JPS61203385A - 基板保持構造 - Google Patents
基板保持構造Info
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- JPS61203385A JPS61203385A JP4074685A JP4074685A JPS61203385A JP S61203385 A JPS61203385 A JP S61203385A JP 4074685 A JP4074685 A JP 4074685A JP 4074685 A JP4074685 A JP 4074685A JP S61203385 A JPS61203385 A JP S61203385A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shaft
- substrate
- board
- radius
- box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Details Of Rigid Or Semi-Rigid Containers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス、石英、半導体素材などの基板、又は
これら基板に各種薄膜を被着させた膜付き基板(以下、
単に「基板」という。)の収納箱における基板保持構造
に関する。この基板収納箱は、基板の製造工程間及び製
造後の保管や移動時、例えば販売の輸送時などに利用さ
れる。
これら基板に各種薄膜を被着させた膜付き基板(以下、
単に「基板」という。)の収納箱における基板保持構造
に関する。この基板収納箱は、基板の製造工程間及び製
造後の保管や移動時、例えば販売の輸送時などに利用さ
れる。
従来の収納箱は、数枚又は数十枚の基板を収容するため
に、互いに所定間隔を置いて垂直方向に平行に林立して
、各基板の下方端面を支持し、上方端面を当接する構造
であった。上記林立手段としては、箱の内側面に互いに
対向する1対の溝をその箱の開口部側から底部側に向け
て複数個形成し、基板の主表面と直交する方向に延在し
た基板支持部を箱の底部側に形成して、各1対の溝に沿
って基板の主要部分を入れて、その下方端面を上記基板
支持部で支持している。そして、上記当接手段としては
、基板主表面と直交する方向に弾性体を向けて、蓋の内
側上面に取り付け、この弾性体を箱の開口部から突き出
た各基板の上方端面に押し付けている。そして、この弾
性体を蓋の内側上面に取り付ける手段としては、蓋の内
側上面に溝を設け、一方、その溝と嵌合する支持部を弾
性体に設けて、この支持部を溝に挿入して弾性体を一時
的に保持して、前述したように各基板の上方端面を押し
付けている。
に、互いに所定間隔を置いて垂直方向に平行に林立して
、各基板の下方端面を支持し、上方端面を当接する構造
であった。上記林立手段としては、箱の内側面に互いに
対向する1対の溝をその箱の開口部側から底部側に向け
て複数個形成し、基板の主表面と直交する方向に延在し
た基板支持部を箱の底部側に形成して、各1対の溝に沿
って基板の主要部分を入れて、その下方端面を上記基板
支持部で支持している。そして、上記当接手段としては
、基板主表面と直交する方向に弾性体を向けて、蓋の内
側上面に取り付け、この弾性体を箱の開口部から突き出
た各基板の上方端面に押し付けている。そして、この弾
性体を蓋の内側上面に取り付ける手段としては、蓋の内
側上面に溝を設け、一方、その溝と嵌合する支持部を弾
性体に設けて、この支持部を溝に挿入して弾性体を一時
的に保持して、前述したように各基板の上方端面を押し
付けている。
しかしながら、上記弾性体は、複数の基板を収納してい
る時、各基板の上方端面を押し付けている状態にあるこ
とから、lll1t脱することはないが、複数の基板を
外部に取り出した、いわゆる空箱時には、押し付ける対
象物がなく、前述した溝と支持部との嵌合による一時的
な保持状態になり、振動や衝撃によりその保持が解かれ
て溝から離脱しやすい。そして、弾性体は、箱の内壁と
衝突し、不快音を発生するのみならず、その弾性体に機
