KR0167820B1 - 기판지지용측판 및 그것을 사용한 카셋트 - Google Patents

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Abstract

[목적] 기판지지용 측판의 폭을 좁혀도 필요한 강도를 가지며, 또한 기판 취급시의 대전을 유효하게 방지함과 동시에, 예컨대 대전하여도 회로장애를 일으키지 않으며, 또한 기판과의 마찰에 의해서도 마모분 등의 먼지를 발생치 않는 카세트 및 이를 위한 기판지지용 측판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
[구성] 기판지지용 측판(2)은 구조적으로는 배육부(21)로부터 설상의 선반편(22)이 소정의 피치로 평행하게 돌출하고, 이 선반편(22)은 그 유단측에 어느정도 상방으로 되도록 경사하며, 그 선반편(22)의 선반면은 그 양단측보다도 중앙부가 약간 높아지는 산형구조로 형성된다.
또한, 재질적으로는 금속체(M)를 골격재로 하고, 또한 배육부(21)의 적어도 전면측 및 선반편(22)이 수지체(R)로 형성되며, 또한 그 수지체(R) 중 기판(0)과의 당접부의 적어도 일부는 발진 방지성수지(Rb)로 형성됨과 동시에 수지체(R)의 발진 방지성수지 (Rb)이외의 부분은 전도성 물질 배합수지(Ra)로 형성된다.

Description

기판 지지용 측판 및 그것을 사용한 카세트
제1도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 일 예를 도시한 사시도이다.
제2도는 제1도에 도시된 기판지지용 측판(2)의 측면도이다.
제3도는 본 발명에 따른 카세트의 일 예를 도시한 측면도이다.
제4도는 본 발명에 따른 기판지지용 측판(2)의 다른 일 예를 도시한 사시도이다.
제5도는 본 발명에 따른 기판지지용 측판(2)의 또 다른 일 예를 도시한 부분 사시도이다.
제6도는 제5도에 도시한 기판지지용 측판(2)의 폭방향 절단 단면도이다.
제7도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 다른 일 예를 도시한 부분 사시도이다.
제8도는 제7도의 기판지지용 측판(2)의 폭방향 절단 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 프레임 2 : 기판지지용 측판
11 : 바닥 프레임 12 : 천정 프레임
13 : 받침 프레임 21 : 배육부(背肉部)
22 : 선반편 3X,3Y,3Z : 돌출부
M : 금속체 R : 수지체
Ra : 도전성물질 배합수지 Rb : 발진방지성 수지
O : 기판
본 발명은 각종 기판을 상호간에 접촉하지 않도록 분리하여 수용하기 위한 카세트에 관한 것이다.
또한 그 카세트의 주요부를 구성하는 기판지지용 측판에 관한 것이다.
유리기판 등과 같은 각종 기판을 취급함에 있어서 각 기판을 상호 접촉하지 않도록 카세트에 출입, 수용할 필요가 있다.
이러한 목적의 카세트로서 보급하고 있는 것은 상자형태 프레임의 한 쌍의 서로 대향하는 측면을 전(全)수지제의 홈이 형성된 기판(기판지지용 측판)으로 형성하고, 양 측판의 대응하는 홈사이에 기판을 출입, 수용하도록 한 것이다.
홈이 형성된 기판의 형상이나 디자인에는 각종의 것이 있지만 어느 정도 기본적으로는 측판배육부(背肉部)로부터 소정의 피치로 평행하게 다수의 리브상의 선반편이 길게 뻗은 형상을 가지고 있다. 인접하는 리브상의 선반편 사이의 공간이 홈으로 되어 여기에 기판이 출입, 수용된다.
이러한 형태의 카세트에는 본 출원인에 의한 일본 특허출원 공개 평 2-295150호 공보, 동 특허출원 공개 평 3-133152호 공보, 동 특허출원 공개 평 3-133153호, 공보, 동 특허출원 공개 평 3-268343호 공보, 동 특허출원 공개 3-268344호 공보, 동 특허출원 공개 평 4-245453호 공보 등이 있다.
