JPH06191547A - 基板固定機構付き基板用カセット - Google Patents
基板固定機構付き基板用カセットInfo
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- JPH06191547A JPH06191547A JP35938092A JP35938092A JPH06191547A JP H06191547 A JPH06191547 A JP H06191547A JP 35938092 A JP35938092 A JP 35938092A JP 35938092 A JP35938092 A JP 35938092A JP H06191547 A JPH06191547 A JP H06191547A
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- Japan
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- substrate
- cassette
- fixing means
- frame
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- Package Frames And Binding Bands (AREA)
- Mounting Of Printed Circuit Boards And The Like (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 基板の挿入および取り出しには何ら支障を与
えず、しかもカセットに収容した基板の動きおよびたわ
みを確実に防止することのできる基板固定機構付き基板
用カセットを提供することを目的とする。 【構成】 下面は底面側フレーム(1) 、上面は天井側フ
レーム(2) でそれぞれ構成され、相対向する１対の側面
は、箱形の内面側に向けて背肉部から水平方向に所定の
ピッチでリブ状の棚片(3a)が張り出した構造を有する溝
付き側板(3), (3)で構成された箱形のカセットである。
上記の相対向する１対の側面のうちの少なくとも一方の
側面の上下方向には、上下動可能でかつ上記棚片(3a)の
ピッチと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた基板固定
手段(4) を設ける。この基板固定手段(4) の下端には底
面側フレーム(1) よりも下方に突出する凸部(4c)を設
け、上端側にはバネなどの付勢手段(4b)を設ける。
えず、しかもカセットに収容した基板の動きおよびたわ
みを確実に防止することのできる基板固定機構付き基板
用カセットを提供することを目的とする。 【構成】 下面は底面側フレーム(1) 、上面は天井側フ
レーム(2) でそれぞれ構成され、相対向する１対の側面
は、箱形の内面側に向けて背肉部から水平方向に所定の
ピッチでリブ状の棚片(3a)が張り出した構造を有する溝
付き側板(3), (3)で構成された箱形のカセットである。
上記の相対向する１対の側面のうちの少なくとも一方の
側面の上下方向には、上下動可能でかつ上記棚片(3a)の
ピッチと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた基板固定
手段(4) を設ける。この基板固定手段(4) の下端には底
面側フレーム(1) よりも下方に突出する凸部(4c)を設
け、上端側にはバネなどの付勢手段(4b)を設ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基板、プラスチ
ックス基板などの基板を互いに接触しないように分離し
て支持するための基板用カセットの改良に関するもので
ある。
ックス基板などの基板を互いに接触しないように分離し
て支持するための基板用カセットの改良に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示用ガラス基板やプラズマ表示体
用ガラス基板、ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、
サーマルヘッド用ガラス基板など各種の基板の輸送や保
管に際しては、各基板を互いに接触しないようにカセッ
トに出入、収容することが必要となる。
用ガラス基板、ハイブリッドＩＣ用セラミックス基板、
サーマルヘッド用ガラス基板など各種の基板の輸送や保
管に際しては、各基板を互いに接触しないようにカセッ
トに出入、収容することが必要となる。
【０００３】この目的の基板用カセットとして、従来、
箱形の枠体の相対向する１対の側面を溝付き側板で形成
し、両側板の対応する溝間に基板を出入、収容しうるよ
うにしたカセットが汎用されている。
箱形の枠体の相対向する１対の側面を溝付き側板で形成
し、両側板の対応する溝間に基板を出入、収容しうるよ
うにしたカセットが汎用されている。
【０００４】溝付き側板の形状、デザインには種々のも
のがあるが、いずれも基本的には、側板背肉部から多数
