JPS61203385A

JPS61203385A - 基板保持構造

Info

Publication number: JPS61203385A
Application number: JP4074685A
Authority: JP
Inventors: 白相　暁; 有紀田中
Original assignee: Hoya Corp
Current assignee: Hoya Corp
Priority date: 1985-02-28
Filing date: 1985-02-28
Publication date: 1986-09-09
Also published as: JPH0139654B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ガラス、石英、半導体素材などの基板、又は
これら基板に各種薄膜を被着させた膜付き基板（以下、
単に「基板」という。）の収納箱における基板保持構造
に関する。この基板収納箱は、基板の製造工程間及び製
造後の保管や移動時、例えば販売の輸送時などに利用さ
れる。

〔従来の技術〕

従来の収納箱は、数枚又は数十枚の基板を収容するため
に、互いに所定間隔を置いて垂直方向に平行に林立して
、各基板の下方端面を支持し、上方端面を当接する構造
であった。上記林立手段としては、箱の内側面に互いに
対向する１対の溝をその箱の開口部側から底部側に向け
て複数個形成し、基板の主表面と直交する方向に延在し
た基板支持部を箱の底部側に形成して、各１対の溝に沿
って基板の主要部分を入れて、その下方端面を上記基板
支持部で支持している。そして、上記当接手段としては
、基板主表面と直交する方向に弾性体を向けて、蓋の内
側上面に取り付け、この弾性体を箱の開口部から突き出
た各基板の上方端面に押し付けている。そして、この弾
性体を蓋の内側上面に取り付ける手段としては、蓋の内
側上面に溝を設け、一方、その溝と嵌合する支持部を弾
性体に設けて、この支持部を溝に挿入して弾性体を一時
的に保持して、前述したように各基板の上方端面を押し
付けている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、上記弾性体は、複数の基板を収納してい
る時、各基板の上方端面を押し付けている状態にあるこ
とから、ｌｌｌ１ｔ脱することはないが、複数の基板を
外部に取り出した、いわゆる空箱時には、押し付ける対
象物がなく、前述した溝と支持部との嵌合による一時的
な保持状態になり、振動や衝撃によりその保持が解かれ
て溝から離脱しやすい。そして、弾性体は、箱の内壁と
衝突し、不快音を発生するのみならず、その弾性体に機
械的強度を高くした材料を使用した場合には、通常樹脂
で成形加工された箱の内部構造を破損させるおそれがあ
った。

本発明は、上記した問題点を解消するためになされたも
のであり、基板の端面を当接する１対の当接部を連結し
た軸を軸支持具に挿入した後、その軸が外部の振動・衝
撃を受けても軸支持具から離脱することを防止し、かつ
離脱したい時のみそれを行うことのできる基板保持構造
を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明による基板保持構造は、上記目的を達成させるた
めになされたものであり、互いに所定間隔を置いて平行
に林立し、下方端面が支持された複数の基板の上方端面
を当接して、これら基板を保持する構造において、各基
板の端面を当接する１対の当接部を連結した軸と、この
軸の両端部を、その挿入部に挿入して中心軸のまわりに
回転自在に支持する軸支持具とを備え、軸の両端部断面
が半径Ｒの半円の直径中心線上に半径Ｒより小さい曲率
半径にを有する曲面を形成した形状であり、軸支持具の
開口部が１対の当接部の中心線方向における軸の両端部
と嵌合する幅寸法を有し、かつ挿入部断面が開口部の一
方の内面と接して軸の両端部断面の半径Ｒの半円周と嵌
合する円周部分を備えていることを特徴としている。

（作　用）本発明の基板保持構造によれば、基板収納時はもとより
、空箱時においても軸の半円周部分と軸支持具の挿入部
とが嵌合していることから、外部の振動及び衝撃を受け
ても軸を挿入部内で回転させるだけで、離脱することな
く保持することができ、また、軸を挿入し又は離脱した
い時は、軸の最も小さい半径寸法を通して軸の開口部を
通過することができる。

（実施例）第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示す斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金属板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、第８図は基板抑え
具の側面図、第９図は基板抑え具を軸支持具に挿入する
状態を示す断面図、及び第１０図は基板抑え具による基
板の保持直前状態を示す断面図である。

