JP3705932B2 - シーム接合装置及び被接合物の位置合わせ方法 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、電子部品の各種素子を搭載してなるパッケージとリッドとを接合するのに適したパラレルシーム接合装置及びパッケージとリッドとの位置合わせ方法に関する。
【0002】
従来のこの種のパラレルシーム接合装置においては、図5に示すように水晶発振器や半導体素子などの回路素子を収納してなる角形のパッケージP(図示せず)を複数搭載したキャリアボード4を順次搬送手段(図示せず)で搬送する。そして、そのパッケージの上に蓋となるリッドLが供給された後、パッケージPとリッドLとが仮付け機構部10により仮付けされる。
【0003】
仮付け機構部10が動作を開始すると、仮付け用電極10A,10Bが間隔を狭くする方向に前進すると共に,リッドLの短辺に所定の加圧を与えるまで降下し,しかる後、仮付け用電極10Aと10B間に電圧を印加して電流を流すことにより、パッケージとリッドLとを仮付けする。そして、そのパッケージとリッドLの仮付けが完了すると,仮付け用電極10A,10Bは上昇する。
【0004】
次に、キャリアボード4上のパッケージPとリッドLは搬送手段によりY方向接合機構部11へ送られ,その所定位置で停止する。パッケージPとリッドLがY方向接合機構部11の所定位置で停止すると,Y方向接合機構部11が動作を開始し,その断面台形のロール状電極11A,11Bが降下してリッドLに所定の加圧を与え,キャリアボード4の長手方向に回動する。この際,ロール状電極11Aと11Bとの間には所定の電圧が印加されているので,ロール状電極11A,11Bが回動するのに伴い、パッケージPとリッドLの対向する一対の辺がシーム接合される。
【0005】
そして、Y方向の一対の辺のシーム接合が完了すると,ロール状電極11A,11BがリッドLから離れ,パッケージPとリッドLは再び搬送手段によりキャリアボード4上をX方向接合機構部12へ運ばれる。そしてY方向接合機構部12と同様に,ロール状電極12A,12Bが動作してパッケジPとリッドLの対向する他方の一対の辺をシーム接合する。このようにしてパッケージPとリッドLとのシーム接合が行われ、ハーメチックシールされた電子部品が得られる。
【0006】
パッケージPとリッドLとの接合動作については以上述べた通りであるが、仮付け接合を行うに当たってはパッケージPとリッドLとの位置合わせを正確に行い、その位置合わせを行った状態を保持しながら仮付け接合を行わなければならない。
【0007】
現在、広く行われている方法として、画像処理装置を用いた方法がある。この方法は、図示していないがリッドの目標とする中心点に対してパッケージがどの程度X方向、Y方向,角度θ方向にずれているかを正確に検出し、そのずれた分だけキャリアボードをX方向、Y方向,角度θ方向に正確に動かして補正することが行われている。この画像処理による方法はプリント基板に電子部品を搭載しハンダ付けする場合にも、プリント基板に対して電子部品を自動的に正確に位置決めするのに用いられるケースが多い。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかし,従来の画像処理装置を用いてパッケージとリッドとの位置決めを行う方法は、自動的に高精度でパッケージとリッドとの位置合わせをできるという大きなメリットがあるものの、位置のずれた分だけ駆動装置(図示せず)によりキャリアボードをX方向、Y方向,角度θ方向に順次機械的に動かして補正する必要があるため、その位置決めに要する時間が長くなると同時に、またコストが大幅に高くなるという大きな欠点がある。
【0009】
本発明はこのような従来の欠点を除去するため、単純で安価な機械的構造により種々の寸法のパッケージとリッドとの位置合わせを極く簡単に手動で一旦行うことにより、その後は自動的に正確かつ迅速に位置合わせ行いながらシーム接合できることを目的としている。
【0010】
【問題点を解決するための手段】