のリブ状の棚片が張り出した形状を有している。隣接す
るリブ状の棚片間の空隙が溝となり、そこに基板が出
入、収容されるわけである。
のがあるが、いずれも基本的には、側板背肉部から多数
のリブ状の棚片が張り出した形状を有している。隣接す
るリブ状の棚片間の空隙が溝となり、そこに基板が出
入、収容されるわけである。
【０００５】図３は、従来の箱形の基板用カセットの代
表的な全体形状の一例を示した斜視図である。(1) は底
面側フレーム、(2) は天井側フレーム、(5) は基板を受
けとめるストッパーとしての受け側フレームである。
(3), (3)は相対向する１対の側面を構成する溝付き側板
である。図３には溝付き側板(3) を一面につき各３枚用
いた場合を示してあるが、各１枚で構成してもよく、各
２枚とか各４枚とかで構成してもよい。なお図３におい
ては、溝付き側板(3) の棚片を省略表示してある。
表的な全体形状の一例を示した斜視図である。(1) は底
面側フレーム、(2) は天井側フレーム、(5) は基板を受
けとめるストッパーとしての受け側フレームである。
(3), (3)は相対向する１対の側面を構成する溝付き側板
である。図３には溝付き側板(3) を一面につき各３枚用
いた場合を示してあるが、各１枚で構成してもよく、各
２枚とか各４枚とかで構成してもよい。なお図３におい
ては、溝付き側板(3) の棚片を省略表示してある。
【０００６】この基板用カセットは、基板の出入時には
開口側が横を向くようにして使用し、基板の運搬時には
開口側が上または横を向くようにして使用する。
開口側が横を向くようにして使用し、基板の運搬時には
開口側が上または横を向くようにして使用する。
【０００７】上記構造のカセットに対する基板の出入
は、底面側フレーム(1) の隙間から持ち上げたコンベア
ベルトの走行、開口側からのシャトルアームの操作、背
後側からのプッシャーによる突き出し等の手段により自
動的に行うが、作業員が手で行う場合もある。
は、底面側フレーム(1) の隙間から持ち上げたコンベア
ベルトの走行、開口側からのシャトルアームの操作、背
後側からのプッシャーによる突き出し等の手段により自
動的に行うが、作業員が手で行う場合もある。
【０００８】図３に示した形状のカセットのほか、種々
の変形もなされている。たとえば、本出願人の出願にか
かる特開平２−２９５１５０号公報には棚片の棚面ない
し遊端部に突出部を形成した構造のカセット、特開平３
−１３３１５２号公報には棚片の下面の遊端側を隣接す
る棚片側に向けて傾斜させた構造のカセット、特開平３
−１３３１５３号公報にはフレームの組立を熱融着によ
り行ったカセットがそれぞれ示されている。
の変形もなされている。たとえば、本出願人の出願にか
かる特開平２−２９５１５０号公報には棚片の棚面ない
し遊端部に突出部を形成した構造のカセット、特開平３
−１３３１５２号公報には棚片の下面の遊端側を隣接す
る棚片側に向けて傾斜させた構造のカセット、特開平３
−１３３１５３号公報にはフレームの組立を熱融着によ
り行ったカセットがそれぞれ示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述の基板用カセット
は現在では広く採用されているものであるが、運搬時に
基板が水平方向にずれると、基板の端面と、カセットの
溝付き側板の背肉部あるいは棚片の棚面との間の摩擦に
より切削屑を生じ、その切削屑が基板に付着して回路障
害などのトラブルを生ずることがある。
は現在では広く採用されているものであるが、運搬時に
基板が水平方向にずれると、基板の端面と、カセットの
溝付き側板の背肉部あるいは棚片の棚面との間の摩擦に
より切削屑を生じ、その切削屑が基板に付着して回路障
害などのトラブルを生ずることがある。
【００１０】また最近においては基板の薄型化が一段と
進行し、たとえばガラス基板の場合、従来の 1.1mm厚の
ものから 0.7〜0.55mm厚の極薄のものまで使われるよう
になってきている。さらにはガラス基板に代えて、軽量
で破損しない薄膜のプラスチックス基板も用いられるよ
うになってきている。このように薄型となってくると、
もともとたわみやすいプラスチックス基板の場合はもと
より、ガラス基板の場合であってもたわみを生じ、その
ためカセットに収容した基板が取り扱い中に落下するよ
うな事態もある。
進行し、たとえばガラス基板の場合、従来の 1.1mm厚の
ものから 0.7〜0.55mm厚の極薄のものまで使われるよう
になってきている。さらにはガラス基板に代えて、軽量
で破損しない薄膜のプラスチックス基板も用いられるよ
うになってきている。このように薄型となってくると、
もともとたわみやすいプラスチックス基板の場合はもと
より、ガラス基板の場合であってもたわみを生じ、その
ためカセットに収容した基板が取り扱い中に落下するよ
うな事態もある。
【００１１】本発明は、このような背景下において、基
板の挿入および取り出しには何ら支障を与えず、しかも
カセットに収容した基板の動きおよびたわみを確実に防
止することのできる基板固定機構付き基板用カセットを
