JP2833548B2 - 無人搬送車走行制御システム - Google Patents
無人搬送車走行制御システムInfo
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- Traffic Control Systems (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は無人搬送車走行制御
システムに関し、特に半導体基板（以下「ウェハ」とい
う）を収納したキャリアを自動保管棚（以下「ストッ
カ」という）からプロセス装置に供給、またはプロセス
装置からストッカへ回収する無人搬送車（以下「ＡＧ
Ｖ」という）を用いた工程内搬送システムに関する。
システムに関し、特に半導体基板（以下「ウェハ」とい
う）を収納したキャリアを自動保管棚（以下「ストッ
カ」という）からプロセス装置に供給、またはプロセス
装置からストッカへ回収する無人搬送車（以下「ＡＧ
Ｖ」という）を用いた工程内搬送システムに関する。
【０００２】
【従来の技術】ウェハの製造工程においては、様々なプ
ロセス処理が必要とされ、このため工程順に何らかの手
段でウェハを移動させなければならない。
ロセス処理が必要とされ、このため工程順に何らかの手
段でウェハを移動させなければならない。
【０００３】半導体製造工場におけるクリーンルームで
は、一般的に複数の小部屋（以下「ベイ」という）が設
けられており、各ベイにそれぞれのプロセス装置が設置
されている。このベイ内すなわち工程内での搬送を自動
で行うためのシステムが工程内搬送システムである。
は、一般的に複数の小部屋（以下「ベイ」という）が設
けられており、各ベイにそれぞれのプロセス装置が設置
されている。このベイ内すなわち工程内での搬送を自動
で行うためのシステムが工程内搬送システムである。
【０００４】工程内搬送システムはＡＧＶによりウェハ
を収納したキャリアをストッカからプロセス装置に供給
し、あるいはプロセス装置からストッカへ回収する方法
が主流である。
を収納したキャリアをストッカからプロセス装置に供給
し、あるいはプロセス装置からストッカへ回収する方法
が主流である。
【０００５】そして、ＡＧＶの走行ガイドとしては、従
来、軌道レールを床に据付ける方式の他に、電磁、磁
気、光学等を利用した誘導方式が用いられている。前者
の方式は「有軌道式」と呼ばれ、後者は「無軌道式」と
呼ばれている。
来、軌道レールを床に据付ける方式の他に、電磁、磁
気、光学等を利用した誘導方式が用いられている。前者
の方式は「有軌道式」と呼ばれ、後者は「無軌道式」と
呼ばれている。
【０００６】この無軌道式に関しても、物理的な誘導体
を床上に貼付ける、または床下に埋設する必要がある。
このため、床上又は床下の物理的な誘導体を全く用いる
ことがない、ＡＧＶ画像認識方式へと移行してきてい
る。
を床上に貼付ける、または床下に埋設する必要がある。
このため、床上又は床下の物理的な誘導体を全く用いる
ことがない、ＡＧＶ画像認識方式へと移行してきてい
る。
【０００７】図５は、従来の工程内搬送システム（ＡＧ
Ｖ画像認識方式）の構成を示す図である。
Ｖ画像認識方式）の構成を示す図である。
【０００８】図５を参照して、工程内搬送システムは、
上位にホストコンピュータ（１）を備えシステム全体を
統括している搬送コントローラ（２）の下位には、ベイ
の天井に一定間隔毎に複数個取付けられる通信ユニット
（３）とＣＣＤカメラ（４）、床上に設置される充電器
盤（５）と、２台程度の充電ステーション（６、
６′）、床上を移動する複数台のＡＧＶ（７，…，
７′）、が設けられて構成されている。
上位にホストコンピュータ（１）を備えシステム全体を
統括している搬送コントローラ（２）の下位には、ベイ
の天井に一定間隔毎に複数個取付けられる通信ユニット
（３）とＣＣＤカメラ（４）、床上に設置される充電器
盤（５）と、２台程度の充電ステーション（６、
６′）、床上を移動する複数台のＡＧＶ（７，…，
７′）、が設けられて構成されている。
【０００９】搬送コントローラ（２）は、上位のホスト
コンピュータ（１）からの搬送要求により通信ユニット
（３）を介してＡＧＶ（７）に搭載された通信器（不図
示）と赤外線通信を行い、搬送指示を出す。この際、搬
送コントローラ（２）は、ＡＧＶ（７）の停止時もしく
は走行時の位置を、ＣＣＤカメラ（４）によりＡＧＶ
（７）が発する赤外線を画像認識することにより把握し
ている。
コンピュータ（１）からの搬送要求により通信ユニット
（３）を介してＡＧＶ（７）に搭載された通信器（不図
示）と赤外線通信を行い、搬送指示を出す。この際、搬
送コントローラ（２）は、ＡＧＶ（７）の停止時もしく
は走行時の位置を、ＣＣＤカメラ（４）によりＡＧＶ
（７）が発する赤外線を画像認識することにより把握し
ている。
【００１０】また、ＡＧＶ（７）は、内部バッテリの電
圧が一定値以下に低下すると、充電器盤（５）に接続さ
れている充電ステーション（６）にて急速充電を行う。
圧が一定値以下に低下すると、充電器盤（５）に接続さ
れている充電ステーション（６）にて急速充電を行う。
【００１１】図６は、従来の工程内搬送システムにおけ
るベイのレイアウト図である。
るベイのレイアウト図である。
【００１２】図６を参照して、ベイ100の周囲には、２
台の充電ステーション（6-1、6-2）、７台のプロセス装
置（8-1〜8-7）、２台のストッカ（9-1、9-2）が設置さ
れている。
台の充電ステーション（6-1、6-2）、７台のプロセス装
置（8-1〜8-7）、２台のストッカ（9-1、9-2）が設置さ
れている。
【００１３】ベイ100内に投入された５台のＡＧＶ（7-1
〜7-5）（「ＡＧＶ７」ともいう）は、経路（１０）上
を走行する。
〜7-5）（「ＡＧＶ７」ともいう）は、経路（１０）上
を走行する。
【００１４】この経路（１０）はＡＧＶ（７）が走行す
る道（行程）を示したもので、ベイレイアウトにおいて
物理的な誘導体は用いていない。
る道（行程）を示したもので、ベイレイアウトにおいて
物理的な誘導体は用いていない。
【００１５】ＡＧＶ（７）は、搬送コントローラ（２）
（図５参照）に実装された走行制御ソフトウェアにより
設定された停止ポイント（１１）（図中「●」で示す）
にて停止すること、及びルート（１２）を走行すること
が可能である。
（図５参照）に実装された走行制御ソフトウェアにより
設定された停止ポイント（１１）（図中「●」で示す）
にて停止すること、及びルート（１２）を走行すること
が可能である。
【００１６】もちろん、停止ポイント（１１）とルート
（１２）も物理的には存在しない（すなわち例えばルー
ト（１２）に対応して物理的に誘導体等が敷設されてい
るわけではない）。
（１２）も物理的には存在しない（すなわち例えばルー
ト（１２）に対応して物理的に誘導体等が敷設されてい
るわけではない）。
【００１７】また、図６に示すルート（１２）の曲線
（弧）は、実際のＡＧＶ（７）の走行が曲線を描くとい
うことを意味するものではなく、個々に設定されている
ということを示しているもので、実際上にはあくまで
も、ＡＧＶ（７）は、図中２点鎖線で示した経路（１
０）上を走行する。
（弧）は、実際のＡＧＶ（７）の走行が曲線を描くとい
うことを意味するものではなく、個々に設定されている
ということを示しているもので、実際上にはあくまで
も、ＡＧＶ（７）は、図中２点鎖線で示した経路（１
０）上を走行する。
【００１８】図７は、従来の工程内搬送システムにおけ
る走行制御条件の設定の様子を模式的に説明するための
図（「走行制御条件設定図」という）である。ＡＧＶ
は、搬送コントローラ（２）の走行制御ソフトウェアに
て設定された条件に基づき、搬送コントローラからの搬
送指示にて走行する。
る走行制御条件の設定の様子を模式的に説明するための
図（「走行制御条件設定図」という）である。ＡＧＶ
は、搬送コントローラ（２）の走行制御ソフトウェアに
て設定された条件に基づき、搬送コントローラからの搬
送指示にて走行する。
【００１９】図７を参照して、走行制御ソフトウェアに
