JP2001146295A - カセット用長尺リブおよび基板用カセット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 先の出願にかかる長尺リブ方式をさらに発展
させ、大型の基板であってもその収容時の撓みおよび振
動を有効に防止することができるように工夫した基板用
カセットおよびそのための長尺リブを提供することを目
的とする。 【解決手段】 側板(2), (2)から張り出し設置する基板
(B) 支承用の長尺リブ(3) として、基部側樹脂体(31)
と、その基部側樹脂体(31)の先端側から張り出すように
設けられている長尺の棒状の中間部樹脂体(33)と、その
中間部樹脂体(33)の先端側に設けられている先端側樹脂
体(34)との３部分からなる長尺リブ(3) を用いる。基部
側樹脂体(31)から中間部樹脂体(33)にかけて、または、
長尺リブ(3)の基部側樹脂体(31)から中間部樹脂体(33)
を経て先端側樹脂体(34)にかけて、線状補強部材(32)が
インサートされていることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、大型の基板であっ
てもその収容時の撓みおよび振動を有効に防止すること
ができるように工夫した基板用カセットおよびそのため
の長尺リブに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ガラス基板等の基板の取り扱いに際して
は、各基板を互いに接触しないようにカセットに出入、
収容することが必要となる。

【０００３】この目的のカセットとして普及しているも
のは、箱形の枠体の１対の相対向する側面を溝付き側板
で形成し、両側板の対応する溝間に基板を出入、収容し
うるようにしたものである。溝付き側板の形状やデザイ
ンには種々のものがあるが、いずれも基本的には、カセ
ットの内部側に向けて側板背肉部から所定のピッチで平
行に多数のリブ状の棚片が張り出した形状を有してい
る。隣接するリブ状の棚片間の空隙が溝となり、そこに
基板が出入、収容される。

【０００４】ガラス基板を収容する基板用カセットの溝
付き側板のリブ状の棚片の張り出し長さは現行では通常
１０mm前後であり、大型のガラス基板を支える場合でも
リブ状の棚片の張り出し長さは１６mm程度かそれ以下で
ある。

【０００５】上記のタイプのカセットには、たとえば、
本出願人の出願にかかる特開平２−２９５１５０号公
報、特開平３−１３３１５２号公報、特開平５−１４７
６８０号公報、特開平６−２４７４８３号公報、特開平
６−２８６８１２号公報などに開示されたカセットがあ
る。

【０００６】本出願人の一人は、特開平９−３６２１９
号公報として、溝付き側板のリブ状の棚片の長さを著し
く長くしたカセット、さらに詳しくは、棚片の張り出し
長さをカセット有効巾の１／１０〜１／４にしたカセッ
トを提案している。この公報には、溝付き側板のリブ状
の棚片の長さを長くするだけでなく、カセット最奥部の
受けフレーム（ストッパ）からも長尺のリブを張り出す
ようにする態様も提案されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】一般にガラス基板とし
ては、厚みが 1.1mmとか 0.7mmのものが汎用されてお
り、また 0.5mmの厚みのものも普及してきており、さら
には 0.4mmや 0.3mm厚みのものも使用されはじめてい
る。ガラス基板の大きさは種々様々であるが、かつては
３６０mm巾とか４００mm巾というような寸法のものが大
多数を占めていたところ、最近では５００mm巾以上のも
のはもとより、８００mm前後、さらには１０００mm前後
あるいはそれ以上の巾のものも使われるようになってき
ている（なおガラス基板の奥行きは、巾と同等かそれよ
りも大きいのが通常である）。

【０００８】ところで、剛性の点ですぐれているガラス
基板にあっても、その大きさが大型になってくるにつれ
て、カセットに収容したときのガラス基板の撓みが無視
しえなくなる。「月刊ＬＣＤインテリジェンス、１９９
７．５」の６９〜７１頁の記事によれば、各種の大きさ
および厚みのガラス基板の自重撓みは次の表１の如くで
ある。

【０００９】

【表１】 ガラス基板サイズ(mm) 重量(g) 自重たわみ(mm) 550× 650× 1.1 983 3.94 650× 830× 1.1 1484 7.69 1000×1000× 1.1 2750 43.0 550× 650× 0.7 626 9.92 (9.45) 650× 830× 0.7 944 19.0 (18.8) 1000×1000× 0.7 1750 106.8 （自重たわみの欄の( ) 内は実測値）

【００１０】撓みが大きくなると、各段の棚片間のピッ
チを大きくしないとガラス基板の円滑な入出操作を行う
ことができず、カセットに収容しうるガラス基板の枚数
が少なくなる。そして、従来と同数のガラス基板を収容
しようとすると、カセットを大きく形成する必要があ
る。またカセット収容時の撓みが大きくなると、ガラス
基板の損傷のおそれも無視しえなくなる。

【００１１】先に述べた特開平９−３６２１９号公報の
長尺リブ方式のカセットは、従来のカセットに比すれば
顕著な撓み防止がなされるものの、樹脂製のリブ状の棚
片が長くなるにつれ、リブ状の棚片の先端側が下方に若
干しなった状態で基板を支承しているため、一旦振動を
生ずるとその振動が容易には減衰せず、ガラス基板に種
々のトラブルを生ずることがある。

