經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 A7 B7 五、發明説明（/ ) [發明領域] 本發明傺有關製造LCD(液晶顯示器）或PDP (電漿顯示器 )等時之基板移送方法及基板移送匣》 [發明背景] 近年，LCD或PDP,傺從用途上為了容易觀看，更具有 表現力之顯示器而要求尺寸之大型化，又，從製造成本 上，要求從1H基板取下多數平板（panel)。為了因應此 項要求平板之基板尺寸僳唯有大型化之一途而已。尤其， 於PDP,由更容易生産較LCD更大之尺寸，特別要求大型 之基板，製造時需要效率良好之大型基板移送技術。玆 邊參照圖面，就先行技術之基板移送法之一例說明如下。 第19圖係將使用先行技術之基板移送II (以下略稱為 匣）10與台車20與匣保持台30之基板移送方法以模式地 由侧面圖表者。於第19画，基板移送匣10,葆收容有複 數基板1。設於基板移送匣10而為了將基板1只隔開節距 P所欲保持之棚架部僳從略了其圖示。又，第19圖像表示 由自動或手推將裝載了移送匣10之台車20,從上一製程 之匣保持台（没有圖示）附近移動到下一製程之匣保持台 30附近之狀態。接著，台車20僳如第20圖所示將裝設於 台車20之臂桿21a,21b向箭頭A方向延伸，將移送匣10移 送到匣保持台30上，將臂桿21a,21b向箭頭B方向下降而 將移送匣10放置在匣保持台30之規定位置。31係為了® 捍21a,21b與匣保持台3 0避免發生干g之凹陷。並且，臂 本紙張尺度適用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) ---裝. 訂 經濟部中央橾準局貞工消费合作社印装 A7 _ _B7_ _ 五、發明説明（ι ) 桿21a,21b為與箭頭A相反方向收縮而被收容於台車20, 變成第21圖之狀態。接著，由設於匣保持台3 0之基板排 列捍32,將基板1排列於與移送匣10之基板進出方向（箭 頭C方向）成直交方向之中央部。此係使用公知之機器手 臂（沒有圖示），對於第20圖所示之匣保持台30從舆台車 20相反側（第20圖之HD«K )將基板1由移送匣10向箭頭A方 向抽出時，為了基板1不至於碰觸到第22圔所示之移送厘 10俩板11,或，機器手臂為欲將從移送匣10抽出之基板 1,正確地基板處理裝置（沒有圖示）之規定位置所做者。 Η將排列此基板1之動作使用第21圖之正面圖所示之第 22圖說明如下。於第22圖，將基板排列捍32使用空鼴壓 缸（沒有圖示）等向箭頭D方向推入時，就如第23團所示， 基板排列桿32就推進到一點鐽線所示之位置32a，而推押 迄今如第22國所示之不整齊之基板1之兩侧面，將所有基 板1位於與移送匣10之上述基板進出方向（第21圖之箭頭 C方向）成直交方向（第2 3圓之箭頭D,E方向）之中央部。接 箸，將基板排列捍32向箭頭E方向使用空壓缸等驅動送回 原來位置而結束排列動作。 然而，若如上述之構成時，假如第19圖所示之基板長 度L變長時，台推車20與匣保持台30之整體長度S1將會受 成很長。因匣保持台30係配置於基板處理裝置之基板進 出口，所以，若其基板處理裝置之台數變多時，台車20 與匣保持台30所佔之面積將變成很大，而痛要大的無塵 本紙法尺度逍用中國國家揉準（CNS ) Λ4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) •裝· 訂 A7 B7 五、發明説明（c?) 室。若增大無塵室時不僅無塵室之建設費用增加，而為 了維持無塵度所需之蓮轉成本就會變大，而具有增高生 産成本之問題。 本發明之目的僳有鑑於上述問題，提供一種可使台車 與匣保持台之總長變小之基板移送方法及基板移送匣。 [發明之掲示] 為了解決上述問題之本發明之申請專利範圍第1項之基 板移送方法，傺將裝載收容有基板之基板移送匣之台車 移動至匣保持台之附近，而由裝設於上述匣保持台之轉 動臂舉起上述基板移送匣，將上述台車上之基板移送匣 移至匣保持台。由這種方法，匣保持台之長度像只要具 有轉動臂與收容其驅動部之長度就足夠，所以，可將台 車與匣保持台之總長較先行技術構成者大幅度變小。 經濟部中央標準局貝工消费合作社印製 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 申請專利範圍第2項之本發明之基板移送方法，僳將裝 載收容有基板之基板移送匣之台車移動至匣保持台附近 ，藉設在上述匣保持台之轉動臂舉起上逑基板移送匣， 將上述台車上之上述基板移送匣移至匣保持台，而在匣 保持台上將基板移送匣與台車向相反方向移送所需距離 。