KR20010041031A - 기판처리장치와 그 방법 및 노광장치와 그 방법 - Google Patents

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Abstract

외부에서 수취한 기판 (R) 을 반송하는 기판반송수단 (16) 을 구비하고, 기판반송수단 (16) 으로 반송된 기판 (R) 을 사용하여 소정의 처리를 행한다. 기판반송수단 (16) 이 외부로부터의 기판 (R) 을 수취하는 수취부 (12, 13) 를 복수 개 가진다.

Description

기판처리장치와 그 방법 및 노광장치와 그 방법 {METHOD AND APPARATUS FOR WAFER PROCESSING, AND METHOD AND APPARATUS FOR EXPOSURE}
일반적으로, 반도체소자 또는 액정표시장치 등을 포토리소그라피 공정으로 제조할 때에는, 포토마스크 또는 레티클에 형성된 패턴 이미지를 투영광학계를 통하여 감광제가 도포된 반도체 웨이퍼 또는 유리 플레이트 등의 기판 상에 투영ㆍ전사처리하는 기판처리장치, 즉 노광장치가 사용되고 있다. 이런 종류의 노광장치에 있어서는, 예를 들어 반도체소자 제조시에는, 웨이퍼 표면에 많은 회로 패턴을 만들기 위하여 몇 장에서 수 십장 또는 그 이상의 레티클을 사용하여 상기 패턴을 중첩시켜 노광하였다.
각 레티클은, 분위기 중의 먼지의 부착이나 사람이 직접 접촉함에 의한 오염, 또는 주위의 부재와의 접촉에 의한 손상 등을 방지하기 위하여, 전용 레티클 케이스에 수납하여 취급하는 것이 일반적이다. 그리고, 노광장치가 설치되어 있는 크리인 룸 내에는, 레티클보관용의 레티클 스토커가 배치되어 있다. 이 레티클 스토커 내에는, 다수의 레티클이 수납되어 보관되어 있다. 그리고, 최근에는, 레티클 케이스를 반송하는 무인 반송 로봇에 의하여 레티클 스토커와 노광장치 사이에서 레티클을 반송하는 것이 제안되고 있다.
도 9 에, 크리인 룸 내에 배치된 레티클 스토커, 노광장치 및 무인 반송 로봇 (이하, AGV=Automated Guided Vehicle 이라고 함) 을 나타낸다. 레티클 스토커 (1) 는 공조된 챔버 내에 수백 개의 레티클 보관선반을 가지는 것이다.
또한, 레티클 스토커 (1) 에 인접하여 복수 대의 노광장치 (2A~2H) 가 배치되어 있다. 각 노광장치 (2A~2H) 는, 각각 공조장치에 의하여 내부가 일정한 환경으로 유지된 챔버를 구비하고 있다. 챔버 내에는 노광장치 본체가 레티클 반송장치 또는 웨이퍼 반송장치와 함께 수용되어 있다.
레티클 스토커 (1) 와 각 노광장치 (2A~2H) 사이에는, 1 대 또는 복수 대의 AGV (3, 3) 가 주행하고 있다. AGV (3, 3) 는, 다자유도의 반송 암을 구비하고, 레티클 스토커 (1) 의 내부에 배치 형성된 레티클 케이스 반송장치 사이에서 레티클 스토커 (1) 의 개구부 도어 (4) 를 통하여 레티클을 수수하는 것이다. 또한, AGV (3, 3) 은 노광장치 (2A~2H) 내부에 배치 형성된 반송 암 사이에서 챔버의 개구부 도어 (5A~5H) 를 통하여 레티클 케이스를 수수하는 것이다.
레티클 스토커 (1) 및 노광장치 (2A~2D) 는, 각각 개구부 도어 (4) 및 개구부 도어 (5A~5D) 가 한 방향으로 연재된 AGV (3, 3) 의 주행통로 (6) 에 면하도록 배열 형성되어 있다. 그리고, 노광장치 (2E~2H) 는 정면에 형성된 개구부 도어 (5E~5H) 가 주행통로 (6) 에 면하도록 , 레티클 스토커 (1) 및 노광장치 (2E~2D) 에 대향하여 배열 형성되어 있다.
각 노광장치 (2A~2H) 에서 필요로 하는 레티클은, AGV (3, 3) 에 의하여 레티클 스토커 (1) 에서 노광장치 (2A~2H) 에 반송된다. 또한, 각 노광장치 (2A~2H) 에서 불필요해진 레티클은 AGV (3, 3) 에 의하여 노광장치 (2A~2H) 에서 레티클 스토커 (1) 로 되돌려진다.
즉, 노광장치 (2A~2H) 에서 필요로 하는 레티클을 꺼낼 때에는, 먼저 AGV (3,3) 를 레티클 스토커 (1) 의 소정 위치에 정지시킨다. 이어서, 레티클 스토커 (1) 의 전면의 개구부 도어 (4) 를 열고, 레티클 스토커 (1) 에서 필요로 하는 레티클을 수취한다.
그 후, AGV (3, 3) 는 지정된 노광장치 (2A~2H) 의 위치로 주행통로 (6) 를 자동 주행하면서 이동한다. 그리고 레티클 케이스 수수 위치를 향하여 반송 암을 구동하고, 노광장치 (2A~2H) 의 내부에 배치 형성된 반송장치 사이에서 레티클 케이스를 수수한다.
그러나, 전술한 종래의 기판처리장치에는, 아래와 같은 문제가 있다. 레티클 스토커 (1) 및 노광장치 (2A~2H) 는, AGV (3,3) 와의 사이에서 레티클 케이스를 수수하는 필요상, 정면에 형성된 개구부 도어 (4, 5A~5H) 가 주행통로 (6) 에 면하도록 배치되어 있다. 그래서 전술한 바와 같이, 노광장치를 복수 개 배치할 때에는, 이 노광장치가 동일 방향을 향하도록 직선 형상으로 배열 형성해야 하므로, 레이아웃 구성에 불필요한 제약을 받게 된다.
또한, 도 10 에 나타낸 바와 같이, 개구 도어를 정면 (F) 에 형성하지 않고 측면 (S) 에 형성한 복수 개의 노광장치 (2, 2) 를 동일 방향을 향하여도 배치한다. 이 경우, 메인테이넌스 등의 상황에 의하여 노광장치 (2) 의 정면에 소정의 스페이스를 확보할 필요가 있다. 그래서, 노광장치의 설치 스페이스를 유효하게 이용하는데 지장을 초래하게 된다.
한편, 레이아웃의 상황 상, 장치를 직선 형상으로 배치하지 않는 경우에는, 각 장치의 개구부 도어에 면하게 하여 AGV (3, 3) 의 주행통로 (6) 를 형성함으로써, 1 개의 주행통로 (6) 로는 대처할 수 없게 된다. 그래서, 주행통로 (6) 는 AGV (3, 3) 가 모든 장치에 대하여 억세스할 수 있도록, 분산된 상태에서 형성되게 된다. 그 결과, AGV (3, 3) 가 레티클을 효율적으로 반송할 수 없게 되거나, 상기와 마찬가지로 장치의 설치 스페이스를 유효하게 이용하는데 지장을 주게 되었다.
본 발명은, 이상과 같은 점을 고려하여 이루어진 것으로, 설치시의 레이아웃 구성에 제약을 받지 않고, 장치의 설비 스페이스도 유효하게 이용할 수 있음과 동시에, 기판반송도 효율적으로 행할 수 있는 기판처리장치와 그 방법 및 노광장치와 그 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
발명의 개시
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 실시형태를 나타낸 도 1 내지 도 8 에 대응한 이하의 구성을 채용하고 있다.