【００１２】本発明は、このような背景下において、先
の特開平９−３６２１９号公報の長尺リブ方式をさらに
発展させ、大型の基板であってもその収容時の撓みおよ
び振動を有効に防止することができるように工夫した基
板用カセットおよびそのための長尺リブを提供すること
を目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明のカセット用長尺
リブは、フレーム(1) により骨格が形成された箱形のカ
セットの相対向する１対の側面に配置された側板(2),
(2)から、基板(B) 支承用に、カセット内部側に向けて
張り出し設置するための長尺リブ(3) であって、その長
尺リブ(3) が、基部側樹脂体(31)と、その基部側樹脂体
(31)の先端側から張り出すように設けられている長尺の
棒状の中間部樹脂体(33)と、その中間部樹脂体(33)の先
端側に設けられている先端側樹脂体(34)との３部分から
なることを特徴とするものである。

【００１４】この場合、基部側樹脂体(31)から中間部樹
脂体(33)にかけて、または、基部側樹脂体(31)から中間
部樹脂体(33)を経て先端側樹脂体(34)にかけて、線状補
強部材(32)がインサートされていることが好ましい。

【００１５】本発明の基板用カセットは、フレーム(1)
により箱形の骨格が形成され、その箱形の相対向する１
対の側面に側板(2), (2)が配置されたカセットにおい
て、前記側板(2), (2)から、基板(B) 支承用に、カセッ
ト内部側に向けて長尺リブ(3) を張り出し設置してある
こと、およびその長尺リブ(3) が、基部側樹脂体(31)
と、その基部側樹脂体(31)の先端側から張り出すように
設けられている長尺の棒状の中間部樹脂体(33)と、その
中間部樹脂体(33)の先端側に設けられている先端側樹脂
体(34)との３部分からなることを特徴とするものであ
る。

【００１６】この場合も、長尺リブ(3) の基部側樹脂体
(31)から中間部樹脂体(33)にかけて、または、長尺リブ
(3) の基部側樹脂体(31)から中間部樹脂体(33)を経て先
端側樹脂体(34)にかけて、線状補強部材(32)がインサー
トされていることが好ましい。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下本発明を詳細に説明する。

【００１８】本発明の基板用カセットにあっては、フレ
ーム(1) により箱形の骨格が形成され、その箱形の相対
向する１対の側面に側板(2), (2)が配置される。

【００１９】箱形の骨格を形成するフレーム(1) は、下
面となる底面側フレーム(11)、上面となる天井側フレー
ム(12)、背面側にストッパとして設ける受け部材(13)、
底面側フレーム(11)−天井側フレーム(12)間を支える支
柱フレーム(14)からなるのが通常である。これらのフレ
ーム(1) の材質は、樹脂、金属、金属−樹脂複合体のい
ずれであっても差し支えない。底面側フレーム(11)およ
び天井側フレーム(12)は格子状とすることが多いが、ほ
こりの付着防止のため、底面側フレーム(11)の上面側に
蓋(5) を設けたり、天井側フレーム(12)の上面側に蓋
(6) を設けたりすることもできる。なお、側板(2) を支
柱フレーム(14)替わりに用いることが可能であるので、
上記のうち支柱フレーム(14)は省略することができる。

【００２０】上記のうち受け部材(13)は、カセットに収
容した基板(B) がカセット背面から滑落するのを防止で
きる機構のものであれば任意のものとすることができる
が、一般には縦方向に設ける板状または棒状のフレーム
とすることが多い。そしてこのようなフレームとすると
きは、そのフレームに、側板(2) に設置されている長尺
リブ(3) のピッチと同じピッチのリブ(13R) を形成する
ことが望ましい。このときのリブ(13R) の張り出し長さ
は、たとえば１０mm前後の短いものから後述の長尺リブ
(3) の張り出し長さＬと同等ないしそれ以上の長いもの
とすることもできる。

【００２１】カセットの相対向する１対の側面は側板
(2), (2)で構成される。側板(2) の設置個数は、箱形の
一側面（つまり片面）当り最少で２個必要であるが、通
常は３〜８個程度、殊に４〜６個程度とされる。

【００２２】側板(2) は、特に好ましくは、側板用樹脂
体(21)と金属製フレーム(22)との複合体で構成される。
側板用樹脂体(21)の樹脂としては、たとえば、後述の長
尺リブ(3) の棒状の長尺樹脂体(33)と同様の樹脂を用い
ることができる。金属製フレーム(22)の金属としては、
アルミニウム、ステンレススチールなどが用いられる。

【００２３】そしてこの側板(2), (2)から、基板(B) 支
承用に、カセット内部側に向けて長尺リブ(3) を張り出
し設置する。基板(B) は、その長尺リブ(3) 上に載置さ
れることになる。

【００２４】さて、本発明においては、この長尺リブ
(3) として、次の第１または第２のタイプのものを用い
る。

【００２５】第１のタイプの長尺リブ(3) は、 ・基部側樹脂体(31)と、 ・その基部側樹脂体(31)の先端側から張り出すように設
けられている長尺の棒状の中間部樹脂体(33)と、 ・その中間部樹脂体(33)の先端側に設けられている先端
側樹脂体(34)との３部分からなるものである。

【００２６】第２のタイプの長尺リブ(3) は、上記第１
のタイプの長尺リブ(3) において、基部側樹脂体(31)か
ら中間部樹脂体(33)にかけて、または、基部側樹脂体(3
1)から中間部樹脂体(33)を経て先端側樹脂体(34)にかけ
て、線状補強部材(32)がインサートされているものであ
る。

