JPH03133152A - ガラス基板用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス基板、その他各種の基板を互いに接触
しないように分離して支持するための基板用カセットの
改良に関するものである。

従来の技術 液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体用ガラス基板、
ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、サーマルヘッド
用ガラス基板など各種の基板の製造工程においては、基
板を加工、処理、洗浄、輸送、保管するために、各基板
を互いに接触しないようにカセットに出入、収容するこ
とが必要となる。

この目的の基板用カセットとして、枠体の１対の相対向
する側面を溝付き側板で形成し、両側板の対応する溝間
に基板を出入、収容しうるようにしたカセットが用いら
れている。

カセットの材質としては、たとえば、ガラス繊維入りポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレンなどが用いられている。

そのほか、ポリエーテルエーテルケトンを用いるとの提
案もなされている（特開昭６２−２４７３２３号公報、
特開昭６２−２７６８４９号公報参照）。

溝付き側板の形状、デザインには種々のものがあるが、
いずれも基本的には、側板基体から多数のリブ状の棚片
が張り出した形状を有している。

隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝となり、ここに基板
が出入、収容されるわけである。

第９図は、基板用カセットの代表的な全体形状の一例を
示した斜視図である。（１）は枠体であり、（１１）は
底面側フレーム、（１２）は天井側フレーム、（１３）
は基板を受けとめるストッパーとしての受は側フレーム
である。　（２）、　（２）は１対の相対向する側面を
構成する溝付き側板である。

基板用カセットは、基板の出入時には開口側が横を向く
ようにして使用し、基板の運搬時には開口側が上を向く
ようにして使用するのが通常であるが、本明細書におい
ては、基板用カセットについては、開口側が横を向くよ
うにして使用する場合を基本とし、その開口部側から見
た図を正面図と定めることにする。また溝付き側板につ
いては、カセット内部側から見た場合を正面図と定める
ことにする。

第９図においては、１対の相対向する側面を各３枚の溝
付き側板（２）で形成しているが、１対の相対向する側
面を各１枚の溝付き側板（２）で形成したり、１対の相
対向する側面を２枚とか４枚の溝付き側板（２）で形成
することもある。

上記構造のカセットに対する基板の出入は、底面側フレ
ーム（１１）の隙間から持ち上げたコンベアベルトの走
行、開口側からのシャトルアームの操作、背後側からの
プッシャーによる突き出し等の手段により自動的に行う
が、作業員が手で行う場合もある。

第１Ｏ図は、従来の溝付き側板（２）の右側面図、第１
１図はその正面図であり、（２１）は背肉部、（２２）
はその背肉部（２１）から張り出したりブ状の棚片であ
る。第１Ｏ図に２点鎖線で示した（Ｂ）は基板である。

リブ状の棚片（２２）は、本来相対向する溝付き側板（
２）、　（２）の対向側にだけ背肉部（２１）から張り
出すように設ければ足りるはずであるが、背肉部（２１
）から一方向のみにリブ状の棚片（２２）を張り出すよ
うにすると、成形時あるいは高温条件下での使用時に歪
みや変形を生ずるおそれがある。そこで、本出願人にお
いては、バランスを取るために、第１θ図のように背肉
部（２１）から両方向にリブ状の棚片（２２）を張り出
すようにする工夫を行っている。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来の基板用カセットにあっては、溝付
き側板（２）、　（２）の溝に基板（Ｂ）を出入または
収容すると、リブ状の棚片（２２）の棚面で基板（Ｂ）
のエツジを受けとめるため、基板（Ｂ）のエツジとの摩
擦により棚面が削り取られて切削屑を生じ、その切削屑
が基板（Ｂ）に付着して悪影響を与えることがあった。

また、取り扱い中、隣接するリブ状の棚片（２２）、　
（２２）間、つまり溝の所で基板（Ｂ）のエツジが背肉
部（２１）に当接することがあるため、この部分におい
ても切削屑を生ずることがあった。

