KR100863137B1 - 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법 - Google Patents

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Abstract

웨이퍼의 건조 효율 및 세정 효율을 향상 시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법이 개시된다. 가이드장치는 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 각 슬롯에 연통되는 안내공을 구비하며 세정조에 대해 상하로 이동하는 가이드몸체, 안내공에 연결되어 선택적으로 슬롯 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 진공흡입부를 포함한다.
가이드몸체, 슬롯, 안내공, 연결유로, 진공흡입부, 가스공급부,

Description

가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법{DEVICE FOR GUIDING OBJECT, AND METHOD FOR TREATING OBJECT USING THE SAME}
도 1은 본 발명에 따른 가이드장치의 구조를 도시한 사시도이다.
도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 가이드장치의 구조를 도시한 정면도 및 측면도이다.
도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 가이드장치를 이용한 피처리물 처리방법을 설명하기 위한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 세정조 20 : 건조 챔버
30 : 가이드장치 31 : 가이드몸체
34 : 슬롯 36 : 안내공
38 : 연결유로 40 : 진공흡입부
50 : 가스공급부
본 발명은 가이드장치에 관한 것으로, 보다 자세하게는 웨이퍼의 건조 효율 및 세정 효율을 향상 시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 리소그래피, 증착 및 에칭 등의 공정을 반복적으로 수행한다. 이러한 공정들을 거치는 동안 기판(예를 들어 실리콘 웨이퍼) 상에는 각종 파티클, 금속 불순물, 유기물 등이 잔존하게 된다. 이와 같은 오염 물질은 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치기 때문에 반도체 제조 공정에서는 기판에 잔존된 오염 물질을 제거하기 위한 세정 공정이 수행되고, 세정 공정 후에는 웨이퍼에 대한 건조 공정이 수행된다.
이러한 웨이퍼의 세정 공정 및 건조 공정은 요구되는 조건에 따라 다양한 방식으로 구현될 수 있다. 일 예로 세정 공정은 여러 가지 약액이 일정 비율로 혼합된 세정액이 수용된 세정조 내부에 웨이퍼를 일정시간 침지시킴으로써 구현될 수 있고, 건조 공정은 웨이퍼를 순수(DIW : Distilled Water) 안에서 수직 방향으로 끌어올림과 동시에 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol) 및 질소가스를 웨이퍼 표면의 기액(氣液)계면 부근에 불어 넣는 것에 의해 마란고니 효과(Marangoni effect)를 발생시킴으로써 구현될 수 있다.
일반적으로 습식세정장치에서 웨이퍼는 가이드장치 상에 안착 지지된 상태로 세정의 최종 단계인 린스 단계를 거친 후, 가이드장치가 세정조로부터 건조 챔버로 승강됨에 따라 건조 챔버로 공급되는 건조제에 의해 건조가 이루어지도록 구성되어 있다.
한편, 반도체 제조 공정에서는 각종 파티클, 금속 불순물 등과 같은 오염 물질의 존재 여부뿐만 아니라, 세정 공정에서 사용되는 세정액의 잔존 여부 역시 제품의 수율 및 신뢰성에 많은 영향을 미친다. 즉, 웨이퍼 상의 세정액이 효과적으로 건조되지 못하면 잔존된 세정액에 의해 제품의 수율 및 신뢰성이 저하되기 때문에 건조 공정 중에는 세정액이 잔존됨이 없이 효과적으로 건조될 수 있어야 한다.
그러나, 기존에는 웨이퍼가 가이드장치를 통해 세정조로부터 건조 챔버로 이송될 시 웨이퍼와 가이드장치의 상호 접촉 부분 사이에 세정액이 잔존하게 되는 문제점이 있고, 잔존된 세정액에 의해 웨이퍼 상에 워터마크가 발생되는 문제점이 있다.
