JPH0139653B2 - - Google Patents
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- JPH0139653B2 JPH0139653B2 JP60037102A JP3710285A JPH0139653B2 JP H0139653 B2 JPH0139653 B2 JP H0139653B2 JP 60037102 A JP60037102 A JP 60037102A JP 3710285 A JP3710285 A JP 3710285A JP H0139653 B2 JPH0139653 B2 JP H0139653B2
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Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、ガラス、石英、半導体素材などの基
板、又はこれら基板に各種薄膜を被着させた膜付
き基板（以下、単に「基板」という。）の収納箱
における基板保持構造に関する。この基板収納箱
は、基板の製造工程間及び製造後の保管や移動
時、例えば販売の輸送時などに利用される。
板、又はこれら基板に各種薄膜を被着させた膜付
き基板（以下、単に「基板」という。）の収納箱
における基板保持構造に関する。この基板収納箱
は、基板の製造工程間及び製造後の保管や移動
時、例えば販売の輸送時などに利用される。
従来の収納箱は、数枚又は数十枚の基板を収容
するために、互いに所定間隔を置いて垂直方向に
平行に林立して、各基板の下方端面を支持し、上
方端面を当接する構造であつた。上記林立手段と
しては、箱の内側面に互いに対向する１対の溝を
その箱の開口部側から底部側に向けて複数個形成
し、基板の主表面と直交する方向に延在した基板
支持部を箱の底部側に形成して、各１対の溝に沿
つて基板の主要部分を入れて、その下方端面を上
記基板支持部で支持している。そして、上記当接
手段としては、基板主表面と直交する方向に弾性
体を向けて、蓋の内側上面に取り付け、この弾性
体を箱の開口部から突き出た各基板の上方端面に
押し付けている。
するために、互いに所定間隔を置いて垂直方向に
平行に林立して、各基板の下方端面を支持し、上
方端面を当接する構造であつた。上記林立手段と
しては、箱の内側面に互いに対向する１対の溝を
その箱の開口部側から底部側に向けて複数個形成
し、基板の主表面と直交する方向に延在した基板
支持部を箱の底部側に形成して、各１対の溝に沿
つて基板の主要部分を入れて、その下方端面を上
記基板支持部で支持している。そして、上記当接
手段としては、基板主表面と直交する方向に弾性
体を向けて、蓋の内側上面に取り付け、この弾性
体を箱の開口部から突き出た各基板の上方端面に
押し付けている。
しかしながら、従来の基板収納箱は、複数の基
板を垂直方向に林立した状態で、その垂直方向に
ついては支持固定することが可能であるが、水平
方向については充分に支持固定することが不可能
であつた。すなわち、基板の主要部分が収納され
る１対の溝は、その収納作業を容易にすると共
に、基板表面にキズを付けないために、相互間距
離及び溝を構成する凹部間距離をそれぞれ基板の
水平方向の寸法及び厚さ寸法より約１mm又はそれ
以上大きくしなければならない。しかしながら、
基板収納箱を水平方向に振動させた場合、収納さ
れている基板も同方向に振動することから、基板
の上方及び下方の端面と弾性体及び底部側基板支
持部とがそれぞれ摩擦して、弾性体及び基板支持
部（何れも樹脂）が破損して、微細なゴミを発生
する問題点があつた。かゝるゴミは、基板として
半導体製造用原板であるフオトマスクや半導体基
板であつた場合、数μｍ又はそれ以下の微細加工
を行うことから、無視することができない。
板を垂直方向に林立した状態で、その垂直方向に
ついては支持固定することが可能であるが、水平
方向については充分に支持固定することが不可能
であつた。すなわち、基板の主要部分が収納され
る１対の溝は、その収納作業を容易にすると共
に、基板表面にキズを付けないために、相互間距
離及び溝を構成する凹部間距離をそれぞれ基板の
水平方向の寸法及び厚さ寸法より約１mm又はそれ
以上大きくしなければならない。しかしながら、
基板収納箱を水平方向に振動させた場合、収納さ
れている基板も同方向に振動することから、基板
の上方及び下方の端面と弾性体及び底部側基板支
持部とがそれぞれ摩擦して、弾性体及び基板支持
部（何れも樹脂）が破損して、微細なゴミを発生
する問題点があつた。かゝるゴミは、基板として
半導体製造用原板であるフオトマスクや半導体基
板であつた場合、数μｍ又はそれ以下の微細加工
を行うことから、無視することができない。
更に、基板収納箱を水平方向に衝撃させた場