基板（Ｂ）のエツジによるリブ状の棚片（２２）の棚面
の削り取りを防止するため、基板（Ｂ）のエツジを面取
り加工したリアールに加工する工夫もなされているが、
このような加工を基板（Ｂ）の全てに施すことは製造コ
ストを著しく高くするものであり、−膜内には採用しう
るちのではなかった。またこのような工夫によっても、
基板（Ｂ）のエツジが背肉部（２１）に当接することに
よる削り取りは充分には防止できないという限界があっ
た。

本発明者らは、リブ状の棚片（２２）のうちカセット内
部側に張り出した棚片（２２Ｘ）の遊端部を断面視で球
状に形成し、その球状部に基板（Ｂ）の板面の部分が接
触するようにした構成のカセットを案出し、すでに特願
平１−１１５６９５号として出願している。このカセッ
トは従来のカセットに比すれば著しくすぐれているが、
基板（Ｂ）をカセットに収容した状態で加工、処理、洗
浄、輸送、保管等の諸工程に供するとき、カセットに収
容した基板（Ｂ）が垂直姿勢になると前記球状部が基板
（Ｂ）のパターン面と接触し、取り扱いが乱暴な場合に
は該パターンを損傷するおそれが皆無ではないため、さ
らにその改良を図ることが必要となってきた。

本発明は、このような状況に鑑み、基板（Ｂ）のニー２
ジによるリブ状の棚片（２２）の棚面の削り取りを有効
に防止すると共に、基板（Ｂ）が水平姿勢にあると垂直
姿勢にあるとにかかわらず基板（Ｂ）のパターン面を損
傷するおそれのない基板用カセットを提供することを目
的とするものである。

課題を解決するための手段 本発明の基板用カセットは、枠体（１）の１対の相対向
する側面を溝付き側板（２）、　（２）で形成し、これ
ら相対向する溝付き側板（２）、　（２）の対応する溝
間に基板（Ｂ）を出入、収容しうるようにしたカセット
において、 前記溝付き側板（２）の形状を、背肉部（２１）の両面
に多数のリブ状の棚片（２２）が張り出した形状となし
、かつ、 カセットに収容した基板（Ｂ）が水平姿勢になるときの
カセットの姿勢において上側となる面を上面、下側とな
る面を下面と定義するとき、前記棚片（２２）のうち背
肉部（２１）からカセット内部側に張り出す棚片（２２
Ｘ）の下面をその道端側が基端側に比し上段の棚片（２
２Ｘ）に近づく側に傾斜させると共に、棚片（２２Ｘ）
の上面の道端側に突出部（２３）を形成したこと を特徴とするものである。

この場合、溝付き側板（２）の背肉部（２１）を、隣接
する棚片（２２Ｘ）、　（２２Ｘ）間において傾斜状に
形成することが望ましい。

以下本発明の詳細な説明する。

カセットは、フレームを枠状に組んだ枠体（１）で構成
する。枠体（１）は、底面側フレーム（１１）、天井側
フレーム（１２）、および、基板（Ｂ）を受けとめるス
トッパーとしての受は側フレーム（１３）で構成される
。受は側フレーム（１３）は「受は棒」と称することも
多い。

そして枠体（１）の１対の相対向する側面を溝付き側板
（２）、　（２）で形成する。これらの溝付き側板（２
）、　（２）の対応する溝間に基板（Ｂ）が出入または
収容されることになる。

枠体（１）のそれぞれの側面を片面につき各１枚の溝付
き側板（２）で形成することも回部であるが、この場合
は大型の溝付き側板（２）を成形することになるので成
形金型が大きくなり、成形時にも歪みを生じやすい上、
カセットの重量が大となる。また基板（Ｂ）を手で挿入
する場合には、自動挿入の場合とは異なりぶれを生じや
すいので、基板（Ｂ）の挿入が行いにくいという不利も
ある。

そこで、それぞれの側面につき片面当り各複数枚（たと
えば各２〜５枚）の溝付き側板（２）を間隔をあけて設
置する方が有利である。

上記溝付き側板（２）としては、背肉部（２１）から所
定数のリブ状の棚片（２２）が両方向に張り出した形状
のものが使用される。背肉部（２１）から一方向のみに
棚片（２２）を張り出すようにすると、成形時あるいは
高温条件下での使用時に歪みや変形を生ずるおそれがあ
るからである。