藉此方法，將移送匣移靠於與台車相反方向，而可載 置於匣保持台上，所以，可縮短從匣保持台之反台車侧 抽出基板之距離。因此，可縮短從移送匣抽出基板之機 器手臂之行程，而可低廉地構成機器手臂。 申請專利範圍第3項之本發明之基板移送方法，偽將裝 -5- 本紙張尺度遥用中國國家橾準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） 經濟部中央樣準局貝工消费合作社印家 A7 ______Β7_____ 五、發明説明（沁） 載收容有基板之基板移送匣之台車移動至匣保持台•而 如夾住上述台車之外側兩侧面，在設於匣保持台之至少 一組棍輪之間，推入台車來加以定位。藉此方法，作業 員用手推欲定位台車時，邊觀看其台車之外周侧面而使 其外俩餅面接觭於導棍推入時就可容易定位所以可獲得 良好之作業性。 申請專利範圍第4項之本發明之基板移送方法，偽如申 請專利範圍第1項或第2項之基板移送方法，其中基板移 送匣與台車，及，上述基板移送匣與匣保持台之轉動臂 像分別具有嵌合部，而使用外形尺寸相異之複數上述基 板移送匣為具有共通之尺寸之嵌合部。藉此方法，卽使 是尺寸相異之匣也不必改變台車或匣保持台之尺寸，所 以，可將相異尺寸之基板有效率地流動於製程中。 申請專利範圍第5項之本發明之基板移送方法，傜具有 ;收容基板之匣本體，與開閉對於此匣本體之基板之進 出口之開閉構件，與靠近於與位於基板進出口镅相反餹 之基板後端之兩端角部，将基板後端部定位於與匣本體 之基板進出方向成直交方向中央部之基板後端定位構件 ，與設於開閉構件，靠近於基板進出口俩之基板前端之 兩端角部，將基板前端部定位於與上述匣本體之基板進 出方向成直交方向之中央部之基板前端定位構件。 藉此構成，由於開閉構件之開閉可將基板排列於匣之 中央部，所以，不需要在匣保持台排列基板。所以，欲 本紙張尺度適用+國國家標準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) V裝· *1Τ 經濟部中央標準局貝工消費合作社印製 A7 B7五、發明説明（r) 移送申請專利範圍第1項之匣保持台之構造將變成非常簡 單。 申請專利範圍第6項之本發明之基板移送方法，傺具有 ;收容基板之匣本體，與封閉對於此匣本髏之基板之進 出口以外之5面之蓋板，與可開閉上述進出口之前面蓋， 與靠近於與屬於基板之進出口側相反側之基板後端之兩 端角部，將該基板後端部定位於與匣本體之基板進出方 向成直交方向之中央部之基板後端定位構件，與設於前 面蓋，而靠近於屬於基板進出口側之基板前端之兩端角 部，將基板前端部定位於與匣本體之基板進出方向成直 交方向之中央部之基板前端定位構件。藉此構成，與申 請專利範圍第5項之效果，與由於再封閉匣之6面，即使 移送於無塵度惡劣之環境中因内部之基板不會受到汙染 ，所以，可降低基板移送路之無塵度。所以，不僅可降 低無塵室之建設費，而也可降低維持無塵度之運轉成本 〇 申請專利範圍第7項之本發明之基板移送匣，傷由收容 基板之匣本體，與封閉此匣本體之上述基板進出口以外 面之蓋板，與可開閉進出口之前面蓋，與設於匣本體下 部之車輪所構成。藉此構成，即使基板尺寸變大而裝有 基板之匣重量變大，而沒有台車也可容易，並且不至於 汙染基板，例如，由於可在地板上滾動移動，所以，在 緊急時可發揮良好之對應性。 -7- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) •裝I' 、vs •ιί^ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 合 作 社