合、基板と溝との衝突により、溝からも微細なゴ
ミを発生し、基板を破損させるおそれがあつた。
合、基板と溝との衝突により、溝からも微細なゴ
ミを発生し、基板を破損させるおそれがあつた。
本発明は、上記した問題点を解消するためにな
されたものであり、垂直方向のみならず水平方向
の振動に対しても基板を充分に保持固定すること
のできる基板保持構造を提供することである。
されたものであり、垂直方向のみならず水平方向
の振動に対しても基板を充分に保持固定すること
のできる基板保持構造を提供することである。
本発明は、上記目的を達成させるためになされ
たものであり、基板の下方端面については従来と
同様、箱の底部側で支持されるが、基板の上方端
面については、後記する基板抑え具を基板の垂直
方向中心線対称に設置して、当接させる基板保持
構造にしている。すなわち、本発明による基板抑
え具は、(1)、基板の上方端面の周辺に設置され、
基板主表面と直交する方向に延在し、かつ中心軸
のまわりに回転自在な軸と、(2)、上方端面とその
上方端面より基板の水平方向中心線側に隣接する
隣接端面とにそれぞれ当接する１対の当接部と、
(3)、この１対の当接部を前述した軸にそれぞれ連
結する１対の連結部とを備えている。
たものであり、基板の下方端面については従来と
同様、箱の底部側で支持されるが、基板の上方端
面については、後記する基板抑え具を基板の垂直
方向中心線対称に設置して、当接させる基板保持
構造にしている。すなわち、本発明による基板抑
え具は、(1)、基板の上方端面の周辺に設置され、
基板主表面と直交する方向に延在し、かつ中心軸
のまわりに回転自在な軸と、(2)、上方端面とその
上方端面より基板の水平方向中心線側に隣接する
隣接端面とにそれぞれ当接する１対の当接部と、
(3)、この１対の当接部を前述した軸にそれぞれ連
結する１対の連結部とを備えている。
本発明の基板保持構造によれば、基板の下方端
面は単に支持されるだけであるが、基板の上方端
面がその当接部と当接すると、１対の当接部が軸
のまわりで回転して、基板の隣接端面がその当接
部と当接することから、振動・衝撃のどの方向に
対しても完全に基板を保持することができる。
面は単に支持されるだけであるが、基板の上方端
面がその当接部と当接すると、１対の当接部が軸
のまわりで回転して、基板の隣接端面がその当接
部と当接することから、振動・衝撃のどの方向に
対しても完全に基板を保持することができる。
第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す
断面図、第２図は基板を中箱に収納する状態を示
す斜視図、第３図は外箱を示す斜視図、第４図は
蓋を示す斜視図、第５図は基板抑え具を示す斜視
図、第６図は金属板を示す斜視図、第７図は基板
抑え具の断面図、及び第８図は本発明の主要部構
成を示す断面図である。
断面図、第２図は基板を中箱に収納する状態を示
す斜視図、第３図は外箱を示す斜視図、第４図は
蓋を示す斜視図、第５図は基板抑え具を示す斜視
図、第６図は金属板を示す斜視図、第７図は基板
抑え具の断面図、及び第８図は本発明の主要部構
成を示す断面図である。
本実施例の基板保持構造は、主表面が正方形で
あるガラス板（本例：151□ ×2.2mm）の一主表面
上にクロム膜を被着させたフオトマスクブランク
となる基板１を中箱２に収納し、この中箱２を外
箱３に収納し、この外箱３の開口部側に蓋４を被
せる構造である（第１図）。基板１の収納箱とし
て中箱を使用せずに外箱を使用する構造例も本発
明では有効であるが、この構造例では外箱の内側
面に対向して形成した複数の溝の溝底部と外箱の
底面も有する構成となる。一方、フオトマスクブ
ランクやそのクロム膜を遮光性膜として選択的に
パターン化してなるフオトマスク、あるいは半導
体基板においては、数μｍオーダー又はそれ以下
の微細なゴミを除去しなければならないことか
ら、基板収納箱のどの部分も充分に洗浄すること
を要する。そこで、前述した外箱を洗浄した場
合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細なゴ
ミを充分に除去することが困難である場合がある
ことから、そのゴミの除去を容易にするために、
溝の底部と外箱の底面を開口させた中箱が使用さ
れる。
あるガラス板（本例：151□ ×2.2mm）の一主表面
上にクロム膜を被着させたフオトマスクブランク
となる基板１を中箱２に収納し、この中箱２を外
箱３に収納し、この外箱３の開口部側に蓋４を被
せる構造である（第１図）。基板１の収納箱とし
て中箱を使用せずに外箱を使用する構造例も本発
明では有効であるが、この構造例では外箱の内側
面に対向して形成した複数の溝の溝底部と外箱の
底面も有する構成となる。一方、フオトマスクブ
ランクやそのクロム膜を遮光性膜として選択的に
