JPH0334345A - 位置修正型基板支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は、半導体ウエノ１や液晶相ガラス基板等のよ
うな電子工業界用の各種基板（以下基板と称する）に対
する処理装置や検査装置等の各種装置に配置され、上記
の基板を一時的に支持する機能と、基板が支持される位
置を修正する機能を兼ね備えた位置修正型基板支持装置
に関するものである。

〈従来の技術〉 この種の装置は従来より例えば第１０図に示すもの（以
下従来例１という）、あるいは第１＋図に示すもの（以
下従来例２という）が知られている。

従来例１は、多関節アーム型の搬送ロボット２０から搬
送されてきた基板Ｗを、直線搬送型の搬送口ボッ）２１
へ受渡しするために、両搬送ロボノト間に配置された位
置修正型基板支持装置である。

】Ｊ、台１０１上に３本の基板支持ビン１１０を立設し
て基板支持具を構成するとともに、基台ｌＯｌの周縁部
に多数の位置修正用テーパビン１１２を立設し、そのテ
ーパビン１１２はその上部を基板支持ビン１１０のピン
ヘッドｌ　１０ａより上位に突出してテーバ部１１２ａ
を形成し、基台１０１はアクチエータ１１８で昇降可能
に支持して成り、基板搬入側の搬送ロボット２０で持ち
込んだ）！板Ｗを基台１０１を上昇させることにより基
板支持ビン１１０の上端に載置するように受は取り、そ
の受は取りに際し、テーパピン１１２のテーバ部１１２
ａで基板Ｗの周縁部を当接ガイドすることにより基板Ｗ
の前後左右方向の位置ずれを修正するように構成されて
いる。なお、従来例１の位置修正型基板支持装置のよう
に、２つの搬送ロボット間での基板の受渡しのために位
置修正型基板支持装置が使用されるのは、次のような２
つの理由からである。

第１の理由は、例えば基板における搬送ロボ、２トに支
持されるべき位置が、双方の搬送ロボットで重複してい
たり、その他何らかの事情により、搬送ロボット同士で
直接、基板の受渡しをすることが困難な場合に、搬送ロ
ボット間に、基板を一時的に支持する手段を介在させる
ことが必要であり、それによって、基板の受渡しが円滑
にできるからである。

第２の理由は、搬送ロボットから受は取った基板の位置
がずれていた場合に、そのままでは、次の搬送ロボノト
へ基板を渡すことに支障を生じることがあるので、本来
支持されるべき位置に基板が支持されるように、基板支
持位置を修正しておいて、基板の受渡しの信頼性を高め
る必要があるからである。

従来例２も位置修正型基板支持装置であり、基台１０４
の中央部に基板支持具として吸引チャック１０６を立設
し、基台１０４に中央部から放射状に段数の透し溝１０
５を等角度間隔で切設し、基板修正具１０７を各透し溝
１０５に挿通して透し溝１０５に沿って移動可能に設け
、それらｍｌの柊正具１０７を連動機構Ｋを介して同期
連動可能に構成し、修正具１０７の上端ビン１０７ａを
吸引、チャック１０６で保持した基板の周縁部に当接さ
せて、基板の前後左右方向の位置ずれを作１Ｅするよう
に構成されている。なお同図中符号には同期連動機構Ｋ
を構成するパルスモータ、Ｋ。

は吸引チャック１０６と同軸に枢支され、パルスモータ
に、で回動される回転板、Ｋ３は基板修正具１０７の下
端部１０７ｃと回転板に、とに旦って連設されたリンク
、Ｋ４は基板修正具１０７の摺動用ガイドである。

なお、従来例２の位置修正型基板支持装置は、測定装置
に付設される。基板回転モータ１０８による吸引チャッ
ク１０６の回転により、基板を測定するに適した向きに
旋回するための装置の基板支持部として使用され、基板
支持部に位置修正型基板支持装置が使用されるのは、吸
引チヤツク１０６に対する基板の位置を修正することが
必要であるからである。

〈発明が解決しようとする課題〉 従来例１は、アクチエータ１１８を上昇させる１つの動
作で、基板Ｗの受は取りと、テーパピン１１２による基
板Ｗの位置修正とができる優れた装置ではあるが、しか
し、テーバピン１１２のテーパ部１１２ａが基板Ｗの周
縁を案内することで位置修正する方式のため、位置修正
できるのはテーパピン１１２のテーパ部１１２ａの範囲
内に制限される。そのため、基板の位置を修正する範囲
が狭いという不都合がある。また、受は取った基板を、
搬送ロボットへ渡す際に、テーバピン１１２が搬送ロボ
ットの動きを制約する不都合がある。