특히, 이와 같은 워터마크는 가이드장치에 대한 웨이퍼의 접촉 부위 중 최하단 접촉 부위에 빈번하게 발생하며, 제품의 수율 및 신뢰성에 악영향을 미치는 문제점이 있다.
더욱이, 기존에는 웨이퍼와 가이드장치와의 접촉 면적을 저감시키기 위한 고려 없이 가이드장치가 단순히 웨이퍼를 지지하도록 구성됨에 따라 워터마크의 발생 빈도가 높은 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 안출한 것으로서, 피처리물의 건조 효율 및 세정 효율을 향상 시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
특히, 본 발명은 피처리물과 가이드장치의 접촉 부분 사이에 잔존할 수 있는 세정액을 효과적으로 제거할 수 있게 하며, 그에 따른 워터마크를 최소화하고 신뢰성을 향상 시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 피처리물과 가이드장치와의 접촉 면적을 저감시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 세정 공정시 가이드장치의 각 슬롯에서 분출되는 가스에 의한 버블링에 의해 세정 작업이 더욱 효과적으로 이루어질 수 있도록 한 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 버블링을 위한 가스공급라인이 가이드장치 내부를 거쳐 형성될 수 있게 하며 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있는 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 본 발명의 목적들을 달성하기 위한 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 가이드장치는 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 각 슬롯에 연통되는 안내공을 구비하며 세정조에 대해 상하로 이동하는 가이드몸체, 안내공에 연결되어 선택적으로 슬롯 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 진공흡입부를 포함한다.
가이드몸체는 세정조에 대해 상하로 왕복 이송 가능하게 설치되어 피처리물을 수납한 상태로 승하강하며 피처리물이 선택적으로 세정조 또는 건조 챔버 내부에 배치될 수 있게 한다.
본 발명에서 피처리물이라 함은 세정 및 건조 처리가 이루어지는 대상물로서, 통상의 실리콘 웨이퍼를 포함할 수 있으며, 그외 다른 반도체 장치 등이 포함될 수 있다
가이드몸체의 구조 및 형상은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로 상기 가이드몸체는 2점 지지 방식 또는 3점 지지 방식으로 피처리물을 지지하도록 구성될 수 있다.
가이드몸체의 안내공은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태 및 구조로 형성될 수 있으며, 안내공의 개수 및 배치 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로 안내공은 원형 형태로 하나 또는 복수개가 형성될 수 있으며, 다르게는 안내공이 슬롯의 길이 방향을 따라 장공 형태로 형성될 수 있다.
진공흡입부는 안내공에 연결되어 선택적으로 슬롯 내부에 잔존하는 세정액이 진공흡입될 수 있게 한다. 이러한 진공흡입부는 진공방식으로 세정액을 흡입 가능한 다양한 구조 및 방식으로 구성될 수 있다.
가이드몸체의 내부에는 각 안내공을 연결하기 위한 연결유로가 형성될 수 있으며, 연결유로를 통해 각 안내공은 서로 연결된 하나의 유로를 구성할 수 있다. 이 경우 진공흡입부는 연결유로에 연결될 수 있으며, 각 슬롯에 잔존된 세정액은 각 안내공을 거친 후 연결유로를 통해 진공흡입부로 진공흡입될 수 있다. 경우에 따라서는 진공흡입부가 각 안내공에 각각 개별적으로 연결되도록 구성할 수도 있다.
피처리물과 가이드몸체 간의 접촉 면적을 저감시킬 수 있도록 슬롯의 저면은 피처리물에 부분적으로 접촉 가능하게 형성될 수 있다. 일 예로 슬롯의 저면은 피처리물에 선접촉 또는 점접촉되도록 구성될 수 있다.