パターン化してなるフオトマスク、あるいは半導
体基板においては、数μｍオーダー又はそれ以下
の微細なゴミを除去しなければならないことか
ら、基板収納箱のどの部分も充分に洗浄すること
を要する。そこで、前述した外箱を洗浄した場
合、溝底部とその溝付近の底面の箇所で微細なゴ
ミを充分に除去することが困難である場合がある
ことから、そのゴミの除去を容易にするために、
溝の底部と外箱の底面を開口させた中箱が使用さ
れる。
本実施例の中箱２は、開口部側（上方）から底
面側（下方）に向けて複数の溝５，６を一方の互
いに対向する内側面に所定間隔（本例：12mm）を
置いて１対をなして形成し、その溝５，６の中箱
底面側の底部と中箱底面にはそれぞれ開口窓７，
８と開口部９が設けられ、溝５，６の開口部下方
の中箱の底面側には基板支持部１０，１１が形成
され、この基板支持部１０，１１で基板１の底部
端面１２を支持している（第１図、第２図）。そ
して、中箱２自体を後述する外箱３に収納して固
定するための凹面部１３，１４がそれぞれ中箱２
の他方の互いに対向する外側面に底面側から開口
部側の途中まで形成されている（第２図）。なお、
中箱２の開口部側の上端面２５から基板支持部１
０，１１までの高さ寸法（本例：115mm）は、基
板１の高さ寸法（本例：151mm）の主要部分に相
当し、基板１を中箱２に収納した時、基板１の上
方部分（本例：36mm）が中箱２の上端面２５から
とび出る構造となつている（第１図）。次に、複
数の基板１を１対の溝５，６に１枚ずつ入れる
と、これらの基板は所定間隔を置いて互いに平行
に林立する。本例での林立は垂直方向であるが、
傾斜させてもよい。
面側（下方）に向けて複数の溝５，６を一方の互
いに対向する内側面に所定間隔（本例：12mm）を
置いて１対をなして形成し、その溝５，６の中箱
底面側の底部と中箱底面にはそれぞれ開口窓７，
８と開口部９が設けられ、溝５，６の開口部下方
の中箱の底面側には基板支持部１０，１１が形成
され、この基板支持部１０，１１で基板１の底部
端面１２を支持している（第１図、第２図）。そ
して、中箱２自体を後述する外箱３に収納して固
定するための凹面部１３，１４がそれぞれ中箱２
の他方の互いに対向する外側面に底面側から開口
部側の途中まで形成されている（第２図）。なお、
中箱２の開口部側の上端面２５から基板支持部１
０，１１までの高さ寸法（本例：115mm）は、基
板１の高さ寸法（本例：151mm）の主要部分に相
当し、基板１を中箱２に収納した時、基板１の上
方部分（本例：36mm）が中箱２の上端面２５から
とび出る構造となつている（第１図）。次に、複
数の基板１を１対の溝５，６に１枚ずつ入れる
と、これらの基板は所定間隔を置いて互いに平行
に林立する。本例での林立は垂直方向であるが、
傾斜させてもよい。
外箱３は、前述した中箱２の凹面部１３，１４
と当接するに適合した突出部１５，１６を、互い
に対向する内側面に形成し、その突出部１５，１
６の底部は外箱底面とも接合している（第３図）。
その他、外箱３はその開口部側に蓋４を被せるた
めに、外箱３側に凸部１７，１８が形成され、蓋
４側の耳部１９，２０に形成された凹部２１，２
２と嵌合して挿入される（第１図、第２図、第３
図）。
と当接するに適合した突出部１５，１６を、互い
に対向する内側面に形成し、その突出部１５，１
６の底部は外箱底面とも接合している（第３図）。
その他、外箱３はその開口部側に蓋４を被せるた
めに、外箱３側に凸部１７，１８が形成され、蓋
４側の耳部１９，２０に形成された凹部２１，２
２と嵌合して挿入される（第１図、第２図、第３
図）。
蓋４の内側には、後述する基板抑え具２８の軸
２９を挿入して、その軸２９をその中心軸のまわ
りに回転自在に支持する軸支持具２３，２４が一
方の内側面に互いに対向させて形成し、中箱２の
開口部側上面２５と当接して、中箱２を垂直方向
において支持固定するストツパー２６，２７を他
方の内側面に互いに対向させて形成している（第
４図）。
２９を挿入して、その軸２９をその中心軸のまわ
りに回転自在に支持する軸支持具２３，２４が一
方の内側面に互いに対向させて形成し、中箱２の
開口部側上面２５と当接して、中箱２を垂直方向
において支持固定するストツパー２６，２７を他
方の内側面に互いに対向させて形成している（第
４図）。
以上の中箱２、外箱３及び蓋４の材料は、ポリ
プロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミ
ド、ABS等の各種樹脂から適宜選択される。
プロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリアミ
ド、ABS等の各種樹脂から適宜選択される。
次に、基板抑え具２８は、第５図に示すよう
に、断面円形で直線状に延在した軸２９と、その
