JPH0727954B2 - ウェハーカセット搬送路 - Google Patents
ウェハーカセット搬送路Info
- Publication number
- JPH0727954B2 JPH0727954B2 JP6947990A JP6947990A JPH0727954B2 JP H0727954 B2 JPH0727954 B2 JP H0727954B2 JP 6947990 A JP6947990 A JP 6947990A JP 6947990 A JP6947990 A JP 6947990A JP H0727954 B2 JPH0727954 B2 JP H0727954B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer cassette
- transfer
- path
- transport
- transport path
- Prior art date
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、ウェハーカセット搬送路の途中に設けたウェ
ハーカセット受け渡しステーション位置において、追い
越し台車の通過による空気の乱れにより搬送チューブ内
のクリーン度が低下するのを防止するようにしたウェハ
ーカセット搬送路に関するものである。
ハーカセット受け渡しステーション位置において、追い
越し台車の通過による空気の乱れにより搬送チューブ内
のクリーン度が低下するのを防止するようにしたウェハ
ーカセット搬送路に関するものである。
半導体生産工場内においてウェハーカセットをウェハー
カセット搬送路に沿って搬送する場合、搬送路の周囲を
搬送チューブで覆い、かつこの搬送チューブ内を設定さ
れたクリーン度に保つようにしている。
カセット搬送路に沿って搬送する場合、搬送路の周囲を
搬送チューブで覆い、かつこの搬送チューブ内を設定さ
れたクリーン度に保つようにしている。
ところで、このウェハーカセット搬送路の途中には、ウ
ェハーに各種の処理を行うため、ウェハーカセット受け
渡しステーションが設けられる。この受け渡しステーシ
ョンは、第３図に示すように、ウェハーカセット受け渡
しステーション位置において、搬送路１を覆う搬送チュ
ーブ４を搬送路１に対して直角方向、両側に突出させて
膨出部３を形成し、膨出部３に位置する搬送路１を少な
くとも台車２の長さ分だけ切り欠き、この切欠部に２つ
の補助搬送路5,5を配設したトラバーサ６を２つの補助
搬送路5,5が搬送路１に接続される位置と膨出部３の位
置とに選択的に切り換えて配置されるように搬送路１に
対して直角方向に摺動可能に設けることにより、ウェハ
ーカセットの受け渡し時、他の台車がそのウェハーカセ
ット受け渡しステーションを通過可能な構成としてい
る。
ェハーに各種の処理を行うため、ウェハーカセット受け
渡しステーションが設けられる。この受け渡しステーシ
ョンは、第３図に示すように、ウェハーカセット受け渡
しステーション位置において、搬送路１を覆う搬送チュ
ーブ４を搬送路１に対して直角方向、両側に突出させて
膨出部３を形成し、膨出部３に位置する搬送路１を少な
くとも台車２の長さ分だけ切り欠き、この切欠部に２つ
の補助搬送路5,5を配設したトラバーサ６を２つの補助
搬送路5,5が搬送路１に接続される位置と膨出部３の位
置とに選択的に切り換えて配置されるように搬送路１に
対して直角方向に摺動可能に設けることにより、ウェハ
ーカセットの受け渡し時、他の台車がそのウェハーカセ
ット受け渡しステーションを通過可能な構成としてい
る。
しかしながら、他の台車が通過した時、ウェハーカセッ
トの受け渡しが行われている搬送チューブの膨出部に空
気の乱れが発生し、この空の乱れは受け渡し状態にある
ウェハーカセットに影響を与え、カセット及びウェハー
を汚染することとなる。
トの受け渡しが行われている搬送チューブの膨出部に空
気の乱れが発生し、この空の乱れは受け渡し状態にある
ウェハーカセットに影響を与え、カセット及びウェハー
を汚染することとなる。
本発明は、ウェハーカセットの受け渡し時、他の台車が
そのウェハーカセット受け渡しステーションを通過して
も、ウェハーカセットの受け渡しが行われている搬送チ
ューブの膨出部に空気の乱れが発生しないようにしたウ
ェハーカセット搬送路に提供することを目的とする。
