JPH06110515A - 被搬送物の移載方法 - Google Patents

被搬送物の移載方法

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JPH06110515A
JPH06110515A JP4280936A JP28093692A JPH06110515A JP H06110515 A JPH06110515 A JP H06110515A JP 4280936 A JP4280936 A JP 4280936A JP 28093692 A JP28093692 A JP 28093692A JP H06110515 A JPH06110515 A JP H06110515A
Authority
JP
Japan
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arm
transferred
trackless
conveyed
moved
Prior art date
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Pending
Application number
JP4280936A
Other languages
English (en)
Inventor
Takahito Tejima
孝人 手嶋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP4280936A priority Critical patent/JPH06110515A/ja
Publication of JPH06110515A publication Critical patent/JPH06110515A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 無軌道式搬送装置を用いても高い搬送能力が
得られる被搬送物の移載方法を提供すること。 【構成】 先ず、被搬送物1が搭載された無軌道式搬送
装置2を予め設定されたプログラムに従い所定の位置ま
で移動して停止し、次いで、無軌道式搬送装置2に取り
付けられたアーム21を用いて被搬送物1を保持すると
ともに、目的の搭載位置31に対する無軌道搬送装置2
の停止位置のズレ量を検出し、次に、このズレ量の検出
結果に基づいてアーム21の移動量を補正して、被搬送
物1を目的の搭載位置31まで移動した後、この被搬送
物1を載置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、無軌道式搬送装置を用
いて被搬送物を目的の搭載位置に移載する被搬送物の移
載方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】工場の省力化を図るために部品等の被搬
送物を無人で搬送する自動搬送装置が使用されている。
この自動搬送装置には、おもに、予め設置されたレール
上を移動する軌道式搬送装置と、設定されたプログラム
に従い通常の通路を移動していく無軌道式搬送装置とが
ある。軌道式搬送装置は搬送の安定性を図る場合におい
て有利であり、一方の無軌道式搬送装置は設備の縮小化
やフレキシビリティ向上を図る上で有利である。
【0003】この無軌道式搬送装置を用いた被搬送物の
移載方法を図6の流れ図に基づいて説明する。先ず、予
め設定された進路プログラムに従い無軌道式搬送装置を
移動し、所定の位置で停止させる。次に、無軌道式搬送
装置に設けられたアームを所定量移動して、位置決めの
基準となるマークの上方に配置する。被搬送物の搭載位
置は、このマークを基準にして位置が設定されており、
例えばアームに取り付けられたCCDカメラを用いてマ
ークの認識を行う。そして、得られた映像に基づいてマ
ークの位置ズレ量を算出し、これから無軌道式搬送装置
の停止位置のズレ量を検出する。
【0004】次に、アームを元の位置(ホームポジショ
ン)に戻した後、無軌道式搬送装置を微小移動して、先
ほどの検出結果による無軌道式搬送装置の停止位置のズ
レ量を補正する。続いて、アームにより被搬送物を保持
した後、このアームを予め設定された量だけ移動して被
搬送物を搭載位置上に載置する。このように、無軌道式
搬送装置による停止位置のズレ量を補正しながら被搬送
物を目的の搭載位置に移載する。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな被搬送物の移載方法には次のような問題がある。す
なわち、無軌道式搬送装置の停止位置のズレ量を補正す
る必要から、先ず一度アームを移動してマークの認識を
行い、その後ホームポジションに戻して補正を行った
後、再びアームを移動するというように、アームを二度
動作させなければならない。このため、被搬送物の搬送
能力を向上するのが困難となり、効率の良い生産を行う
場合において無軌道式搬送装置が不適当なものとなって
いる。よって、本発明は無軌道式搬送装置を用いても高
い搬送能力が得られる被搬送物の移載方法を提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された被搬送物の移載方法であ
る。すなわち、この被搬送物の移載方法は、先ず、被搬
送物が搭載された無軌道式搬送装置を予め設定されたプ
ログラムに従い所定の位置まで移動して停止し、次い
で、無軌道式搬送装置に取り付けられたアームを用いて
被搬送物を保持するとともに、目的の搭載位置に対する
無軌道搬送装置の停止位置のズレ量を検出し、次に、こ
のズレ量の検出結果に基づいてアームの移動量を補正し
て、被搬送物を目的の搭載位置まで移動した後、この被
搬送物を載置するものである。
【0007】
【作用】被搬送物を保持したアームをマーク上方に移動
してマークの認識を行い、そのままアームを戻すことな
く無軌道式搬送装置の停止位置のズレ量の補正をアーム
の移動量に加えて被搬送物を目的の搭載位置に移載する
ため、アームを二度動作させることがない。すなわち、
アームを一度動作させるだけで被搬送物を目的の搭載位
置に移載できることになり搬送能力が向上する。
【0008】
【実施例】以下に、本発明の被搬送物の移載方法を図に
基づいて説明する。図1〜図4は、本発明の被搬送物の
移載方法を順に説明する平面図である。先ず、図1に示
すように、部品等の被搬送物1が搭載された無軌道式搬
送装置2を移動して所定の位置に停止させる。無軌道式
搬送装置2には、被搬送物1を保持するためのアーム2
1およびハンド23が取り付けられており、アーム21
には後述するマーク32を認識するためのCCDカメラ
22が設けられている。また、無軌道式搬送装置2に
は、予め進行プログラムが設定されており、例えば工場
内の通路をどのように移動するかが決められている。こ
の進行プログラムに従って無軌道式搬送装置2を移動し
て、目的の搭載位置31が定められた装置3の近傍の所
定位置に停止させる。
【0009】次に、図2に示すように、アーム21のハ
ンド23にて被搬送物1を保持してアーム21を移動
し、装置3に設けられたマーク32の上方に配置する。
マーク32は、全ての位置合わせの基準となるもので、
このマーク32を基準にして搭載位置31の位置座標が
決められている。被搬送物1を保持した状態でアーム2
1を所定量移動し、CCDカメラ22にてマーク32の
映像を得て画面上のマーク32の位置を認識する。
【0010】この際のアーム21の移動量は、無軌道式
搬送装置2の停止位置にズレが無い場合においてCCD
カメラ22で得られた画面の中央にマーク32が位置す
るように設定されている。このため、アーム21の移動
量を一定にしておけば、CCDカメラ22で得られた画
面の中央とマーク32の位置とのズレ量を算出すること
で、無軌道式搬送装置2の停止位置のズレ量を検出でき
ることになる。
【0011】続いて、図3に示すように、アーム21を
マーク32の上方から目的の搭載位置31の方向に向け
て移動する。この移動量は、予めプログラムにて設定さ
れた値に、先ほど検出した無軌道式搬送装置2の停止位
置のズレ量に相当する補正を加えたものである。このた
め、アーム21の移動により、被搬送物1を搭載位置3
1の上方に正確に配置することができる。そして、アー
ム21を下げて被搬送物1を搭載位置31上に置き、ハ
ンド23を開いて被搬送物1を載置する。被搬送物1の
載置が完了したら、図4に示すようにアーム21を無軌
道式搬送装置2側の元の位置(ホームポジション)へ戻
す。これにより、被搬送物1を目的の搭載位置31上に
移載することができる。
【0012】このような被搬送物1の移載方法の一連の
流れを図5の流れ図に示す。すなわち、無軌道式搬送装
置2をプログラムに従って移動して停止し、被搬送物1
をアーム21にて保持する。そして、アーム21を移動
するとともに、CCDカメラにてマーク32を認識す
る。これにより、無軌道式搬送装置2の停止位置のズレ
量を検出し、この検出結果に基づいてアーム21の移動
量に補正を加え、被搬送物1を目的の搭載位置31上に
移載する。このアーム21の移動によるマーク32の認
識と、被搬送物1の移載とを一度の動作だけで行ってい
るため、効率よく被搬送物1の移載を行うことができる
ようになる。
【0013】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の被搬送物
の移送方法によれば次のような効果がある。すなわち、
アームを一度動作させるだけで、無軌道式搬送装置の停
止位置のズレ量検出と、被搬送物の移載とを行うため、
無軌道式搬送装置を用いた場合であっても精度良く、し
かも高い搬送能力を得ることが可能となる。したがっ
て、設備の縮小化やフレキシビリティ向上を図りつつ、
効率の良い生産を行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の被搬送物の移載方法を説明する平面図
(その1)である。
【図2】本発明の被搬送物の移載方法を説明する平面図
(その2)である。
【図3】本発明の被搬送物の移載方法を説明する平面図
(その3)である。
【図4】本発明の被搬送物の移載方法を説明する平面図
(その4)である。
【図5】本発明の被搬送物の移載方法を説明する流れ図
である。
【図6】従来例を説明する流れ図である。
【符号の説明】
1 被搬送物 2 無軌道式搬送装置 3 装置 21 アーム 22 CCDカメラ 23 ハンド 31 搭載位置 32 マーク

