KR102282666B1 - 그라스 적재용 카세트 - Google Patents

그라스 적재용 카세트 Download PDF

Info

Publication number
KR102282666B1
KR102282666B1 KR1020190083088A KR20190083088A KR102282666B1 KR 102282666 B1 KR102282666 B1 KR 102282666B1 KR 1020190083088 A KR1020190083088 A KR 1020190083088A KR 20190083088 A KR20190083088 A KR 20190083088A KR 102282666 B1 KR102282666 B1 KR 102282666B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass
cassette
bar
grass
inclined surface
Prior art date
Application number
KR1020190083088A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20210007151A (ko
Inventor
서경훈
최기성
Original Assignee
내일시스템주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 내일시스템주식회사 filed Critical 내일시스템주식회사
Priority to KR1020190083088A priority Critical patent/KR102282666B1/ko
Publication of KR20210007151A publication Critical patent/KR20210007151A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102282666B1 publication Critical patent/KR102282666B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65DCONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
    • B65D85/30Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure
    • B65D85/48Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for articles particularly sensitive to damage by shock or pressure for glass sheets
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67303Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H01L21/67309Vertical boat type carrier whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising rod-shaped elements characterized by the substrate support

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

본 발명은 액정 패널의 생산 공정에서 액정 패널의 전면이 되는 그라스를 공정간에 운반하는 그라스 적재용 카세트에 관한 것으로, 소정의 크기로 절단된 상태로 카세트에 담기는 그라스의 가장자리 여유분이 작더라도 싸이드 바와의 접촉부위를 최소화하면서도 그라스가 처지거나, 정위치를 이탈하지 않도록 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 로딩되는 그라스(200)의 양단을 지지하도록 싸이드 플레이트(120)에 제1 경사면(122)을 갖는 측면 싸이드 바(121)를 상, 하로 구비하고, 그라스(200)의 후단을 지지하도록 리어 플레이트(130)에는 제2 경사면(132)을 갖는 배면 싸이드 바(131)를 상, 하로 구비하며, 카세트(k)의 중간지점에는 그라스(200)의 저면이 닿는 1개의 팁(151)을 형성함과 함께 선단에는 그라스(200)의 전단 하부가 닿는 제3 경사면(152)을 갖는 써포트 바(150)를 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)와 동일한 간격이 되게 상, 하로 구비하여 카세트(k)에 로딩되는 그라스(200)가 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉함과 동시에 그라스(200)의 저면이 팁(151)에 점접촉되면서 지지되도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

