JPH0821612B2 - ガラス基板用カセット - Google Patents
ガラス基板用カセットInfo
- Publication number
- JPH0821612B2 JPH0821612B2 JP1271391A JP27139189A JPH0821612B2 JP H0821612 B2 JPH0821612 B2 JP H0821612B2 JP 1271391 A JP1271391 A JP 1271391A JP 27139189 A JP27139189 A JP 27139189A JP H0821612 B2 JPH0821612 B2 JP H0821612B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass substrate
- cassette
- shelf
- grooved
- shelf piece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Landscapes
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ガラス基板を互いに接触しないように分離
して支持するためのガラス基板用カセットの改良に関す
るものである。
して支持するためのガラス基板用カセットの改良に関す
るものである。
従来の技術 液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体用ガラス基
板、サーマルヘッド用ガラス基板など各種のガラス基板
の製造工程においては、そのガラス基板を加工、処理、
洗浄、輸送、保管するために、各ガラス基板を互いに接
触しないようにカセットに出入、収容することが必要と
なる。
板、サーマルヘッド用ガラス基板など各種のガラス基板
の製造工程においては、そのガラス基板を加工、処理、
洗浄、輸送、保管するために、各ガラス基板を互いに接
触しないようにカセットに出入、収容することが必要と
なる。
この目的のガラス基板用カセットとして、枠体の1対
の相対向する側面を溝付き側板で形成し、両側板の対応
する溝間にガラス基板を出入、収容しうるようにしたカ
セットが用いられる。
の相対向する側面を溝付き側板で形成し、両側板の対応
する溝間にガラス基板を出入、収容しうるようにしたカ
セットが用いられる。
カセットの材質としては、たとえば、ガラス繊維入り
ポリフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ
置換ポリテトラフルオロエチレンなどが用いられてい
る。そのほか、ポリエーテルエーテルケトンを用いると
の提案もなされている(特開昭62-247323号公報、特開
昭62-276849号公報参照)。
ポリフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ
置換ポリテトラフルオロエチレンなどが用いられてい
る。そのほか、ポリエーテルエーテルケトンを用いると
の提案もなされている(特開昭62-247323号公報、特開
昭62-276849号公報参照)。
溝付き側板の形状、デザインには種々のものがある
が、いずれも基本的には、側板基体から多数のリブ状の
棚片が張り出した形状を有している。隣接するリブ状の
棚片間の空隙が溝となり、ここに基板が出入、収容され
るわけである。
が、いずれも基本的には、側板基体から多数のリブ状の
棚片が張り出した形状を有している。隣接するリブ状の
棚片間の空隙が溝となり、ここに基板が出入、収容され
るわけである。
第9図は、ガラス基板用カセットの代表的な全体形状
の一例を示した斜視図である。(1)は枠体であり、
(11)は底面側フレーム、(12)は天井側フレーム、
(13)は基板を受けとめるストッパーとしての受け側フ
レームである。(2),(2)は1対の相対向する側面
を構成する溝付き側板である。
の一例を示した斜視図である。(1)は枠体であり、
(11)は底面側フレーム、(12)は天井側フレーム、
(13)は基板を受けとめるストッパーとしての受け側フ
レームである。(2),(2)は1対の相対向する側面
を構成する溝付き側板である。
ガラス基板用カセットは、ガラス基板の出入時には開
口側が横を向くようにして使用し、ガラス基板の運搬時
には開口側が上を向くようにして使用するのが通常であ
るが、本明細書においては、ガラス基板用カセットにつ
いては、開口側が横を向くようにして使用する場合を基
本とし、その開口部側から見た図を正面図と定めること
にする。また溝付き側板については、カセット内部側か
ら見た場合を正面図と定めることにする。
口側が横を向くようにして使用し、ガラス基板の運搬時
には開口側が上を向くようにして使用するのが通常であ
るが、本明細書においては、ガラス基板用カセットにつ
いては、開口側が横を向くようにして使用する場合を基
本とし、その開口部側から見た図を正面図と定めること
にする。また溝付き側板については、カセット内部側か
ら見た場合を正面図と定めることにする。
第9図においては、1対の相対向する側面を各3枚の
溝付き側板(2)で形成しているが、1対の相対向する
側面を各1枚の溝付き側板(2)で形成したり、1対の
相対向する側面を2枚とか4枚の溝付き側板(2)で形
成することもある。
溝付き側板(2)で形成しているが、1対の相対向する
側面を各1枚の溝付き側板(2)で形成したり、1対の
相対向する側面を2枚とか4枚の溝付き側板(2)で形
成することもある。
上記構造のカセットに対するガラス基板の出入は、底
面側フレーム(11)の隙間から持ち上げたコンベアベル
トの走行、開口側からのシャトルアームの操作、背後側
からのプッシャーによる突き出し等の手段により自動的
に行うが、作業員が手で行う場合もある。
面側フレーム(11)の隙間から持ち上げたコンベアベル
