JPS61203383A - 基板保持構造 - Google Patents
基板保持構造Info
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- JPS61203383A JPS61203383A JP60037102A JP3710285A JPS61203383A JP S61203383 A JPS61203383 A JP S61203383A JP 60037102 A JP60037102 A JP 60037102A JP 3710285 A JP3710285 A JP 3710285A JP S61203383 A JPS61203383 A JP S61203383A
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- JP
- Japan
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- substrate
- substrate holding
- face
- pair
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス、石英、半導体素材などの基板、又は
これら基板に各種薄膜を被着させた膜付き基板（以下、
単に「基板」という。）の収納箱における基板保持構造
に関する。この基板収納箱は、基板の製造工程間及び製
造後の保管や移動時、例えば販売の輸送時などに利用さ
れる。
これら基板に各種薄膜を被着させた膜付き基板（以下、
単に「基板」という。）の収納箱における基板保持構造
に関する。この基板収納箱は、基板の製造工程間及び製
造後の保管や移動時、例えば販売の輸送時などに利用さ
れる。
従来の収納箱は、数枚又は数十枚の基板を収容するため
に、互いに所定間隔を置いて垂直方向に平行に林立して
、各基板の下方端面を支持し、上方端面を当接する構造
であった。上記林立手段としては、箱の内側面に互いに
対向する１対の溝をその箱の開口部側から底部側に向け
て複数個形成し、基板の主表面と直交する方向に延在し
た基板支持部を箱の底部側に形成して、各１対の溝に沿
って基板の主要部分を入れて、その下方端面を上記基板
支持部で支持している。そして、上記当接手段としては
、基板主表面と直交する方向に弾性体を向けて、蓋の内
側上面に取り付け、この弾性体を箱の開口部から突き出
た各基板の上方端面に押し付けている。
に、互いに所定間隔を置いて垂直方向に平行に林立して
、各基板の下方端面を支持し、上方端面を当接する構造
であった。上記林立手段としては、箱の内側面に互いに
対向する１対の溝をその箱の開口部側から底部側に向け
て複数個形成し、基板の主表面と直交する方向に延在し
た基板支持部を箱の底部側に形成して、各１対の溝に沿
って基板の主要部分を入れて、その下方端面を上記基板
支持部で支持している。そして、上記当接手段としては
、基板主表面と直交する方向に弾性体を向けて、蓋の内
側上面に取り付け、この弾性体を箱の開口部から突き出
た各基板の上方端面に押し付けている。
（発明が解決しようとする問題点）
しかしながら、従来の基板収納箱は、複数の基板を垂直
方向に林立した状態で、その垂直方向については支持固
定することが可能であるが、水平方向については充分に
支持固定することが不可能であった。すなわち、基板の
主要部分が収納される１対の溝は、その収納作業を容易
にすると共に、基板表面にキズを付けないために、相互
間距離及び溝を構成する凹部間距離をそれぞれ基板の水
平方向の寸法及び厚さ寸法より約１＃又はそれ以上大き
くしなければならない。しかしなから、基板収納箱を水
平方向に振動させた場合、収納されている基板も同方向
に振動することから、基板の上方及び下方の端面と弾性
体及び底部側基板支持部とがそれぞれ摩擦して、弾性体
及び基板支持部（何れも樹脂）が破損して、微細なゴミ
を発生する問題点があった。か）るゴミは、基板として
半導体製造用原板であるフォトマスクや半導体基板であ
った場合、数μｍ又はそれ以下の微細加工を行うことか
ら、無視することができない。
方向に林立した状態で、その垂直方向については支持固
定することが可能であるが、水平方向については充分に
支持固定することが不可能であった。すなわち、基板の
主要部分が収納される１対の溝は、その収納作業を容易
にすると共に、基板表面にキズを付けないために、相互
間距離及び溝を構成する凹部間距離をそれぞれ基板の水
平方向の寸法及び厚さ寸法より約１＃又はそれ以上大き
くしなければならない。しかしなから、基板収納箱を水
平方向に振動させた場合、収納されている基板も同方向
に振動することから、基板の上方及び下方の端面と弾性
体及び底部側基板支持部とがそれぞれ摩擦して、弾性体
及び基板支持部（何れも樹脂）が破損して、微細なゴミ
を発生する問題点があった。か）るゴミは、基板として
半導体製造用原板であるフォトマスクや半導体基板であ