械的強度を高くした材料を使用した場合には、通常樹脂
で成形加工された箱の内部構造を破損させるおそれがあ
った。
る時、各基板の上方端面を押し付けている状態にあるこ
とから、lll1t脱することはないが、複数の基板を
外部に取り出した、いわゆる空箱時には、押し付ける対
象物がなく、前述した溝と支持部との嵌合による一時的
な保持状態になり、振動や衝撃によりその保持が解かれ
て溝から離脱しやすい。そして、弾性体は、箱の内壁と
衝突し、不快音を発生するのみならず、その弾性体に機
械的強度を高くした材料を使用した場合には、通常樹脂
で成形加工された箱の内部構造を破損させるおそれがあ
った。
本発明は、上記した問題点を解消するためになされたも
のであり、基板の端面を当接する1対の当接部を連結し
た軸を軸支持具に挿入した後、その軸が外部の振動・衝
撃を受けても軸支持具から離脱することを防止し、かつ
離脱したい時のみそれを行うことのできる基板保持構造
を提供することである。
のであり、基板の端面を当接する1対の当接部を連結し
た軸を軸支持具に挿入した後、その軸が外部の振動・衝
撃を受けても軸支持具から離脱することを防止し、かつ
離脱したい時のみそれを行うことのできる基板保持構造
を提供することである。
本発明による基板保持構造は、上記目的を達成させるた
めになされたものであり、互いに所定間隔を置いて平行
に林立し、下方端面が支持された複数の基板の上方端面
を当接して、これら基板を保持する構造において、各基
板の端面を当接する1対の当接部を連結した軸と、この
軸の両端部を、その挿入部に挿入して中心軸のまわりに
回転自在に支持する軸支持具とを備え、軸の両端部断面
が半径Rの半円の直径中心線上に半径Rより小さい曲率
半径にを有する曲面を形成した形状であり、軸支持具の
開口部が1対の当接部の中心線方向における軸の両端部
と嵌合する幅寸法を有し、かつ挿入部断面が開口部の一
方の内面と接して軸の両端部断面の半径Rの半円周と嵌
合する円周部分を備えていることを特徴としている。
めになされたものであり、互いに所定間隔を置いて平行
に林立し、下方端面が支持された複数の基板の上方端面
を当接して、これら基板を保持する構造において、各基
板の端面を当接する1対の当接部を連結した軸と、この
軸の両端部を、その挿入部に挿入して中心軸のまわりに
回転自在に支持する軸支持具とを備え、軸の両端部断面
が半径Rの半円の直径中心線上に半径Rより小さい曲率
半径にを有する曲面を形成した形状であり、軸支持具の
開口部が1対の当接部の中心線方向における軸の両端部
と嵌合する幅寸法を有し、かつ挿入部断面が開口部の一
方の内面と接して軸の両端部断面の半径Rの半円周と嵌
合する円周部分を備えていることを特徴としている。
(作 用)
本発明の基板保持構造によれば、基板収納時はもとより
、空箱時においても軸の半円周部分と軸支持具の挿入部
とが嵌合していることから、外部の振動及び衝撃を受け
ても軸を挿入部内で回転させるだけで、離脱することな
く保持することができ、また、軸を挿入し又は離脱した
い時は、軸の最も小さい半径寸法を通して軸の開口部を
通過することができる。
、空箱時においても軸の半円周部分と軸支持具の挿入部
とが嵌合していることから、外部の振動及び衝撃を受け
ても軸を挿入部内で回転させるだけで、離脱することな
く保持することができ、また、軸を挿入し又は離脱した
い時は、軸の最も小さい半径寸法を通して軸の開口部を
通過することができる。
(実施例)
第1図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第2図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第3
図は外箱を示す斜視図、第4図は蓋を示す斜視図、第5
図は基板抑え具を示す斜視図、第6図は金属板を示す斜
視図、第7図は基板抑え具の断面図、第8図は基板抑え
具の側面図、第9図は基板抑え具を軸支持具に挿入する
状態を示す断面図、及び第10図は基板抑え具による基
板の保持直前状態を示す断面図である。
第2図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第3