各棚片（２２）は、１枚の溝付き側板（２）の巾全体に
非分割で設けてもよく、分割して設けてもよい。

本発明においては、カセットに収容した基板（Ｂ）が水
平姿勢になるときのカセットの姿勢において上側となる
面を上面、下側となる面を下面と定義するとき、前記棚
片（２２）のうち背肉部（２１）からカセット内部側に
張り出す棚片（２２Ｘ）の下面をその道端側が基端側に
比し上段の棚片（２２Ｘ）に近づく側に傾斜させると共
に、棚片（２２Ｘ）の上面の道端側に突出部（２３）を
形成する。

突出部（２３）の形状は、半円形ロッド状、三角形ロッ
ド状、円錐状、半球状、連設半球状などとすることがで
きる。

突出部（２３）は、全ての棚片（２２Ｘ）に設ける必要
はなく、挿入した基板（Ｂ）が離れた個所で少なくとも
２個所（カセットの厖１面当り）接触するように設けれ
ばよい。

溝付き側板（２）の背肉部（２１）は、隣接する棚片（
２２Ｘ）、　（２２Ｘ）間において傾斜状に形成するこ
とが望ましい。

カセット外側の棚片（２２Ｙ）にも適当な形状の突出部
を形成しても差し支えはないが、金型がそれだけ複雑と
なるので、通常は突出部を設けない形状に形成する。

そのほか、棚片（２２）のうち少なくともカセット内部
側に張り出した棚片（２２Ｘ）を遊端に向かうほど基端
側よりも狭山にかつ薄肉となるようにテーパー状または
アール状に形成すると、基板（Ｂ）の挿入操作が容易に
なる。

枠体（１）および溝付き側板（２）を構成する樹脂とし
ては、使用目的に応じて必要な強度、耐熱性、耐溶剤性
、耐酸・耐アルカリ性等を有する溶融成形可能な樹脂が
選択され、たとえば、ポリイミド、ポリエーテルイミド
、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、ポ
リフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ置
換ポリテトラフルオロエチレン、ボリアリレート、ポリ
スルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホン
、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミド
、ポリプロピレンなど、あるいはこれらにガラス繊維、
カーボン繊維、アラミド繊維。

セラミックス繊維、金属繊維等を配合した繊維強化熱可
塑性樹脂が用いられる。溶融成形法としては、射出成形
法、押出成形法、トランスファー成形法などが採用され
る。溶融成形にあたっては、充填剤、安定剤、滑剤、そ
の他の添加剤を配合することもできる。

上記構造のカセットに収容する基板（Ｂ）としては、ガ
ラス基板、セラミックス基板、金属芯基板、コンポジッ
ト基板、シリコン基板をはじめ各種の基板があげられる
。

作用および発明の効果 基板の製造工程においては、各処理段階の基板（原板を
含む）を、加工、処理、洗浄、輸送、保管のために互い
に接触しないようにカセット内に保持することが必要で
ある。

以下、本発明の作用および効果を図面に基いて説明する
。

第１〜２図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側
板（２）の部分右側面図であり、第１図は基板（Ｂ）が
水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第２図は基
板（Ｂ）が垂直姿勢または垂直に近い姿勢にある場合を
示しである。

本発明の基板用カセットの両側面を構成する溝付き側板
（２）、　（２）間に、第１図に示したように基板（Ｂ
）を水平姿勢または水平に近い姿勢で出入または収容す
ると、基板（Ｂ）の下面（非パターン面）が、カセット
内部側に張り出した棚片（２２Ｘ）の上面の道端側に形
成した突出部（２３）に点接触状態または線接触状態で
接触するので、基板（Ｂ）はこの突出部（２３）で受け
とめられ、基板（Ｂ）のエツジによる棚片（２２Ｘ）の
上面の削り取りは皆無となる。