【００２７】線状補強部材(32)の材質は、ステンレスス
チール、アルミニウムなどとすることができる。

【００２８】第１のタイプの長尺リブ(3) と第２のタイ
プの長尺リブ(3) とを対比すると、線状補強部材(32)を
有する第２のタイプの長尺リブ(3) の方が好ましい。第
１のタイプの長尺リブ(3) は、第２のタイプの長尺リブ
(3) に比して強度が小さいが、基板(B) の大きさや重量
によっては使用可能である。

【００２９】第１および第２のタイプの長尺リブ(3) の
いずれにおいても、基部側樹脂体(31)は、横片(31a) と
縦片(31b) とからなる１ピースで構成されていることが
特に好ましい。基部側樹脂体(31)の横片(31a) および縦
片(31b) は、Ｌ字形、Ｔを横向けにした形、Γ字形など
の形状にすることができるが、Ｌ字形の形状を有するよ
うにすることが多い。側板(2) に長尺リブ(3) を取り付
けた状態においては、縦の側板(2) に対して、基部側樹
脂体(31)の形状に応じ、Ｌ、Ｌ、・・が縦方向に配設さ
れた形、横向けのＴ、Ｔ、・・が縦方向に配設された
形、Γ、Γ、・・が縦方向に配設された形となる。ま
た、基部側樹脂体(31)を横片(31a) と縦片(31b) とから
なる１ピースで構成したときには、長尺リブ(3) は、基
部側樹脂体(31)の横片(31a) の先端側に中間部樹脂体(3
3)が設けられ、さらにその中間部樹脂体(33)の先端側に
先端側樹脂体(34)が設けられることになる。

【００３０】以下においては、基部側樹脂体(31)が横片
(31a) および縦片(31b) にて構成されている場合につい
て主として説明することにする。なお、横片(31a) は、
中間部樹脂体(33)張り出しのための基部の役割や、線状
補強部材(32)の支持の役割を主として果たす。縦片(31
b) は、長尺リブ(3) の側板(2) への取り付け部として
の役割を主として果たす。縦片(31b) の高さは、カセッ
トに収容した基板(B) が撓んだ状態で左右に滑動して
も、基板(B) のエッジが縦片(31b) に接触するに足る高
さに設計される。

【００３１】中間部樹脂体(33)は、基部側樹脂体(31)の
横片(31a) の少なくとも下半側を包み込むように形成さ
れるか、または、基部側樹脂体(31)の横片(31a) の少な
くとも下半側と線状補強部材(32)の少なくとも一部とを
包み込むように形成される。

【００３２】長尺リブ(3) 上に基板(B) を載置したとき
の接触面積を小にするため、基部側樹脂体(31)の横片(3
1a) の上面（またはその横片(31a) の上面に付設の部材
(31a')の上面）と、先端側樹脂体(34)の上面とは、棒状
の長尺樹脂体(33)の上面よりもやや上方の位置にあるよ
うにすることが望ましい。

【００３３】基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側、
または基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側と線状補
強部材(32)の背後側とは、側板(2) を構成する金属製フ
レーム(22)の溝内に挿し込まれていると共に、側板(2)
を構成する側板用樹脂体(21)で包み込まれることによ
り、その側板(2) に固定されているようにすることが望
ましい。

【００３４】上記の長尺リブ(3) が側板(2), (2)からカ
セット内部側に向けて張り出し設置されるようにするに
は、典型的には、次のような方法が採用される。

【００３５】(i) その一つは、まず第１または第２のタ
イプの完成した長尺リブ(3) を作製しておいてから、上
記の基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側（および線
状補強部材(32)の背後側）を、側板(2) を構成する金属
製フレーム(22)の溝内に挿し込むと共に、その金属製フ
レーム(22)の周りに樹脂を射出成形して側板用樹脂体(2
1)を形成する方法である。

【００３６】(ii) 他の一つは、第１または第２のタイ
プの長尺リブ(3) のうち、基部側樹脂体(31)（または線
状補強部材(32)付きの基部側樹脂体(31)）を作製した段
階で、上記の基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側
（および線状補強部材(32)の背後側）を、側板(2) を構
成する金属製フレーム(22)の溝内に挿し込むと共に、樹
脂を射出成形して、金属製フレーム(22)の周りに樹脂を
射出成形して側板用樹脂体(21)を形成すると同時に、長
尺の棒状の中間部樹脂体(33)を形成する方法である。こ
の後、樹脂を射出成形して、先端側樹脂体(34)が形成さ
れる。

【００３７】(iii) さらに他の一つは、第２のタイプの
長尺リブ(3) において、線状補強部材(32)として先端側
樹脂体(34)形成部にまで届く長いものを使用し、予めそ
の線状補強部材(32)の基端側には基部側樹脂体(31)、先
端側には先端側樹脂体(34)を射出成形により成形したも
のを作製しておいて、その基部側樹脂体(31)の縦片(31
b) の背後側および線状補強部材(32)の背後側を、側板
(2) を構成する金属製フレーム(22)の溝内に挿し込むと
共に、樹脂を射出成形して、その金属製フレーム(22)の
周りに樹脂を射出成形して側板用樹脂体(21)を形成する
と同時に、長尺の棒状の中間部樹脂体(33)を形成する方
法である。

【００３８】これら(i) 、(ii)および(iii) の方法を対
比すると、生産性の点および棒状の長尺樹脂体(33)−側
板用樹脂体(21)間のなじみの点で、(ii)および(iii) の
方法の方が格段にすぐれている。(i) の方法については
後述の実施例３で、(ii)の方法については後述の実施例
１で、(iii) の方法については後述の実施例２で、それ
ぞれ具体的に述べてある。

