JP2885204B2

JP2885204B2 - 無人搬送車走行制御システム

Info

Publication number: JP2885204B2
Application number: JP8298352A
Authority: JP
Inventors: 裕人仲村
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-11-11
Filing date: 1996-11-11
Publication date: 1999-04-19
Anticipated expiration: 2016-11-11
Also published as: JPH10143244A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無人搬送車走行制
御システムに関するものであり、特に詳しくは、無人搬
送車走行制御システムに於ける無人搬送車を効率的に且
つ急峻な加減速を避けた経済的な走行状態を維持しえる
無人搬送車走行制御システムに関するものである。

【０００２】又、本発明は、特に半導体基板（以下「ウ
エハ」と記す）を収納したキャリアを自動保管棚（以下
「ストッカ」と記す）からプロセス装置に供給、または
プロセス装置からストッカへ回収する無人搬送車（以下
「ＡＧＶ」と記す）を用いた工程内搬送システムに関す
る。

【０００３】

【従来の技術】ウエハの製造には様々なプロセス処理が
必要であり、その工程順に何らかの手段でウエハを移動
させなければならない。例えば、製造工場におけるクリ
ーンルームでは、一般的に複数の小部屋（以下「ベイ」
と記す）を設けて各ベイにそれぞれのプロセス装置を設
置するが、このベイ内、つまり、工程内での搬送を自動
で行うのが工程内搬送システムである。

【０００４】上記した各工程内での搬送システムはＡＧ
Ｖによりウエハを収納したキャリアをストッカからプロ
セス装置に供給、またはプロセス装置からストッカへ回
収する方法が主流であり、ＡＧＶの走行ガイドとしては
軌道レールを床に据付ける方式の他、電磁、磁気、光学
等を利用した誘導方式がある。前者は有軌道式、後者は
無軌道式と呼ばれているが、後者に関しても物理的な誘
導体を床上に貼付ける、または床下に埋設する必要があ
るため、床上下の物理的な誘導体を全く用いないＡＧＶ
画像認識方式へと移行してきている。

【０００５】図４は従来の上記した無人搬送システムの
一例を示す構成図である。即ち、上位にホストコンピュ
ータ１をもつシステム全体を統括している搬送コントロ
ーラ２の下位には、例えば、ベイの天井に一定間隔毎に
複数個取付けられる通信ユニット３とＣＣＤカメラ４、
床上に設置される充電器盤５と２台程度の充電ステーシ
ョン６、床上を移動する複数台のＡＧＶ７で構成されて
いる。

【０００６】該搬送コントローラ２はホストコンピュー
タ１からの搬送要求により、通信ユニット３を介してＡ
ＧＶ７の通信器と通信を行い搬送指示を出す。この際、
搬送コントローラ２はＡＧＶ７の停止時、もしくは走行
時の位置を、ＣＣＤカメラ４で、個々のＡＧＶ７の発す
る赤外線を画像認識することにより把握している。

【０００７】また、該ＡＧＶ７は内部バッテリの電圧が
一定値以下に低下すると、充電器盤５に接続されている
充電ステーション６にて急速充電を行う。図５は従来例
のベイレイアウト図である。即ち、ベイの周囲には充電
ステーション６が２台、プロセス装置８が７台、ストッ
カ９が２台設置されている。ベイ内に投入された６台の
ＡＧＶ７は、搬送コントローラの走行制御ソフトウェア
で設定された停止ポイント１０に停止することと、ルー
ト１１上を走行することが可能である。

【０００８】停止ポイント１０とルート１１はベイレイ
アウトに物理的な誘導体を使用しても良く又は物理的な
誘導体を用いておらず、あくまでも走行制御ソフトウェ
アで定義されるものであっても良い。一方、図６は従来
例の走行制御条件設定の一例を示す図であり、図中のＡ
ＧＶ７の位置での走行制御を示すものである。

【０００９】つまり、ＡＧＶ７は、例えば、搬送コント
ローラの２次元座標に基づいた走行制御ソフトウェアに
て設定された条件で走行する。走行制御ソフトウェアに
て停止ポイント１２、停止ポイント１３、停止ポイント
１４、停止ポイント１５を設定しており、ＡＧＶ７はこ
れらで停止することが可能である。その間はルート１
６、ルート１７、ルート１８、ルート１９で連結させて
おり、ＡＧＶ７が矢印のように停止ポイント１２から停
止ポイント１５方向に走行できることを表している。

【００１０】もちろん、反対方向も設定できるが、便宜
上単一方向のみで記述する。このとき、ＡＧＶ７が停止
ポイント１２に停止する際の減速を開始する地点を減速
開始ポイント２０とし、同様に停止ポイント１３では減
速開始ポイント２１、停止ポイント１４では減速開始ポ
イント２２、停止ポイント１５では減速開始ポイント２
３とする。