또, 특허출원 공개 소 62-247328호 공보에는 액정 표시용 유리기판의 제조에 있어서 보지용기(保持容器)로서 폴리에틸에틸케톤수지로 형성된 것을 사용하는 것이 개시되어 있고, 특허출원 공개 소 62-247329호 공보에는 표면표시체 구동용 박막 반도체 기판을 보지하는 보지용기로서 폴리에틸에틸케톤수지로 된 것을 사용한 것을 개시하고 있다.
종래 기판용 카세트는 홈이 형성된 측판을 포함하여 모두 수지로 만든 것이기 때문에 카세트의 강도를 확보하기 위해서는 홈형성측판의 폭을 넓은 눈금 (예컨대 100mm)로 설정하지 않으면 아니되며, 그 결과 수지제임에도 불구하고 중량이 커지는 것을 피할 수 없었다.
또한 홈이 형성된 측판이 수지제이기 때문에 기판 출입시나 운반시의 마찰에 의해 대전(帶電)이 생기며, 특히 기판의 TFT 액정용 유리기판인 경우 등에는 트랜지스터가 정전기 파괴를 일으킬 염려가 있었다.
후자의 대전의 문제에 관해서는 수지성분의 금속섬유, 금속입자, 카본섬유, 카본입자 등의 도전성 필터를 배합한 것을 사용하여 카세트의 홈형성 측판을 형성하는 것도 고려되지만, 도전성 필러를 배합하여 성형하여 얻은 홈형성 측판은 천연수지 성형품에 비해 기판수용시에 기판과의 마찰에 의해 마모분 등의 먼지가 생기기 쉽기 때문에 대전방지성(帶電防止性)의 목적을 달성할 수 있어도 기판용 카세트로서의 적성에 부적합한 것으로 된다
기판용 카세트를 구성하는 부재중 홈형성 측판을 전부 금속제로 하는 것도 고려될 수 있지만 이 경우는 금속으로 만든 홈형성측판의 선반편에 직접 기판이 접촉하기 때문에 기판의 에지(edge)와의 마찰에 의해 마모분(紛).등의 먼지가 생기게 된다. 또한 홈형성 측판을 전부 금속제로 한 때에는 대전물과 접촉한 때에 한꺼번에 전류가 흐르기 때문에 오히려 트랜지스터파괴 등의 회로 장애를 일으킬 위험이 있다.
본 발명은 이러한 배경하에 있어서, 기판지지용 측판의 폭을 좁게 하여도 필요한 강도를 가지며, 또한 기판취급시의 대전을 유효하게 방지함과 동시에, 예컨대 대전하여도 감쇄가 적당한 범위에서 천천히 행해지기 때문에 회로장해를 일으키지 않으며, 또한 기판과의 마찰에 의해서도 마모분 등의 먼지가 생기지 않는 카세트를 제공하는 것 및 그 카세트의 주요부를 구성하는 기판지지용 측판을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명에 따른 기판지지용 측판은, 프레임(1)에 가설하여 기판(0)을 지지하기 위한 기판지지용 측판(2)에 있어서, 상기 기판지지용 측판(2)이, 구조적으로는 배육부(21)로부터 설상(舌狀)의 선반편(22)이 소정의 피치로 카세트 내부측으로 향하여 평행하게 뻗고 그 선반편(22)은 그 유단측(遊端側)에 어느정도 상방(上方)으로 되도록 경사하며, 그 선반편(22)의 선반면은 그 양단측보다도 중앙부가 약간 높아지도록 산형구조로 형성되고, 재질적으로는 금속체(M)를 골격재로 하고, 또한 배육부(21)의 적어도 전면측 및 선반편(22)이 수지체(R)로 형성되며, 또한 그 수지체(R)중 기판(0)과의 접당부의 적어도 일부는 발진방지성수지(發塵防止性樹脂)(Rb)로 형성됨과 동시에 수지체(R)의 발진방지성수지(Rb) 이외의 부분은 전도성 물질 배합수지(Rb)로 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 카세트는 프레임(1) 및 기판지지용측판(2)(2)에 의해 상자형태로 구성되고, 이 상자의 한 쌍의 서로 대향하는 측면에 배설한 기판지지용 측판(2)(2)의 대응하는 선반편(22)(22) 사이의 공간에 기판(0)을 수용하도록 한 카세트에 있어서, 상기 기판지지 용측판(2)으로서 상기 기판지지용 측판을 사용한 것을 특징으로 하는 것이다.