トの走行、開口側からのシャトルアームの操作、背後側
からのプッシャーによる突き出し等の手段により自動的
に行うが、作業員が手で行う場合もある。
第10図は、従来の溝付き側板(2)の右側面図、第11
図はその正面図であり、(21)は背肉部、(22)はその
背肉部(21)から張り出したリブ状の棚片である。第10
図に2点鎖線で示した(B)はガラス基板である。
図はその正面図であり、(21)は背肉部、(22)はその
背肉部(21)から張り出したリブ状の棚片である。第10
図に2点鎖線で示した(B)はガラス基板である。
リブ状の棚片(22)は、本来相対向する溝付き側板
(2),(2)の対向側にだけ背肉部(21)から張り出
すように設ければ足りるはずであるが、背肉部(21)か
ら一方向のみにリブ状の棚片(22)を張り出すようにす
ると、成形時あるいは高温条件下での使用時に歪みや変
形を生ずるおそれがある。そこで、本出願人において
は、バランスを取るために、第10図のように背肉部(2
1)から両方向にリブ状の棚片(22)を張り出すように
する工夫についても検討を行っている。
(2),(2)の対向側にだけ背肉部(21)から張り出
すように設ければ足りるはずであるが、背肉部(21)か
ら一方向のみにリブ状の棚片(22)を張り出すようにす
ると、成形時あるいは高温条件下での使用時に歪みや変
形を生ずるおそれがある。そこで、本出願人において
は、バランスを取るために、第10図のように背肉部(2
1)から両方向にリブ状の棚片(22)を張り出すように
する工夫についても検討を行っている。
発明が解決しようとする課題 しかしながら、従来のガラス基板用カセットにあって
は、溝付き側板(2),(2)の溝にガラス基板(B)
を出入または収容すると、リブ状の棚片(22)の棚面で
ガラス基板(B)のエッジを受けとめるため、ガラス基
板(B)のエッジとの摩擦により棚面が削り取られて切
削屑を生じ、その切削屑がガラス基板(B)に付着して
悪影響を与えることがあった。また、取り扱い中、隣接
するリブ状の棚片(22),(22)間、つまり溝の所でガ
ラス基板(B)のエッジが背肉部(21)に当接すること
があるため、この部分においても切削屑を生ずることが
あった。
は、溝付き側板(2),(2)の溝にガラス基板(B)
を出入または収容すると、リブ状の棚片(22)の棚面で
ガラス基板(B)のエッジを受けとめるため、ガラス基
板(B)のエッジとの摩擦により棚面が削り取られて切
削屑を生じ、その切削屑がガラス基板(B)に付着して
悪影響を与えることがあった。また、取り扱い中、隣接
するリブ状の棚片(22),(22)間、つまり溝の所でガ
ラス基板(B)のエッジが背肉部(21)に当接すること
があるため、この部分においても切削屑を生ずることが
あった。
ガラス基板(B)のエッジによるリブ状の棚片(22)
の棚面の削り取りを防止するため、ガラス基板(B)の
エッジを面取り加工したりアールに加工する工夫もなさ
れているが、このような加工をガラス基板(B)の全て
に施すことは製造コストを著しく高くするものであり、
一般的には採用しうるものではなかった。またこのよう
な工夫によっても、ガラス基板(B)のエッジが背肉部
(21)に当接することによる削り取りは充分には防止で
きないという限界があった。
の棚面の削り取りを防止するため、ガラス基板(B)の
エッジを面取り加工したりアールに加工する工夫もなさ
れているが、このような加工をガラス基板(B)の全て
に施すことは製造コストを著しく高くするものであり、
一般的には採用しうるものではなかった。またこのよう
な工夫によっても、ガラス基板(B)のエッジが背肉部
(21)に当接することによる削り取りは充分には防止で
きないという限界があった。
本発明者らは、リブ状の棚片(22)のうちカセット内
部側に張り出した棚片(22X)の遊端部を断面視で球状
に形成し、その球状部にガラス基板(B)の板面の部分
が接触するようにした構成のカセットを案出し、すでに
特願平1-115695号として出願している。このカセットは
従来のカセットに比すれば著しくすぐれているが、ガラ
ス基板(B)をカセットに収容した状態で加工、処理、
洗浄、輸送、保管等の諸工程に供するとき、カセットに
収容したガラス基板(B)が垂直姿勢になると前記球状
部がガラス基板(B)のパターン面と接触し、取り扱い
が乱暴な場合には該パターンを損傷するおそれが皆無で
はないため、さらにその改良を図ることが必要となって
きた。
部側に張り出した棚片(22X)の遊端部を断面視で球状
に形成し、その球状部にガラス基板(B)の板面の部分
が接触するようにした構成のカセットを案出し、すでに
特願平1-115695号として出願している。このカセットは
従来のカセットに比すれば著しくすぐれているが、ガラ
ス基板(B)をカセットに収容した状態で加工、処理、
洗浄、輸送、保管等の諸工程に供するとき、カセットに
収容したガラス基板(B)が垂直姿勢になると前記球状
部がガラス基板(B)のパターン面と接触し、取り扱い
が乱暴な場合には該パターンを損傷するおそれが皆無で
はないため、さらにその改良を図ることが必要となって
きた。
本発明は、このような状況に鑑み、ガラス基板(B)
のエッジによるリブ状の棚片(22)の棚面の削り取りを
有効に防止すると共に、ガラス基板(B)が水平姿勢に
あると垂直姿勢にあるとにかかわらずガラス基板(B)
のパターン面を損傷するおそれのない基板用カセットを
提供することを目的とするものである。
のエッジによるリブ状の棚片(22)の棚面の削り取りを
有効に防止すると共に、ガラス基板(B)が水平姿勢に
あると垂直姿勢にあるとにかかわらずガラス基板(B)
のパターン面を損傷するおそれのない基板用カセットを
提供することを目的とするものである。
課題を解決するための手段 本発明のガラス基板用カセットは、枠体(1)の1対