従来例２は、基板修正具１０７を移動することによって
基板Ｗの位置を修正する方式のため、位置修正できる範
囲が広く優れた装置ではあるが、しかし、基板修正具１
０７の移動は水平方向の移動にすぎないから、基板Ｗの
受渡しに際して、基板が基板柊正具１０７の上端ビン１
０７ａに当たらないように基板Ｗを搬送しなければなら
ず、上端ビン１０７ａが搬送ロボットの動きを制約する
不都合がある。また、吸引チャック１０６と搬送ロボッ
トとの間で基板を受渡しする動作に対して、基板の位置
を修正する方向へ基板修正具１０７を移動させる動作や
、基板から離れる方向へ移動させる動作を、タイミング
制御する必要がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、第１
から第５の発明に共通の解決しようとする課題は、以下
めイ及び口であり、さらに、第２から第５の発明は以下
のノ＼も解決しようとする課題とする。

イ、基板の位置令修正する範囲が広いこと、口、搬送ロ
ボットとの基板の受渡しに際し、基板の位置を修正する
ための手段である修正具が、搬送ロボットによる基板の
移動に障害とならないように、修正具を搬送中の基板よ
り下へ移動できるようにして、搬送ロボノトの動きを修
正具が制約するという問題を解消すること、ハ、Ｊ上板
を受渡しするために基板支持具を昇降する動作と、基板
の位置を修正する方向へ修正具を移動させる動作や、修
正具を基板から離れる方向へ移動させる動作を、タイミ
ング制御する必要を解消することである。

〈課題を解決するための手段〉 包括概念で把握される第１の発明は、上記課題４１口を
解消するものとして以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、昇降可能に設けられ、複数の修正具を上記
両姿勢間で同期連動可能に揺動する連動具と、連動具を
昇降駆動するアクチエータとを具備して成り、複数の修
正具が連動具の昇降に基づき同期連動することにより、
起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修正具
の上部が当接して基板の位置を修正し、傾倒姿勢では修
正具の上部が当該基板より下位に退避するように構成し
たことを特徴とする位置修正型堰板支持装置である。

第２の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設する
とともに、連動具を、上昇位置では各修正具と当接して
各修正具を起立姿勢に規制するように構成することによ
って、基板支持具と連動具とを一体に昇降するとともに
、連動具が−Ｌ胃時に各修正具を連動して、起立姿勢に
規制するようにしたもので、以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した堰板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該基板の周囲に配置された複数の修
正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、上
昇時に各修正具と当接し、上昇位置では各修正具を起立
姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動するアクチ
エータとを具備して成り、　複数の修正具が連動具の上
昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して起立し、そ
の起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修正
具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の下降
に基づき基板支持具の下降と同期連動して傾動し、その
傾倒姿勢では修正具の上部が、当該基板より下位に退避
するように構成したことを特徴とする位置修正型基板支
持装置である。

第３の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設し、
各修正具を傾倒可能に連動具に支持するとともに、連動
具によって上昇される修正具と当接して各修正具を起立
姿勢に規制する当接具を備える構成にすることによって
、基板支持具と連動具とを一体に昇降するとともに、連
動具が上昇時に各修正具を当接具に当接させて起立姿勢
に規制するようにしたもので、以下のように構成される
。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され
、各修正具を傾倒可能に支持する連動具と、連動具とと
もに上昇する修正具と当接して修正具を傾倒姿勢から起
立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動するアク
チエータとを具備して成り、複数の修正具が連動具の上
昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して起立し、そ
の起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修正
具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の下降
に基づき基板支持具の下降と同期連動して傾動し、その
傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位に退避す
るように構成したことを特徴とする位置修正型基板支持
装置である。

第４の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設する
とともに、連動具を、下降位置で各修正具と当接して各
修正具を起立姿勢に規制するように構成することによっ
て、基板支持具と連動具とを一体に昇降するとともに、
連動具が下降時に各修正具を連動して起立姿勢に規制す
るようにしたもので、以下のように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され
、下降時に各修正具と当接し、下降位置では各修正具を
起立姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動するア
クチエータとを具備して成り、複数の修正具が連動具の
下降に基づき基板支持具の下降と同期連動して起立し、
その起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に修
正具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の上
昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して傾動し、そ
の傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位に退避
するように構成したことを特徴とする付置修正型基板支
持装置である。