った場合、数μｍ又はそれ以下の微細加工を行うことか
ら、無視することができない。
更に、基板収納箱を水平方向に衝撃させた場合、基板と
溝との衝突により、溝からも微細なゴミを発生し、基板
を破損させるおそれがあった。
溝との衝突により、溝からも微細なゴミを発生し、基板
を破損させるおそれがあった。
本発明は、上記した問題点を解消するためになされたも
のであり、垂直方向のみならず水平方向の振動に対して
も基板を充分に保持固定することのできる基板保持構造
を提供することである。
のであり、垂直方向のみならず水平方向の振動に対して
も基板を充分に保持固定することのできる基板保持構造
を提供することである。
本発明は、上記目的を達成させるためになされたもので
あり、基板の下方端面については従来と同様、箱の底部
側で支持されるが、基板の上方端面については、後記す
る基板抑え具を基板の垂直方向中心線対称に設置して、
当接させる基板保持構造にしている。すなわち、本発明
による基板抑え具は、（１）、基板の上方端面の周辺に
設置され、基板主表面と直交する方向に延在し、かつ中
心軸のまわりに回転自在な軸と、（２）、上方端面とそ
の上方端面より基板の水平方向中心線側に隣接する隣接
端面とにそれぞれ当接する１対の当接部と、（３）、こ
の１対の当接部を前述した軸にそれぞれ連結する１対の
連結部とを備えている。
あり、基板の下方端面については従来と同様、箱の底部
側で支持されるが、基板の上方端面については、後記す
る基板抑え具を基板の垂直方向中心線対称に設置して、
当接させる基板保持構造にしている。すなわち、本発明
による基板抑え具は、（１）、基板の上方端面の周辺に
設置され、基板主表面と直交する方向に延在し、かつ中
心軸のまわりに回転自在な軸と、（２）、上方端面とそ
の上方端面より基板の水平方向中心線側に隣接する隣接
端面とにそれぞれ当接する１対の当接部と、（３）、こ
の１対の当接部を前述した軸にそれぞれ連結する１対の
連結部とを備えている。
本発明の基板保持構造によれば、基板の上方端面は単に
支持されるだけであるが、基板の上方端面がその当接部
と当接すると、１対の当接部が軸のまわりで回転して、
基板の隣接端面がその当接部と当接することから、振動
・衝撃のどの方向に対しても完全に基板を保持すること
ができる。
支持されるだけであるが、基板の上方端面がその当接部
と当接すると、１対の当接部が軸のまわりで回転して、
基板の隣接端面がその当接部と当接することから、振動
・衝撃のどの方向に対しても完全に基板を保持すること
ができる。
第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示す斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金属板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、及び第８図は本発
明の主要部構成を示す断面図である。
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示す斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金属板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、及び第８図は本発
明の主要部構成を示す断面図である。
本実施例の基板保持構造は、主表面が正方形であるガラ
ス板（本例： １５１０Ｘ ２．２緬）の−主表面上
にクロム膜を被着させたフォトマスクプランりとなる基
板１を中箱２に収納し、この中箱２を外箱３に収納し、
この外箱３の開口部側に蓋４を被せる構造である（第１
図）。基板１の収納箱として中箱を使用せずに外箱を使
用する構造例も本発明では有効であるが、この構造例で
は外箱の内側面に対向して形成した複数の溝の溝底部と
外箱の底面も有する構成となる。一方、フォトマスクブ
ランクやそのクロム膜を遮光性膜として選択的にパター
ン化してなるフォトマスク、あるいは半導体基板におい
ては、数μｍオーダー又はそれ以下の微細なゴミを除去
しなければならないことから、基板収納箱のどの部分も
充分に洗浄することを要する。そこで、前述した外箱を
洗浄した場合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細
なゴミを充分に除去することが困難である場合があるこ
とから、そのゴミの除去を容易にするために、溝の底部
と外箱の底面を開口させた中箱が使用される。
ス板（本例： １５１０Ｘ ２．２緬）の−主表面上
にクロム膜を被着させたフォトマスクプランりとなる基
板１を中箱２に収納し、この中箱２を外箱３に収納し、
この外箱３の開口部側に蓋４を被せる構造である（第１
図）。基板１の収納箱として中箱を使用せずに外箱を使
用する構造例も本発明では有効であるが、この構造例で