안내공은 슬롯 저면 중에서도 피처리물이 접촉되지 않는 부위에 형성될 수 있으나, 슬롯 내부에 잔존될 수 있는 세정액이 진공흡입부를 통해 더욱 효과적으로 진공흡입될 수 있도록 안내공은 피처리물 및 가이드몸체의 상호 접촉 부위에 형성됨이 바람직하다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면 안내공에는 선택적으로 가스를 공급하기 위한 가스공급부가 연결될 수 있으며, 이러한 가스공급부의 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로 가스공급부는 가스가 저장되는 가스저장부 및 가이드몸체의 안내공과 가스저장부를 연결하며 안내공으로 가스를 공급하는 공급라인을 포함하여 구성될 수 있다. 또한, 가스공급부는 각 안내공을 하나로 연결하는 연결유로에 연결될 수 있으며, 가스공급부로부터 공급된 가스는 연결유로를 거친 후 각 안내공을 통해 분출될 수 있다.
진공흡입부 및 가스공급부는 동시에 안내공에 연결될 수 있으며, 경우에 따라서는 진공흡입부 및 가스공급부 중 어느 하나만이 독립적으로 적용될 수 있다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 가이드장치를 이용한 피처리물 처리방법은 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 각 슬롯에 연통되는 안내공이 형성된 가이드몸체를 포함하는 가이드장치를 제공하는 단계, 가이드몸체에 피처리물을 로딩하는 단계, 가이드몸체의 슬롯에 지지된 피처리물을 세정조내 세정액에 침지하는 단계, 피처리물을 세정조내 세정액에서 인출하는 단계, 슬롯에 연통되는 각 안내공을 통해 슬롯 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 단계를 포함한다. 또한, 피처리물 및 가이드장치가 세정조내 세정액에 침지된 상태에서는 각 안내공을 통해 가스를 분출될 수 있다.
이하 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예에 의해 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 참고로, 본 설명에서 동일한 번호는 실질적으로 동일한 요소를 지칭하며, 상기 규칙 하에서 다른 도면에 기재된 내용을 인용하여 설명할 수 있고, 당업자에게 자명하다고 판단되거나 반복되는 내용은 생략될 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 가이드장치의 구조를 도시한 사시도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명에 따른 가이드장치의 구조를 도시한 정면도 및 측면도이며, 도 4는 도 1의 Ⅰ-Ⅰ선 단면도이다.
도 1 내지 도 4에서 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 가이드장치(30)는 가이드몸체(31) 및 진공흡입부(40)를 포함한다.
상기 가이드몸체(31)는 피처리물을 지지한 상태로 선택적으로 세정조(10) 및 건조 챔버(20)를 왕복 이송 가능하게 설치된다. 즉, 상기 가이드몸체(31)는 세정조(10) 및 건조 챔버(20)를 왕복 이송 가능하게 설치되어 피처리물을 수납한 상태로 승하강하며 피처리물이 선택적으로 세정조(10) 또는 건조 챔버(20) 내부에 배치될 수 있게 한다.
상기 세정조(10)는 세정액이 수용되는 용기로서 세정하기 위한 피처리물을 수용 가능한 크기로 형성되며, 세정조(10)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 또한, 세정조(10)는 세정액과 반응하지 않는 재질로 형성되며, 이러한 세정조(10)의 재질은 요구되는 조건에 따라 적절히 변경될 수 있다. 예를 들어 상기 세정조(10)는 통상의 석영(quartz)으로 형성될 수 있으며, 그외 다른 재질이 사용될 수 있다.
본 발명에서 피처리물이라 함은 세정 및 건조 처리가 이루어지는 대상물로서, 통상의 실리콘 웨이퍼(W)를 포함할 수 있으며, 그외 다른 반도체 장치 등이 포함될 수 있다. 또한, 본 발명에서 세정액(S)이라 함은 기판에 잔존하는 오염물질을 세정하기 위한 화학 용액으로서 단일 또는 복수개의 화학 용액을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 건조 챔버(20)는 세정조(10)의 상부에 선택적으로 분리 가능하게 배치되어 세정 공정이 완료된 피처리물을 건조시키기 위한 건조 공간을 정의한다. 건조 챔버(20)의 형태 및 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있으며, 건조 챔버(20)의 내측 상부에는 건조 챔버(20)의 내부 공간으로 건조제를 공급하기 위한 노즐이 제공될 수 있다.