第５の発明は上記課題イ〜ハを解消するものであり、上
記第１の発明において、基板支持具を連動具に固設し、
各修正具を傾倒可能に連動具に支持するとともに、下降
する修正具と当接して各修正具を起立姿勢に規制する当
接具を備える構成にすることによって、基板支持具と連
動具とを一体に昇降するとともに、連動具といっしょに
各修正具が下降すると、各修正具が当接具に当接し、谷
作正具を起立姿勢に規制するようにしたもので、以下の
ように構成される。

即ち、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下
方に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動
可能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数
の修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され
、複数の修正具を同期連動可能に支持する連動具と、連
動具の下降により修正具と当接して修正具を傾倒姿勢か
ら起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動する
アクチエータとを具備して成り、複数の修正具が連動具
の下降に基づき基板支持具の下降と同期連動して起立し
、その起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に
修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、連動具の
上昇に基づき基板支持具の上昇と同期連動して傾動し、
その傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位に退
避するように構成したことを特徴とする位置修正型基板
支持装置である。

〈作用〉 第１の発明ではアクチエータで連動具を昇降することに
より、基板の周囲に配置されている複数の修正具が連動
具によって起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動する。

そして起立姿勢では基板支持具で支持した基板の外縁に
修正具の上部が当接して基板の位置を修正し、傾倒姿勢
では修正具の上部が当該基板よりも下位に退避する。こ
れにより基板の受は渡しに際し、修正具の上部が搬送ロ
ボットの動きを制約することはなくなる。また、修正具
が動くことにより、基板の位置を修正するから、修正す
る範囲が広い。

第２の発明では上記基本動作に加えて、基板支持具が連
動具と一体に昇降する。そして連動具を上昇すると、基
板支持具が上昇して基板支持具が搬送ロボットから基板
を受は取るとともに、上昇してきた連動具が修正具に当
接することによって、修正具が起立し、基板の受は取り
に連動して基板の位置修正を行う。次いで、搬入側の搬
送ロボソトを退避させるとともに、搬出側の搬送ロボソ
トを基板の下へ待機させておいてから、連動具を下降す
ると、基板支持具が下降して基板支持具から搬送ロボッ
トへ基板を渡すとともに、連動具と修正具との当接によ
る押し上げが解除され、修正具が傾倒姿勢になって基板
より下に退避する。そのため、搬送ロボットは、修正具
に動きを制約されることなく基板を搬出できる。なお、
基板を受は取る際には、連動具が上昇する前に、基板を
搬入するため、まだ修正具は起立姿勢にないので、搬送
ロボットが修正具に動きを制約されることなく、基板を
搬入することができる。

つまり、アクチエータの１回の昇降動作で基板の受は渡
しと位置修正とが同時に行えることになる。これにより
、迅速に位置修正できる。

第３の発明では第１の発明の基本動作に加えて、基板支
持具が連動具と一体に昇降する。そして連動具を上昇す
ると、基板支持具が上昇して基板支持具が搬送ロボット
から基板を受は取るとともに、連動具も上昇し、上昇し
てきた修正具が当接具に当接することによって、修正具
が起立し、基板の受は取りに連動して２＆仮の位置修正
を行う。′次いて、搬入側の搬送ロボットを退避させる
とともに、搬出側の搬送ロボットを基板の下へ待機させ
ておいてから、連動具を下降すると、基板支持具が下降
して基板支持具から搬送ロボットへ基板を渡すとともに
、修正具も下降して、修正具と当接具との当接による押
し上げが解−除され、修正具が傾倒姿勢になって、基板
より下に退避する。そのため、搬送ロボットが修正具に
動きを制約されることなく、基板を搬出することができ
る。なお、基板を受は取る際には、連動具が上昇する前
に、基板を搬入することにより、まだｆｆ１ｉＥ具は起
立優勢にないので、搬送ロボットが修正具に動きを制約
されることなく、基板を搬入することができる。

第４の究明では、第１の発明の基本動作に加えて、基板
支持具が一体に４降する。連動具を上昇すると、基板支
持具が上昇して搬送ロボットからＪ：（板を受は取り、
その後、搬入側の搬送ロボノトを退避させてから連動具
を下降すると、連動具が化１ｆ只に当接し、修正具が起
立し、基板の位置炸ＬＩＥを行う。次いで、再び連動具
を上昇すると、連動具と修正具との当接による押し上げ
の解除により修ＩＥ具が傾倒姿勢になり、搬出側の搬送
ロボットを基板の下へ待機させておいてから、連動具を
再度下降すると、基板支持具が下降し、下降する途中で
基板支持具から搬送ロボットへ基板を渡す。