軸２９の側面から断面において直交する方向に引
き出した複数対の連結部３０，３１と、その連結
部３０，３１の先端に断面円形に形成した複数対
の当接部３２，３３とを備えている。複数対の連
結部３０，３１と当接部３２，３３は、前述した
中箱２の溝５，６の所定間隔と対応した間隔で配
列されている。
に、断面円形で直線状に延在した軸２９と、その
軸２９の側面から断面において直交する方向に引
き出した複数対の連結部３０，３１と、その連結
部３０，３１の先端に断面円形に形成した複数対
の当接部３２，３３とを備えている。複数対の連
結部３０，３１と当接部３２，３３は、前述した
中箱２の溝５，６の所定間隔と対応した間隔で配
列されている。
このような基板抑え具２８を２本用意して、前
述した蓋４の軸支持具２３，２４にそれぞれ挿入
し、複数の基板１を林立させた中箱２を外箱３に
収納し、その外箱３に蓋４を被せることにより、
基板抑え具２８の当接部３２及び３３が基板１の
頭部端面４２及び側部端面４３にそれぞれ当接す
る。そして、当接部３２及び３３には、当接面３
４及び３５をそれぞれ互いに直交する方向に形成
していることから、当接面３４及び３５が第８図
の破線で示すように、基板１の上方端面に相当す
る頭部端面４２及び基板１の隣接端面に相当する
側部端面４３とそれぞれ当接する。更に、当接面
３４及び３５の先端側にそれぞれ傾斜面３６及び
３７を形成している。傾斜面３６及び３７はそれ
ぞれ当接面３４及び３５と、当接部３２及び３３
の内部から見て鈍角（本例：140゜）をなして、互
いに交叉する面である。このような傾斜面３６及
び３７を形成した場合、基板１の頭部端面４２及
び側部端面４３との当接が容易になる。それは、
当接面３４及び３５が頭部端面４２及び側部端面
４３にそれぞれ当接する直前では、第８図の実線
で示すように、当接面３４と傾斜面３６と交叉す
る稜部が頭部端面４２と当接してから、軸２９が
矢印で示すように垂直方向に降下し、その軸２９
の降下に従つて、上記稜部が頭部端面４２上を互
いに中央に向かつて、過度な摩擦を避けて進行す
るからである。このように摩擦を少なくする他の
手段としては、第９図に示すような曲面状の当接
面４９にしてもよい。そして、これらの当接面３
４と傾斜面３６及び当接面３５と傾斜面３７は、
それぞれ当接部３２及び３３の引き出し方向中央
に基板１の厚さ寸法（本例：2.2mm）より大きい
幅寸法（本例：2.5mm）の溝を形成した、その溝
の底面に相当する。更に、溝の両側にテーパー加
工して、基板１の頭部端面４２及び側部端面４３
との当接を一層容易にしている（第５図）。
述した蓋４の軸支持具２３，２４にそれぞれ挿入
し、複数の基板１を林立させた中箱２を外箱３に
収納し、その外箱３に蓋４を被せることにより、
基板抑え具２８の当接部３２及び３３が基板１の
頭部端面４２及び側部端面４３にそれぞれ当接す
る。そして、当接部３２及び３３には、当接面３
４及び３５をそれぞれ互いに直交する方向に形成
していることから、当接面３４及び３５が第８図
の破線で示すように、基板１の上方端面に相当す
る頭部端面４２及び基板１の隣接端面に相当する
側部端面４３とそれぞれ当接する。更に、当接面
３４及び３５の先端側にそれぞれ傾斜面３６及び
３７を形成している。傾斜面３６及び３７はそれ
ぞれ当接面３４及び３５と、当接部３２及び３３
の内部から見て鈍角（本例：140゜）をなして、互
いに交叉する面である。このような傾斜面３６及
び３７を形成した場合、基板１の頭部端面４２及
び側部端面４３との当接が容易になる。それは、
当接面３４及び３５が頭部端面４２及び側部端面
４３にそれぞれ当接する直前では、第８図の実線
で示すように、当接面３４と傾斜面３６と交叉す
る稜部が頭部端面４２と当接してから、軸２９が
矢印で示すように垂直方向に降下し、その軸２９
の降下に従つて、上記稜部が頭部端面４２上を互
いに中央に向かつて、過度な摩擦を避けて進行す
るからである。このように摩擦を少なくする他の
手段としては、第９図に示すような曲面状の当接
面４９にしてもよい。そして、これらの当接面３
４と傾斜面３６及び当接面３５と傾斜面３７は、
それぞれ当接部３２及び３３の引き出し方向中央
に基板１の厚さ寸法（本例：2.2mm）より大きい
幅寸法（本例：2.5mm）の溝を形成した、その溝
の底面に相当する。更に、溝の両側にテーパー加
工して、基板１の頭部端面４２及び側部端面４３
との当接を一層容易にしている（第５図）。
上記した基板抑え具２８は、その材料として前
述した中箱２などと同様な樹脂から適宜選択して
使用し、第６図に示す金属板３８を内部に、特に
軸２９と当接部３２，３３の内部に埋設して成形
される。この金属板３８は、ステンレス、リン青
銅、ベリリウム銅、洋白などの金属材料（厚さ：
0.1〜0.5mm）から適宜選択され、前述した基板抑