【００１１】基本的に、走行中のＡＧＶ７は、搬送コン
トローラにより現在位置から２つ先の停止ポイントの状
態を確認して進入が可能であると判定されてから、１つ
先の停止ポイントを通過していく。これは、進入可能と
判定されていない停止ポイントにＡＧＶ７が進入する
と、他のＡＧＶ７との接触事故が発生する恐れがあるた
めである。

【００１２】２つ先の停止ポイントが進入可能と判定さ
れない場合、１つ先の停止ポイントまで減速徐行、さら
には１つ先の停止ポイントで停止待機することになる。
いくつ先の停止ポイントの状態を確認してＡＧＶ７を走
行させるかは、システムの規模や運用によっても異なる
ので、ここでは前述のとおりとする。図６の局面では、
２つ先の停止ポイントは進入可否確認範囲２４で示して
いるとおり停止ポイント１４であり、減速徐行や停止待
機せずに高速走行のまま停止ポイント１３を通過するに
は、高速走行可能距離２５で示しているとおり減速開始
ポイント２１に到達する前に停止ポイント１４へ進入可
能と判定されなければならない。

【００１３】図７は従来例の走行制御フローチャート図
であり、図６においての搬送コントローラの走行制御を
表している。ルート１６を走行中（ステップＦ−１）
に於いて、ＡＧＶ７が停止ポイント１２を通過した時点
で（ステップＦ−２）、停止ポイント１４への進入可
否を判定する。

【００１４】減速開始ポイント２１に到達する前に進入
可能と判定された場合は（ステップＦ−３）、減速開始
ポイント２１で減速せずに高速走行のまま停止ポイント
１３を通過する（ステップＦ−４）。減速開始ポイント
２１に到達する前に進入不可能と判定、または判定が間
に合わなかった場合は（ステップＦ−３）、減速開始ポ
イント２１から減速徐行する（ステップＦ−５）。

【００１５】判定処理を継続し、停止ポイント１３に到
達する前に進入可能と判定された場合は（ステップＦ−
６）、加速して停止ポイント１３を通過する（ステップ
Ｆ−７）。停止ポイント１３に到達する前に、進入不可
能と判定、またはさらに判定が間に合わなかった場合は
（ステップＦ−６）、停止ポイント１３に停止待機する
（ステップＦ−８）。

【００１６】その後も判定処理を継続し、進入可能と判
定されたら（ステップＦ−９）、停止ポイント１３から
発進加速する（ステップＦ−１０）。この中の（ステッ
プＦ−３）のフローでは、高速走行可能距離２５に十分
余裕があるので、他のＡＧＶ７により進路を塞がれてい
る等の外的要因がない限り、通常は（ステップＦ−５）
のフローへは進まず（ステップＦ−４）のフローへと続
き減速徐行や停止待機は発生しない。

【００１７】図８は従来例の他の走行制御条件を示す走
行制御条件設定図であり、図中のＡＧＶ７の位置での走
行制御を示すものである。走行制御ソフトウェアにて停
止ポイント２６、停止ポイント２７、停止ポイント２
８、停止ポイント２９を設定しており、ＡＧＶ７はこれ
らで停止することが可能である。

【００１８】その間はルート３０、ルート３１、ルート
３２、ルート３３で連結させており、ＡＧＶ７が矢印の
ように停止ポイント２６から停止ポイント２９方向に走
行できることを表している。このとき、ＡＧＶ７が停止
ポイント２６に停止する際の減速を開始する地点を減速
開始ポイント３４とし、同様に停止ポイント２７では減
速開始ポイント３５、停止ポイント２８では減速開始ポ
イント３６、停止ポイント２９では減速開始ポイント３
７とする。

【００１９】図８の局面では、２つ先の停止ポイントは
進入可否確認範囲３８で示しているとおり停止ポイント
２９であり、減速徐行や停止待機せずに高速走行のまま
停止ポイント２８を通過するには、高速走行可能距離３
９で示しているとおり減速開始ポイント３６に到達する
前に停止ポイント２９へ進入可能と判定されなければな
らない。

【００２０】図９は従来例の走行制御フローチャート図
であり、図８においての搬送コントローラの走行制御を
表している。即ち、ルート３１を走行中（ステップＦ−
１１）のＡＧＶ７が停止ポイント２７を通過した時点で
（ステップＦ−１２）、停止ポイント２９への進入可否
を判定する。