第1の発明は,前述のような欠点を除去することを目的として、電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとの位置合わせを行う位置合わせ機構と、位置合わせされた前記パッケージとリッドとをシーム接合するシーム接合機構とを備えて、電子部品の気密封止を行うシーム接合装置において、前記位置合わせ機構は、水平方向に拡縮径動作を行い得る爪チャック部材と、その爪チャック部材に固定されていてスライド溝を有する複数のアダプタ部材と、そのアダプタ部材の前記スライド溝をスライドして前進又は後退することができ、パッケージとリッドのエッジに当接して位置合わせを行う複数の矯正爪部材と、位置合わせを行った状態で前記複数の矯正爪部材を前記複数のアダプタ部材それぞれに固定する部材とからなることを特徴とするシーム接合装置を提供するものである。
【0011】
第2の発明は,前述のような欠点を除去することを目的として、電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとをシーム接合して電子部品の気密封止を行うシーム接合装置における前記パッケージとリッドとの位置合せ方法において、シーム接合されるパッケージとリッド又はそれら組み合わせ形状と同一の基準ブロックを予めシーム接合位置に載置し、これらパッケージとリッド又は基準ブロックにテーパー面が当接するように矯正爪部材の位置を調整して前記矯正爪部材をアダプタ部材に固定し、前記矯正爪部材の位置を位置合せ機構の基準位置とし、前記矯正爪部材を前記アダプタ部材に前記固定した状態で前記パッケージとリッド又は基準ブロックと同一種類の被接合物の接合する時は、拡径状態にある前記矯正爪部材を前記当接が可能な高さにし、前記矯正爪部材を縮径させてそれぞれのテーパー面を前記パッケージ及びリッドに当接させて位置合せすることを特徴とする被接合物の位置合せ方法を提供するものである。
【0012】
第3の発明は,前述のような欠点を除去することを目的として、電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとをシーム接合して電子部品の気密封止を行うシーム接合装置における前記パッケージとリッドとの位置合せ方法において、シーム接合されるパッケージとリッド又はそれら組み合わせ形状と同一の基準ブロックを予めシーム接合位置に載置し、これらパッケージとリッド又は基準ブロックにテーパー面が当接するように矯正爪部材の位置を調整して前記矯正爪部材をアダプタ部材に固定し、前記矯正爪部材の位置を位置合せ機構の基準位置とし、前記矯正爪部材を前記アダプタ部材に前記固定した状態で前記パッケージとリッド又は基準ブロックと同一種類の被接合物の接合する時は、前記矯正爪部材を上下動させてそれぞれのテーパー面を前記パッケージ及びリッドに当接させて位置合せすることを特徴とする被接合物の位置合せ方法を提供するものである。
【0013】
【実施例】
以下図面により本発明の一実施例について説明する。図1において,モータ及びその制御装置とからなる駆動装置(図示せず)により間欠的に回転するターンテーブル1上の外周部には、時計の各時刻を示す位置に位置ずれ防止板2が備えられている。このほぼ一定間隔で備えられる位置ずれ防止板2は、図2に示すようにターンテーブル1に植設された2本のピン1Aと透孔2Aにより着脱自在に取り付けられるようになっており、その中央にはパッケージPを入れるための収納開口2Bを備えている。
【0014】
位置ずれ防止板2は、その収納開口2BにパッケージPを納めたとき、パッケージPの上側が位置ずれ防止板2の上面よりも突出するような厚みである。この位置ずれ防止板2の主な作用は後述するが、接合の際にローラ状電極を回動させるこよによりその方向に仮付けされたパッケージPとリッドLとがずれるのを防ぐことにあるので、必ずしもこのような構造の位置ずれ防止板である必要はない。
【0015】
位置ずれ防止板2の収納開口2Bには、図1に示すようにターンテーブル1の時計の6時に相当する位置aで、通常のキャリアボード4に搭載されて送られてくるパッケージP(図示せず)が1個づつパッケージ移載ロボットのようなパッケージ供給装置5により供給される。キャリアボード4はコンベア又はロボットのような搬送手段6により矢印方向に搬送され、搬送手段6が停止するとき、パッケージ供給装置5がキャリアボード4からパッケージPを真空吸引又は把持爪などの方法によって1個ピックアップして、位置ずれ防止板2の収納開口2Bに移載する。
【0016】