は外箱の内側面に対向して形成した複数の溝の溝底部と
外箱の底面も有する構成となる。一方、フォトマスクブ
ランクやそのクロム膜を遮光性膜として選択的にパター
ン化してなるフォトマスク、あるいは半導体基板におい
ては、数μｍオーダー又はそれ以下の微細なゴミを除去
しなければならないことから、基板収納箱のどの部分も
充分に洗浄することを要する。そこで、前述した外箱を
洗浄した場合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細
なゴミを充分に除去することが困難である場合があるこ
とから、そのゴミの除去を容易にするために、溝の底部
と外箱の底面を開口させた中箱が使用される。
本実施例の中箱２は、開口部側（上方）から底面側（下
方）に向けて複数の溝５．６を一方の互いに対向する内
側面に所定間隔（本例：１２ｍ）を置いて１対をなして
形成し、その溝５．６の中箱底面側の底部と中箱底面に
はそれぞれ開口窓７゜８と開口部９が設けられ、溝５，
６の開口部下方の中箱の底面側には基板支持部１０．１
１が形成され、この基板支持部１０．１１で基板１の底
部端面１２を支持している（第１図、第２図）。そして
、中箱２自体を後述する外箱３に収納して固定するため
の凹面部１３．１４がそれぞれ中箱２の他方の互いに対
向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成され
ている（第２図）。なお、中箱２の開口部側の上端面２
５から基板支持部１０．１１までの高さ寸法（本例：
１１５ｍ）は、基板１の高さ寸法（本例＝１５１ｍ）
の主要部分に相当し、基板１を中箱２に収納した時、基
板１のＦ方部分く本例：３６Ｍ）が中箱２の上端面２５
からとび出る構造になっている（第１図）。次に、複数
の基板１を１対の溝５゜６に１枚ずつ入れると、これら
の基板は所定間隔を置いて互いに平行に林立する。本例
での林立は垂直方向であるが、傾斜させてもよい。
方）に向けて複数の溝５．６を一方の互いに対向する内
側面に所定間隔（本例：１２ｍ）を置いて１対をなして
形成し、その溝５．６の中箱底面側の底部と中箱底面に
はそれぞれ開口窓７゜８と開口部９が設けられ、溝５，
６の開口部下方の中箱の底面側には基板支持部１０．１
１が形成され、この基板支持部１０．１１で基板１の底
部端面１２を支持している（第１図、第２図）。そして
、中箱２自体を後述する外箱３に収納して固定するため
の凹面部１３．１４がそれぞれ中箱２の他方の互いに対
向する外側面に底面側から開口部側の途中まで形成され
ている（第２図）。なお、中箱２の開口部側の上端面２
５から基板支持部１０．１１までの高さ寸法（本例：
１１５ｍ）は、基板１の高さ寸法（本例＝１５１ｍ）
の主要部分に相当し、基板１を中箱２に収納した時、基
板１のＦ方部分く本例：３６Ｍ）が中箱２の上端面２５
からとび出る構造になっている（第１図）。次に、複数
の基板１を１対の溝５゜６に１枚ずつ入れると、これら
の基板は所定間隔を置いて互いに平行に林立する。本例
での林立は垂直方向であるが、傾斜させてもよい。
外箱３は、前述した中箱２の凹面部１３．１４と当接す
るに適合した突出部１５．１６を、互いに対向する内側
面に形成し、その突出部１５； １６の底部は外箱底面
とも接合している（第３図）。その他、外箱３はその開
口部側に蓋４を被せるために、外箱３側に凸部１７，１
８が形成され、蓋４側の耳部１９゜２０に形成された凹
部２１．２２と嵌合して挿入される（第１図、第２図、
第３図）。
るに適合した突出部１５．１６を、互いに対向する内側
面に形成し、その突出部１５； １６の底部は外箱底面
とも接合している（第３図）。その他、外箱３はその開
口部側に蓋４を被せるために、外箱３側に凸部１７，１
８が形成され、蓋４側の耳部１９゜２０に形成された凹
部２１．２２と嵌合して挿入される（第１図、第２図、
第３図）。
蓋４の内側には、後述する基板抑え具２８の軸２９を挿
入して、その軸２９をその中心軸のまわりに回転自在に
支持する軸支持具２３．２４が一方の内側面に互いに対
向させて形成し、中箱２の開口部側上面２５と当接して
、中箱２を垂直方向において支持固定するストッパー２
６．２７を他方の内側面に互いに対向させて形成してい
る（第４図）。
入して、その軸２９をその中心軸のまわりに回転自在に
支持する軸支持具２３．２４が一方の内側面に互いに対
向させて形成し、中箱２の開口部側上面２５と当接して
、中箱２を垂直方向において支持固定するストッパー２
６．２７を他方の内側面に互いに対向させて形成してい
る（第４図）。
以上の中箱２．外箱３及び蓋４の材料は、ポリプロピレ
ン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ＡＢＳ等の
各種樹脂から適宜選択される。
ン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ＡＢＳ等の
各種樹脂から適宜選択される。
