단에 의해, 문제점을 해결한다. 그리고, 이해를 용이하게 하기 위해, 본 발명의 실시예에 대응하는 부호를 부여하여 설명하지만, 이에 한정되는 것은 아니다. 단, 부호를 부여하여 설명한 구성은, 적당히 개량해도 되고, 또한 적어도 일부를 다른 구성물로 대체해도 된다.
제1 발명은, 내부가 고클린도로 유지된 반송 용기(200)의 개구부의 커버 부재(203)를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양(兩) 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 상기 커버 부재를 장착 및 분리하는 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 반송 용기가 탑재되고 소 정의 이동 방향(M)으로 이동 가능한 테이블(15)과, 상기 반송 용기의 하면의 단면 V자 홈(205a∼205c)에 형성되어 상기 소정의 이동 방향(M)과는 대략 직각인 고정면(205a-1∼205c-1)과 걸어 맞추어지고, 상기 테이블에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀(15a∼15c)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제2 발명은, 청구항 1에 기재된 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 테이블(15)의 상기 소정의 이동 방향(M)이 수평 방향이며, 상기 연결핀(15a∼15c)의 축방향이 연직 방향이며, 상기 고정면(205a-1∼205c-1)은 상기 단면 V자 홈(205a∼205c) 내를 오목하게 하여 형성한 요부(205a-2∼205c-2)의 연직 방향의 내벽인 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제3 발명은, 제1 발명의 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 연결핀(15a∼15c)은, 선단부에 설치되어 평면부(15a-7)를 가지고, 상기 평면부와 상기 반송 용기(200)의 상기 요부(205a-2∼205c-2)의 저부에 형성된 평면(205a-7)이 면접촉함으로써, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치를 결정하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제4 발명은, 청구항 3에 기재된 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 연결핀(1015a)의 상기 평면부(1015a-7)와, 상기 반송 용기(200) 저부(底部)의 상기 평면(205a-7)이 면접촉한 것을 검출하는 검출부(1018-1, 1018-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제5 발명은, 제1 발명의 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 단면 V 자 홈(205a, 205a)의 경사면(205a-6, 205a-6)에 맞닿는 것에 의해, 상기 반송 용기(200)의 연직 방향의 위치를 결정하는 V자 경사면 접촉부(811-1, 915a-8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제6 발명은, 제1 발명의 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 테이블(15)의 상기 소정의 이동 방향(M)이 수평 방향이며, 단면 형상이 테이퍼형인 안내부(15a-6)가 상기 연결핀(15a∼15c)의 선단 둘레부에 설치되고, 상기 안내부(15a-6)는 상기 고정면(205a-1∼205c-1)을 상기 연결핀에 안내하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제7 발명은, 제1 발명의 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 테이블(915)의 상기 소정의 이동 방향(M)이 수평 방향이며, 단면 형상이 원호형인 안내부(915a-6)가 상기 연결핀(915a)의 선단 둘레부에 설치되고, 상기 안내부(915a-6)는 상기 고정면(205a-1)을 상기 연결핀으로 안내하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제8 발명은, 제1 발명의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 접함으로써 상기 고정면(205a-1)을 상기 연결핀(815a)으로 안내하는 베이스부 안내부(811-1)와, 상기 연결핀을 상기 연결핀의 축방향으로 이동 가능하게 유지하는 베이스부(811)와, 상기 연결핀을 축방향으로 상기 베이스부로부터 돌출하는 측으로 가압하는 가압 부재(816)를 포함하고, 상기 연결핀은, 상기 베이스부 안내부에 의한 상기 고정면의 안내 도중에는, 상기 단면 V자 홈의 경사면(205a-6)에 가압되는 것에 의해 상기 베이스부 내부로 밀어 넣어져 상기 베이스 부 안내부에 의해 상기 고정면이 안내된 상태에서는, 상기 가압 부재에 가압되어 상기 베이스부로부터 돌출하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제9 발명은, 제8 발명의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 연결핀(815a)이 상기 베이스부(811)로부터 돌출된 상태를 검출하는 검출부(818, 818-1, 818-2)를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제10 발명은, 제8 발명의 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서, 상기 베이스부 안내부(811-1)는, 상기 고정면(205a-1)을 상기 연결핀(815a)으로 안내한 상태에서, 상기 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 맞닿는 것에 의해, 상기 반송 용기(200)의 연직 방향의 위치를 결정하는 V자 경사면 접촉부(811-1)인 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 장치이다.
제11 발명은, 내부가 고클린도로 유지된 그 개구부의 커버 부재(203)를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 커버 착탈 장치를 사용하여 상기 커버 부재가 착탈되는 반송 용기(200)에 있어서, 상기 반송 용기가 탑재되고 소정의 이동 방향(M)으로 이동 가능한 상기 커버 착탈 장치의 테이블(15)에, 상기 소정의 이동 방향(M)과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀(15a∼15c)과 걸어 맞추어지고, 상기 반송 용기의 하면의 단면 V자 홈(205a∼205c)에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 형성되는 고정면(205a-1∼205c-1)을 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 용기이다.
제12 발명은, 제11 발명의 반송 용기에 있어서, 상기 테이블(15)의 상기 소정의 이동 방향(M)이 수평 방향이며, 상기 고정면(205a-1∼205c-1)은, 상기 단면 V자 홈(205a∼205c) 내를 오목하게 하여 형성한 요부(205a-2∼205c-2)의 연직 방향의 내벽이며, 상기 연결핀(15a∼15c)의 축방향이 연직 방향인 것을 특징으로 하는 반송 용기이다.