て停止ポイントＡ（１３）、停止ポイントＢ（１４）、
停止ポイントＣ（１５）、停止ポイントＤ（１６）が設
定されており、ＡＧＶはこれらで停止することが可能で
ある。
て停止ポイントＡ（１３）、停止ポイントＢ（１４）、
停止ポイントＣ（１５）、停止ポイントＤ（１６）が設
定されており、ＡＧＶはこれらで停止することが可能で
ある。
【００２０】各停止ポイントでの停止の際のＡＧＶの軌
跡は、それぞれＡＧＶ軌跡Ａ（１７）、ＡＧＶ軌跡Ｂ
（１８）、ＡＧＶ軌跡Ｃ（１９）、ＡＧＶ軌跡Ｄ（２
０）となる。
跡は、それぞれＡＧＶ軌跡Ａ（１７）、ＡＧＶ軌跡Ｂ
（１８）、ＡＧＶ軌跡Ｃ（１９）、ＡＧＶ軌跡Ｄ（２
０）となる。
【００２１】停止ポイントＡ（１３）から停止ポイント
Ｄ（１６）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｂ（１４）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＡ（２１）から開始する。
Ｄ（１６）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｂ（１４）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＡ（２１）から開始する。
【００２２】同様にして、ＡＧＶが停止ポイントＣ（１
５）に停止するときは停止するための減速を減速開始ポ
イントＢ（２２）から開始し、停止ポイントＤ（１６）
に停止するときには減速開始ポイントＣ（２３）とな
る。
５）に停止するときは停止するための減速を減速開始ポ
イントＢ（２２）から開始し、停止ポイントＤ（１６）
に停止するときには減速開始ポイントＣ（２３）とな
る。
【００２３】反対に、停止ポイントＤ（１６）から停止
ポイントＡ（１３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＣ（１５）に停止するときには、停止するため
の減速を減速開始ポイントＤ（２４）から開始する。
ポイントＡ（１３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＣ（１５）に停止するときには、停止するため
の減速を減速開始ポイントＤ（２４）から開始する。
【００２４】同様にして、ＡＧＶが、停止ポイントＢ
（１４）に停止するときは停止するための減速を減速開
始ポイントＥ（２５）から開始し、停止ポイントＡ（１
３）に停止するときには減速開始ポイントＦ（２６）と
なる。
（１４）に停止するときは停止するための減速を減速開
始ポイントＥ（２５）から開始し、停止ポイントＡ（１
３）に停止するときには減速開始ポイントＦ（２６）と
なる。
【００２５】また、ＡＧＶが走行する経路（１０）上に
おいて、走行制御ソフトウェアにてルートＡ（２７）、
ルートＢ（２８）、ルートＣ（２９）が設定されてい
る。これらは走行制御ソフトにおけるＡＧＶの走行が可
能なパターンを示しており、例えば、ルートＡ（２７）
は停止ポイントＡ（１３）から停止ポイントＢ（１
４）、停止ポイントＢ（１４）から停止ポイントＡ（１
３）の双方向の走行が可能であることを意味している。
おいて、走行制御ソフトウェアにてルートＡ（２７）、
ルートＢ（２８）、ルートＣ（２９）が設定されてい
る。これらは走行制御ソフトにおけるＡＧＶの走行が可
能なパターンを示しており、例えば、ルートＡ（２７）
は停止ポイントＡ（１３）から停止ポイントＢ（１
４）、停止ポイントＢ（１４）から停止ポイントＡ（１
３）の双方向の走行が可能であることを意味している。
【００２６】図８及び図９は、従来の工程内搬送システ
ムの走行制御の流れを示すフローチャートである。図８
及び図９は、単に図面作成の都合で分図されたものであ
る。
ムの走行制御の流れを示すフローチャートである。図８
及び図９は、単に図面作成の都合で分図されたものであ
る。
【００２７】図８及び図９は、図７において、ＡＧＶが
停止ポイントＡ（１３）から発進して停止ポイントＤ
（１６）に到着するまでの、搬送コントローラ（２）
（図５参照）の走行制御の流れを示している。
停止ポイントＡ（１３）から発進して停止ポイントＤ
（１６）に到着するまでの、搬送コントローラ（２）
（図５参照）の走行制御の流れを示している。
【００２８】走行制御として、基本的に、ＡＧＶが発進
するときは、現在位置から１つ先の停止ポイントに他の
ＡＧＶが待機していないか、またはすでに進入がスケジ
ューリングされていないかを確認する。そして、ＡＧＶ
の進入が可能であると判定されてから発進する。
するときは、現在位置から１つ先の停止ポイントに他の
ＡＧＶが待機していないか、またはすでに進入がスケジ
ューリングされていないかを確認する。そして、ＡＧＶ
の進入が可能であると判定されてから発進する。
【００２９】また、ＡＧＶが走行中のときには、現在位
置から２つ先の停止ポイントの状態を確認して、同様に
ＡＧＶの進入が可能であると判定されてから、１つ先の
停止ポイントを通過する。
置から２つ先の停止ポイントの状態を確認して、同様に
ＡＧＶの進入が可能であると判定されてから、１つ先の
停止ポイントを通過する。
【００３０】これらは、進入が可能であると判定されて
いない停止ポイントにＡＧＶが進入すると、他のＡＧＶ
との接触事故が発生する恐れがあるためである。
いない停止ポイントにＡＧＶが進入すると、他のＡＧＶ
との接触事故が発生する恐れがあるためである。
【００３１】この際、ＡＧＶの現在位置からいくつ先の
停止ポイントの状態を確認するかは、システムの規模や
運用によっても異なるので、ここでは前述のとおりとす
る。
停止ポイントの状態を確認するかは、システムの規模や
運用によっても異なるので、ここでは前述のとおりとす
る。
【００３２】図７及び図８を参照して、停止ポイントＡ
（１３）にて待機しているＡＧＶは、停止ポイントＢ
（１４）に進入が可能であると判定された場合（ステッ
プＦ−１）、ルートＡ（２７）により停止ポイントＡ
（１３）から発進する（ステップＦ−２）。
（１３）にて待機しているＡＧＶは、停止ポイントＢ
（１４）に進入が可能であると判定された場合（ステッ
プＦ−１）、ルートＡ（２７）により停止ポイントＡ
（１３）から発進する（ステップＦ−２）。
【００３３】進入が可能であると判定されない場合（ス
テップＦ−１の判定でＮＯ分岐参照）には、ＡＧＶは停
止ポイントＡ（１３）にて待機する。
テップＦ−１の判定でＮＯ分岐参照）には、ＡＧＶは停
止ポイントＡ（１３）にて待機する。
【００３４】ルートＡ（２７）を走行中のＡＧＶは、減
速開始ポイントＡ（２１）に到達する前に、停止ポイン
トＣ（１５）への進入が可能であると判定された場合
（ステップＦ−３）、減速することなく停止ポイントＢ
（１４）を通過する（ステップＦ−４）。
速開始ポイントＡ（２１）に到達する前に、停止ポイン
トＣ（１５）への進入が可能であると判定された場合
（ステップＦ−３）、減速することなく停止ポイントＢ
（１４）を通過する（ステップＦ−４）。
【００３５】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−３でＮＯ分岐参照）には、減速開始ポイ
ントＡ（２１）から減速して徐行する（ステップＦ−
５）。
（ステップＦ−３でＮＯ分岐参照）には、減速開始ポイ
ントＡ（２１）から減速して徐行する（ステップＦ−
５）。
【００３６】ルートＡ（２７）を徐行中のＡＧＶは、停
止ポイントＢ（１４）に到達する前に、停止ポイントＣ
（１５）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−６）、加速して停止ポイントＢ（１４）を通過
する（ステップＦ−７）。
止ポイントＢ（１４）に到達する前に、停止ポイントＣ
（１５）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−６）、加速して停止ポイントＢ（１４）を通過
する（ステップＦ−７）。