이하 본 발명을 상세히 설명한다.
본 발명에 따른 카세트 프레임(1) 및 기판지지용 측판(2)(2)으로 상자 형태로 형성되고, 상자 형태의 한 쌍의 서로 대항하는 측면에 기판지지용 측판(2)(2)이 배설된 기본 구조를 갖는다.
프레임(1)은 바닥프레임(11), 천장프레임(12) 및 기판(0)을 받치기 위한 스토퍼로서의 받침프레임(13)으로 구성된다.
받침프레임(13) 대신에 카세트 가장 구석측의 프레임 또는 카세트 가장 구석구분의 기판 지지용 측판(2)에 적당한 스토퍼 수단을 설치하는 것도 가능하다. 프레임(1)의 재질은 수지이어도 금속이어도 좋다.
기판지지용 측판(2)(2)의 설치개수는 상자형태의 일측면(즉 편면) 당 최소 2개, 통상은 3 - 4개로 한다. 기판 지지용 측판(2)의 폭은 경량화를 위해 가능한한 좁은 폭(예컨대 60mm이하)으로 설정하는 것이 바람직하다.
그리고 본 발명에 있어서는 상기 기판지지용 측판(2)으로서 우선 구조적으로는 다음과 같이 강구한 것을 사용한다.
즉, 배육부(21)로부터 설상의 선반편(22)이 소정의 피치로 카세트 내부측으로 향하여 평행하게 뻗도록 한다. 이 경우 각 단의 배육부(21)의 표면은 그 상방부분보다도 하방부분이 앞으로 돌출한 경사면이 되는 것이 바람직하다. 또한 배육부(21)의 표면은 그 양 옆구리측 보다도 중앙선쪽이 약간 앞쪽으로 돌출하는 테이퍼면으로 하는 것이 바람직하다.
상기 선반편(22)은 그 유단측(遊端側)에 어느 정도 상방으로 되도록 경사시킨다. 경사각도는 예컨대 1°- 30°정도 특히 2°- 15°로 설정한다.
또한, 본 발명에 있어서는 상기 기판지지용 측판(2)으로서 재질적으로는 금속체(M)를 골격재로 하고, 또한 배육부(21)의 적어도 전면측 및 선반편(22)이 수지체(R)로 형성되며, 또한 그 수지체(R)중 기판(0)과의 접당부의 적어도 일부는 발진방지성 수지(Rb)로 형성됨과 동시에 수지체(R)의 발진방지성 수지(Rb)에서의 부분은 전도성물질 배합수지(Ra)로 형성되어 있는 것을 사용한다.
여기서 금속체(M)로서는 알루미늄, 스테인레스스틸 등이 사용된다.
전도성 수지체(R)내의 전도성물질 배합수지(Ra)로서는 수지에 전도성 물질을 배합하여 형성한 것이 사용된다.
수지로서는 예컨대, 폴리에틸에틸케론, 폴리에틸이미드, 폴리이미드, 폴리아미드이미드, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아릴레이트, 폴리술폰, 폴리아릴술폰, 폴리에텔술폰, 폴리페닐렌에텔술폰, 변성폴리페닐렌옥사이드, 폴리에틸아미드, 퍼플루오로알콕시장치, 폴리테트라플루오르에틸렌, 폴리플로필렌, 폴리부틸렌테레프탈레이트, 폴리카본네이트, 아크릴로니트릴계 폴리머, 에틸렌비닐알콜 공중합체, 폴리아미드 등이 열거된다.
전도성 물질로서는 예컨대 금속섬유, 금속입자, 카본섬유, 카본블랙, 그라파이트, 이온성 고분자 등이 열거될 수 있다.
전도성 물질 배합수지(Ra)의 체적저항치는 104- 1011Ω, 특히 105- 109Ω으로 설정하는 것이 바람직하다.
발진방지성 주시(Rb)로서는 폴리에테르에르케톤, 폴리에테르이미드를 비롯한 점성이 있는 수지가 사용될 수 있다. 이러한 수지로 형성된 수지체는 여기에 유리기판 등의 기판(0)의 에지(edge)나 배면이 접촉하여도 먼지가 생기지 않는다.