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被搬送物が搭載された無軌道式搬送装置
    を所定の位置まで移動し、前記無軌道式搬送装置に取り
    付けられたアームを用いて前記被搬送物を目的の搭載位
    置に移載する被搬送物の移載方法であって、 先ず、予め設定されたプログラムに従い前記無軌道式搬
    送装置を所定の位置まで移動して停止し、 次いで、前記アームにて前記被搬送物を保持するととも
    に、前記搭載位置に対する前記無軌道搬送装置の停止位
    置のズレ量を検出し、 次に、前記ズレ量の検出結果に基づいて前記アームの移
    動量を補正して、前記被搬送物を前記目的の搭載位置ま
    で移動した後、該被搬送物を載置することを特徴とする
    被搬送物の移載方法。
JP4280936A 1992-09-25 1992-09-25 被搬送物の移載方法 Pending JPH06110515A (ja)

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JPH06110515A true JPH06110515A (ja) 1994-04-22

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ID=17631991

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JP4280936A Pending JPH06110515A (ja) 1992-09-25 1992-09-25 被搬送物の移載方法

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6680775B1 (en) 1998-04-02 2004-01-20 Nikon Corporation Substrate treating device and method, and exposure device and method
JP2014110296A (ja) * 2012-11-30 2014-06-12 Tokyo Electron Ltd 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62191904A (ja) * 1986-02-19 1987-08-22 Shinko Electric Co Ltd 無人搬送車搭載ロボツトの位置補正方法
JPH0448304A (ja) * 1990-06-18 1992-02-18 Hitachi Ltd 自走ロボットの位置補正方法及びその装置

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