次に、ターンテーブル1が時計方向と反対方向(矢印方向)に回転し、位置cで下記のような理由によりパッケージPの位置補正が行われる。実際の製造ラインでは、種々の大きさのパッケージPを取り扱うことが多く、この場合、各パッケージPの大きさに適合するキャリアボード4を用意すれば良いのであるが、コストなどの面から大きなパッケージ用のキャリアボードに小さなパッケージを搭載して搬送することがしばしば行われる。この場合には、パッケージ供給装置5がパッケージPを位置ずれ防止板2の収納開口2Bに移載せずに、その近傍の位置ずれ防止板2上に載置してしまう場合がある。このような可能性のあるキャリアボード4とパッケージPの組み合わせの場合には、パッケージ位置補正手段7が必要である。このパッケージ位置補正手段7は、例えば前進と後退が可能なブロックが4方から位置ずれ防止板2の収納開口2Aに前進してパッケージPを押してその収納開口2A内に入れた後、後退するような構造のものである。
【0017】
ターンテーブル1がさらに1ステップ回転した位置dで、リッドLがパッケージP上に供給される。リッドLの供給は通常のリッド供給装置8により行われる。リッド供給装置8は、リッドが多数収納されたリッドマガジン8Cからリッドマガジンロボット8Aにより供給されるリッドを整列させるアライメント部8B及びそのリッドを1個づつ位置dにおける位置ずれ防止板2の収納開口2A内に移載するリッド供給ロボット部などからなる。
【0018】
次にターンテーブル1がさらに1ステップ回転した位置eで、位置合わせ機構9によって本発明のリッドLとパッケージPとの位置合わせが行われる。前のステップでパッケージP上に供給されたリッドLは、パッケージPから大きくずれることはないが、従来の画像処理による位置合わせの説明箇所でも述べたとおり、リッドLとパッケージPはX方向、Y方向、角度θ方向のいずれか又は複数にずれが生じている。したがって、リッドLとパッケージPとの位置合わせを正確に行わなければならないのは勿論のこと、高速でかつ経済性に優れた簡便な構造で行わなければならない。
【0019】
図3に示す位置合わせ機構9は、角形のパッケージとリッドとを位置合わせする実施例であり、テーパー面をもって上下動する駆動機構により拡縮動作を行い得る4個のブロックをもつ市販の4爪チャック部材9A(例えば、SMC(株)製)を備える。4爪チャック部材9Aの各ブロックの下面には4爪チャック部材9Aの中心を通る中心軸線9aを対称に、ほぼ同一構造の4個のアダプタ部材9Bが直接又は別の部材を介してそれぞれのネジ9Cにより取り付けられている。
【0020】
ほぼ同一構造の4個のアダプタ部材9Bは、それぞれの矯正爪部材9Dが4爪チャック部材9Aの中心軸線9aに手動でスライドできるように支承する構造となっている。各アダプタ部材9Bはほぼ中央にスライド用溝9bを備える。
【0021】
4個のほぼ同一構造の矯正爪部材9Dは、外力によって対応する各アダプタ部材9Bのスライド用溝内を滑る頭部9Daとそれから延びる厚板状部9Dbとからなり、これら厚板状部における中心軸線9a側の下部にはそれぞれ同一傾斜のテーパー面9Dcが設けられている。
【0022】
これらテーパー面9DcはリッドLとパッケージPのそれぞれのエッジに当接する傾斜をもち、これらテーパー面の水平面に対する角度は60度以下、好ましくは45度程度の滑らかな面が好ましいが、この角度はリッドLのエッジとパッケージPのエッジとを結んだ直線の角度によって決定される。実際のパッケージにはその上部縁に沿って金属からなるフレーム(図示せず。フレームも含めてパッケージという。)が形成されているので、リッドLのエッジとフレームのエッジとを結んだ直線の角度によって決定されるとも言える。
【0023】
さらに、この位置合わせ機構9は各アダプタ部材9Bに各矯正爪部材9Dの位置固定用のネジ部材9Eをそれぞれ有する。各ネジ部材9Eはアダプタ部材9Bの上面からねじ込まれており、端部は各アダプタ部材9Bのスライド用溝9bまで貫通するようになっており、各矯正爪部材9Dの頭部9Daに加圧力を加えてその位置に固定する働きを行う。
【0024】
次に、位置合わせ機構9の位置合わせ、及びシーム溶接の実施例について図面により説明する。ターンテーブル1上に載置されたパッケージPとこの上に載せられたリッドL又はこれと同一構造の基準ブロック(図示せず)を所定位置(例えば、位置e)で停止させる。次に、図示されていない4爪チャック部材9Aを支承する装置(図示せず)を動作させ、4爪チャック部材9Aをターンテーブル1の上方の設定レベルまで降下させる。そして、4爪チャック部材9Aの中心軸線2aがほぼ所定位置にあるように、大雑把に調整して、その位置に4爪チャック部材9Aを設定する。このとき4個の矯正爪部材9Dは後退(拡径)した位置にある。