【００２１】減速開始ポイント３６に到達する前に進入
可能と判定された場合は（ステップＦ−１３）、減速開
始ポイント３６で減速せずに高速走行のまま停止ポイン
ト２８を通過す（ステップＦ−１４）。減速開始ポイン
ト３６に到達する前に進入不可能と判定、または判定が
間に合わなかった場合は（ステップＦ−１３）、減速開
始ポイント３６から減速徐行する（ステップＦ−１
５）。

【００２２】判定処理を継続し、停止ポイント２８に到
達する前に進入可能と判定された場合は（ステップＦ−
１６）、加速して停止ポイント２８を通過する（ステッ
プＦ−１７）。停止ポイント２８に到達する前に進入不
可能と判定、またはさらに判定が間に合わなかった場合
は（ステップＦ−１６）、停止ポイント２８に停止待機
する（ステップＦ−１８）。

【００２３】その後も判定処理を継続し、進入可能と判
定されたら（ステップＦ−１９）、停止ポイント２８か
ら発進加速する（ステップＦ−２０）。この中の（ステ
ップＦ−１３）のフローでは、高速走行可能距離３９が
かなり短く、ほとんど判定処理時間がないことになるた
め、現実的には（ステップＦ−１４）のフローへ進むこ
とは不可能で（ステップＦ−１５）のフローへと続き少
なくとも減速徐行が発生する。

【００２４】そして、高速走行が維持できず１度減速徐
行するわけだから、その後で進入可能と判定されても再
び高速走行になるまで加速する必要がある。この減速徐
行、および加速は、停止ポイント２７と停止ポイント２
８のように停止ポイント間が非常に接近していることに
より起因するもので、係る従来例に於ける走行制御方式
ではこの現象、つまり本来無意味な低速走行は必然的に
避けられないことになると共に、急速加速、急速減速等
も頻繁におこなわれる事になる。

【００２５】尚、その他の従来例としては、例えば特開
平２−１９４４０７号公報に開示されている様に、無人
搬送車が前方の区間に進入可能か否かを判断して進入不
可能な場合には停止指令を出す様に構成された無人搬送
車走行制御システムがしめされているが、かかる従来技
術は、上記した従来の方法と同様の問題点を含んでい
る。

【００２６】又特開平３−１０７３１０号公報には、無
人搬送車の走行速度を所定の値に制限する方法が示され
ているが、本発明に関する事前に所定の区域に進入しえ
るか否かを判断する技術は開示されていない。更に、特
開平２−３０２８０５号公報には、無人搬送車が走行中
に障害物に接触した場合に当該無人搬送車の走行速度を
低速にする技術が示されてはいるが、本発明に関する事
前に所定の区域に進入しえるか否かを判断する技術は開
示されていない。

【００２７】

【発明が解決しようとする課題】従って、従来の無人搬
送車走行制御システムに於いては、走行中のＡＧＶは、
基本的に搬送コントローラにより現在位置から２つ先の
停止ポイントの状態を確認して進入が可能であると判定
されてから１つ先の停止ポイントを通過していくので、
停止ポイント間がかなり接近している場合に減速徐行、
および加速を繰返す本来無意味な低速走行となってしま
う。よって、ＡＧＶの走行時間が長くなり、結果的に工
程内搬送システム全体の搬送能力を低下させていた。

【００２８】その為、本発明の目的は、上記した従来技
術の欠点を改良し、無人搬送車の無意味な低速走行並び
に急速加速、急速減速等が頻繁に発生する事のない効率
的でかつ経済的な無人搬送車走行制御システムを提供す
るものである。

【００２９】

【課題を解決するための手段】本発明は上記した目的を
達成するため、以下に記載されたような技術構成を採用
するものである。即ち、複数個の作業処理領域と、当該
複数個の作業処理領域群の少なくとも一部を選択的に巡
回し、それぞれの当該作業処理領域との間で、所定の作
業を実行する少なくとも１台の無人搬送車と、少なくと
も当該無人搬送車の走行位置情報を含む走行情報に基づ
いて、当該無人搬送車に対する走行制御を行う走行制御
手段と、当該無人搬送車の走行軌道とから構成された無
人搬送車走行制御システムにおいて、当該無人搬送車の
走行軌道上に複数個の停止ポイントを設けるとともに、
当該無人搬送車の進行方向前方に、当該無人搬送車の進
行に対応して移動する、複数の停止ポイントを監視し得
る、予め定められた距離を有するサーチ領域を設けるこ
とにより、当該走行制御手段が、当該サーチ領域内に最
後に入ってきた第１の停止ポイントに関する情報に応答
して、当該無人搬送車を、当該第１の停止ポイントの一
つ手前にある第２の停止ポイントで停止させるか、当該
第２の停止ポイントを通過させるかの指示を当該無人搬
送車に出力する無人搬送車走行制御システムである。