【００３９】なお、長尺リブ(3) の基部側樹脂体(31)の
縦片(31b) に１ないし少数個の貫通孔(h) を設けておく
と、側板用樹脂体(21)の樹脂の射出に際してこの貫通孔
(h)にまで樹脂が入り込むので、長尺リブ(3) またはそ
の一部である基部側樹脂体(31)を作製した段階の部材の
側板(2) への固定がより確実になる。

【００４０】上記の長尺リブ(3) の長さについては、基
板(B) を収容するカセットの有効巾をＷ(mm)、長尺リブ
(3) の側板(2) からの張り出し長さをＬ(mm)とすると
き、Ｗが４００以上（好ましくは６００以上）で、かつ
Ｌ／Ｗが１／１０〜１／４（好ましくは１／９〜１／
４、さらに好ましくは１／８〜１／４、殊に１／７〜１
／4.5 ）であるように設計することが特に望ましい。Ｗ
およびＬ／Ｗがこの範囲にあるときは、基板(B) の撓み
が有効に抑制される上、中間には基板(B) 入出用のロボ
ットのアームの巾に見合ったスペースをとることができ
る。Ｗが５６０mmの場合を例にとると、Ｌは５６〜１４
０mmとなる。Ｗが９００mmの場合を例にとると、Ｌは９
０〜２２５mmとなる。ちなみに、現行のカセットにおけ
る棚片の張り出し長さは通常１０〜１５mmかその前後で
あり、長い場合でも２０mm程度である。

【００４１】上記の基部側樹脂体(31)において、横片(3
1a) は実質的に水平方向に設けられる。横片(31a) の上
面（カセット内部側の面）と縦片(31b) の前面とのなす
角度θは、９０°でもよいが、９０°を越えて９７°程
度まで、殊に９１°〜９５°とすることが好ましい。後
述の実施例１では９３°としてある。また縦片(31b)の
前面は、その両脇側よりも中央線の方が前に突き出るテ
ーパー面ないし凸面とすることが好ましい。これらの工
夫を講じると、横片(31a) に対して縦片(31b)がわずか
に開いた形となるため、ロボットによる基板(B) の出入
操作が容易かつ円滑となり、また縦片(31b) と基板(B)
のエッジとの接触が少なくなって塵埃の発生防止に好都
合となる。横片(31a) の縦断面形状は、縦に長いＯ形の
長円形とすることが望ましい。縦片(31b) の横断面形状
は、横に長い長円形または長方形（ただし前面側は曲面
に）とすることが望ましい。

【００４２】基部側樹脂体(31)の材質は、熱可塑性ポリ
エステルエラストマー、フッ素系ゴムをはじめとする各
種のエラストマー系樹脂のような滑りにくい樹脂とする
ことが多い。また、ポリエーテルエーテルケトン、ポリ
エーテルイミド、ポリイミド、ポリエーテルサルフォ
ン、ポリサルフォン、ポリカーボネート、ポリフェニレ
ンオキシド、ポリブチレンテレフタレートをはじめとす
る粘りのある発塵防止性または耐摩耗性の良い樹脂（ノ
ンフィラーのナチュラル樹脂）とすることが多い。ちな
みに、ＡＳＴＭ Ｄ１０４４（摩耗輪：ＣＳ−１７、荷
重：１kg、サイクル：１０００回転、温度：常温）に従
って測定したときのテーバー摩耗値は、樹脂のグレード
によっても異なるが、ナチュラル樹脂を用いた場合で、
たとえば、ポリエーテルエーテルケトンが７mg、ポリエ
ーテルイミドが１０mg、ポリイミドが１３〜１６mg、ポ
リエーテルサルフォンが１１mg、ポリサルフォンが１７
mg、ポリカーボネートが１４mg、ポリフェニレンオキシ
ドが１７mg、ポリブチレンテレフタレートが２１mgであ
る。ただし他の樹脂も使用可能である。

【００４３】長尺の棒状の中間部樹脂体(33)の材質は、
ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエーテルエー
テルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリア
ミドイミド、ポリフェニレンサルファイド、ポリアリレ
ート、ポリスルホン、ポリアリルスルホン、ポリエーテ
ルスルホン、ポリフェニレンエーテルスルホン、変性ポ
リフェニレンオキサイド、ポリエーテルアミド、パーフ
ルオロアルコキシ置換ポリテトラフルオロエチレン、ポ
リブチレンテレフタレート、アクリロニトリル系ポリマ
ー、ポリアミド、フッ素系樹脂などの強度または耐熱性
のある樹脂とすることが多い。これらの樹脂に、金属繊
維、金属粒子、カーボン繊維、カーボンブラック（ケッ
チェンブラック等）、グラファイト、イオン性高分子な
どの導電性物質を配合して、体積抵抗値がたとえば１０
⁴ 〜１０¹¹Ω、殊に１０⁵ 〜１０ ⁹ Ωになるようにした
ものも好適に用いることができる。エチレン−ビニルア
ルコール共重合体のように、樹脂自体の体積抵抗値が比
較的小さい樹脂を用いることもできる。中間部樹脂体(3
3)は、その基端側よりも先端側の方が細くなるようにす
ることができる。