제13 발명은, 제11 발명의 반송 용기에 있어서, 상기 요부(205a-2∼205c-2)의 저부에 평면(205a-7)을 가지고, 상기 저부의 평면과 상기 연결핀(15a∼15c)의 선단에 형성된 평면부(15a-7)가 면접촉함으로써, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치가 결정되는 것을 특징으로 하는 반송 용기이다.
제14 발명은, 내부가 고클린도로 유지된 반송 용기(200)와, 상기 반송 용기의 개구부의 커버 부재(203)를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 상기 커버 부재를 장착 및 분리하는 커버 착탈 장치를 구비한 반송 용기의 커버 착탈 시스템에 있어서, 상기 커버 착탈 장치는, 상기 반송 용기가 탑재되고 소정의 이동 방향(M)으로 이동 가능한 테이블(15)에 상기 소정의 이동 방향(M)과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀(15a∼15c)을 포함하고, 상기 반송 용기는, 상기 연결핀과 걸어 맞추어지는 동시에 상기 반송 용기 하면의 단면 V자 홈(205a∼205c)에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 형성되는 고정면(205a-1∼205c-1)을 구비하는 것을 특징으로 하는 반송 용기의 커버 착탈 시스템이다.
본 발명에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
(1) 본 발명은, 도어 부재에 강한 힘으로 가압하여 테이블의 이동 방향으로 강한 힘이 걸려도, 반송 용기에 형성된 고정면과 테이블에 설치된 연결핀이 걸어 맞추어져 있으므로, 반송 용기의 부상을 방지할 수 있다.
(2) 본 발명은, 테이블의 이동 방향이 수평 방향이며, 연결핀이 연직 방향의 핀이며, 반송 용기의 연직 방향의 내벽인 고정면에 대하여 걸어 맞추어지므로, 반송 용기의 수평 방향에서의 위치 결정을 행할 수 있다.
(3) 본 발명은, 연결핀의 평면부와 반송 용기의 요부(凹部)의 평면이 면접촉함으로써, 반송 용기의 연직 방향의 위치를 결정한다. 즉, 반송 용기의 연직 방향의 위치 결정이 면접촉이므로, 연결핀과 반송 용기의 저면이 맞닿은 경우에, 반송 용기의 저면을 오목하게 하지 않고, 반송 용기의 내구성을 향상시킬 수 있다.
(4) 본 발명은, 연결핀의 평면부와 반송 용기의 저부의 평면이 면접촉한 것을 검출하는 검출부를 구비함으로써, 반송 용기를 정확하게 배치한 경우에만, 이동 테이블을 구동하여, 커버 착탈 장치 및 반송 용기에 과잉의 부하가 가해지는 것을 방지하여, 이들 파손을 방지할 수 있다.
(5) 본 발명은, 연결핀이 축방향으로 이동 가능하게 유지되어 있으므로, 종래의 반송 용기에 이용한 경우에는, 연결핀이 V자 홈에 의해 베이스부에 밀어 넣어져 종래의 반송 용기에도 대응할 수 있다.
본 발명은, 반송 용기의 커버체를 커버 착탈 장치의 도어 부재에 강한 힘으 로 가압해도, 반송 용기의 부상을 방지할 수 있는 반송 용기의 커버 착탈 장치, 반송 용기 및 반송 용기의 커버 착탈 시스템을 제공하는 목적을, 반송 용기의 커버 착탈 장치에, 반송 용기가 탑재되어 이동 가능한 테이블과, 반송 용기의 단면 V자 홈에 형성되어 테이블 이동 방향과는 대략 직각인 고정면에 걸어 맞추어지고, 상기 이동 방향과는 대략 직각으로 테이블에 설치되는 연결핀을 설치함으로써 실현하였다.
(제1 실시예)
이하, 도면 등을 참조하여, 본 발명의 제1 실시예에 대하여 설명한다.
도 1은, 본 발명에 의한 반송 용기의 커버 착탈 장치의 제1 실시예를 나타낸 도면이다.
반송 용기의 커버 착탈 장치(100)(로드 포트)는, 고클린도의 공간(a)과 저클린도의 공간(B)을 구획하는 칸막이판(101)과, 칸막이판(101)으로 형성되고, 고클린도의 공간(a)과 저클린도의 공간(B)을 연통(連通)시키는 개구부(102)와, 칸막이판(101)의 개구부(102)를 개폐하는 도어(103)와, 도어(103)에 설치된 2개의 위치 결정핀(104a, 104b) 및 2개의 T자 키(104c, 104d)를 가지고, 반송 용기(200)의 커버(203)를 래치하는 래치 기구(104)와, 저클린도의 공간(B) 측에 설치되고, 반송 용기(200)가 탑재되고, 3개의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c) 및 1개의 록 키(105d)를 가지는 테이블(15) 등을 구비하고 있다.
반송 용기(200)는, 내부 공간(C)이 고클린도로 유지되어 반도체 웨이퍼를 복수개(예를 들면, 25개 정도) 수용하는 용기이다.
이 반송 용기(200)는, 용기 본체(201)와, 용기 본체(201)의 일면에 형성된 개구부(202)와, 개구부(202)를 개폐하고, 위치 결정핀(104a, 104b)이 끼워 맞추어지는 핀 구멍(204a, 204b) 및 T자 키(104c, 104d)가 걸어 맞추어지는 키 구멍(204c, 204d)을 가지는 커버(203)와, 테이블(15)의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)이 끼워 맞추어지 단면 V자 홈(205a, 205b, 205c) 및 록 키(105d)가 걸어 맞추어지는 키 구멍(205d)을 가지는 저면(底面)(205)을 구비하고 있다.
