KR100800320B1 - 기판 수납용 카세트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 이재시 발생하는 기판의 파손을 최소화할 수 있는 기판 수납용 카세트에 관한 것이다.

본 발명의 기판 수납용 카세트는 기판 수납용 카세트는 상판과 하판 사이에 수직으로 세워진 적어도 둘 이상의 스토퍼와, 상기 스토퍼들의 측면에서 수평방향으로 돌출되어 기판들을 지지하고 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 다수의 선반들을 구비한다. 상기 선반들 각각에는 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 지시자가 형성된다.

이러한 구성에 의하면, 기판 수납용 카세트는 선반들에 홈을 형성시켜 기판 이재시 기판이 파손되는 것을 방지할 수 있다.

Description

기판 수납용 카세트{Cassette for Loading Glass}

도 1은 종래의 카세트를 나타내는 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 기판이 적재된 사이드 플레이트의 선반을 상세히 나타내는 단면도.

도 3은 도 2에 도시된 카세트에 적재되는 기판의 비틀어짐 현상을 나타내는 평면도.

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 카세트를 나타내는 사시도.

도 5는 도 4에 도시된 기판이 적재된 사이드 플레이트의 선반을 상세히 나타내는 단면도.

도 6은 도 5에 도시된 카세트에 적재되는 기판이 정위치에 위치함을 나타내는 평면도.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

2, 52 : 상판 4, 54 : 하판

6, 56 : 사이드 플레이트 8,12,13,58,74 : 선반

10, 60 : 스토퍼 8A, 58B, 74B : 경사면

16,17,18,19,20,21,38,40,62,64,66,68,70,72,80,82 : 측변

30,50 : 카세트 36,78 : 기판

58A, 74A : 홈

본 발명은 기판 수납용 카세트에 관한 것으로, 특히 기판 이재시 발생하는 기판 파손을 방지할 수 있는 기판 수납용 카세트에 관한 것이다.

기판 수납용 카세트는 반도체 제조공정, 평판 디스플레이 제조공정 등에서 사용되고 있다. 이 중 액정표시장치(Liquid Crystal Display)의 제조공정은 하부기판 상에 TFT(Thin Film Transistor) 어레이, 배향막이 순차적으로 형성되며, 상부기판 상에 공통전극, 배향막이 순차적으로 적층된다. 액정표시장치는 서로 대향하여 소정의 간격을 유지하는 상부기판과 하부기판 사이에 액정을 주입하고 밀봉하여 이루어진다. 이러한 액정표시장치를 제조하는 과정에서 기판의 로딩 및 언로딩시 기판을 적재함과 아울러 적재된 기판의 이동수단으로 카세트가 사용된다.

도 1은 종래의 카세트를 나타내는 사시도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 카세트는 상판(2)과 하판(4)의 제 1 측변들(16, 17) 및 제 2 측변들(18, 19) 사이에 설치되어 상판(2)과 하판(4)을 지지하는 사이드 플레이트들(6)과, 상판(2)과 하판(4)의 제 3 측변들(20, 21) 사이에 설치되어 상판(2)과 하판(4)을 지지하는 스토퍼(10)와, 서로 대향되는 방향으로 사이드 플레이트(6)의 일측면에 형성되는 다수개의 제 1 선반들(8)과, 제 1 선반들(8)과 직교하는 방향으로 스토퍼(10)의 일측면에 형성되는 다수 개의 제 2 선반들(12)을 구비한다.