ついで、基板（Ｂ）を第２図に示したように垂直姿勢ま
たは垂直に近い姿勢にもたらすと、基板（Ｂ）は矢印の
ように動いて仮想線で示したように棚片（２２Ｋ）の下
面（第２図では右側の面）と接触することがある。しか
しながらこの場合は、基板（Ｂ）のエツジが棚片（２２
Ｘ）の傾斜した下面と接触するだけで、基板（Ｂ）のパ
ターン面である上面（第２図では左側の面）は何ら損傷
を受けない、なお基板（Ｂ）が垂直姿勢または垂直に近
い姿勢にあるときは、基板（Ｂ）の自重は棚片（２２Ｘ
）にはほとんどかからないので、基板（Ｂ）のエツジが
棚片（２２Ｘ）の下面と接触しても特に問題は生じない
。

そして、溝付き側板（２）の背肉部（２１）を、隣接す
る棚片（２２Ｘ）、　（２２Ｘ）間において傾斜状に形
成すると、隣接する棚片（２２Ｘ）間への基板（Ｂ）の
出入または収容に際し基板（Ｂ）のエツジが背内部（２
１）にぶつかる方向の動作をしても、その衝撃または摩
擦は背肉部（２１）の傾斜面で効果的に緩和されるので
、背肉部（２１）への基板（Ｂ）の接触によるエツジ切
削屑の発生も事実上手じない。

このように本発明の基板用カセットにあっては、溝付き
側板（２）と基板（Ｂ）との接触による切削屑の発生が
従来の溝付き側板（２）を用いたカセットに比し大幅に
減少する上、基板（Ｂ）のパターン面の損傷も有効に防
止される。

実施例 次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。

第３図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側板（
２）の−例を示した右側面図、第４図はその正面図、第
５図はその平面図、第６図は第４図のＡ−Ａ断面図であ
る。

第７図は上記溝付き側板（２）を組み込んだ本発明の基
板用カセットの一例を示した平面図、第８図はその部分
正面図である。

基板用カセットの全体図は、多少形状が異なるが、従来
の技術の説明の項で述べた第９図と同様になる。

耐熱性樹脂（たとえばポリエーテルイミドやポリエーテ
ルエーテルケトン）を射出成形することにより、カセッ
トを構成する各部材を得た。

（１）は枠体であり、第７〜８図あるいは第９図のよう
に、底面側フレーム（１１）、天井側フレーム（１２）
、およびストッパーとしての受は側フレーム（１３）か
らなる。

（２）は溝付き側板であり、枠体（１）の１対の相対向
する側面を構成している。なお枠体（１）の両側面は、
それぞれ３枚の溝付き側板（２）を間隔をあけて組み込
むことにより構成されている。ただし、各側面をそれぞ
れ１枚の溝付き側板（２）で構成してもよく、各側面を
２枚または４枚以上の溝付き側板（２）で構成してもよ
い。

各溝付き側板（２）の上下の端部には、枠体（１）への
取り付は用の２種の締結孔（３１）、　（３２）を互い
に直角方向となるように設けてあり、これらの締結孔（
３１）、　（３２）にボルトまたはネジを挿通すること
により、枠体（１）との保合が図られている。

２点鎖線で示した（Ｂ）は基板であり、上記溝付き側板
（２）、　（２）の対応する溝間に挿入される。

上記溝付き側板（２）としては、背肉部（２１）から所
定数のリブ状の棚片（２２）が両方向に張り出したもの
を用いている。各棚片（２２）は、１枚の溝付き側板（
２）の巾全体に表裏とも連続して設けである。ただし、
複数に分割して設けることもできる。　（２２Ｘ）はカ
セット内部側に張り出した棚片、（２２Ｙ）はカセット
外部側に張り出した棚片である。

溝付き側板（２）の背肉部（２１）は、隣接する棚片（
２２Ｘ）、　（２２Ｘ）間において傾斜状に形成しであ
る。また溝付き側板（２）の背肉部（２１）は、棚片（
２２Ｘ）の棚面方向の切断断面視で、その両端側の各１
／８の領域のみ外側が薄肉に移行するテーパー状に形成
しである。（第６図参照）棚片（２２）のうちカセット
内部側に張り出した棚片（２２Ｘ）は、基板（Ｂ）の挿
入操作を容易にするため、遊端に向かうほど基端側より
も狭山にかつ薄肉となるようにテーパー状に形成してあ
り、かつ棚片（２２Ｘ）の下面を、その道端側が基端側
に比し上段の棚片（２２Ｘ）に近づく側に傾斜させであ
る。