A7 B7 經 濟 部 中 央 樣 率 局 貝 工 五、發明説明（6 ) 1 | 申諸專利範圍第8項之本發明之基板移送匣， 傷由收容 1 1 I 基 板 之 匣 本 體 9 與 壓 觸 於 該 基 板 邊 部 而 支 持 基 板 之 複 1 1 數 基 板 支 撑 構 造 所 構 成 之 基 板 移 送 匣 » 將 基 板 支 撑 構 件 1 請 I » 向 垂 直 方 向 裝 設 之 複 數 軸 1 與 在 此 軸 可 旋 轉 地 將 上 下 先 閲 1 I 讀 I 方 向 位 置 使 用 限 制 構 件 加 以 限 制 所 裝 設 之 複 數 旋 轉 支 掙 背 1 1 之 1 構 件 所 構 成 〇 藉 此 構 成 $ 若 使 用 手 工 作 業 將 基 板 進 出 於 注 | 1 I 匣 時 t 即 使 基 板 對 於 支 持 基 板 之 支 撑 構 件 發 生 衝 突 時 由 事 項 再 1 Γ 於該支掙構件會旋轉 參 所 以 ， 可 缓 和 衝 突 時 之 衝 擊 # 而 % 寫 本 V 裝 可 將 起 塵 抑 制 到 最 小 限 度 〇 頁 1 1 1 申請專利範圍第9項之本發明之基板移送匣， 傺由收容 1 I 基 板 之 匣 本 體 ， 與 壓 m 於 該 基 板 遴 缘 部 而 支 持 基 板 之 複 1 | 數 基 板 支 撑 構 造 所 構 成 之 基 板 移 送 匣 i 將 基 板 支 撑 構 件 1 訂 9 向 垂 直 方 向 裝 設 之 複 數 軸 » 與 在 此 軸 可 旋 轉 地 將 上 下 方 向 位 置 使 用 限 制 構 件 加 以 限 制 所 裝 設 之 複 數 旋 轉 支 撑 構 件 所 構 成 » 而 將 承 受 由 於 旋 轉 支 撑 構 件 與 限 制 構 件 之 f 接 觸 旋 轉 所 發 生 之 灰 塵 之 灰 塵 承 接 凸 緣 形 成 於 上 述 旋 轉 ▲ I 支 撑 構 件 〇 藉 此 構 成 » 因 可 將 從 旋 轉 接 m 部 所 發 生 之 灰 I 1 f 應 擴 散 於 匣 内 空 間 之 前 加 以 承 接 * 所 以 » 可 防 止 基 板 之 1 汙 染 〇 1 1 申請專利範圍第〗0項之本發明之基板移送匣 f 像 由 收 1 1 容 基 板 之 匣 本 體 • 與 壓 觸 於 上 述 基 板 邊 緣 部 而 支 持 基 板 I 1 1 之 複 數 基 板 支 撑 構 造 所 構 成 之 基 板 移 送 匣 » 將上述基板 1 1 支 撑 構 件 向 垂 直 方 向 裝 設 之 8 - 複 數 軸 9 與 在 此 軸 可 旋 轉 1 1 I 1 1 本紙張又度適用中國國家標準（CNS ) A4规格（210X297公媸） A7 __B7 五'發明説明（7) 地將上下方向位置使用限制構件加以限制所装設之複數 旋轉支撑構件所構成，將上述旋轉支撑構件由圓筒部與 支持基板之凸緣部所構成，上述圓筒部之上部侧面與上 述圚筒部底面所成之角度，僳較上述圓筒部下部倒面與 上述國筒部底面所成之角度為大，上述圓筒部下部之下 部大徑端部與上述基板之邊緣部為靠近者。藉此構成， 將旋轉支撑構件之圓筒部下部外周面之下部大徑端部為 靠近於基板邊緣部，所以，可定位其基板，與申請專利 範圍第5項之基板移送匣同樣不必在匣保持台3排列基板 。所以，欲進行基板移送之匣保持台之構造將變成非常 簡軍。 申請專利範圍第11項之本發明之基板移送匣，傷於申 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝一 、1Τ 本出 匣進 於板 對基 閉述 開上 ; 與 有於 具近 ，靠 匣與 送 ， 移件 板構 基閉 之開 項之 10ΠΙ 第出 圍進 範板 利基 專之 請腥 上定 於而 設端 與前 ，板 件基 構之 位 側 定口 端出 後進 板板 基基 之於 端屬 後於 板近 基靠 之 ， 例件 反構 CCQ 8^ f 探 傈開 口述 經濟部中央標準局負工消费合作社印裝 件 構 位 定 置 位 端 前 板第 基圍 位範 利 專 請 申 Ti 揮 發 可 成 構 此 0 男 效 之 JliK 棲 同 時 匣 送 移 板 基 之 項
明 說 單 簡 之 式 _ rL 部 之 法 方 送 移 板 基 之 11 例 施 實 明 發 本 明 說 了 為 偽 圖 1* 第 截第 。 分 圖 圖 面 侧 切 面 M 切 截 分 部 之 用 所 作 動 之 例 施 實 該 明 說 了 為 你 圖 本纸張尺度適用t國國家揉準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消費合作社印装 A7 __B7_ 五、發明説明（牙） 第3圃僳為了說明該實施例之要部動作所用之侧面圖。 第4圖偽為了說明於本發明實施例2之基板移送方法之 侧面圈。 第5圖係將第4圜之K-K線剖面包含' 台車所示之剖面圖。 第6圖傺於該實施例之台車與轉動臂之平面圖。 第7圖係為了說明該實施例之動作所用之部分截切侧面 圖〇 第8圖僳為了說明該實施例之動作所用之平面團。 