배육부(21) 또는 선반편(22)내 기판(0)과의 당접부의 적어도 일부를 발진방지성 수지(Rb)로 형성하는 것에는, 보다 구체적으로는 다음에 열거하는 수단의 적어도 하나가 채용된다.
(가) 배육부(21)의 중앙종 방향으로 돌조상의 돌출부(3X)를 설치하고 이 돌출부(3X)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성한다.
(나) 선반편(22)의 산형구조의 선반면의 미근(尾根)부분에 돌조상의 돌출부(3y)를 설치하고, 그 돌출부(3y)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성한다.
(다) 배육부(21)의 바닥(地)으로 되는 영역보다도 약간 전방으로 돌출한 돌출부(3z)를 설치, 이 돌출부(3z)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성한다. 예를 들어, 배육부(21)의 중앙측의 영역에 양단측의 영역보다도 약간 전방으로 돌출한 돌출부(3Z)를 설치, 그 돌출부(3Z)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성한다.
(라) 선반편(22)을 구성하는 수지체(R)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성한다.
상기 (가) - (라)는 어느것인가 하나의 수단을 강구한 것이어도 좋지만(가) + (나)라든가, (다) + (라) 처럼 2이상의 수단을 조합한 것도 가능하다.
금속체(N)를 골격재로 하여 발진방지성 수지(Rb) 및 전도성 물질 배합수지(Ra)로 되는 수지체(R)를 형성하는 것에는, 예컨대
① 발진방지성 수지(Rb)로 만든 돌출부(3X), (3Y), (3Z)를 미리 금속체(M)의 홈에 갑입해두고, 여기에 전도성 물질 배합수지(Ra)를 사출성형하는 방법.
② 금속체(M)를 아웃사이드 또는 인사이드로서 전도성물질 배합수지(Ra)를 사출성형 하는 때에 발진방지성 수지(Rb)를 2중(2단) 성형하는 방법 등에 의해 달성할 수 있다.
상기 구조의 카세트에 수용하는 기판(0)으로서는 유리 기판을 비롯하여 각종 기판을 들 수 있다.
본 발명에 따른 카세트에 있어서는 기판지지용 측판(2)으로서 구조적으로는 배육부(21)로부터 설상의 선반편(22)이 소정의 피치로 카세트 내부측으로 향하여 평행하게 돌출하여, 이 선반편(22)의 그 유단측에 어느정도 상방으로 되도록 경사하며, 이 선반편(22)의 선반면은 그 양단측 보다도 중앙부가 약간 높은 산형구조로 형성된 것을 사용하고 있다.
이 때문에 기판(0)은 실질적으로 선반편(22)의 유단의 산형의 정점의 일점에서 지지됨으로써 기판(0)의 출입이나 운반시 구조적으로도 마모분 등의 먼지가 생기지 않는다.
더욱이 이 기판지지용 측판(2)은 재질적으로는 금속체(M)를 골격재로 하고, 또한 배육부(21)의 적어도 전면측 및 선반편(22)이 수지체(R)로 형성되며, 또한 이 수지체(R)내 기판(0)과의 당접부의 적어도 일부는 발진방지성 수지(Rb)로 형성됨과 동시에 수지체(R)의 발진방지성 수지(Rb) 이외의 부분은 전도성 물질 배합수지(Ra)로 형성되어 있다.
이 때문에 기판(0)을 지지하는 기판지지용 측판(2)의 폭을 좁혀도 필요한 강도를 얻을 수 있다.
또한 금속체(M) 및 전도성물질 배합수지(Ra)의 존재에 의해 기판(0)의 취급시의 대전이 유효하게 방지됨과 동시에, 예컨대 대전하여도 감쇄시간이 0.5초 내지 1초 정도로 일정 시간 유지되기 때문에 감쇄가 적당한 범위에서 서서히 진행되어 회로 장애를 일으킬 염려가 없다. 이와 관련하여 기판지지용 측판(2)을 전부 금속제로 한 때는 대전물과 접촉한 때에 한꺼번에 전류가 흐른다.
그리고 수지체(R)내 기판(0)과의 접당부의 적어도 일부는 발진방지성 수지(Rb)로 형성되어 있기 때문에 기판(0)의 에지(edge)나 배면이 접촉하여도 먼지가 생기지 않는다.
다음에는 실시예를 들어 본 발명을 설명한다.