청구항 1 에 기재된 기판처리장치는, 외부로부터 수취한 기판 (R) 을 반송하는 기판반송수단 (16) 을 구비하고, 기판반송수단 (16) 으로 반송된 기판 (R) 을 사용하여 소정의 처리를 행하는 기판처리장치로서, 기판반송수단 (16) 이 외부로부터의 기판 (R) 을 수취하는 수취부 (12, 13) 를 복수 개 가지는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판처리장치에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부 (12, 12) 를 복수 개에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 기판반송수단 (16) 의 복수 개의 수취부 (12, 13) 중에서 적어도 1 개가 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다. 또한 반대로 레이아웃 구성에 있어서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (D) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 설정할 수 있다.
청구항 2 에 기재된 기판처리장치는, 청구항 1 에 기재된 기판처리장치에 있어서, 복수 개의 수취부 (12, 13) 중의 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 가, 상이한 면 (FA, SA) 에 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판처리장치에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부를, 상이한 면 (FA, SA) 에 있는 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 제 1 의 수취부 (12) 또는 제 2 의 수취부 (13) 가 배치되는 상이한 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 상기 상이한 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면에 면하도록 설정할 수 있다.
청구항 3 에 기재된 기판처리장치는, 청구항 2 에 기재된 기판처리장치에 있어서, 상기 상이한 면 (FA, SA) 의 각각이, 거의 직교하는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판처리장치에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부를, 각각 거의 직교하는 면 (FA, SA) 에 있는 상기 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 제 1 의 수취부 (12) 또는 제 2 의 수취부 (13) 가 배치되는 직교하는 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 상기 거의 직교하는 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면에 면하도록 설정할 수 있다.
청구항 4 에 기재된 노광장치는, 패턴을 가진 기판인 마스크 (R) 의 이 패턴을 감광기판 (W) 에 노광하는 노광장치로서, 마스크 (R) 의 반송에 청구항 1 내지 청구항 3 의 어느 한 항에 기재된 기판반송수단 (16) 을 사용한 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 노광장치에서는, 마스크 (R) 의 패턴 이미지를 감광기판 (W) 에 노광할 수 있다. 이 마스크 (R) 의 반송 시에는, 기판반송수단 (16) 에 의한 마스크 (R) 의 수취부 (12, 13) 를 복수 개에서 선택할 수 있다. 그래서, 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 반드시 기판이 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 기판반송수단 (16) 의 복수 개의 수취부 (12, 13) 중에서 적어도 1 개가 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 노광장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 설정할 수 있다.
청구항 5 에 기재된 노광장치는, 청구항 4 에 기재된 노광장치에 있어서, 노광장치 (7A~7D) 를 포위하는 상자 형태의 챔버 (9) 를 구비하고, 복수 개의 수취부 (12, 13) 중 적어도 1 개는, 상자 형태의 챔버 (9) 의 측면 (SA) 에 있는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 노광장치에서는, 마스크 (R) 의 패턴 이미지를 감광기판 (W) 에 노광할 수 있다. 이 마스크 (R) 의 반송 시에는, 기판반송수단 (16) 에 의한 마스크 (R) 의 수취부 (12, 13) 를, 복수 개에서 선택할 수 있다.
그리고, 상자 형태의 챔버 (9) 의 측면 (SA) 에 있는 수취부 (13) 를 선택한 경우에는, 기판반송수단 (16) 이 외부로부터 측면 (SA) 에서 마스크 (R) 를 수취할 수 있다.
청구항 6 에 기재된 기판처리방법은, 기판반송수단 (16) 에 형성된 복수 개의 수취부 (12, 13) 중 적어도 1 개를 통하여 기판 (R) 을 수취하고, 기판반송수단 (16) 으로 기판을 반송하고, 기판 (R) 을 사용하여 소정의 처리를 행하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 본 발명의 기판처리방법에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부 (12, 13) 를 복수 개에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 기판반송수단 (16) 의 복수 개의 수취부 (12, 13) 중 적어도 1 개가 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다. 또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적의 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 설정할 수 있다.
청구항 7 에 기재된 기판처리방법은, 청구항 6 에 기재된 기판처리방법에 있어서, 복수 개의 수취부 (12, 13) 중의 상이한 면 (FA, SA) 에 형성된 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 의 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판처리방법에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부를, 상이한 면 (FA, SA) 에 있는 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 제 1 의 수취부 (12) 또는 제 2 의 수취부 (13) 가 배치되는 상이한 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 상기 상이한 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면에 면하도록 설정할 수 있다.
청구항 8 에 기재된 기판처리방법은, 청구항 7 에 기재된 기판처리방법에 있어서, 거의 직교하는 상이한 면 (FA, SA) 에 형성된 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 의 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 기판처리장치에서는, 기판반송수단 (16) 에 의한 기판 (R) 의 수취부를, 각각 거의 직교하는 면 (FA, SA) 에 있는 제 1 의 수취부 (12) 와 제 2 의 수취부 (13) 에서 선택할 수 있다. 그래서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 제 1 의 수취부 (12) 또는 제 2 의 수취부 (13) 가 배치되는 직교하는 면 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 기판처리장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 기판처리장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 상기 거의 직교하는 (FA, SA) 중, 적어도 1 개의 면에 면하도록 설정할 수 있다.
청구항 9 에 기재된 노광방법은, 패턴을 가진 기판인 마스크 (R) 의 이 패턴을 감광기판 (W) 에 노광하는 노광방법으로서, 마스크 (R) 의 반송에 청구항 6 내지 청구항 8 의 어느 한 항에 기재된 기판반송수단 (16) 을 사용한 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 노광방법에서는, 마스크 (R) 의 패턴 이미지를 감광기판 (W) 에 노광할 수 있다. 이 마스크 (R) 의 반송 시에는, 기판반송수단 (16) 에 의한 마스크 (R) 의 수취부 (12, 13) 를 복수 개에서 선택할 수 있다. 그래서, 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 때에도, 반드시 기판이 동일 방향을 향할 필요가 없고, 상기 기판반송수단 (16) 의 복수 개의 수취부 (12, 13) 중에서 적어도 1 개가 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 수 있다.
또한 반대로, 레이아웃 구성에 있어서, 노광장치 (7A~7D) 를 최적한 상태로 배치한 후 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 를 설정할 수 있다.
청구항 10 에 기재된 노광방법은, 청구항 9 에 기재된 노광방법에 있어서, 노광장치 (7A~7D) 를 포위하는 상자 형태의 챔버 (9) 의 측면 (SA) 에 형성된 복수 개의 수취부 (12, 13) 중 적어도 1 개를 통하여 마스크 (R) 를 수취하는 것을 특징으로 하는 것이다.
따라서, 본 발명의 노광방법에서는, 마스크 (R) 의 패턴 이미지를 감광기판 (W) 에 노광할 수 있다. 이 마스크 (R) 의 반송 시에는, 기판반송수단 (16) 에 의한 마스크 (R) 의 수취부 (12, 13) 를 복수 개에서 선택할 수 있다.
그리고, 상자 형태의 챔버 (9) 의 측면 (SA) 에 있는 수취부 (13) 를 선택한 경우에는, 기판반송수단 (16) 이 외부로부터 측면 (SA) 에 있어서 마스크 (R) 를 수취할 수 있다.