그라스 적재용 카세트 {Cassette for loading glass}
본 발명은 액정 패널의 생산 공정에서 액정 패널의 전면이 되는 그라스를 공정간에 운반하는 그라스 적재용 카세트에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 소정의 크기로 절단된 상태로 카세트에 담기는 그라스의 가장자리 여유분이 작더라도 싸이드 바와의 접촉부위를 최소화하면서도 그라스가 처지거나, 정위치를 이탈하지 않도록 하는 그라스 적재용 카세트에 관한 것이다.
일반적으로, TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electroluminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 성형공정과 절단공정을 거쳐 소정의 크기로 생산되고 있다.
이와 같은 유리기판에는 두께, 휨도, 평탄도, 투과율, 기포, 이물, 긁힘, 요철, 오염, 직선성 및 크기 오차 등 여러 가지 요인에 의하여 많은 결함이 발생되고 있어 고품질의 평판 디스플레이를 제조하기 위해서는 생산 완료된 유리기판의 운반 과정에 많은 주의를 요한다.
이에 따라, 유리물의 성형공정과 절단공정을 거쳐 소정의 크기로 절단된 유리기판은 사각틀 형태를 갖는 카세트 내에 차례로 로딩(loading)하여 공정 간에 운반하게 된다.
상기한 그라스가 로딩되는 카세트는 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이 상·하판(1)(2) 그리고 상기 상·하판의 사이에 고정된 복수 개의 싸이드 플레이트(3) 및 리어 플레이트(4)로 구성되어 있고 상기 싸이드 플레이트(3)의 내 측에는 로딩되는 그라스(5)의 양단이 접속되어 그라스 하중의 20%를 지지하는 로딩 바(6)가 상·하 방향으로 고정되어 있으며 리어 플레이트(4)에는 로딩되는 그라스(5)의 전체 무게 중 80%를 지지하는 복수 개의 써포트 바(7)가 외팔보형태로 나란히 고정되어 있다.
따라서 카세트 내에 그라스(5)를 로딩하면 그라스의 저면은 써포트 바(7)에 고정된 팁(8)에 접속되고 양단은 로딩 바(6)에 접속된다.
상기한 바와 같이 로딩되는 그라스(5)의 하중 중 80%를 지지하는 써포트 바(7)는 도 2에 나타낸 바와 같이 다이케스팅(die casting)으로 성형되어 금형 내에 인써트(insert)되는 지지부재(9)와, 상기 지지부재와 일체로 성형되는 탄소섬유 계통의 지지 바(10)로 이루어져 있는데, 상기 지지 바의 상면에는 일정 간격으로 그라스의 저면이 맞닿는 팁(8)이 고정되어 있어 그라스의 저면에 스크래치가 발생되는 현상을 최소화하고 있다.
(선행기술문헌)
(특허문헌 0001) 대한민국 등록특허공보 10-1288340(2013.07.22.등록)
(특허문헌 0002) 대한민국 등록특허공보 10-0496102(2005.06.09.등록)
(특허문헌 0003) 대한민국 공개특허공보 10-2019-0058128(2019.05.29.공개)
그러나 이러한 종래의 카세트는 510 × 510mm로 절단된 그라스를 내부에 로딩하면 가장자리의 여유분이 약 8mm정도밖에 되질 않아 로딩 바에 닿는 면적이 커질 뿐만 아니라 그라스의 중간부위에 처짐을 방지하는 2개의 써포트 바가 있어 그라스가 닿는 면적이 커져 그라스를 핸들링하는 과정에서 그라스가 오염되는 문제점이 발생되었다.
또한, 그라스의 핸들링시 카세트의 로딩 바 및 써포트 바에 닿는 면적이 커짐에 따라 그라스에 스크래치(scratch)가 발생되거나, 파티클(particle)이 발생되는 원인으로 작용되었다.
본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 카세트에 로딩되는 그라스의 지지구조를 개선하여 그라스의 접촉면적을 최소화하므로 그라스의 저면에 스크래치가 발생되거나, 그라스의 로딩 및 언로딩에 따른 파티클의 발생을 최소화할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 그라스의 양단 및 후단은 물론이고 전단까지 지지할 수 있도록 카세트의 구조를 개선하여 카세트에 로딩되는 그라스가 처지는 현상을 최소화할 수 있도록 하는 데 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 로딩되는 그라스의 양단을 지지하도록 싸이드 플레이트에 제1 경사면을 갖는 측면 싸이드 바를 상, 하로 구비하고, 그라스의 후단을 지지하도록 리어 플레이트에는 제2 경사면을 갖는 배면 싸이드 바를 상, 하로 구비하며, 카세트의 중간지점에는 그라스의 저면이 닿는 1개의 팁을 형성함과 함께 선단에는 그라스의 전단 하부가 닿는 제3 경사면을 갖는 써포트 바를 측면 싸이드 바 및 배면 싸이드 바와 동일한 간격이 되게 상, 하로 구비하여 카세트에 로딩되는 그라스가 제1, 2, 3 경사면에 선접촉함과 동시에 그라스의 저면이 팁에 점접촉되면서 지지되도록 한 것을 특징으로 하는 그라스 적재용 카세트가 제공된다.
본 발명은 종래에 비하여 다음과 같은 여러 가지 장점을 갖는다.
첫째, 카세트에 로딩되는 그라스의 가장자리가 제1, 2, 3 경사면에 선접촉함과 동시에 저면의 중심부위가 점접촉되면서 지지되므로 그라스의 로딩 및 언로딩에 따른 스크래치 및 파티클의 발생을 최소화하게 된다.
둘째, 그라스의 양단 및 후단 그리고 중간지점은 물론이고 전단까지 지지하므로 그라스를 안정적으로 지지하게 된다.
셋째, 그라스가 제1, 2, 3 경사면에 선접촉하면서 자중에 의해 처지게 되므로 카세트에 미세 진동이 가해지더라도 좌, 우로 움직이지 않는다.
넷째, 설령, 카세트에 진동이 심하게 가해져 그라스의 안착지점에 미세한 변화가 발생되더라도 그라스의 가장자리는 항상 제1, 2, 3 경사면에 선접촉한 상태를 유지하게 된다.
다섯째, 싸이드 플레이트 및 리어 플레이트에 측면 싸이드 바 및 배면 싸이드 바가 일체로 형성되어 있어 카세트의 조립 공차를 "0"화할 수 있음은 물론이고 카세트의 조립성을 향상시키게 된다.
도 1은 종래의 그라스 적재용 카세트를 나타낸 정면도
도 2는 도 1의 횡단면도
도 3은 본 발명의 그라스 적재용 카세트를 나타낸 분해 사시도
도 4는 도 3의 조립상태 사시도
도 5는 도 4의 정면도
도 6은 도 5의 A - A선 단면도
도 7은 도 5의 B - B선 단면도
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