【００４４】先端側樹脂体(34)の材質は、上述の基部側
樹脂体(31)と同様の樹脂、すなわち、エラストマー系樹
脂のような滑りにくい樹脂、あるいは、ポリエーテルエ
ーテルケトン、ポリエーテルイミド、ポリイミド、ポリ
エーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリカーボネー
ト、ポリフェニレンオキシド、ポリブチレンテレフタレ
ートをはじめとする粘りのある発塵防止性または耐摩耗
性の良い樹脂（ノンフィラーのナチュラル樹脂）とする
ことが多い。ただし他の樹脂も使用可能である。

【００４５】基部側樹脂体(31)の横片(31a) の上面に部
材(31a')を付設するときは、その部材(31a')の材質は、
基部側樹脂体(31)や先端側樹脂体(34)の材質と同様のも
のを用いることが好ましい。

【００４６】次に、長尺リブ(3) を有する側板(2) をフ
レーム(1) と共に用いて、カセットが組み立てられる。
カセットの出入口に、基板(B) の飛び出し防止用ストッ
パ(4) を設置することもできる。そして、このカセット
の側板(2) から内側に張り出した長尺リブ(3) 上に、基
板(B) が載置される。

【００４７】上記構造のカセットに収容する基板(B) と
しては、ガラス基板、セラミックス基板、各種のコンポ
ジット基板、プラスチックス基板をはじめとする各種の
角形の基板があげられ、特に大型のガラス基板が重要で
ある。

【００４８】

【実施例】次に実施例をあげて本発明をさらに説明す
る。

【００４９】実施例１ 〈第１段階〉図１は、長尺リブ(3) を備えた側板(2) を
得るときの第１段階の構造体を示した説明図である。
（イ）は正面図、（ロ）は平面図、（ハ）は側面図であ
る。この図１は、線状補強部材(32)付き基部側樹脂体(3
1)を形成した段階を示してある。

【００５０】径３mmのＳＵＳ棒でできた長尺の線状補強
部材(32)をインサートとして用いて、基部側樹脂体(31)
用の樹脂（たとえばポリエステル系熱可塑性エラストマ
ー（デュポン社製「ハイトレル」））を射出成形するこ
とにより、図１（イ）に示したように、横片(31a) およ
び縦片(31b) からなるＬ字形（図では左右が反転したＬ
字形の方を示してある、以下同様）の基部側樹脂体(31)
を得た。縦片(31b) には、３つの貫通孔(h) が形成され
るようにした。横片(31a) の上面と縦片(31b)の前面
（カセット内部側となる面）とのなす角度θは９３°に
設定した。縦片(31b) の前面は、（ロ）のように、その
両脇側よりも中央線の方が前に突き出る滑らかな凸面と
なるようにした。横片(31a) の断面形状は、（ハ）のよ
うに、縦長の長円に近い形状とした。

【００５１】〈第２段階〉図２は、長尺リブ(3) を備え
た側板(2) を得るときの第２段階の構造体を示した説明
図である。（イ）は正面図、（ロ）は側面図、（ハ）は
平面図である。この図２は、第１段階における線状補強
部材(32)付き基部側樹脂体(31)を側板(2)に固定してか
ら、長尺の棒状の中間部樹脂体(33)を形成した段階を示
してある。

【００５２】図３は図２の構造体の各部の詳細図であ
り、図３（イ）は図２（イ）のＡ部の拡大図、図３
（ロ）は図２（イ）のＢ−Ｂ断面図（拡大図）、図３
（ハ）は図２（ハ）のＣ部の拡大図、図３（ニ）は図２
（ハ）のＤ部の拡大図である。なお図３（ハ）の(b)
は、側板(2) をカセットのフレーム(1) に締結するため
に、側板(2) の金属製フレーム(22)に設けたビス締結孔
である。

【００５３】第１段の成形工程で得た線状補強部材(32)
付き基部側樹脂体(31)を多数準備し、その後端側（Ｌ字
形の基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側および線状
補強部材(32)の背後側）を、側板(2) の金属製（アルミ
ニウム製）フレーム(22)の対応溝部（その溝部の奥には
線状補強部材(32)の背後側が挿入される貫通孔を設けて
ある）に挿し込んでから、全体を金型にインサートし
て、側板用樹脂体(21)形成用の樹脂と中間部樹脂体(33)
形成用の樹脂とを兼ねた樹脂（たとえば炭素繊維配合ポ
リカーボネート）を射出成形した。

【００５４】これにより、金属製フレーム(22)が該樹脂
で被覆され、上記基部側樹脂体(31)の横片(31a) の下半
側も被覆され、さらには上記線状補強部材(32)の前端側
を少し残した残余の部分も被覆されて、側板用樹脂体(2
1)と長尺の棒状の中間部樹脂体(33)が形成された。この
とき、溶融樹脂はＬ字形の基部側樹脂体(31)の縦片(31
b) に設けてある貫通孔(h) を通して流れ、その貫通孔
(h) 内も満たした。このようにして、長尺リブ(3) 用部
材の側板(2) へのしっかりした固定がなされると同時
に、中間部樹脂体(33)が形成された（図２，３参照）。
側板(2) への長尺リブ(3) 用部材の設置個数は２０個、
設置した長尺リブ(3) 間のピッチは３０mmに設定した。

【００５５】〈第３段階〉図４は、長尺リブ(3) を備え
た側板(2) を得るときの第３段階の構造体を示した説明
図である。（イ）は正面図、（ロ）は側面図、（ハ）は
平面図である。（ハ）には部分拡大図も付記してある。
この図４は、第２段階における構造体の中間部樹脂体(3
3)の前端に先端側樹脂体(34)を形成した段階を示してあ
る。