の相対向する側面を、横方向の溝を多段に有する溝付き
側板(2),(2)で形成し、これら相対向する溝付き
側板(2),(2)の対応する溝間に角板状のガラス基
板(B)を出入、収容しうるようにしたカセットにおい
て、前記溝付き側板(2)の形状を、背肉部(21)から
カセットの内外両方向に多数のリブ状の棚片(22)が張
り出した形状となし、かつ、カセットに収容したガラス
基板(B)が水平姿勢になるときのカセットの姿勢にお
いて上側となる面を上面、下側となる面を下面と定義す
るとき、前記棚片(22)のうち背肉部(21)からカセッ
ト内部側に張り出す棚片(22X)の少なくとも下面をそ
の遊端側が基端側に比し上段の棚片(22X)に近づく側
に傾斜させると共に、必要に応じて棚片(22X)の上面
の遊端側に突出部(23)を形成することにより、棚片
(22X)の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(2
3)によりガラス基板(B)を点接触または線接触状態
で支持するようにし、また溝付き側板(2)の背肉部
(21)を、隣接する棚片(22X),(22X)間において傾
斜状に形成し、さらには溝付き側板(2)の水平方向の
切断断面視で、背肉部(21)の両端側が中央部に比し薄
肉に移行するテーパー状に形成したことを特徴とするも
のである。
の相対向する側面を、横方向の溝を多段に有する溝付き
側板(2),(2)で形成し、これら相対向する溝付き
側板(2),(2)の対応する溝間に角板状のガラス基
板(B)を出入、収容しうるようにしたカセットにおい
て、前記溝付き側板(2)の形状を、背肉部(21)から
カセットの内外両方向に多数のリブ状の棚片(22)が張
り出した形状となし、かつ、カセットに収容したガラス
基板(B)が水平姿勢になるときのカセットの姿勢にお
いて上側となる面を上面、下側となる面を下面と定義す
るとき、前記棚片(22)のうち背肉部(21)からカセッ
ト内部側に張り出す棚片(22X)の少なくとも下面をそ
の遊端側が基端側に比し上段の棚片(22X)に近づく側
に傾斜させると共に、必要に応じて棚片(22X)の上面
の遊端側に突出部(23)を形成することにより、棚片
(22X)の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(2
3)によりガラス基板(B)を点接触または線接触状態
で支持するようにし、また溝付き側板(2)の背肉部
(21)を、隣接する棚片(22X),(22X)間において傾
斜状に形成し、さらには溝付き側板(2)の水平方向の
切断断面視で、背肉部(21)の両端側が中央部に比し薄
肉に移行するテーパー状に形成したことを特徴とするも
のである。
以下本発明を詳細に説明する。
カセットは、フレームを枠状に組んだ枠体(1)で構
成する。枠体(1)は、底面側フレーム(11)、天井側
フレーム(12)、および、ガラス基板(B)を受けとめ
るストッパーとしての受け側フレーム(13)で構成され
る。受け側フレーム(13)は「受け棒」と称することも
多い。
成する。枠体(1)は、底面側フレーム(11)、天井側
フレーム(12)、および、ガラス基板(B)を受けとめ
るストッパーとしての受け側フレーム(13)で構成され
る。受け側フレーム(13)は「受け棒」と称することも
多い。
そして枠体(1)の1対の相対向する側面を、横方向
の溝を多段に有する溝付き側板(2),(2)で形成す
る。これらの溝付き側板(2),(2)の対応する溝間
にガラス基板(B)が出入または収容されることにな
る。
の溝を多段に有する溝付き側板(2),(2)で形成す
る。これらの溝付き側板(2),(2)の対応する溝間
にガラス基板(B)が出入または収容されることにな
る。
枠体(1)のそれぞれの側面を片面につき各1枚の溝
付き側板(2)で形成することも可能であるが、この場
合は大型の溝付き側板(2)を成形することになるので
成形金型が大きくなり、成形時にも歪みを生じやすい
上、カセットの重量が大となる。またガラス基板(B)
を手で挿入する場合には、自動挿入の場合とは異なりぶ
れを生じやすいので、ガラス基板(B)の挿入が行いに
くいという不利もある。そこで、それぞれの側面につき
片面当り各複数枚(たとえば各2〜5枚)の溝付き側板
(2)を間隔をあけて設置する方が有利である。
付き側板(2)で形成することも可能であるが、この場
合は大型の溝付き側板(2)を成形することになるので
成形金型が大きくなり、成形時にも歪みを生じやすい
上、カセットの重量が大となる。またガラス基板(B)
を手で挿入する場合には、自動挿入の場合とは異なりぶ
れを生じやすいので、ガラス基板(B)の挿入が行いに
くいという不利もある。そこで、それぞれの側面につき
片面当り各複数枚(たとえば各2〜5枚)の溝付き側板
(2)を間隔をあけて設置する方が有利である。
上記溝付き側板(2)としては、背肉部(21)から所
定数のリブ状の棚片(22)が両方向に張り出した形状の
ものが使用される。背肉部(21)から一方向のみに棚片
(22)を張り出すようにすると、成形時あるいは高温条
件下での使用時に歪みや変形を生ずるおそれがあるから
である。
定数のリブ状の棚片(22)が両方向に張り出した形状の
ものが使用される。背肉部(21)から一方向のみに棚片
(22)を張り出すようにすると、成形時あるいは高温条
件下での使用時に歪みや変形を生ずるおそれがあるから
である。
各棚片(22)は、1枚の溝付き側板(2)の巾全体に
非分割で設けてもよく、分割して設けてもよい。
非分割で設けてもよく、分割して設けてもよい。
本発明においては、カセットに収容したガラス基板
(B)が水平姿勢になるときのカセットの姿勢において
上側となる面を上面、下側となる面を下面と定義すると
き、前記棚片(22)のうち背肉部(21)からカセット内
部側に張り出す棚片(22X)の少なくとも下面をその遊