【００３７】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−６でＮＯ分岐参照）には、停止ポイント
Ｂ（１４）で待機する（ステップＦ−８）。
（ステップＦ−６でＮＯ分岐参照）には、停止ポイント
Ｂ（１４）で待機する（ステップＦ−８）。
【００３８】停止ポイントＢ（１４）で待機しているＡ
ＧＶは、停止ポイントＣ（１５）への進入が可能である
と判定された場合（ステップＦ−９）、停止ポイントＢ
（１４）から発進する（ステップＦ−１０）。進入が可
能であると判定されなかった場合（ステップＦ−９のＮ
Ｏ分岐参照）には、停止ポイントＢ（１４）に待機のま
まである。
ＧＶは、停止ポイントＣ（１５）への進入が可能である
と判定された場合（ステップＦ−９）、停止ポイントＢ
（１４）から発進する（ステップＦ−１０）。進入が可
能であると判定されなかった場合（ステップＦ−９のＮ
Ｏ分岐参照）には、停止ポイントＢ（１４）に待機のま
まである。
【００３９】ルートＢ（２８）を走行中のＡＧＶは、停
止ポイントＢ（１４）を通過した直後に減速して徐行す
る（図９のステップＦ−１１参照）。この徐行は停止ポ
イントＢ（１４）より手前に減速開始ポイントＢ（２
２）があることにより発生するもので、停止ポイント間
が非常に接近している場合には必然的に避けられないこ
とになる。
止ポイントＢ（１４）を通過した直後に減速して徐行す
る（図９のステップＦ−１１参照）。この徐行は停止ポ
イントＢ（１４）より手前に減速開始ポイントＢ（２
２）があることにより発生するもので、停止ポイント間
が非常に接近している場合には必然的に避けられないこ
とになる。
【００４０】ルートＢ（２８）を徐行中のＡＧＶは、停
止ポイントＣ（１５）に到達する前に停止ポイントＤ
（１６）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−１２）、加速して停止ポイントＣ（１５）を通
過する（ステップＦ−１３）。進入が可能であると判定
されなかった場合（ステップＦ−１２のＮＯ分岐参照）
には、停止ポイントＣ（１５）で待機する（ステップＦ
−１４）。
止ポイントＣ（１５）に到達する前に停止ポイントＤ
（１６）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−１２）、加速して停止ポイントＣ（１５）を通
過する（ステップＦ−１３）。進入が可能であると判定
されなかった場合（ステップＦ−１２のＮＯ分岐参照）
には、停止ポイントＣ（１５）で待機する（ステップＦ
−１４）。
【００４１】停止ポイントＣ（１５）で待機しているＡ
ＧＶは、停止ポイントＤ（１６）への進入が可能である
と判定された場合（ステップＦ−１５）、停止ポイント
Ｃ（１５）から発進する（ステップＦ−１６）。進入が
可能であると判定されなかった場合（ステップＦ−１５
のＮＯ分岐参照）には、ＡＧＶは停止ポイントＣ（１
５）に待機したままである。
ＧＶは、停止ポイントＤ（１６）への進入が可能である
と判定された場合（ステップＦ−１５）、停止ポイント
Ｃ（１５）から発進する（ステップＦ−１６）。進入が
可能であると判定されなかった場合（ステップＦ−１５
のＮＯ分岐参照）には、ＡＧＶは停止ポイントＣ（１
５）に待機したままである。
【００４２】ルートＣ（２９）を走行中のＡＧＶは、停
止ポイントＤ（１６）に到着して停止する（ステップＦ
−１７）。
止ポイントＤ（１６）に到着して停止する（ステップＦ
−１７）。
【００４３】従って、他のＡＧＶに進路を塞がれたとき
や発進と到着のときの必要最低限の加減速を除いても、
ＡＧＶは停止ポイントＡ（１３）から停止ポイントＢ
（１４）まで、及び停止ポイントＣ（１５）から停止ポ
イントＤ（１６）まではすべて高速走行であるが、停止
ポイントＢ（１４）から停止ポイントＣ（１５）まで
は、本来、無意味な減速、徐行、及び加速動作を行なう
ため、低速走行となる。
や発進と到着のときの必要最低限の加減速を除いても、
ＡＧＶは停止ポイントＡ（１３）から停止ポイントＢ
（１４）まで、及び停止ポイントＣ（１５）から停止ポ
イントＤ（１６）まではすべて高速走行であるが、停止
ポイントＢ（１４）から停止ポイントＣ（１５）まで
は、本来、無意味な減速、徐行、及び加速動作を行なう
ため、低速走行となる。
【００４４】反対に、ＡＧＶが停止ポイントＤ（１６）
から発進して停止ポイントＡ（１３）に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、前述と全く同
様である。
から発進して停止ポイントＡ（１３）に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、前述と全く同
様である。
【００４５】
【発明が解決しようとする課題】上記したように従来の
工程内搬送システムにおける走行制御においては、ＡＧ
Ｖは経路上の停止ポイントに他のＡＧＶが待機していな
いか、またはすでに進入がスケジューリングされていな
いかを確認して、ＡＧＶの進入が可能であるかを判定し
ながら走行するので、停止ポイント間がかなり接近して
いる経路上を走行する場合には、本来、無意味な加減速
を繰返すため、全体的に低速走行となる。
工程内搬送システムにおける走行制御においては、ＡＧ
Ｖは経路上の停止ポイントに他のＡＧＶが待機していな
いか、またはすでに進入がスケジューリングされていな
いかを確認して、ＡＧＶの進入が可能であるかを判定し
ながら走行するので、停止ポイント間がかなり接近して
いる経路上を走行する場合には、本来、無意味な加減速
を繰返すため、全体的に低速走行となる。
【００４６】このため、ＡＧＶの走行時間が長くなり、
結果的に工程内搬送システム全体の搬送能力を低下させ
ていた。
結果的に工程内搬送システム全体の搬送能力を低下させ
ていた。
【００４７】従って、本発明は上記従来技術の問題点を
解消し、停止ポイント間がかなり接近している経路上を
走行する場合に発生するＡＧＶの本来無意味な減速、徐
行、及び加速による低速走行をなくし、走行時間を短縮
することにより全体の搬送能力を向上させる工程内搬送
システムを提供することを目的とする。
解消し、停止ポイント間がかなり接近している経路上を
走行する場合に発生するＡＧＶの本来無意味な減速、徐
行、及び加速による低速走行をなくし、走行時間を短縮
することにより全体の搬送能力を向上させる工程内搬送
システムを提供することを目的とする。
【００４８】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明は、無人搬送車を用いた搬送制御システムに
おいて、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶ
ルートについて、選択された停止ポイントを外してルー
トを設定し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達
するルートを選択的に設定する走行制御手段を備え、少
なくとも２つの停止ポイントにおける前記無人搬送車の
軌跡同士が干渉する場合に、前記少なくとも２つの停止
ポイントの中より選択された一又は複数の停止ポイント
を外してルートを設定し、該ルートで結ばれた停止ポイ
ントのみについて、前記無人搬送車の進入可能性をチェ
ックして前記無人搬送車の前記ルートにおける走行を制
御することを特徴とする無人搬送車走行制御システムを
提供する。
め、本発明は、無人搬送車を用いた搬送制御システムに
おいて、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶ
ルートについて、選択された停止ポイントを外してルー
トを設定し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達
するルートを選択的に設定する走行制御手段を備え、少
なくとも２つの停止ポイントにおける前記無人搬送車の
軌跡同士が干渉する場合に、前記少なくとも２つの停止
ポイントの中より選択された一又は複数の停止ポイント
を外してルートを設定し、該ルートで結ばれた停止ポイ