本実施例の基板保持構造は、主表面が正方形であるガラ
ス板（本例：１５１０履ｘ２．２ｍ＞の−主表面上にク
ロム膜を被着させたフォトマスクブランクとなる基板１
を中箱２に収納し、この中箱２を外箱３に収納し、この
外箱３の開口部側に蓋４を被せる構造であるく第１図）
。基板１の収納箱として中箱を使用せずに外箱を使用す
る構造例も本発明では有効であるが、この構造例では外
箱の内側面に対向して形成した複数の溝の溝底部と外箱
の底面も有する構成となる。一方、フォトマスクブラン
クやそのクロム膜を遮光性膜として選択的にパターン化
してなるフォトマスク、あるいは半導体基板においては
、数μｍオーダー又はそれ以下の微細なゴミを除去しな
ければならないことから、基板収納箱のどの部分も充分
に洗浄することを要する。そこで、前述した外箱を洗浄
した場合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細なゴ
ミを充分に除去することが困難である場合があることか
ら、そのゴミの除去を容易にするために、溝の底部と外
箱の底面を開口させた中箱が使用される。

本実施例の中箱２は、開口部側（上方）から底面側（下
方）に向けて複数の溝５．６を一方の互いに対向する内
側面に所定間隔（本例：１２＃Ｉ）を置いて１対をなし
て形成し、その溝５，６の中箱底面側の底部と中箱底面
にはそれぞれ開口窓７゜８と開口部９が設けられ、溝５
．６の開口部下方の中箱の底面側には基板支持部１０．
１１が形成され、この基板支持部１０．１１で基板１の
各端面（頭部端面１２、側部端面１３．１４、底部端面
１５）のうち、底部端面１５を支持している（第１図、
第２図）。そして、中箱２自体を後述する外箱３に収納
して固定するための凹面部１６．１７がそれぞれ中箱２
の他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の
途中まで形成されている（第２図）。なお、中箱２の開
口部側の上端面１８から基板支持部ｔｏ、　ｉｉまでの
高さ寸法（本例：　　１１５ｍ５＋）は、基板１の高さ
寸法（本例：　　１５１ａＩＩ）の主要部分に相当し、
基板１を中箱２に収納した時、基板１の上方部分（本例
：３６ｓ）が中箱２の上端面１８からとび出る構造にな
っている（第１図）。次に、複数の基板１を１対の溝５
，６に１枚ずつ入れると、これらの基板は所定間隔を置
いて互いに平行に林立する。

本例での林立は垂直方向であるが、傾斜させてもよい。

外箱３は、前述した中箱２の凹面部１６．１７と当接す
るに適合した突出部１９．２０を、互いに対向する内側
面に形成し、その突出部１９．２０の底部は外箱底面と
も接合している（第３図）。その他、外箱３はその開口
部側に蓋４を被せるために、外箱３側に凸部２１．２２
が形成され、後述する蓋４側の耳部２９．３０に形成さ
れた凹部３１．３２と嵌合して挿入される（第２図、第
３図）。

蓋４の内側には、後述する基板抑え具３３の軸３４を挿
入して、その軸３３の両端部を挿入して、その中心軸の
まわりに回転自在に支持する軸支持具（２３，２３）、
（２４，２４）を一方の内側面の両端近傍で対をなすと
ともに互いに対向させて形成し、８対の軸支持具（２３
，２３）、（２４，２４）の中央近傍に軸を単に支持す
る支持具２５．２６を形成している。そして、中箱２の
開口部側上端面１２と当接して、中箱２を垂直方向にお
いて支持固定するストッパー（２７，２７）、（２８，
２８）を他方の内側面の両側近傍で対をなすとともに互
いに対向させて形成している（第４図）。

以上の中箱２．外箱３及び蓋４の材料は、ポリプロピレ
ン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ＡＢＳ等の
各種樹脂から適宜選択される。

次に、基板抑え具３３は、第５図に示すように、断面が
半円とその半円の直径より小さい直径の半円を結合した
形状であって、直線状に延在した軸３４と、その軸３４
の小直径半円の側面から断面において直交する方向に引
き出した複数対の連結部３５゜３６と、その連結部３５
．３６の先端に断面円形に形成した複数対の当接部３７
．３８とを備えている。複数対の連結部３５．３６と当
接部３７．３８は、前述した中箱２の溝５，６の所定間
隔と対応した間隔で配列されている。そして、当接部３
７及び３８には、当接面３９及び４０をそれぞれ互いに
直交する方向に形成し、更に、当接面３９及び４０の先
端側にそれぞれ傾斜面４１及び４２を形成している。傾
斜面４１及び４２はそれぞれ当接面３９及び４０と、当
接部３７及び３８の内部から見て鈍角（本例：１４０°
）をなして互いに交叉する面である。

上記した基板抑え具３３は、その材料として前述した中
箱２などと同様な樹脂から適宜選択して使用し、第６図
に示す金属板４３を内部に、特に軸３４と当接部３７．
３８の内部に埋設して成形される。この金属板４３は、
ステンレス、リン青銅、ベリリウム銅、洋白などの金属
材料（厚さ：０．１〜０，５１１ＩＩｍ）から適宜選択
され、前述した基板抑え具３３の所定間隔と同様に配列
して連結し、中心軸で直交させている。直交部の穴４４
と両端の切り欠き４５．４６は、第７図に示すように、
それぞれ軸３４と当接部３７゜３８における接合を連続
化し、基板抑え具３３の機械的強度を一層強化している
。連結部３５．３６の背面には、第８図に示すように、
金属板４３が露出している。そし工、上記したように金
属板４３を埋設した基板抑え具３３は、当接部３７．３
８において弾性を有していることから、当接面３９．４
０に対して（辰動・Ｉｉ撃を与えても、その振動・衝撃
を緩衝させることができる。

軸３４の両端部は、その断面が半径Ｒの半円（本例：　
Ｒ＝　５．０＃　）と半径ｒの半円（本例：ｒ＝４８Ｍ
）とを互いに直径を有する面で結合した状態であること
から、第９図に示すように、その中心線ｆｔｏ方向の寸
法が最小寸法（本例：Ｒ＋ｒ＝９．８．）である。軸支
持具２３は、その開口部４７の幅Ｗ（本例：Ｗ＝９．９
ｍ＞が上記中心線１０方向の軸３４両端部と嵌合し、そ
の挿入部４８が間口部４７の一方の内面４９と接し、か
つ軸３４両端部の半径Ｒの半円周と嵌合する円周部分（
本例：Ｄ＝１０．１＃）を形成している。その結果、軸
３４の両端部は、中心線ｎｏ力方向おいてのみ、軸支持
具２３の開口部４７を通して挿入部４８に挿入すること
ができ、挿入後は軸３４がその中心軸のまわりで回転自
在に軸支持具２３に支持される。また、半径Ｒを有する
軸３４の半円周部分と挿入部４８との嵌合により、外部
の振動及び衝撃を受けても、離脱することなく保持する
ことができる。なお、離脱したい時は、前述した挿入時
の逆の手順で行うことができる。

このような基板抑え具３３を２本用意して、前述した蓋
４の軸支持具（２３，２３）、（２４，２４）にそれぞ
れ挿入し、複数の基板１を林立させた中箱２を外箱３に
収納し、その外箱３に蓋４を被せることにより、基板抑
え具３３の当接面３９及び４０は第１０図の破線で示す
ように、基板１の上方端面に相当する頭部端面１２及び
基板１の隣接端面に相当する側部端面１３．１４とそれ
ぞれ当接する。そして、前述したような傾斜面４１及び
４２を形成した場合、基板１の頭部端面１２及び側部端
面１３．１４との当接が容易になる。それは、当接面３
９及び４０が頭部端面１２及び側部端面１３．１４にそ
れぞれ当接する直前では、第１０図の実線で示すように
、当接面３９と傾斜面４１と交叉する稜部が頭部端面１
２と当接してから、軸３４が矢印で示すように垂直方向
に降下し、その軸３４の降下に従って、上記稜部が頭部
端面１２上を互いに中央に向かって、過度な摩擦を避け
て進行するからである。このように摩擦を少なくする他
の手段としては、第１２図に示すような曲面状の当接部
５７にしてもよい。そして、これらの当接面３９と傾斜
面４１及び当接面４０と傾斜面４２は、それぞれ当接部
３７及び３８の引き出し方向中央に基板１の厚さ寸法（
本例：　　２．２ｍ）より大きい幅寸法（本例：２．５
＃ｌ＃ｌ）の溝を形成した、その溝の底面に相当する。

更に、溝の両側にテーパー加工して、基板１の頭部端面
１２及び側部端面１３．１４との当接を一層容易にして
いる（第５図）。

以上の実施例は基板抑え具を２本使用して、基板の頭部
及び側面の両端面を当接したが、第１１図に示すように
１本の基板抑え具３４で基板１の頭部端面１２の中央部
分を当接してもよい。また、基板の主表面形状が正方形
であったが、本発明はこれに限定されず、長方形はもと
より５角形などの多角形でもよく、更に、第１２図に示
すように円形の基板５０でもよい。第１２図に示す実施
例では、基板５０の上方端面及び下方端面は基板５０の
垂直方向中心線１＋　とそれぞれ交叉する上端及び下端
にり水平方向中心線Ｌ２側に片寄った位置の端面である
。

基板抑え具５１は前実施例と同様、基板５０の上方端面
の周辺に垂直方向中心線Ｌ＋　に対称的に設置され、そ
の軸５２の側面から１対の連結部５３．５４を引き出し
、その先端に当接部５５．５６を備えている。

本例の当接部５５．５６には、溝加工した底面に曲面状
の当接面５７．５８を形成している。この基板抑え具５
１の軸５２も前実施例と同様、所定の軸支持具に挿入さ
れ、その中心軸のまわりで回転自在に支持される。この
基板抑え具５１にも金属板４３と同様な金属板を埋設し
てもよい。一方、基板５０の下方端面は中箱又は外箱と
接合した基板支持部５９．６０で支持される。更にまた
、軸３４の両端部断面について、半径ｒの半円に代えて
、曲率半径ｒの曲面を形成し、その曲面の両端を半径Ｒ
の半円の直径と結線した形状にしてもよい。

〔発明の効果〕

本発明の基板保持構造によれば、基板の上方端面を当接
する１対の当接部を連結した軸を軸支持具に挿入した後
、外部の振動・−衝撃に対して離脱することなく回転自
在に支持することができ、かつ離脱したい時のみそれを
行うことができる。また、基板の垂直方向中心線と対称
に基板抑え具を設置して、その基板抑え具の１対の当接
部で基板の上方端面とその上方端より下方側で隣接する
隣接端面とを同時に当接した場合には、基板は、中箱又
は外箱の内側面に形成された溝と接することなく保持さ
れ、どの方向からの振動・衝撃に対しても完全に保持固
定することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第２図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第３
図は外箱を示づ斜視図、第４図は蓋を示す斜視図、第５
図は基板抑え具を示す斜視図、第６図は金屈板を示す斜
視図、第７図は基板抑え具の断面図、第８図は基板抑え
具の側面図、第９図は基板抑え具の軸を軸支持具に挿入
する状態を示す断面図、第１０図は基板抑え具の当接部
と基板の上方端面との当接を示す断面図、第１１図は他
の実施例を示す断面図及び第１２図はもう一つの他の実
施例を示す断面図である。′ １．５０・・・基板、１０．１１．５９．６０・・・基
板支持部、１２・・・頭部端面、１３．１４・・・側部
端面、１５・・・底部端面、２３．２４・・・軸支持具
、３３゜５１・・・基板抑え具、３４．５２・・・軸、
３５．３６．５３、５４・・・１対の連結部、３７．３
８．５５．５６・・・１対の当接部、３９．４０．５７
．５８・・・１対の当接面、４１．４２・・・傾斜面、
４７・・・開口部、４８・・・挿入部

Claims

【特許請求の範囲】

（１）互いに所定間隔を置いて平行に林立し、下方端面
が支持された複数の基板の上方端面を当接して、前記基
板を保持する構造において、前記基板の端面を当接する
１対の当接部を連結した軸と、前記軸の両端部を挿入部
に挿入して中心軸のまわりに回転自在に支持する軸支持
具とを備え、前記軸の両端部断面が半径Ｒの半円の直径
中心線上に前記半径Ｒより小さい曲率半径にを有する曲
面を形成した形状であり、前記軸支持具の開口部が前記
１対の当接部の中心線方向における前記軸の両端部と嵌
合する幅寸法を有し、かつ前記挿入部断面が前記開口部
の一方の内面と接して前記軸の両端部断面の半径Ｒの半
円周と嵌合する円周部分を備えていることを特徴とする
基板保持構造。