상기 건조제로서는 요구되는 조건 및 건조 환경에 따라 다양한 물질이 사용될 수 있다. 이하에서는 상기 건조제로서 마란고니 효과(Marangoni effect)를 유도하기 위한 이소프로필 알콜(IPA : Iso-Propyl Alcohol)이 사용된 예를 들어 설명하기로 한다.
상기와 같이 가이드몸체(31)는 세정조(10) 및 건조 챔버(20)로 왕복 이송 가 능하게 설치되어 세정조(10)에서 세정이 완료된 피처리물이 건조 챔버(20)로 이송될 수 있게 한다. 이러한 가이드몸체(31)의 구조 및 형상은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로 상기 가이드몸체는 2점 지지 방식 또는 3점 지지 방식으로 피처리물을 지지하도록 구성될 수 있다.
이하에서는 상기 가이드몸체(31)가 3점 지지 방식으로 피처리물을 지지하도록 구성된 예를 들어 설명하기로 한다. 즉, 상기 가이드몸체(31)는 서로 이격되게 배치되는 3개의 지지부(32)를 포함하여 구성되며, 각 지지부(32)를 통해 피처리물의 세부분이 지지되도록 구성되어 있다. 상기 각 지지부(32)에는 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯(34)이 일정 간격을 두고 이격되게 형성되어 있으며, 상기 각 슬롯(34)의 저면에는 각 슬롯(34)과 각각 독립적으로 연통되게 안내공(36)이 형성되어 있다.
상기 안내공(36)은 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양한 형태 및 구조로 형성될 수 있으며, 안내공(36)의 개수 및 배치 구조에 의해 본 발명이 제한되거나 한정되는 것은 아니다. 일 예로 상기 안내공(36)은 원형 형태로 하나 또는 복수개가 형성될 수 있으며, 다르게는 안내공이 슬롯(34)의 길이 방향을 따라 장공 형태로 형성될 수 있다.
상기 진공흡입부(40)는 상기 안내공(36)에 연결되어 선택적으로 슬롯(34) 내부에 잔존하는 세정액이 진공흡입될 수 있게 한다. 이러한 진공흡입부(40)는 진공방식으로 세정액을 흡입 가능한 다양한 구조 및 방식으로 구성될 수 있다. 일 예로 상기 진공흡입부(40)는 흡입력을 제공하기 위한 모터(42) 또는 펌프, 상기 가이드 몸체(31)의 안내공(36)과 모터(42) 또는 펌프를 연결하는 연결라인(44)을 포함하여 구성될 수 있다.
상기 가이드몸체(31)의 내부에는 각 안내공(36)을 연결하기 위한 연결유로(38)가 형성될 수 있다. 즉, 상기 연결유로(38)는 가이드몸체(31)의 내부에 각 안내공(36)과 연통되게 형성되어 각 안내공(36)이 서로 연결된 하나의 유로로 구성될 수 있게 한다. 또한, 이 경우 상기 진공흡입부(40)는 연결유로(38)에 연결될 수 있으며, 각 슬롯(34)에 잔존된 세정액은 각 안내공(36)을 거친 후 연결유로(38)를 통해 진공흡입부(40)로 진공흡입될 수 있다. 경우에 따라서는 진공흡입부(40)가 각 안내공(36)에 각각 개별적으로 연결되도록 구성할 수도 있다.
아울러 상기 피처리물과 가이드몸체(31) 간의 접촉 면적을 저감시킬 수 있도록 슬롯(34)의 저면은 피처리물에 부분적으로 접촉 가능하게 형성될 수 있다. 일 예로 상기 피처리물에 접촉되는 슬롯(34)의 저면은 원호 형상 또는 대략 "V" 형상의 단면을 갖도록 형성될 수 있다. 경우에 따라서는 슬롯(34)의 저면이 피처리물에 선접촉 또는 점접촉되도록 구성할 수 있으며, 이 외에도 피처리물과 가이드몸체(31) 간의 접촉 면적을 저감시킬 수 있는 다양한 구조가 적용될 수 있다.