[실시예 1]
제1도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 일예를 도시한 사시도이고, 일부를 생략표시하고 있다. 제2도는 제1도의 기판지지용 측판(2)의 측면도이다. 제3도는 본 발명의 카세트의 일예를 도시한 측면도이다.
제3도에 있어서, (1)은 프레임으로서 바닥프레임(11), 천정프레임(12) 및 받침프레임(13)으로 이루어진다. 바닥프레임(11), 천정프레임(12)은 각각 후술하는 발진방지성 수지(Rb), 전도성물질 배합수지(Ra)와 동일한 것으로 성형되어 있다. 받침프레임(13)은 축방향으로 천공한 폴리테트라플루오르에틸렌 압출 성형봉에 SUS 304제의 금속봉을 빡빡하게 삽입한 것으로 된다.
(2)는 기판지지용 측판으로서 바닥프레임(11), 천장프레임(12) 사이에 1면에 대해 3장씩 나사고정하고 있다. 일점쇄선으로 나타낸(0)은 기판의 일예로서의 유리기판이고(제3도에는 1매만을 표시하고 있다), 서로 대항하는 기판지지용 측판(2)(2)의 대응하는 선반편(22)(22) 사이의 공간에 수용하고 있다.
제1도 내지 제2도에 도시한 기판지지용 측판(2)은 금속체(M)의 일예로서의 알루미늄 합금을 아웃사이드로서 사용하고 전도성물질 배합수지(Ra)의 일예로서의 탄소 섬유(케첸브럭, 그래파이트도 좋다)를 사출 성형하는 것에 의해 얻은 금속 - 수지복합판으로 이루어진다. 전도성 물질 배합수지(Ra)로 만든 수지체(R)의 체적저항치는 105- 109Ω의 범위내로 설정하고 있다.
기판지지용 측판(2)은 구조적으로는 배육부(21)로부터 설상의 선반편(22)이 소정의 피치로 카세트 내부측으로 향하여 평행하게 뻗은 구조를 가지고 있다. 배육부(21)의 폭은 30mm, 선반편(22)의 폭은 18mm로 각각 설정하고 있다.
기판지지용 측판(2)의 설상은 선반편(22)의 유단측(遊端側)이 기단측(基端側)보다도 높아지도록 경사시키고, 그 경사각은 5o로 설정하고 있다. 선반편(22)의 유단은 동그스름하게 되어 있다. 선반편(22)의 선반면은 그 양단측보다도 중앙부가 높게된 산형구조로 형성되어 있고, 이 산형의 경사각도 5o로 설정하고 있다.
기판지지용 측판(2)의 배육부(21)는 인접하는 설상의 선반편(22)(22)의 홈사이에 있어서, 제2도와 같이 경사구조로 되도록 하고 있다.
그리고, 배육부(21)의 중앙에는 발진방지성 수지(Rb)의 일예로서의 폴리에텔 에텔케톤(폴리에텔이미드이어도 좋다)으로 형성된 돌조상의 돌출부(3X)를 종방향으로 설치하고 있다.
이 카세트는 비교적 가볍고, 이 카세트에 예컨대 TFT 액정용 유리기판을 수용한 경우에도 대전 방지가 확실하게 도모되기 때문에 트랜지스터의 파괴가 확실히 방지된다. 또한 유리기판 등의 기판(0)과의 접촉에 의한 마찰에 기인하는 마모분의 발생이 전혀 없을 정도로 줄어든다.
[실시예 2]
제4도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 다른 일예를 도시한 사시도이다.
이 실시예 2에 있어서는 실시예1과 마찬가지로 배육부(21)의 중앙에 발진방지성 수지(Rb)로 형성된 돌조상의 돌출부(3X)를 종방향으로 설치함과 동시에 설상의 선반편(22)의 산형 구조를 선반면의 미근(尾根)의 부분에도 발진방지성 수지(Rb)로 형성된 돌조상의 돌출부(3y)를 설치한 것이다.
[실시예 3]
제5도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 또 다른 일예를 도시한 부분 사시도이다. 제6도는 제5도의 기판지지용 측판(2)의 폭방향 절단 단면도이다.
이 실시예 3에 있어서는 배육부(21)의 중앙에 발진방지 수지(Rb)로 형성된 돌조상의 돌출부(3X)를 종방향으로 설치한 것이다.