도 3은 본 발명의 그라스 적재용 카세트를 나타낸 분해 사시도이고 도 4는 도 3의 조립상태 사시도이며 도 5는 도 4의 정면도로써, 본 발명은 상, 하판(100)(110) 사이에 고정되어 로딩되는 그라스(200)의 양단 및 후단을 지지하도록 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)에 제1, 2 경사면(122)(132)을 갖는 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)가 상, 하로 각각 구비되어 있다.
이때, 상기 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)를 일체형으로 형성하여도 되지만, 본 발명의 일 실시 예와 같이 복수 개로 분할 형성하여 상기 상, 하판(100)(110)의 측면에 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)를 스크류(140)와 같은 체결부재로 고정하는 것이 보다 바람직하다.
이에 따라, 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)에 로딩되는 그라스(200)의 접촉 면적이 줄어 들어 스크래치 및 파티클의 발생을 줄일 수 있는 장점을 갖는다.
상기 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)에 본 발명의 일 실시 예와 같이 제1, 2 경사면(122)(132)을 갖는 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)가 일체로 형성되어 있으나, 제1, 2 경사면(122)(132)을 갖는 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)를 별도로 제작하여 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)에 각각 부착 고정할 수도 있음은 이해 가능한 것이다.
상기 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)의 외측에는 강도보강용 리브(123)(133)가 소정의 간격으로 형성되어 있다.
상기 리어 플레이트(130)의 사이에 설치되는 써포트 바(150)의 중간지점에는 그라스(200)의 저면이 닿는 1개의 팁(151)이 형성되어 있고 선단에는 그라스(200)의 전단 하부가 닿는 제3 경사면(142)을 갖는 써포트 바(150)가 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)와 동일한 간격이 되게 상, 하로 구비되어 있다.
상기 팁(151)은 그라스(200)에 형성되는 1개의 셀에 해당하는 크기이므로 팁(151)이 닿는 지점은 셀(cell)을 형성할 필요가 없다.
본 발명의 일 실시 예에서는 상기 제3 경사면(152)을 갖는 써포트 바(150)에 제3 경사면(152)의 양측으로 연장된 확장부(153)가 일체로 형성되어 있는데, 이에 따라 그라스(200)의 전단을 보다 안정적으로 지지할 수 있게 된다.
본 발명의 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.
먼저, 카세트(k)를 원판의 그라스(도시는 생략함)가 소정의 크기로 절단되어 로딩되는 로딩포지션(loading posision)에 위치시킨 상태에서 절단된 그라스(200)를 픽커(도시는 생략함)에 의해 카세트(k) 내에 차례로 로딩하는 과정에 대하여 설명하기로 한다.
상기 픽커가 소정의 크기로 절단된 그라스(200)의 상면을 흡착한 다음 소정의 간격을 유지하는 카세트의 측면 싸이드 바(121)의 사이를 통해 카세트 내부로 진입한 후 픽커를 하강시켜 그라스(200)가 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131) 그리고 써포트 바(150)의 상면에 얹어 놓는다.
그 후, 픽커의 흡착을 해제함과 동시에 픽커가 상승한 다음 카세트(k)의 외부로 빠져나오게 되므로 1장의 그라스(200)를 카세트(k)의 내부에 로딩하는 작업이 완료된다.
상기한 바와 같이 그라스(200)의 로딩이 완료되고 나면 그라스(200)의 양단 및 후단 그리고 전단이 도 5와 같이 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉함과 동시에 그라스(200)의 저면 중심이 팁(151)에 점접촉되면서 지지된다.
상기 카세트(k)의 내부에 로딩된 그라스(200)는 가장자리의 여유분이 8mm로 작더라도 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉함에 따라 그라스(200)의 가장자리가 오염되거나, 스크래치가 발생되는 현상을 최소화할 수 있는 장점을 갖는다.
상기한 바와 같이 그라스(200)가 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉되게 지지되면 자중에 의해 처지게 되므로 카세트에 미세 진동이 가해지더라도 좌, 우로 움직이지 않을 뿐만 아니라 카세트에 진동이 심하게 가해져 그라스의 안착지점에 미세한 변화가 발생되더라도 그라스(200)의 가장자리는 항상 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉한 상태를 유지하게 된다.
또한, 상기 써포트 바(150)의 선단에 형성된 제3 경사면(152)에 의해 그라스(200)의 전단이 안정적으로 지지되므로 카세트의 운반중에 로딩된 그라스(200)가 개구부(160)를 통해 쏟아지는 현상을 줄일 수 있게 된다.
그리고 상기 팁(151)이 점접촉되는 지점은 그라스(200)에 셀을 형성할 때 1개의 셀만이 불량 처리되도록 설정되어 있기 때문에 그라스(200)의 중간 지점을 안정적으로 지지하면서도 지지에 따른 불량을 최소화할 수 있게 되는 것이다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다.
그러므로 이상에서 기술한 실시 예는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로서 이해되어야 하고, 상기 상세한 설명에서 기술된 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100 : 상판 110 : 하판
120 : 싸이드 플레이트 121 : 측면 싸이드 바
122, 132, 152 : 제1, 2, 3 경사면 130 : 리어 플레이트
131 : 배면 싸이드 바 150 : 써포트 바
151 : 팁 153 : 확장부
200 : 그라스

