JPH1050801A - 基板搬送装置 - Google Patents
基板搬送装置Info
- Publication number
- JPH1050801A JPH1050801A JP22171796A JP22171796A JPH1050801A JP H1050801 A JPH1050801 A JP H1050801A JP 22171796 A JP22171796 A JP 22171796A JP 22171796 A JP22171796 A JP 22171796A JP H1050801 A JPH1050801 A JP H1050801A
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- JP
- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 正規経路から逸脱した基板を正規経路に自動
的に復帰させる。 【構成】 搬送機構１は基板Ｓを搬送ロボットによりス
テーション３、４の間で搬送する。搬送機構１の上方に
は、基板Ｓの実軌跡を処理手段に取り込むためのカメラ
を設置する。処理手段には正規幅Ｌを有し基板Ｓの正規
経路を表す正規テンプレートと、許容幅Ｍを有し正規経
路よりも許容範囲だけ広い許容テンプレートとを設定す
る。処理手段は、実軌跡が許容幅Ｍ内で正規幅Ｌを逸脱
したとき、実軌跡の正規テンプレートから方向Ａに直角
な方向の逸脱量から、基板Ｓをステーション４の正規位
置に復帰させるための補正量を算出し、この補正量に基
づいて搬送ロボットを制御する。
的に復帰させる。 【構成】 搬送機構１は基板Ｓを搬送ロボットによりス
テーション３、４の間で搬送する。搬送機構１の上方に
は、基板Ｓの実軌跡を処理手段に取り込むためのカメラ
を設置する。処理手段には正規幅Ｌを有し基板Ｓの正規
経路を表す正規テンプレートと、許容幅Ｍを有し正規経
路よりも許容範囲だけ広い許容テンプレートとを設定す
る。処理手段は、実軌跡が許容幅Ｍ内で正規幅Ｌを逸脱
したとき、実軌跡の正規テンプレートから方向Ａに直角
な方向の逸脱量から、基板Ｓをステーション４の正規位
置に復帰させるための補正量を算出し、この補正量に基
づいて搬送ロボットを制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体を製
造する際に使用され、基板を処理する位置に搬送する基
板搬送装置に関するものである。
造する際に使用され、基板を処理する位置に搬送する基
板搬送装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のこの種の基板搬送装置では、基板
が正規経路から逸脱した場合に基板の搬送を自動的に停
止するようになっている。この場合に、基板の逸脱量が
少ないときは確認作業の後に基板の搬送を再開し、基板
の逸脱量が多いときは装置の作動を停止し、逸脱した基
板を正規経路に復帰させた後に装置を作動させるように
なっている。
が正規経路から逸脱した場合に基板の搬送を自動的に停
止するようになっている。この場合に、基板の逸脱量が
少ないときは確認作業の後に基板の搬送を再開し、基板
の逸脱量が多いときは装置の作動を停止し、逸脱した基
板を正規経路に復帰させた後に装置を作動させるように
なっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来例で
は基板が正規経路から逸脱した場合に基板の搬送を必ず
停止するので、基板を処理する工程も中断することにな
る。このため、実施例では稼働率を低下させる上に、搬
送に続いて基板を処理する場合には、基板の均一性を損
なって品質を低下させるという問題点がある。
は基板が正規経路から逸脱した場合に基板の搬送を必ず
停止するので、基板を処理する工程も中断することにな
る。このため、実施例では稼働率を低下させる上に、搬
送に続いて基板を処理する場合には、基板の均一性を損
なって品質を低下させるという問題点がある。
【０００４】本発明の目的は、上述した問題点を解消
し、基板の搬送を中断することなく、正規経路から逸脱
した基板を正規経路に復帰させる基板搬送装置を提供す
ることにある。
し、基板の搬送を中断することなく、正規経路から逸脱
した基板を正規経路に復帰させる基板搬送装置を提供す
ることにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る基板搬送装置は、基板を正規経路に沿っ
て搬送する基板搬送装置において、前記正規経路から逸
脱した前記基板を前記正規経路に復帰させるための復帰
手段を設けたことを特徴とする。
の本発明に係る基板搬送装置は、基板を正規経路に沿っ
て搬送する基板搬送装置において、前記正規経路から逸
脱した前記基板を前記正規経路に復帰させるための復帰
手段を設けたことを特徴とする。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明を図示の実施例に基づいて
詳細に説明する。図１は実施例の概略側面図であり、搬
送機構１の上方にはカメラ２が設置され、このカメラ２
によって搬送機構１の全体が俯瞰できるようになってい