なお、修正具が起立するのは、下降する途中であるから
、まだ修正具が起立していない内に、搬出側の搬送ロボ
ットに基板が渡され、修正具は渡された基板の下で起立
することになるので、修正具に動きを制約されることな
く搬送ロボットが基板を搬出することができる。

第５の発明では第１の発明の基本動作に加えて、基板支
持具が一体に昇降する。連動具を上昇すると、基板支持
具が上昇して搬送ロボットから基板を受は取る。その後
、搬入側の搬送ロボットを退避させてから、連動具を下
降すると、修正具が下降して当接具に当接して起立し、
基板の位置修正を行う。次いで、再び連動具を上昇し、
修正具の当接具との当接による押し上げが解除されて、
修正具が傾倒姿勢になり、搬出側の搬送ロボットを基板
の下へ待機させておいてから、連動具を再度下降すると
、基板支持具が下降し、下降する途中で搬送ロボットへ
基板を渡す。なお、まだ修正具が起ｆＬシていない内に
、搬出側の搬送ロボットに基板が渡されるから、修正具
は渡された基板の下で起Ｓ１するので、修正具に動きを
制約されることなく搬送ロボットが基板を搬出すること
ができる。

〈実施例〉 以下図面に基づいて本発明の実施例装置を説明する。

第１図は第１の発明に属する位置修正型基板支持装置の
斜視図、第２図はその縦断面図であり、検査装置等の前
段に配置される。

この装置は、基台ｌと基台１上に立設した左右一対の基
枠２・２と、基板支持具として基台１上に立設した３本
の基板支持ビン１０・・と、各基枠２に揺動支点Ｑで支
持した一対の４Ｉ正具１２・Ｉ２と、修正具１２を実線
で示す起立優勢八と、第２図の仮想線で示す傾倒姿勢Ｂ
との間で同期連動可能に揺動する連動具１５と、連動具
１５を昇降駆動するアクチエータ１８とを具備して成り
、アーム昇降式搬送ロボット２０Ａで搬入した基板Ｗを
３本の基板支持ビン１０・・で支持し、アクチエータ１
８で連動具１５を下降させることにより修正具１２で基
板Ｗの位置を修正するように構成されている。

即ち、各修正具１２は第１図に示すようにＬ字状に形成
した２個の部材を下部１２ｃで一体に連接して一組とな
し、基板支持ビン１０のビンヘッドｔＯａより下方に位
置する揺動支点Ｑで揺動可能に支持し、第２図に示すよ
うに圧縮ばね１３で下端部１２ｃを押し上げることによ
り傾倒姿勢Ｂ側へ付勢され、かつ左右一対の修正具１２
・１２の下部１２Ｃ・１２ｃに連動具１５を架着し、圧
縮ばね１３に抗して下部１２ｃを押し下げるように構１
戊されている。これにより起立姿勢へでは基板支持ピン
２で支持した基板Ｗの外縁に修正具１２の上部が当接し
て基板Ｗの位置を作正し、傾倒姿勢Ｂでは当該上部１２
ａが基板Ｗより下位に退避する。なお、これらの図中符
号１４は基板Ｗに余分の当接力が作用しないように修正
具１２の起立姿勢を規定する規制具である。又この規制
具１４に代えてアクチエータ１８の昇降ストロークを規
定するようにしてもよい。

第３図は第１の発明に属する上記装置の変形例を示す縦
断面図である。この装置は、一対の基枠２・２上にベー
ス板４を架設し、ベース板上に３本の基板支持ビンｌＯ
・・を立設し、連動具１５の左右両側部に修正具１２の
エルボ１２ｂを押し上げる当りローラ１６を設けた点が
上記第２図のものと基本的に異なる。なお、基板Ｗの位
置修正動作は同様であり、その説明を省く。

第４図は第２の発明に属する位置灯ｉＥ型基板支持装置
の斜視図、第５図はその縦断面図である。

この装置は、基台ｌに３本の支柱２ａ・・を立設してベ
ース板４を架設固定し、ベース板４のに右両端部下面に
修正具１２の下部２Ｃを支持する揺動支点Ｑを設け、基
板支持ピン１０・・は連動具１５を横１戊する昇降板１
５ａ上に立設してベース板４にあけた押通孔を通して昇
降ｊｊＪ能に構成し、？？。

降板１５ａの左右両側部に修正具１２のエルボ１２ｂを
押し上げる当たりローラ１６を設けて成り、修正Ａ１２
は基板支持ピンＩＯの昇降と同期連動して起立・傾動退
避するように構成されている。