端側が基端側に比し上段の棚片(22X)に近づく側に傾
斜させると共に、必要に応じて棚片(22X)の上面の遊
端側に突出部(23)を形成することにより、棚片(22
X)の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(23)に
よりガラス基板(B)を点接触また線接触状態で支持す
るようにする。
(B)が水平姿勢になるときのカセットの姿勢において
上側となる面を上面、下側となる面を下面と定義すると
き、前記棚片(22)のうち背肉部(21)からカセット内
部側に張り出す棚片(22X)の少なくとも下面をその遊
端側が基端側に比し上段の棚片(22X)に近づく側に傾
斜させると共に、必要に応じて棚片(22X)の上面の遊
端側に突出部(23)を形成することにより、棚片(22
X)の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(23)に
よりガラス基板(B)を点接触また線接触状態で支持す
るようにする。
突出部(23)の形状は、半円形ロッド状、三角形ロッ
ド状、円錐状、半球状、連設半球状などとすることがで
きる。
ド状、円錐状、半球状、連設半球状などとすることがで
きる。
突出部(23)は、全ての棚片(22X)に設ける必要は
なく、挿入したガラス基板(B)が離れた個所で少なく
とも2個所(カセットの片側面当り)接触するように設
ければよい。
なく、挿入したガラス基板(B)が離れた個所で少なく
とも2個所(カセットの片側面当り)接触するように設
ければよい。
また溝付き側板(2)の背肉部(21)は、隣接する棚
片(22X),(22X)間において傾斜状に形成する。
片(22X),(22X)間において傾斜状に形成する。
カセット外側の棚片(22Y)にも適当な形状の突出部
を形成しても差し支えはないが、金型がそれだけ複雑と
なるので、通常は突出部を設けない形状に形成する。
を形成しても差し支えはないが、金型がそれだけ複雑と
なるので、通常は突出部を設けない形状に形成する。
さらに、溝付き側板(2)の水平方向の切断断面視
で、背肉部(21)の両端側が中央部に比し薄肉に移行す
るテーパー状に形成する。これによりガラス基板(B)
の挿入操作が容易になる。
で、背肉部(21)の両端側が中央部に比し薄肉に移行す
るテーパー状に形成する。これによりガラス基板(B)
の挿入操作が容易になる。
そのほか、棚片(22)のうち少なくともカセット内部
側に張り出した棚片(22X)を遊端に向かうほど基端側
よりも狭巾にかつ薄肉となるようにテーパー状またはア
ール状に形成すると、ガラス基板(B)の挿入操作が容
易になる。
側に張り出した棚片(22X)を遊端に向かうほど基端側
よりも狭巾にかつ薄肉となるようにテーパー状またはア
ール状に形成すると、ガラス基板(B)の挿入操作が容
易になる。
枠体(1)および溝付き側板(2)を構成する樹脂と
しては、使用目的に応じて必要な強度、耐熱性、耐溶剤
性、耐酸・耐アルカリ性等を有する溶融成形可能な樹脂
が選択され、たとえば、ポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、
ポリフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ
置換ポリテトラフルオロエチレン、ポリアリレート、ポ
リスルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホ
ン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミ
ド、ポリプロピレンなど、あるいはこれらにガラス繊
維、カーボン繊維、アラミド繊維、セラミックス繊維、
金属繊維等を配合した繊維強化熱可塑性樹脂が用いられ
る。溶融成形法としては、射出成形法、押出成形法、ト
ランスファー成形法などが採用される。溶融成形にあた
っては、充填剤、安定剤、滑剤、その他の添加剤を配合
することもできる。
しては、使用目的に応じて必要な強度、耐熱性、耐溶剤
性、耐酸・耐アルカリ性等を有する溶融成形可能な樹脂
が選択され、たとえば、ポリイミド、ポリエーテルイミ
ド、ポリアミドイミド、ポリエーテルエーテルケトン、
ポリフェニレンサルファイド、パーフルオロアルコキシ
置換ポリテトラフルオロエチレン、ポリアリレート、ポ
リスルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテルスルホ
ン、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミ
ド、ポリプロピレンなど、あるいはこれらにガラス繊
維、カーボン繊維、アラミド繊維、セラミックス繊維、
金属繊維等を配合した繊維強化熱可塑性樹脂が用いられ
る。溶融成形法としては、射出成形法、押出成形法、ト
ランスファー成形法などが採用される。溶融成形にあた
っては、充填剤、安定剤、滑剤、その他の添加剤を配合
することもできる。
上記構造のカセットに収容するガラス基板(B)とし
ては、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体用ガラス
基板、サーマルヘッド用ガラス基板をはじめとする各種
のガラス基板があげられる。
ては、液晶表示用ガラス基板、プラズマ表示体用ガラス
基板、サーマルヘッド用ガラス基板をはじめとする各種
のガラス基板があげられる。
発明の効果 ガラス基板の製造工程においては、各処理段階のガラ
ス基板(原板を含む)を、加工、処理、洗浄、輸送、保
管のために互いに接触しないようにカセット内に保持す
ることが必要である。
ス基板(原板を含む)を、加工、処理、洗浄、輸送、保
管のために互いに接触しないようにカセット内に保持す
ることが必要である。
以下、本発明の作用および効果を図面に基いて説明す