第9圖係為了說明該實施例之動作所用之部分截切側面 圖。 第10圖像表示該實施例之其他基板移送方法之例之平 面圖。 第11圖偽於本發明實施例4之基板移送匣之倒面圖。 第12圖僳於該實施例之平面圖。 第13圖偽於該實施例之要部放大圖。 第14圖傷本發明之實施例5之莲板移送匣之要部剖面圖 〇 第15圖係於該實施例之要部放大剖面_。 第16(A)圖像為了說明本發明之實施例6所用之基板（直 線狀去角時）之端面放大圖。 第16(B)圖傷為了說明本發明之實施例6所用之基板（R 形去角時）之端面放大圖。 第17圖偽本發明之實施例6之基板移送匣之要部剖面圆 -10- 本紙張尺度適用中國國家樑準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) .裝· -訂 經濟部中央標準局員工消费合作社印氧 A7 B7 五、發明説明（？） 〇 第18圖係於該實施例之平面圖。 第19圖傲為了說明先行技術之基板移送方法所用之側 面圖。 第20圖傜表示為了說明該方法之動作之侧面圖。 第21圖换表示為了說明該方法之動作之側面圖。 第22圖像表示為了說明該方法之動作之正面圖。 第23圖偽表示為了說明該方法之動作之正面圖。 [實施例] 玆就本發明之實施例，邊參照圖面說明如下。 (實施例1) 第1圖及第2圖偽說明本發明一實施例之基板移送方法 之基本動作圖。於第1圖，移送匣50為收容有複數之基板 41。只隔開節距P保持基板41之棚架部偽省略其圖示。又 第1圖，偽表示以自動或手推將裝載移送匣50之台車55, 從前製程之匣保持台（沒有圖示）附近移動至下一製程之 匣保持台70附近，而定位台車55之狀態。視其需要在台 車55也可裝設公知之煞車裝置，在其狀態下上煞車。又 ，也可以從匣保持台70伸出公知之鉤而鉤住台車55來防 止台車55從匣保持台70離開太遠。 接著，匣保持台70,係如第1画所示將轉動臂71以麯 72做為中心向箭頭Η方向轉動，而如第2圖所示舉起移送 匣50加以保持。56傜表示為了避免轉動臂71與台車55發 -11- 本紙張尺度適用中國國家樣準（CNS ) Α4规格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝Ι- ,ιτ 經濟部中央揉準局貝工消費合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（) 生干擾所設之逃逸部。7 3係表示不使匣保持台70倒下而 固定於地板5所用之錨栓（anchor bolt)。 茲就對於上述轉動臂71發生轉動動作方法之一例使用 第3圖說明如下。74係公知之空壓缸，本體下端74a及桿 74b之各先端係使用銷75,76分別連接於匣保持台70及轉 動臂71。當空壓缸74之桿74b延伸時，就如一點鏈線所示 轉動臂71將向箭頭Η方向轉動。替代空壓缸74也可使用馬 逹與螺旋及螺轄之驅動方法。 若依據以上之構成•就可將第2圖所示之台車55與匣保 持台7 0之總長S2較第19圖所示先行技術之緦長si大幅度 地變小。因匣保持台傲配置於基板處理裝置之基板進出 口，所以，可將包括基板處理裝置，台車，匣保持台之 缌合面積較先行技術顯箸地變小。因可將無塵室之所需 面積變小，所以不僅可將其建設費低廉而已，也可發揮 削減維持無塵度所需之運轉成本之顯著效果。 (實施例2) Η使用第4圖〜第6圖說明本發明之其他實施例之基板 移送方法如下。 第4圖偽移送匣60省輅表示其基扳之圖。第5圔#將此 像送匣60與適用於此移送匣60之台車80與轉動臂91,以 第4圔之Κ-Κ剖面表示者。第6圖俗於第圔5取下移送匣60 之狀態下，台車80與轉動臂91從上所視之圖。於第6圏， 90偽與第1圖所示之匣保持台70同樣之匣保持台·而具有 -12- 本紙張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐） U----^-----------tr------ (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（/ / ) 轉動臂91。93係表示與第1圖所示之軸72同樣之軸。 於第4圏及第5_, 61傺裝設於移送匣60下部之車輪， 82供裝設於台車80之凹部，而可嵌合銷62。92傺装設於 轉動臂91之凹部，而可嵌合銷63。