従って、この装置では第１図に示した装置の、Ｉλ本動
作に加えて、基板支持ビン１０の一ド降と同期連動して
修正具１２が傾倒するようになっており、次のように動
作する。

基板Ｗの受は渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
１５ａはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入
側の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピンｌＯの
上方へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチエータ１８で昇降板１５ａを上昇すると
、基板支持ビン１０が上昇し、基板搬入側の搬送ロボッ
トから基板を受は取る。また、昇降板１５８が上昇する
過程で当すローラ１６が修正具１２のエルボ１２ｂを当
接押し上げし、修正具１２を起立させ、基板支持ビンｌ
Ｏに受は取られた堰板Ｗを位置修正する。

次に、搬入側の搬送ロボットを退避させておいてから、
搬出側の搬送ロボット２０Ｂを基板Ｗの下へ待機させ、
昇降板１５ａを下降すると、基板支持ビンＩＯの上端が
搬出側の搬送ロボットより低くなるので、搬送ロボット
２０Ｂへ基板Ｗが渡される。その際、昇降板１５ａの下
降に伴って、当たりローラ１６による修正具１２のエル
ボ１２ｂの押し上げが解除され、脩ｉＥ只１２は傾倒し
、修正Ｍ１２は基板Ｗより下になる。そのため、基板搬
出側の搬用ロボット−２０Ｂは、修正具１２に動きを制
約されることなく、基板Ｗを搬出することができる。な
お、基板搬入側の搬送ロボットから基板Ｗを受は取る際
には、昇降板１５ａが４二昇する前に、基板を搬入する
ため、修正具１２は、まだ起立姿勢になってないので、
搬送ロボットが修正具１２に動きを制約されることなく
、基板を搬入することができる。

このように、アクチエータ１８の１回の昇降動作で基板
の受は渡しと位置修正動作と拭板Ｗの搬入及び搬出時の
修正具１２の傾倒動作のすべてを行い、以下の特有の効
果を有する。

１回の昇降動作だけであるから、位置修正を伴う基板Ｗ
の受は渡しが、ホ速である。昇降板１５ａを昇降するだ
けで、基板搬入時の修正５％１２の傾倒動作から、基板
Ｗの受は取り動作、基板Ｗの位置修正動作、基板Ｗを渡
す動作、搬出時の４１　、ｒＥ貝１２の傾倒動作に至る
一連の動作が、タイミング制御を要さずに行える。搬出
側の搬送ロボットには、基板Ｗを昇降する機能を有して
いなくても、基板Ｗの受は渡し及び、修正具１２に動き
を制約されることなく基板の搬入と搬出ができ、１般送
ロボノトに簡単な機構のものを使用できる。

第６図は上記第３の発明に属する装置を示す斜視図であ
る。この装置は連動具１５を構成する昇降板１５ａで修
正具１２を支持した点が第４図のものと穴なり、第６図
中、符号１２ｄはベース板４の一端部下面に当接する修
正具１２の当接ローラ、１３ａは修正具１２を傾倒姿勢
側へ付勢する錘りであり、連動具１５を構成する昇降板
１５ａの腎降に伴って、修正具１２の揺動支点Ｑも昇降
し、その上昇に伴って、修正具１２の当接ローラ１２ｄ
がベース板４に当接して押し下げられて、修正具１２が
起立するようになっており、次のように動作する。なお
、ベース板４が第３の発明の構成における当接具に相当
する。

基板Ｗの受は渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
１５ａはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入
側の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ビン１０の
上方へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチエータ１８で昇降板１５ａを上７Ｉ！す
ると、基板支持ビン１０が上冒し、基板搬入側の搬送ロ
ボットから基板を受は取る。また、昇降板１５ａが上昇
する過程で、修正具１２の当接ローラ１２ｄがベース板
４に当接して押し下げられ、峰正’Ａ　１２を起立させ
、基板支持ビン１０に受は取られた基板Ｗを位置修正す
る。

次に、搬入側の搬送ロボットを退避させておいてから、
搬出側の搬送ロボソト（図示せず）を基板Ｗの下へ待機
させ、昇降板１５ａを下降すると、搬送ロボットへ基板
Ｗが渡される。また、昇降板＋５８の下降に伴って、当
接ローラ１２ｄの押し下げが解除され、修正具１２は傾
倒し、作ＬＥ呉１２は基板Ｗより下になる。そのため、
基板搬出側の搬送ロボソトは、修正具１２に動きを制約
されることなく、基板Ｗを搬出することができる。八お
、基板搬入側の搬送ロボソトから基板Ｗを受は取る際に
は、昇降板１５ａが上昇する前に、基板を搬入するため
、まだ修正具１２は起立姿勢にないので、搬送ロボット
が修正具１２に動きを制約されることなく、基板を搬入
することができる。