ントのみについて、前記無人搬送車の進入可能性をチェ
ックして前記無人搬送車の前記ルートにおける走行を制
御することを特徴とする無人搬送車走行制御システムを
提供する。
【００４９】本発明の無人搬送車走行制御システムにお
いて、好ましくは、前記ルートで結ばれた前記停止ポイ
ントについて、他の無人搬送車が待機していないか、又
はすでに進入がスケジューリングされていないかを確認
することにより進入可能性をチェックすることを特徴と
する。
いて、好ましくは、前記ルートで結ばれた前記停止ポイ
ントについて、他の無人搬送車が待機していないか、又
はすでに進入がスケジューリングされていないかを確認
することにより進入可能性をチェックすることを特徴と
する。
【００５０】本発明の無人搬送車走行制御システムにお
いて、好ましくは、無人搬送車を少なくとも一のベイ内
において半導体基板を収納したキャリアを自動保管棚か
らプロセス装置に供給、または前記プロセス装置から前
記自動保管棚へ回収するように移動制御する無人搬送車
を用いた搬送制御システムにおいて、前記無人搬送車の
複数の停止ポイント間を結ぶルートについて、選択され
た停止ポイントを外してルートを設定し、目的地までに
最少数の停止ポイントで到達するルートを選択的に設定
する走行制御手段を含み、前記走行制御手段が、少なく
とも２つの停止ポイントにおける前記無人搬送車の軌跡
同士が干渉する場合に、前記少なくとも２つの停止ポイ
ントの中より選択された一又は複数の停止ポイントを外
してルートを設定し、該ルートで結ばれた停止ポイント
のみについて、前記無人搬送車の進入可能性をチェック
して前記無人搬送車の前記ルートにおける走行を制御す
る。
いて、好ましくは、無人搬送車を少なくとも一のベイ内
において半導体基板を収納したキャリアを自動保管棚か
らプロセス装置に供給、または前記プロセス装置から前
記自動保管棚へ回収するように移動制御する無人搬送車
を用いた搬送制御システムにおいて、前記無人搬送車の
複数の停止ポイント間を結ぶルートについて、選択され
た停止ポイントを外してルートを設定し、目的地までに
最少数の停止ポイントで到達するルートを選択的に設定
する走行制御手段を含み、前記走行制御手段が、少なく
とも２つの停止ポイントにおける前記無人搬送車の軌跡
同士が干渉する場合に、前記少なくとも２つの停止ポイ
ントの中より選択された一又は複数の停止ポイントを外
してルートを設定し、該ルートで結ばれた停止ポイント
のみについて、前記無人搬送車の進入可能性をチェック
して前記無人搬送車の前記ルートにおける走行を制御す
る。
【００５１】上記無人搬送車走行制御システムにおい
て、好ましくは、前記走行制御手段が、無軌道方式の前
記無人搬送車の走行をプログラム制御するための搬送コ
ントローラ上に実装されたソフトウェアで構成される。
て、好ましくは、前記走行制御手段が、無軌道方式の前
記無人搬送車の走行をプログラム制御するための搬送コ
ントローラ上に実装されたソフトウェアで構成される。
【００５２】本発明は、好ましくは、半導体基板を収納
したキャリアを自動保管棚からプロセス装置に供給、ま
たは前記プロセス装置から前記自動保管棚へ回収する無
人搬送車を用いた搬送システムにおいて、前記無人搬送
車の制御を統括する搬送コントローラの走行制御ソフト
ウェアが、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結
ぶルートを停止ポイントを飛ばしてルートを設定する機
能と、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するル
ートを選択する機能とを具備してなり、前記停止ポイン
トが所定距離近接している場合でいくつかの停止ポイン
トを飛ばしたルートを設定した時、該ルートで結ばれた
停止ポイントのみについて、他の無人搬送車が待機して
いないか、又はすでに進入がスケジューリングされてい
ないかを確認すると共に、前記ルートで前記無人搬送車
を走行させるように制御することを特徴とする工程内搬
送システムを提供する。
したキャリアを自動保管棚からプロセス装置に供給、ま
たは前記プロセス装置から前記自動保管棚へ回収する無
人搬送車を用いた搬送システムにおいて、前記無人搬送
車の制御を統括する搬送コントローラの走行制御ソフト
ウェアが、前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結
ぶルートを停止ポイントを飛ばしてルートを設定する機
能と、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するル
ートを選択する機能とを具備してなり、前記停止ポイン
トが所定距離近接している場合でいくつかの停止ポイン
トを飛ばしたルートを設定した時、該ルートで結ばれた
停止ポイントのみについて、他の無人搬送車が待機して
いないか、又はすでに進入がスケジューリングされてい
ないかを確認すると共に、前記ルートで前記無人搬送車
を走行させるように制御することを特徴とする工程内搬
送システムを提供する。
【００５３】すなわち、本発明の工程内搬送システム
は、ＡＧＶを統括している搬送コントローラの走行制御
ソフト上で停止ポイント間を結ぶルートを停止ポイント
を飛ばして設定できる機能と目的地までに最少数で到達
するルートを選択する機能を有し、停止ポイントが非常
に接近している場合でいくつかの停止ポイントを飛ばし
たルートを設定したとき、そのルートで結ばれた停止ポ
イントのみについて他のＡＧＶが待機していないか、ま
たはすでに進入がスケジューリングされていないかを確
認すると共にそのルートでＡＧＶを走行させる制御を行
う。
は、ＡＧＶを統括している搬送コントローラの走行制御
ソフト上で停止ポイント間を結ぶルートを停止ポイント
を飛ばして設定できる機能と目的地までに最少数で到達
するルートを選択する機能を有し、停止ポイントが非常
に接近している場合でいくつかの停止ポイントを飛ばし
たルートを設定したとき、そのルートで結ばれた停止ポ
イントのみについて他のＡＧＶが待機していないか、ま
たはすでに進入がスケジューリングされていないかを確
認すると共にそのルートでＡＧＶを走行させる制御を行
う。
【００５４】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
して以下に説明する。
して以下に説明する。
【００５５】
【実施形態１】図１は、本発明の第１の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。なお、本発明
の実施の形態に係る工程内搬送システムの全体の概略構
成は図５に示したものと同様とされ、その説明は省略す
る。
明するための走行制御条件設定図である。なお、本発明
の実施の形態に係る工程内搬送システムの全体の概略構
成は図５に示したものと同様とされ、その説明は省略す
る。
【００５６】図１を参照して、ＡＧＶを制御する搬送コ
ントローラ（２）（図５参照）に実装された走行制御ソ
フトウェアにて、停止ポイントＥ（３０）、停止ポイン
トＦ（３１）、停止ポイントＧ（３２）、停止ポイント
Ｈ（３３）が設定されており、ＡＧＶはこれらで停止す
ることが可能である。このときのＡＧＶの軌跡はそれぞ
れＡＧＶ軌跡Ｅ（３４）、ＡＧＶ軌跡Ｆ（３５）、ＡＧ
Ｖ軌跡Ｇ（３６）、ＡＧＶ軌跡Ｈ（３７）となる。
ントローラ（２）（図５参照）に実装された走行制御ソ
フトウェアにて、停止ポイントＥ（３０）、停止ポイン
トＦ（３１）、停止ポイントＧ（３２）、停止ポイント
Ｈ（３３）が設定されており、ＡＧＶはこれらで停止す
ることが可能である。このときのＡＧＶの軌跡はそれぞ
れＡＧＶ軌跡Ｅ（３４）、ＡＧＶ軌跡Ｆ（３５）、ＡＧ
Ｖ軌跡Ｇ（３６）、ＡＧＶ軌跡Ｈ（３７）となる。
【００５７】停止ポイントＥ（３０）から停止ポイント
Ｈ（３３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｆ（３１）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＧ（３８）から開始する。