さらに、棚片（２２Ｘ）の上面の道端側には、半円形ロ
ッド状（三角形ロッド状、円錐状、半球状、連設半球状
などであってもよい）の突出部（２３）を形成し、該突
出部（２３）が棚片（２２Ｘ）の上面から盛り上がるよ
うにしである。

基板（Ｂ）が水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合
は、第１図のように、基板（Ｂ）の下面（非パターン面
）が棚片（２２Ｘ）の上面の道端側に設けた突出部（２
３）で支えられる。基板（Ｂ）が垂直姿勢または垂直に
近い姿勢にある場合は、第２図のように、基板（Ｂ）の
下面（非パターン面）が棚片（２２Ｘ）の上面の道端側
に設けた突出部（２３）に軽く接触するか、基板（Ｂ）
のエツジが棚片（２２Ｘ）の下面に軽く接触する。

なお、背肉部（２１）からカセット外部側に張り出した
棚片（２２Ｙ）は、遊端に向かうほど基端側よりも狭山
にかつ薄肉となるようにテーパー状に形成しである。

上記構造のカセットを、基板（Ｂ）の−例としての液晶
表示用ガラス基板を収容するカセットとして、加工、処
理、洗浄、輸送、保管の各工程において用いたところ、
切削屑の発生は皆無と言って差し支えないほど減少し、
また基板（Ｂ）のパターン面の損傷も認められなかった
。

【図面の簡単な説明】

第１〜２図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側
板（２）の右側面図であり、第１図は基板（Ｂ）が水平
姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第２図は基板（
Ｂ）が垂直姿勢または垂直に近い姿勢にある場合を示し
である。 第３図は本発明の基板用カセットにおける溝付き側板（
２）の−例を示した右側面図、第４図はその正面図、第
５図はその平面図、第６図は第４図のＡ−Ａ断面図であ
る。 第７図は上記溝付き側板（２）を組み込んだ本発明の基
板用カセットの一例を示した平面図、第８図はその部分
正面図である。 Ｗ４９図は基板用カセットの代表的な全体形状の一例を
示した斜視図である。 第１０図は従来の溝付き側板（２）の右側面図、第１１
図はその正面図である。 （１）・・・枠体、 （１１）・・・底面側フレーム、 （１２）・・・天井側フレーム、 （ｔ３）・・・受は側フレーム、 （２）・・・溝付き側板、 （２１）・・・背肉部、（２２）・・・リブ状の棚片、
（２２Ｘ）・・・カセット内部側に張り出した棚片、（
２２Ｙ）・・・カセット外部側に張り出した棚片、（２
３）・・・突出部、 （３１）、　（３２）・・・締結孔、 （Ｂ）・・・基板

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、枠体（１）の１対の相対向する側面を溝付き側板（
   ２）、（２）で形成し、これら相対向する溝付き側板（
   ２）、（２）の対応する溝間に基板（Ｂ）を出入、収容
   しうるようにしたカセットにおいて、前記溝付き側板（
   ２）の形状を、背肉部（２１）の両面に多数のリブ状の
   棚片（２２）が張り出した形状となし、かつ、カセット
   に収容した基板（Ｂ）が水平姿勢になるときのカセット
   の姿勢において上側となる面を上面、下側となる面を下
   面と定義するとき、前記棚片（２２）のうち背肉部（２
   １）からカセット内部側に張り出す棚片（２２Ｘ）の下
   面をその道端側が基端側に比し上段の棚片（２２Ｘ）に
   近づく側に傾斜させると共に、棚片（２２Ｘ）の上面の
   道端側に突出部（２３）を形成したことを特徴とする基
   板用カセット。 ２、請求項１のカセットにおいて、溝付き側板（２）の
   背肉部（２１）を、隣接する棚片（２２Ｘ）、（２２Ｘ
   ）間において傾斜状に形成したことを特徴とする基板用
   カセット。