図は外箱を示す斜視図、第4図は蓋を示す斜視図、第5
図は基板抑え具を示す斜視図、第6図は金属板を示す斜
視図、第7図は基板抑え具の断面図、第8図は基板抑え
具の側面図、第9図は基板抑え具を軸支持具に挿入する
状態を示す断面図、及び第10図は基板抑え具による基
板の保持直前状態を示す断面図である。
本実施例の基板保持構造は、主表面が正方形であるガラ
ス板(本例:1510履x2.2m>の−主表面上にク
ロム膜を被着させたフォトマスクブランクとなる基板1
を中箱2に収納し、この中箱2を外箱3に収納し、この
外箱3の開口部側に蓋4を被せる構造であるく第1図)
。基板1の収納箱として中箱を使用せずに外箱を使用す
る構造例も本発明では有効であるが、この構造例では外
箱の内側面に対向して形成した複数の溝の溝底部と外箱
の底面も有する構成となる。一方、フォトマスクブラン
クやそのクロム膜を遮光性膜として選択的にパターン化
してなるフォトマスク、あるいは半導体基板においては
、数μmオーダー又はそれ以下の微細なゴミを除去しな
ければならないことから、基板収納箱のどの部分も充分
に洗浄することを要する。そこで、前述した外箱を洗浄
した場合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細なゴ
ミを充分に除去することが困難である場合があることか
ら、そのゴミの除去を容易にするために、溝の底部と外
箱の底面を開口させた中箱が使用される。
ス板(本例:1510履x2.2m>の−主表面上にク
ロム膜を被着させたフォトマスクブランクとなる基板1
を中箱2に収納し、この中箱2を外箱3に収納し、この
外箱3の開口部側に蓋4を被せる構造であるく第1図)
。基板1の収納箱として中箱を使用せずに外箱を使用す
る構造例も本発明では有効であるが、この構造例では外
箱の内側面に対向して形成した複数の溝の溝底部と外箱
の底面も有する構成となる。一方、フォトマスクブラン
クやそのクロム膜を遮光性膜として選択的にパターン化
してなるフォトマスク、あるいは半導体基板においては
、数μmオーダー又はそれ以下の微細なゴミを除去しな
ければならないことから、基板収納箱のどの部分も充分
に洗浄することを要する。そこで、前述した外箱を洗浄
した場合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細なゴ
ミを充分に除去することが困難である場合があることか
ら、そのゴミの除去を容易にするために、溝の底部と外
箱の底面を開口させた中箱が使用される。
本実施例の中箱2は、開口部側(上方)から底面側(下
方)に向けて複数の溝5.6を一方の互いに対向する内
側面に所定間隔(本例:12#I)を置いて1対をなし
て形成し、その溝5,6の中箱底面側の底部と中箱底面
にはそれぞれ開口窓7゜8と開口部9が設けられ、溝5
.6の開口部下方の中箱の底面側には基板支持部10.
11が形成され、この基板支持部10.11で基板1の
各端面(頭部端面12、側部端面13.14、底部端面
15)のうち、底部端面15を支持している(第1図、
第2図)。そして、中箱2自体を後述する外箱3に収納
して固定するための凹面部16.17がそれぞれ中箱2
の他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の
途中まで形成されている(第2図)。なお、中箱2の開
口部側の上端面18から基板支持部to、 iiまでの
高さ寸法(本例: 115m5+)は、基板1の高さ
寸法(本例: 151aII)の主要部分に相当し、
基板1を中箱2に収納した時、基板1の上方部分(本例
:36s)が中箱2の上端面18からとび出る構造にな
っている(第1図)。次に、複数の基板1を1対の溝5
,6に1枚ずつ入れると、これらの基板は所定間隔を置
いて互いに平行に林立する。
方)に向けて複数の溝5.6を一方の互いに対向する内
側面に所定間隔(本例:12#I)を置いて1対をなし
て形成し、その溝5,6の中箱底面側の底部と中箱底面
にはそれぞれ開口窓7゜8と開口部9が設けられ、溝5
.6の開口部下方の中箱の底面側には基板支持部10.