반송 용기(200)를 테이블(15)에 탑재하면, 3개의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)이, 단면 V자 홈(205a∼205c)에 끼워 맞추어진다. 여기서, 도시하지 않은 록 버튼을 온하면, 록 키(105d)가 상승 및 경사지게 되어, 키 구멍(205d)에 걸어 맞추어지는 동시에, 테이블(15) 전체가, 구획판(101) 측에 소정 거리(약 30mm 정도) 이동하여, 반송 용기(200)가 구획판(101)에 밀착된다. 구획판(101)의 개구부(102) 및 반송 용기(200)의 개구부(202)의 외주에는, 도시하지 않은 O링 등의 시일재가 설치되어 있고, 밀착에 의해, 클린도를 일정하게 유지할 수 있다.
반송 용기(200)는, 테이블(15)의 이동에 의해, 커버(203)가 도어(103)에 밀착되어, 위치 결정핀(104a, 104b)이, 커버(203)의 핀 구멍(204a, 204b)에 끼워 맞추어지고, T자 키(104c, 104d)가 키 구멍(204c, 204d)에 들어간다. 그 후에, 도시하지 않은 로터리 액추에이터 등에 의해, T자 키(104c, 104d)를 90도 회전함으로써, 클릭(204e∼204h)이 인입되어, 용기 본체(201)와 커버(203)의 록이 해제된다.
이어서, 도어(103)는, 도시하지 않은 구동 기구에 의해, 공간(A)의 내측으로 끌여들여지는(화살표 D1) 동시에, 하강하여(화살표 D2), 반송 용기(200)의 내부 공 간(C)과, 구획판(101)의 내부 공간(A)이, 고클린도를 유지한 채로 연통된다.
이하, 제1 실시예의 반송 용기(200) 및 테이블(15)에 대하여 보다 상세하게 설명한다.
도 2는 제1 실시예의 반송 용기(200) 및 커버 착탈 장치의 테이블(15)을 나타낸 도면으로서, 도 2 (a)는 도 2 (b)의 A1－A1부 화살표로 자른 단면도이며, 도 2 (b)는 저면도이다.
도 3은 제1 실시예의 단면 V자 홈(205a)과 위치 결정핀(15a)이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도로서, 도 3 (a)는, 도 2 (b)의 A2－A2부 화살표로 자른 단면도이며, 도 3 (b)는, 단면 V자 홈(205a)을 길이 방향으로부터 본 측면의 단면도(도 2 (b)의 B－B부 화살표로 자른 단면도)이다.
도 2 (b)에 나타낸 바와 같이, 반송 용기(200)는, 3개의 단면 V자 홈(205a, 205b, 205c)을 구비하고 있다.
단면 V자 홈(205a, 205b)은, 테이블(15)의 이동 방향(화살표(M))의 커버(203) 측에 이름에 따라 서로 이격되도록 배치되어 있다. 한편, 단면 V자 홈(205c)은, 그 길이 방향이 이동 방향으로 평행하게 되도록 배치되어 있다.
이하, 단면 V자 홈(205a)에 대하여 주로 설명하지만, 단면 V자 홈(205b, 205c)은, 단면 V자 홈(205a)과 같은 형상이므로 설명을 생략한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 단면 V자 홈(205a)은, 긴 구멍(205a-2)(요부)과 경사면(205a-6)에 의해 형성된다.
긴 구멍(205a-2)은, 단면 V자 홈(205a)을, 연직 방향(즉 이동 방향(수평 방 향)과는 직각인 방향)으로 오목하게 하여 형성되어 있다. 도 2 (b)에 나타낸 바와 같이, 긴 구멍(205a-2)은, 반송 용기(200)의 저면을 보았을 때, 가늘고 긴 형상이며, 양 단부(205a-3, 205a-4)가 반원형이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 긴 구멍(205a-2)은, 내벽이 연직 방향의 고정면(205a-1)이며, 후술하는 바와 같이 이 고정면(205a-1)이 위치 결정핀(15a)에 걸어 맞추어진다.
경사면(205a-6)은, 긴 구멍(205a-2)의 전체 주위와 반송 용기(200)의 저면(205a-5) 사이에 테이퍼형으로 형성되어 있고, 경사 각도가 일정하다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 테이블(15)은, 반송 용기(200)를 탑재하여 이동하는 부재이다. 테이블(15)의 이동 방향은 수평 방향이다. 테이블(15)은, 3개의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)(연결핀)을 구비하고 있다.
위치 결정핀(15a, 15b, 15c)은, 탑재된 반송 용기(200)의 단면 V자 홈(205a, 205b, 205c)에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)은, 그 축방향이 연직 방향이며, 테이블(15)로부터 돌출하도록 설치되어 있다. 그리고, 이하, 위치 결정핀(15a)에 대하여 주로 설명하지만, 위치 결정핀(15b, 15c)은, 위치 결정핀(15a)과 같은 형상이므로 설명을 생략한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 위치 결정핀(15a)은, 원기둥형의 부재이다. 위치 결정핀(15a)의 직경과 긴 구멍(205a)의 폭은, 대략 동일하며, 위치 결정핀(15a)이 긴 구멍(205a)에 걸어 맞추어 지도록 되어 있다. 도 2 (b)에 나타낸 바와 같이, 위치 결정핀(15a)의 직경과 긴 구멍(205a)의 양 단부(205a-3. 205a-4)의 반원의 직 경은, 대략 동일하다. 이것은, 반송 용기(200)를 테이블(15)에 탑재하는 경우에, 위치 결정핀(15a)과 양 단부(205a-3. 205a-4)가 접촉되어 버렸을 때, 이들을 면접촉시킴으로써, 이들의 파손을 방지하기 위해서이다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 위치 결정핀(15a)의 선단 둘레부에는, 안내부(15a-6)가 전 주위에 설치되어 있다. 안내부(15a-6)는, 단면 형상이 테이퍼형이다. 안내부(15a-6)는, 그 경사 각도가, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)의 경사 각도와 대략 동일하다. 이로써, 반송 용기(200)를 착탈 장치(10)의 테이블(15)에 탑재하는 경우에, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)이 안내부(15a-6) 상을 슬라이드 이동하고, 고정면(205a-1)이 위치 결정핀(15a)으로 안내되어, 반송 용기(200)를 스무스하게 배치할 수 있다.