由第5圖就可清楚，移 送匣60由推車80移送時段，因銷62嵌合於凹部82,所以 ,移送匣60不會偏移台車80之規定位置。又，若使用轉 動臂91舉起移送匣60時，因銷63嵌合於凹部92，所以移 送匣6 0不會從轉動臂91之規定位置偏移。 在此·若收容於移送匣之基板尺寸改變時，移送匣之 尺寸也會改變。如第4圓及第5圍所示，例如，基板尺寸 變小而移送匣60長度，邸使從L1變成L2,移送匣60之寬 度W1變成W2時，若將從移送匣60前端到銷62,63之尺寸 L3,將銷62,63之中心間節距W3加以共通化，亦即，將移 送匣60與台車80及轉動臂91之嵌合部之尺寸共通化時， 即使尺寸相異之移送匣也不必改變台車或匣保持台之尺 寸，所以，可將相異尺寸之基板有效率地流動於製程中 Ο (實施例3) Η將本發明之其他實施例之基板移送方法，舆實施例 2之情形同一構成元件榇示了同一號碼而使用第7圓〜第 9圓說明如下。 第7圓及第8圖僳舆第6圖同樣，將台車80與匣保持台 100與其轉動臂101,取下移送匣60之狀態下從上所視之 -13- W纽適用中“家搮準（CNS > a4伙（2丨0x297公釐> • Γ·. HH. I— Ji —i j -1 - - i (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂 經濟部中央橾準局貝工消费合作社印製 A7 B7 五、發明説明（) Η。於第7圈，匣移送構件103僳具有與第6圏所示凹部 92同樣之凹部102。104僳表示固定於轉動臂101之公知空 壓®。其桿105偽連接於匣移送構件103。藉上述構成， @$11缸104動作，若延伸其捍105時匣移送構件103,像 如第8圃所示将被移送至箭頭J1方向。此時，移送匣60你 由嵌合於凹部102之銷63所移送，如第9圖所示移送匣60 之前端60a將被移送到匣保持台ι00之前端位置100a。像 這樣將移送匣60,由轉動臂101舉起而將此移送匣60移至 匣保持台100，再在其匣保持台100上藉將移送匣60向與 台車80相反之η方向移送所需距離，就可將移送匣60偏 H於與台車相反方向而載置於匣保持台100上，所以，如 第9圖所示，將對於匣保持台100向台車80之相反_亦即 從HD賴抽出基板之距離，可較第2圔之情形只縮短躁進 L4。因此，從移送匣60將基板41由機器手臂（沒有圏示） 時，由於可縮短機器手臂之動作行程，所以，可將機器 手臂以低廉構成。 Η使用第10圖說明將台車80定位於匣保持台100寬度方 向之方法一例如下。 經濟部_央樣準扃貝工消費合作社印裴 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 本方法也可適用於實施例1或2之情形。匣保持台95傺 與匣保持台100相同，具有2個1組之旋轉自如地支撺於托 架96與軸9 7之例如外周為橡膠製之導輥98。從其他匣保 持台附近到移送對方之匣保持台附近.使用動力或手推 運來之台車80,其外周側面80a, 80b為被夾住於導棍98互 -14- 本紙張尺度適用中國國家楳半（CNS)A4说格<2丨0x297公釐）
經濟部中央標準局貝工消費合作社印II A7 B7 五、發明説明（W) 相之間而受到導引定位於匣保持台9 5之規定位置。此項 作業係作莱貝觀看台車80之外周俩80a，80b之任何一方， 而藉可接觸於其镅之導棍98推入台車80下進行，因可容 易定位，所以可獲得良好之作業性。 於以上之實施例1〜3,係使用轉動臂71,9 1,101直接舉 起移送匣50, 60，但是，也可以舉起車輪61。 (實施例4) 茲使用第11圍〜第13圃說明本發明一實施例之基板移 送匣如下。 第11圖及第12圖像分別表示移送匣Π0之餹面團及平面 圖。移送厘II0僳上面110a,下面ll0b,兩倒面1+10C, 110d及後面110*5俱由蓋板所封閉，與移送匣50，60同樣 在内部收容有基板1 2 1。前面蓋板U 1，傺轉動自如地被 支撑於設在移送厘110之托架112之銷113。撕墊114偽設 於前面蓋板111 ,而密貼於移送匣110之前110e。如第13 圏所示，鋇固桿115偽由前面蓋板U1舆薄壁之鉸鍵部116 所連接，在一端形成有鎖固解除突起117*在他端形成有 鎖固爪118。當其鋇固爪118卡合於移送匣110槲面之凹部 110f時•前面蓋板111你經由襯墊114來密閉移送匪110之 前面110e。