11が形成され、この基板支持部10.11で基板1の
各端面(頭部端面12、側部端面13.14、底部端面
15)のうち、底部端面15を支持している(第1図、
第2図)。そして、中箱2自体を後述する外箱3に収納
して固定するための凹面部16.17がそれぞれ中箱2
の他方の互いに対向する外側面に底面側から開口部側の
途中まで形成されている(第2図)。なお、中箱2の開
口部側の上端面18から基板支持部to、 iiまでの
高さ寸法(本例: 115m5+)は、基板1の高さ
寸法(本例: 151aII)の主要部分に相当し、
基板1を中箱2に収納した時、基板1の上方部分(本例
:36s)が中箱2の上端面18からとび出る構造にな
っている(第1図)。次に、複数の基板1を1対の溝5
,6に1枚ずつ入れると、これらの基板は所定間隔を置
いて互いに平行に林立する。
本例での林立は垂直方向であるが、傾斜させてもよい。
外箱3は、前述した中箱2の凹面部16.17と当接す
るに適合した突出部19.20を、互いに対向する内側
面に形成し、その突出部19.20の底部は外箱底面と
も接合している(第3図)。その他、外箱3はその開口
部側に蓋4を被せるために、外箱3側に凸部21.22
が形成され、後述する蓋4側の耳部29.30に形成さ
れた凹部31.32と嵌合して挿入される(第2図、第
3図)。
るに適合した突出部19.20を、互いに対向する内側
面に形成し、その突出部19.20の底部は外箱底面と
も接合している(第3図)。その他、外箱3はその開口
部側に蓋4を被せるために、外箱3側に凸部21.22
が形成され、後述する蓋4側の耳部29.30に形成さ
れた凹部31.32と嵌合して挿入される(第2図、第
3図)。
蓋4の内側には、後述する基板抑え具33の軸34を挿
入して、その軸33の両端部を挿入して、その中心軸の
まわりに回転自在に支持する軸支持具(23,23)、
(24,24)を一方の内側面の両端近傍で対をなすと
ともに互いに対向させて形成し、8対の軸支持具(23
,23)、(24,24)の中央近傍に軸を単に支持す
る支持具25.26を形成している。そして、中箱2の
開口部側上端面12と当接して、中箱2を垂直方向にお
いて支持固定するストッパー(27,27)、(28,
28)を他方の内側面の両側近傍で対をなすとともに互
いに対向させて形成している(第4図)。
入して、その軸33の両端部を挿入して、その中心軸の
まわりに回転自在に支持する軸支持具(23,23)、
(24,24)を一方の内側面の両端近傍で対をなすと
ともに互いに対向させて形成し、8対の軸支持具(23
,23)、(24,24)の中央近傍に軸を単に支持す
る支持具25.26を形成している。そして、中箱2の
開口部側上端面12と当接して、中箱2を垂直方向にお
いて支持固定するストッパー(27,27)、(28,
28)を他方の内側面の両側近傍で対をなすとともに互
いに対向させて形成している(第4図)。
以上の中箱2.外箱3及び蓋4の材料は、ポリプロピレ
ン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ABS等の
各種樹脂から適宜選択される。
ン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミド、ABS等の
各種樹脂から適宜選択される。
次に、基板抑え具33は、第5図に示すように、断面が
半円とその半円の直径より小さい直径の半円を結合した
形状であって、直線状に延在した軸34と、その軸34
の小直径半円の側面から断面において直交する方向に引
き出した複数対の連結部35゜36と、その連結部35
.36の先端に断面円形に形成した複数対の当接部37
.38とを備えている。複数対の連結部35.36と当
接部37.38は、前述した中箱2の溝5,6の所定間
隔と対応した間隔で配列されている。そして、当接部3
7及び38には、当接面39及び40をそれぞれ互いに
直交する方向に形成し、更に、当接面39及び40の先
端側にそれぞれ傾斜面41及び42を形成している。傾
斜面41及び42はそれぞれ当接面39及び40と、当
接部37及び38の内部から見て鈍角(本例:140°
)をなして互いに交叉する面である。
半円とその半円の直径より小さい直径の半円を結合した