このように、第３の発明に属する第６図示の実施例でも
、第２の発明に属する第４図及び第５図示の実施例と同
様に、アクチエータ１８の１回の昇降動作で基板の受は
渡しと、位置柊正動作と、基板Ｗの搬入及び搬出時の修
正具１２の傾倒動作のすべてを行い、第４図及び第５図
示の実施例と同様の特有の効果をイｆする。

第７図は第４の発明に属する位置修正型基板支持装置の
斜視図である。この装置は、基台１に直接ベース板４を
固設し、ベース板４上の左右両端部に各修正具１２のエ
ルボ１２ｂを支持する揺動支点Ｑを設け、ベース板４の
上方に昇降板ｔ　５　ａを配置してアクチエータ１８の
出力ドツトで昇降可能に支持し、昇降板１５ａに基板支
持ビン１０・・を立設し、各修正具１２の下部に当接ロ
ーラ１２ｄを設けて成り、ｎｎＥ［１２ｌｅｔ当接ｏ−
ラ１２ｄが昇降板１５ａの両端部下面と当接して押し下
げられることにより、傾倒姿勢から起立姿勢へ同期連動
するように構成されている。なお、同図中符号１２ｅは
、修正具１２に付設された基板支持具、１３ｂは修正具
１２を傾倒姿勢側へ付勢する引張ばねであり、起立姿勢
では、当該支持具Ｉ２ｅで基板Ｗを支持することになる
。このためビンヘノド１０ａと基板Ｗとの間に、わずか
な隙間が形成される。

この装置では、連動具１５を構成する昇降板１５ａの下
降に伴って、修正具１２の当接ローラ１２ｄがベース板
４に押し下げられて、修正具１２が起立するようになっ
ており、次のように動作する。

基板Ｗの受は渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
１５ａはまだ上昇させていない。この状態で、基板搬入
側の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ピン１０の
上方へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチエータ１８で昇降板１５ａを上！Ｉする
と、昇降板１５ａによる当接ローラ１２ｄの押し下げが
解除されて修正具１２が傾倒するとともに、基板支持ビ
ンｌＯが上昇し、基板搬入側の搬送ロボットから基板を
受は取る。

更に続けて、搬入側の搬送ロボットを退避させておいて
から、胃、降ｆｆ１１５８を下降すると、当接ローラ１
２ｄかｈ′、降板１５ａに押し下げられて、１苓正具１
２が起立し、基板Ｗを位置昨正する。

次に、再度、昇降板１５ａを上昇させておいてから、搬
出側の搬送ロボット（図示せず）を基板Ｗの下へ待機さ
せ、昇降板１５ａを再度下降すると、搬送ロボットへも
（板Ｗが度される。なお、７を降板１５ａの下降に伴っ
て、Ｉ’Ｗ　ｉＦ−只１２が起訴するか、起立し終える
までに搬送ロボットヘノ１（板Ｗかｎ２されるので、修
正具１２は渡された基板Ｗの下で起茫するから、修正具
Ｉ２に動きを制約されることなく基板搬出側の搬送ロボ
ットが、基板Ｗを１般出することかできる。

このように、アクチエータ１８の２同の帰陣動作で〕！
仮Ｗの受は渡しと、位置に正動作と基板Ｗの１般人及び
１般出時の修正具１２の傾倒動作のすべてを行い、以下
の特有の効果を有する。

昇降板１５ａを帰陣するだけで、基板受は取りのための
基板支持ビン１０の上昇動作、基板Ｗの位置灯正動作、
基板を渡すための基板支持ビン１０の下降動作に至る一
連の動作が、タイミング制御を共さずに行える。搬出側
の搬送ロボットには、Ｊ！板Ｗをシ？、降する機能を有
していなくても、基板Ｗの受は渡し及び修正具１２に動
きを制約されることなく基板の搬入と搬出ができ、搬送
ロボットにＩｙ！′１ｔ１１な機構のものを使用できる
。

第８図は上記第４の発明の変形例を示す要部縦断面図で
ある。この装置は修正具１２の上部１２ａを坪り状にＩ
Ｆｊ成して引張りばね１３ｂを省くとともに、当接ロー
ラ１２ｄを省いて直接ｔ’ｆ＋Ｅ只１２の下部を押し下
げるように構成し、構造を簡素化したものである。むお
、ｗ板の位置灯正動作等は第７図示のものと同様であり
、その説明を省く。