또한, 전술한 안내공(36)은 슬롯(34) 저면 중에서도 피처리물이 접촉되지 않는 부위에 형성될 수 있으나, 슬롯(34) 내부에 잔존될 수 있는 세정액이 안내공(36)을 통해 더욱 효과적으로 진공흡입될 수 있도록 안내공(36)은 피처리물 및 가이드몸체(31)의 상호 접촉 부위에 형성됨이 바람직하다.
이러한 구성에 의해 건조 공정 중에는 슬롯(34) 내부에 잔존할 수 있는, 그 중에서도 피처리물과 가이드몸체(31)가 서로 접촉하는 부분 사이에 잔존할 수 있는 세정액이 안내공(36) 및 연결유로(38)를 통해 진공흡입부(40)로 진공흡입될 수 있으며, 잔존되는 세정액에 의한 워터마크를 미연에 방지할 수 있다.
한편, 전술 및 도시한 실시예에서는 건조 공정시 슬롯(34) 내부에 잔존할 수 있는 세정액이 안내공(36)을 통해 진공흡입될 수 있도록 구성된 예를 들어 설명하고 있지만, 다르게는 세정 공정시 특히, 세정의 최종 단계인 린스 공정시 안내공(36)을 통해 가스(예를 들어 질소(N2))가 분출될 수 있으며, 안내공(36)을 통해 분출되는 가스에 의한 버블링에 의해 피처리물의 세정 작업이 더욱 효과적으로 이루어질 수 있다.
이를 위해 상기 안내공(36)에는 선택적으로 안내공(36)을 통해 가스가 분출될 수 있도록 가스를 공급하는 가스공급부(50)가 연결될 수 있으며, 이러한 가스공급부(50)의 구조는 요구되는 조건 및 설계 사양에 따라 다양하게 변경될 수 있다. 일 예로 상기 가스공급부(50)는 가스가 저장되는 가스저장부(52) 및 상기 가이드몸체(31)의 안내공(36)과 가스저장부(52)를 연결하며 안내공(36)으로 가스를 공급하는 공급라인(54)을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 전술한 바와 같은 방식으로 상기 가스공급부(50)는 각 안내공(36)을 하나로 연결하는 연결유로(38)에 연결될 수 있으며, 가스공급부(50)로부터 공급된 가스는 연결유로(38)를 거친 후 각 안내공(36)을 통해 분출될 수 있다.
전술 및 도시한 본 발명의 실시예에서는 진공흡입부(40) 및 가스공급부(50) 가 통합된 하나의 라인을 통해 연결유로(38)에 연결된 예를 들어 설명하고 있지만, 경우에 따라서는 진공흡입부(40) 및 가스공급부(50)가 각각 별도의 독립적인 라인을 통해 연결유로(38)에 연결되도록 구성할 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서는 진공흡입부(40) 및 가스공급부(50)가 함께 적용된 예를 들어 설명하고 있지만, 다르게는 진공흡입부(40) 및 가스공급부(50) 중 어느 하나만이 독립적으로 적용될 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 가이드장치(30)를 이용한 피처리물 처리방법을 설명하기로 한다. 아울러, 전술한 구성과 동일 및 동일 상당 부분에 대해서는 동일 또는 동일 상당한 참조 부호를 부여하고, 그에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
본 발명에 따른 피처리물 처리방법은 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯(34) 및 각 슬롯(34)에 연통되는 안내공(36)이 형성된 가이드몸체(31)를 포함하는 가이드장치(30)를 제공하는 단계, 상기 가이드몸체(31)에 피처리물을 로딩하는 단계, 상기 가이드몸체(31)의 슬롯(34)에 지지된 피처리물을 세정조(10)내 세정액에 침지시키는 단계, 상기 피처리물을 세정조(10)내 세정액에서 인출하는 단계, 상기 슬롯(34)에 연통되는 각 안내공(36)을 통해 슬롯(34) 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 단계를 포함한다.