본 발명은 기판을 사용하여 소정의 처리를 행하는 기판처리장치 및 그 방법, 특히 마스크 등의 기판을 사용하여 투영ㆍ전사처리하는 노광장치 및 그 방법에 관한 것이다.
도 1 은, 본 발명의 제 1 의 실시형태를 나타낸 도면으로서, 노광장치의 챔버 내에 복수 개의 개구부 도어에서 돌출되어 레티클 케이스를 수취할 수 있는 반송장치가 배치 형성된 개략 구성도,
도 2 는, 본 발명의 제 1 의 실시형태를 나타낸 도면으로서, 복수 개의 개구부 도어의 모두가 주행통로에 면하도록 노광장치가 배치된 개략 구성도,
도 3 은, 본 발명의 노광장치를 구성하는 시각인식마크의 정면도,
도 4 는 본 발명의 노광장치에 배치 형성된 레티클 케이스의 위치정합장치의 외관 사시도,
도 5 는, 본 발명의 제 1 의 실시형태를 나타낸 도면으로서, 노광장치 내에 설치된 반송장치에 의한 레티클 케이스의 반송 시퀀스를 설명하는 평면도,
도 6 는 본 발명의 노광장치를 구성하는 레티클 케이스의 위치정합장치의 레티클 케이스 재치면상에 올려놓은 레티클 케이스를 나타낸 평면도,
도 7 은, 본 발명의 제 2 의 실시형태를 나타낸 도면으로서, 노광장치의 챔버 내에 복수 개의 개구부 도어에서 돌출되어 레티클 케이스를 수취할 수 있는 반송장치가 복수개 배치 형성된 개략 구성도,
도 8 은, 본 발명의 제 2 의 실시형태를 나타낸 도면으로서, 복수 개의 개구부 도어의 모두가 주행통로에 면하도록 노광장치가 배치된 개략 구성도,
도 9 는, 종래의 기술에 의한 노광장치의 일례를 나타낸 외관 사시도,
도 10 은, 종래의 기술에 의한 노광장치가, 주행통로에 개구부 도어에 면하도록 배치한 평면도이다.
이하에서, 본 발명의 기판처리장치의 제 1 의 실시형태를, 도 1 내지 도 6 을 참조하면서 설명하기로 한다. 여기에서는, 기판처리장치를, 기판에 대하여 투영ㆍ전사처리하는 노광장치로 하는 경우의 예를 들어 설명하기로 한다. 또한, 기판 수수 수단에 의한 기판의 수수 위치를 2 지점으로 하는 경우의 예를 들어 설명하기로 한다. 이들 도면에 있어서, 종래예로서 나타낸 도 9 및 도 10 과 동일한 구성요소에는 동일 부호를 붙여, 그 설명을 간단히 하기로 한다.
도 2 에 있어서, 부호 (7A~7D) 는 크린 룸 내에 배치된 노광장치이고, 부호 (3) 은 AGV 이다. 노광장치 (기판처리장치)(7A~7D) 는 격자 형상으로 배치된 AGV (3) 용의 주행통로 (6A~6D) 에 4 변을 포위하는 장치설치부 (8) 에, 각각의 장치정면 (FA~FD) 이 상이한 주행통로 (6A~6D) 에 면하도록 설치되어 있다.
도 1 은, 노광장치 (7A) 의 내부 구성의 일례를 나타낸 개략 구성도이다 (노광장치 (7B~7C) 에 대해서는, 노광장치 (7A) 와 동일한 구성이므로 그 설명을 생략한다).
이 도면에서는, 레티클 반송계와 노광계만을 도시하고, 웨이퍼 반송계, 챔버 내를 소정의 환경으로 유지하기 위한 공조계 등의 도시를 생략한다 또한, 이 도면에 있어서, 연직방향 (노광계의 투영광학계의 광축방향) 을 Z 방향으로 하고, Z 방향과 직교하는 방향을 X 방향 및 Y 방향으로 한다.
노광장치 (7A) 는, 외부에서 수취한 기판인 레티클 (R)(마스크) 을 사용하여, 이 레티클 (R) 의 패턴을 웨이퍼 (W)(감광기판) 에 노광하는 것으로서, 이 노광장치 (7A) 를 포위하는 상자 형태의 챔버 (9) 를 구비하고 있다. 챔버 (9) 의 정면 (FA) 과, 이 정면 (FA) 에 거의 직교하는 측면 (FA) 에는, 힌지를 통하여 개폐 가능한 개폐 도어 (10, 11) 가 각각 형성되어 있다. 이들 개폐 도어 (10, 11) 에는, 가로길이의 개구부 도어 (제 1 의 수취부 ; 12) 및 개구부 도어 (제 2 의 수취부 ; 13) 가 형성됨과 동시에, 도 3 에 나타내어진 시각인식마크 (14, 14) 가 각각 형성되어 있다.
개구 도어 (10, 11) 의 내측에는, 거의 직방체 형상의 레티클 케이스 (RC) 에 수납된 상태에서 외부로부터 반송되는 레티클 (R) 을 수취하는 반송장치 (기판반송수단; 16) 이 형성되어 있다. 반송장치 (16) 는 반송 암 (15) 을 개구부 도어 (12, 13) 의 어느 쪽으로부터도 돌출시켜, 상기 레티클 케이스 (RC) 를 수취할 수 있는 구성으로 되어 있다.
반송 암 (15) 은 전체적으로 상하방향 (Z 방향) 으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한 이 반송 암 (51) 은 XY 평면 내에서 회전할 수 있음과 동시에, 회전축에 대하여 신축할 수 있도록 되어 있다. 반송장치 (16) 옆으로는, 레티클 케이스 (RC) 의 XYθ 방향을 수정하는 레티클 케이스 위치정합장치 (17), 및 복수의 레티클 (R) 을 각각 레티클 케이스 (RC) 에 수납한 상태에서 복수 개가 보관되는 레티클 라이브러리 (18) 가 베이스 (19) 상에 배치되어 있다.
도 4 에 나타낸 바와 같이, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 는 그 상면이 반송 암 (15) 에서 수수된 레티클 케이스 (RC) 가 놓여진 레티클 케이스 재치면 (17A) 로 되어 있다. 레티클 케이스 재치면 (17A) 에는, 3 개의 레티클 케이스 수수 핀 (50A, 50B, 50C) 과, 레티클 케이스 (RC) 의 XYθ 방향의 위치를 수정하기 위한 얼라인먼트 핀 (51A~51G) 이 형성되어 있다. 수수 핀 (50A, 50B, 50C) 은, 예를 들어 동기되어 상하로 움직임으로써 반송 암 (15) 과의 사이에서 레티클 케이스 (RC) 를 수수하도록 구성되어 있다.
얼라인먼트 핀 (51A~51G) 의 상단에는 Z 축의 둘레에 자유롭게 회전할 수 있는 회전 롤러 (52) 가 형성되어 있다. 또한, 얼라인먼트 (51A, 51B, 51C) 는, 레티클 케이스 재치면 (17A) 에 형성된 Y 방향으로 가늘고 긴 슬롯 (53A, 53B, 53C) 를 따라서 Y 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다.
또한, 얼라인먼트 핀 (51D, 51E, 51F, 51G) 은, 레티클 케이스 재치면 (17A) 에 형성된 X 방향으로 가늘고 긴 슬롯 (53D, 53E, 53F, 53G) 을 따라서 X 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 이들 수수 핀 (50A~ 50C) 및 얼라인먼트 핀 (51A~51G) 은 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 에 내장된 모터, 에어실린더 등의 구동장치에 의하여 구동되는 구성으로 되어 있다.