そのウェハーカセット受け渡しステーションを通過して
も、ウェハーカセットの受け渡しが行われている搬送チ
ューブの膨出部に空気の乱れが発生しないようにしたウ
ェハーカセット搬送路に提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明のウェハーカセット搬
送路は、ウェハーカセット受け渡しステーション位置に
おいて搬送路を覆う搬送チューブを搬送路に対して直角
方向、両側に突出させて膨出部を形成し、膨出部を形成
した部分の搬送路を少なくとも台車の長さ分だけ切り欠
き、この切欠部に２つの補助搬送路を配設したトラバー
サを２つの補助搬送路が搬送路に接続される位置と膨出
部の位置とに選択的に切り換えて配置されるように搬送
路に対して直角方向に摺動可能に設け、トラバーサの２
つの補助搬送路間に仕切板を設けたことを要旨とする。
送路は、ウェハーカセット受け渡しステーション位置に
おいて搬送路を覆う搬送チューブを搬送路に対して直角
方向、両側に突出させて膨出部を形成し、膨出部を形成
した部分の搬送路を少なくとも台車の長さ分だけ切り欠
き、この切欠部に２つの補助搬送路を配設したトラバー
サを２つの補助搬送路が搬送路に接続される位置と膨出
部の位置とに選択的に切り換えて配置されるように搬送
路に対して直角方向に摺動可能に設け、トラバーサの２
つの補助搬送路間に仕切板を設けたことを要旨とする。
１台の台車がウェハーカセットの受け渡しを行っている
時、他の台車がそのウェハーカセット受け渡しステーシ
ョンを通過しても、ウェハーカセットの受け渡しが行わ
れている搬送チューブの膨出部は仕切板によって仕切ら
れているため、この膨出部内の空気には乱れが発生せ
ず、カセット及びウェハーは汚染されない。
時、他の台車がそのウェハーカセット受け渡しステーシ
ョンを通過しても、ウェハーカセットの受け渡しが行わ
れている搬送チューブの膨出部は仕切板によって仕切ら
れているため、この膨出部内の空気には乱れが発生せ
ず、カセット及びウェハーは汚染されない。
以下、本発明を図示の実施例に基づいて説明する。
図において１は半導体生産工場内等において、予め定め
た搬送工程に沿って配設された搬送路で、この搬送路１
上を複数台の台車２が夫々独自に予め入力された指示信
号により移動し、設定されたウェハーカセット受け渡し
ステーションでウェハーカセットの受け渡しを行うよう
に構成されている。
た搬送工程に沿って配設された搬送路で、この搬送路１
上を複数台の台車２が夫々独自に予め入力された指示信
号により移動し、設定されたウェハーカセット受け渡し
ステーションでウェハーカセットの受け渡しを行うよう
に構成されている。
ウェハーカセットの搬送、受け渡しは設定されたクリー
ン度を保った環境内で行う必要があり、このため本線と
なる搬送路１は搬送チューブ４にて覆われている。
ン度を保った環境内で行う必要があり、このため本線と
なる搬送路１は搬送チューブ４にて覆われている。
ウェハーカセット受け渡しステーション位置において、
搬送路１を覆う搬送チューブ４を、搬送路１に対して直
角方向、両側に突出させて膨出部3,3を形成し、この膨
出部3,3を形成した部分の搬送路１を少なくとも台車２
の長さ分だけ切り欠き、切欠部を形成する。
搬送路１を覆う搬送チューブ４を、搬送路１に対して直
角方向、両側に突出させて膨出部3,3を形成し、この膨
出部3,3を形成した部分の搬送路１を少なくとも台車２
の長さ分だけ切り欠き、切欠部を形成する。
この断線部に２つの補助搬送5,5を配設したトラバーサ
６を２つの補助搬送路5,5が搬送路１に接続される位置
と膨出部３の位置に選択的に切り換えて配置されるよう
に搬送路１に対して直角方向に摺動可能に設ける。
６を２つの補助搬送路5,5が搬送路１に接続される位置
と膨出部３の位置に選択的に切り換えて配置されるよう
に搬送路１に対して直角方向に摺動可能に設ける。
また、トラバーサ６の２つの補助搬送路5,5間には、ウ
ェハーカセットの受け渡しが行われている搬送チューブ
の膨出部３を仕切ることができる形状をした仕切板７を
設ける。この仕切板７は搬送路１といずれか一方の補助
搬送路５とが一直線上に配置された時、台車２の進行に
支障を与えないように設けられる。
ェハーカセットの受け渡しが行われている搬送チューブ
の膨出部３を仕切ることができる形状をした仕切板７を
