JP5328627B2 - 基板収納容器 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウェーハ、ガラスウェーハ、マスクガラス等の精密基板を収納し、輸送、搬送、保管に使用される基板収納容器に関するものである。

基板収納容器は、開口を備え1又は複数の基板を水平状態で整列させて収納する容器本体と、開口をシール可能に閉鎖する蓋体とを備え、半導体ウェーハや、マスクガラス等の基板の保管や工程内搬送あるいは外部への輸送に用いられる。従来の基板収納容器の容器本体には、左右の外側壁に、一対のマニュアルハンドルが取り付けられて使用される。

ハンドルは、板状の基部とこの基部の前後方向から基部に垂直に突出する支柱部と、前後の支柱部に架設されたグリップ部と、戻り止めとなるフック部とを有し、基部を、容器本体側面のレール溝内をスライドさせて、基部の一端に設けられるフック部を、容器本体から突出する係止凹部に係止し、固定して使用していた(特許文献１参照)。

特開２０００‐３０６９８８号公報

しかしながら、上記従来の基板収納容器のハンドルは、基板をフル充填したときに７〜８Ｋｇの重量となる基板収納容器を支えるために、ポリカーボネートなどの高剛性の材料から形成され、ハンドルに設けられる係止のためのフック部もハンドルと一体に形成されていたので、フック部の弾力性は殆ど無く、ハンドル取り付け時に、ハンドルのフック部を容器本体に設けられる係合凹部に大きな力を加えて無理やり係合させて使用していた。そのため一度係合させると、ハンドルを外すのが困難であり、フック部を係止凹部と逆方向に反らせて、嵌合を解除させて、取り外す必要があった。こうした作業が何回か行なわれると、取り外したハンドルは、フック部が変形してしまい、十分な係止強度を保持できずに、外れやすくなってしまう危険があった。

そこで、本発明は上記問題点に鑑みなされたものであって、取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の基板収納容器は、基板を収納する容器本体と、該容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体の左右の側面に設けられ、板状の基部、及び該基部上に形成されたグリップ部を含む一対のハンドルとを有する基板収納容器であって、前記左右の各側面に設けられ、所定の挿入方向に前記基部を摺動可能に案内するレール部と、前記基部の挿入方向の面とほぼ垂直な方向に伸びるように形成され、前記基部の先端部の挿入位置を規制するストッパーリブと、該ストッパーリブとほぼ平行に形成される係合リブと、前記基部の挿入方向の先端部に形成され、前記係合リブに当接する脚部、及び該脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成され貫通穴を持つ取付部と、前記ハンドルの基部を前記レール部と係合させて摺動させた後、前記貫通穴が前記係合リブを超えた後に、前記貫通穴部に挿入される係止部材と、を備えている。

好ましくは、上記発明において、前記係止部材は、先端が細くなるように形成された頭部と、該頭部から分岐され一方が開口する一対の脚部と、前記一対の脚部から外側に折れ曲がるように形成され前記頭部の他端と向き合う屈曲部とを含み、前記一対の脚部と前記屈曲部は、前記貫通穴と嵌合するよう形成されている。

好ましくは、前記係止部材は、頭部と、該頭部から分岐される一対の脚部を含み、該頭部と前記一対の脚部で形成される中空部は前記頭部側から前記脚部にかけて拡開されている。

好ましくは、前記係止部材は、螺刻部材であり、前記貫通穴には、螺刻溝が形成され、前記螺刻溝に前記螺刻部材が嵌合されている。

好ましくは、上記発明において、前記ハンドルのグリップ部は、幅方向に延び、長手方向に所定の間隔で配列され形成されたリブからなる肉盗み部を含むことを特徴とする。

好ましくは、上記発明において、前記係止部材は、前記貫通穴へ挿入されることにより、前記係止部材と前記取付部に形成された脚部で前記係合リブを挟持することを特徴とする。

本発明によれば、取り付けおよび取り外しが容易で、しかも確実に本体に固定できるハンドルを有する基板収納容器を提供することができる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。 ハンドルを取り付けた状態の基板収納容器の側面図である。 図２のＡ−Ａ外側断面を示すレール溝の説明図である。 ハンドルの詳細とクリップ(係止)部材の関係を示す斜視図である。 ハンドルにクリップ部材を取り付けた状態を表す斜視図である。 ハンドルにクリップ部材を取り付けた状態を表す側面図である。 図２のＢ−Ｂ断面図である。 ハンドルのクリップ部材を表す斜視図である。 ハンドルのクリップ部材の変形例を表す斜視図である。 本発明の別の実施形態に係るハンドルの係止構造を表す側面図である。 図１０に示すハンドルの係止構造の断面を表す斜視図である。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための形態（以下、実施形態）について詳細に説明する。なお、実施形態の説明の全体を通して同じ要素には同じ番号を付している。