え具２８の所定間隔と同様に配列して連結し、中
心軸で直交させている。直交部の穴３９と両端の
切り欠き４０，４１は、第７図に示すように、そ
れぞれ軸２９と当接部３２，３３における接合を
連続化し、基板抑え具２８の機械的強度を一層強
化している。そして、上記したように金属板３８
を埋設した基板抑え具２８は、弾性を有している
ことから、当接面３４，３５に対して振動・衝撃
を与えても、その振動・衝撃を緩衝させることが
できる。
述した中箱２などと同様な樹脂から適宜選択して
使用し、第６図に示す金属板３８を内部に、特に
軸２９と当接部３２，３３の内部に埋設して成形
される。この金属板３８は、ステンレス、リン青
銅、ベリリウム銅、洋白などの金属材料（厚さ：
0.1〜0.5mm）から適宜選択され、前述した基板抑
え具２８の所定間隔と同様に配列して連結し、中
心軸で直交させている。直交部の穴３９と両端の
切り欠き４０，４１は、第７図に示すように、そ
れぞれ軸２９と当接部３２，３３における接合を
連続化し、基板抑え具２８の機械的強度を一層強
化している。そして、上記したように金属板３８
を埋設した基板抑え具２８は、弾性を有している
ことから、当接面３４，３５に対して振動・衝撃
を与えても、その振動・衝撃を緩衝させることが
できる。
以上の実施例は基板の主表面形状が正方形であ
つたが、本発明はこれに限定されず、長方形はも
とより５角形などの多角形でもよく、更に、第９
図に示すように円形の基板４４でもよい。第９図
に示す実施例では、本発明でいう基板４４の上方
端面及び下方端面は基板４４の垂直方向中心線l1
とそれぞれ交叉する上端及び下端より水平方向中
心線l2側に片寄つた位置の端面である。基板抑え
具４５は前実施例と同様、基板４４の上方端面の
周辺に垂直方向中心線l1に対称的に設置され、そ
の軸４６の側面から１対の連結部４７，４８を引
き出し、その先端に当接部５１，５２を備えてい
る。本例の当接部５１，５２には、溝加工した底
面に曲面状の当接面４９，５０を形成している。
この基板抑え具４５の軸４９も前実施例と同様、
所定の軸支持具に挿入され、その中心軸のまわり
で回転自在に支持される。この基板抑え具４５に
も金属板３７と同様な金属板を埋設してもよい。
一方、基板４４の下方端面は中箱又は外箱と接合
した基板支持部５３，５４で支持される。
つたが、本発明はこれに限定されず、長方形はも
とより５角形などの多角形でもよく、更に、第９
図に示すように円形の基板４４でもよい。第９図
に示す実施例では、本発明でいう基板４４の上方
端面及び下方端面は基板４４の垂直方向中心線l1
とそれぞれ交叉する上端及び下端より水平方向中
心線l2側に片寄つた位置の端面である。基板抑え
具４５は前実施例と同様、基板４４の上方端面の
周辺に垂直方向中心線l1に対称的に設置され、そ
の軸４６の側面から１対の連結部４７，４８を引
き出し、その先端に当接部５１，５２を備えてい
る。本例の当接部５１，５２には、溝加工した底
面に曲面状の当接面４９，５０を形成している。
この基板抑え具４５の軸４９も前実施例と同様、
所定の軸支持具に挿入され、その中心軸のまわり
で回転自在に支持される。この基板抑え具４５に
も金属板３７と同様な金属板を埋設してもよい。
一方、基板４４の下方端面は中箱又は外箱と接合
した基板支持部５３，５４で支持される。
本発明の基板保持構造によれば、特に、基板の
垂直方向中心線と対称に基板抑え具を設置して、
その基板抑え具の１対の当接部で基板の上方端面
と隣接端面とを同時に当接することから、基板
は、中箱又は外箱の内側面に形成された溝と接す
ることなく保実され、どの方向からの振動・衝撃
に対しても完全に保持固定することができる。
垂直方向中心線と対称に基板抑え具を設置して、
その基板抑え具の１対の当接部で基板の上方端面
と隣接端面とを同時に当接することから、基板
は、中箱又は外箱の内側面に形成された溝と接す
ることなく保実され、どの方向からの振動・衝撃
に対しても完全に保持固定することができる。
第１図は本発明の基板保持構造の実施例を示す
断面図、第２図は基板を中箱に収納する状態を示
す斜視図、第３図は外箱を示す斜視図、第４図は
蓋を示す斜視図、第５図は基板抑え具を示す斜視
図、第６図は金属板を示す斜視図、第７図は基板
抑え具の断面図、第８図は本実施例の主要部構成
を示す断面図、及び第９図は他の実施例の主要部
構成を示す断面図である。 １，４４……基板、１０，１１，５３，５４…
…基板支持具、１２……底部端面、２３，２４…
…軸支持具、２８，４５……基板抑え具、２９，
４６……軸、３０，３１，４７，４８……１対の
連結部、３２，３３，５１，５２……１対の当接
部、３４，３５，４９，５０……１対の当接面、
３６，３７……傾斜面、４２……頭部端面、４３
……側部端面。
断面図、第２図は基板を中箱に収納する状態を示