【００３０】

【発明の実施の態様】本発明に係る無人搬送車走行制御
システムは、上記した様な技術構成を採用しているもの
であって、その具体例としては、例えば、ＡＧＶを統括
している搬送コントローラの２次元座標に基づいた走行
制御ソフトウェア上にて、走行中のＡＧＶの現在位置か
ら予め設定するサーチ領域内に入ってきた停止ポイント
の状態を確認し、進入が可能であると判定したらＡＧＶ
に対してその１つ手前の停止ポイントを通過するための
許可を与えてＡＧＶを走行させるロジックで制御すると
言うような態様が考えられる。

【００３１】本発明により、減速徐行、および加速を繰
返す本来無意味な低速走行は他のＡＧＶにより進路を塞
がれている等の外的要因がない限り全く発生しなくなる
ため、ＡＧＶはほとんどの区間で高速走行が実現でき走
行時間が短縮される結果、工程内搬送システム全体の搬
送能力向上という効果が得られる。

【００３２】

【実施例】以下に、本発明に係る無人搬送車走行制御シ
ステムの具体例を図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は図５に示される様な作業処理領域に於いて使用さ
れる本発明に係る無人搬送車走行制御システムの一具体
例の構成を説明する図であって、図中、複数個の作業処
理領域８、当該複数個の作業処理領域群の少なくとも一
部を選択的に巡回し、それぞれの当該作業処理領域８と
の間で、所定の作業を実行する少なくとも１台の無人搬
送車（ＡＧＶ）７及び少なくとも当該無人搬送車７の走
行位置情報から、当該無人搬送車に対する走行制御を行
う走行制御手段１００とから構成された無人搬送車走行
制御システムにおいて、当該無人搬送車７の走行軌道上
１０１に複数個の停止ポイント４０、４１、４２、４
３、が設けられていると同時に、当該無人搬送車７の進
行方向前方に、当該無人搬送車７の進行に同期して移動
する、少なくとも複数個の当該停止ポイント４１、４
２、４３を監視し得る、予め定められた距離Ｌを有する
サーチ領域Ｓが常に形成される様に構成しておき、当該
走行制御手段１００が、当該サーチ領域Ｓ内に最後に入
ってきた該停止ポイント、即ち第１の停止ポイント４３
の出力情報に応答して、当該無人搬送車７を、当該停止
ポイント４３の一つ手前にある停止ポイント、即ち第２
の停止ポイント４２で停止させるか、該第２の停止ポイ
ント４２を通過させるかの指示を、該無人搬送車７に出
力する無人搬送車走行制御システムが示されている。

【００３３】更に、本発明に於いては、当該各停止ポイ
ント４０、４１、４２、４３には、それぞれ当該無人搬
送車７の走行方向から見た手前に減速開始ポイント４
８、４９、５０、５１が設けられている事が望ましい。
又、本発明に於いては、当該停止ポイント４０、４１、
４２、４３と当該減速開始ポイント４８、４９、５０、
５１との間には、予め定められた所定の距離Ｐが設けら
れており、当該距離Ｐが、該無人搬送車７が、当該サー
チ領域Ｓ内に最後に入ってきた該停止ポイント４３に対
する進入可否を確認する為の進入可否確認範囲Ｏとして
機能する様に構成する事も望ましい。

【００３４】本発明に係る無人搬送車走行制御システム
を図１及び図５並びに図４を参照してより詳細に説明す
る。即ち、図１は、ＡＧＶ７の現在位置での走行制御を
示すものである。本発明に基づく走行制御ソフトウェア
にて停止ポイント４０、停止ポイント４１、停止ポイン
ト４２、停止ポイント４３が設定されており、ＡＧＶ７
はこれらで停止することが可能である。

【００３５】その間はルート４４、ルート４５、ルート
４６、ルート４７で連結させており、ＡＧＶ７が矢印の
ように停止ポイント４０から停止ポイント４３方向に走
行できることを表している。このとき、ＡＧＶ７が停止
ポイント４０に停止する際の減速を開始する地点を減速
開始ポイント４８とし、同様に停止ポイント４１では減
速開始ポイント４９、停止ポイント４２では減速開始ポ
イント５０、停止ポイント４３では減速開始ポイント５
１とする。

【００３６】本発明では、走行制御手段１００は走行中
のＡＧＶ７の現在位置から予め設定する距離Ｌを有する
サーチ領域Ｓ内に入ってきた停止ポイントの状態を確認
して進入が可能であると判定したら、ＡＧＶ７に対して
その１つ手前の停止ポイントを通過するための許可を与
えるロジックを有している。より具体的には、当該距離
Ｌは、少なくとも上記した連続する複数個の停止ポイン
トが３個同時に監視しえるに充分な距離に設定される事
が望ましい。

