KR970013176A - 반송장치, 반송방법, 세정장치 및 세정방법 - Google Patents

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Abstract

1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야 반도체 제조장치 2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제 웨이퍼등의 피처리체를 반송하는 반송장치에 있어서의 유지장치나, 처리조내의 유지구에 있어서의 유지홈의 형상에 개량을 가함. 3. 발명의 해결방법의 요지 둘레가장자리가 소정의 간격을 두고 배열된 다수개의 피처리체를 유지하도록 상호간에 대향하여 마련된 한쌍의 유지부재와; 유지부재에 의한 피처리체의 유지 및 해제를 선택적으로 실행하기 위하여 유지부재를 상호간에 향하여 접근 및 분리하도록 선택적으로 구동하기 위한 구동기구와; 피처리체를 처리조내에서 처리하기 위하여 피치리체의 하중이 지지된 상태로 처리조내로 유지부재 및 피치러체를 반송하기 위한 반송기구를 포함하여 구성되는 반송장치에 있어서, 유지부재는 피처리체의 둘레 가장자리를 유지하기 위한 다수의 유지홈을 가지며 상호간에 평행하게 배열되는 상부 및 유지체를 가지며, 상부유지체의 유지홈의 각각은 개구측에 위치하는 제1데이터부와 홈바닥측에 위치하며 제1테이퍼부로 계속되는 제2테이퍼부를 가지며, 제1테이퍼부는 제2테이퍼부의 개구각 보다 큰 개구각을 가지도록 함. 4. 발명의 중요한 용도 상부 유지체의 유지홈의 단면이 2단계로 테이퍼지도록 형성되어 피처리체의 경사를 방지함.

Description

반송장치, 반송방법, 세정장치 및 세정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 실시형태에 관한 세정장치의 개관을 나타내는 사시도
제2도는 제1도의 세정장치에 있어서의 반송장치의 사시도
제3도는 제2도의 반송장치에 있어서의 유지부재의 정면도

Claims (18)

  1. 그의 둘레가장자리에 소정의 간격을 두고 배열된 다수개의 피처리체를 유지하도록 상호간에 대향하여 마련된 한쌍의 유지부재와; 상기 유지부재에 의한 상기 피처리체의 유지 및 해제를 선택적으로 수행하기 위하여 상기 유지부재를 상호간에 향하여 접근 및 분리하도록 선택적으로 구동하기 위한 구동기구 및; 상기 피처리체를 처리조내에서 처리하기 위하여 상기 피처리체의 하중이 지지된 상태로 상기 처리조내로 유지부재 및 피처리체를 반송하기 위한 반송기구를 포함하여 구성되는 반송장치에 있어서, 상기 각 유지부재는 상호간에 평행하게 배치되고 상기 피처리체의 둘레 가장자리를 유지하기 위한 다수의 유지홈을 가지는 상부 및 하부 유지체를 가지며, 상기 상부유지체의 상기 유지홈의 각각은 개구측에 위치하는 제1테이퍼부와 홈바닥측에 위치하며 상기 제1테이퍼부로 연속되는 제2테이퍼부를 가지며, 상기 제1테이퍼부는 상기 제2테이퍼부의 개구각보다 개구각을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  2. 제1항에 있어서, 상기 각 유지부재는 상기 구동기구에 부착된 프레임과 상기 프레임의 앞뒤끝단부에 수직으로 형성된 한쌍의 스테이를 가지며, 상기 상부 및 하부 유지체는 상기 스테이 사이의 사이에서 상호간에 평행하도록 상기 스테이의 하부끝단부에 고정된 한쌍의 봉형상 부재로 형성되는 것을 특징으로 하는 반송장치
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1테이퍼부는 40° 내지 70° 의 개구각을 가지며, 상기 제2테이퍼부는 10° 내지 40° 의 개구각을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2테이퍼부는 0.3 내지 0.8㎜의 곡률반경을 가지는 홈 바닥을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  5. 제1항에 있어서, 상기 하부 유지체의 상기 유지홈은 40° 내지 70° 의 개구각을 가지는 V자 형상의 유지홈으로 형성되는 것을 특징으로 하는 반송장치
  6. 제1항에 있어서, 상기 반송기구는 상기 피치리체를 제1소정속도로 상기 처리조의 제1소정위치 및 상기 제1소정속도보다는 빠른 제2소정속도로 상기 제1소정위치로부터 상기 처리조의 제2소정위치로 반송하고, 그에 의 하여 상기 피처리체를 상기 처리조로 반송하도록 아래쪽으로 이동하기 위한 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  7. 제6항에 있어서, 상기 반송기구는 상기 제2소정속도보다 느린 제3소정속도로 보우트에 인접한 상기 제2소정위치로부터 제3위치로 상기 유지부재로 이동하여, 상기 처리조내에 상기 피처리체를 유지하도록 상기 유지부재의 상기 피처리체를 상기 보우트로 반송하기 위하여 상기 유지부재를 아래쪽으로 이동하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  8. 제7항에 있어서, 상기 구동기구는 상기 유지부재가 아래쪽으로 이동하고 상기 제3소정위치로 반송되었을 때 상기 유지부재로부터 상기 피처리체가 분리되도록 상기 유지부재를 해제하기 위한 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  9. 제7항에 있어서, 상기 반송기구는 상기 유지부재가 해제된 상태에서 초기위치로 상기 유지부재응 들어올리기 위한 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  10. (a) 제 1유지요소 및 제2유지요소를 각각 가지며, 상기 제1유지요소는 다수개의 판형상의 피처리체의 하중을 지지하기 위한 다수개의 유지홈을 가지며 또한 상기 제2유지요소는 각각 제1테이퍼부와 상기 제1테이퍼부에 연속되는 제2테이퍼부를 가지는 다수개의 유지홈을 가지며, 상기 제1테이퍼부는 상기 피처리체의 배열을 유지하도록 개구측에 위치하며 제2테이퍼부는 홈바닥에 위치되고 상기 피처리체의 둘레가장자리를 유지하기 위하여 상기 제1테이퍼부보다 작은 개구각을 가지는 한쌍의 유지부재에 의하여 다수개의 판형상의 피처리체를 유지하는 단계와; (b) 상기 피처리체가 상기 처리조내에서 처리될 수 있도록 제1소정속도로 초기위치로부터 상기 처리조의 제1소정위치까지 상기 유지부재에 의하여 유지된 상기 피처리체를 반송하도록 하강하는 단계 및; (c) 상기 피치리체를 제1소정위치로부터 제2소정위치로 제1소정속도보다는 느린 제2소정속도로 반송하도록 하강하는 단계를 포함하여 구성되는 반송방법
  11. 제10항에 있어서, 상기 (c) 단계는 상기 유지부재를 보우트에 가까운 상기 제2소정위치로부터 상기 제2소정속도보다는 느린 제3소정속도로 하강함으로써 상기 유지부재에 의하여 유지된 피처리체가 상기 처리조내의 상기 피처리체를 유지하기 위하여 상기 보우트로 반송되는 반송방법
  12. 제11항에 있어서, (d) 상기 유지부재가 상기 제3소정위치로 하강했을 때, 상기 유지부재로부터 상기 피처리체를 분리하도록 상기 유지부재를 해제하는 단계를 더욱 포함하여 구성되는 반송방법
  13. 제12항에 있어서, (e) 상기 유지부재가 해제된 상태로 상기 유지부재가 상기 초기위치로 상승하는 단계를 더욱 포함하여 구성되는 반송방법
  14. 제13항에 있어서, (f) 상기 피처리체를 상기 처리조내에서 처리한 후에, 상기 유지부재가 상기 처리조로 들어갈 때까지 상기 유지부재를 상기 제1소정속도로 하강하는 단계와, (g) 상기 유지부재가 상기 처리조내로 들어간 후에 정지하도록 상기 유지부재를 상기 제1소정속도보다 느린 상기 제2소정속도로 상기 처리조의 상기 제3소정위치로 하강하는 단계와; (h) 상기 유지부재가 정지한 후에 상기 유지부재에 의하여 처리된 피처리체를 유지하기 위하여 상기개방부재를 개방하는 단계 및, (i) 상기 유지부재를 제4소정속도로 상기 제3소정위치로부터 상기 제2소정위치로, 상기 제4소정속도보다 빠른 제5소정속도로 상기 제2소정위치로부터 상기 제1소정위치로, 또한 상기 제5소정속도보다 빠른 제6소정속도로 상기 제2소정위치로부터 상기 초기위치로 차례로 반송하도록 하강하는 단계를 더욱 포함하여 구성되는 반송방법
  15. 그의 둘레가장자리에 소정의 간격을 두고 배열된 다수개의 피처리체를 유지하도록 상호간에 대향하여 마련된 한쌍의 유지부재와; 상기 유지부재에 의한 상기 피처리체의 유지 및 해제를 선택적으로 수행하기 위하여 상기 유지부재를 상호간에 향하여 접근 및 분리하도록 선택적으로 구동하기 위한 구동기구와; 처리용액으로 채워진 처리조와; 상기 피처리체를 처리조내에서 세척하기 위하여 상기 피처리체의 하중이 지지된 상태로 상기처리조내로 유지부재 및 피처리체를 반송하기 위한 반송기구 및; 상기 처리조로 반송된 상기 피처리체의 세척 처리를 수행하기 위한 세척실행수단을 포함하여 구성되는 반송장치에 있어서, 상기 각 유지부재는 상호간에 평행하게 배치되고 상기 피처리체의 둘레 가장자리를 유지하기 위한 다수의 유지홈을 가지는 상부 및 하부 유지체를 가지며, 상기 상부유지체의 상기 유지홈의 각각은 개구측에 위치하는 제1테이퍼부와 홈바닥측에 위치하며 상기 제1테이퍼부로 연속되는 제2테이퍼부를 가지며, 상기 제1테이퍼부는 상기 제2테이퍼부의 개구각보다 큰 개구각을 가지는 것을 특징으로 하는 반송장치
  16. 제16항에 있어서, 상기 세척실행수단은 상기 처리조의 상기 세척액을 홀리기 위한 수단을 포함하여 구성되는 반송장치
  17. (a) 제1유지요소 및 제1유지요소를 각각 가지며, 상기 제2유지요소는 다수개의 판형상의 피처리체의 하중을 지지하기 위한 다수개의 유지홈을 가지며 또한 상기 제2유지요소는 각각 제1테이퍼부와 상기 제1테이퍼부에 연속되는 제2테이퍼부를 가지는 다수개의 유지홈을 가지며, 상기 제1테이퍼부는 상기 피처리체의 배열을 유지하도록 개구측에 위치되며 제2테이퍼부는 홈바닥에 위치되고 상기 피처리체의 둘레가장자리를 유지하기 위하여 상기 제1테이퍼부보다 작은 개구각을 가지는 한쌍의 유지부재에 의하여 다수개의 판형상의 피처리체를 유지하는 단계와; (b) 상기 유지부재에 의하여 유지된 상기 피처리체를 제소정속도로 초기위치로부터 상기 처리조의 세척액의 액면에 상당하는 제1소정위치까지 하강하는 단계와; (c) 상기 피처리체를 상기 제1소정위치로부터 상기 처리조의 제2소정위치로 상기 제소정속조보다는 느린 제2소정속도로 반송하도록 하강하는 단계와; (d) 상기 유지부재를 상기 처리조의 보우트에 유지되도록 상기 제1소정속도보다 느린 제3소정속도로 하강하도록 상기 유지부재로부터 상기 피처리체를 분리하는 단계 및; (e) 상기 보우트에 의하여 유지된 상기 피처리체를 세척하는 단계를 포함하여 구성되는 반송방법
  18. 제18항에 있어서, 상기 보우트는 피처리체의 하중을 지지하기 위한 다수개의 유지홈을 가지는 적어도 2개의 제1유지체와, 상기 제1유지체의 사이에 위치하며 제1테이퍼부와 제2데이터부를 각각 가지는 다수개의 유지홈을 가지는 제2유지체를 포함하여 구성되며, 상기 제1테이퍼부는 상기 피처리체의 배열을 유지하도록 개구측에 위치하며, 상기 제2테이퍼부는 상기 제1테이퍼부보다 작은 개구각을 가지도록 홈바닥에 위치하는 반송방법
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