한편, 도 1 에 나타낸 바와 같이, 챔버 (9) 내에는 노광계 (20) 가 배치되어 있다.
노광계 (20) 는 레티클 스테이지 (RS) 상에 유지된 레티클 (R) 을 노광광으로 조명하는 도시하지 않은 조명광학계과, 웨이퍼 (W) 를 올려놓고 XY 방향으로 이동할 수 있는 기판 스테이지 (ST) 와, 레티클 스테이지 (RS) 상에 유지된 레티클 (R) 의 패턴 이미지를 웨이퍼 (W) 상에 투영하는 투영광학계 (PL) 등으로 이루어진 것이다.
그리고, 레티클 라이브러리 (18) 와 노광계 (20) 사이에는 레티클 반송장치 (21) 가 배치 형성되어 있다. 레티클 반송장치 (21) 는, 레티클 라이브러리 (18) 에 보관되어 있는 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 에서 소망하는 레티클 (R) 을 노광계 (20) 의 레티클 스테이지 (RS) 상으로 반송하고, 또한 사용이 끝난 레티클 (R) 을 레티클 스테이지 (RS) 에서 레티클 라이브러리 (18) 에 유지되어 있는 레티클 케이스 (RD) 로 반송하여 되돌리는 것으로서, 슬라이더 (22) 와 캐리어 (23) 와 로드암 (24) 과 언로드 암 (25) 을 구비하고 있다.
슬라이더 (22) 는, 레티클 라이브러리 (18) 에 보관된 레티클 케이스 (RC) 내에, XY 평면과 평행으로 수납된 레티클 (R) 을 레티클 케이스 (RC) 에서 꺼내거나, 레티클 케이스 (RC) 로 되돌리는 것으로서, Y 방향 및 Z 방향으로 이동할 수 있도록 형성되어 있다. 또한, 이 슬라이더 (22) 에는, 진공흡착 구멍이 형성되어 있고, 도시하지 않은 진공펌프의 ON, OFF 에 의하여 레티클 (R) 의 진공흡착 유지 및 유지해제를 행하는 구성으로 되어 있다.
캐리어 (23) 는 X 방향으로 이동할 수 있다. 그리고 이 캐리어 (23) 는 그 하부에 진공흡착 구멍을 가지고 레티클 (R) 의 진공흡착 유지 및 유지 해제를 행하고, 레티클 (R) 을 슬라이더 (22) 와 수수 위치 (CA1) 에서 위치 (CA2) 까지 반송하는 것이다. 또한, 캐리어 (23) 에는, 4 변을 기준으로 2 방향에서 끼워지고 레티클 (R) 을 프리 얼라인먼트하는 기구 (도시하지 않음) 가 형성되어 있다.
로드암 (24) 과 언로드암 (25) 은, Y 방향 및 Z 방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 또한, 로드암 (24) 과 언로드암 (25) 은, 위치 (CA2) 와 레티클 스테이지 (RS) 사이를 Y 방향으로 개별적으로 이동할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이들 로드암 (24) 과 언로드암 (25) 은, Z 방향에 대하여 일체적으로 이동하는 구성으로 되어 있다. 또한, 로드암 (24) 및 언로드암 (25) 에는, 슬라이더 (22) 와 동일하게 레티클 (R) 을 유지하기 위한 진공흡착 구멍이 형성되어 있고, 진공의 ON, OFF 에 의하여 레티클 (R) 의 진공흡착 유지 및 유지 해제가 가능하도록 되어 있다.
상기 구성의 노광장치 (7A)(7B~7C 도 동일함) 의 동작에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 도 2 에 나타낸 바와 같이, 도시하지 않은 레티클 스토커에서 소망하는 레티클이 수납된 레티클 스테이지 (RS) 를 수취한 AGV (3) 는, 상위 컴퓨터의 지령에 따라서, 레티클 케이스 (RC) 를 수수해야 하는 노광장치 (7A) 의 정면 (FA) 바로 앞까지 주행하고 정지한다.
도 1 에 나타낸 바와 같이, 노광장치 (7A) 의 정면 (FA) 에 배치 형성된 개폐 도어 (10) 에는, 예를 들어 도 3 에 나타낸 바와 같이, 원 마크 또는 둥근 고리 마크 등의 마크 (14A) 로 이루어지는 시각인식마크 (14) 가 형성되어 있다. 그래서, AGV (3) 는 촬상장치 (도시하지 않음) 로 이 시각인식마크 (14) 를 촬상하고, 시각인식마크 (14) 의 위치를 기준으로 하여 노광장치 (7A) 내에 구비되어 있는 반송장치 (16) 사이에서 레티클 케이스 (RC) 의 수수 위치를 결정한다.
노광장치 (7A) 측에서는, 상위 컴퓨터의 지령에 따라서, 노광장치 (7A) 자체를 제어하는 컴퓨터가 반송장치 (16) 를 구동시킨다.
즉, 먼저, 챔버 (9) 의 정면 (FA) 의 개구부 도어 (12) 를 연다. 다음으로, 노광장치 (7A) 내에 설치된 반송장치 (16) 의 반송 암 (15)을, 개구부 도어 (12) 에서 챔버 (9) 바깥의 레티클 케이스 수수위치까지 돌출시킨다.
AGV (3) 은, 노광장치 (7A) 의 제어컴퓨터와 광통신 등에 의하여 교신하고, 상호 타이밍을 취하면서, 레티클 스토커에서 반송되어온 레티클 케이스 (RC) 를 반송장치 (16) 의 반송 암 (15)에 수수한다.
도 5 는, 노광장치 (7A) 내에 설치된 반송장치 (16) 에 의한 레티클 케이스 (RC) 의 반송 시퀀스를 설명하는 평면도이다. 도 5a 는, 레티클 케이스 수수 위치에서, AGV 에서 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 에 레티클 케이스 (RC) 가 수수된 상태를 나타낸다.
AGV 가 레티클 케이스 (RC) 를 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 상에 놓고, 동시에 반송 암 (15) 의 진공흡착이 ON 이 되고, 레티클 케이스 (RC) 를 진공흡착 유지한다. 이어서, 도 5b 에 나타낸 바와 같이, 반송 암 (15) 이 레티클 케이스 (RC) 를 챔버 (9) 내의 홈포지션으로 인입한다. 그리고, 도 5c 에 나타낸 바와 같이, 레티클 케이스 (RC) 를 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 의 방향으로 향하므로 반송 암 (15) 이 90°회전한다.
레티클 케이스 위치정합장치 (17) 에 대한 레티클 케이스 (RC) 의 수수 시에는, 도 5d 에 나타낸 바와 같이, 반송 암 (15) 이 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 의 상방으로 진입한다. 그 후, 레티클 케이스 수수 핀 (50A, 50B, 50C) 이 상승하고 레티클 케이스 (RC) 의 저면에 접촉된 후, 반송 암 (15) 의 진공흡착을 OFF 한다.
이로써, 레티클 케이스 (RC) 는, 레티클 케이스 수수 핀 (50A, 50B, 50C) 상에 수수된다. 그후, 반송 암 (15) 은 레티클 케이스 (RC) 보다 하방으로 물러난다 계속하여, 레티클 케이스 수수 핀 (50A, 50B, 50C) 이 하강하여, 레티클 케이스 (RC) 는, 레티클 케이스 재치면 (17A) 상에 놓인다.