提供することを目的とするものである。
板の挿入および取り出しには何ら支障を与えず、しかも
カセットに収容した基板の動きおよびたわみを確実に防
止することのできる基板固定機構付き基板用カセットを
提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の基板固定機構付
き基板用カセットは、下面は底面側フレーム(1) 、上面
は天井側フレーム(2) でそれぞれ構成され、相対向する
１対の側面は、箱形の内面側に向けて背肉部から水平方
向に所定のピッチでリブ状の棚片(3a)が張り出した構造
を有する溝付き側板(3), (3)で構成された箱形のカセッ
トにおいて、前記相対向する１対の側面のうちの少なく
とも一方の側面の上下方向に、上下動可能でかつ前記棚
片(3a)のピッチと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた
基板固定手段(4) を設けたことを特徴とするものであ
る。
き基板用カセットは、下面は底面側フレーム(1) 、上面
は天井側フレーム(2) でそれぞれ構成され、相対向する
１対の側面は、箱形の内面側に向けて背肉部から水平方
向に所定のピッチでリブ状の棚片(3a)が張り出した構造
を有する溝付き側板(3), (3)で構成された箱形のカセッ
トにおいて、前記相対向する１対の側面のうちの少なく
とも一方の側面の上下方向に、上下動可能でかつ前記棚
片(3a)のピッチと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた
基板固定手段(4) を設けたことを特徴とするものであ
る。
【００１３】以下本発明を詳細に説明する。
【００１４】本発明の基板用カセットは、従来のカセッ
トと同様に、下面は底面側フレーム(1) 、上面は天井側
フレーム(2) 、相対向する１対の側面は溝付き側板(3),
(3)でそれぞれ構成される。
トと同様に、下面は底面側フレーム(1) 、上面は天井側
フレーム(2) 、相対向する１対の側面は溝付き側板(3),
(3)でそれぞれ構成される。
【００１５】このうち溝付き側板(3) は、箱形の内面側
に向けて背肉部から水平方向に所定のピッチでリブ状の
棚片(3a)が張り出した構造を有する。隣接する棚片(3
a), (3a)間のピッチは、収容する基板の厚さを考慮し
て、基板の出入に支障がなくかつ過度に無駄なスペース
があかないように設計する。
に向けて背肉部から水平方向に所定のピッチでリブ状の
棚片(3a)が張り出した構造を有する。隣接する棚片(3
a), (3a)間のピッチは、収容する基板の厚さを考慮し
て、基板の出入に支障がなくかつ過度に無駄なスペース
があかないように設計する。
【００１６】なお収容した基板の滑落を防止するため、
カセット背後側に基板を受けとめるストッパーとしての
受け側フレーム(5) を設けたり、溝付き側板(3), (3)の
最奥側の端部にストッパーを設けたりする。
カセット背後側に基板を受けとめるストッパーとしての
受け側フレーム(5) を設けたり、溝付き側板(3), (3)の
最奥側の端部にストッパーを設けたりする。
【００１７】そして本発明においては、前記相対向する
１対の側面のうちの少なくとも一方（通常は双方）の側
面の上下方向に、上下動可能でかつ前記棚片(3a)のピッ
チと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた基板固定手段
(4) を１ないし複数個設ける。
１対の側面のうちの少なくとも一方（通常は双方）の側
面の上下方向に、上下動可能でかつ前記棚片(3a)のピッ
チと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた基板固定手段
(4) を１ないし複数個設ける。
【００１８】基板固定手段(4) の下端には、底面側フレ
ーム(1) よりも下方に突出する凸部(4c)を設けることが
好ましい。そのような凸部(4c)を設けると、カセットを
ステージ上に置いたときにその凸部(4c)が上方に押され
て基板固定手段(4) が自動的に上方に動き、基板固定手
段(4) の棚片(4a)と溝付き側板(3) の棚片(3a)とが同一
高さの面となる。
ーム(1) よりも下方に突出する凸部(4c)を設けることが
好ましい。そのような凸部(4c)を設けると、カセットを
ステージ上に置いたときにその凸部(4c)が上方に押され
て基板固定手段(4) が自動的に上方に動き、基板固定手
段(4) の棚片(4a)と溝付き側板(3) の棚片(3a)とが同一
高さの面となる。
【００１９】カセットを持ち上げたときの基板固定手段
(4) の下方への動きは、基板固定手段(4) の自重を利用
することもできるが、自重では上からの基板の押えが不
足することがあり、またカセットの持ち上げに際しては
カセットの開口部から基板が滑落しないように開口部側
が背後側よりも高くなるような持ち上げ方をしたり、あ
るいは開口部側が真上を向くような持ち上げ方をするこ
ともあるので、基板の押え機能および基板固定手段(4)