【００５６】第２段階で得た構造体を金型にインサート
し、先端側樹脂体(34)用の樹脂（たとえばポリエステル
系熱可塑性エラストマー）を用いて射出成形することに
より、上記中間部樹脂体(33)よりも先端側でかつ線状補
強部材(32)の前端側の個所に先端側樹脂体(34)を形成
し、図４に示した長尺リブ(3) 付きの側板(2) を得た。

【００５７】このようにして得た長尺リブ(3) にあって
は、図４の（イ）に付記したように、基部側樹脂体(31)
の横片(31a) の上面Ｕ₁ と先端側樹脂体(34)の上面Ｕ₄
とが、長尺の棒状の中間部樹脂体(33)の上面Ｕ₃ よりも
やや上方の位置にあって、それら横片(31a) の上面Ｕ₁
と先端側樹脂成形体(34)の上面Ｕ₄ とが基板(B) と接触
するようにされている。なお、この長尺リブ(3) の側板
(2) からの張り出し長さ（基部側樹脂体(31)の縦片(31
b) の前面側が横片(31a) に達する部位から先端側樹脂
成形体(34)の先端までの長さ) Ｌは、この実施例では 1
06.5mmとなるように設定した。

【００５８】〈基板用カセット〉図５は本発明の基板用
カセットの一例を示した正面図、図６は図５のＡ−Ｂ−
Ｃ−Ｄ断面図、図７は図５の側面図である。図８は飛び
出し防止用ストッパ(4)の説明図である。

【００５９】(1) はフレームであり、１枚の底面側フレ
ーム(11)、１枚の天井側フレーム(12)、２本のフレーム
状の受け部材(13)および８本の支柱フレーム(14)からな
る。この実施例では、底面側フレーム(11)と天井側フレ
ーム(12)とは炭素繊維入りのポリカーボネートの格子状
の射出成形品からなり、受け部材(13)はＳＵＳとポリエ
ーテルエーテルケトン（ナチュラル品）との複合体から
なり、支柱フレーム(14)はアルミニウムからなる。受け
部材(13)には、図５のように、側板(2) に設けた長尺リ
ブ(3) のピッチと同じピッチで短いリブ(13R) を形成さ
せてある。

【００６０】底面側フレーム(11)の上面には、図５に付
記のように、ＳＵＳ薄板でできた蓋(5) を設けてある。
天井側フレーム(12)の上面には、図５のように、ＳＵＳ
薄板出できた蓋(6) を設けてある。

【００６１】図６で見えており、図８に詳細を示してあ
る(4) は、基板(B) の飛び出し防止用ストッパであり、
必要に応じて設けられる。この飛び出し防止用ストッパ
(4)は、カセットの出入口側の左右の支柱フレーム(14)
に開閉可能に計２個（それぞれ上下に分割してあるので
実際は４個）設けてある。飛び出し防止用ストッパ(4)
は、この実施例ではポリエーテルイミド（ナチュラル
品）の射出成形品からなる。なお図５においては、飛び
出し防止用ストッパ(4) と長尺リブ(3) とが重なって見
えている。

【００６２】なお、先端側樹脂体(34)としてエラストマ
ー樹脂を用いた場合には、このカセットに後述の基板
(B) を収容したとき、飛び出し防止用ストッパ(4) を設
けなくても、カセットを出入口が低くなるように大きく
（たとえば４５°）傾けても、基板(B) の滑落は生じな
かった。

【００６３】(2) は先に述べた側板であり、底面側フレ
ーム(11)−天井側フレーム(12)間に１面につき各４枚ビ
スどめしてある。左右の側板(2) の長尺リブ(3) 上に
は、大型のガラス基板に代表される基板(B) が収容され
るが、この基板(B) は、カセット組み立て後に、先の図
４の（イ）の下から２段目に１枚のみを表示したように
収容される。

【００６４】上記のカセットの有効巾Ｗを６９４mm、基
板(B) の厚みを 0.7mm、巾を６８０mm（奥行きは８８０
mm）としたときは、長尺リブ(3) の側板(2) からの張り
出し長さＬは先にも述べたように 106.5mmであるから、
Ｌ／Ｗは１／6.5 である。

【００６５】図９は、図５の基板用カセットに、基板
(B) の一例としての大型のガラス基板を収容したときの
状態を示した正面図である。カセットに収容された基板
(B) は、若干しなることになる。

【００６６】このカセットに収容された基板(B) は、各
段の長尺リブ(3) により支承されている（受け部材(13)
のリブ(13R) で基板(B) の最奥の部分も支持されてい
る）。またカセットの中央領域には、図９の下から５番
目と６番目の基板(B) 間に２点鎖線で示したように、基
板(B) の出入のためのロボットのハンド（巾は４７０m
m）の挿入に必要なスペースが確保されている。なお、
図９の下から３番目の基板(B) の直下に２点鎖線で示し
たスペースは、ロボットのハンドが基板(B) を降ろすと
きのリリース空間である。

【００６７】そしてこのカセットの長尺リブ(3) 上に巾
６８０mm、奥行き８８０mm、厚み 0.7mmの基板(B) を載
置したときは、基板(B) の最大撓みは５mm程度か精々６
mmまでであった。このとき、ロボットによる基板(B) の
収容時やカセット搬送時における振動は小さくかつすぐ
に減衰した。