る。
る。
第1〜2図は本発明の基板用カセットにおける溝付き
側板(2)の部分右側面図であり、第1図はガラス基板
(B)が水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第
2図はガラス基板(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿
勢にある場合を示してある。
側板(2)の部分右側面図であり、第1図はガラス基板
(B)が水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第
2図はガラス基板(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿
勢にある場合を示してある。
本発明のガラス基板用カセットの両側面を構成する溝
付き側板(2),(2)間に、第1図に示したようにガ
ラス基板(B)を水平姿勢または水平に近い姿勢で出入
または収容すると、ガラス基板(B)の下面(非パター
ン面)が、カセット内部側に張り出した棚片(22X)の
上面の遊端側またはその遊端側に形成した突出部(23)
に点接触状態または線接触状態で接触するので、ガラス
基板(B)はこの突出部(23)で受けとめられ、ガラス
基板(B)のエッジによる棚片(22X)の上面の削り取
りは皆無となる。
付き側板(2),(2)間に、第1図に示したようにガ
ラス基板(B)を水平姿勢または水平に近い姿勢で出入
または収容すると、ガラス基板(B)の下面(非パター
ン面)が、カセット内部側に張り出した棚片(22X)の
上面の遊端側またはその遊端側に形成した突出部(23)
に点接触状態または線接触状態で接触するので、ガラス
基板(B)はこの突出部(23)で受けとめられ、ガラス
基板(B)のエッジによる棚片(22X)の上面の削り取
りは皆無となる。
ついで、ガラス基板(B)を第2図に示したように垂
直姿勢または垂直に近い姿勢にもたらすと、ガラス基板
(B)は矢印のように動いて仮想線で示したように棚片
(22X)の下面(第2図では右側の面)と接触すること
がある。しかしながらこの場合は、ガラス基板(B)の
エッジが棚片(22X)の傾斜した下面と接触するだけ
で、ガラス基板(B)のパターン面である上面(第2図
では左側の面)は何ら損傷を受けない。なおガラス基板
(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿勢にあるときは、
ガラス基板(B)の自重は棚片(22X)にはほとんどか
からないので、ガラス基板(B)のエッジが棚片(22
X)の下面と接触しても特に問題は生じない。
直姿勢または垂直に近い姿勢にもたらすと、ガラス基板
(B)は矢印のように動いて仮想線で示したように棚片
(22X)の下面(第2図では右側の面)と接触すること
がある。しかしながらこの場合は、ガラス基板(B)の
エッジが棚片(22X)の傾斜した下面と接触するだけ
で、ガラス基板(B)のパターン面である上面(第2図
では左側の面)は何ら損傷を受けない。なおガラス基板
(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿勢にあるときは、
ガラス基板(B)の自重は棚片(22X)にはほとんどか
からないので、ガラス基板(B)のエッジが棚片(22
X)の下面と接触しても特に問題は生じない。
そして、溝付き側板(2)の背肉部(21)を、隣接す
る棚片(22X),(22X)間において傾斜状に形成してあ
るので、隣接する棚片(22X)間へのガラス基板(B)
の出入または収容に際しガラス基板(B)のエッジが背
肉部(21)にぶつかる方向の動作をしても、その衝撃ま
たは摩擦は背肉部(21)の傾斜面で効果的に緩和される
ので、背肉部(21)へのガラス基板(B)の接触による
エッジ切削屑の発生も事実上生じない。
る棚片(22X),(22X)間において傾斜状に形成してあ
るので、隣接する棚片(22X)間へのガラス基板(B)
の出入または収容に際しガラス基板(B)のエッジが背
肉部(21)にぶつかる方向の動作をしても、その衝撃ま
たは摩擦は背肉部(21)の傾斜面で効果的に緩和される
ので、背肉部(21)へのガラス基板(B)の接触による
エッジ切削屑の発生も事実上生じない。
また溝付き側板(2)の水平方向の切断断面視で、背
肉部(21)の両端側が中央部に比し薄肉に移行するテー
パー状に形成してあるので、ガラス基板(B)の挿入操
作が容易になる。
肉部(21)の両端側が中央部に比し薄肉に移行するテー
パー状に形成してあるので、ガラス基板(B)の挿入操
作が容易になる。
このように本発明の基板用カセットにあっては、溝付
き側板(2)とガラス基板(B)との接触による切削屑
の発生が従来の溝付き側板(2)を用いたカセットに比
し大幅に減少する上、ガラス基板(B)のパターン面の
損傷も有効に防止され、ガラス基板(B)の挿入操作も
容易である。
き側板(2)とガラス基板(B)との接触による切削屑
の発生が従来の溝付き側板(2)を用いたカセットに比
し大幅に減少する上、ガラス基板(B)のパターン面の
損傷も有効に防止され、ガラス基板(B)の挿入操作も
容易である。
実施例 次に実施例をあげて本発明をさらに説明する。第3図
は本発明のガラス基板用カセットにおける溝付き側板
(2)の一例を示した右側面図、第4図はその正面図、
第5図はその平面図、第6図は第4図のA-A断面図であ
る。
は本発明のガラス基板用カセットにおける溝付き側板
(2)の一例を示した右側面図、第4図はその正面図、
第5図はその平面図、第6図は第4図のA-A断面図であ
る。
第7図は上記溝付き側板(2)を組み込んだ本発明の
ガラス基板用カセットの一例を示した平面図、第8図は
その部分正面図である。
ガラス基板用カセットの一例を示した平面図、第8図は
その部分正面図である。
