JPH019173Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、例えば半導体の製造に際して使用
されるマスクパターンを形成した、ガラスマス
ク、セラミツク基板、その他のハードマスクを安
全に移動するためのマスク基板の運搬ケースに関
する。

例えば半導体の製造過程においては、多数のマ
スクパターンが使用されるものであるが、これら
マスクパターンを形成したマスク基板は、特定さ
れる収納ケースに対して収納設定され、またその
収納ケースに納めた状態で運搬されるものであ
る。

従来、このようなマスク基板を収納し、運搬す
るためのケースとしては、通常プラスチツク製の
ハードケースが用いられているものであり、この
ケースの中に１枚あるいは複数枚のマスク基板を
収納設定し、運搬するようにしている。この場
合、このハードケースは、運搬すべきマスク基板
の大きさ、形状に対応してそれぞれサイズが特定
されるように構成されているもので、マスク基板
の種類それぞれに対応して特定の運搬ケースが構
成用意されているものである。したがつて、この
運搬ケースを作製するための型代、材料費等の経
費が多くなるものであり、また実際に多くの種類
のマスク基板それぞれに対応する運搬ケースは市
販されていないものである。したがつて、例えば
市販されているケースの大きさ等に合わせて、マ
スク基板を仕上げる等のことも行われている。ま
た、このような特定される運搬ケースを使用する
ことなく、紙、ビニール等によつてマスク基板を
直接梱包することも行われているものであるが、
このような手段では、マスク基板に対して傷を付
けたり、汚れを付着させる等の問題が存在するも
のであり、実際にマスク基板の運搬手段として採
用することはできないものである。

この考案は上記のような点に鑑みなされたもの
で、大きさ種類等の異なる多数のマスク基板を大
量にかつ安全に運搬移動させることができるよう
にするものであり、特に運搬されるマスク基板に
対して作用する不要な振動、衝撃等を効果的に柔
らげることができるようにするマスク基板の運搬
ケースを提供しようとするものである。

以下図面を参照してこの考案の一実施例を説明
する。第１図および第２図はその構成を示すもの
で、まず基本的に上面が開口された箱状体１１が
構成される。この箱状体１１は、４つの側面１１
ａ〜１１ｄと４角形状の底面１１ｅを有する構造
であり、例えばポリプロピレンのような摩擦係数
が小さい材料のシート状体で構成されている。こ
こで、このシート状体はある程度の剛性を有する
状態の弾性体でなり、適宜折り曲げることによつ
て箱状に組み立て構成されるようになつている。
尚、図面では特に示してないが、上記箱状体１１
の開口面には例えば側面１１ａから伸びるように
して蓋が一体的に延長形成されているものであ
る。

そして、上記のように構成される箱状体１１の
開口面に対応して、対向する状態の側面１１ｂと
１１ｄのそれぞれから、第１および第２のスペー
サ板１２ａ，１２ｂを延長形成する。このスペー
サ板１２ａ，１２ｂは、箱状体１１を構成するシ
ート状体を、側面１１ｂ，１１ｄの開口部縁部分
から延長する状態で構成されるもので、この第１
および第２のスペーサ板１２ａおよび１２ｂはそ
れぞれ箱状体１１の内部に折り曲げ設定し、先端
が底板１１ｅ方向に向けて設定されるようにして
なる。

この場合、第１および第２のスペーサ板１２
ａ，１２ｂそれぞれの長さは、箱状体１１の深さ
よりもやや長い状態に設定されるもので、このス
ペーサ板１２ａ，１２ｂそれぞれの先端部分を、
それぞれ側面１１ｂおよび１１ｄそれぞれと底板
１１ｅとの境界部分に対設設定した状態で、スペ
ーサ板１２ａおよび１２ｂが側面１１ｂおよび１
１ｄの内面部で、その内部方向に突出する状態で
湾曲設定されるようにしてなる。

第３図は、上記スペーサ板の一方１２ａを取り
出して示したもので、他方のスペーサ板１２ｂも
同様に構成されれる。すなわち、このスペーサ板
１２ａは、箱状体１１の開口面方向から底板１１
ｅ方向に向けて平行状態で形成した多数の溝穴１
３ａ，１３ｂ，…を備えるもので、この溝穴１３
ａ，１３ｂ，…はそれぞれスペーサ板１２ａの両
端部分の一部を残す状態で切り込み形成されてい
るものである。このように形成される溝穴１３
ａ，１３ｂ，…は、それぞれ収納運搬すべきマス
ク基板の厚さに相当する幅に設定されている。