第９図は、に記第５の発明を示す斜視図である。

この装置は昇降板＋５８の渭右両端部に４１　ｉ１Ｅ具
２を支持するｔ；ｎ動支点Ｑを設け、作正！−！１２の
下３ｂによりｔＬ＋ｆＥ呉１２を傾動させるように構成
されており、次のように樟動する。

基１ｗの受は渡しを開始する前の初期状態では、昇降板
１５ａはまだ上昇させていない。この状態で基板搬入側
の搬送ロボット（図示せず）が、基板支持ビン１０の上
方へ基板Ｗを搬入してくる。

続いて、アクチエータ１８で昇降板＋５３を」二Ｈする
と、昇降板１５ａとともに修正具１２の揺動支点Ｑが」
二昇し、当接ローラｌ’２ｄの基台１による押上げ方向
の力が解除されて、１ｌｉＥ具１２が傾倒するとともに
、基板支持ビン１０が」二界し、基板搬入側の搬送ロボ
ットから基板を受は取る。

さらに続けて、搬入側の搬送ロボットを退避させておい
てから、昇降板＋５８を下降すると、当接ローラ１２ｄ
が基台１に当接して押し下げる方向の力を受け、修正具
１２が起立し、基板Ｗを位置４％　ｉＥする。

次に、再度、昇降板１５ａを上昇しておいてから搬出側
の搬送ロボット（図示せず）を基板Ｗの下へ待機させ、
昇降板１５ａを再度下降すると、搬送ロボットへ基板Ｗ
が渡される。なお、昇降板１５ａのＦ降に件って化工「
具１２か起１゛ｌするが、起）′Ｌし終えるまでに搬送
ロポ、トヘ基板Ｗが渡されるので、★ｅ正見見１２（ご
動きを制約されることなく）に板搬出側の搬送ロボット
か、！、（板Ｗを搬出することができる。

このようにアクチエータ１８の２回のｄ降動作て）に板
Ｗの受は渡しと、位研作正動作と】、（板Ｗの搬入及び
搬出時の修１１只１２の傾倒動作のすべてを行い、第４
の発明に属する第７図＆び第８図示の実施例と同様の特
有の効果を有する。

なお、上記実施例ではいづれし搬送ロボｙト間での基板
の受は渡し用の位置修正型基板支持装置として説明した
が、検査装置等の試料台として油田することもできる。

また、上記実施例ではＪｋ板支持呉としてピン１０を用
いているが、これに代えて眼前式のチャック等を用いる
こともできる。同様にｎ　＋、Ｅ　只についても多様な
変形を加えて実施し得る。

〈発明の効果〉 以上の説明で明らかなように、第１の発明は、基板の位
置を修正するための４１　ｉＥ具を起立姿勢と傾倒姿勢
との間で揺動させ、基板の受は渡しに際し、修正具の上
部を当該支持位置よりも下方に退避させるようにしたの
で、次のイ及び口の効果を奏する。

さらに、第２と第３の発明は連動具とともに基板支持具
を昇降するようにし、上昇した位置で基板の（Ｉ”１．
置作正をするようにしたから、以下のイ。

口、ハ、二、及びホの効果を奏する。

また、第４と第５の発明は、第１の発明をさらに連動［
１とともに基板支持具を昇降するようにし、下降した位
置で基板の位置修正をするようにしたから、以下のイ、
ロ　ハ及び二の効果を奏する。

イ、ｉ％ｒＥ具が移動することにより基板の位置を峰ｉ
Ｅするから、基板のＫＬ　ｉδを修正する範囲が広い。

口、搬送ロボットとの２．（板の受は渡しに際し、修正
！゛１が、搬送ロボソトによる基板の移動に障害となら
ないように、修正具を搬送中の基板より下へ移動し、修
正具が搬送ロボットの動きを制約せず、搬送ロボソトの
動きが自由である。

ハ　Ｊｌ（（反を受けａしするために基板支持具を昇降
する動作と、基板の位置を修正する方向へ修正具を移動
させる動作や、修正具を基板から離れる方向へ移動させ
る動作を、タイミング制御する必要がない。

二、搬出側の搬送ロボットには、基板を昇降する機能を
有していなくても、基板を渡すこと及び修正具に動きを
制約されることなく基板を搬出することができ、搬出側
の搬送ロボソトに簡１１ｑな機構のもσ」を使用できる
。