當按下鎖固解除突起Π7時，鎮固捍115傺如 第13圖之一點鍵線所示將鉸鍵部U6做為中心轉動，鎖固 爪118係脱離凹部U0f,而如第11圔之箭頭N所示，可打 開前面羞板111。 -15- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ---：------裝------訂-----線 (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中夬揉半局貝工消费合作社印氧 A7 B7 _ 五、發明説明（α) 於第12圖，基板後端定位構件110g, ii0h係裝設於移 送度110而在各掴基板121之後端角部之角隅部121a,121b 具所箱間除靠近•將其基板121之後端部121e舆移送匣 110之上述基板進出方向成直交方向，亦即，定位於第 12圖之T方向中央部。基板前端定位構件nia, lllb係設 於前面蓋板111而在各個基板121之前端角部之角隅部 121c，121d具所需間隙靠近，而與上述同樣，將基板121 之前端部121f定人立於T方向之中央部。此所需間隙，僳 只要具有，機器手臂（沒有圜示）將從移送匣110抽出之基 板121可位於基板處理裝置（沒有圖示）之規定位置就可， 而可將基板121保持於定位於移送匣110之中央部之狀態 程度之間除就可以。又，基板前端定位構件Ilia,111b也 可抵接於各個基板121之角隅部121c,121d。基板後端定 位構件110g,110h也可抵接於各傾基板121之角隅部121a ,121b。角隅部121c係為了決定基板方向所需成為較其他 角隅部為大，但是，若無其需要時也可成為同樣之大小。 基板後端定位構件110g, 110h或基板前端定位携件110a ,110b中之至少一方若僳彈性構件時，也可將基板前端 定位構件llla,lllb,基板後端定位構件U0g,110h密貼 於基板121之角隅部。 由以上之構成，若閉合前面蓋板時由基板後端定位 構件110g，110h,及基板前端定位構件111a, 111b而基 板121將被定位於移送匣110之中央部，若將移送匣110使 -16- }纸張尺度適用中ϋ橾半(CNS ) Α4胁（2丨0X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝. 訂 線_ 經濟部中央標準局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明説明ur) 用台車等移送時邸使承受到振動或衝擊，基板121之位置 不會從移送匣之中央部镉移。因此，例如，將此移送匣 Π0如第1圔之實施例1所示使用台車55移送到匣保持台 70附近，在其台車55被定位於匣保持台70附近之前•或 被定位後打開前面蓋板111時，基板121將維持被定位於 移送匣110中央部之狀態。當然，此時，於台車55之定位 操作，由移送匣之轉動臂之舉起動作，雖然不能發生基 板121會從移送匣U0之中央部偏移程度之衝擊，但是， 通常之操作，動作時將不至會發生引起問題之偏移。 若依據以上之構成，由前面蓋板111之開閉可將基板 121排列於移送匣110之中央部，所以，不需要在匣保持 台做基板之排列。因此，如第21圖，第22圖，第23圖所 示，由於不需要先行技術之基板排列機構，所以，匣保 持台之構造將變成非常簡單。 又，除了將移送匣110前面110e之5面使用固定蓋板封 閉，將前面使用可密閉之前面蓋板111封閉，即使移送於 無塵度惡劣之環境中因内部之基板不會受到汙染，所以 ，可降低基板移送路之無塵度。所以，不僅無塵室之建 設費會低廉，而也可降低維持無塵度所需之蓮轉成本。 若在具有清淨琛境之環境下使用時，就不需要封閉上 述5面，又，也不必封閉移送匣110之前面U0e，只要在 前面蓋板111設基板前端定位構件Ilia,111b就可以。 又，在移送匣110裝設第4圖所示之車輪61時，即使基 -17- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) Α4規格（210X297公釐） ^ Ί H I 裝 II —訂 ιίι·(ν^ (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部中*揉率局貝工消费合作社印製 A7 B7_五、發明説明（A ) 板尺寸變大，装基板之移送匣之重置變大，雖然沒有台 車，也可容易地•並且不至於汙染基板，例如因可在地 板上等滾動移動，所以，緊急時可發揮良好之對應性。 (實施例6) 玆使用第14圖及第15圖說明本發明其他實施例之基板 移送匣如下。 第14圖，傺說明第19圖基板移送匣10時省略說明，将 基板41只隔開間隔P加以保持所需之棚架部構造以剖面所 示之圖。第15圖像第14圖之要部放大圖。於第14_及第 15圖，軸130傺設於移送匣之本體（沒有圖示），將複數之 旋轉支撑構件140使用公知之固定環131只隔開節距P支撑 為旋轉自如。基板支持凸緣141傺形成於其旋轉支掙構件 140,將基板41之邊緣部41a載置於其上面141a,只隔開 節距P來支持複數基板41。小徑凸緣142傺形成於旋轉支 撑構件140,而具有凹部142a。此凹部142a,將承接由於 固定環131與旋轉支撑構件14 0之旋轉接觸所發生之灰鏖 150。所以，小徑凸緣142將扮演灰塵承接凸線之功能。 由以上之可旋轉之旋轉支撑構件14 0之基板支持凸緣 141來構成支撑基板41,若以手工作業將基板41進出於移 送匣時，即使基板41為衝突於旋轉支撑構件140之基板支 持凸錁141,或外周衝突於形成為推拔狀之圓筒部143時 ，由於旋轉支撑構件140會旋轉，所以，可缓和衝突之衝 擊，可抑制灰塵之發生為最低限度。 -18- (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁) -裝 訂 ./IV. 線 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS )八4規格（210X297公釐） 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 A7 _B7__ 五、發明説明（Π ) 又，由於將扮演灰塵承接凸緣功能之小徑凸錁142設於 旋轉支撑構件140，從旋轉接觸部所發生之灰塵在擴散於 移送匣内之空間之前就可承接，所以，可防止基板之汙 染。 (實施例7) 玆使用第16(A)圖，第16(B)圖及第17圖說明本發明之 其他實施例之基板移送匣如下。 最近，基板端面之去角偽從第16(A)圖所示直線犾之去 角（chamfer)改變為第16(B)圖所示曲線狀之R去角。其理 由傺當移送基板時若端面衝突於移送通路時，對於第16 (A)圔之直線狀之去角邊緣160容易缺落，與此相較，第 16(B)圖之R去角，其特戡為沒有那種邊緣而圖滑不容易 缺落。又，具有此種R去角之基板，卽使由較其基板更軟 東西在其R去角部摩擦時也不容易傷及對方。Η活用此特 激之移送匣之構造使用第17圖說明如下。 第17圖僳與第14圖同樣，將基板171只隔開間隔Ρ加以 保持所用之棚架部構造以剖面表示之圖。如第17圖所示 ，旋轉支撑構件180係由基板支持凸緣181,小徑凸緣 182,圓筒部183所構成，基板支持凸緣181係形成於其旋 轉支撑構件180,將基板171之邊緣部171a載置於其上面 181a,而只隔開節距P支持複數之基板171。圓筒部183係 由從基板支持凸緣181間之約略中央部上方部分之圖筒部 183-1與下方部分之圓筒部183-2所構成，圓简部183-1及 -19- 本纸張尺度適用中國國家梯準（CNS ) A4規格（210X297公釐）
Hr!——^ 裝 I!------訂-----1 (請先閲讀背面之注^^項再填寫本頁) 經濟部中夬橾率局貝工消费合作社印裂 A7 B7____五、發明説明（I?) 圓筒部183-2之外徑係分別從上方愈向下方而變成愈大。 又，圓筒部183-1侧面與底面所成之角度，像形成為較圖 筒部183-2供面與底面所成之角度為大。亦邸，國筒部 183-2為較圓筒部183-1,變成更加下方廣寛。若形成這 樣時，當機器手臂（沒有圖示）將基板171插入於移送里時 ,由於在基板支持凸緣181間之約略中央部之位置Pc進行 ，所以，圓筒部183與基板171之爝面171-1之間隔Dc係具 有充分間隔，不至於基板171與旋轉支撑構件180發生衝 突。機器手臂在此位置插入基板17〗之後使其下降時，基 板171將被載置於基板支持凸緣181上之位置Ps。在此狀 態下因靨於圓筒部183-2之底面側外周面之下部大徑端部 183-3與基板171之端面171-1之間隔Ds為窄小，所以，基 板171在基板移送中其位置不會發生太大偏移。亦即，基 板171將被定位於T方向之中央部。於位置Pc若基板171從 T方向之中央部镐移時，當基板171下降至位置Ps時，雖 然基板171之端面171-1會接觸於圚筒部下部183-2,但是 ，由於如上述在端面171-1形成有R去角，即使團筒部下 部183-2為樹脂材料也不容易受到削掉所以不容易發生灰 塵。由以上之構成可亳無障礙地進行T方向之基板定位。 按，圓筒部上部183-1之外徑可以為從上方到下方為相 同。Η使用第18_說明也與T方向成直交方向定位基板時 之移送匣之實施例如下。 第18圔傺移送匣190之平面圖。於第18圖，移送匣190 -20- (請先閲讀背面之注項再填寫本頁) -裝· *1Τ 線-