【0025】
しかる後、全てのネジ部材9Eを緩めた状態でそれぞれの矯正爪部材9Dをスライド用溝9bに沿って中心軸線9a方向に前進させ、それぞれの矯正爪部材9Dが停止した位置でネジ部材9Eを締めて矯正爪部材9Dをその位置に固定する。この状態では4個の矯正爪部材9Dのテーパー面9Dcのテーパー面は、図4に示すようにターンテーブル1上に載置されたパッケージPとこの上に載せられたリッドL又はこれと同一構造の基準ブロックそれぞれのエッジp,lに当接している。このようにして4個の矯正爪部材9Dの位置合わせが予め行われる。
【0026】
次に、このようにして位置合わせされた状態において、ターンテーブル1上に載置されたパッケージPとこの上に載せられたリッドLが位置eに来て停止すると、4爪チャック部材9Aの拡径した状態で停止している4個のブロックは、図示されていない4爪チャック部材9Aを支承する装置(図示せず)により設定位置まで降下し、図示されていない駆動機構が動作を開始することにより、中心軸線9a方向に移動、つまり縮径動作を行う。
【0027】
これに伴い、4個の矯正爪部材9Dも中心軸線9a方向に前進することにより、パッケージPとこの上に載せられたリッドLとがずれていても、先ず4個の矯正爪部材9Dのテーパー面9Dcがずれて突出しているパッケージPのエッジpとリッドLのエッジlに当接して動かし、さらに前進して4個の矯正爪部材9Dのテーパー面9Dcが対応するパッケージPのエッジpとリッドLのエッジlに当接した段階で、パッケージPとこの上に載せられたリッドLとの位置合わせは完了する。以後、このような簡単な機構でもってパッケージPとリッドLとの位置合わせを高精度で行う。
【0028】
なお、パッケージPとこの上に載せられたリッドLとのずれが小さな範囲内に入っている場合には、4爪チャック部材9Aは拡縮動作を行わずに、前述のように4個の矯正爪部材9Dの位置合わせをした位置において上下運動だけを行うことにより、4個の矯正爪部材9Dテーパー面9Dcの作用でパッケージPとリッドLとの位置合わせを高精度で行う。
【0029】
このようにパッケージPとリッドLとの位置合わせを完了した後、図示しないがその位置又は次の位置でそれらの仮付けが行われ、仮付けが終了すると、再びターンテーブル1は反時計方向に回転し、時計の12時に相当する位置gでパッケージPとリッドLの対向する一対の辺のシーム接合が行われる。この接合方向行う接合機構が第1のシーム接合機構11である。第1のシーム接合機構11は従来と同様な機構であり、一対のロール状電極11Aが矢印方向にリッドLの対向する一対の辺を回動し、一対のロール状電極をリッドLを通して電流を流すことによりシーム接合が行われる。
【0030】
第1の一対の辺のシーム溶接が完了すると、再びターンテーブル1は反時計方向に回転し、時計の9時に相当する位置jでパッケージPとリッドLの対向する一対の他方の辺のシーム接合が行われる。このシーム接合は第2のシーム接合機構12で行われる。このシーム接合は時計の9時に相当する位置jで行われるので、パッケージPとリッドLは第1のシーム接合時から90度回転しており、したがって、第2のシーム接合機構12の一対のロール状電極12Aも第1のシーム接合機構11の一対のロール状電極と同じ矢印方向に回動してシーム接合を行う。このようにしてパッケージPとリッドLとのシーム接合が完了し、ハーメチックシールが完成する。
【0031】
第2の一対の辺のシーム溶接が完了すると、再びターンテーブル1は反時計方向に回転し、位置kでハーメチックシールされたパッケージPとリッドLが排出装置13によりターンテーブル1上から空になったキャリアボード4へ移載される。このようにして、ターンテーブル1の位置aに供給されたパッケージPと、位置dでパッケージPの上に載置されたリッドLとのシーム接合が次々に行われ、位置kでターンテーブル1上から空になったキャリアボード4上へ順次移載され、ハーメチックシールされた電子部品はキャリアボード4により取り出される。
【0032】
なお、以上の実施例では角形のパッケージについて述べたが、丸形、即ちパッケージが短円筒形のものでも同様に位置合わせができる。この場合には、矯正爪部材は等間隔に3個以上配置されれば良い。