도 6 은, 레티클 케이스 위치정합위치 (17) 의 레티클 케이스 재치면 (17A) 상에 놓인 레티클 케이스 (RC) 를 나타내는 평면도이다. 여기에서, 이 도면을 참조하여 노광장치 (7A) 의 컴퓨터에 의한 레티클 케이스 (RC) 의 위치정합에 대하여 설명하기로 한다.
먼저, 노광장치 (7A) 의 컴퓨터는, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 내의 구동장치에 의하여 얼라인먼트 핀 (51A, 51B) 을 Y 방향의 소정 위치까지 구동시키고, 동시에 얼라인먼트 핀 (51C) 를 -Y 방향의 소정 위치까지 구동시킨다. 이 동작에 의하여, 얼라인먼트 핀 (51A, 51B) 은, 레티클 케이스 (RC) 의 가이드부 (26A) 에 접촉하여 +Y 방향으로 누르면서 위치를 규제한다. 반대측의 얼라인먼트 핀 (51C) 은, 가이드부 (26B) 에 접촉하여, -Y 방향으로 누르면서 위치를 규제한다. 그 결과, 레티클 케이스 (RC) 의 Y 방향 위치 및 θ 방향의 회전위치가 소정의 상태로 규제된다. 그리고, 레티클 케이스 (RC) 의 Y 방향 및 θ 방향의 위치정합이 이루어진다.
다음으로, 노광장치 (7A) 의 컴퓨터는, 얼라인먼트 핀 (51D) 을 -X 방향으로 소정 위치까지 구동하고, 동시에 얼라인먼트 핀 (51E) 을 +X 방향으로 소정 위치까지 구동한다. 이로써, 가이드부 (26A) 는 X 방향 위치를 규정받는다. 동시에 상기 컴퓨터는, 얼라인먼트 핀 (51F) 을 -X 방향으로 소정 위치까지 구동하고, 동시에 얼라인먼트 핀 (51G) 을 +X 방향으로 소정 위치까지 구동한다. 이로써 가이드부 (26B) 는 X 방향 위치를 규정받는다.
이때, 레티클 케이스 (RC) 는, Yθ방향의 위치를 규제하는 얼라인먼트 핀 (51A~51C) 에 의하여 사이에 끼워진 상태에서 X 방향으로 이동하게 되는데, 얼라인먼트 핀 (51A~51C) 은 회전롤러 (52) 를 통하여 레티클 케이스 (RC) 의 가이드부 (26A, 26B) 와 접촉하고 있다. 그래서, 레티클 케이스 (RC) 는, 얼라인먼트 핀 (51A~51C) 에 의한 가이드부 (26A, 26B) 의 누름에 의하여 그 X 방향의 위치정합이 방해받지 않는다. 이렇게 하여, 레티클 케이스 (RC) 의 위치정합이 완료된다.
노광장치 (7A) 의 컴퓨터는, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 에 의한 레티클 케이스 (RC) 의 위치정합이 완료되면, 얼라인먼트 핀 (51A~51G) 을 레티클 케이스 (RC) 의 외주부에서 떨어지도록 구동한다. 이어서, 레티클 케이스의 수수 핀 (50A~50C) 이 상승하여, 레티클 케이스 (RC) 를 들어올린다.
다음으로, 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 이, 레티클 케이스 (RC) 의 하방으로 이동하여, 레티클 케이스 수수 핀 (50A~50C) 상에 놓여진 레티클 케이스 (RC) 를 수취한다. 반송 암 (15) 은, 레티클 케이스 (RC) 를 수취하면, 진공흡착을 ON 으로 하여 레티클 케이스 (RC) 를 고정시킨다. 레티클 케이스 (RC) 를 유지한 반송 암 (15) 은, 도 5e 에 나타낸 바와 같이 다시 홈포지션으로 돌아온다.
홈포지션에서, 반송 암 (15) 은 도 5f 에 나타낸 바와 같이 90°회전하고, 레티클 라이브러리 (18) 의 방향으로 향한다. 이어서, 레티클 케이스 (RC) 를 유지한 반송 암 (15) 은, 도시하지 않은 상하 동축 (Z 방향) 에 의하여 소정 높이로 위치결정된 후, 도 5g 에 나타낸 바와 같이, 레티클 라이브러리 (18) 의 소정 장소로 진입하고, 반송 암 (15) 의 진공흡착을 OFF 으로 한다. 반송 암 (15) 이 하방으로 물러나면, 레티클 케이스 (RC) 는 레티클 라이브러리 (18) 에 내장된 도시하지 않은 레티클 케이스 자동고정기구에 의하여 자동적으로 고정된다.
비어 있는 반송 암 (15) 은, 도 5h 에 나타낸 바와 같이, 다시 홈포지션으로 되돌아가고 반송 시퀀스를 종료한다. 그리고, 반송 암 (15) 이 180°회전하면 도 5b 의 상태로 돌아간다. 레티클 라이브러리 (18) 에서 필요 없게 된 레티클을 꺼내는 경우에는 상기 순서를 반대로 행한다.
도 1 에 나타낸 바와 같이, 레티클 라이브러리 (18) 내에 보관된 레티클 케이스 (RC) 의 레티클 (R) 에 대해서는, 슬라이더 (22) 가 레티클 케이스 (RC) 내로 진입하여, 미리 지정된 레티클 (R) 만을 진공흡착으로 유지한 상태에서 -Y 방향으로 꺼내고, 그대로 Z 방향의 최상의 위치까지 이동하여, 캐리어 (23) 의 수수 위치 (CA1) 까지 레티클 (R) 을 반송한다.
수수 위치 (CA1) 에 있어서, 슬라이더 (22) 가 레티클 (R) 에 대한 흡착유지를 해제함과 동시에, 캐리어 (23) 가 진공흡착구멍에서 레티클 (R) 을 흡착 유지함으로써, 레티클 (R) 의 수수가 이루어진다. 그리고, 캐리어 (23) 는, 레티클 (R) 을, 흡착 유지한 상태에서 수수하고 위치 (CA1) 에서 위치 (CA2) 까지 반송한다. 이때, 레티클 (R) 은, 프리 얼라인먼트된다.
위치 (CA2) 에 있어서, 레티클 (R) 은, 캐리어 (23) 에 의한 흡착유지가 해제됨과 동시에, 로드암 (24) 에 의하여 흡착 유지됨으로써, 로드암 (24) 에 수수된다. 로드암 (24) 은, 레티클 (R) 을 흡착 유지한 상태에서 -Y 방향으로 이동한 후, 흡착유지를 해제하여 레티클 (R) 을 레티클 스테이지 (RS) 상에 놓는다.
그리고, 레티클 스테이지 (RS) 상에서 유지된 레티클 (R) 은, 노광계 (20) 에 있어서 조명광학계의 노광광으로 조명됨으로써, 레티클 (R) 의 패턴 이미지가 투영광학계 (PL) 를 통하여 기판 스테이지 (ST) 상에 놓인 웨이퍼 (W) 상에 투영 전사된다.
레티클 스테이지 (RS) 에서 필요 없게 된 레티클 (R) 을 꺼내는 경우에는, 언로드 암 (25) 이 레티클 스테이지 (RS) 상에 놓인 레티클 (R) 을 흡착 유지하여 위치 (CA2) 로 이동한다. 이후, 상기와 반대 순서를 취함으로써, 캐리어 (23), 슬라이더 (22) 를 통하여 레티클 (R) 을 레티클 라이브러리 (18) 로 수납한다.