次に、基板抑え具２８は、第５図に示すように、断面円
形で直線状に延在した軸２９と、その軸２９の側面から
断面において直交する方向に引き出した複数対の連結部
３０．３１と、その連結部３０．３１の先端に断面円形
に形成した複数対の当接部３２．３３とを備えている。
形で直線状に延在した軸２９と、その軸２９の側面から
断面において直交する方向に引き出した複数対の連結部
３０．３１と、その連結部３０．３１の先端に断面円形
に形成した複数対の当接部３２．３３とを備えている。
複数対の連結部３０．３１と当接部３・２゜３３は、前
述した中箱２の溝５，６の所定間隔と対応した間隔で配
列されている。
述した中箱２の溝５，６の所定間隔と対応した間隔で配
列されている。
このような基板抑え具２８を２本用意して、前述した蓋
４の軸支持具２３．２４にそれぞれ挿入し、複数の基板
１を林立させた中箱２を外箱３に収納し、その外箱３に
蓋４を被せることにより、基板抑え具２８の当接部３２
及び３３が基板１の頭部端面４２及び側部端面４３にそ
れぞれ当接する。そしで、当接部３２及び３３には、当
接面３４及び３５をそれぞれ互いに直交する方向に形成
していることから、当接面３４及び３５が第８図の破線
で示すように、基板１の上方端面に相当する頭部端面４
２及び基板１の隣接端面に相当する側部端面４３とそれ
ぞれ当接する。更に、当接面３４及び３５の先端側にそ
れぞれ傾斜面３６及び３７を形成している。傾斜面３６
及び３７は・そ−れぞれ当接面３４及び３５と、当接部
３２及び３３の内部がら見て鈍角（本例：１４０°）を
なして、互いに交叉する面である。このような傾斜面３
６及び３７を形成した場合、基板１の頭部端面４２及び
側部端面４３との当接が容易になる。それは、当接面３
４及び３５が頭部端面４２及び側部端面４３にそれぞれ
当接する直前では、第８図の実線で示すように、当接面
３４と傾斜面３６と交叉する稜部が頭部端面４２と当接
してから、軸２９が矢印で示すように垂直方向に降下し
、その軸２９の降下に従って、上記稜部が頭部端面４２
上を互いに中央に向かって、過度な摩擦を避けて進行す
るからである。このようにＦＪＦＭを少なくする他の手
段としては、第９図に示すような曲面状の当接面４９に
してもよい。そして、これらの当接面３４と傾斜面３６
及び当接面３５と傾斜面３７は、それぞれ当接部３２及
び３３の引き出し方向中央に基板１の厚さ寸法（本例：
２．２ｍ）より大きい幅寸法（本例： ２．５ｍ
）の溝を形成した、その溝の底面に相当する。更に、溝
の両側にテーパー加工して、基板１の頭部端面４２及び
側部端面４３との当接を一層容易にしている（第５図）
。
４の軸支持具２３．２４にそれぞれ挿入し、複数の基板
１を林立させた中箱２を外箱３に収納し、その外箱３に
蓋４を被せることにより、基板抑え具２８の当接部３２
及び３３が基板１の頭部端面４２及び側部端面４３にそ
れぞれ当接する。そしで、当接部３２及び３３には、当
接面３４及び３５をそれぞれ互いに直交する方向に形成
していることから、当接面３４及び３５が第８図の破線
で示すように、基板１の上方端面に相当する頭部端面４
２及び基板１の隣接端面に相当する側部端面４３とそれ
ぞれ当接する。更に、当接面３４及び３５の先端側にそ
れぞれ傾斜面３６及び３７を形成している。傾斜面３６
及び３７は・そ−れぞれ当接面３４及び３５と、当接部
３２及び３３の内部がら見て鈍角（本例：１４０°）を
なして、互いに交叉する面である。このような傾斜面３
６及び３７を形成した場合、基板１の頭部端面４２及び
側部端面４３との当接が容易になる。それは、当接面３
４及び３５が頭部端面４２及び側部端面４３にそれぞれ
当接する直前では、第８図の実線で示すように、当接面
３４と傾斜面３６と交叉する稜部が頭部端面４２と当接
してから、軸２９が矢印で示すように垂直方向に降下し
、その軸２９の降下に従って、上記稜部が頭部端面４２
上を互いに中央に向かって、過度な摩擦を避けて進行す
るからである。このようにＦＪＦＭを少なくする他の手
段としては、第９図に示すような曲面状の当接面４９に
してもよい。そして、これらの当接面３４と傾斜面３６
及び当接面３５と傾斜面３７は、それぞれ当接部３２及
び３３の引き出し方向中央に基板１の厚さ寸法（本例：
２．２ｍ）より大きい幅寸法（本例： ２．５ｍ
）の溝を形成した、その溝の底面に相当する。更に、溝
の両側にテーパー加工して、基板１の頭部端面４２及び
側部端面４３との当接を一層容易にしている（第５図）
。
上記した基板抑え具２８は、その材料として前述した中
箱２などと同様な樹脂から適宜選択して使用し、第６図
に示す金属板３８を内部に、特に軸２９と当接部３２．
３３の内部に埋設して成形される。この金属板３８は、
ステンレス、リン青銅、ベリリウム銅、洋白などの金属
材料（厚さ＝０．１〜０．５ｍ＞から適宜選択され、前
述した基板抑え具２８の所定間隔と同様に配列して連結
し、中心軸で直交させている。直交部の穴３９と両端の