【0033】
【発明の効果】
以上述べたように本発明によれば,矯正爪部材を支承する爪チャック部材は大雑把に一旦位置合わせするだけで良く、それぞれの矯正爪部材を手で動かしてパッケージとリッド又は基準ブロックで最初に位置合わせするだけで、以後パッケージとリッドとをかなり精度の高い位置合わせができ、しかもパッケージとリッドの寸法が異なっても前述のように矯正爪部材で最初に位置合わせすることにより、その後はパッケージとリッドとを自動的に位置合わせしてシーム接合することが可能である。また、従来の画像処理による位置合わせに比べて遙かに経済性に優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明にかかるシーム接合装置の一実施例を示す図である。
【図2】 本発明の一実施例を説明するための図である。
【図3】 本発明の位置合わせ機構の一実施例を示す図である。
【図4】 本発明の一実施例を説明するための図である。
【図5】 従来例を説明するための図である。
【符号の説明】
P・・・パッケージ L・・・リッド
1・・・ターンテーブル
2・・・位置ずれ防止板
2A・・位置ずれ防止板の収納開口 3・・・ピン
4・・・・キャリアボード 5・・・パッケージ供給装置
6・・・搬送手段
7・・・パッケージ位置補正手段 8・・・リッド供給機構
9・・・位置合わせ機構
9A・・爪チャック部材 9B・・アダプタ部材
9C・・ネジ 9D・・矯正爪部材
10A、10B・・・仮付け用電極 11・・・第1のシーム接合機構
12・・・第2のシーム接合機構 13・・・排出装置
Claims (3)
- 電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとの位置合わせを行う位置合わせ機構と、位置合わせされた前記パッケージとリッドとをシーム接合するシーム接合機構とを備えて、電子部品の気密封止を行うシーム接合装置において、
前記位置合わせ機構は、水平方向に拡縮径動作を行い得る爪チャック部材と、該爪チャック部材に固定されていてスライド溝を有する複数のアダプタ部材と、該アダプタ部材の前記スライド溝をスライドして前進又は後退することができ、パッケージとリッドのエッジに当接して位置合わせを行う複数の矯正爪部材と、位置合わせを行った状態で前記複数の矯正爪部材を前記複数のアダプタ部材それぞれに固定する部材とからなることを特徴とするシーム接合装置。 - 電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとをシーム接合して電子部品の気密封止を行うシーム接合装置における前記パッケージとリッドとの位置合せ方法において、
シーム接合されるパッケージとリッド又はそれら組み合わせ形状と同一の基準ブロックを予めシーム接合位置に載置し、これらパッケージとリッド又は基準ブロックにテーパー面が当接するように矯正爪部材の位置を調整して前記矯正爪部材をアダプタ部材に固定し、前記矯正爪部材の位置を位置合せ機構の基準位置とし、前記矯正爪部材を前記アダプタ部材に前記固定した状態で前記パッケージとリッド又は基準ブロックと同一種類の被接合物の接合する時は、拡径状態にある前記矯正爪部材を前記当接が可能な高さにし、前記矯正爪部材を縮径させてそれぞれのテーパー面を前記パッケージ及びリッドに当接させて位置合せすることを特徴とする被接合物の位置合せ方法。 - 電子部品素子の収納されたパッケージとリッドとをシーム接合して電子部品の気密封止を行うシーム接合装置における前記パッケージとリッドとの位置合せ方法において、
シーム接合されるパッケージとリッド又はそれら組み合わせ形状と同一の基準ブロックを予めシーム接合位置に載置し、これらパッケージとリッド又は基準ブロックにテーパー面が当接するように矯正爪部材の位置を調整して前記矯正爪部材をアダプタ部材に固定し、前記矯正爪部材の位置を位置合せ機構の基準位置とし、前記矯正爪部材を前記アダプタ部材に前記固定した状態で前記パッケージとリッド又は基準ブロックと同一種類の被接合物の接合する時は、前記矯正爪部材を上下動させてそれぞれのテーパー面を前記パッケージ及びリッドに当接させて位置合せすることを特徴とする被接合物の位置合せ方法。
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