Ｈ（３３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｆ（３１）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＧ（３８）から開始する。
【００５８】同様に、停止ポイントＧ（３２）に停止す
るときは減速開始ポイントＨ（３９）、停止ポイントＨ
（３３）に停止するときには減速開始ポイントＩ（４
０）となる。
るときは減速開始ポイントＨ（３９）、停止ポイントＨ
（３３）に停止するときには減速開始ポイントＩ（４
０）となる。
【００５９】反対に、停止ポイントＨ（３３）から停止
ポイントＥ（３０）方向に走行してきたＡＧＶが停止ポ
イントＧ（３２）に停止するときには、停止するための
減速を減速開始ポイントＪ（４１）から開始する。
ポイントＥ（３０）方向に走行してきたＡＧＶが停止ポ
イントＧ（３２）に停止するときには、停止するための
減速を減速開始ポイントＪ（４１）から開始する。
【００６０】同様に、停止ポイントＦ（３１）に停止す
るときは減速開始ポイントＫ（４２）、停止ポイントＥ
（３０）に停止するときには減速開始ポイントＬ（４
３）となる。
るときは減速開始ポイントＫ（４２）、停止ポイントＥ
（３０）に停止するときには減速開始ポイントＬ（４
３）となる。
【００６１】また、ＡＧＶが走行する経路１０上におい
て、走行制御ソフトにてルートＤ（４４）、ルートＥ
（４５）、ルートＦ（４６）が設定されている。
て、走行制御ソフトにてルートＤ（４４）、ルートＥ
（４５）、ルートＦ（４６）が設定されている。
【００６２】本実施形態に係る搬送コントローラの走行
制御ソフトウェアは、停止ポイントを飛ばしたルートを
設定するように制御する機能を具備したことにより、停
止ポイントを１つ飛ばしたルートＧ（４７）とルートＨ
（４８）を追加設定する。
制御ソフトウェアは、停止ポイントを飛ばしたルートを
設定するように制御する機能を具備したことにより、停
止ポイントを１つ飛ばしたルートＧ（４７）とルートＨ
（４８）を追加設定する。
【００６３】これに伴い、ＡＧＶが走行するルートが複
数ある状況では、目的地までに最少数で到達するルート
を選択する機能が備えられる。
数ある状況では、目的地までに最少数で到達するルート
を選択する機能が備えられる。
【００６４】例えば、ＡＧＶが停止ポイントＥ（３０）
から発進して停止ポイントＧ（３２）に到着するまでの
走行では、２つのルートになるルートＤ（４４）とルー
トＥ（４５）の代わりに、１つのルートであるルートＧ
（４７）が選択されることになる。
から発進して停止ポイントＧ（３２）に到着するまでの
走行では、２つのルートになるルートＤ（４４）とルー
トＥ（４５）の代わりに、１つのルートであるルートＧ
（４７）が選択されることになる。
【００６５】このように、停止ポイントを飛ばしたルー
トを設定する際において、そのルートで結ばれた停止ポ
イントに他のＡＧＶが待機していないか、または既に進
入がスケジューリングされていないかを確認して、ＡＧ
Ｖの進入が可能であると判定された場合に、飛ばした停
止ポイントについても同様に判定されたことになるよう
なケースにのみ設定するように注意する。
トを設定する際において、そのルートで結ばれた停止ポ
イントに他のＡＧＶが待機していないか、または既に進
入がスケジューリングされていないかを確認して、ＡＧ
Ｖの進入が可能であると判定された場合に、飛ばした停
止ポイントについても同様に判定されたことになるよう
なケースにのみ設定するように注意する。
【００６６】図１において、これに相当する停止ポイン
トは、停止ポイントＦ（３１）と停止ポイントＧ（３
２）である。すなわち、この両停止ポイントにおけるＡ
ＧＶ軌跡Ｆ（３５）とＡＧＶ軌跡Ｇ（３６）が、ＡＧＶ
軌跡ＦＧ干渉部（４９）で干渉していることにより、い
ずれか一方の停止ポイントの安全が確認できれば、もう
一方の停止ポイントの安全も確認できるわけある。
トは、停止ポイントＦ（３１）と停止ポイントＧ（３
２）である。すなわち、この両停止ポイントにおけるＡ
ＧＶ軌跡Ｆ（３５）とＡＧＶ軌跡Ｇ（３６）が、ＡＧＶ
軌跡ＦＧ干渉部（４９）で干渉していることにより、い
ずれか一方の停止ポイントの安全が確認できれば、もう
一方の停止ポイントの安全も確認できるわけある。
【００６７】図２は、本発明の第１の実施の形態におけ
る走行制御の流れを説明するためのフローチャートであ
る。図２は、図１においてのＡＧＶが停止ポイントＥ
（３０）から発進して停止ポイントＨ（３３）に到着す
るまでの搬送コントローラの走行制御の流れを示してい
る。
る走行制御の流れを説明するためのフローチャートであ
る。図２は、図１においてのＡＧＶが停止ポイントＥ
（３０）から発進して停止ポイントＨ（３３）に到着す
るまでの搬送コントローラの走行制御の流れを示してい
る。
【００６８】停止ポイントＥ（３０）に待機しているＡ
ＧＶは、停止ポイントＧ（３２）に進入が可能であると
判定された場合（ステップＦ−１８）、ルートＧ（４
７）により停止ポイントＥ（３０）から発進する（ステ
ップＦ−１９）。
ＧＶは、停止ポイントＧ（３２）に進入が可能であると
判定された場合（ステップＦ−１８）、ルートＧ（４
７）により停止ポイントＥ（３０）から発進する（ステ
ップＦ−１９）。
【００６９】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−１８のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＥ（３０）に待機のままである。
（ステップＦ−１８のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＥ（３０）に待機のままである。
【００７０】ルートＧ（４７）を走行中のＡＧＶは、減
速開始ポイントＨ（３９）に到達する前に停止ポイント
Ｈ（３３）への進入が可能であると判定された場合（ス
テップＦ−２０）、減速せずに停止ポイントＧ（３２）
を通過する（ステップＦ−２１）。
速開始ポイントＨ（３９）に到達する前に停止ポイント
Ｈ（３３）への進入が可能であると判定された場合（ス
テップＦ−２０）、減速せずに停止ポイントＧ（３２）
を通過する（ステップＦ−２１）。
【００７１】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−２０のＮＯ分岐参照）には、減速開始ポ
イントＨ（３９）から減速して徐行する（ステップＦ−
２２）。
（ステップＦ−２０のＮＯ分岐参照）には、減速開始ポ
イントＨ（３９）から減速して徐行する（ステップＦ−
２２）。
【００７２】ルートＧ（４７）を徐行中のＡＧＶは、停
止ポイントＧ（３２）に到達する前に停止ポイントＨ
（３３）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−２３）、加速して停止ポイントＧ（３２）を通
過する（ステップＦ−２４）。
止ポイントＧ（３２）に到達する前に停止ポイントＨ
（３３）への進入が可能であると判定された場合（ステ
ップＦ−２３）、加速して停止ポイントＧ（３２）を通
過する（ステップＦ−２４）。
【００７３】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−２３のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＧ（３２）で待機する（ステップＦ−２５）。停止ポ
イントＧ（３２）で待機しているＡＧＶは、停止ポイン
トＨ（３３）への進入が可能であると判定された場合
（ステップＦ−２６）、停止ポイントＧ（３２）から発
進する（ステップＦ−２７）。
（ステップＦ−２３のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＧ（３２）で待機する（ステップＦ−２５）。停止ポ
イントＧ（３２）で待機しているＡＧＶは、停止ポイン
トＨ（３３）への進入が可能であると判定された場合