다음에, 반송 용기(200) 및 테이블(15)의 동작에 대하여 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 반송 용기(200)를 테이블(15)에 탑재하는 경우, 작업자는, 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)의 안내부(도 3에 나타낸 안내부(15a-6) 참조)와, 단면 V자 홈(205a, 205b, 205c)의 경사면(도 3에 나타낸 경사면(205a-6) 참조)이 접하는 범위에서, 반송 용기(200)를 배치하면 된다. 이에 따라서, 긴 구멍(205a-2,205b-2,205b-2)이 위치 결정핀(15a,15b,15c)으로 안내되어, 고정면(205a-1,205b-1,205c-1)과 고정면(15a-1,15b-1,15-c1)이 걸어 맞추어진다.
반송 용기(200)는, 위치 결정핀(15a)의 고정면(15a-1)과 단면 V자 홈(205a)의 고정면(205a-1)이 걸어 맞추어지고(도 2 (a) 참조), 또 위치 결정핀(15b)의 고정면(15b-1)과 단면 V자 홈(205b)의 고정면(205b-1)이 걸어 맞추어짐으로써, 이동 방향의 전후방향에 있어서의 위치가 결정된다.
또한, 반송 용기(200)는, 위치 결정핀(15c)의 고정면(15c-1)과 단면 V자 홈(205c)의 고정면(205c-1)이 걸어 맞추어짐으로써, 수평 방향에서의 회전이 정지(화살표 θ 참조)되어 수평 방향에서의 위치가 결정된다.
한편, 연직 방향에 있어서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 반송 용기(200)는, 위치 결정핀(15a)의 선단부의 평면부(15a-7)와, 반송 용기(200)의 긴 구멍(205a)의 저부의 평면(205a-7)이 맞닿는다. 위치 결정핀(15b) 및 긴 구멍(205b-2), 위치 결정핀(15c) 및 긴 구멍(205c-2)에 대해서도 마찬가지이다. 이로써, 반송 용기(200)는, 테이블(15)에 대한 연직 방향의 위치가 결정된다. 그리고, 이들 평면부는, 면접촉에 의해 반송 용기(200)의 하중을 받아내므로, 반송 용기(200)의 저면(205a-5)을 오목하게 하지 않고, 반송 용기(200)의 내구성을 향상시킬 수 있다.
커버(203)를 장착 및 분리하는 경우에, 반송 용기(200)가 밀려 올라감(부상)을 방지할 수 있는 이유에 대하여는, 전술한 바와 같다.
도 4는 제1 실시예의 반송 용기(200)(도 4 (a))와, 종래의 반송 용기(300)(도 4 (b)∼도 4 (d))를 비교 설명하는 도면이다. 그리고, 도 4 (a)는, 전술한 도 3 (a)와 같은 단면도이며, 참고를 위해 나타낸 것이다.
종래의 반송 용기(300)는, 테이블(15)이 화살표(M)의 방향으로 전진하면, 단면 V자 홈(305c)은, 이동 방향과 평행이므로, 특히, 여분의 힘은 발생하지 않지만, 단면 V자 홈(305a, 305b)은, 반송 용기(300)를 화살표 N(N1)의 방향으로 밀어 올리도록 하는 힘이 발생한다.
반송 용기(300)에는, 그 결과, 도 4 (d)에 나타낸 바와 같이, 위치 결정핀(15c)을 중심으로 하여, 화살표 P(P1)의 방향으로 회전력이 발생한다. 그러므로, 반송 용기(300)는, 선단 상부가 구획판(11)으로부터 갈라지게 되어, 밀봉 불량 등을 일으킬 가능성이 있었다.
이에 대하여, 도 4 (a)에 나타낸 바와 같이, 제1 실시예의 반송 용기(200)는, 그 하면에 형성된 단면 V자 홈(205a)[205b, 205c]에, 수직인 고정면(205a-1)[205b-1. 205c-1]을 형성함으로써, 위치 결정핀(15a)[15b, 15c]의 수직인 고정면(15a-1)[15b-1, 15c-1]에 접할 수 있으므로(결합 자세 교정 수단), 수평 방향의 힘으로 눌러도, 반송 용기(200)를 밀어 올리는 힘이 발생하지 않는다.
그런데, 일반적으로, 웨이퍼 직경이 커지면, 반송 용기 및 커버를 대형으로 할 필요가 있고, 커버를 장착 및 분리할 때 반송 용기에 대하여, 보다 강한 힘을 가하는 것이 필요해진다. 그러므로, 웨이퍼 직경이 커질수록, 반송 용기의 부상이 발생하기 쉬워진다.
이에 대하여, 본 실시예의 반송 용기(200)는, 반송 용기(200)에 대하여 가하는 힘의 방향과는 직각인 방향인 연직 방향의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c) 및 고정면(205a-1, 205b-1, 205c-1)이 걸어 맞추어져 있으므로, 부상을 효과적으로 방지할 수 있다.