한편, 노광장치 (7A) 의 반송장치 (16) 에 레티클 케이스 (RC) 를 수수한 AGV (3) 는, 도 2 에 나타낸 주행통로 (6A) 를 주행하여 노광장치 (7C) 의 측면 (SC) 앞까지 주행하고 정지한다. 여기에서, 상기 노광장치 (7A) 와 마찬가지로 레티클 케이스 (RC) 의 수수를 행한다. 이때 노광장치 (7C) 내에 배치 형성된 반송장치 (16) 는, 그 반송 암 (15) 을, 주행통로 (6A) 에 면하는 개구부 도어 (13) 에서 챔버 (9) 의 외부로 돌출시켜 레티클 케이스 (RC) 를 수취한다.
그 이후, AGV (3) 는, 주행통로 (6B) 및 주행통로 (6C) 를 순차적으로 주행함으로써, 노광장치 (7D) 의 측면 (SD) 및 노광장치 (7B) 의 측면 (SB) 에서 돌출된 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 사이에서, 레티클 케이스 (RC) 를 각각 수수할 수 있다.
AGV (3) 가 이 경로에서 주행통로를 주행하는 경우에는, 예를 들어 노광장치 (7C) 의 정면 (FC), 노광장치 (7D) 의 정면 (FD) 및 노광장치 (7B) 의 측면 (SB) 에서 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 을 돌출시켜, 레티클 케이스 (RC) 를 수수하는 것도 선택할 수 있다.
또한, AGV (3) 는 상기 경로와 상이한 경로를 선택할 수도 있다.
즉, 예를 들어 주행통로 (6D, 6C, 6B) 를 순차적으로 주행함으로써, 노광장치 (7A) 의 측면 (SA), 노광장치 (7B) 의 정면 (FB), 및 노광장치 (7D) 의 측면 (SD) 및 노광장치 (7C) 의 정면 (FC) 에서 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 을 돌출시켜, 레티클 케이스 (RC) 를 수수하는 것도 선택할 수 있다.
본 실시형태의 노광장치에서는, 챔버 (9) 의 정면 (FA) 과, 정면 (FA) 에 거의 직교하는 측면 (SA) 의 쌍방에 개구부 도어 (12, 13) 가 형성되어 있고, 반송장치 (16) 의 반송 암 (15) 이 개구부 도어 (21) 의 어느 쪽에서도 외부로 돌출되어, 레티클 케이스 (RC) 를 수취할 수 있으므로, 레티클 케이스 (RC) 의 수취 위치를 적절히 선택할 수 있다.
그래서, 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 레티클 케이스 (RC) 의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있고, 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있게 된다.
또한, 각 노광장치 (7A~7D) 의 개구부 도어 (12, 13) 를 쌍방 모두 주행통로 (6A~6D) 의 어느 한쪽에 면하도록 각 노광장치 (7A~7D) 를 배치함으로써, 레티클 케이스 (RC) 를 반송하는 AGV (3) 도, 그 주행통로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 레티클 케이스 (RC) 를 반송할 때의 AGV (3) 의 주행통로를 가장 효율적이 되도록 선택하여 설정할 수 있다.
도 7 및 도 8 은, 본 발명의 제 2 실시형태를 나타내는 도면이다.
이들 도면에 있어서, 도 1 내지 도 6 에 나타낸 제 1 실시형태의 구성요소와 동일한 요소에 대하여 동일 부호를 붙이고, 그 설명을 간단히 하기로 한다. 제 2 의 실시형태와 상기 제 1 실시형태가 상이한 점은 챔버 및 반송장치의 구성이다.
즉, 도 7 에 나타낸 바와 같이, 챔버 (9) 의 정면 (FA) 의 양 단측에는, 힌지를 통하여 개폐 가능한 개폐 도어 (10, 28) 가 각각 형성되어 있다. 이들 개폐 도어 (10, 28) 에는, 가로길이의 개구부 도어 (12) 및 폐구부 도어 (제 1 수취부, 30) 가 형성됨과 동시에, 도 3 에 나타낸 바와 같은 시각인식마크 (14 …14) 가 각각 형성되어 있다.
또한, 정면 (FA) 에 각각 거의 직교하는 측면 (SA) 및 측면 (KA) 에는, 힌지를 통하여 개폐 가능한 개폐 도어 (11, 27) 가 각각 형성되어 있다. 이들 개폐 도어 (11, 27) 에는, 가로길이의 개구부 도어 (13) 및 폐구부 도어 (제 2 수취부, 29) 가 형성됨과 동시에, 도 3 에 나타낸 바와 같은 시각인식마크 (14 …14) 가 각각 형성되어 있다.
개폐 도어 (10, 11) 의 내측에는, 레티클 케이스 (RC) 에 수납된 상태에서 외부에서 반송되는 레티클 (R) 을 수취하는 반송장치 (16) 가 형성되어있다. 또한 개폐 도어 (27, 28) 의 내측에도, 레티클 케이스 (RC) 에 수납된 상태에서 외부에서 반송되는 레티클 (R) 을 수취하는 반송장치 (31)(기판반송수단) 가 형성되어 있다.
반송장치 (31) 는, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 를 사이에 두고 끼워져 반송장치 (16) 에 대향하여 배치되어 있다. 또한, 이 반송장치 (31) 는, 반송 암 (32) 을 개구부 도어 (29, 30) 의 어느 쪽으로부터도 돌출시켜, 상기 레티클 케이스 (RC) 를 수취할 수 있게 되어 있다. 반송 암 (32) 은 전체적으로 상하방향 (Z 방향) 으로 이동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 이 반송 암 (32) 은, XY 평면 내에서 회전할 수 있음과 동시에, 회전축에 대하여 신축할 수 있도록 되어 있다. 그리고, 이들 반송장치 (16, 31) 는 어느 한쪽, 또는 양방을 자유롭게 선택하여 구동되도록 구성되어 있다.
그리고, 도 8 에 나타낸 바와 같이 이들 챔버 (9) 및 반송장치 (16, 31) 를 각각 구비한 노광장치 (7A, 7B) 는, 장치설치부 (8) 에 정면 (FA, FB) 가 주행통로 (6D) 에 면하도록 배치되어 있다. 또한 마찬가지로, 챔버 (9) 및 반송장치 (16, 31) 를 각각 구비한 노광장치 (7C, 7D) 는, 반송설치부 (8) 에 정면 (FC, FD) 이 주행통로 (6B) 에 면하도록 배치되어 있다.
본 실시형태의 노광장치에서는, 상기 제 1 실시형태와 동일한 작용ㆍ효과가 얻어지는 것에 부가하여, 반송장치 (16, 31) 를 적절히 선택하여 나누어 사용함으로써, 상자 형태인 챔버 (9) 의 3 방향에서 레티클 케이스 (RC) 를 수취할 수 있으므로, 장치설치부 (8) 에 노광장치 (7A~7D) 를 배치할 때, 자유도가 더욱 증대되어 효율적인 레이아웃 구성을 선택할 수 있다.
또한 노광장치 (7A, 7B) 가 동일한 주행통로 (6D) 에, 각각 정면 (FA, FB) 을 면하게 하고, 또한 노광장치 (7C, 7D) 도 동일한 주행통로 (6B) 에 각각 정면 (FC, FD) 을 면하도록 배치함으로써, 메인테이넌스 작업 시의 이동을 적게 할 수 있으므로 효율적으로 작업을 행할 수 있다.