（ステップＦ−２６）、停止ポイントＧ（３２）から発
進する（ステップＦ−２７）。
【００７４】進入が可能であると判定されなかった場合
（ステップＦ−２６のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＧ（３２）に待機のままである。ルートＦ（４０）を
走行中のＡＧＶは、停止ポイントＨ（３３）に到着して
停止する（ステップＦ−２８）。
（ステップＦ−２６のＮＯ分岐参照）には、停止ポイン
トＧ（３２）に待機のままである。ルートＦ（４０）を
走行中のＡＧＶは、停止ポイントＨ（３３）に到着して
停止する（ステップＦ−２８）。
【００７５】このように、ＡＧＶが停止ポイントＥ（３
０）から発進して停止ポイントＨ（３３）に到着するま
での本発明の走行制御は、非常に接近した停止ポイント
Ｆ（３１）と停止ポイントＧ（３２）に対して停止ポイ
ントを１つ飛ばしたルートＧ（４７）を選択することに
より、実質的に停止ポイントＦ（３１）は存在しないの
と同様なフローで進行する。
０）から発進して停止ポイントＨ（３３）に到着するま
での本発明の走行制御は、非常に接近した停止ポイント
Ｆ（３１）と停止ポイントＧ（３２）に対して停止ポイ
ントを１つ飛ばしたルートＧ（４７）を選択することに
より、実質的に停止ポイントＦ（３１）は存在しないの
と同様なフローで進行する。
【００７６】よって、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、他のＡＧＶに進路を塞がれたときや発進と到
着のときの必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて
高速走行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等
による低速走行は全く発生しなくなる。
場合でも、他のＡＧＶに進路を塞がれたときや発進と到
着のときの必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて
高速走行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等
による低速走行は全く発生しなくなる。
【００７７】反対に、ＡＧＶが停止ポイントＨ（３３）
から発進して停止ポイントＥ（３０）に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、ルートＨ（４
８）を選択すれば前述と全く同様である。
から発進して停止ポイントＥ（３０）に到着するまでの
搬送コントローラの走行制御についても、ルートＨ（４
８）を選択すれば前述と全く同様である。
【００７８】
【実施形態２】図３は、本発明の第２の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。
明するための走行制御条件設定図である。
【００７９】図３を参照して、走行制御ソフトウェアに
て停止ポイントＩ（５０）、停止ポイントＪ（５１）、
停止ポイントＫ（５２）、停止ポイントＬ（５３）が設
定されており、ＡＧＶはこれらで停止することが可能で
ある。そのときのＡＧＶの軌跡はそれぞれＡＧＶ軌跡Ｉ
（５４）、ＡＧＶ軌跡Ｊ（５５）、ＡＧＶ軌跡Ｋ（５
６）、ＡＧＶ軌跡Ｌ（５７）となる。
て停止ポイントＩ（５０）、停止ポイントＪ（５１）、
停止ポイントＫ（５２）、停止ポイントＬ（５３）が設
定されており、ＡＧＶはこれらで停止することが可能で
ある。そのときのＡＧＶの軌跡はそれぞれＡＧＶ軌跡Ｉ
（５４）、ＡＧＶ軌跡Ｊ（５５）、ＡＧＶ軌跡Ｋ（５
６）、ＡＧＶ軌跡Ｌ（５７）となる。
【００８０】停止ポイントＩ（５０）から停止ポイント
Ｌ（５３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｊ（５５）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＭ（５８）から開始する。
Ｌ（５３）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｊ（５５）に停止するときには、停止するための減速を
減速開始ポイントＭ（５８）から開始する。
【００８１】同様にして、停止ポイントＫ（５２）に停
止するときは減速開始ポイントＮ（５９）、停止ポイン
トＬ（５３）に停止するときには減速開始ポイントＯ
（６０）となる。
止するときは減速開始ポイントＮ（５９）、停止ポイン
トＬ（５３）に停止するときには減速開始ポイントＯ
（６０）となる。
【００８２】反対に、停止ポイントＬ（５３）から停止
ポイントＩ（５０）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＫ（５２）に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントＰ（６１）から開始する。
ポイントＩ（５０）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＫ（５２）に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントＰ（６１）から開始する。
【００８３】同様にして、停止ポイントＪ（５１）に停
止するときは減速開始ポイントＱ（６２）、停止ポイン
トＩ（５０）に停止するときには減速開始ポイントＲ
（６３）となる。また、ＡＧＶが走行する経路（１０）
上において、走行制御ソフトにてルートＩ（６４）、ル
ートＪ（６５）、ルートＫ（６６）を設定している。
止するときは減速開始ポイントＱ（６２）、停止ポイン
トＩ（５０）に停止するときには減速開始ポイントＲ
（６３）となる。また、ＡＧＶが走行する経路（１０）
上において、走行制御ソフトにてルートＩ（６４）、ル
ートＪ（６５）、ルートＫ（６６）を設定している。
【００８４】本実施形態においては、前記第１の実施の
形態で説明した走行制御ソフトウェアの機能を実装する
ことにより、停止ポイントを２つ飛ばしたルートＬ（６
７）、および停止ポイントを１つ飛ばしたルートＭ（６
８）とＮ（６９）を追加設定する。
形態で説明した走行制御ソフトウェアの機能を実装する
ことにより、停止ポイントを２つ飛ばしたルートＬ（６
７）、および停止ポイントを１つ飛ばしたルートＭ（６
８）とＮ（６９）を追加設定する。
【００８５】停止ポイントＩ（５０）のＡＧＶ軌跡Ｉ
（５４）と停止ポイントＪ（５１）のＡＧＶ軌跡Ｊ（５
５）がＡＧＶ軌跡ＩＪ干渉部（７０）で干渉しているこ
と、また、停止ポイントＫ（５２）のＡＧＶ軌跡Ｋ（５
６）と停止ポイントＬ（５３）のＡＧＶ軌跡Ｌ（５７）
がＡＧＶ軌跡ＫＬ干渉部（７１）で干渉していることに
より、それぞれにおいていずれか一方の停止ポイントの
安全が確認できれば、もう一方の停止ポイントの安全も
確認できることになるため、このようなルートの設定が
可能になる。
（５４）と停止ポイントＪ（５１）のＡＧＶ軌跡Ｊ（５
５）がＡＧＶ軌跡ＩＪ干渉部（７０）で干渉しているこ
と、また、停止ポイントＫ（５２）のＡＧＶ軌跡Ｋ（５
６）と停止ポイントＬ（５３）のＡＧＶ軌跡Ｌ（５７）
がＡＧＶ軌跡ＫＬ干渉部（７１）で干渉していることに
より、それぞれにおいていずれか一方の停止ポイントの
安全が確認できれば、もう一方の停止ポイントの安全も
確認できることになるため、このようなルートの設定が
可能になる。
【００８６】そして、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、２ケ所におよんだ停止ポイントを２つ飛ばし
て前記第１の実施の形態で説明した走行制御ソフトウェ
アの機能を実現したことにより、前記第１の実施の形態
をより一層効果的にしたものとすることができる。その
結果、他のＡＧＶに進路を塞がれた時や発進と到着のと
きの必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて高速走
行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による