ガラス基板用カセットの全体図は、多少形状が異なる
が、従来の技術の説明の項で述べた第9図と同様にな
る。
が、従来の技術の説明の項で述べた第9図と同様にな
る。
耐熱性樹脂(たとえばポリエーテルイミドやポリエー
テルエーテルケトン)を射出成形することにより、カセ
ットを構成する各部材を得た。
テルエーテルケトン)を射出成形することにより、カセ
ットを構成する各部材を得た。
(1)は枠体であり、第7〜8図あるいは第9図のよ
うに、底面側フレーム(11)、天井側フレーム(12)、
およびストッパーとしての受け側フレーム(13)からな
る。
うに、底面側フレーム(11)、天井側フレーム(12)、
およびストッパーとしての受け側フレーム(13)からな
る。
(2)は溝付き側板であり、枠体(1)の1対の相対
向する側面を構成している。なお枠体(1)の両側面
は、それぞれ3枚の溝付き側板(2)を間隔をあけて組
み込むことにより構成されている。ただし、各側面をそ
れぞれ1枚の溝付き側板(2)で構成してもよく、各側
面を2枚または4枚以上の溝付き側板(2)で構成して
もよい。
向する側面を構成している。なお枠体(1)の両側面
は、それぞれ3枚の溝付き側板(2)を間隔をあけて組
み込むことにより構成されている。ただし、各側面をそ
れぞれ1枚の溝付き側板(2)で構成してもよく、各側
面を2枚または4枚以上の溝付き側板(2)で構成して
もよい。
各溝付き側板(2)の上下の端部には、枠体(1)へ
の取り付け用の2種の締結孔(31),(32)を互いに直
角方向となるように設けてあり、これらの締結孔(3
1),(32)にボルトまたはネジを挿通することによ
り、枠体(1)との係合が図られている。
の取り付け用の2種の締結孔(31),(32)を互いに直
角方向となるように設けてあり、これらの締結孔(3
1),(32)にボルトまたはネジを挿通することによ
り、枠体(1)との係合が図られている。
2点鎖線で示した(B)はガラス基板であり、上記溝
付き側板(2),(2)の対応する溝間に挿入される。
付き側板(2),(2)の対応する溝間に挿入される。
上記溝付き側板(2)としては、背肉部(21)から所
定数のリブ状の棚片(22)が両方向に張り出したものを
用いている。各棚片(22)は、1枚の溝付き側板(2)
の巾全体に表裏とも連続して設けてある。ただし、複数
に分割して設けることもできる。(22X)はカセット内
部側に張り出した棚片、(22Y)はカセット外部側に張
り出した棚片である。
定数のリブ状の棚片(22)が両方向に張り出したものを
用いている。各棚片(22)は、1枚の溝付き側板(2)
の巾全体に表裏とも連続して設けてある。ただし、複数
に分割して設けることもできる。(22X)はカセット内
部側に張り出した棚片、(22Y)はカセット外部側に張
り出した棚片である。
溝付き側板(2)の背肉部(21)は、隣接する棚片
(22X),(22X)間において傾斜状に形成してある。ま
た溝付き側板(2)の背肉部(21)は、溝付き側板
(2)の水平方向の切断断面視で、その両端側の各1/8
の領域のみ外側が薄肉に移行するテーパー状に形成して
ある。(第6図参照) 棚片(22)のうちカセット内部側に張り出した棚片
(22X)は、ガラス基板(B)の挿入操作を容易にする
ため、遊端に向かうほど基端側よりも狭巾にかつ薄肉と
なるようにテーパー状に形成してあり、かつ棚片(22
X)の少なくとも下面を、その遊端側が基端側に比し上
段の棚片(22X)に近づく側に傾斜させてある。さら
に、棚片(22X)の上面の遊端側には、半円形ロッド状
(三角形ロッド状、円錐状、半球状、連設半球状などで
あってもよい)の突出部(23)を形成し、該突出部(2
3)が棚片(22X)の上面から盛り上がるようにしてあ
る。
(22X),(22X)間において傾斜状に形成してある。ま
た溝付き側板(2)の背肉部(21)は、溝付き側板
(2)の水平方向の切断断面視で、その両端側の各1/8
の領域のみ外側が薄肉に移行するテーパー状に形成して
ある。(第6図参照) 棚片(22)のうちカセット内部側に張り出した棚片
(22X)は、ガラス基板(B)の挿入操作を容易にする
ため、遊端に向かうほど基端側よりも狭巾にかつ薄肉と
なるようにテーパー状に形成してあり、かつ棚片(22
X)の少なくとも下面を、その遊端側が基端側に比し上
段の棚片(22X)に近づく側に傾斜させてある。さら
に、棚片(22X)の上面の遊端側には、半円形ロッド状
(三角形ロッド状、円錐状、半球状、連設半球状などで
あってもよい)の突出部(23)を形成し、該突出部(2
3)が棚片(22X)の上面から盛り上がるようにしてあ
る。
ガラス基板(B)が水平姿勢または水平に近い姿勢に
ある場合は、第1図のように、ガラス基板(B)の下面
(非パターン面)が棚片(22X)の上面の遊端側に設け
た突出部(23)で支えられる(棚片(22X)の遊端側が
斜め上方に向いているときは、その遊端側が突出部(2
3)の役割を果たす)。ガラス基板(B)が垂直姿勢ま
たは垂直に近い姿勢にある場合は、第2図のように、ガ
ラス基板(B)の下面(非パターン面)が棚片(22X)
の上面の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(23)
に軽く接触するか、ガラス基板(B)のエッジが棚片
(22X)の下面に軽く接触する。
ある場合は、第1図のように、ガラス基板(B)の下面
(非パターン面)が棚片(22X)の上面の遊端側に設け
た突出部(23)で支えられる(棚片(22X)の遊端側が
斜め上方に向いているときは、その遊端側が突出部(2
3)の役割を果たす)。ガラス基板(B)が垂直姿勢ま
たは垂直に近い姿勢にある場合は、第2図のように、ガ
ラス基板(B)の下面(非パターン面)が棚片(22X)
の上面の遊端側またはその遊端側に設けた突出部(23)
に軽く接触するか、ガラス基板(B)のエッジが棚片
