KR970023891A - 기판세정방법 및 기판세정장치 - Google Patents

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Abstract

회로 패턴이 형성될 전면이 실질적으로 수직이 되도록 배열한 복수의 반도체 웨이퍼를 세정처리하는 기판세정방법은, (a) 카세트내에 수납된 복수매의 웨이퍼를 카세트로부터 일괄적으로 취출하고, (b)서로 인접한 웨이퍼의 전면 끼리를 비접촉으로 서로 마주보게 함과 아울러, 서로 인접한 웨이퍼의 배면 끼리도 비접촉으로 서로 마주보게 하고, 서로 마주보고 있는 전면간의 피치간격(L1)의 쪽을 서로 마주보고 있는 배면간의 간격(L2)보다 크게 설정하며, (C)이와 같이 배열한 복수의 기판을 일괄적으로 약물중에 침적하고, (d)약물을, 복수의 기판의 서로 마주보고 있는 전면 사이 및 서로 마주보고 있는 배면 사이로 흘려보낸다.

Description

기판세정방법 및 기판세정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 기판세정장치를 도시하는 개요 사시도.

Claims (11)

  1. 회로 패턴이 형성될 전면이 실질적으로 수직이 되도록 배열한 복수의 기판은 세정처리하는 기판세정방법에 있어서, (a) 카세트내에 수납된 복수매의 기판을 카세트로부터 전부 또는 일부를 일괄적으로 취출하고, (b)서로 인접한 기판의 전면 끼리를 비접촉으로 서로 마주보게 함과 아울러, 서로 인접한 기판의 배면 끼리도 비접촉으로 서로 마주보게 하고, 서로 마주보고 있는 전면간의 피치간격(L1)의 쪽을 서로 마주보고 있는 배면간의 피치간격(L2)보다 크게 설정하며, (C) 이와 같이 배열한 복수의 기판을 일괄적으로 약물중에 침적하고, (d) 처리액을, 복수매의 기판의 서로 마주보고 있는 전면 사이 및 서로 마주 보고 있는 배면 사이로 흘려보내는 기판세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공정(a)에서는 복수매의 기판을 카세트내에 동일 피치간격(L)으로 수납하고 있고, 상기 공정(b)에서는 서로 마주보고 있는 전면간의 피치간격(L1)을 상기 피치 간격(L)보다 작게, 또 상기 피치간격(L)의 절반(L/2)보다 크게 설정하는 기판세정 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 공정(b)에서는 제1군의 기판을 카세트내의 방향과 동일방향으로 동일 피치간격(L)으로 배열하고, 제2군의 기판을 카세트내의 방향과 반대방향으로 동일 피치간격(L)으로 배열하며, 또 제1군의 기판과 제2군의 기판을 교호적으로 배열하는 기판세정 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 공정(b)에서는 카세트로부터 취출한 제2군의 기판을 일괄적으로 반전시키는 기판세정 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 공정(b)에서는 서로 마주보고 있는 배면간의 피치간격(L2)을 적어도 기판의 두께보다 크게 한 기판세정방법.
  6. 회로 패턴이 형성될 전면이 실질적으로 수직이 되도록 배열한 복수의 기판을 세정처리하는 기판세정방법에 있어서, (a)카세트내에 수납된 복수매의 기판은 카세트로부터 전부 또는 일부를 일괄적으로 취출하고, (b)서로 인접한 기판의 전면 끼리를 비촉속으로 서로 마주보게 함과 아울러, 서로 인접한 기판의 배면 끼리도 비접촉으로 서로 마주보게 하고, 서로 마주보고 있는 전면간의 피치간격(L2)의 쪽을 서로 마주보고 있는 배면간의 피치간격(L1)보다 좁게 설정하며, (C)이와 같이 배열한 복수에의 기판을 일괄적으로 약물중에 침적하고, (d)처리액을, 복수의 기판의 서로 마주보고 있는 전면 사이 및 서로 마주보고 있는 배면 사이로 흘려보내는 기판세정방법.
  7. 회로 패턴이 형성될 전면이 실질적으로 수직이 되도록 배열한 복수의 기판을 세정처리하는 기판세정장치에 있어서, 복수의 기판을 실질적으로 동일 피치간격(L)으로 수납간 1개 또는 복수개의 카세트가 장착되는 스테이지와, 이 스테이지상의 카세트로부터 복수의 기판을 상기 피치간격(L)으로 일괄적으로 수납하여 지지하는 수납부재와, 이 수납부재와 상기 스테이지를 상대적으로 승강시키고, 복수의 기판을 스테이지 상의 카세트로부터 일괄적으로 분리시키며, 이것을 상기 수납부재에 수납시키는 승강수단과, 복수의 기판을 상기 수납부재로부터 일괄적으로 파지하고, 이것을 반송하는 반송 적정수단과, 상기 수납부재 및 상기 반송 적정수단 중 적어도 한쪽에 설치되고, 지지 또는 파지한 복수의 기판을 일괄적으로 반전시키며, 그의 전면과 배면의 방향을 반전시키는 반전수단과, 복수개의 카세트에 수납된 수에 상당하는 기판을 일괄적으로 수직 보유하기 위한 제1및 제2의 홈을 가지며, 이들 제1및 제2의 홈은 교호적으로 위치하는 정렬부재를 구비하고, 복수개의 카세트에 수납된 수에 상당하는 기판은 상기 제1및 제2의 홈에 의해 보유된 때에 서로 인접한 기판의 전면 끼리가 비접촉으로 서로 마주보며, 서로 인접한 기판의 배면 끼리도 비접촉으로 서로 마주보고, 또 서로 마주보는 전면간의 거리(L1)의 쪽이 서로 마주보는 배면간의 거리(L2)보다 큰 기판세정장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1및 제2의 홈은 서로 마주보고 있는 전면간의 피치간격(L1)이 카세트내의 기판의 배열 피치간격(L)보다 작게 그리고 상기 피치간격(L)의 절반(L/2) 보다 크게 되도록 상기 정렬부재에 형성되는 기판 세정장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제1 및 제2의 홈은 서로 마주보고 있는 배면간의 피치간격(L2)이 적어도 기판의 두께보다 크게 되도록 상기 정렬부재에 형성되는 기판세정장치.
  10. 제7항에 있어서, 처리액이 공급된 용기와, 복수개의 카세트에 수납된 수에 상당하는 기판을 상기 용기내의 처리액에 침적시키며, 상기 정렬부재의 제1 및 제2의 홈과 실질적으로 동일 배열의 홈이 각기 형성된 3개의 보유봉을 갖는 보드와, 상기 보드로 상기 기판을 이동시키는 제2의 반송 척킹수단과, 상기 용기내에 설치되어 상기 3개의 보유봉의 상부에서 기판의 경사를 방지하는 지지 부재를 더 구비하는 기판세정장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 지지부재는 상기 정렬부재의 제1 및 제2의 홈과 실질적으로 동일한 배열의 홈을 갖고, 기판의 중앙 근방을 보유하는 2개의 보유봉을 구비하는 기판세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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