図１は本発明の実施形態に係る基板収納容器１００を示す斜視図である。基板収納容器１００は、図１に示すように、内部に直径３００ｍｍの半導体ウェーハを収納し、手前側の正面に開口を有するフロントオープン型の容器本体1と、開口をシール可能に閉鎖する蓋体２と、容器本体1の左右の側壁(側面)に設けられるハンドル３とから形成される。容器本体1の天面には、搬送用のロボティックフランジ４が形成され、容器本体1の底面部には装置とのセンシングや固定を行なうボトムプレート５が設けられている。また、容器本体1の底面部には容器本体1を加工装置に位置決めするための位置決め部材が設けられている。

容器本体1の内部の相対する側壁には、基板を水平に一定間隔で支持するための、一対の支持部材が設けられている。また、容器本体1の左右の外側壁には、基板収納容器１００を手動でハンドリングするための一対のハンドル３がそれぞれ設けられている。

蓋体２は、蓋体２の本体と表面プレートとを有し、蓋体２の本体の側面全周にはガスケット部材が備えられている。また、蓋体２の本体には、回転部材と連結バーとを備えた一対の施錠機構６が収納され、蓋体２本体の開口を閉鎖する表面プレートには、一対の貫通穴が設けられ、施錠機構６を外部から操作可能としている。

蓋体２の容器本体1と向き合う内面側には、基板の開口部側周縁を保持するリテーナが設けられている。リテーナには、枠体と、ここから短冊状に分岐されて基板と向き合う方向に張り出す架設部とを有し、架設部には基板と接触する断面Ｖ又はＵ字状をした保持溝が形成されている。中心側で基板を保持する保持部をさらに設けることもできる。

図２は、基板収納容器１００の側面図であり、図３は、図２のＡ−Ａ外側断面を示すレール溝７の説明図である。図２及び図３に示すように、容器本体1の側壁(側面)には、ハンドル３をリア側から収容し、ハンドル３における板状の基部１０(後述する)の上下側端部、詳細には、基部１０の上下端部に設けられたフランジ１６と係合する上下一対のレール溝７がリア(背面)側からフロント(正面)側に掛けて、リア側の幅より正面の開口部側の幅が狭くなるように形成されている。即ち、一対のレール溝７の間隔(幅)は、ハンドル３の基部１０の挿入側である背面側から、基部１０をスライド(摺動)させて、正面方向に向かうに連れて嵌合がきつくなるように形成されている。蓋体２で閉鎖されている容器本体1の開口側には、挿入限度を規制するストッパーリブ８が形成されている。また、ストッパーリブ８と略平行に、係合リブ９が容器本体1の側壁と垂直に形成されている。

図４は、容器本体１の左側壁に取り付けられるハンドル３の詳細とクリップ部材(係止部材)１９の関係を示す斜視図、図５は、容器本体１の右側壁に取り付けられるハンドル３にクリップ部材１９を取り付けた状態を表す斜視図、図６は、ハンドル３にクリップ部材１９を取り付けた状態を表す側面図である。図７は、図２のＢ−Ｂ断面図である。

ハンドル３は、図４乃至図７に示すように、容器本体1のレール溝７と係合する板状をした基部１０と、この基部１０の前後方向の端部周縁からそれぞれから基部１０に略垂直に突出する支柱部(１１、１２)と、開口側支柱部(前部支柱部)１１とリア側支柱部(後部支柱部)１２との間に湾曲形状で架設されたグリップ部１３と、基部１０先端から逆Ｌ字状に立ち上がるように形成される取付部１４とを有する。取付部１４は、立ち上がり部分を形成する脚部１４ａと、脚部の端部から基部１０の外側に基部とほぼ並行な方向に延びるように形成された貫通穴部１４ｂとを含み、貫通穴部１４ｂには、別部材として形成される弾性を有するクリップ部材１９が挿入可能な貫通穴１５が形成されている。貫通穴部１４ｂは、クリップ部材１９を嵌合させる枠体を形成する。

取付部１４の貫通穴１５には、クリップ部材１９が挿入されて、容器本体1の係合リブ９と接触して、ハンドル３が容器本体1のレール溝７から抜けないように固定される。即ち、クリップ部材１９の取付部１４への挿入により、取付部１４の脚部と、クリップ部１９とにより係合リブ９を挟持して固定している。