또한, 본 발명의 기판처리장치에서는, 상기 실시형태에 있어서 기판처리를, 웨이퍼에 대하여 레티클의 패턴 이미지를 투영ㆍ전사하는 노광처리 구성으로 하였으나, 여기에 한정되는 것이 아니다. 예를 들어, 웨이퍼에 포토레지스트를 도포하는 코터, 또는 노광장치로 노광된 웨이퍼를 현상하는 현상장치 (디벨로퍼) 에 적용하는 구성일 수도 있다. 또한, 본 발명의 기판처리장치에서는, 레티클을 반송대상으로 하는 구성으로 하였으나, 여기에 한정되지 않는다. 예를 들어, 액정디스크플레이에 사용되는 유리기판 또는 마스크, 웨이퍼 등의 다른 기판을 반송대상으로 할 수도 있다.
또한, 본 발명의 기판처리장치에서는, 상기 실시형태에 있어서, AGV (3) 에 의하여 반송된 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 를 노광장치 (7A) 의 레티클 라이브러리 (18) 에 수납할 때, 반송 암 (15) 으로 수취한 레티클 케이스 (RC) 를 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 에 놓아 위치정합하고, 위치정합된 레티클 케이스 (RC) 를 레티클 라이브러리 (18) 의 소정의 위치에 1 개씩 수납하는 동작을 반복하는 것으로 하였다. 이 경우, 모든 레티클 케이스 (RC) 를 AGV (3) 에서 노광장치 (7A) 의 레티클 라이브러리 (18) 로 옮기는데 장시간을 필요로 함과 동시에, 그 동안, AGV (3) 는 계속해서 그 노광장치 (7A) 의 레티클 케이스 수수 위에 정지해있어야 한다. 반대로, 1 개의 노광장치인 레티클 라이브러리 (18) 에서 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 를 꺼내어 AGV (3) 로 수수하는 경우에도, 레티클 라이브러리 (18) 에서 꺼낸 레티클 케이스 (RC) 를 1 개씩 레티클 위치정합장치 (17) 에서 위치정합시킨 후, AGV (3) 에 수수하는 동작을 반복하게 하면, 모든 레티클 케이스 (RC) 의 수수에 장시간을 필요로 하고, 그 동안 AGV (3) 를 구속하게 된다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여, 상기 노광장치 (7A) 에서는 도 1 및 도 7 에 나타낸 바와 같이, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 의 근방에 복수의 레티클 케이스 (RC) 를 일시적으로 수납할 수 있는 레티클 케이스 수납선반 (33) 을 형성한 구성으로 할 수도 있다. 이 경우, 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 을 AGV (3) 에서 수취하여 레티클 라이브러리 (18) 에 수납할 때에는, 노광장치 (7A) 측의 반송 암 (15) 은, AGV (3) 에서 수수된 레티클 케이스 (RC) 를 위치정합시키지 않고 순차적으로 레티클 수납선반 (33) 에 수납할 수 있다. 그리고 모든 레티클 케이스 (RC) 의 수수가 완료되면, AGV (3) 는 다음 작업위치로 이동하고, 노광장치 (7A) 의 내부에서는 레티클 케이스 수납선반 (33) 에 일시적으로 수납된 레티클 케이스 (RC) 를 순차적으로 꺼내고, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 상으로 반송하여 위치정합시킨 후, 레티클 라이브러리 (18) 의 소정 위치에 수납한다.
반대로, 노광장치 (7A) 의 레티클 라이브러리 (18) 에서 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 를 AGV (3) 에 수수할 때에는, 반송 암 (15) 은 지정된 레티클 케이스 (RC) 를 레티클 라이브러리 (18) 에서 꺼내고, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 상에 놓아 위치정합시킨 후, 레티클 케이스 수납선반 (33) 에 수납하는 동작을, 모든 레티클 케이스 (RC) 를 꺼내는 것을 완료할 때까지 반복한다. 이렇게 하여, 미리 위치정합이 완료된 레티클 케이스 (RC) 를, 레티클 케이스 수납선반 (33) 에서 순차적으로 AGV (3) 에 수수함으로써, 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 를 단시간에 노광장치 (7A) 에서 AGV (3) 로 수수할 수 있다. 이렇게, 레티클 케이스 위치정합장치 (17) 의 근방에 복수 개의 레티클 케이스 (RC) 를 일시적으로 수납할 수 있는 레티클 케이스 수납선반 (33) 을 형성함으로써, AGV (3) 의 구속시간을 단축시켜 효율적으로 AGV (3) 를 운전할 수 있다.
또한, 상기한 실시형태에서는, AGV 가 크린 룸 내의 바닥면을 주행하는 타입의 것으로 하였다. 그러나, 본 발명에서 사용할 수 있는 AGV 는, 바닥면을 주행하는 타입의 것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 레티클 스토커 및 노광장치의 상방에 궤도를 부설하여, 그 궤도를 따라서, 모터, 또는 리니어 모터 방식으로 레티클 케이스 반송용의 캐리어를 이송하는 타입, 즉 OHT (Over Head Transpertation) 반송을 사용할 수 있다. 그 경우, AGV 와의 사이에서 레티클 케이스를 수수하기 위하여, 레티클 스토커 또는 노광장치에 형성된 개구부 도어는, 레티클 스토커 또는 노광장치의 상면에 형성할 수도 있다.
또는, 레티클 스토커 및 노광장치를 설치한 바닥면 아래에 궤도를 부설하고, 그 궤도를 따라서 레티클 케이스 반송용의 캐리어를 이송하도록 할 수도 있다. 이 경우에는, 레티클 케이스를 수수하기 위한 개구부 도어를 레티클 스토커 및 반송장치의 하면에 형성할 수도 있다. 나아가 AGV 반송과 OHT 반송을 조합하여, 웨이퍼의 반송에는 AGV 반송을 사용하고, 레티클의 반송에는 OHT 반송을 사용하는 구성을 채용할 수도 있다.
또한, 노광장치에서는, 레티클 (R) 과 웨이퍼 (W) 를 정지시킨 상태에서 레티클 (R) 의 패턴을 노광하고, 웨이퍼 (W) 를 순차적으로 이동시키는 스텝ㆍ앤드ㆍ리피트형의 노광장치에서도, 레티클 (R) 과 웨이퍼 (W) 를 동기 이동시켜 레티클 (R) 의 패턴을 노광하는 주사형의 노광장치에도 적용할 수 있다. 노광장치의 종류로는, 반도체 제조용의 노광장치에 한정되지 않는다. 예를 들어, 각형 (角形) 의 유리 플레이트에 액정표시소자 패턴을 노광하는 액정용의 노광장치, 또는 박막자기헤드를 제조하기 위한 노광장치에도 널리 적용할 수 있다.
또한, 도시하지 않은 조명광학계의 광원으로서, KrF 엑시머레이저 (248 ㎚), ArF 엑시머레이저 (193 ㎚), F2레이저 (157 ㎚) 뿐만 아니라, X 선이나 전자선 등의 하전입자선을 사용할 수 있다. 예를 들어, 전자선을 사용하는 경우에는, 전자총으로서, 열전자 방사형의 란탄 헥사보라이트 (LaB6), 탄탈 (Ta) 을 사용할 수 있다.
투영광학계 (PL) 의 배율은, 축소계 뿐만 아니라, 등배 및 확대계의 어떠한 것일 수도 있다. 또한, 투영광학계 (PL) 로는, 엑시머레이저를 사용하는 경우에는 초재(硝材)로서 석영 또는 형석을 사용하고, X 선을 사용하는 경우에는 반사굴절계의 광학계로 하며 (레티클도 반사형 타입을 사용한다), 또한 전자선을 사용하는 경우에는 광학계로서 전자렌즈 및 편광기로 이루어지는 전자광학계를 사용할 수도 있다. 또한, 전자선이 통과하는 광로는, 진공상태로 하는 것은 말할 것도 없다.