(제2 실시예)
도 5는 제2 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀(815a)과 반송 용기(200)의 단면 V자 홈(205a)이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도(도 3 (a)에 상당하 는 도면)이다.
제2 실시예의 커버 착탈 장치는, 제1 실시예의 위치 결정핀(15a∼15c)을 변경한 것이다.
본 실시예의 커버 착탈 장치의 테이블(815)은, 3개의 위치 결정부(810)가 배치되어 있다. 도 5는 그 중의 하나를 나타낸 것이다.
위치 결정부(810)는, 베이스부(811)와, 위치 결정핀(815a)과, 가압 부재(816)와, 바닥 커버(817)와, 광센서(818)를 구비하고 있다.
베이스부(811)는, 원통형의 부재이며, 위치 결정핀(815a)을 위치 결정핀(815a)의 축방향 즉 연직 방향으로 이동 가능하게 유지하고 있다. 베이스부(811)는, 고정면(205a-1)을 위치 결정핀(815a)으로 안내하는 베이스부 안내부(811-1)(V자 경사면 접촉부)를 가지고 있다. 베이스부 안내부(811-1)는, 단면 형상이 원호형이며, 이 원호가 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 접함으로써, 고정면(205a-1)을 안내한다.
베이스부 안내부(811-1)는, 고정면(205a-1)을 위치 결정핀(815a)으로 안내한 상태에서, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 맞닿는 것에 의해, 테이블(815)의 연직 방향(이동 방향과는 직각인 방향)에서의 반송 용기(900)의 위치를 결정한다.
베이스부(811)는, 외주에 나사부(811-2)를 가지고, 이 나사부(811-2)와 너트(812)에 의해 테이블(815)에 장착되어 있다.
위치 결정핀(815a)은, 제1 실시예의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)과 같은 위 치에, 테이블(815) 상에 배치되어 있다. 위치 결정핀(815a)은, 연직 방향으로 이동 가능하게 베이스부(811)에 유지되어 있다. 위치 결정핀(815a)은, 천정면이 구형의 부재이며, 하면에는 차광부(遮光部)(815a-7)가 설치되어 있다.
위치 결정핀(815a)이 베이스부(811)로부터 위쪽으로 돌출된 상태에서, 차광부(815a-7)는, 그 하단이 바닥 커버(817)의 하면과 같은 위치로 되도록 설정되어 있다. 그러므로, 위치 결정핀(815a)이 베이스부(811) 내부로 밀어 넣어진 상태에서, 차광부(815a-7)는 도면 중 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이 바닥 커버(817)로부터 돌출한다.
가압 부재(816)는, 베이스부(811)의 내부에 수용된 압축 코일 스프링이다. 가압 부재(816)는, 연직 방향 아래쪽의 단부가 바닥 커버(817)에 의해 위치 결정되어 있고, 연직 방향 측의 단부가 위치 결정핀(815a)의 하면에 맞닿아 있다. 이로써, 가압 부재(816)는, 위치 결정핀(815a)을 연직 방향 위쪽으로 밀어 올리고, 베이스부(811)의 천정면으로부터 돌출하는 측으로 가압한다.
바닥 커버(817)는, 베이스부(811)에 나사 결합하여, 베이스부(811)의 아래쪽을 커버하는 부재이다. 바닥 커버(817)는, 위치 결정핀(815a)의 차광부(815a-7)가 삽입통과 가능한 관통구멍이 형성되어 있다.
광센서(818)는, 발광 소자(818-1)와 수광 소자(818-2)가 대향 배치된 검출부이다. 광센서(818)는, 바닥 커버(817)의 하면에 배치되어 있다. 위치 결정핀(815a)의 차광부(815a-7)가 바닥 커버(817)의 하면으로부터 돌출되어 있지 않은 경우에는, 수광 소자(818-2)는, 발광 소자(818-1)가 발한 광(L)을 수광할 수 있다. 한편, 차광부(815a-7)가 바닥 커버(817)의 하면보다 돌출되어 있는 경우에는, 발광 소자(818-1)의 광(L)은, 차광부(815a-7)에 의해 차단되어 버리므로, 수광 소자(818-2)는, 광(L)을 수광할 수 없다. 이같이 하여, 광센서(818)는, 차광부(815a-7)가 바닥 커버(817)의 하면보다 돌출되어 있는지 여부를 검출한다.
광센서(818)는, 도시하지 않은 컨트롤러에 접속되어 있고, 광센서(818)의 검출 신호는, 컨트롤러에 대하여 출력된다.
다음에, 반송 용기(200) 및 테이블(815)의 동작에 대하여 설명한다.
반송 용기(200)를 테이블(815)에 탑재하는 경우, 작업자는, 베이스부 안내부(811-1)와 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)이 접하는 범위에서, 반송 용기(200)를 배치하면 된다. 이에 따라서, 긴 구멍(205a-2)이 위치 결정핀(815a)으로 안내되어, 고정면(205a-1)과 위치 결정핀(815a)의 고정면(815a-1)이 걸어 맞추어진다.
이 경우에 있어서, 베이스부 안내부(811-1)에 의해 고정면(205a-1)이 위치 결정핀(815a)으로 안내되어 있는 상태에서는, 위치 결정핀(815a)은, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 가압되는 것에 의해 베이스부(811) 내부로 밀어 넣어진다.