低速走行は全く発生しない。
場合でも、２ケ所におよんだ停止ポイントを２つ飛ばし
て前記第１の実施の形態で説明した走行制御ソフトウェ
アの機能を実現したことにより、前記第１の実施の形態
をより一層効果的にしたものとすることができる。その
結果、他のＡＧＶに進路を塞がれた時や発進と到着のと
きの必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて高速走
行となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による
低速走行は全く発生しない。
【００８７】
【実施形態３】図４は、本発明の第３の実施の形態を説
明するための走行制御条件設定図である。
明するための走行制御条件設定図である。
【００８８】図４を参照して、走行制御ソフトウェアに
て、停止ポイントＭ（７２）、停止ポイントＮ（７
３）、停止ポイントＯ（７４）、停止ポイントＰ（７
５）が設定されており、ＡＧＶはこれらで停止すること
が可能である。そのときのＡＧＶの軌跡はそれぞれＡＧ
Ｖ軌跡Ｍ（７６）、ＡＧＶ軌跡Ｎ（７７）、ＡＧＶ軌跡
Ｏ（７８）、ＡＧＶ軌跡Ｐ（７９）となる。
て、停止ポイントＭ（７２）、停止ポイントＮ（７
３）、停止ポイントＯ（７４）、停止ポイントＰ（７
５）が設定されており、ＡＧＶはこれらで停止すること
が可能である。そのときのＡＧＶの軌跡はそれぞれＡＧ
Ｖ軌跡Ｍ（７６）、ＡＧＶ軌跡Ｎ（７７）、ＡＧＶ軌跡
Ｏ（７８）、ＡＧＶ軌跡Ｐ（７９）となる。
【００８９】停止ポイントＭ（７２）から停止ポイント
Ｐ（７５）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｎ（７３）に停止するときには停止するための減速を減
速開始ポイントＳ（８０）から開始する。
Ｐ（７５）方向に走行してきたＡＧＶが、停止ポイント
Ｎ（７３）に停止するときには停止するための減速を減
速開始ポイントＳ（８０）から開始する。
【００９０】同様に、停止ポイントＯ（７４）に停止す
るときは減速開始ポイントＴ（８１）、停止ポイントＰ
（７５）に停止するときには減速開始ポイントＵ（８
２）となる。
るときは減速開始ポイントＴ（８１）、停止ポイントＰ
（７５）に停止するときには減速開始ポイントＵ（８
２）となる。
【００９１】反対に、停止ポイントＰ（７５）から停止
ポイントＭ（７２）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＯ（７４）に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントＶ（８３）から開始する。
ポイントＭ（７２）方向に走行してきたＡＧＶが、停止
ポイントＯ（７４）に停止するときには停止するための
減速を減速開始ポイントＶ（８３）から開始する。
【００９２】同様に、停止ポイントＮ（７３）に停止す
るときは減速開始ポイントＷ（８４）、停止ポイントＭ
（７２）に停止するときには減速開始ポイントＸ（８
５）となる。
るときは減速開始ポイントＷ（８４）、停止ポイントＭ
（７２）に停止するときには減速開始ポイントＸ（８
５）となる。
【００９３】また、ＡＧＶが走行する経路（１０）上に
おいて、走行制御ソフトにてルートＯ（８６）、ルート
Ｐ（８７）、ルートＱ（８８）を設定している。
おいて、走行制御ソフトにてルートＯ（８６）、ルート
Ｐ（８７）、ルートＱ（８８）を設定している。
【００９４】ここでさらに、前記第１の実施の形態で説
明した走行制御ソフトウェアの機能を実装したことによ
り、停止ポイントを３つ飛ばしたルートＲ（８９）、お
よび停止ポイントを１つ飛ばしたルートＳ（９０）とＴ
（９１）を追加設定する。
明した走行制御ソフトウェアの機能を実装したことによ
り、停止ポイントを３つ飛ばしたルートＲ（８９）、お
よび停止ポイントを１つ飛ばしたルートＳ（９０）とＴ
（９１）を追加設定する。
【００９５】停止ポイントＮ（７３）のＡＧＶ軌跡Ｎ
（７７）と、停止ポイントＯ（７４）のＡＧＶ軌跡Ｏ
（７８）、停止ポイントＰ（７５）のＡＧＶ軌跡Ｐ（７
９）がＡＧＶ軌跡ＯＰ干渉部（９２）で干渉しているこ
とにより、いずれか１つの停止ポイントの安全が確認で
きれば、その他２つの停止ポイントの安全も確認できる
ことになるため、このようなルートの設定が可能にな
る。
（７７）と、停止ポイントＯ（７４）のＡＧＶ軌跡Ｏ
（７８）、停止ポイントＰ（７５）のＡＧＶ軌跡Ｐ（７
９）がＡＧＶ軌跡ＯＰ干渉部（９２）で干渉しているこ
とにより、いずれか１つの停止ポイントの安全が確認で
きれば、その他２つの停止ポイントの安全も確認できる
ことになるため、このようなルートの設定が可能にな
る。
【００９６】そして、停止ポイント間が非常に接近した
場合でも、１ケ所に集中した停止ポイントを２つ飛ば
し、前記第１の実施の形態で説明した、走行制御ソフト
ウェアの機能を実装することにより、前記第１の実施の
形態をより有効なものとすることができる。その結果、
他のＡＧＶに進路を塞がれたときや、発進と到着のとき
の必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて高速走行
となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低
速走行は全く発生しない。
場合でも、１ケ所に集中した停止ポイントを２つ飛ば
し、前記第１の実施の形態で説明した、走行制御ソフト
ウェアの機能を実装することにより、前記第１の実施の
形態をより有効なものとすることができる。その結果、
他のＡＧＶに進路を塞がれたときや、発進と到着のとき
の必要最低限の加減速を除き、ＡＧＶはすべて高速走行
となり、本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低
速走行は全く発生しない。
【００９７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低速走行
は、発進時と到着時の必要最低限の加減速を除き、全く
発生しないように制御可能とされ、すべて高速走行とな
り、ＡＧＶの走行時間が短縮される結果、工程内搬送シ
ステム全体の搬送能力を特段に向上することができると
いう効果を有する。
本来無意味な減速、徐行、及び加速等による低速走行
は、発進時と到着時の必要最低限の加減速を除き、全く
発生しないように制御可能とされ、すべて高速走行とな
り、ＡＧＶの走行時間が短縮される結果、工程内搬送シ
ステム全体の搬送能力を特段に向上することができると
いう効果を有する。
【図１】本発明の第１の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
行制御条件設定図である。
【図２】本発明の第１の実施の形態の走行制御動作を説
明するための流れ図である。
明するための流れ図である。
【図３】本発明の第２の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
行制御条件設定図である。
【図４】本発明の第３の実施の形態を説明するための走
行制御条件設定図である。
行制御条件設定図である。
【図５】従来の工程内搬送システムの全体構成を示す図
である。
である。
【図６】従来例のベイレイアウト図である。
【図７】従来例を説明するための走行制御条件設定図で
ある。
ある。
【図８】従来例の走行制御動作を説明するための流れ図
である。
である。
【図９】従来例の走行制御動作を説明するための流れ図
である。
である。