【００３７】一方、予め設定する距離Ｐというのは、当
該サーチ領域Ｓの規定距離Ｌ内に最も最後に入ってきた
停止ポイント４３の１つ手前の停止ポイント４２の減速
ポイント５０までの距離に相当するものであって、上記
判定処理に必要な時間を充分に確保出来る事、及び進入
が不可能と判定されれば、逆に他のＡＧＶ７は進入が禁
止される事から、ＡＧＶ７同士の干渉を避けるために
も、当該距離は最短であることを満たしていなければな
らない。もちろん、システムの規模や運用によって異な
ってくるので、該走行制御手段１００側で最適値を可変
式に設定できる機能をもたせておく。

【００３８】そして、本発明に於いては、当該サーチ領
域Ｓの規定距離Ｌ内に最も最後に入ってきた停止ポイン
ト４３の状態、つまり、当該無人搬送車７が進入出来る
かどうか、つまり、他の無人搬送車７が現在当該停止ポ
イントに停止しているか、或いは所定の作業処理領域８
が現在無人搬送車７を要求していないとかの理由で、所
望の停止ポイントに無人搬送車７が進入出来ない場合を
事前に判断する様にしたものであり、当該無人搬送車７
が所望の停止ポイントに進入出来無いと判断した場合に
は、当該所望の停止ポイント、この場合は、上記した当
該サーチ領域Ｓの規定距離Ｌ内に最も最後に入ってきた
停止ポイント４３の１つ手前にある停止ポイント４２に
対応する減速ポイント５０で、当該無人搬送車７（ＡＧ
Ｖ）を減速させる様に構成されている。

【００３９】図１の局面では、この予め設定する距離Ｐ
は進入可否確認範囲Ｏを構成するものであって、該サー
チ領域Ｓに最後に入ってきた第１の停止ポイント４３の
状態を判断し、その結果から、当該第１の停止ポイント
４３の１つ手前の第２の停止ポイント４２に対応する減
速開始ポイント５０に於いて、当該無人搬送車７を減速
させるのか、或いは、減速徐行や停止待機せずに高速走
行のまま当該第２の停止ポイント４２を通過させるのか
を判断するには、図示されている当該無人搬送車７の高
速走行可能距離Ｑを該無人搬送車７が走行して当該減速
開始ポイント５０に到達する前に上記判断を行う必要が
ある。

【００４０】図２は本発明の一具体例に於ける走行制御
フローチャート図であり、図１においての搬送コントロ
ーラの走行制御を表している。即ち、スタート後、ステ
ップ（Ｆ−２１）に於いて、無人搬送車７はルート４５
を走行しており、ステップ（Ｆ−２２）に於いて、３つ
先の第１の停止ポイント４３が、当該サーチ領域Ｓの範
囲に入って来ると、ステップ（Ｆ−２３）に於いて、当
該無人搬送車７が当該第１の停止ポイント４３への進入
可否を判定する。

【００４１】ステップ（Ｆ−２３）に於いて、減速開始
ポイントＫ５０に当該無人搬送車７が到達する前に、該
第１の停止ポイント４３への進入が可能と判定された場
合はステップ（Ｆ−２４）に進んで、当該無人搬送車７
は、減速開始ポイント５０で減速せずに高速走行のまま
第２の停止ポイント４２を通過する。一方、ステップ
（Ｆ−２３）に於いて、該無人搬送車７が、減速開始ポ
イント５０に到達する前に該第１の停止ポイント４３へ
の進入が不可能と判定されるか、または判定が間に合わ
なかった場合は、ステップ（Ｆ−２５）に進んで、当該
無人搬送車７を減速開始ポイント５０から減速徐行させ
る。

【００４２】その後同様の判定処理を継続し、ステップ
（Ｆ−２６）に於いて、該無人搬送車７が第２の停止ポ
イント４２に到達する前に、該第１の停止ポイント４３
への進入が可能と判定された場合はステップ（Ｆ−２
７）に進んで、当該無人搬送車７は、加速を行い高速走
行で該第２の停止ポイント４２を通過する。然しなが
ら、ステップ（Ｆ−２６）に於いて、該無人搬送車７が
第２の停止ポイント４２に到達する前に、該第１の停止
ポイント４３への進入が依然として不可能と判定された
場合またはさらに判定が間に合わなかった場合は、ステ
ップ（Ｆ−２８）に進んで、当該無人搬送車７を、該第
２の停止ポイント４２に於いて停止し待機させる。