このような溝穴は、スペーサ板１２ｂに対して
も、第１図で１４ａ，１４ｂ，…で示されるよう
に同様に形成されているもので、これらの溝穴１
３ａ，１３ｂ，…と１４ａ，１４ｂ，…とは互い
に対向する状態で位置設定されているものであ
る。

すなわち、上記のように構成される箱状体１１
に対して所定のマスク基板を収納設定するには、
基本的には第１および第２のスペーサ板１２ａ，
１２ｂを、第２図で示したようにその先端部分が
底板１１ｅの両端縁部分に対応設定されるよう
に、側面１１ｂおよび１１ｄの内部方向に突出湾
曲設定されるようにする。そして、第４図に示す
ように対向する溝穴部分に斜線で示す基板１５を
挿入設定するようにして収納するものである。す
なわち、複数のマスク基板が対向する溝穴１３
ａ，１３ｂ，…および１４ａ，１４ｂ，…それぞ
れに対応して平行状体で収納設定されるようにな
るもので、これら収納されるマスク基板は、それ
ぞれ互いに独立した状態で箱状体１１の内部に保
持設定されるようになるものである。

また、収納すべきマスク基板が上記の場合より
も小さい状体であつても、第５図に示すように第
１および第２のスペーサ板１２ａおよび１２ｂに
よつて保持設定されるものであり、このスペーサ
板１２ａ，１２ｂそれぞれの溝穴の境界部分で収
納されるマスク基板１６の横方向の位置が特定設
定される状態となり、この箱状体１１の内部で基
板１６は確実に独立的に保持設定されるようにな
る。

そして、収納する基板がさらに小さい場合に
は、第６図に示すように第１および第２のスペー
サ板１２ａおよび１２ｂは、それぞれその先端部
分が底板１１ｅに対して接触するように傾斜状態
となるように設定する。このような状態とすれ
ば、図からも明らかなように、マスク基板１７は
第１および第２のスペーサ板１２ａおよび１２ｂ
それぞれの溝穴部分に挿入設定されると共に、こ
れら溝穴部分の境界部で底板１１ｅから浮かせた
状態に設定されるものであり、小型のマスク基板
１７であつても、この箱状体１１に対して確実に
安全状態が保証される状態で保持設定されるもの
である。

尚、ここで箱状体１１と共に第１および第２の
スペーサ板１２ａおよび１２ｂを構成する材料と
しては、前述したようにポリプロピレンが効果的
に使用できるものであるが、その構成材料は特に
この材料に限定されるものではない。しかし、こ
のポリプロピレンは、例えば塩化ビニール等の材
料と比較して蘇生に富み、かつ温度変化に対して
変化のない安定状態にあるものであり、さらに比
重が小さく軽く構成するために効果的に利用でき
るものである。また、このポリプロピレンは衝撃
に対して強い性質を有するものであり、収納設定
したマスク基板を外的衝撃から保護するために効
果的に作用するようになるものである。

以上のようにこの考案によれば、パターンマス
クを形成したマスク基板を、その大きさ形状に関
係することなく収納設定し、安全な状態で保持設
定することのできる、マスク基板の運搬ケースが
提供されるものであり、この種基板の取り扱いを
非常に安全な状態とすることができるようになる
と共に、運搬等の作業能率の向上にも大きな効果
を発揮することのできるものである。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例に係る運搬ケース
の平面図、第２図は第１図の−線部分の断面
図、第３図は上記ケースを構成するスペーサ板を
取り出して示す図、第４図乃至第６図はそれぞれ
上記ケースの使用状態を説明する図である。 １１……箱状体、１１ａ〜１１ｄ……側面、１
１ｅ……底板、１２ａ，１２ｂ……第１および第
２のスペーサ板、１３ａ，１３ｂ３，…１４ａ，
１４ｂ，……溝穴、１５〜１７……マスク基板。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ある程度の剛性を有し、弾性を有する摩擦係数
   の小さい合成樹脂材料によつて構成されるシート
   状体によつて上面を開口する箱状体を形成すると
   共に、この箱状体の開口面の対向する一対の縁部
   分それぞれから、箱状体の内部方向に伸びるよう
   に上記箱状体と同じ材料で構成した第１および第
   ２のスペーサ板を延長形成してなり、この第１お
   よび第２のスペーサ板には、それぞれ互いに対向
   する状態の上記箱状態の深さの方向の伸びる複数
   の溝穴を形成し、この溝穴それぞれに対してマス
   ク基板が挿入設定されるようにしてなるマスク基
   板の運搬ケース。