(22X)の下面に軽く接触する。
なお、背肉部(21)からカセット外部側に張り出した
棚片(22Y)は、遊端に向かうほど基端側よりも狭巾に
かつ薄肉となるようにテーパー状に形成してある。
棚片(22Y)は、遊端に向かうほど基端側よりも狭巾に
かつ薄肉となるようにテーパー状に形成してある。
上記構造のカセットを、ガラス基板(B)の一例とし
ての液晶表示用ガラス基板を収容するカセットとして、
加工、処理、洗浄、輸送、保管の各工程において用いた
ところ、切削屑の発生は皆無と言って差し支えないほど
減少し、またガラス基板(B)のパターン面の損傷も認
められなかった。
ての液晶表示用ガラス基板を収容するカセットとして、
加工、処理、洗浄、輸送、保管の各工程において用いた
ところ、切削屑の発生は皆無と言って差し支えないほど
減少し、またガラス基板(B)のパターン面の損傷も認
められなかった。
第1〜2図は本発明のガラス基板用カセットにおける溝
付き側板(2)の右側面図であり、第1図はガラス基板
(B)が水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第
2図はガラス基板(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿
勢にある場合を示してある。 第3図は本発明のガラス基板用カセットにおける溝付き
側板(2)の一例を示した右側面図、第4図はその正面
図、第5図はその平面図、第6図は第4図のA-A断面図
である。 第7図は上記溝付き側板(2)を組み込んだ本発明のガ
ラス基板用カセットの一例を示した平面図、第8図はそ
の部分正面図である。 第9図はガラス基板用カセットの代表的な全体形状の一
例を示した斜視図である。 第10図は従来の溝付き側板(2)の右側面図、第11図は
その正面図である。 (1)……枠体、(11)……底面側フレーム、(12)…
…天井側フレーム、(13)……受け側フレーム、(2)
……溝付き側板、(21)……背肉部、(22)……リブ状
の棚片、(22X)……カセット内部側に張り出した棚
片、(22Y)……カセット外部側に張り出した棚片、(2
3)……突出部、(31),(32)……締結孔、(B)…
…ガラス基板
付き側板(2)の右側面図であり、第1図はガラス基板
(B)が水平姿勢または水平に近い姿勢にある場合、第
2図はガラス基板(B)が垂直姿勢または垂直に近い姿
勢にある場合を示してある。 第3図は本発明のガラス基板用カセットにおける溝付き
側板(2)の一例を示した右側面図、第4図はその正面
図、第5図はその平面図、第6図は第4図のA-A断面図
である。 第7図は上記溝付き側板(2)を組み込んだ本発明のガ
ラス基板用カセットの一例を示した平面図、第8図はそ
の部分正面図である。 第9図はガラス基板用カセットの代表的な全体形状の一
例を示した斜視図である。 第10図は従来の溝付き側板(2)の右側面図、第11図は
その正面図である。 (1)……枠体、(11)……底面側フレーム、(12)…
…天井側フレーム、(13)……受け側フレーム、(2)
……溝付き側板、(21)……背肉部、(22)……リブ状
の棚片、(22X)……カセット内部側に張り出した棚
片、(22Y)……カセット外部側に張り出した棚片、(2
3)……突出部、(31),(32)……締結孔、(B)…
…ガラス基板
Claims (1)
- 【請求項1】枠体(1)の1対の相対向する側面を、横
方向の溝を多段に有する溝付き側板(2),(2)で形
成し、これら相対向する溝付き側板(2),(2)の対
応する溝間に角板状のガラス基板(B)を出入、収容し
うるようにしたカセットにおいて、前記溝付き側板
(2)の形状を、背肉部(21)からカセットの内外両方
向に多数のリブ状の棚片(22)が張り出した形状とな
し、かつ、カセットに収容したガラス基板(B)が水平
姿勢になるときのカセットの姿勢において上側となる面
を上面、下側となる面を下面と定義するとき、前記棚片
(22)のうち背肉部(21)からカセット内部側に張り出
す棚片(22X)の少なくとも下面をその遊端側が基端側
に比し上段の棚片(22X)に近づく側に傾斜させると共
に、必要に応じて棚片(22X)の上面の遊端側に突出部
(23)を形成することにより、棚片(22X)の遊端側ま
たはその遊端側に設けた突出部(23)によりガラス基板
(B)を点接触または線接触状態で支持するようにし、
また溝付き側板(2)の背肉部(21)を、隣接する棚片
(22X),(22X)間において傾斜状に形成し、さらには
溝付き側板(2)の水平方向の切断断面視で、背肉部
(21)の両端側が中央部に比し薄肉に移行するテーパー
状に形成したことを特徴とするガラス基板用カセット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271391A JPH0821612B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | ガラス基板用カセット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1271391A JPH0821612B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | ガラス基板用カセット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03133152A JPH03133152A (ja) | 1991-06-06 |
JPH0821612B2 true JPH0821612B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=17499416