の下方への円滑な動きを確保するために、基板固定手段
(4) の上端側にバネなどの付勢手段(4b)を設けることが
望ましい。
(4) の下方への動きは、基板固定手段(4) の自重を利用
することもできるが、自重では上からの基板の押えが不
足することがあり、またカセットの持ち上げに際しては
カセットの開口部から基板が滑落しないように開口部側
が背後側よりも高くなるような持ち上げ方をしたり、あ
るいは開口部側が真上を向くような持ち上げ方をするこ
ともあるので、基板の押え機能および基板固定手段(4)
の下方への円滑な動きを確保するために、基板固定手段
(4) の上端側にバネなどの付勢手段(4b)を設けることが
望ましい。
【００２０】上述の底面側フレーム(1) 、天井側フレー
ム(2) 、受け側フレーム(5) 、溝付き側板(3), (3)は通
常金属や樹脂で構成され、特に樹脂製とすることが好ま
しい。樹脂としては、使用目的に応じて必要な強度、耐
熱性、耐溶剤性、耐酸・耐アルカリ性などの特質を有す
る溶融成形可能な樹脂が選択され、たとえば、ポリイミ
ド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、パ
ーフルオロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレ
ン、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホ
ン、ポリエーテルスルホン、変性ポリフェニレンオキサ
イド、ポリエーテルアミド、ポリプロピレンなどが用い
られる。溶融成形法としては、射出成形法、押出成形
法、トランスファー成形法などが採用される。
ム(2) 、受け側フレーム(5) 、溝付き側板(3), (3)は通
常金属や樹脂で構成され、特に樹脂製とすることが好ま
しい。樹脂としては、使用目的に応じて必要な強度、耐
熱性、耐溶剤性、耐酸・耐アルカリ性などの特質を有す
る溶融成形可能な樹脂が選択され、たとえば、ポリイミ
ド、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリエー
テルエーテルケトン、ポリフェニレンサルファイド、パ
ーフルオロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレ
ン、ポリアリレート、ポリスルホン、ポリアリルスルホ
ン、ポリエーテルスルホン、変性ポリフェニレンオキサ
イド、ポリエーテルアミド、ポリプロピレンなどが用い
られる。溶融成形法としては、射出成形法、押出成形
法、トランスファー成形法などが採用される。
【００２１】上記構造のカセットに収容する基板として
は、ガラス基板、セラミックス基板、金属芯基板、コン
ポジット基板、シリコン基板、プラスチックス基板など
種々の基板があげられる。
は、ガラス基板、セラミックス基板、金属芯基板、コン
ポジット基板、シリコン基板、プラスチックス基板など
種々の基板があげられる。
【００２２】
【作用】図２は本発明の基板用カセットの基板固定手段
(4) の作用を示した説明図である。図２中、(B) は基板
である。
(4) の作用を示した説明図である。図２中、(B) は基板
である。
【００２３】本発明の基板用カセットに基板を収容する
にあたっては、カセットをステージ上に載置する。この
とき、図２の（イ）に示したように、基板固定手段(4)
は上方に押されて基板固定手段(4) の棚片(4a)と溝付き
側板(3) の棚片(3a)とが同一高さの面となる。この状態
で、カセットの開口部側から溝付き側板(3), (3)の溝間
に基板を挿入する。基板の取り出しも同様にして行う。
にあたっては、カセットをステージ上に載置する。この
とき、図２の（イ）に示したように、基板固定手段(4)
は上方に押されて基板固定手段(4) の棚片(4a)と溝付き
側板(3) の棚片(3a)とが同一高さの面となる。この状態
で、カセットの開口部側から溝付き側板(3), (3)の溝間
に基板を挿入する。基板の取り出しも同様にして行う。
【００２４】基板を収容したカセットを運搬その他の目
的で持ち上げると、図２の（ロ）に示したように、基板
固定手段(4) は自重および付勢手段(4b)の付勢力により
自動的に下方に移動する。これにより、基板は溝付き側
板(3) の棚片(3a)で下から支えられると共に、基板固定
手段(4) の棚片(4a)で上から押えられ、基板の動きおよ
びたわみが防止される。
的で持ち上げると、図２の（ロ）に示したように、基板
固定手段(4) は自重および付勢手段(4b)の付勢力により
自動的に下方に移動する。これにより、基板は溝付き側
板(3) の棚片(3a)で下から支えられると共に、基板固定
手段(4) の棚片(4a)で上から押えられ、基板の動きおよ
びたわみが防止される。
【００２５】すなわち、基板固定手段(4) は、基板の挿
入および取り出しには何ら支障を与えず、しかもカセッ
トに収容した基板の動きおよびたわみを確実に防止する
のである。
入および取り出しには何ら支障を与えず、しかもカセッ
トに収容した基板の動きおよびたわみを確実に防止する
