JP2008150113A - 基板収納用カセット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下面に設置される支持部材と、上面に設置されるガイド部材と、後面に設置される固定部材とを備えて、ガラス基板を立てて収納する構成とした。これによれば、ガラス基板の変形を防止でき、且つ、ガラス基板にホコリが積もるのを防止できる。
【選択図】図1
Description
また、ガラス基板が水平に積載されるため、ガラス基板にはホコリのような異物が多く積もるという問題点もあった。
また、前記ローラは、ゴム部材またはプラスチック部材で形成される。
また、前記ボディーには、前記固定溝部と連通し、前記弾性支持体の一部が収容される収容溝が形成される。
なお、本発明は、ガラス基板を下面、上面及び後面から支持し、安定的に収納し保管することができる。
複数個の支持部材33、ガイド部材43、固定部材63はそれぞれ互いに等間隔で設置される。
図2に示すように、支持部材33は、全体的に直六面体形状のボディー34を有し、ボディー34の下部は下面フレーム32に支持される。
ガイド部材43は、全体的に直六面体形状のボディー44を有し、ボディー44の上部は上面フレーム42に支持される。
このようにガイド溝部45の前方に備えられたフレアー部46の存在によって、ガラス基板15の端部はガイド溝部45へ容易に導かれて挿入される。
固定部材63は、ガラス基板15が本体フレーム10の内部へ完全に収納された時、ガラス基板15の一端を固定させることによって、ガラス基板15が基板収納用カセット内に安定して収納されるようにする。
固定部材63の前方には、ガラス基板15が挿入されるように固定溝部65が形成される。固定溝部65の前方には、両側方に傾斜してフレアー部66が形成されており、このフレアー部66によってガラス基板15は固定溝部65へ導かれて容易に挿入されることが可能になる。
図6には、本体フレーム10の上面40の開口部41がカバー45で覆われている。このように本体フレーム10の上面40を閉じると、本体フレーム10の上部から流入するホコリを遮蔽でき、ガラス基板15につくホコリのような異物の量を減らすことができる。
15 ガラス基板
33 支持部材
37 傾斜部
38 ローラ
43 ガイド部材
63 固定部材
67 収容溝
70 弾性支持体
71 係止部
72 支持部
Claims (8)
- 複数枚のガラス基板を収納した状態で移動させる基板収納用カセットにおいて、
相対向する1対の側面と、前記1対の側面の上部と下部にそれぞれ形成される上面及び下面と、前記側面の前方と後方にそれぞれ形成される前面及び後面と、を有し、
前記下面に設置されて、前記各ガラス基板の下部を支持する支持部材と、前記上面に設置されて、前記各ガラス基板が収納されるように導くガイド部材と、前記後面に設置されて、前記ガラス基板が収納された状態で固定されるようにする固定部材と、を備えることによって前記ガラス基板を立てて収納することを特徴とする、基板収納用カセット。 - 前記支持部材は、ボディーと、前記ガラス基板が挿入された状態で移動できるように前記ボディーの上部に形成された支持溝部と、前記支持溝部の前方において両側方に傾斜して形成されるフレアー部と、前記支持溝部の前方において下方に傾斜して形成される傾斜部と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板収納用カセット。
- 前記支持部材は、前記支持溝部に転動可能に設置されて、前記ガラス基板を支持した状態で移動させるローラをさらに備えることを特徴とする、請求項2に記載のガラス基板積載装置。
- 前記ローラは、ゴム部材またはプラスチック部材で形成されることを特徴とする、請求項3に記載のガラス基板積載装置。
- 前記ガイド部材は、ボディーと、前記ガラス基板が挿入された状態で移動できるように前記ボディーの下部に形成されたガイド溝部と、前記ガイド溝部の前方において両側方に傾斜して形成されるフレアー部と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板収納用カセット。
- 前記固定部材は、ボディーと、前記ガラス基板が挿入されるように前記ボディーの前方に形成された固定溝部と、前記固定溝部の前方において両側方に傾斜して形成されるフレアー部と、前記ガラス基板が前記固定溝部に挿入されると前記ガラス基板の両側面を弾性支持することによって前記ガラス基板を固定させる弾性支持体と、を備えることを特徴とする、請求項1に記載の基板収納用カセット。
- 前記ボディーには、前記固定溝部と連通し、前記弾性支持体の一部が収容される収容溝が形成されたことを特徴とする、請求項6に記載の基板収納用カセット。
- 前記弾性支持体は、弾性を持ちうるように薄い金属板が焼成変形されてなり、前記収容溝の内部に収容される係止部と、前記固定溝部に収容されて、前記ガラス基板が前記固定溝部に挿入された際に前記ガラス基板の側面を弾性支持する支持部と、を備えることを特徴とする、請求項7に記載の基板収納用カセット。
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