/IV 本紙張尺度適用中國S家標準（CNS ) A4规格（210X297公釐） 雄濟部中央揉率局貝工消费合作社印裝 A7 B7 五、發明説明（丨，） 俗上面，下面，兩側面190c, 190d及後面190j由蓋板封 閉，而在内部收容有基板171。前面蓋板191,僳與第Π 圖所示之前面蓋板Π1同樣被支掙為轉動自如。襯墊1]4 像於第11圖所示者相同。 基板後端定位構件190g偽設於移送匣190,在基板171 之後端面171e保持所需間隙靠近。基板前端定位構件 191a僳設於前面蓋板191,而在基板171之前端面171f保 持所需間隙靠近。此所需之間除，僳機器手臂（沒有圖示 )將從移送匣190抽出之基板171可放置於基板處理裝置（ 没有圖示）之規定位置，只要具有基板171可保持成定位 於移送匣190之中央部狀態程度之間隙就可以。又，基板 前端定位構件191a與基板後端定位構件I90g,也可抵接 於各基板171之前端面171f與後端面171e。基板後端定位 構件190g,或基板前端定位構件191a之至少一方為彈性 構件時，基板前端定位構件191a與基板後端定位構件i90g ，也可分別密接於各基板171之前端面171f與後端面171e。 若依據以上構成，基板171像由圓筒部下部183-2之下 部大徑端部183-3定位於T方向之中央部，又，由基板後 端定位構件190g或基板前端定位構件191a定位於移送匣 190之前後方向（與T方向成直交之方向）之中央部。 因此，與實施例4同樣，因可將基板171排列於移送匣 190之中央部，所以不需要先行技術之基板排列機構，可 將匣保持台之構造變成非常簡單。 -21- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ；---J------------IT-----1線 (請先W讀背面之注意事項再填寫本頁) A7 B7 五、發明説明（X?) 本實施例之益處，像與實施例4比較不必霈要角隅部之 經濟部中央揉準局貝工消费合作社印裝 將小以較變維匣可移於 台 ·無基且動作撑擊轉 可變所積積減送 ，，動 持度持有並移工支衝旋 ，地 ，面面削移以且流 保塵維裝，動人之之從 法度 口總需揮將所並地 匣無低而易滾以板突將 方幅出之所發可 ，。率 將之減大容等 ，基衝可 送大進台之可因上成效 可路可變可上且持和因 移成板持室也又台構有 僅送也寸也板並支缓 ， 板構基保塵 · c 持地板 不移，尺車地 C 於可度 基之之匣無廉果保廉基 ，板廉板台在性突以限 之術置，将低效於低之 匣基低基有可81衡所低 明技裝車可成好置臂寸 送低成使沒於對板，最 _ 發行理台 •變良載手尺 移降變卽使由之基轉為2-本先處，而費之而器異 板可費，邸，越，旋制-2 據較板置因設本向機相 基因設又，如卓時會抑 依長基裝。建成方之將 之，建。時例揮匣件量 若總於理小其轉反板可 明單之本大，發送構生 ，之置處變將蓮相基 ， 發簡室成變板可移撑發 明台配板地可之側出好 本常塵轉量基時於支塵 銳持係基箸僅需車油良 據非無蓮重染急出其灰 所保 4口含顯不所台匣成 依成僅之E汙緊進因將 上匣持包術以度與送變 若變不需送於，板，可 。以與保將技所塵於移業。，造，所移至以基時僅 度如車匣可行，無II從作程又構以度之不所將件不 精台，，先小持偏將送製 之所塵板，，業構 ， ^-- (請先閲讀背面之注$項再填寫本頁) 訂 線 ·-! - 1^1 -—-I · 本紙張尺度埴用中國國家樣準（CNS ) A4规格（2丨0X297公釐） 經濟部中央標準局貝工消费合作杜印装 A7 B7 五、發明説明（Μ) 接觸部所發生之灰塵擴散於移送匣内空間之前承接，所 以，可防止基板之汙染。 -23- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 裝_ 訂 '線 本纸張尺度適用中國國家梂準（CNS ) Α4規格（210X297公釐）