먼저, 슬롯(34) 및 안내공(36)이 형성된 가이드몸체(31)를 포함하는 가이드장치(30)를 마련하고, 상기 가이드몸체(31)의 각 슬롯(34)상에 피처리물을 로딩한다. 이러한 가이드장치(30)는 요구되는 조건에 따라 2점 지지 방식 또는 3점 지지 방식 등 다양한 방식으로 피처리물을 지지하도록 구성될 수 있다.
다음, 가이드몸체(31)의 슬롯(34)에 안착 지지된 피처리물을 가이드장치(30)와 함께 세정조(10)내 세정액에 침지시켜 세정 작업을 수행한다.
다음, 세정이 완료된 피처리물을 건조시킬 수 있도록 피처리물이 지지된 가이드장치(30)를 세정조(10)로부터 승강시켜 건조제가 공급되는 건조 챔버(20)로 이송한다.
그 후, 피처리물의 건조 작업이 수행됨과 동시에 또는 순차적으로 가이드몸체(31)의 각 안내공(36)을 통해 슬롯(34) 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입한다.
아울러 세정액을 진공흡입하는 단계에서는 단순히 슬롯(34) 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하도록 구성될 수 있으나, 슬롯(34) 내부에 잔존할 수 있는 세정액이 더욱 효과적으로 진공흡입될 수 있도록 피처리물 및 가이드몸체(31)의 상호 접촉 부위에 잔존하는 세정액을 진공흡입하도록 구성됨이 바람직하다.
또한, 상기 가이드몸체(31)는 각 안내공(36)을 연결하는 연결유로(38)를 포함하여 제공될 수 있으며, 세정액을 진공흡입하는 단계에서는 각 슬롯(34)에 잔존하는 세정액이 안내공(36)을 거친 후 연결유로(38)를 통해 진공흡입될 수 있다.
전술한 바와 같이 건조 공정시에는 안내공(36)을 통해 슬롯(34) 내부에 잔존할 수 있는 세정액이 진공흡입될 수 있게 함으로써 슬롯(34) 내부에 세정액이 잔존됨에 따른 워터마크를 미연에 방지할 수 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에 따르면 세정 공정시에는 피처리물 및 가이드장치(30)가 세정조(10)내 세정액에 침지된 상태에서 안내공(36)을 통해 가스가 분 출될 수 있으며, 안내공(36)을 통해 분출되는 가스에 의한 버블링에 의해 피처리물의 세정 작업이 더욱 효과적으로 이루어질 수 있다.
특히, 이와 같은 방법은 세정의 단계 중 건조 공정의 바로 전 단계인 린스 공정시 적용될 수 있으며, 경우에 따라서는 여타 다른 세정 단계(예를 들어 약액 세정 단계)에도 적용될 수 있다.
더욱이 이와 같은 방법은 슬롯(34)으로부터 직접 가스가 분출되며 가스에 의한 버블링이 직접 피처리물의 표면을 따라 이루어질 수 있게 하며 세정 효율을 극대화할 수 있게 한다.
이상에서 본 바와 같이, 본 발명에 따른 가이드장치 및 이를 이용한 피처리물 처리방법에 의하면 피처리물의 건조 효율 및 세정 효율을 향상 시킬 수 있는 효과가 있다.
특히, 본 발명에 따르면 피처리물과 가이드장치의 접촉 부분 사이에 잔존할 수 있는 세정액이 진공흡입될 수 있게 하며, 세정액이 잔존됨에 따른 워터마크를 방지하고 신뢰성을 향상 시킬 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 따르면 피처리물과 가이드장치와의 접촉 면적을 저감시킬 수 있게 하며, 워터 마크의 발생 빈도를 저감시킬 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 따르면 세정 공정시 가이드장치의 각 슬롯에서 분출되는 가스에 의한 버블링에 의해 세정 작업이 더욱 효과적으로 이루어질 수 있게 한다.