形状であって、直線状に延在した軸34と、その軸34
の小直径半円の側面から断面において直交する方向に引
き出した複数対の連結部35゜36と、その連結部35
.36の先端に断面円形に形成した複数対の当接部37
.38とを備えている。複数対の連結部35.36と当
接部37.38は、前述した中箱2の溝5,6の所定間
隔と対応した間隔で配列されている。そして、当接部3
7及び38には、当接面39及び40をそれぞれ互いに
直交する方向に形成し、更に、当接面39及び40の先
端側にそれぞれ傾斜面41及び42を形成している。傾
斜面41及び42はそれぞれ当接面39及び40と、当
接部37及び38の内部から見て鈍角(本例:140°
)をなして互いに交叉する面である。
上記した基板抑え具33は、その材料として前述した中
箱2などと同様な樹脂から適宜選択して使用し、第6図
に示す金属板43を内部に、特に軸34と当接部37.
38の内部に埋設して成形される。この金属板43は、
ステンレス、リン青銅、ベリリウム銅、洋白などの金属
材料(厚さ:0.1〜0,511IIm)から適宜選択
され、前述した基板抑え具33の所定間隔と同様に配列
して連結し、中心軸で直交させている。直交部の穴44
と両端の切り欠き45.46は、第7図に示すように、
それぞれ軸34と当接部37゜38における接合を連続
化し、基板抑え具33の機械的強度を一層強化している
。連結部35.36の背面には、第8図に示すように、
金属板43が露出している。そし工、上記したように金
属板43を埋設した基板抑え具33は、当接部37.3
8において弾性を有していることから、当接面39.4
0に対して(辰動・Ii撃を与えても、その振動・衝撃
を緩衝させることができる。
箱2などと同様な樹脂から適宜選択して使用し、第6図
に示す金属板43を内部に、特に軸34と当接部37.
38の内部に埋設して成形される。この金属板43は、
ステンレス、リン青銅、ベリリウム銅、洋白などの金属
材料(厚さ:0.1〜0,511IIm)から適宜選択
され、前述した基板抑え具33の所定間隔と同様に配列
して連結し、中心軸で直交させている。直交部の穴44
と両端の切り欠き45.46は、第7図に示すように、
それぞれ軸34と当接部37゜38における接合を連続
化し、基板抑え具33の機械的強度を一層強化している
。連結部35.36の背面には、第8図に示すように、
金属板43が露出している。そし工、上記したように金
属板43を埋設した基板抑え具33は、当接部37.3
8において弾性を有していることから、当接面39.4
0に対して(辰動・Ii撃を与えても、その振動・衝撃
を緩衝させることができる。
軸34の両端部は、その断面が半径Rの半円(本例:
R= 5.0# )と半径rの半円(本例:r=48M
)とを互いに直径を有する面で結合した状態であること
から、第9図に示すように、その中心線fto方向の寸
法が最小寸法(本例:R+r=9.8.)である。軸支
持具23は、その開口部47の幅W(本例:W=9.9
m>が上記中心線10方向の軸34両端部と嵌合し、そ
の挿入部48が間口部47の一方の内面49と接し、か
つ軸34両端部の半径Rの半円周と嵌合する円周部分(
本例:D=10.1#)を形成している。その結果、軸
34の両端部は、中心線no力方向おいてのみ、軸支持
具23の開口部47を通して挿入部48に挿入すること
ができ、挿入後は軸34がその中心軸のまわりで回転自
在に軸支持具23に支持される。また、半径Rを有する
軸34の半円周部分と挿入部48との嵌合により、外部
の振動及び衝撃を受けても、離脱することなく保持する
ことができる。なお、離脱したい時は、前述した挿入時
の逆の手順で行うことができる。
R= 5.0# )と半径rの半円(本例:r=48M
)とを互いに直径を有する面で結合した状態であること
から、第9図に示すように、その中心線fto方向の寸
法が最小寸法(本例:R+r=9.8.)である。軸支
持具23は、その開口部47の幅W(本例:W=9.9
m>が上記中心線10方向の軸34両端部と嵌合し、そ
の挿入部48が間口部47の一方の内面49と接し、か
つ軸34両端部の半径Rの半円周と嵌合する円周部分(
本例:D=10.1#)を形成している。その結果、軸