【００６８】一方、これと同じ寸法のカセットおよび基
板(B) を用い、従来のようにリブの張り出し長さが１５
mmの溝付き側板を用いたときは、基板(B) の最大撓みは
２０mmを越えていた。また、従来の技術の項で述べた特
開平９−３６２１９号公報の実施例に従い、樹脂製のリ
ブ状の棚片の張り出し長さが１００mmの溝付き側板を用
いたときは、巾６８０mmの基板(B) を載置したときの基
板(B) の最大撓みは静かな状態においては７〜８mm程度
であったが、ロボットによる基板(B) の収容時やカセッ
ト搬送時における振動の減衰にかなりの時間を要した。

【００６９】実施例２ 図１０は、長尺リブ(3) を備えた側板(2) の製造工程の
他の一例を示した説明図である。

【００７０】この実施例においては、次のような変更を
加えたほかは実施例１を繰り返し、長尺リブ(3) を備え
た側板(2) を製造した。 １．樹脂としてたとえばポリエーテルエーテルケトンを
用い、線状補強部材(32)をインサートとして、その基端
側に基部側樹脂体(31)を形成すると同時に、その先端側
に先端側樹脂成形体(34)を形成し、多数の構造体を作製
した。（図１０（イ）参照） ２．ついで、その構造体の基部側樹脂体(31)の後端側お
よび線状補強部材(32)の後端側を、側板(2) の金属製フ
レーム(22)の対応溝部に挿し込んでから、側板用樹脂体
(21)形成用の樹脂と中間部樹脂体(33)形成用の樹脂とを
兼ねた樹脂（たとえば炭素繊維配合ポリカーボネート）
を射出成形した。これにより、金属製フレーム(22)が該
樹脂で被覆され、上記基部側樹脂体(31)の横片(31a) の
下半側も被覆され、さらには上記線状補強部材(32)の部
分を被覆する長尺の棒状の中間部樹脂体(33)も形成さ
れ、目的とする長尺リブ(3) 付きの側板(2) が製造され
た。（図１０（ロ）参照）

【００７１】実施例３ 図１１は、長尺リブ(3) の成形工程を一例を示した説明
図である。図１２は、図１１の長尺リブ(3) を側板(2)
に固定した状態を示した正面図である。

【００７２】この実施例においては、第１段階の成形に
おいて線状補強部材(32)付きの基部側樹脂体(31)を形成
し、ついで第２段階の成形でこの線状補強部材(32)付き
基部側樹脂体(31)を金型にインサートして射出成形する
ことにより長尺の棒状の中間部樹脂体(33)を形成し、最
後に第３段階の成形においてその中間部樹脂体(33)の前
端に先端側樹脂体(34)を形成することにより、長尺リブ
(3) を単体として製造した。

【００７３】次に、このようにして得た長尺リブ(3) の
後端側を、側板(2) の金属製フレーム(22)の対応溝部に
挿し込んでから、側板用樹脂体(21)形成用の樹脂を射出
成形した。これにより、金属製フレーム(22)が該樹脂で
被覆され、上記基部側樹脂体(31)の横片(31a) の下半側
も被覆され、かつ上記線状補強部材(32)の後端側も被覆
された。このようにして、長尺リブ(3) の側板(2) への
固定が図られた。

【００７４】実施例４ 図１３は長尺リブ(3) の他の一例を示した正面図であ
る。

【００７５】この実施例３の長尺リブ(3) にあっては、
線状補強部材(32)を省略しかつＬ字形の基部側樹脂体(3
1)の先端側の上面にエラストマー樹脂製の部材(31a')を
設置してある。

【００７６】

【発明の効果】本発明の基板用カセットにあっては、長
尺リブ(3) として、基部側樹脂体(31)（線状補強部材(3
2)がインサートされていることが特に好ましい）、長尺
の棒状の中間部樹脂体(33)と、先端側樹脂体(34)との３
部分からなるものを用い、かつその長尺リブ(3) の基部
側樹脂体(31)の背後側（および線状補強部材(32)の背後
側）が、側板(2) に埋まるようにその側板(2) に固定さ
れている。

【００７７】このような長尺リブ(3) を用いているた
め、本発明の基板用カセットに基板(B) を収容した場
合、長尺リブ(3) 上に載置される基板(B) が大型のガラ
ス基板などであっても、その基板(B) の撓みが小さく、
従って長尺リブ(3) のピッチを最小限に設定することが
でき、しかもロボットによる基板(B) の収容時やカセッ
ト搬送時における振動が小さく、かつその振動がすみや
かに減衰する。