【００４３】その後も同様の判定処理を継続し、ステッ
プ（Ｆ−２９）に於いて、当該無人搬送車７が当該第１
の停止ポイント４３に進入可能と判定されたら、ステッ
プ（Ｆ−３０）に於いて、該無人搬送車７を当該第２の
停止ポイント４２から発進加速する。上記工程に於ける
ステップ（Ｆ−２３）のフローでは、高速走行可能距離
Ｑに十分余裕があるので、他のＡＧＶ７により進路を塞
がれている等の外的要因がない限り、通常はステップ
（Ｆ−２５）のフローへは進まず、ステップ（Ｆ−２
４）のフローへと進行するので、減速徐行や停止待機は
発生しない。

【００４４】つまり、予め進入可否確認の為のサーチ領
域Ｓの距離Ｌを最適値に設定しているからであり、本発
明の走行制御方式を採用すれば、停止ポイント４１と停
止ポイント４２のように非常に停止ポイント間が接近し
ていても、従来発生していたような現象、つまり本来無
意味な低速走行、或いは急速加速、急速減速の頻発は回
避できる。

【００４５】図３は本発明に係る無人搬送車走行制御シ
ステムの他の具体例を構成を説明するものであり、それ
に使用される走行制御条件設定図である。即ち、図中の
ＡＧＶ７の位置での走行制御を示すものであって、走行
制御ソフトウェアにて停止ポイント５５、停止ポイント
５６、停止ポイント５７、停止ポイント５８、停止ポイ
ント５９、停止ポイント６０を設定しており、ＡＧＶ７
はこれらで停止することが可能である。

【００４６】その間はルート６１、ルート６２、ルート
６３、ルート６４、ルート６５、ルート６６で連結させ
ており、ＡＧＶ７が矢印のように停止ポイント５５から
停止ポイント６０方向に走行できることを表している。
このとき、ＡＧＶ７が停止ポイント５５に停止する際の
減速を開始する地点を減速開始ポイント６７とし、同様
に停止ポイント５６では減速開始ポイント６８、停止ポ
イント５７では減速開始ポイント６９、停止ポイント５
８では減速開始ポイント７０、停止ポイント５９では減
速開始ポイント７１、停止ポイント６０では減速開始ポ
イント７２とする。

【００４７】本具体例では、多くの停止ポイントが連続
して配置されており、しかもそれらはかなり接近してる
状態を示している。しかし、この局面でもサーチ領域
Ｓ、進入可否確認範囲Ｏを本発明の前記具体例と同等の
条件に設定すると、図示に於ける無人搬送車７の現在位
置の時点では、すでに停止ポイント５９までの進入可否
は判定済みとなっている。

【００４８】そして、停止ポイント６０の進入可否も判
定が可能な状態となっており、１つ手前の停止ポイント
５９の減速開始ポイント７１までの高速走行可能距離Ｑ
に十分余裕があるので、他のＡＧＶ７により進路を塞が
れている等の外的要因がない限り、通常は減速徐行や停
止待機は発生しない。このように、多くの停止ポイント
がかなり接近して連続に配置されている場合、つまり、
小型のプロセス装置が複数台で隣接していたり分岐ルー
トを多用するケースでは特に効果が大きい。従来方式で
は減速徐行と加速を繰返す低速区間が非常に長く非効率
的な走行となってしまうところだが、本発明の走行制御
方式を採用することにより本来無意味な低速走行はすべ
て回避できることになる。

【００４９】本発明に於ける該無人搬送車７の走行情報
は、図４にも示されている様に、該無人搬送車７が搬送
する適宜の送信手段と該無人搬送車７の走行軌道１０１
に隣接する適宜の部位に適宜の間隔で設けられている固
定の受信手段３、４との間で確認されその結果が該走行
制御手段１００に報知される様に構成されている。又、
本発明に於いては、当該停止ポイント、減速開始ポイン
ト、サーチ領域Ｓ、進入可否確認範囲Ｏ等は、例えば、
該走行制御手段１００を駆動させる走行制御プログラム
上に規定されているものであって、現実に当該作業処理
領域８の周囲に形成された当該無人搬送車７の走行軌道
上に設けられていないもので有っても良い。