のである。
【００２６】
【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。
る。
【００２７】実施例１ 図１は本発明の基板用カセットの一例を示した斜視図で
あり、一部を省略表示してある。
あり、一部を省略表示してある。
【００２８】(1) は底面側フレーム、(2) は天井側フレ
ーム、(5) は基板を受けとめるストッパーとしての受け
側フレームであり、いずれも耐熱性樹脂（たとえばポリ
エーテルイミド）の射出成形品で形成されている。
ーム、(5) は基板を受けとめるストッパーとしての受け
側フレームであり、いずれも耐熱性樹脂（たとえばポリ
エーテルイミド）の射出成形品で形成されている。
【００２９】(3), (3)はカセットの相対向する１対の側
面を構成する溝付き側板であり、上記と同じ耐熱性樹脂
の射出成形品で形成されている。この溝付き側板(3),
(3)は、底面側フレーム(1) と天井側フレーム(2) 間
に、カセットの１側面につき各３枚をビスどめしてあ
る。
面を構成する溝付き側板であり、上記と同じ耐熱性樹脂
の射出成形品で形成されている。この溝付き側板(3),
(3)は、底面側フレーム(1) と天井側フレーム(2) 間
に、カセットの１側面につき各３枚をビスどめしてあ
る。
【００３０】この溝付き側板(3) は、箱形の内面側に向
けて背肉部から水平方向に所定のピッチでリブ状の棚片
(3a)が張り出した構造を有する。また射出成形時の歪み
を防止するため、箱形の外面側にも同様のリブ状の棚片
を対称的に形成してある。
けて背肉部から水平方向に所定のピッチでリブ状の棚片
(3a)が張り出した構造を有する。また射出成形時の歪み
を防止するため、箱形の外面側にも同様のリブ状の棚片
を対称的に形成してある。
【００３１】(4) は基板固定手段であり、上記と同じ耐
熱性樹脂の射出成形品で形成されている。この基板固定
手段(4) の箱形の内面側に向けては、背肉部から水平方
向に前記棚片(3a)のピッチと同じピッチを有する棚片(4
a)を形成してある。
熱性樹脂の射出成形品で形成されている。この基板固定
手段(4) の箱形の内面側に向けては、背肉部から水平方
向に前記棚片(3a)のピッチと同じピッチを有する棚片(4
a)を形成してある。
【００３２】基板固定手段(4) の下端は凸部(4c)に形成
してあり、この凸部(4c)は、底面側フレーム(1) に設け
た貫通孔を通して底面側フレーム(1) よりも下方に突出
するようにしてある。
してあり、この凸部(4c)は、底面側フレーム(1) に設け
た貫通孔を通して底面側フレーム(1) よりも下方に突出
するようにしてある。
【００３３】基板固定手段(4) の上端側と天井側フレー
ム(2) との間には、付勢手段(4b)の一例としての圧縮バ
ネを設けてある。この圧縮バネの復元力により、前記凸
部(4c)に上向きの力が加わらない限りは、基板固定手段
(4) 全体は下方に押し下げられる。
ム(2) との間には、付勢手段(4b)の一例としての圧縮バ
ネを設けてある。この圧縮バネの復元力により、前記凸
部(4c)に上向きの力が加わらない限りは、基板固定手段
(4) 全体は下方に押し下げられる。
【００３４】この基板用カセットの取り扱いは、作用の
項で述べた手順により行われる。
項で述べた手順により行われる。
【００３５】
【発明の効果】本発明の基板用カセットを用いれば、基
板の挿入および取り出しには何ら支障を与えることな
く、カセットに収容した基板の動きおよびたわみを確実
に防止することができる。
板の挿入および取り出しには何ら支障を与えることな
く、カセットに収容した基板の動きおよびたわみを確実
に防止することができる。
【００３６】従って、カセットに収容した基板の水平方
向のずれに基く摩擦による切削屑の発生が解消し、また
超薄型のガラス基板やたわみやすい薄膜のプラスチック
ス基板であっても、基板の動きやたわみを生じなくな
る。
向のずれに基く摩擦による切削屑の発生が解消し、また
超薄型のガラス基板やたわみやすい薄膜のプラスチック
ス基板であっても、基板の動きやたわみを生じなくな
る。
【図１】図１は本発明の基板用カセットの一例を示した
斜視図であり、一部を省略表示してある。
斜視図であり、一部を省略表示してある。
【図２】図２は本発明の基板用カセットの基板固定手段
(4) の作用を示した説明図である。
(4) の作用を示した説明図である。
【図３】従来の箱形の基板用カセットの代表的な全体形
状の一例を示した斜視図である。
状の一例を示した斜視図である。
(1) …底面側フレーム、 (2) …天井側フレーム、 (3) …溝付き側板、 (3a)…棚片、 (4) …基板固定手段、 (4a)…棚片、(4b)…付勢手段、(4c)…凸部、 (5) …受け側フレーム、 (B) …基板
Claims (3)
- 【請求項１】下面は底面側フレーム(1) 、上面は天井側
フレーム(2) でそれぞれ構成され、相対向する１対の側
面は、箱形の内面側に向けて背肉部から水平方向に所定
のピッチでリブ状の棚片(3a)が張り出した構造を有する