設ける。この仕切板７は搬送路１といずれか一方の補助
搬送路５とが一直線上に配置された時、台車２の進行に
支障を与えないように設けられる。
本発明によれば、１台の台車がウェハーカセットの受け
渡しを行っている時、他の台車がそのウェハーカセット
受け渡しステーションを通過しても、ウェハーカセット
の受け渡しが行われている搬送チューブの膨出部は仕切
板によってトラバーサの移動にて自動的に仕切られるた
め、この膨出部内の空気には乱れが発生しない。このた
め、他の台車の通過により発生する空気の乱れにより、
受け渡し状態にあるウェハーカセットのカセット及びウ
ェハーが汚染されること防止することができる。
渡しを行っている時、他の台車がそのウェハーカセット
受け渡しステーションを通過しても、ウェハーカセット
の受け渡しが行われている搬送チューブの膨出部は仕切
板によってトラバーサの移動にて自動的に仕切られるた
め、この膨出部内の空気には乱れが発生しない。このた
め、他の台車の通過により発生する空気の乱れにより、
受け渡し状態にあるウェハーカセットのカセット及びウ
ェハーが汚染されること防止することができる。
第１図は本発明のウェハーカセット搬送路の平面図、第
２図は同ウェハーカセットの受け渡し時の平面図、第３
図は公知例の平面図である。 １は搬送路、２は台車、３はステーション、４は搬送チ
ューブ、５は補助搬送路、６はトラバーサ、７は仕切
板。
２図は同ウェハーカセットの受け渡し時の平面図、第３
図は公知例の平面図である。 １は搬送路、２は台車、３はステーション、４は搬送チ
ューブ、５は補助搬送路、６はトラバーサ、７は仕切
板。
Claims (1)
- 【請求項１】ウェハーカセット受け渡しステーション位
置において搬送路（１）を覆う搬送チューブ（４）を搬
送路（１）に対して直角方向、両側に突出させて膨出部
（3,3）を形成し、膨出部（3,3）を形成した部分の搬送
路（１）を少なくとも台車（２）の長さ分だけ切り欠
き、この切欠部に２つの補助搬送路（5,5）を配設した
トラバーサ（６）を２つの補助搬送路（5,5）が搬送路
（１）に接続される位置と膨出部（３）の位置とに選択
的に切り換えて配置されるように搬送路（１）に対して
直角方向に摺動可能に設け、トラバーサ（６）の２つの
補助搬送路（5,5）間に仕切板（７）を設けたことを特
徴とするウェハーカセット搬送路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947990A JPH0727954B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947990A JPH0727954B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03270047A JPH03270047A (ja) | 1991-12-02 |
| JPH0727954B2 true JPH0727954B2 (ja) | 1995-03-29 |
Family
ID=13403873
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6947990A Expired - Fee Related JPH0727954B2 (ja) | 1990-03-19 | 1990-03-19 | ウェハーカセット搬送路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727954B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5461225B2 (ja) * | 2010-02-24 | 2014-04-02 | 株式会社アルバック | 搬送装置 |
-
1990
- 1990-03-19 JP JP6947990A patent/JPH0727954B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03270047A (ja) | 1991-12-02 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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