す斜視図、第３図は外箱を示す斜視図、第４図は
蓋を示す斜視図、第５図は基板抑え具を示す斜視
図、第６図は金属板を示す斜視図、第７図は基板
抑え具の断面図、第８図は本実施例の主要部構成
を示す断面図、及び第９図は他の実施例の主要部
構成を示す断面図である。 １，４４……基板、１０，１１，５３，５４…
…基板支持具、１２……底部端面、２３，２４…
…軸支持具、２８，４５……基板抑え具、２９，
４６……軸、３０，３１，４７，４８……１対の
連結部、３２，３３，５１，５２……１対の当接
部、３４，３５，４９，５０……１対の当接面、
３６，３７……傾斜面、４２……頭部端面、４３
……側部端面。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 互いに所定間隔を置いて平行に林立し、下方
端面が支持された複数の基板の上方端面を当接し
て、前記基板を保持する構造において、前記上方
端面の周辺に設置され、前記基板の主表面と直交
する方向に延在し、かつ中心軸のまわりに回転自
在である軸と、前記上方端面とその上方端面より
前記基板の水平方向中心線側に隣接する隣接端面
とにそれぞれ当接する１対の当接部と、前記１対
の当接部を前記軸にそれぞれ連結する１対の連結
部とを備えた基板抑え具を前記基板の垂直方向中
心線と対称に設置していることを特徴とする基板
保持構造。 ２ 基板抑え具が内部に金属板を埋設した樹脂で
あることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の基板保持構造。 ３ 基板の主表面形状が４角形であり、上方端面
及び下方端面がそれぞれ頭部及び底部の端面であ
り、隣接端面が側部の端面であることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項又は第２項記載の基板保
持構造。 ４ 基板の主表面形状が円形であり、上方端面及
び下方端面が前記基板の垂直方向中心線とそれぞ
れ交叉する上端及び下端より前記基板の水平方向
中心線側に片寄つた位置の端面であることを特徴
とする特許請求の範囲第１項又は第２項記載の基
板保持構造。 ５ １対の当接部に基板の厚み寸法より大きい幅
寸法の底面を有する溝を形成し、それぞれの前記
底面が前記基板の上方端面と隣接端面とに当接す
ることを特徴とする特許請求の範囲第１項、第２
項、第３項又は第４項記載の基板保持構造。 ６ １対の当接部の溝の底面が曲面又は互いに鈍
角で交叉する面を有していることを特徴とする特
許請求の範囲第５項記載の基板保持構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60037102A JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60037102A JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61203383A JPS61203383A (ja) | 1986-09-09 |
| JPH0139653B2 true JPH0139653B2 (ja) | 1989-08-22 |
Family
ID=12488219
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60037102A Granted JPS61203383A (ja) | 1985-02-26 | 1985-02-26 | 基板保持構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61203383A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002225949A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Asahi Kasei Corp | ガラス基板用緩衝材 |
| US7635544B2 (en) | 2004-09-13 | 2009-12-22 | Hoya Corporation | Transparent substrate for mask blank and mask blank |
| US7700244B2 (en) | 2004-09-16 | 2010-04-20 | Hoya Corporation | Mask blank providing system, mask blank providing method, mask blank transparent substrate manufacturing method, mask blank manufacturing method, and mask manufacturing method |
