KR920010804A - 실어서 이송하는 장치 - Google Patents

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Abstract

내용 없음

Description

실어서 이송하는 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실어서 이송하는 장치를 반도체 웨이퍼 제조장치에 있어서의 세정장치에 이용한 실시예의 전체적 구성을 나타내는 평면도,
제2도는 제1도의 로더부분의 반도체 웨이퍼를 실어서 이송하는 장치를 나타내는 평면도.

Claims (17)

  1. 여러개의 피반송체를 등간격으로 떨어져서 지지하는 틀체로 되는 캐리어(48)와 다른 지지부재와의 사이에 피반송체를 이송하여 변화하기 위한 실어서 이송하는 장치로서, 이 실어서 이송하는 장치(66)가, 이 캐리어(48)를 여러개, 그 긴쪽 방향을 따라서 직렬적으로 배열시키는 캐리어 재치대와, 각 캐리어 상에 지지된 여러개의 피반송체를 이 각 캐리어(48)의 개방 하부로부터 위로 돌출하여 각 캐리어(48)의 윗쪽으로 집어 올려 지지하는 여러개의 상부돌출부재(80)와, 이 여러 개의 상부돌출부재(80)를 서로 접근, 또는 분리시키며, 이 여러개의 피반송체 상호간을 접근 또는 분리시키는 구동수단을 구비하여 이루며, 이 여러개의 상부돌출부재에 의하여 집어올리고 접근시킨 여러개의 피반송체 전부를 한번에 이 다른 지지부재로 이송하여 변화할 수 있도록 한 실어서 이송하는 장치.
  2. 제1항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 상기 상부돌출부재(80)는, 그 단부로부터 이 단부측의 첫번째 끝단의 피반송체까지의 거리가 각 피반송체 간격의 1/2를 설정되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  3. 제1항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 여러개의 상부돌출부재(80)의 인접단부(88)가, 서로 이맞춤하는 오목 볼록형상으로 형성되며 이 이맞춤상태로 각 상부돌출부재(80)의 인접단부(88)에 위치하는 피반송체 상호간의 간격이 다른 피반송체 상호간의 간격과 같게 되도록 설정되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  4. 제1항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 여러개의 상부돌출부재(80)에 의하여 상면으로 각 피반송체의 일부를 끼워서 통하게 하는 홈이 등간격으로 설치되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  5. 제4항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 피반송체가 반도체 웨이퍼인 실어서 이송하는 장치.
  6. 제1항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 상부돌출부재(80)에 의하여 집어 올려진 이 캐리어(80) 여러분의 피반송체를 아래에서부터 한번에 지지 및 수리하고, 이들을 이 다른 지지부재로 반송하는 지지아암을 가지는 회전반송아암 기구를 추가로 설치한 실어서 이송하는 장치.
  7. 제6항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 회전반송아암(24) 기구의 한쌍의 지지아암이 서로 접근이 자유롭게 되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  8. 제6항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 회전반송아암(24)기구의 한쌍의 지지아암이 일정간격으로 고정되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  9. 여러개의 피반송체를 등간격으로 떨어져서 지지하는 틀체로 되는 캐리어(48)와 다른 지지부재와의 사이에 피반송체를 이송하여 변화하기 위한 실어서 이송하는 장치로서, 이 실어서 이송하는 장치(66)를 등간격으로 떨어져서 지지하는 틀체로 되는 캐리어(48)를 여러개, 그 긴쪽 방향을 따라서 직렬적으로 배열시키는 캐리어 재치대와, 이 캐리어(48) 여러 개분의 피반송체를 각 캐리어(48)의 윗쪽으로 집어올려 지지하는 여러개의 상부돌출부재(80)와, 서로 평행을 이루어 떨어진 한쌍의 지지아암을 가지며, 이것에 의하여 이 상부돌출부재(80)에 의하여 집어 올려진 이 캐리어(48) 여러 개부분의 피반송체를 아래에서 한번에 수리, 지지하고, 이들 피반송체를 이 다른 지지부재로 반송하는 회전반송아암기구를 구비하여서 되는 실어서 이송하는 장치.
  10. 제9항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 회전반송아암기기위 한쌍의 지지아암이 서로 접근이 자유롭게 되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  11. 제9항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 회전반송아암 기구의 한쌍의 지지아암이 일정간격으로 고정되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  12. 제9항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 한쌍의 지지아암이, 내약품성의 합성수지로 되는 실어서 이송하는 장치.
  13. 제12항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 합성수지가 불소수지 또는 폴리에테르-에테르-케톤에서 선택되는 것인 실어서 이송하는 장치.
  14. 여러개의 피반송체를 등간격으로 떨어져서 지지하는 틀체로 되는 캐리어(48)와 다른 지지부재와의 사이에 피반송체를 이송하여 변화하기 위한 실어서 이송하는 장치로서, 이 여러개의 피반송체를 등간격으로 떨어져서 지지하는 틀체로 되는 캐리어(48)를 여러개, 그 긴쪽 방향을 따라서 직렬적으로 배열시키는 캐리어 재치대와, 이 캐리어(48) 여러 개분의 피반송체를 각 캐리어(48)의 윗쪽으로 집어올려 지지하는 여러개의 상부돌출부재(80)와, 이 캐리어 재치대의 일측으로 상하운동이 자유롭게 수직설치되고, 상부에 서로 평행을 이루어 접근이 자유로운 떨어져 위치하는 한쌍의 지지아암을 가지며, 이것에 의하여 이 상부돌출부재(80)에 의하여 집어 올려진 이 캐리어(48) 여러 개부분의 피반송체를 아래에서 한번에 수리, 지지하고, 이들 피반송체를 이 다른 지지부재로 반송하는 회전반송아암기구를 구비하여서 되는 실어서 이송하는 장치.
  15. 제14항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 한쌍의 지지아암의 적어도 한쪽의 지지아암의 앞끝단에서 기단에 걸쳐서, 지지되어 있는 피반송체를 검지하기 위한 광센서가 설치되어 있는 실어서 이송하는 장치.
  16. 제14항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 한쌍의 지지아암이 내약품성이 합성수지로 되는 실어서 이송하는 장치.
  17. 제16항의 실어서 이송하는 장치에 있어서, 이 합성수지가 불소수지 또는 폴리에테르-에테르-케톤에서 선택되는 것인 실어서 이송하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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