る。図２は搬送機構１の平面図であり、基板Ｓを搭載す
るためのステーション３、４が、所定の間隔を空けて基
台５の上に設けられ、ステーション３に搭載された基板
Ｓは、図示しない搬送ロボットにより方向Ａに搬送され
ステーション４に搭載されるようになっている。
詳細に説明する。図１は実施例の概略側面図であり、搬
送機構１の上方にはカメラ２が設置され、このカメラ２
によって搬送機構１の全体が俯瞰できるようになってい
る。図２は搬送機構１の平面図であり、基板Ｓを搭載す
るためのステーション３、４が、所定の間隔を空けて基
台５の上に設けられ、ステーション３に搭載された基板
Ｓは、図示しない搬送ロボットにより方向Ａに搬送され
ステーション４に搭載されるようになっている。
【０００７】カメラ２によって基板Ｓの連続した位置が
撮影され、基板Ｓの移動経路の実軌跡として図示しない
処理手段に取り込まれるようになっている。この処理手
段には、正規テンプレートつまり所定幅Ｌを有して基板
Ｓが搬送される正規経路と、許容テンプレートつまり正
規経路よりも許容範囲だけ広い許容幅Ｍを有する許容経
路とが設定されている。この許容経路の許容幅Ｍは、基
板Ｓを搬送ロボットにより正規経路に復帰させることの
できるに足る大きさとされている。そして、制御手段
は、基板Ｓの実軌跡が正規経路から逸脱し、許容経路内
にある場合に、基板Ｓを正規テンプレート内に復帰させ
るように搬送ロボットを制御するようになっている。
撮影され、基板Ｓの移動経路の実軌跡として図示しない
処理手段に取り込まれるようになっている。この処理手
段には、正規テンプレートつまり所定幅Ｌを有して基板
Ｓが搬送される正規経路と、許容テンプレートつまり正
規経路よりも許容範囲だけ広い許容幅Ｍを有する許容経
路とが設定されている。この許容経路の許容幅Ｍは、基
板Ｓを搬送ロボットにより正規経路に復帰させることの
できるに足る大きさとされている。そして、制御手段
は、基板Ｓの実軌跡が正規経路から逸脱し、許容経路内
にある場合に、基板Ｓを正規テンプレート内に復帰させ
るように搬送ロボットを制御するようになっている。
【０００８】この場合に、図３に示すように基板Ｓが許
容経路内において正規経路から逸脱したとき、基板Ｓの
実軌跡と正規テンプレートと許容テンプレートとが対比
され、方向Ａと直角な方向に対する実軌跡の逸脱量が読
み取られる。この逸脱量から基板Ｓをステーション４上
に復帰させるための補正量、つまりステーション３とス
テーション４の間の所定距離に対する補正量が算出され
る。
容経路内において正規経路から逸脱したとき、基板Ｓの
実軌跡と正規テンプレートと許容テンプレートとが対比
され、方向Ａと直角な方向に対する実軌跡の逸脱量が読
み取られる。この逸脱量から基板Ｓをステーション４上
に復帰させるための補正量、つまりステーション３とス
テーション４の間の所定距離に対する補正量が算出され
る。
【０００９】このような構成により、搬送ロボットが基
板Ｓをステーション３からステーション４に自動的に搬
送する際に、処理手段はカメラ２から基板Ｓの実軌跡を
取り込む。そして、処理手段は実軌跡と正規テンプレー
トと許容テンプレートとを対比し、実軌跡の正規テンプ
レートに対する逸脱量から、基板Ｓをステーション４の
正規位置に復帰させるための補正量を算出し、この補正
量に基づいて搬送ロボットを制御する。
板Ｓをステーション３からステーション４に自動的に搬
送する際に、処理手段はカメラ２から基板Ｓの実軌跡を
取り込む。そして、処理手段は実軌跡と正規テンプレー
トと許容テンプレートとを対比し、実軌跡の正規テンプ
レートに対する逸脱量から、基板Ｓをステーション４の
正規位置に復帰させるための補正量を算出し、この補正
量に基づいて搬送ロボットを制御する。
【００１０】搬送ロボットを補正量に基づいて制御しな
い場合には、図４に示すように搬送ロボットは基板Ｓを
逸脱させたままステーション４に搬送するが、搬送ロボ
ットを補正量に基づいて制御した場合には、図５に示す
ように搬送ロボットは基板Ｓをステーンヨン４の正規位
置に搬送する。
い場合には、図４に示すように搬送ロボットは基板Ｓを
逸脱させたままステーション４に搬送するが、搬送ロボ
ットを補正量に基づいて制御した場合には、図５に示す
ように搬送ロボットは基板Ｓをステーンヨン４の正規位
置に搬送する。
【００１１】このように、実施例では正規幅Ｌを有する
正規経路から逸脱した基板Ｓを、正規経路に復帰させる
ための処理手段を設けたので、基板Ｓが正規経路を外れ
ても、基板Ｓの搬送を中断することなく基板Ｓを正規経
路に復帰させることが可能となり、稼働率を向上させる
ことができる。従って、搬送に続いて基板Ｓを処理する
場合には、中断することなく連続して処理することがで
き、基板Ｓの均一性を確保し品質を向上させることが可
能となる
正規経路から逸脱した基板Ｓを、正規経路に復帰させる
ための処理手段を設けたので、基板Ｓが正規経路を外れ
ても、基板Ｓの搬送を中断することなく基板Ｓを正規経
路に復帰させることが可能となり、稼働率を向上させる
ことができる。従って、搬送に続いて基板Ｓを処理する
場合には、中断することなく連続して処理することがで
き、基板Ｓの均一性を確保し品質を向上させることが可
能となる