| US8496133B2 (en) | 2008-09-27 | 2013-07-30 | Hoya Corporation | Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and a mask blank package |
| JP2017019506A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | トーホー工業株式会社 | 発泡容器 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0326768U (ja) * | 1988-11-16 | 1991-03-19 | ||
| JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
| JP3967892B2 (ja) * | 2000-09-22 | 2007-08-29 | シャープ株式会社 | 薄形板状半導体部品の検査分類システム |
| JP6218309B2 (ja) * | 2012-06-28 | 2017-10-25 | Hoya株式会社 | マスクブランク収納ケース及びマスクブランク収納体 |
| KR101963123B1 (ko) * | 2017-03-20 | 2019-07-31 | 주식회사 포미스 | 기판 이송용 흔들림 방지용 기판 수용부재 |
| WO2023182314A1 (ja) * | 2022-03-22 | 2023-09-28 | 三井化学株式会社 | ペリクル包装体及びペリクル収容体 |
-
1985
- 1985-02-26 JP JP60037102A patent/JPS61203383A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002225949A (ja) * | 2001-01-31 | 2002-08-14 | Asahi Kasei Corp | ガラス基板用緩衝材 |
| US7635544B2 (en) | 2004-09-13 | 2009-12-22 | Hoya Corporation | Transparent substrate for mask blank and mask blank |
| US7700244B2 (en) | 2004-09-16 | 2010-04-20 | Hoya Corporation | Mask blank providing system, mask blank providing method, mask blank transparent substrate manufacturing method, mask blank manufacturing method, and mask manufacturing method |
| US7998644B2 (en) | 2004-09-16 | 2011-08-16 | Hoya Corporation | Mask blank providing system, mask blank providing method, mask blank transparent substrate manufacturing method, mask blank manufacturing method, and mask manufacturing method |
| US8318388B2 (en) | 2004-09-16 | 2012-11-27 | Hoya Corporation | Mask blank providing system, mask blank providing method, mask blank transparent substrate manufacturing method, mask blank manufacturing method, and mask manufacturing method |
| US8496133B2 (en) | 2008-09-27 | 2013-07-30 | Hoya Corporation | Container for housing a mask blank, method of housing a mask blank, and a mask blank package |
| JP2017019506A (ja) * | 2015-07-07 | 2017-01-26 | トーホー工業株式会社 | 発泡容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61203383A (ja) | 1986-09-09 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |