KR940012520A - 기판세정장치 - Google Patents

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Abstract

기판세정장치는 세정처리액이 수용된 처리조와, 반도체 웨이퍼를 유지하기 위한 제1기판유지부를 구비하고, 웨이퍼를 유지하여 처리조로 이송하는 척기구와, 웨이퍼를 유지하기 위한 제2기판유지부를 구비하고, 척기구로부터 기판을 건너받아 기판을 세정처리조에 침적하는 보오트기구와를 가지며, 제2기판유지부는 내식성 및 내열성을 가지는 재료로 만들어진 베이스부재와, 이 베이스부재에 장착되고, 기판유지용 다수의 홈이 형성되고, 기판과 동등하거나 부드럽고, 내식성 및 내열성을 가지는 합성수지로 만들어진 받이부재를 가진다.

Description

기판세정장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 세정 시스템의 전체를 나타내는 개요 사시도.
제2도는 기판 세정장치의 처리액 유통회로를 나타내는 투시 모식도.
제3도는 보오트 승강수단을 나타내는 개요도.
제4도는 기판세정장치의 처리액조 및 웨이퍼 보오트를 나타내는 사시도.

Claims (13)

  1. 세정처리액이 수용된 처리조와, 기판을 유지하기 위한 제1기판유지부를 구비하고, 기판을 유지하여 상기 처리조로 반송하는 수단과 기판을 유지하기 위한 제2기판유지부를 구비하고, 상기 침적하는 제2기판 유지부에 척수단으로부터 기판을 받아 기판을 상기 세정처리액에 침적하는 보오스수단을 구비하고, 상기 제2기판유지부는 내식성 및 내열성을 가지는 재료로 만들어진 베이스부재와, 이 베이스부재에 장착되고, 기판유지용 홈이 형성되어, 기판과 동등하거나 또는 그것보다 부드럽고, 내식성 및 내열성을 가지는 합성수지로 만들어진 받이부재를 가지는 세정장치.
  2. 제1항에 있어서, 또 펌프수단과 이 펌프수단에 연통하여 베이스부재의 가운데를 통과하여 개구하는 배출통로를 더 가지는 기판 세정장치.
  3. 제1항에 있어서, 더 받이부재의 홈에 연통하는 배출통로와 이 배출통로에 연통하는 상기 처리조의 바깥에 설치된 흡인수단 또는 압송수단을 가지는 기판 세정장치.
  4. 제1항에 있어서, 실온에 있어서의 받이부재의 홈의 피치를 세정처리액의 사용온도에 따라서 변화하는 기판 세정장치.
  5. 제1항에 있어서, 실온에 있어서의 받이부재의 홈의 피치를 피치수단에 유지된 기판의 배열피치보다 적게하는 기판 세정장치.
  6. 제1항에 있어서, 받이부재 베이스부재에 미끄럼 운동이 가능하게 끼워맞춤되어 있는 기판 세정장치.
  7. 제6항에 있어서, 또 받이부재 및 베이스부재의 양자에 키홈을 각각 형성하고 이들 키홈에 끼워넣어 받이부재를 베이스부재에 기록하는 키부재를 더 가지는 기판 세정장치.
  8. 제6항에 있어서, 떠 받이부재를 베이스부재에 고정하는 나사를 가지는 기판 세정장치.
  9. 제1항에 있어서, 제1기판유지부와, 내식성 및 내열성을 가지는 재료로 만들어진 베이스부재와, 이 베이스부재에 장착되어 기판 유지용의 다수 또는 1개의 홈이 형성되고, 기판과 동등하거나 또는 그것보다 부드럽고, 내식성 및 내열성을 가지는 합성수지로 만들어진 받이부재를 가지는 기판 세정장치.
  10. 제1항에 있어서, 또한 척수단과 보오트수단과를 상대위치 맞추게 하는 위치맞춤수단을 가지는 기판 세정장치.
  11. 제1항에 있어서, 받이부재는 붕소계 수지제인 기판 세정장치.
  12. 제1항에 있어서, 받이부재는 폴리 에테르 에테르 켄제인 기판 세정장치.
  13. 제1항에 있어서, 받이부재는 폴리 크롤로로트리 플루오로 에틸렌제 또는 폴리 테트라 플루오르 에틸렌제인 기판 세정장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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