溝付き側板(3), (3)で構成された箱形のカセットにおい
て、前記相対向する１対の側面のうちの少なくとも一方
の側面の上下方向に、上下動可能でかつ前記棚片(3a)の
ピッチと同じピッチを有する棚片(4a)を備えた基板固定
手段(4) を設けたことを特徴とする基板固定機構付き基
板用カセット。 - 【請求項２】基板固定手段(4) の上端側に付勢手段(4b)
を設けてある請求項１記載の基板固定機構付き基板用カ
セット。 - 【請求項３】基板固定手段(4) の下端に底面側フレーム
(1) よりも下方に突出する凸部(4c)を設けてある請求項
１記載の基板固定機構付き基板用カセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35938092A JPH06191547A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 基板固定機構付き基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35938092A JPH06191547A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 基板固定機構付き基板用カセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06191547A true JPH06191547A (ja) | 1994-07-12 |
Family
ID=18464210
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35938092A Withdrawn JPH06191547A (ja) | 1992-12-25 | 1992-12-25 | 基板固定機構付き基板用カセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06191547A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5890598A (en) * | 1997-01-22 | 1999-04-06 | Nec Corporation | Substrate cassette |
| KR100275017B1 (ko) * | 1996-07-03 | 2001-01-15 | 가네꼬 히사시 | 기판용카셋트 |
| KR100957388B1 (ko) * | 2008-02-04 | 2010-05-11 | (주)포인텍 | 피처리물 클램핑장치 |
| JP2012136295A (ja) * | 2010-12-08 | 2012-07-19 | Nix Inc | 板材収納枠 |
| CN105514003A (zh) * | 2015-12-18 | 2016-04-20 | 天津胜富辉嘉科技有限公司 | 一种芯片固定盒 |
| CN106211584A (zh) * | 2016-07-27 | 2016-12-07 | 无锡深南电路有限公司 | 一种pcb工装 |
| CN106847733A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-06-13 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种用于蓝宝石衬底片盒放置的通用装置 |
-
1992
- 1992-12-25 JP JP35938092A patent/JPH06191547A/ja not_active Withdrawn
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100275017B1 (ko) * | 1996-07-03 | 2001-01-15 | 가네꼬 히사시 | 기판용카셋트 |
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| CN105514003B (zh) * | 2015-12-18 | 2018-06-12 | 天津胜富辉嘉科技有限公司 | 一种芯片固定盒 |
| CN106211584A (zh) * | 2016-07-27 | 2016-12-07 | 无锡深南电路有限公司 | 一种pcb工装 |
| CN106847733A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-06-13 | 江苏吉星新材料有限公司 | 一种用于蓝宝石衬底片盒放置的通用装置 |
| CN106847733B (zh) * | 2017-03-21 | 2023-06-02 | 优然沃克(北京)科技有限公司 | 一种用于蓝宝石衬底片盒放置的通用装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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