상판(2)과 하판(4) 사이에는 8개의 사이드 플레이트들(6)이 설치된다. 즉, 제 1 측변들(16, 17) 사이에 4개의 사이드 플레이트들(6)이 설치되고, 제 2 측변들(18, 19) 사이에 4개의 사이드 플레이트들(6)이 설치된다. 사이드 플레이트들(6)의 일측면에 형성된 제 1 선반들(8)은 소정간격으로 일정하게 배치되어 기판의 적재공간을 마련한다. 제 1 선반들(8)은 카세트에 적재된 기판을 일정하게 배열한다. 제 3 측변들(20, 21) 사이에는 2개의 스토퍼(10)들이 설치된다. 스토퍼들(10)은 컨베어로부터 공급되는 기판을 정지시킴과 아울러 기판들을 일정하게 정렬시킨다. 스토퍼들(10)의 일측면에 형성된 제 2 선반들(12)은 카세트에 적재되는 기판을 지지함과 아울러 컨베어로부터 공급되는 기판의 충격을 최소화시킨다. 카세트의 사이드 플레이트(6) 및 스토퍼(10)는 알루미늄(Al) 상에 PEI (Polyether Imide)가 부착되어 형성된다. 이와 같은 PEI는 높은 물리적 강도를 가짐과 아울러 낮은 마찰계수를 가진다.

도 2는 기판이 적재된 사이드 플레이트의 선반을 상세히 나타내는 단면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 카세트에 적재되는 기판의 비틀어짐 현상을 나타내는 평면도이다.

도 2 및 도 3을 참조하면, 사이드 플레이트(6)의 제1 선반들(8) 및 스토퍼(10)의 제2 선반들(12) 상에 기판(36)이 적재된다. 제1 선반들(8) 및 제2 선반들(12)은 소정의 경사각을 가지는 경사면(8A, 12A)이 형성된다. 각각의 경사면(8A, 12A)은 적재된 기판(36)을 일정하게 배열함과 아울러 충격으로 인한 기판(36)의 파손을 최소화하기 위하여 설치된다. 이렇게 기판(36)이 제1 및 제2 선반들(8, 12)에 적재될 때 도 2에 도시된 바와 같이 기판(36)이 제1 및 제2 선반들(8, 12)의 정위치, 즉 B 위치에 있어야 기판(36)이 정위치에 안정되게 적재된다.

그러나, 기판(36)이 정위치인 B 위치에서 벗어난 A 위치나 C 위치에 안착되어 기판(36)이 로딩되거나 언로딩시 제1 및 제2 선반들(8, 12)과 충돌하게 된다. 따라서, 기판(36)이 사이드 플레이트(6)와 가까이 위치하게 되어 파손되거나 사이드 플레이트(6)에 스크래치가 발생될 수 있다.

또한, 로봇이나 작업자가 기판(36)을 이재할 때 기판(36)이 제1 및 제2 선반들(8, 12)의 정위치에 안착되었는지 눈으로 식별하기가 어렵게 된다. 이 결과, 도 3에 도시된 바와 같이 기판(36)이 틀어져서 적재되어 기판(36)이 파손될 우려가 있다.

따라서, 본 발명의 목적은 기판 이재시 발생하는 기판의 파손을 최소화할 수 있는 기판 수납용 카세트를 제공하는데 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 수납용 카세트는 상판과 하판 사이에 수직으로 세워진 적어도 둘 이상의 스토퍼와, 상기 스토퍼들의 측면에서 수평방향으로 돌출되어 기판들을 지지하고 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 다수의 선반들을 구비한다. 상기 선반들 각각에는 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 지시자가 형성되는 것을 특징으로 한다.

상기 지시자는 소정 길이의 홈이나 상기 선반들 상에 인쇄된 눈금인 것을 특징으로 한다.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.

도 4는 본 발명의 카세트를 나타내는 사시도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 카세트는 상판(52)과 하판(54)의 제1 측변들(62,64) 및 제2 측변들(66,68) 사이에 설치되어 상판(52)과 하판(54)을 지지하는 사이드 플레이트들(56)과, 상판(52)과 하판(54)의 제3 측변들(70,72) 사이에 설치되어 상판(52)과 하판(54)을 지지하는 스토퍼(60)와, 서로 대향하는 방향으로 사이드 플레이트(56)의 일측면에 형성되는 다수개의 제1 선반들(58)과, 제1 선반들(58)과 직교하는 방향으로 스토퍼(60)의 일측면에 형성되는 다수개의 제2 선반들(74)를 구비한다.