【００５０】従って、係る場合には、当該走行制御プロ
グラムは、二次元座標値に基づいて構成されているもの
である。又、本発明に係る無人搬送車走行制御システム
の操作手順は上記した通りであるが、それを概括する
と、第１の態様は、走行中の当該無人搬送車７の現在位
置に於いて、予め設定された距離で構成されたサーチ領
域Ｓ内に新たに入ってきた停止ポイント４３、６０の状
態を確認し、当該停止ポイント４３、６０に該無人搬送
車７の進入が可能であると該走行制御手段１００が判定
したら、当該無人搬送車７に対して、当該停止ポイント
４３、６０の一つ手前にある停止ポイント５０、５９を
通過するための許可を与える様にするものであり、第２
の態様としては、走行中の当該無人搬送車７の現在位置
に於いて、予め設定された距離で構成されたサーチ領域
Ｓ内に新たに入ってきた停止ポイント４３、６０の状態
を確認し、当該停止ポイント４３、６０に該無人搬送車
７の進入が不可能であると該走行制御手段１００が判定
したら、当該無人搬送車７に対して、当該停止ポイント
４３、６０の一つ手前にある停止ポイント５０、５９に
付随する減速開始ポイント４１、７１を通過した後、減
速する様に指示を与える様にするものである。

【００５１】又、第３の態様としては、該走行制御手段
１００が当該無人搬送車７に対して、減速指示を出した
後、進入可否確認範囲Ｏ内に於いて、前記したサーチ領
域Ｓ内に新たに入ってきた停止ポイントの状態を継続し
て確認し、当該停止ポイントに該無人搬送車７の進入が
可能であると該走行制御手段１００が判定したら、当該
停止ポイントの一つ手前にある停止ポイントを通過する
ための許可を与える様にするものであり、又第４の態様
としては、該走行制御手段１００が当該無人搬送車７に
対して、減速指示を出した後、進入可否確認範囲Ｏ内に
於いて、前記したサーチ領域Ｓ内に新たに入ってきた停
止ポイントの状態を継続して確認し、当該停止ポイント
に該無人搬送車７の進入が継続して不可能であると該走
行制御手段１００が判定したら、当該停止ポイントの一
つ手前にある停止ポイントで当該無人搬送車７を一旦停
止させ、その後該走行制御手段１００が前記したサーチ
領域Ｓ内に新たに入ってきた停止ポイントの状態を継続
して確認し、当該停止ポイントに該無人搬送車７の進入
が可能であると該走行制御手段１００が判定したら、当
該無人搬送車７の走行を再開させる様にするものであ
る。

【００５２】尚、本発明に係る無人搬送車走行制御シス
テムに関しては、その一具体例として、半導体製造工程
に於けるクリーンルーム内での、無人搬送車の走行制御
システムに関して説明したが、本発明は、係る具体例に
限定されるものではなく、上記した技術思想、制御方法
が適用しえる分野であれば如何なるシステムにも適用し
えるものである事は言うまでもない。

【００５３】

【発明の効果】本発明により、当該無人搬送車７の減速
徐行、および加速を繰返す本来無意味な低速走行は他の
ＡＧＶにより進路を塞がれている等の外的要因がない限
り全く発生しなくなるため、ＡＧＶはほとんどの区間で
高速走行が実現でき走行時間が短縮される結果、工程内
搬送システム全体の搬送能力向上という効果が得られ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明に係る無人搬送車走行制御シス
テムの一具体例の構成を説明する走行制御条件設定図で
ある。

【図２】図２は、本発明に係る無人搬送車走行制御シス
テムの一具体例に於ける走行制御フローチャート図であ
る。

【図３】図３は、本発明に係る無人搬送車走行制御シス
テムの他の具体例の構成を説明する走行制御条件設定図
である。

【図４】図４は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの一例を示すシステム構成図である。

【図５】図５は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの一例を示すベイレイアウト図である。

【図６】図６は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの走行制御条件設定図の一例を示す図である。

【図７】図７は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの一具体例に於ける走行制御フローチャートであ
る。

【図８】図８は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの一具体例に於ける走行制御条件設定図である。

【図９】図９は、従来に於ける無人搬送車走行制御シス
テムの一具体例に於ける走行制御フローチャート図であ
る。

【符号の説明】

１…ホストコンピュータ２、１００…走行制御手段３…通信ユニット４…ＣＣＤカメラ５…充電器盤６…充電ステーション７…無人搬送車、ＡＧＶ８…作業処理領域、プロセス装置９…ストッカ１０…停止ポイント１１、１０１…走行軌道、ルート１２〜１５、２６〜２９、４０〜４３、５５〜６０…停
止ポイント２０〜２３、３４〜３７、４８〜５１、６７〜７２…減
速開始ポイントＳ…サーチ領域Ｏ…進入可否確認範囲Ｑ…高速走行可能距離