[실시예 4]
제7도는 본 발명의 기판지지용 측판(2)의 다른 일예를 도시한 부분 사시도이다. 제8도는 제7도의 기판지지용 측판(2)의 폭방향 절단단면도이다.
이 실시예 4에 있어서는 배육부(21)의 중앙측의 영역에 양단측의 영역보다도 전방으로 돌출한 폭넓이의 돌출부(3Z)를 설치함과 동시에 그 돌출부(3Z)를 발진방지성 수지(Rb)로 형성하고 있다.
또한, 선반편(22)도 발진방지성 수지(Rb)로 형성하고 있다.
본 발명에 있어서는 기판지지용 측판(2)에 구조적으로 특별한 방안을 강구한 것이므로, 기판(0)은 실질적으로 선반편(22)의 유단(遊端)의 산형의 정정의 일점에 지지되는 것으로되어 기판(0)의 출입이나 운반시 구조적으로 마모분 등의 먼지를 발생치 않는다.
또한, 기판지지용 측판(2)에는 재질적으로도 특별한 방안을 강구하였으므로, 기판(0)을 지지하는 기판지지용 측판(2)의 폭을 좁혀도 필요한 강도를 얻을 수 있을 뿐만 아니라, 기판(0)이 취급시의 대전이 유효하게 방지되며, 또한 예컨대 대전하여도 감쇄시간이 0.5초 내지 1초 정도의 일정 시간 유지되므로 감쇄가 적정한 범위에서 서서히 진행되어 회로장애를 일으킬 염려가 없으며, 또한 기판(0)의 에지나 배면이 접촉하여도 먼지가 발생하지 않는다.

Claims (7)

  1. 프레임(1)에 가설하여 기판(0)을 지지하기 위한 기판지지용 측판(2)에 있어서 상기 기판지지용 측판이, 구조적으로는 배육부(21)로부터 설상의 선반편(22)이 소정의 피치로 카세트 내부측으로 향하여 평행하게 뻗고, 그 선반편(22)은 그 유단측에 어느정도 상방으로 되도록 경사하며, 이 선반편(22)의 선반면은 그 양단면보다도 중앙부가 약간 높게 된 산형구조로 형성되며, 재질적으로는 금속체(M)를 골격재로 하고, 또한 배육부(21)의 적어도 전면측 및 선반편(22)이 수지체(R)로 형성되며, 또한 그 수지체(R) 중 기판(0)과의 당접부의 적어도 일부는 발진방지성 수지(Rb)로 형성됨과 동시에 수지체(R)의 발진방지성 수지(Rb) 이외의 부분은 전도성 물질 배합수지(Ra)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  2. 제1항에 있어서, 배육부(21)의 중앙 종방향으로 돌조상의 돌출부(3X)가 설치되고, 이 돌출부(3X)가 발진방지성 수지(Rb)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  3. 제1항에 있어서, 선반편(22)의 산형구조의 선반면의 미근(尾根)의 부분에 돌조상의 돌출부가(3y)가 설치되고, 이 돌출부(3y)가 발진방지성 수지(Rb)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  4. 제1항에 있어서, 배육부(21)에 바닥(地)으로 되는 영역보다도 약간 전방으로 돌출하는 돌출부(3Z)가 설치되며, 이 돌출부(3Z)가 발진방지성 수지(Rb)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  5. 제1항에 있어서, 선반편(22)을 구성하는 수지체(R)가 발진방지성 수지(Rb)로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  6. 제1항에 있어서, 각단(各段)의 배육부(21)의 표면이 그 상방부분보다도 하방부분이 앞으로 돌출된 경사면으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
  7. 프레임(1) 및 기판지지용 측판(2)(2)에 의해 상자형태로 구성되고, 그 상자형태의 한 쌍의 서로 대항하는 측면에 배설한 기판지지용 측판(2)(2)의 대응하는 선반편(22)(22) 사이의 공간에 기판(0)을 수용하도록 한 카세트에 있어서, 상기 기판지지용 측판(2)으로서 상기 제1항 내지 제6항 중의 어느 한 항에 기재된 기판지지용 측판을 사용한 것을 특징으로 하는 기판지지용 측판.
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