이에 따라서, 위치 결정핀(815a)의 차광부(815a-7)는, 바닥 커버(817)의 하면보다 돌출한다. 컨트롤러는, 광센서(818)의 출력에 따라 반송 용기(200)가 테이블(815)에 확실하게 탑재되어 있지 않은 것으로 판단하여, 테이블(815)을 이동시키기 위한 이동 모터(도시하지 않음)를 구동하지 않고, 테이블(815)의 정지 상태를 유지한다.
그리고, 베이스부 안내부(811-1)에 의해 고정면(205a-1)이 안내된 상태에서는, 위치 결정핀(815a)은, 가압 부재(816)에 가압되어 베이스부(811)로부터 돌출한다(도 5 상태). 반송 용기(200)는, 위치 결정핀(815a)에 의해, 테이블(815)에 대한 수평 방향의 위치가 결정된다.
한편, 연직 방향에 있어서는, 베이스부 안내부(811-1)가, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 맞닿는 것에 의해, 반송 용기(200)의 위치를 결정한다.
이 상태에서는, 위치 결정핀(815a)의 차광부(815a-7)의 하단이 바닥 커버(817)의 하면과 같은 위치로 된다. 컨트롤러는, 광센서(818)의 출력에 따라 반송 용기(200)가 테이블(815)에 확실하게 탑재된 것으로 판단하여, 이동 모터를 구동시켜, 테이블(815)을 전진시킨다.
그리고, 반송 용기(200)가 테이블(815)에 확실하게 탑재되었는지의 여부의 판단은, 이하의 방법을 이용해도 행할 수 있다.
제1 방법은, 테이블(815)에 광센서를 설치하여, 테이블(815)의 표면과 반송 용기(200)의 저면과의 거리를 측정하고, 용기(200)의 유무를 판정하는 방법이다. 그러나, 이 방법은, 센서의 검출 오차를 예를 들면, 2mm 정도 이내에 들어가도록 설치할 필요가 있어, 설치 정밀도 및 유지보수 등의 점에서 바람직하지 않다.
제2 방법은, 핀(815a∼815c) 등에 용기(200)의 하중을 검출하는 압력 센서 등을 설치하고, 용기(200)의 유무를 판정하는 방법이다. 그러나, 일반적으로 압력 센서는, 검출 오차가 크기 때문에, 테이블(815)의 오동작의 원인으로 된다. 또한, 용기(200)는, 수용물의 종류 등에 따라 중량이 상이하므로, 용기(200)의 하중에는, 불균일이 있다. 그러므로, 이 방법도, 바람직하지 않다.
이들 방법에 대하여, 본 실시예에서는, 위치 결정핀(815a)이 바닥 커버(817)의 하면으로부터 돌출되어 있는지 여부만을 판정하면 되고, 검출 에러가 거의 발생하는 경우가 없다. 또한, 위치 결정핀(815a)의 이동 스트로크는, 긴 구멍(205a-1)의 깊이 정도 확보할 수 있다. 그러므로, 이 이동 스트로크 즉 위치 결정핀(815a)의 돌출량을, 예를 들면, 5mm 정도의 충분한 길이로 할 수 있어, 높은 설치 정밀도가 요구되지 않고, 또 유지보수도 용이하다.
도 6은 제2 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀(815a)과 종래의 반송 용기(300)의 단면 V자 홈(305a)이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도(도 3 (a)에 상당하는 도면)이다.
현재 이미 사용되고 있는 반송 용기(300)는, 반송 용기(200)와 같은 긴 구멍(205a-2, 205b-2, 205c-2)(도 2 참조)을 가지고 있지 않다. 이 경우라도, 위치 결정핀(815a)은, 단면 V자 홈(305a)의 경사면(305a-6)에 가압되는 것에 의해 베이스부(811) 내부로 밀어 넣어진다. 그리고, 베이스부 안내부(811-1)(V자 경사면 접촉부)은, 단면 V자 홈(305a)의 경사면(305a-6)에 맞닿는 것에 의해, 반송 용기(300)의 수평 방향에서의 위치 결정 및 연직 방향의 위치를 결정할 수 있다.
그리고, 이 경우에는, 컨트롤러는, 광센서(818)의 검출 신호의 유무에 관계없이, 테이블(815)을 이동시키면 된다.
이로써, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 종래의 반송 용기(300)에도 대응할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 제2 실시예의 커버 착탈 장치는, 반송 용기(200)가 테이블(815)에 확실하게 탑재되었는지 여부를 판단하고, 확실하게 탑재된 경우에 테이블(815)을 전진시킬 수 있다.
또한, 제2 실시예의 커버 착탈 장치는, 긴 구멍(205a-2, 205b-2, 205c-2)이 형성되어 있는 반송 용기(200)와 이들이 형성되어 있지 않은 종래의 반송 용기(300) 어느 것에도 대응할 수 있다.
(제3 실시예)
도 7은 제3 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀(915a)과 반송 용기(200)의 단면 V자 홈(205a)이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도(도 3 (a)에 상당하는 도면)이다.
본 실시예의 커버 착탈 장치의 테이블(915)에는, 제1 실시예의 위치 결정핀(15a, 15b, 15c)과 같은 위치에, 3개의 위치 결정핀(915a)이 배치되어 있다.
위치 결정핀(915a)은, 상단(915a-7)과 하단(915a-8)으로 이루어지는 2단형으로 형성되어 있고, 상단(915a-7)의 선단 둘레부는, 안내부(915a-6)가 설치되어 있다. 안내부(915a-6)는, 단면 형상이 원호형이며, 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 맞닿아, 단면 V자 홈(205a)의 고정면(205a-1)을 위치 결정핀(915a)의 고정면(915a-1)으로 안내한다. 또한, 위치 결정핀(915a)은, 하단(915a-8)(V자 경사면 접촉부)의 종단면 형상도 원호형이다.