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個の作業処理領域と、当該複数個の作業処理領域群の少なくとも一部を選択的
に巡回し、それぞれの当該作業処理領域との間で、所定
の作業を実行する少なくとも１台の無人搬送車と、少なくとも当該無人搬送車の走行位置情報を含む走行情
報に基づいて、当該無人搬送車に対する走行制御を行う
走行制御手段と、当該無人搬送車の走行軌道とから構成された無人搬送車
走行制御システムにおいて、当該無人搬送車の走行軌道上に複数個の停止ポイントを
設けるとともに、当該無人搬送車の進行方向前方に、当
該無人搬送車の進行に対応して移動する、複数の停止ポ
イントを監視し得る、予め定められた距離を有するサー
チ領域を設けることにより、当該走行制御手段が、当該
サーチ領域内に最後に入ってきた第１の停止ポイントに
関する情報に応答して、当該無人搬送車を、当該第１の
停止ポイントの一つ手前にある第２の停止ポイントで停
止させるか、当該第２の停止ポイントを通過させるかの
指示を当該無人搬送車に出力することを特徴とする無人
搬送車走行制御システム。
【請求項２】当該各停止ポイントには、それぞれ当該
無人搬送車の走行方向から見て手前に減速開始ポイント
が設けられていることを特徴とする請求項１記載の無人
搬送車走行制御システム。
【請求項３】当該停止ポイントと当該減速開始ポイン
トとの間には、所定の距離が設けられており、当該距離
を、該無人搬送車が、当該サーチ領域内に最後に入って
きた該第１の停止ポイントに対する進入可否を確認する
為の進入可否確認範囲として機能させるものであること
を特徴とする請求項２記載の無人搬送車走行制御システ
ム。
【請求項４】該無人搬送車の走行情報は、該無人搬送
車が搬送する適宜の送信手段と、該無人搬送車の走行軌
道に隣接する適宜の部位に互いに適宜の間隔をおいて設
けられている固定の受信手段との間で確認され、その結
果が該走行制御手段に報知されるものであることを特徴
とする請求項１乃至３記載の無人搬送車走行制御システ
ム。
【請求項５】当該停止ポイント、減速開始ポイント、
サーチ領域、進入可否確認範囲、及び無人搬送車の走行
するルートは、該走行制御手段を駆動させる走行制御プ
ログラム上に規定されていること、を特徴とする請求項
１乃至４記載の無人搬送車走行制御システム。
【請求項６】当該走行制御プログラムは、二次元座標
値に基づいて構成されていることを特徴とする請求項５
記載の無人搬送車走行制御システム。
【請求項７】走行中の当該無人搬送車の現在位置にお
いて、予め設定された距離で構成されたサーチ領域内に
最後に入ってきた該第１の停止ポイントの状態を確認
し、当該第１の停止ポイントに該無人搬送車の進入が可
能であると該走行制御手段が判定したら、当該無人搬送
車に対して、当該第１の停止ポイントの一つ手前にある
第２の停止ポイントを通過する許可を与えることを特徴
とする請求項１記載の無人搬送車走行制御システム。
【請求項８】走行中の当該無人搬送車の現在位置にお
いて、予め設定された距離で構成されたサーチ領域内に
最後に入ってきた第１の停止ポイントの状態を確認し、
当該第１の停止ポイントに該無人搬送車の進入が不可能
であると該走行制御手段が判定したら、当該無人搬送車
に対して、当該第１の停止ポイントの一つ手前にある第
２の停止ポイントに付随する減速開始ポイントを通過し
た後、減速の指示を与えることを特徴とする請求項１記
載の無人搬送車走行制御システム。
【請求項９】該走行制御手段が当該無人搬送車に対し
て、前記減速指示を出した後も、当該無人搬送車が進入
可否確認範囲内を出る前に、当該サーチ領域内に最後に
入ってきた第１の停止ポイントの状態を確認し、当該第
１の停止ポイントに該無人搬送車の進入が可能であると
該走行制御手段が判定したら、当該第１の停止ポイント
の一つ手前にある第２の停止ポイントを通過する許可を
与えることを特徴とする請求項８記載の無人搬送車走行
制御システム。
【請求項１０】該走行制御手段が当該無人搬送車に対
して、前記減速指示を出した後も、当該無人搬送車が進
入可否確認範囲内を出る前に、当該サーチ領域内に最後
に入ってきた第１の停止ポイントの状態を確認し、当該
第１の停止ポイントに該無人搬送車の進入が継続して不
可能であると該走行制御手段が判定したら、当該第１の
停止ポイントの一つ手前にある第２の停止ポイントで当
該無人搬送車を一旦停止させ、その後も該走行制御手段
が前記サーチ領域内に最後に入ってきた第１の停止ポイ
ントの状態を確認し、当該第１の停止ポイントに該無人
搬送車の進入が可能であると該走行制御手段が判定した
ら、該無人搬送車に走行を再開させることを特徴とする
請求項８記載の無人搬送車走行制御システム。