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1271391A Expired - Lifetime JPH0821612B2 (ja) | 1989-10-18 | 1989-10-18 | ガラス基板用カセット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0821612B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2912520B2 (ja) * | 1993-03-13 | 1999-06-28 | 淀川化成株式会社 | ガラス基板収容用カセット |
US5576167A (en) * | 1994-12-30 | 1996-11-19 | Eastman Kodak Company | Photographic element containing a stable aryloxypyrazolone coupler and process employing same |
DE69523429T2 (de) * | 1994-12-30 | 2002-06-27 | Eastman Kodak Co., Rochester | Photographisches Element das einen Pyrazolon-Pug-freisetzenden Kuppler enthält und Bildverfahren das dieses verwendet |
JPH08264630A (ja) * | 1995-03-10 | 1996-10-11 | Fujita Seisakusho:Kk | キャリアラック |
JPH10231023A (ja) * | 1997-02-24 | 1998-09-02 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 基板搬送方法および基板搬送カセット |
KR100737846B1 (ko) | 1999-09-06 | 2007-07-12 | 요도가와 휴텍 가부시키가이샤 | 카세트용 장척(長尺)리브 및 기판용 카세트 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6133968A (ja) * | 1984-07-11 | 1986-02-18 | 株式会社日立製作所 | 運搬具 |
JPH0547472Y2 (ja) * | 1987-07-24 | 1993-12-14 | ||
JPH0179840U (ja) * | 1987-11-17 | 1989-05-29 |
-
1989
- 1989-10-18 JP JP1271391A patent/JPH0821612B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH03133152A (ja) | 1991-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5890598A (en) | Substrate cassette | |
JP3977481B2 (ja) | 基板用トレイカセット | |
US20030132133A1 (en) | Wafer carrier with wafer retaining system | |
KR970023891A (ko) | 기판세정방법 및 기판세정장치 | |
US6981595B2 (en) | Carrier tape for electronic components | |
JPH0821612B2 (ja) | ガラス基板用カセット | |
KR100673580B1 (ko) | 기판 수납용 트레이 | |
US5090579A (en) | Modular shelving system | |
JP3057684B2 (ja) | ガラス基板用カセット | |
US20040145697A1 (en) | Substrate accommodating tray | |
JPH06247483A (ja) | 基板用カセット | |
US5913425A (en) | Component carrier having anti-reflective pocket | |
US20040069728A1 (en) | Cassette | |
JP2912520B2 (ja) | ガラス基板収容用カセット | |
JP2004079738A (ja) | ウェハーキャリアおよび搬送アーム | |
JP4170581B2 (ja) | ディスクケース | |
US20060070894A1 (en) | Invertible and adjustable tray | |
JP3471068B2 (ja) | 板体の支承部材およびそれを用いた板体支承用ホルダー | |
JP2938365B2 (ja) | 滑落防止機構を備えたガラス基板用カセット | |
JP2526152B2 (ja) | 基板用カセット | |
JPH0547472Y2 (ja) | ||
JPH09301484A (ja) | フラットパネルキャリヤとその組立方法 | |
TWI299030B (en) | Wafer transfer device and method thereof | |
JPH087637Y2 (ja) | 薄板用支持容器 | |
JP2001146295A (ja) | カセット用長尺リブおよび基板用カセット |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100304 Year of fee payment: 14 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100304 Year of fee payment: 14 |