위치 결정핀(915a)의 고정면(915a-1)과 단면 V자 홈(205a)의 고정면(205a-1) 이 걸어 맞추어진 상태에서는, 반송 용기(200)는, 제2 실시예와 마찬가지의 형태로, 테이블(915)에 대한 위치가 결정된다.
즉, 수평 방향에 있어서, 반송 용기(200)는, 위치 결정핀(915a)의 고정면(915a-1)과 긴 구멍(205a-2)의 고정면(205a-1)에 의해, 위치가 결정된다. 한편, 연직 방향에 있어서, 반송 용기(200)는, 위치 결정핀(915a)의 하단(915a-8)이 단면 V자 홈(205a)의 경사면(205a-6)에 맞닿는 것에 의해, 연직 방향의 위치가 결정된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 위치 결정핀(915a)의 천정면이 평면이 아니고 원호형이라도, 반송 용기(200)의 위치 결정을 행할 수 있다.
(제4 실시예)
도 8은 제4 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀(1015a)과 반송 용기(200)의 단면 V자 홈(205a)이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도(도 3 (a)에 상당하는 도면)이다.
본 실시예의 위치 결정핀(1015a)에는, 검출핀(1015a-8)이 연직 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다. 또한, 위치 결정핀(1015a)은, 제2 실시예의 가압 부재(816), 광센서(818)와 같은, 가압 부재(1016), 광센서(1018)를 구비하고 있다.
위치 결정핀(1015a)은, 가압 부재(1016)에 의해 연직 방향 위쪽으로 가압되어 있다. 반송 용기(200)의 V가 테이블(1015)에 탑재되어 있지 않은 경우에는, 위치 결정핀(1015a)은, 도면 중 2점 쇄선으로 나타낸 바와 같이, 평면부(1015a-7)로 부터 돌출하고, 또 차광부(1015a-9)는, 바닥 커버(1017)의 하면과 같은 위치로 되도록 설정되어 있다.
한편, 반송 용기(200)는, 테이블(1015)에 탑재되고, 고정면(205a-1)이 안내부(1015a-6)에 의해 안내되어, 정상적으로 탑재되면, 위치 결정핀(1015a)의 평면부(1015a-7)와 반송 용기(200)의 저부의 평면(205a-7)이 면접촉한다. 이 경우에는, 검출핀(1015a-8)은, 평면(205a-7)에 의해 연직 방향 아래쪽으로 가압된다. 이로써, 도 8에 나타낸 바와 같이, 검출핀(1015a-8)은, 위치 결정핀(1015a) 내부로 밀어 넣어진다. 또한, 차광부(1015a-9)는, 바닥 커버(1017)로부터 돌출하므로, 수광 소자(1018-2)는, 발광 소자(1018-1)의 광(L)을 수광할 수 없다.
이같이 하여, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 반송 용기(200)가 테이블(1015)에 탑재된 것을 검출할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 발광 소자(1018-1)와 수광 소자(1018-2)로 이루어지는 검출부의 출력에 따라 위치 결정핀(1015a)의 평면부(1015a-7)와 반송 용기(200)의 저부의 평면(205a-7)이 면접촉한 것을 검출할 수 있다. 이로써, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 반송 용기(200)가 테이블(1015) 상에 정상적으로 탑재되는지 여부를 검출할 수 있다.
그리고, 본 실시예의 커버 착탈 장치는, 발광 소자(1018-1)와 수광 소자 (1018-2) 대신에, 위치 결정핀(1015a)의 평면부(1015a-7)에 압력 센서를 포함하고 있어도 된다. 이 경우, 커버 착탈 장치는, 반송 용기(200)가 탑재되었는지 여부를 판정하기 위해, 위치 결정핀(1015a)의 평면부(1015a-7)와 반송 용기(200)의 저부의 평면(205a-7)이 면접촉한 것에 따른 압력의 변화를 확인하면 된다. 이로써, 커버 착탈 장치는, 반송 용기(200)가 테이블(1015) 상에 정상적으로 탑재되는지 여부를, 보다 확실하게 검출할 수 있다.
이상, 본 발명의 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않고, 각종의 변형이나 변경이 가능하며, 이들도 본 발명의 기술적 범위 내이다. 또한, 실시예에 기재한 효과는, 본 발명으로부터 생기는 가장 바람직한 효과를 열거한 것에 지나지 않고, 본 발명에 의한 효과는, 실시예에 기재한 것에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명에 의한 반송 용기의 커버 착탈 장치의 제1 실시예를 개략적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 제1 실시예에 의한 반송 용기의 커버 착탈 장치의 테이블의 위치 결정 부재를 나타낸 도면이다.
도 3은 제1 실시예의 반송 용기의 단면 V자 홈과 커버 착탈 장치의 위치 결정핀이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도이다.
도 4는 제1 실시예의 반송 용기와, 종래의 반송 용기를 비교 설명하는 도면이다.
도 5는 제2 실시예의 반송 용기의 단면 V자 홈과 커버 착탈 장치의 위치 결정핀이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도이다.
도 6은 제2 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀과 종래의 반송 용기의 단면 V자 홈이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도이다.
도 7은 제3 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀과 반송 용기의 단면 V자 홈이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도이다.
도 8은 제4 실시예의 커버 착탈 장치의 위치 결정핀과 반송 용기의 단면 V자 홈이 걸어 맞추어진 상태에 있어서의 단면도이다.