１ ホストコンピュータ ２ 搬送コントローラ ３ 通信ユニット ４ ＣＣＤカメラ ５ 充電器盤 ６ 充電ステーション ７ ＡＧＶ ８ プロセス装置 ９ ストッカ １０ 経路 １１ 停止ポイント １２ ルート １３ 停止ポイントＡ １４ 停止ポイントＢ １５ 停止ポイントＣ １６ 停止ポイントＤ １７ ＡＧＶ軌跡Ａ １８ ＡＧＶ軌跡Ｂ １９ ＡＧＶ軌跡Ｃ ２０ ＡＧＶ軌跡Ｄ ２１ 減速開始ポイントＡ ２２ 減速開始ポイントＢ ２３ 減速開始ポイントＣ ２４ 減速開始ポイントＤ ２５ 減速開始ポイントＥ ２６ 減速開始ポイントＦ ２７ ルートＡ ２８ ルートＢ ２９ ルートＣ ３０ 停止ポイントＥ ３１ 停止ポイントＦ ３２ 停止ポイントＧ ３３ 停止ポイントＨ ３４ ＡＧＶ軌跡Ｅ ３５ ＡＧＶ軌跡Ｆ ３６ ＡＧＶ軌跡Ｇ ３７ ＡＧＶ軌跡Ｈ ３８ 減速開始ポイントＧ ３９ 減速開始ポイントＨ ４０ 減速開始ポイントＩ ４１ 減速開始ポイントＪ ４２ 減速開始ポイントＫ ４３ 減速開始ポイントＬ ４４ ルートＤ ４５ ルートＥ ４６ ルートＦ ４７ ルートＧ ４８ ルートＨ ４９ ＡＧＶ軌跡ＦＧ干渉部 ５０ 停止ポイントＩ ５１ 停止ポイントＪ ５２ 停止ポイントＫ ５３ 停止ポイントＬ ５４ ＡＧＶ軌跡Ｉ ５５ ＡＧＶ軌跡Ｊ ５６ ＡＧＶ軌跡Ｋ ５７ ＡＧＶ軌跡Ｌ ５８ 減速開始ポイントＭ ５９ 減速開始ポイントＮ ６０ 減速開始ポイントＯ ６１ 減速開始ポイントＰ ６２ 減速開始ポイントＱ ６３ 減速開始ポイントＲ ６４ ルートＩ ６５ ルートＪ ６６ ルートＫ ６７ ルートＬ ６８ ルートＭ ６９ ルートＮ ７０ ＡＧＶ軌跡ＩＪ干渉部 ７１ ＡＧＶ軌跡ＫＬ干渉部 ７２ 停止ポイントＭ ７３ 停止ポイントＮ ７４ 停止ポイントＯ ７５ 停止ポイントＰ ７６ ＡＧＶ軌跡Ｍ ７７ ＡＧＶ軌跡Ｎ ７８ ＡＧＶ軌跡Ｏ ７９ ＡＧＶ軌跡Ｐ ８０ 減速開始ポイントＳ ８１ 減速開始ポイントＴ ８２ 減速開始ポイントＵ ８３ 減速開始ポイントＶ ８４ 減速開始ポイントＷ ８５ 減速開始ポイントＸ ８６ ルートＯ ８７ ルートＰ ８８ ルートＱ ８９ ルートＲ ９０ ルートＳ ９１ ルートＴ ９２ ＡＧＶ軌跡ＯＰ干渉部
Claims (4)
- 【請求項１】無人搬送車を用いた搬送制御システムにお
いて、 前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶルートに
ついて、選択された停止ポイントを外してルートを設定
し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するルー
トを選択的に設定する走行制御手段を備え、 少なくとも２つの停止ポイントにおける前記無人搬送車
の軌跡同士が干渉する場合に、前記少なくとも２つの停
止ポイントの中より選択された一又は複数の停止ポイン
トを外してルートを設定し、該ルートで結ばれた停止ポ
イントのみについて、前記無人搬送車の進入可能性をチ
ェックして前記無人搬送車の前記ルートにおける走行を
制御する ことを特徴とする無人搬送車走行制御システ
ム。 - 【請求項２】前記ルートで結ばれた前記停止ポイントに
ついて、他の無人搬送車が待機していないか、又はすで
に進入がスケジューリングされていないかを確認するこ
とにより進入可能性をチェックすることを特徴とする請
求項１記載の無人搬送車走行制御システム。 - 【請求項３】無人搬送車を少なくとも一のベイ内におい
て半導体基板を収納したキャリアを自動保管棚からプロ
セス装置に供給、または前記プロセス装置から前記自動
保管棚へ回収するように移動制御する無人搬送車を用い
た搬送制御システムにおいて、 前記無人搬送車の複数の停止ポイント間を結ぶルートに
ついて、選択された停止ポイントを外してルートを設定
し、目的地までに最少数の停止ポイントで到達するルー
トを選択的に設定する走行制御手段を含み、 前記走行制御手段が、少なくとも２つの停止ポイントに
おける前記無人搬送車の軌跡同士が干渉する場合に、前
記少なくとも２つの停止ポイントの中より選択された一
又は複数の停止ポイントを外してルートを設定し、該ル
ートで結ばれた停止ポイントのみについて、前記無人搬
送車の進入可能性をチェックして前記無人搬送車の前記
ルートにおける走行を制御する ことを特徴とする無人搬
送車走行 制御システム。 - 【請求項４】半導体基板を収納したキャリアを自動保管
棚からプロセス装置に供給、または前記プロセス装置か
ら前記自動保管棚へ回収する無人搬送車を用いた搬送制
御システムにおいて、 前記無人搬送車の制御を統括する搬送コントローラの走
行制御ソフトウェアが、前記無人搬送車の複数の停止ポ
イント間を結ぶルートを停止ポイントを飛ばしてルート
を設定する機能と、目的地までに最少数の停止ポイント
で到達するルートを選択する機能とを具備してなり、 前記停止ポイントが所定距離近接している場合でいくつ
かの停止ポイントを飛ばしたルートを設定した時、該ル
ートで結ばれた停止ポイントのみについて、他の無人搬
送車が待機していないか、又はすでに進入がスケジュー
リングされていないかを確認すると共に、前記ルートで
前記無人搬送車を走行させるように制御することを特徴
とする無人 搬送車走行制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28674695A JP2833548B2 (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 無人搬送車走行制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28674695A JP2833548B2 (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 無人搬送車走行制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09101820A JPH09101820A (ja) | 1997-04-15 |
| JP2833548B2 true JP2833548B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17708502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28674695A Expired - Lifetime JP2833548B2 (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | 無人搬送車走行制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833548B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3487774B2 (ja) | 1998-11-19 | 2004-01-19 | 沖電気工業株式会社 | 半導体装置製造工程の搬送方法 |
| JP6013739B2 (ja) * | 2012-01-30 | 2016-10-25 | 鹿島建設株式会社 | 運搬車両運行支援システム及び運搬車両運行支援方法 |
| CN109693568B (zh) * | 2019-01-26 | 2023-11-03 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 一种集对接成功物理量反馈的agv自动充电系统的充电方法 |
| JP7372229B2 (ja) * | 2020-11-30 | 2023-10-31 | トヨタ自動車株式会社 | 自動搬送機の制御システム及び制御方法 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2611569B2 (ja) * | 1991-07-03 | 1997-05-21 | 株式会社豊田自動織機製作所 | 無人搬送車の運行制御方法 |
-
1995
- 1995-10-06 JP JP28674695A patent/JP2833548B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH09101820A (ja) | 1997-04-15 |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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