또한, 본 발명에 따르면 세정조 내부에 가스를 공급하는 라인이 가이드장치 내부를 거쳐 형성될 수 있게 함으로써 공간효율성 및 설계자유도를 향상 시킬 수 있게 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만 해당 기술분야의 숙련된 당업자라면 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (10)

  1. 세정액을 이용하는 세정조에서 피처리물을 취급하는 가이드장치에 있어서,
    피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 상기 각 슬롯에 연통되는 안내공을 구비하며, 세정조에 대해 상하로 이동하는 가이드몸체;
    상기 안내공에 연결되어 상기 피처리물이 상기 세정조내 세정액에 침지된 상태에서 상기 안내공을 통해 가스가 분출되도록 가스를 공급하는 가스공급부; 및
    상기 안내공에 연결되어 상기 피처리물이 상기 세정조내 세정액에서 인출된 후 상기 슬롯 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 진공흡입부;
    를 포함하는 가이드장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 가이드몸체는 상기 각 안내공을 연결하기 위해 내부에 형성되는 연결유로를 더 포함하고,
    상기 진공흡입부는 상기 연결유로에 연결된 것을 특징으로 하는 가이드장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 슬롯의 저면은 상기 피처리물에 부분적으로 접촉 가능하게 형성된 것을 특징으로 하는 가이드장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 안내공은 상기 피처리물 및 상기 가이드몸체의 상호 접촉 부위에 형성 된 것을 특징으로 하는 가이드장치.
  5. 삭제
  6. 세정액을 이용하는 세정조에서 피처리물을 취급하는 가이드장치에 있어서,
    피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 상기 각 슬롯에 연통되는 안내공을 구비하며, 세정조에 대해 상하로 이동하는 가이드몸체; 및
    상기 안내공에 연결되어 상기 피처리물이 상기 세정조내 세정액에 침지된 상태에서 상기 안내공을 통해 가스가 분출되도록 가스를 공급하는 가스공급부;
    를 포함하는 가이드장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 가이드몸체는 상기 각 안내공을 연결하는 연결유로를 더 포함하고,
    상기 가스공급부는 상기 연결유로에 연결된 것을 특징으로 하는 가이드장치.
  8. 피처리물을 부분적으로 수용하기 위한 복수개의 슬롯 및 상기 각 슬롯에 연통되는 안내공이 형성된 가이드몸체를 포함하는 가이드장치를 제공하는 단계;
    상기 가이드몸체에 상기 피처리물을 로딩하는 단계;
    상기 가이드몸체의 상기 슬롯에 지지된 상기 피처리물을 세정조내 세정액에 침지하는 단계;
    상기 피처리물 및 상기 가이드장치가 상기 세정조내 세정액에 침지된 상태에서 상기 각 안내공을 통해 가스를 분출하는 단계;
    상기 피처리물을 상기 세정조내 세정액에서 인출하는 단계; 및
    상기 슬롯에 연통되는 상기 각 안내공을 통해 상기 슬롯 내부에 잔존하는 세정액을 진공흡입하는 단계;
    를 포함하는 가이드장치를 이용한 피처리물 처리방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 가이드몸체는 상기 각 안내공을 연결하기 위해 내부에 형성되는 연결유로를 더 포함하여 제공되며,
    상기 세정액을 진공흡입하는 단계에서 상기 각 슬롯에 잔존된 세정액은 상기 연결유로를 통해 진공흡입되는 것을 특징으로 하는 가이드장치를 이용한 피처리물 처리방법.
  10. 삭제
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH06204197A (ja) * 1992-11-10 1994-07-22 Tokyo Electron Ltd 洗浄処理装置
JP2005101183A (ja) * 2003-09-24 2005-04-14 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板洗浄乾燥装置

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