상판(52)과 하판(54) 사이에는 8개의 사이드 플레이트들(56)이 설치된다. 즉, 제1 측변들(62,64) 사이에 4개의 사이드 플레이트들(56)이 설치되고, 제2 측변들(66,68) 사이에 4개의 사이드 플레이트들(56)이 설치된다. 사이드 플레이트들(56)의 일측면에 형성된 선반들(58)은 소정간격으로 일정하게 배치되어 기판의 적재공간을 마련한다.

제 3 측변들(70,72) 사이에는 2개의 스토퍼들(60)이 설치된다. 스토퍼들(60)은 컨베어로부터 공급되는 기판을 정지시킴과 아울러 기판들을 일정하게 정렬시킨다. 스토퍼들(60)의 일측면에 형성된 제 2 선반들(74)은 카세트에 적재되는 기판을 지지함과 아울러 컨베어로부터 공급되는 기판의 충격을 최소화시킨다.

도 5는 도 4에 도시된 기판이 적재된 사이드 플레이트의 선반을 상세히 나타내는 단면도이며, 도 6은 도 5에 도시된 카세트에 적재되는 기판이 정위치에 위치함을 나타내는 평면도이다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 사이드 플레이트(56)의 제1 선반들(58) 및 스토퍼들(60)의 제2 선반들(74)에 의해 기판(78)이 적재된다.

제1 및 제2 선반들(58, 74)은 카세트에 적재된 기판을 일정하게 배열함과 아울러 충격으로 인한 기판의 파손을 최소화하기 위하여 제1 및 제2 선반들(58, 74)의 정위치에 홈(58A, 74A)이 형성된다. 또한, 제1 및 제2 선반들(58, 74)은 경사면(58B, 74B)이 형성된다. 각각의 경사면(58B, 74B)은 적재된 기판을 일정하게 배열함과 아울러 충격으로 인한 기판의 파손을 최소화하기 위하여 설치된다.

제1 및 제2 선반들(58, 74)은 경사면(58B, 74B)을 통해 기판(78)을 정위치로 안내한다. 제1 및 제2 선반들(58, 74)은 홈(58A, 74A)을 통해 기판(78)이 정확한 위치에 안착되었는지 확인가능하게 된다. 즉, 기판(78)이 틀어지게 카셋트에 적재될 경우 홈(58A, 74A)에 의해 기판(78)이 틀어지게 적재된 것을 쉽게 식별할 수 있다. 이에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이 손쉽게 기판(78)을 정위치에 위치시킬 수 있다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 수납용 카세트는 선반들에 지시자(홈이나 눈금)을 형성시킴으로써 기판을 손쉽게 정위치에 위치시킬 수 있으며, 기판이 파손되기 전에 기판의 위치를 미리 확인할 수 있다. 즉, 사용자가 손으로 기판을 이재시키거나 손으로 운반할 경우 이재된 기판의 틀어짐을 미리 확인할 수 있게 되어 기판의 파손을 최소화할 수 있다.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다.

Claims (9)

1. 상판과 하판 사이에 수직으로 세워진 적어도 둘 이상의 스토퍼(60)와,

   상기 스토퍼들의 측면에서 수평방향으로 돌출되어 기판들(78)을 지지하고 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 다수의 선반들(58)을 구비하고,

   상기 선반들 각각에는 상기 기판의 정렬상태를 지시하는 지시자(58A)가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 지시자와 상기 스토퍼 사이에서 상기 선반에는 소정의 경사각을 가지는 경사면이 형성된 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 지시자는 소정 길이의 홈인 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 지시자는 인쇄된 눈금인 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
5. 제 3 항에 있어서,

   상기 홈은 상기 선반들의 상면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
6. 제 4 항에 있어서,

   상기 눈금은 상기 선반들의 상면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
7. 제 3 항에 있어서,

   상기 홈은 상기 선반들의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
8. 제 4 항에 있어서,

   상기 눈금은 상기 선반들의 측면에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.
9. 제 2 항에 있어서,

   상기 경사면은 상기 선반과 상기 지지대가 연결되는 부분에 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납용 카세트.

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