또한, 투영광학계 (PL) 를 사용하지 않고, 레티클 (R) 과 웨이퍼 (W) 를 밀접하게 하여, 레티클 (R) 의 패턴을 노광하는 프록시미티 노광장치에도 적용할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 청구항 1 에 관계되는 기판처리장치는, 기판반송수단이 외부에서 기판을 수취하는 수취부를 복수 개 가지는 구성으로 되어 있다. 이로써, 이 기판처리장치에서는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 기판 수취위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있게 된다. 또한, 각 기판처리장치의 수취부를 주행통로의 어느 한쪽에 면하도록 기판처리장치를 배치함으로써, 기판을 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적이 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율을 향상시킬 수도 있다.
청구항 2 에 관계되는 기판처리장치는, 복수 개의 수취부 중, 제 1, 제 2 의 수취부가 상이한 면에 있는 구성으로 되어 있다. 이로써, 이 기판처리장치에서는, 제 1, 제 2 의 수취부가 배치되는 상이한 면 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로에 면하도록 기판처리장치를 배치할 수 있고, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에 있어서, 기판의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상을 실현할 수 있다.
청구항 3 에 관계되는 기판처리장치는, 상기 상이한 면의 각각이, 거의 직교하는 구성으로 되어 있다. 이로써, 이 기판처리장치에서는, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없는데, 예를 들어 배면 정합으로 장치를 배치할 수도 있으므로, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 기판의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 효율적으로 이용할 수 있다. 또한, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상을 실현할 수 있다.
청구항 4 에 관계되는 노광장치는, 마스크의 반송에 청구항 1 내지 청구항 3 의 어느 한 항에 기재된 기판반송수단을 사용하는 구성으로 되어 있다. 이로써 이 노광장치에서는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 마스크의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 효율적으로 이용할 수 있다. 또한, 각 노광장치의 수취부를 주행통로의 어느 한쪽에 면하도록 노광장치를 배치함으로써, 마스크를 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 마스크를 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율을 향상시킬 수도 있다.
청구항 5 에 관계되는 노광장치는, 복수 개의 수취부 중의 적어도 1 개가, 노광장치를 포위하는 상자형의 챔버의 측면에 있는 구성으로 되어 있다. 이로써, 이 노광장치에서는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 마스크의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 각 노광장치의 수취부를 주행통로의 어느 한쪽에 면하도록 노광장치를 배치함으로써, 마스크를 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 마스크를 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 항상도 실현할 수 있다.
청구항 6 에 관계되는 기판처리방법은, 복수 개의 수취부 중 적어도 1 개를 통하여 외부에서 기판반송수단이 기판을 수취하는 공정을 가진다. 이로써, 이 기판처리방법을 실시할 때에는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 기판의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 각 기판처리장치의 수취부를 주행경로의 어느 한쪽에 면하도록 기판처리장치를 배치함으로써, 기판을 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상을 실현할 수도 있다.
청구항 7 에 관계되는 기판처리방법은, 상이한 면에 형성된 제 1, 제 2 의 수취부 중 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 공정을 가진다. 이로써, 이 기판처리방법을 실시할 때에는, 제 1, 제 2 의 수취부가 배치되는 상이한 면 중, 적어도 1 개의 면이 주행통로에 면하도록 기판처리장치를 배치할 수 있고, 기판을 배치할 때의 레이아웃 구성에, 기판의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상도 실현할 수 있다.
청구항 8 에 기재된 기판처리방법은, 거의 직교하는 상이한 면에 형성된 제 1, 제 2 의 수취부 중 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 공정을 가지고 있다. 이로써 이 기판처리방법을 실시할 때에는, 장치가 반드시 동일 방향을 향할 필요가 없고, 예를 들어 배면 정합으로 장치를 배치 형성할 수도 있으므로, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 기판의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 기판을 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 선택할 수 있으므로, 생산효율의 향상을 실현할 수도 있다.
청구항 9 에 기재된 노광방법은, 마스크의 반송에 청구항 1 내지 청구항 3 의 어느 한 항에 기재된 기판처리방법을 사용하는 구성으로 되어 있다. 이로써, 이 노광방법에서는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 마스크 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 설치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 각 노광장치의 수취부를 주행통로의 어느 한 쪽에 면하도록 노광장치를 배치함으로써, 마스크를 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 마스크를 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상도 실현할 수 있다
청구항 10 에 기재된 노광방법은, 노광장치를 포위하는 상자 형태의 챔버의 측면에 형성된 복수 개의 수취부 중, 적어도 1 개를 통하여, 마스크를 수취하는 공정을 가지고 있다. 이로써, 이 노광방법에서는, 장치를 배치할 때의 레이아웃 구성에, 마스크의 수취 위치에 의한 제약을 받지 않고, 최적한 배치를 선택할 수 있어 장치 스페이스를 유효하게 이용할 수 있다. 또한, 각 노광장치의 수취부를 주행통로의 어느 한 쪽에 면하도록 노광장치를 배치함으로써, 마스크를 반송하는 AGV 도, 그 주행경로를 복수 개에서 적절히 선택할 수 있다. 따라서, 마스크를 반송할 때의 AGV 의 주행경로를 가장 효율적으로 되도록 선택하여 설정할 수 있으므로, 생산효율의 향상도 실현할 수도 있다.

Claims (10)

  1. 외부에서 수취한 기판을 반송하는 기판반송수단을 구비하고, 이 기판반송수단으로 반송된 상기 기판을 사용하여 소정의 처리를 행하는 기판처리장치로서,
    상기 기판반송수단은, 상기 외부로부터의 기판을 수취하는 수취부를 복수개 가지고 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 복수 개의 수취부 중의 제 1 수취부와 제 2 수취부는, 상이한 면에 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제 2 항 에 있어서,
    상기 상이한 면의 각각은, 거의 직교하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 패턴을 가진 기판인 마스크의 이 패턴을 감광기판에 노광하는 노광장치로서,
    상기 마스크의 반송에 제 1 항 내지 제 3 항의 어느 한 항에 기재된 기판반송수단을 사용한 것을 특징으로 하는 노광장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    이 노광장치를 포위하는 상자형의 챔버를 구비하고,
    상기 복수 개의 수취부의 적어도 1 개는, 상기 상자형의 챔버의 측면에 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  6. 기판반송수단에 형성된 복수 개의 수취부 중 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하고,
    상기 기판반송수단으로 상기 기판을 반송하고,
    상기 기판을 사용하여 소정의 처리를 행하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 복수 개의 수취부 중 상이한 면에 형성된 제 1 수취부와 제 2 수취부중 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    거의 직교하는 상기 상이한 면에 형성된 상기 제 1 수취부와 상기 제 2 수취부중 적어도 1 개를 통하여 기판을 수취하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
  9. 패턴을 가진 기판인 마스크의 이 패턴을 감광기판에 노광하는 노광방법으로서,
    상기 마스크의 반송에 제 6 항 내지 제 8 항중 어느 한항에 기재된 기판반송방법을 사용하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
  10. 제 9 항에 있어서,
    노광장치를 포위하는 상자형의 챔버 측면에 형성된 상기 복수 개의 수취부의 적어도 1 개를 통하여 상기 마스크를 수취하는 것을 특징으로 하는 노광방법.
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