ホ、辿動具を１向岸降動作させるｔごけで、位置作疋を
（’Ｉ’う基板Ｗの受は渡しが迅速にできる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第９図は本発明に係る位置灯ｉＥ型ＪＪ板支持
装置ｄの実施例を示し、第１図は第１の究明に属する実
施例装置の斜視図、第２図はその縦断面図、第３図はそ
の変形例を示す縦断面図、第４図は第２の発明に属する
実施例装置の斜視図、第５図はその縦断面図、第６図は
第３の発明に属する実施例装置を示す斜視図、第７図は
第４の発明に属する実施例装置の斜視図、第８図はその
変形例を示す縦断面図、第９図は第５の発明に属する実
施例装置を示す斜視図２４第１０図及び第１１図はそれ
ぞれ従来例を示す斜視図である。 １０・・・基板支持具（基板支持ピン）、１２・・・灯
正具、１２ａ・・・修ｌ′Ｆ具の上部、１５・１５ａ・
・・連動具（昇降板）、１６・１６ａ・・・当接具、１
８・・・アクチエータ、Ａ・・・起立姿勢、Ｂ・・・傾
倒姿勢、Ｑ・・・揺動支点、Ｗ・・・１λ仮。 ０許出願人　大日本スクリーン製造株式会社第２図 第、３図 １六 第１ 図 第１０図 第１１図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下方
   に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動可
   能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数の
   修正具と、昇降可能に設けられ、複数の修正具を上記両
   姿勢間で同期連動可能に揺動する連動具と、連動具を昇
   降駆動するアクチエータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の昇降に基づき同期 連動することにより、起立姿勢では基板支持具で支持し
   た基板の外縁に修正具の上部が当接して基板の位置を修
   正し、傾倒姿勢では修正具の上部が当該基板より下位に
   退避するように構成したことを特徴とする位置修正型基
   板支持装置 ２、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下方
   に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動可
   能に支持され、当該基板の周囲に配置された複数の修正
   具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、上昇
   時に各修正具と当接し、上昇位置では各修正具を起立姿
   勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動するアクチエ
   ータとを具備して成り、複数の修正具が連動具の上昇に
   基づき基板 支持具の上昇と同期連動して起立し、その起立姿勢では
   基板支持具で支持した基板の外縁に修正具の上部が当接
   して基板の位置を修正し、連動具の下降に基づき基板支
   持具の下降と同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修
   正具の上部が当該基板より下位に退避するように構成し
   たことを特徴とする位置修正型基板支持装置 ３、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下方
   に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動可
   能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数の
   修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、
   各修正具を傾倒可能に支持する連動具と、連動具ととも
   に上昇する修正具と当接して修正具を傾倒姿勢から起立
   姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動するアクチ
   エータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の上昇に基づき基板 支持具の上昇と同期連動して起立し、その起立姿勢では
   基板支持具で支持した基板の外縁に修正具の上部が当接
   して基板の位置を修正し、連動具の下降に基づき基板支
   持具の下降と同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修
   正具の上部が当該基板より下位に退避するように構成し
   たことを特徴とする位置修正型基板支持装置 ４、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下方
   に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動可
   能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数の
   修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、
   下降時に各修正具と当接し、下降位置では各修正具を起
   立姿勢に規制する連動具と、連動具を昇降駆動するアク
   チエータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の下降に基づき基板 支持具の下降と同期連動して起立し、その起立姿勢では
   基板支持具で支持した基板の外縁に修正具の上部が当接
   して基板の位置を修正し、連動具の上昇に基づき基板支
   持具の上昇と同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修
   正具の上部が当該基板より下位に退避するように構成し
   たことを特徴とする位置修正型基板支持装置 ５、基板支持具と、基板支持具で支持した基板より下方
   に揺動支点を有し、起立姿勢と傾倒姿勢との間で揺動可
   能に支持され、当該支持基板の周囲に配置された複数の
   修正具と、基板支持具を固設して昇降可能に設置され、
   複数の修正具を同期連動可能に支持する連動具と、連動
   具の下降により修正具と当接して修正具を傾倒姿勢から
   起立姿勢へ規制する当接具と、連動具を昇降駆動するア
   クチエータとを具備して成り、 複数の修正具が連動具の下降に基づき基板 支持具の下降と同期連動して起立し、その起立姿勢では
   基板支持具で支持した基板の外縁に修正具の上部が当接
   して基板の位置を修正し、連動具の上昇に基づき基板支
   持具の上昇と同期連動して傾動し、その傾倒姿勢では修
   正具の上部が当該基板より下位に退避するように構成し
   たことを特徴とする位置修正型基板支持装置