【００１２】なお、処理手段は基板Ｓの実軌跡から補正
量を算出し、その補正量に基づいて搬送ロボットを制御
したが、過去の多数の補正量から基板Ｓの逸脱傾向を把
握し、これらの補正量の例えば平均値を処理手段に予め
設定して搬送ロボットを制御するようにすることも可能
である。
量を算出し、その補正量に基づいて搬送ロボットを制御
したが、過去の多数の補正量から基板Ｓの逸脱傾向を把
握し、これらの補正量の例えば平均値を処理手段に予め
設定して搬送ロボットを制御するようにすることも可能
である。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係る基板搬
送装置は、正規経路から逸脱した基板を正規経路に復帰
させるための復帰手段を設けたので、基板が正規経路を
外れた場合に、基板の搬送を中断することなく基板を正
規経路に復帰させることが可能となり、稼働率の向上を
実現できる。従って、搬送に続いて基板を処理する場合
には、連続して処理することが可能となり、基板の均一
性の向上による高品質を実現できる。
送装置は、正規経路から逸脱した基板を正規経路に復帰
させるための復帰手段を設けたので、基板が正規経路を
外れた場合に、基板の搬送を中断することなく基板を正
規経路に復帰させることが可能となり、稼働率の向上を
実現できる。従って、搬送に続いて基板を処理する場合
には、連続して処理することが可能となり、基板の均一
性の向上による高品質を実現できる。
【図１】実施例の概略側面図である。
【図２】搬送機構の平面図である。
【図３】基板が正規経路を逸脱した状態の平面図であ
る。
る。
【図４】基板が正規経路を逸脱したまま搬送された状態
の平面図である。
の平面図である。
【図５】基板が正規経路に戻されて搬送された状態の平
面図である。
面図である。
１ 搬送機構 ２ カメラ ３、４ ステーション Ｌ 正規幅 Ｍ 許容幅 Ｓ 基板
Claims (2)
- 【請求項１】 基板を正規経路に沿って搬送する基板搬
送装置において、前記正規経路から逸脱した前記基板を
前記正規経路に復帰させるための復帰手段を設けた基板
搬送装置。 - 【請求項２】 前記復帰手段は、前記基板の実際に移動
した実軌跡と、前記正規経路と、前記正規経路よりも許
容範囲だけ広い許容経路とを対比し、前記実軌跡が前記
許容経路内で前記正規経路を逸脱した際に前記基板を前
記正規経路に復帰させるようにした請求項１に記載の基
板搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22171796A JPH1050801A (ja) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | 基板搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22171796A JPH1050801A (ja) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | 基板搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1050801A true JPH1050801A (ja) | 1998-02-20 |
Family
ID=16771169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22171796A Pending JPH1050801A (ja) | 1996-08-05 | 1996-08-05 | 基板搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1050801A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6720680B1 (en) | 1999-02-04 | 2004-04-13 | Nikon Corporation | Flat motor device and its driving method, stage device and its driving method, exposure apparatus and exposure method, and device and its manufacturing method |
-
1996
- 1996-08-05 JP JP22171796A patent/JPH1050801A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6720680B1 (en) | 1999-02-04 | 2004-04-13 | Nikon Corporation | Flat motor device and its driving method, stage device and its driving method, exposure apparatus and exposure method, and device and its manufacturing method |
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