【図面の簡単な説明】

【図１】長尺リブ(3) を備えた側板(2) を得るときの第
１段階の構造体を示した説明図である。

【図２】長尺リブ(3) を備えた側板(2) を得るときの第
２段階の構造体を示した説明図である。

【図３】図２の構造体の各部の詳細図である。

【図４】長尺リブ(3) を備えた側板(2) を得るときの第
３段階の構造体を示した説明図である。

【図５】本発明の基板用カセットの一例を示した正面図
である。

【図６】図５のＡ−Ｂ−Ｃ−Ｄ断面図である。

【図７】図５の側面図である。

【図８】飛び出し防止用ストッパ(4) の説明図である。

【図９】図５の基板用カセットに基板(B) を収容したと
きの状態を示した正面図である。

【図１０】長尺リブ(3) を備えた側板(2) の製造工程の
他の一例を示した説明図である。

【図１１】長尺リブ(3) の成形工程を一例を示した説明
図である。

【図１２】図１１の長尺リブ(3) を側板(2) に固定した
状態を示した正面図である。

【図１３】長尺リブ(3) の他の一例を示した正面図であ
る。

【符号の説明】

(1) …フレーム、(11)…底面側フレーム、(12)…天井側
フレーム、(13)…受け部材、(13R) …リブ、(14)…支柱
フレーム、(2) …側板、(21)…側板用樹脂体、(22)…金
属製フレーム、(b) …ビス締結孔、(3) …長尺リブ、(3
1)…基部側樹脂体、(31a) …横片、(31a')…部材、(31
b) …縦片、(h) …貫通孔、(32)…線状補強部材、(33)
…中間部樹脂体、(34)…先端側樹脂体、(4) …飛び出し
防止用ストッパ、(5), (6)…蓋、(B) …基板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桶谷 大亥 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 辻 雅之 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内 (72)発明者 更岡 功夫 大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ ャープ株式会社内

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フレーム(1) により骨格が形成された箱形
   のカセットの相対向する１対の側面に配置された側板
   (2), (2)から、基板(B) 支承用に、カセット内部側に向
   けて張り出し設置するための長尺リブ(3) であって、そ
   の長尺リブ(3) が、 基部側樹脂体(31)と、 その基部側樹脂体(31)の先端側から張り出すように設け
   られている長尺の棒状の中間部樹脂体(33)と、 その中間部樹脂体(33)の先端側に設けられている先端側
   樹脂体(34)との３部分からなることを特徴とするカセッ
   ト用長尺リブ。
2. 【請求項２】基部側樹脂体(31)から中間部樹脂体(33)に
   かけて、または、基部側樹脂体(31)から中間部樹脂体(3
   3)を経て先端側樹脂体(34)にかけて、線状補強部材(32)
   がインサートされている請求項１記載のカセット用長尺
   リブ。
3. 【請求項３】基部側樹脂体(31)が横片(31a) と縦片(31
   b) とからなる１ピースで構成されており、その横片(31
   a) の先端側に中間部樹脂体(33)が設けられ、さらにそ
   の中間部樹脂体(33)の先端側に先端側樹脂体(34)が設け
   られている請求項１または２記載のカセット用長尺リ
   ブ。
4. 【請求項４】中間部樹脂体(33)が、基部側樹脂体(31)の
   横片(31a) の少なくとも下半側を包み込むように形成さ
   れているか、または、基部側樹脂体(31)の横片(31a) の
   少なくとも下半側と線状補強部材(32)の少なくとも一部
   とを包み込むように形成されている請求項３記載のカセ
   ット用長尺リブ。
5. 【請求項５】基部側樹脂体(31)の横片(31a) の上面また
   はその横片(31a) の上面に付設の部材(31a')の上面と、
   先端側樹脂体(34)の上面とが、棒状の長尺樹脂体(33)の
   上面よりもやや上方の位置にあることを特徴とする請求
   項３記載のカセット用長尺リブ。
6. 【請求項６】フレーム(1) により箱形の骨格が形成さ
   れ、その箱形の相対向する１対の側面に側板(2), (2)が
   配置されたカセットにおいて、 前記側板(2), (2)から、基板(B) 支承用に、カセット内
   部側に向けて長尺リブ(3) を張り出し設置してあるこ
   と、およびその長尺リブ(3) が、 基部側樹脂体(31)と、 その基部側樹脂体(31)の先端側から張り出すように設け
   られている長尺の棒状の中間部樹脂体(33)と、 その中間部樹脂体(33)の先端側に設けられている先端側
   樹脂体(34)との３部分からなることを特徴とする基板用
   カセット。
7. 【請求項７】長尺リブ(3) の基部側樹脂体(31)から中間
   部樹脂体(33)にかけて、または、長尺リブ(3) の基部側
   樹脂体(31)から中間部樹脂体(33)を経て先端側樹脂体(3
   4)にかけて、線状補強部材(32)がインサートされている
   請求項６記載の基板用カセット。
8. 【請求項８】基部側樹脂体(31)が横片(31a) と縦片(31
   b) とからなる１ピースで構成されており、その横片(31
   a) の先端側に中間部樹脂体(33)が設けられ、さらにそ
   の中間部樹脂体(33)の先端側に先端側樹脂体(34)が設け
   られている請求項６または７記載の基板用カセット。
9. 【請求項９】側板(2) が、側板用樹脂体(21)と金属製フ
   レーム(22)との複合体からなることを特徴とする請求項
   ６または７記載の基板用カセット。
10. 【請求項１０】基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後
    側、または基部側樹脂体(31)の縦片(31b) の背後側と線
    状補強部材(32)の背後側とは、側板(2) を構成する金属
    製フレーム(22)の溝内に挿し込まれていると共に、側板
    (2) を構成する側板用樹脂体(21)で包み込まれることに
    より、その側板(2) に固定されていることを特徴とする
    請求項９記載の基板用カセット。
11. 【請求項１１】基板(B) を収容するカセットの有効巾を
    Ｗ(mm)、長尺リブ(3) の側板(2) からの張り出し長さを
    Ｌ(mm)とするとき、Ｗが４００以上でかつＬ／Ｗが１／
    １０〜１／４であることを特徴とする請求項６または７
    記載の基板用カセット。