グリップ部１３は、容器本体1のリア側下方から容器本体1の開口側上方にかけて、斜めに伸びるように形成されており、表面及び裏面には、一定間隔で肉盗み凹部１７の一部としてのリブ１７ａ、１７ｂが上下２列に整列されて形成されている。また、支柱部１１，１２との結合部にも肉盗み部の一部としてのリブ１７ｃを形成している。この肉盗み凹部１７は、成形時の変形を防止すると共に、人が握ったときの触感を向上させ、滑りを防止できる。また、支柱部１１、１２と基部１０との間には、補強リブ１８が形成されている。

次に、クリップ部材１９について説明する。図８は、ハンドル３のクリップ部材１９を表す斜視図である。クリップ部材１９は、頭部２０と、この頭部２０から分岐される一対の脚部２１を有し、頭部２０は先端が細くなるように形成されている。また、脚部２１は連結部から外方向にＬ字に折れ曲がった屈曲部２４を備えている。さらに、クリップ部材１９は、頭部２０の他端である張り出し部２３と、これと向き合う脚部２１とが、貫通穴部１４ｂの貫通穴１５の周縁に嵌合するように形成されている。このクリップ部材１９は、逆Ω字形の形状であると言える。

脚部２１と頭部２０との間に形成される中空部２２は、頭部２０側から脚部２１側に掛けて拡開するように形成することで、クリップ部材１３の弾力性を増すことができ、クリップ部材１３を取り外して、繰り返し使用ができるようになる。

図９は、本実施形態のクリップ部材１９の変形例を示す図である。図９に示すように、クリップ部材２５は、円形形状の頭部２６と、その頭部２６の一端から伸び弾性を有する脚部２７とを有し、脚部２７には、取付部１４と係合可能な、鍔(ツバ)部２８を形成して、容器本体1の係止リブ９と接触可能としている。

図８及び図９で示したクリップ部材１９、２５は、例えば弾性や滑り性を備えたポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリブチレンナフタレートなどの合成樹脂や、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種の熱可塑性エラストマーから形成することができる。

本発明の実施形態に係る基板収納容器１００によれば、ハンドル３を別部材として形成されるクリップ部材１９、２５を使用して固定するので、取り付けが容易で、クリップ部材１９、２５を弾性変形させて取り外すことが出来るので、何回の取り外しを行なっても、ハンドル３が変形することは無く、繰り返し使用することが出来る。

次に、本発明の別の実施形態について説明する。図１０、図１１は、ハンドルの係止構造が異なる別の実施形態について説明する図である。この実施形態では、係止部材としてボルトやビス等の螺刻部材３０を用いる場合の例である。図１０、図１１に示すように、ハンドル２９の取付部３１は、先に述べたハンドル３の取り付け部１４と同様に、逆Ｌ字を形成する脚部３１ａと貫通穴部３１ｂとを含み、貫通穴部３１ｂの貫通穴には、螺刻溝３１が形成されていて、ここに螺刻部材３０を嵌合させて固定したものである。この場合も螺刻部材３０を緩めて取り外すことで、ハンドル２９になんらダメージを与えずに、容器本体1からハンドル２９を取り出すことができる。螺刻部材３０は、ＰＥＥＫ、ポリカーボネート、ポリアミドなどの樹脂製のものを使用することが好ましい。

本発明の基板収納容器を構成する容器本体と蓋体及びハンドルは、例えばポリカーボネート、ポリエーテルイミド、シクロオレフィンポリマー、液晶ポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレートなどの合成樹脂や、これらにカーボン繊維やカーボンパウダー、カーボンナノチューブ、導電性ポリマーなどを適量添加して、導電性を付与した樹脂から形成することができる。また、上述した合成樹脂から形成した後に、基板収納容器の表面に、ポリピロールやポリアニリン、ポリチオフェンなどの導電性被膜を形成することもできる。

また、基板収納容器は、自己消火性の樹脂から形成することを要求されることがあるが、その場合は、液晶ポリマーや、ポリエーテルイミドで形成することが好ましい。また、この場合は、容器本体の外側壁に取り付けられるハンドルも自己消火性の樹脂から形成する事が、保管庫に整列される基板収納容器の燃焼を防止する上で好ましい。こうした場合に、クリップ部材を弾力性のある別の部材として形成することで、ハンドルの容器本体への係合を問題なく行なうことができる。ここで、自己消火性とは、炎にさらされる間は燃えるが、炎から離されれば消火する性質と定義でき、ＪＩＳ Ｋ６９１１にて規定するＡ法において、炎を取り去った後に試験片の燃焼が１８０秒以内に消え、かつ燃焼した長さが２５ｍｍ以上１００ｍｍ以下の場合に自己消火性を持つと定めることができる。