34の両端部は、中心線no力方向おいてのみ、軸支持
具23の開口部47を通して挿入部48に挿入すること
ができ、挿入後は軸34がその中心軸のまわりで回転自
在に軸支持具23に支持される。また、半径Rを有する
軸34の半円周部分と挿入部48との嵌合により、外部
の振動及び衝撃を受けても、離脱することなく保持する
ことができる。なお、離脱したい時は、前述した挿入時
の逆の手順で行うことができる。
このような基板抑え具33を2本用意して、前述した蓋
4の軸支持具(23,23)、(24,24)にそれぞ
れ挿入し、複数の基板1を林立させた中箱2を外箱3に
収納し、その外箱3に蓋4を被せることにより、基板抑
え具33の当接面39及び40は第10図の破線で示す
ように、基板1の上方端面に相当する頭部端面12及び
基板1の隣接端面に相当する側部端面13.14とそれ
ぞれ当接する。そして、前述したような傾斜面41及び
42を形成した場合、基板1の頭部端面12及び側部端
面13.14との当接が容易になる。それは、当接面3
9及び40が頭部端面12及び側部端面13.14にそ
れぞれ当接する直前では、第10図の実線で示すように
、当接面39と傾斜面41と交叉する稜部が頭部端面1
2と当接してから、軸34が矢印で示すように垂直方向
に降下し、その軸34の降下に従って、上記稜部が頭部
端面12上を互いに中央に向かって、過度な摩擦を避け
て進行するからである。このように摩擦を少なくする他
の手段としては、第12図に示すような曲面状の当接部
57にしてもよい。そして、これらの当接面39と傾斜
面41及び当接面40と傾斜面42は、それぞれ当接部
37及び38の引き出し方向中央に基板1の厚さ寸法(
本例: 2.2m)より大きい幅寸法(本例:2.5
#l#l)の溝を形成した、その溝の底面に相当する。
4の軸支持具(23,23)、(24,24)にそれぞ
れ挿入し、複数の基板1を林立させた中箱2を外箱3に
収納し、その外箱3に蓋4を被せることにより、基板抑
え具33の当接面39及び40は第10図の破線で示す
ように、基板1の上方端面に相当する頭部端面12及び
基板1の隣接端面に相当する側部端面13.14とそれ
ぞれ当接する。そして、前述したような傾斜面41及び
42を形成した場合、基板1の頭部端面12及び側部端
面13.14との当接が容易になる。それは、当接面3
9及び40が頭部端面12及び側部端面13.14にそ
れぞれ当接する直前では、第10図の実線で示すように
、当接面39と傾斜面41と交叉する稜部が頭部端面1
2と当接してから、軸34が矢印で示すように垂直方向
に降下し、その軸34の降下に従って、上記稜部が頭部
端面12上を互いに中央に向かって、過度な摩擦を避け
て進行するからである。このように摩擦を少なくする他
の手段としては、第12図に示すような曲面状の当接部
57にしてもよい。そして、これらの当接面39と傾斜
面41及び当接面40と傾斜面42は、それぞれ当接部
37及び38の引き出し方向中央に基板1の厚さ寸法(
本例: 2.2m)より大きい幅寸法(本例:2.5
#l#l)の溝を形成した、その溝の底面に相当する。
更に、溝の両側にテーパー加工して、基板1の頭部端面
12及び側部端面13.14との当接を一層容易にして
いる(第5図)。
12及び側部端面13.14との当接を一層容易にして
いる(第5図)。
以上の実施例は基板抑え具を2本使用して、基板の頭部
及び側面の両端面を当接したが、第11図に示すように
1本の基板抑え具34で基板1の頭部端面12の中央部
分を当接してもよい。また、基板の主表面形状が正方形
であったが、本発明はこれに限定されず、長方形はもと
より5角形などの多角形でもよく、更に、第12図に示
すように円形の基板50でもよい。第12図に示す実施
例では、基板50の上方端面及び下方端面は基板50の
垂直方向中心線1+ とそれぞれ交叉する上端及び下端
にり水平方向中心線L2側に片寄った位置の端面である
。
及び側面の両端面を当接したが、第11図に示すように
1本の基板抑え具34で基板1の頭部端面12の中央部
分を当接してもよい。また、基板の主表面形状が正方形
であったが、本発明はこれに限定されず、長方形はもと
より5角形などの多角形でもよく、更に、第12図に示