[도면의 주요부분에 대한 부호의 설명]
15, 815, 915, 1015: 테이블
15a, 15b, 15c, 815a, 915a, 1015a: 위치 결정핀
15a-1, 15b-1, 15c-1, 915a-1: 고정면
100: 커버 착탈 장치
200: 반송 용기
205a, 205b, 205c: 단면 V자 홈
810: 위치 결정부
811: 베이스부
816, 1016: 가압 부재
817: 바닥 커버
818, 1018: 광센서
915a-6: 안내부
1015a-8: 검출핀

Claims (14)

  1. 내부가 고클린도로 유지된 반송(搬送) 용기의 개구부의 커버 부재를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양(兩) 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 상기 커버 부재를 장착 및 분리하는 반송 용기의 커버 착탈 장치에 있어서,
    상기 반송 용기가 탑재되고 소정의 이동 방향으로 이동 가능한 테이블과,
    상기 반송 용기 하면의 단면 V자 홈에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 형성되는 고정면과 걸어 맞추어지고, 상기 테이블에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀
    을 포함하는 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 테이블의 상기 소정의 이동 방향이 수평 방향이며,
    상기 연결핀의 축방향이 연직(鉛直) 방향이며,
    상기 고정면은 상기 단면 V자 홈 내를 오목하게 하여 형성한 요부(凹部)의 연직 방향의 내벽인, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 연결핀은, 선단부에 형성된 평면부를 가지고, 상기 평면부와 상기 반송 용기의 상기 요부의 저부(底部)에 형성된 평면이 면접촉함으로써, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치를 결정하는, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결핀의 상기 평면부와, 상기 반송 용기의 저부의 상기 평면이 면접촉한 것을 검출하는 검출부를 포함하는 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 단면 V자 홈의 경사면에 맞닿는 것에 의해, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치를 결정하는 V자 경사면 접촉부를 포함하는 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 테이블의 상기 소정의 이동 방향이 수평 방향이며,
    단면 형상이 테이퍼형인 안내부가 상기 연결핀의 선단 둘레부에 설치되고, 상기 안내부는 상기 고정면을 상기 연결핀으로 안내하는, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 테이블의 상기 소정의 이동 방향이 수평 방향이며,
    단면 형상이 원호형인 안내부가 상기 연결핀의 선단 둘레부에 설치되고, 상 기 안내부는 상기 고정면을 상기 연결핀으로 안내하는, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 단면 V자 홈의 경사면에 접함으로써, 상기 고정면을 상기 연결핀으로 안내하는 베이스부 안내부와,
    상기 연결핀을 상기 연결핀의 축방향으로 이동 가능하게 유지하는 베이스부와,
    상기 연결핀을 축방향으로 상기 베이스부로부터 돌출하는 측으로 가압하는 가압 부재를 포함하고,
    상기 연결핀은,
    상기 베이스부 안내부에 의한 상기 고정면의 안내 도중에는, 상기 단면 V자 홈의 경사면에 가압되는 것에 의해 상기 베이스부 내부에 밀어 넣어지고,
    상기 베이스부 안내부에 의해 상기 고정면이 안내된 상태에서는, 상기 가압 부재에 가압되어 상기 베이스부로부터 돌출하는, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 연결핀이 상기 베이스부로부터 돌출된 상태를 검출하는 검출부를 포함하는 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 베이스부 안내부는, 상기 고정면을 상기 연결핀으로 안내한 상태에서, 상기 단면 V자 홈의 경사면에 맞닿는 것에 의해, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치를 결정하는 V자 경사면 접촉부인, 반송 용기의 커버 착탈 장치.
  11. 내부가 고클린도로 유지된 반송 용기의 개구부의 커버 부재를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 커버 착탈 장치를 사용하여 상기 커버 부재가 착탈되는 반송 용기에 있어서,
    상기 반송 용기가 탑재되고 소정의 이동 방향으로 이동 가능한 상기 커버 착탈 장치의 테이블에, 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀과 걸어 맞추어지고, 상기 반송 용기 하면의 단면 V자 홈에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 형성되는 고정면을 포함하는,
    반송 용기.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 테이블의 상기 소정의 이동 방향이 수평 방향이며,
    상기 고정면은 상기 단면 V자 홈 내를 오목하게 하여 형성한 요부의 연직 방향의 내벽이며,
    상기 연결핀의 축방향은 연직 방향인, 반송 용기.
  13. 제11항에 있어서,
    상기 요부의 저부에 평면을 가지고, 상기 저부의 평면과 상기 연결핀의 선단에 형성된 평면부가 면접촉함으로써, 상기 반송 용기의 연직 방향의 위치가 결정되는, 반송 용기.
  14. 내부가 고클린도로 유지된 반송 용기와, 상기 반송 용기의 개구부의 커버 부재를, 고클린도로 유지된 룸의 개구부의 도어 부재에 걸어 맞추고, 상기 양 개구부의 주변부를 밀착시켜 고클린도를 유지한 채, 상기 커버 부재를 장착 및 분리하는 커버 착탈 장치를 구비한 반송 용기의 커버 착탈 시스템에 있어서,
    상기 커버 착탈 장치는, 상기 반송 용기가 탑재되고 소정의 이동 방향으로 이동 가능한 테이블에, 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 설치되는 연결핀을 포함하고,
    상기 반송 용기는, 상기 연결핀에 걸어 맞추어지는 동시에 상기 반송 용기 하면의 단면 V자 홈에 상기 소정의 이동 방향과는 대략 직각으로 형성되는 고정면을 구비하는,
    반송 용기의 커버 착탈 시스템.
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