切り欠き４０．４１は、第７図に示すように、それぞれ
軸２９と当接部３２゜３３における接合を連続化し、基
板抑え具２８の機械的強度を一層強化している。そして
、上記したように金属板３８を埋設した基板抑え具２８
は、弾性を有していることから、当接面３４．３５に対
して振動・衝撃を与えても、その振動・衝撃を緩衝させ
ることができる。
箱２などと同様な樹脂から適宜選択して使用し、第６図
に示す金属板３８を内部に、特に軸２９と当接部３２．
３３の内部に埋設して成形される。この金属板３８は、
ステンレス、リン青銅、ベリリウム銅、洋白などの金属
材料（厚さ＝０．１〜０．５ｍ＞から適宜選択され、前
述した基板抑え具２８の所定間隔と同様に配列して連結
し、中心軸で直交させている。直交部の穴３９と両端の
切り欠き４０．４１は、第７図に示すように、それぞれ
軸２９と当接部３２゜３３における接合を連続化し、基
板抑え具２８の機械的強度を一層強化している。そして
、上記したように金属板３８を埋設した基板抑え具２８
は、弾性を有していることから、当接面３４．３５に対
して振動・衝撃を与えても、その振動・衝撃を緩衝させ
ることができる。
以上の実施例は基板の主表面形状が正方荊であったが、
本発明はこれに限定されず、長方形はもとより５角形な
どの多角形でもよく、更に、第９図に示すように円形の
基板４４でもよい。第９図に示す実施例では、本発明で
いう基板４４の上方端面及び下方端面は基板尋４の垂直
方向中心線Ｌ１とそれぞれ交叉する上端及び下端より水
平方向中心線Ｌ２側に片寄った位置の端面である。基板
抑え具４５は前実施例と同様、基板４４の上方端面の周
辺に垂直方向中心［、に対称的に設置され、その軸４６
の側面から１対の連結部４７．４８を引き出し、その先
端に当接部５１．５２を備えている。本例の当接部５１
．５２には、溝加工した底面に曲面状の当接面４９、５
０を形成している。この基板抑え具４５の軸４９も前実
施例と同様、所定の軸支持具に挿入され、その中心軸の
まわりで回転自在に支持される。この基板抑え具４５に
も金属板３１と同様な金属板を埋設してもよい。一方、
基板４４の下方端面ば中箱又は外箱と接合した基板支持
部５３．５４で支持される。
本発明はこれに限定されず、長方形はもとより５角形な
どの多角形でもよく、更に、第９図に示すように円形の
基板４４でもよい。第９図に示す実施例では、本発明で
いう基板４４の上方端面及び下方端面は基板尋４の垂直
方向中心線Ｌ１とそれぞれ交叉する上端及び下端より水
平方向中心線Ｌ２側に片寄った位置の端面である。基板
抑え具４５は前実施例と同様、基板４４の上方端面の周
辺に垂直方向中心［、に対称的に設置され、その軸４６
の側面から１対の連結部４７．４８を引き出し、その先
端に当接部５１．５２を備えている。本例の当接部５１
．５２には、溝加工した底面に曲面状の当接面４９、５
０を形成している。この基板抑え具４５の軸４９も前実
施例と同様、所定の軸支持具に挿入され、その中心軸の
まわりで回転自在に支持される。この基板抑え具４５に
も金属板３１と同様な金属板を埋設してもよい。一方、
基板４４の下方端面ば中箱又は外箱と接合した基板支持
部５３．５４で支持される。
（発明の効果）
本発明の基板保持構造によれば、特に、基板の垂直方向
中心線と対称に基板抑え具を設置して、その基板抑え具
の１対の当接部で基板の上方端面と隣接端面とを同時に
当接することから、基板は、中箱又は外箱の内側面に形
成された溝と接することなく保持され、どの方向からの
振動・衝撃に対しても完全に保持固定することができる
。
中心線と対称に基板抑え具を設置して、その基板抑え具
の１対の当接部で基板の上方端面と隣接端面とを同時に
当接することから、基板は、中箱又は外箱の内側面に形
成された溝と接することなく保持され、どの方向からの
振動・衝撃に対しても完全に保持固定することができる
。
第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示す斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金属板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、第８図は本実゛施
例の主要部構成を示す断面図、及び第９図は他の実施例
の主要部構成を示す断面図である。 １．４４・・・基板、１０．１１．５３．５４・・・基
板支持具、１２・・・底部端面、２３．２４・・・軸支
持具、２８、４５・・・基板抑え具、２９．４６・・・
軸、３０゜３１．４７．４８舎・・１対の連結部、３２
．３３．５１．５２・・・１対の当接部、３４．３５．
４９．５０・・・１対の当接面、３６．３７・・・傾斜
面、４２・・・頭部端面、４３・・・側部端面