以上、実施形態を用いて本発明を説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されないことは言うまでもない。上記実施形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。またその様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。上記実施形態では、レール部は、容器本体の左右の側壁のそれぞれ上下一対のレール溝７として形成し、ハンドル３の基部１０の両側部のフランジ１６と摺動させることを記載したが、これに限らす、容器本体１のリア側からフロント側にかけて挿入されるハンドル３の幅方向のほぼ中心線上に伸びる断面略Ｔ字形をした溝１本を形成し、ハンドル３の基部中央部の側壁と向き合う面に上記したレール溝と係合可能な略断面Ｔ字形をした突起を形成して、ハンドルを摺動させることもでき、こうしたレール溝と突起は、複数個所に形成することもできる。また、こうしたレール部を容器本体の側壁から突出形成される突起として形成し、ハンドルの基部には、この突起と摺動可能に係合する凹部を形成することもできる。

１…容器本体、 ２…蓋体、
３、２９…ハンドル、 ７…レール溝、
８…ストッパーリブ、 ９…係合リブ、
１０…基部、 １１…前部支柱部、
１２…後部支柱部、 １３…グリップ部、
１４、３１…取付部、 １４ｂ…貫通穴部、
１５…貫通穴、 １６…フランジ部、
１７(１７ａ、１７ｂ、１７ｃ) …肉盗み凹部(リブ)、
１８…補強リブ
１９、２５…クリップ部材、 ２０、２６、…頭部、
１４ａ、２１、２７…脚部、 ２２…中空部、
２３…張り出し部、 ２４…屈曲部
２７…脚部、 ２８…鍔部
３０…羅刻部材、 ３２…螺刻溝
１００…基板収納容器

Claims (5)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、
   板状の基部、及び前記基部上に形成されたグリップ部を含む一対のハンドルと、
   前記一対のハンドルを前記容器本体の左右の各側面に固定する係止部材と、を備えた基板収納容器であって、
   前記容器本体は、
   前記容器本体の前記左右の各側面に設けられ、所定の挿入方向に前記ハンドルの前記基部を摺動可能に案内するレール部と、
   前記容器本体の前記左右の各側面に設けられ、前記ハンドルの前記基部の挿入方向の面とほぼ垂直な方向に伸びるように形成された前記基部の先端部の挿入位置を規制するストッパーリブと、
   前記容器本体の前記左右の各側面に設けられ、前記ストッパーリブとほぼ平行に前記ストッパーリブと離間して形成された係合リブと、を備え、
   前記ハンドルは、
   前記基部の前記挿入方向の先端部に形成された立ち上がり部分を形成する脚部、及び前記脚部の端部から前記基部の外側方向に延びて形成された貫通穴部を含む取付部を、備え、
   前記ハンドルの前記基部を前記容器本体のレール部に係合させて前記基板の挿入方向に摺動させることで、前記ハンドルの前記脚部と前記容器本体の前記係合リブとを当接させるとともに、
   前記係合リブを前記基部の外方向に延びて形成された前記貫通穴部の貫通穴が越えるようにし、前記係合リブを越えた前記貫通穴に係止部材を挿入し、前記係止部材と前記ハンドルの脚部とで前記係合リブを挟持して、前記ハンドルが前記容器本体の前記左右の各側面に固定されることを特徴とする基板収納容器。
2. 前記係止部材は、
   先端が細くなるように形成された頭部と、
   前記頭部から分岐され一方が開口する一対の脚部と、
   前記一対の脚部から外側に折れ曲がるように形成され前記頭部の他端と向き合う屈曲部とを含み、
   前記一対の脚部と前記屈曲部は、前記貫通穴と嵌合するよう形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
3. 前記係止部材は、頭部と、前記頭部から分岐される一対の脚部を含み、前記頭部と前記一対の脚部で形成される中空部は前記頭部側から前記脚部にかけて拡開されることを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
4. 前記係止部材は、螺刻部材であり、前記貫通穴部には、螺刻溝が形成され、前記螺刻溝に前記螺刻部材が嵌合されることを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
5. 前記ハンドルのグリップ部は、幅方向に延び、長手方向に所定の間隔で配列され形成されたリブからなる肉盗み部を含むことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。

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