Claims (4)

  1. 로딩되는 그라스(200)의 양단을 지지하도록 싸이드 플레이트(120)에 제1 경사면(122)을 갖는 측면 싸이드 바(121)를 상, 하로 구비하고, 그라스(200)의 후단을 지지하도록 리어 플레이트(130)에는 제2 경사면(132)을 갖는 배면 싸이드 바(131)를 상, 하로 구비하며, 카세트(k)의 중간지점에는 그라스(200)의 저면이 닿는 1개의 팁(151)을 형성함과 함께 선단에는 그라스(200)의 전단 하부가 닿는 제3 경사면(152)을 갖는 써포트 바(150)를 측면 싸이드 바(121) 및 배면 싸이드 바(131)와 동일한 간격이 되게 상, 하로 구비하여 카세트(k)에 로딩되는 그라스(200)가 제1, 2, 3 경사면(122)(132)(152)에 선접촉함과 동시에 그라스(200)의 저면이 팁(151)에 점접촉되면서 지지되도록 한 것을 특징으로 하는 그라스 적재용 카세트.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 싸이드 플레이트(120)에 제1 경사면(122)을 갖는 측면 싸이드 바(121)가 일체로 형성되고, 리어 플레이트(130)에도 제2 경사면(132)을 갖는 배면 싸이드 바(131)가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 그라스 적재용 카세트.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 싸이드 플레이트(120) 및 리어 플레이트(130)가 각각 복수 개로 분할 형성된 것을 특징으로 하는 그라스 적재용 카세트.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 제3 경사면(152)을 갖는 써포트 바(150)에 양측으로 연장된 확장부(153)가 일체로 형성된 것을 특징으로 하는 그라스 적재용 카세트.
KR1020190083088A 2019-07-10 2019-07-10 그라스 적재용 카세트 KR102282666B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190083088A KR102282666B1 (ko) 2019-07-10 2019-07-10 그라스 적재용 카세트