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示す斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金属板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、第８図は本実゛施
例の主要部構成を示す断面図、及び第９図は他の実施例
の主要部構成を示す断面図である。 １．４４・・・基板、１０．１１．５３．５４・・・基
板支持具、１２・・・底部端面、２３．２４・・・軸支
持具、２８、４５・・・基板抑え具、２９．４６・・・
軸、３０゜３１．４７．４８舎・・１対の連結部、３２
．３３．５１．５２・・・１対の当接部、３４．３５．
４９．５０・・・１対の当接面、３６．３７・・・傾斜
面、４２・・・頭部端面、４３・・・側部端面
Claims (6)
- （１）互いに所定間隔を置いて平行に林立し、下方端面
が支持された複数の基板の上方端面を当接して、前記基
板を保持する構造において、前記上方端面の周辺に設置
され、前記基板の主表面と直交する方向に延在し、かつ
中心軸のまわりに回転自在である軸と、前記上方端面と
その上方端面より前記基板の水平方向中心線側に隣接す
る隣接端面とにそれぞれ当接する１対の当接部と、前記
１対の当接部を前記軸にそれぞれ連結する１対の連結部
とを備えた基板抑え具を前記基板の垂直方向中心線と対
称に設置していることを特徴とする基板保持構造。 - （２）基板抑え具が内部に金属板を埋設した樹脂である
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の基板保持
構造。 - （３）基板の主表面形状が４角形であり、上方端面及び
下方端面がそれぞれ頭部及び底部の端面であり、隣接端
面が側部の端面であることを特徴とする特許請求の範囲
第１項又は第２項記載の基板保持構造。 - （４）基板の主表面形状が円形であり、上方端面及び下
方端面が前記基板の垂直方向中心線とそれぞれ交叉する
上端及び下端より前記基板の水平方向中心線側に片寄っ
た位置の端面であることを特徴とする特許請求の範囲第
１項又は第２項記載の基板保持構造。 - （５）１対の当接部に基板の厚み寸法より大きい幅寸法
の底面を有する溝を形成し、それぞれの前記底面が前記
基板の上方端面と隣接端面とに当接することを特徴とす
る特許請求の範囲第１項、第２項、第３項又は第４項記
載の基板保持構造。 - （６）１対の当接部の溝の底面が曲面又は互いに鈍角で
交叉する面を有していることを特徴とする特許請求の範
囲第５項記載の基板保持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60037102A JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60037102A JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203383A true JPS61203383A (ja) | 1986-09-09 |
| JPH0139653B2 JPH0139653B2 (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=12488219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60037102A Granted JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61203383A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
| JP2002166234A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-06-11 | Sharp Corp | 薄形板状半導体部品の検査分類システム |
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-
1985
- 1985-02-26 JP JP60037102A patent/JPS61203383A/ja active Granted
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| JP2014029519A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-02-13 | Hoya Corp | マスクブランク収納ケース及びマスクブランク収納体 |
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0139653B2 (ja) | 1989-08-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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