すように円形の基板50でもよい。第12図に示す実施
例では、基板50の上方端面及び下方端面は基板50の
垂直方向中心線1+ とそれぞれ交叉する上端及び下端
にり水平方向中心線L2側に片寄った位置の端面である
。
基板抑え具51は前実施例と同様、基板50の上方端面
の周辺に垂直方向中心線L+ に対称的に設置され、そ
の軸52の側面から1対の連結部53.54を引き出し
、その先端に当接部55.56を備えている。
の周辺に垂直方向中心線L+ に対称的に設置され、そ
の軸52の側面から1対の連結部53.54を引き出し
、その先端に当接部55.56を備えている。
本例の当接部55.56には、溝加工した底面に曲面状
の当接面57.58を形成している。この基板抑え具5
1の軸52も前実施例と同様、所定の軸支持具に挿入さ
れ、その中心軸のまわりで回転自在に支持される。この
基板抑え具51にも金属板43と同様な金属板を埋設し
てもよい。一方、基板50の下方端面は中箱又は外箱と
接合した基板支持部59.60で支持される。更にまた
、軸34の両端部断面について、半径rの半円に代えて
、曲率半径rの曲面を形成し、その曲面の両端を半径R
の半円の直径と結線した形状にしてもよい。
の当接面57.58を形成している。この基板抑え具5
1の軸52も前実施例と同様、所定の軸支持具に挿入さ
れ、その中心軸のまわりで回転自在に支持される。この
基板抑え具51にも金属板43と同様な金属板を埋設し
てもよい。一方、基板50の下方端面は中箱又は外箱と
接合した基板支持部59.60で支持される。更にまた
、軸34の両端部断面について、半径rの半円に代えて
、曲率半径rの曲面を形成し、その曲面の両端を半径R
の半円の直径と結線した形状にしてもよい。
本発明の基板保持構造によれば、基板の上方端面を当接
する1対の当接部を連結した軸を軸支持具に挿入した後
、外部の振動・−衝撃に対して離脱することなく回転自
在に支持することができ、かつ離脱したい時のみそれを
行うことができる。また、基板の垂直方向中心線と対称
に基板抑え具を設置して、その基板抑え具の1対の当接
部で基板の上方端面とその上方端より下方側で隣接する
隣接端面とを同時に当接した場合には、基板は、中箱又
は外箱の内側面に形成された溝と接することなく保持さ
れ、どの方向からの振動・衝撃に対しても完全に保持固
定することができる。
する1対の当接部を連結した軸を軸支持具に挿入した後
、外部の振動・−衝撃に対して離脱することなく回転自
在に支持することができ、かつ離脱したい時のみそれを
行うことができる。また、基板の垂直方向中心線と対称
に基板抑え具を設置して、その基板抑え具の1対の当接
部で基板の上方端面とその上方端より下方側で隣接する
隣接端面とを同時に当接した場合には、基板は、中箱又
は外箱の内側面に形成された溝と接することなく保持さ
れ、どの方向からの振動・衝撃に対しても完全に保持固
定することができる。
第1図は本発明の基板保持構造の実施例を示す断面図、
第2図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第3
図は外箱を示づ斜視図、第4図は蓋を示す斜視図、第5
図は基板抑え具を示す斜視図、第6図は金屈板を示す斜
視図、第7図は基板抑え具の断面図、第8図は基板抑え
具の側面図、第9図は基板抑え具の軸を軸支持具に挿入
する状態を示す断面図、第10図は基板抑え具の当接部
と基板の上方端面との当接を示す断面図、第11図は他
の実施例を示す断面図及び第12図はもう一つの他の実
施例を示す断面図である。′ 1.50・・・基板、10.11.59.60・・・基
板支持部、12・・・頭部端面、13.14・・・側部
端面、15・・・底部端面、23.24・・・軸支持具
、33゜51・・・基板抑え具、34.52・・・軸、
35.36.53、54・・・1対の連結部、37.3
8.55.56・・・1対の当接部、39.40.57
.58・・・1対の当接面、41.42・・・傾斜面、
47・・・開口部、48・・・挿入部
第2図は基板を中箱に収納する状態を示す斜視図、第3
図は外箱を示づ斜視図、第4図は蓋を示す斜視図、第5
図は基板抑え具を示す斜視図、第6図は金屈板を示す斜
視図、第7図は基板抑え具の断面図、第8図は基板抑え
具の側面図、第9図は基板抑え具の軸を軸支持具に挿入
する状態を示す断面図、第10図は基板抑え具の当接部
と基板の上方端面との当接を示す断面図、第11図は他
の実施例を示す断面図及び第12図はもう一つの他の実
施例を示す断面図である。′ 1.50・・・基板、10.11.59.60・・・基
板支持部、12・・・頭部端面、13.14・・・側部
端面、15・・・底部端面、23.24・・・軸支持具
、33゜51・・・基板抑え具、34.52・・・軸、
35.36.53、54・・・1対の連結部、37.3
8.55.56・・・1対の当接部、39.40.57
.58・・・1対の当接面、41.42・・・傾斜面、
47・・・開口部、48・・・挿入部
Claims (1)
- (1)互いに所定間隔を置いて平行に林立し、下方端面
が支持された複数の基板の上方端面を当接して、前記基
板を保持する構造において、前記基板の端面を当接する
1対の当接部を連結した軸と、前記軸の両端部を挿入部
に挿入して中心軸のまわりに回転自在に支持する軸支持
具とを備え、前記軸の両端部断面が半径Rの半円の直径
中心線上に前記半径Rより小さい曲率半径にを有する曲
面を形成した形状であり、前記軸支持具の開口部が前記
1対の当接部の中心線方向における前記軸の両端部と嵌
合する幅寸法を有し、かつ前記挿入部断面が前記開口部
の一方の内面と接して前記軸の両端部断面の半径Rの半
円周と嵌合する円周部分を備えていることを特徴とする
基板保持構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4074685A JPS61203385A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 基板保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4074685A JPS61203385A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 基板保持構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61203385A true JPS61203385A (ja) | 1986-09-09 |
JPH0139654B2 JPH0139654B2 (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=12589195
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4074685A Granted JPS61203385A (ja) | 1985-02-28 | 1985-02-28 | 基板保持構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61203385A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02306645A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-20 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 検査装置のウエハロード方法および運搬ケース載置台構造 |
-
1985
- 1985-02-28 JP JP4074685A patent/JPS61203385A/ja active Granted
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02306645A (ja) * | 1989-05-22 | 1990-12-20 | Hitachi Electron Eng Co Ltd | 検査装置のウエハロード方法および運搬ケース載置台構造 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0139654B2 (ja) | 1989-08-22 |
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