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020190083088A KR102282666B1 (ko) 2019-07-10 2019-07-10 그라스 적재용 카세트

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210007151A KR20210007151A (ko) 2021-01-20
KR102282666B1 true KR102282666B1 (ko) 2021-07-28

Family

ID=74305026

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020190083088A KR102282666B1 (ko) 2019-07-10 2019-07-10 그라스 적재용 카세트

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102282666B1 (ko)

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002016383A (ja) 2000-06-27 2002-01-18 Toshiba Corp 基板収納構造体
KR100800320B1 (ko) 2001-05-18 2008-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100843983B1 (ko) * 2006-06-19 2008-07-07 (주)에스티아이 식각기용 카세트
KR200487579Y1 (ko) * 2017-06-21 2018-11-28 이이원 기판 운반 카세트

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002016383A (ja) 2000-06-27 2002-01-18 Toshiba Corp 基板収納構造体
KR100800320B1 (ko) 2001-05-18 2008-02-01 엘지.필립스 엘시디 주식회사 기판 수납용 카세트

Also Published As

Publication number Publication date
KR20210007151A (ko) 2021-01-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20060226093A1 (en) Glass cassette for loading glass substrates of display panels
KR20060106544A (ko) 표시 패널용 글라스를 적재하기 위한 글라스 카세트
KR102282666B1 (ko) 그라스 적재용 카세트
JP2008169482A (ja) スパッタリングターゲット装置
JP5332085B2 (ja) フラットパネルディスプレイ用のガラス基板の製造方法
KR20050044989A (ko) 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이
KR102282669B1 (ko) 플랙시블 필름 적재용 카세트
KR102002379B1 (ko) 그라스 적재용 카세트의 써포트 바 진동방지장치
KR100719689B1 (ko) 평판 표시장치 제조용 엔드 이펙터
US20050211531A1 (en) Apparatus of conveying LCD's substrate
US7494833B2 (en) Apparatus for stacking cassette and a method of fabricating a liquid crystal display device using the same
KR100875847B1 (ko) 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이의 써포트 바 처짐량보정장치
KR20230168398A (ko) 유리기판 적재용 카세트의 서포트 바
KR101979315B1 (ko) 사각형금속관 제조용 롤러배열방법
KR200340801Y1 (ko) 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이
TWI657013B (zh) 柔性薄膜裝載盒
KR20110102678A (ko) 기판 저장용 카세트
KR101316279B1 (ko) 유리기판 강화용 지그
KR200322741Y1 (ko) 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이
KR101288341B1 (ko) 그라스 적재용 카세트의 써포트 바 피치조절방법
KR20190132008A (ko) 그라스 적재용 카세트 및 그 조립방법
KR20080002372A (ko) 서셉터 및 이를 구비한 기판이송장치
KR101288340B1 (ko) 그라스 적재용 카세트의 써포트 바 제조방법
KR100496102B1 (ko) 액정 패널용 유리기판 운반용 트레이
KR100803106B1 (ko) 액정표시패널 가공 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant