KR101178286B1 - 유리기판 식각용 카세트 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 유리기판 식각용 카세트는 기판을 수용하는 카세트에 있어서, 일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재; 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재; 상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너; 상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재; 상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되, 상기 단부리테이너와 상기 단부지지부재와 상기 바닥리테이너와 상기 바닥지지부재 중 적어도 하나가 움직이도록하여 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭 또는 수용깊이가 조절되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여 하나의 카세트에서 다양한 크기의 기판을 다단으로 수용할 수 있음은 물론 대면적의 기판을 다단으로 수용할 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.

Description

유리기판 식각용 카세트{cassette for etching of glass}
본 발명은 유리기판 식각용 카세트에 관한 것으로, 좀더 자세하게는, 다양한 크기의 기판을 다단으로 수용할 수 있고, 대면적의 기판을 제작하는 공정 중 기판을 식각 또는 세정할 때 기판의 두께가 얇아짐에 따라 기판이 카세트 내에서 유동되는 것을 방지하고, 기판의 식각 표면에서 안정적인 식각 품질을 확보할 수 있는 유리기판 식각용 카세트에 관한 것이다.
최근에 디스플레이의 대형화에 따라 대면적(대형)의 디스플레이를 형성하는 기판의 크기도 대형화되고 있다. 그 때문에 대면적(대형)의 기판을 수용할 수 있는 기판 카세트가 요구되고 있다.
하지만, 종래 기술에 따른 대면적의 기판을 제작할 때 사용되는 기판 카세트는 기판의 크기에 따라 기판의 크기에 대응되는 카세트를 개별적으로 제작해야 하는 번거로움이 있었다.
또한, 대면적의 기판을 제작하는 공정 중 기판을 식각 또는 세정할 때, 기판의 두께가 얇아짐에 따라 기판이 카세트 내에서 유동이 발생되고, 기판의 식각 표면에 흠집이 생기거나 기판이 파손되는 등의 문제점이 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 하나의 카세트에서 다양한 크기의 기판을 다단으로 수용할 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트를 제공함에 있다.
또한, 대면적의 기판을 제작하는 공정 중 기판을 식각 또는 세정할 때, 기판의 두께가 얇아짐에 따라 기판이 카세트 내에서 유동되는 것을 방지하고, 기판의 식각 표면에서 안정적인 식각품질을 확보할 수 있는 유리기판 식각용 카세트를 제공함에 있다.
또한, 카세트에 수용되는 기판의 크기 오차에도 불구하고 기판이 카세트 내에서 안정되게 지지되어 대면적인 개별의 기판이 카세트 내에서 유동하는 것을 방지할 수 있는 유리기판 식각용 카세트를 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 수용하는 카세트에 있어서, 일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재; 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재; 상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너; 상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재; 상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되, 상기 단부리테이너는 회전축을 중심으로 회동되기도 하고, 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 단부지지부재에서 슬라이드 이동되기도 하며, 상기 단부지지부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트에 의해 달성된다.
여기서 상기 단부리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 단부리테이너를 상기 단부지지부재에 고정시키는 제1리테이너고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 수용하는 카세트에 있어서, 일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재; 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재; 상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너; 상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재; 상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되, 상기 단부지지부재는 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트에 의해 달성된다.
여기서 상기 단부리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 단부지지부재를 상기 수용부재에 고정시키는 단부고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 수용하는 카세트에 있어서, 일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재; 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재; 상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너; 상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재; 상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되, 상기 바닥리테이너는 회전축을 중심으로 회동되기도 하고, 상기 기판의 수용깊이 방향을 따라 상기 바닥지지부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 바닥지지부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용깊이가 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트에 의해 달성된다.
여기서 상기 바닥리테이너가 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 바닥리테이너를 상기 바닥지지부재에 고정시키는 제2리테이너고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판을 수용하는 카세트에 있어서, 일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재; 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재; 상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너; 상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재; 상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되, 상기 바닥지지부재는 상기 기판의 수용깊이 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용깊이가 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트에 의해 달성된다.
여기서 상기 바닥리테이너가 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 바닥지지부재를 상기 수용부재에 고정시키는 바닥고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 단부리테이너는 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 단부지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 단부리테이너는 상기 단부지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 단부지지돌기가 더 포함되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 바닥리테이너는 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 바닥지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 바닥리테이너는 상기 바닥지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 바닥지지돌기가 더 포함되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 보조지지부재; 상기 보조지지부재에 형성되고, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 보조리테이너;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조리테이너는 회전축을 중심으로 회동되기도 하고, 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 보조지지부재에서 슬라이드 이동되기도 하며, 상기 보조지지부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭 방향에서 상기 기판의 단부를 지지하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 보조리테이너를 상기 보조지지부재에 고정시키는 제3리테이너고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조지지부재는 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭이 조절되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 보조지지부재를 상기 수용부재에 고정시키는 보조고정부재;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조리테이너는 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 보조지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 보조리테이너는 상기 보조지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 보조지지돌기가 더 포함되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 단부지지부재 또는 상기 수용부재에 상호 이격되도록 형성되는 측면지지부재; 상기 측면지지부재에 형성되고, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 측면을 지지하는 측면리테이너;를 더 포함하도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 단부리테이너는 상기 단부지지부재에 상호 이격되도록 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
여기서 상기 바닥리테이너는 상기 바닥지지부재에 상호 이격되도록 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
본 발명에 따르면, 하나의 카세트에서 다양한 크기의 기판을 다단으로 수용할 수 있음은 물론 대면적의 기판을 다단으로 수용할 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 대면적의 기판을 제작하는 공정 중 기판을 식각할 때, 기판의 두께가 얇아짐에 따라 기판이 카세트 내에서 유동되는 것을 방지하고, 기판의 식각 표면에서 안정적인 식각품질을 확보할 수 있는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 카세트에 수용되는 기판의 크기에 따라 기판의 수용폭과 수용깊이를 조절할 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 카세트에 수용되는 기판의 크기 오차에도 불구하고 수용되는 기판의 세 지점을 적어도 지지하게 되어 기판이 카세트 내에서 안정되게 지지되어 대면적인 개별의 기판이 카세트 내에서 유동하는 것을 방지할 수 있는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 카세트에 수용되는 기판의 지지 지점을 증대시켜 기판의 지지력을 향상시킬 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 카세트에 수용되는 기판의 처짐을 방지할 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
또한, 대면적의 기판이 다단으로 수용될 수 있도록 하는 유리기판 식각용 카세트가 제공된다.
도 1과 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 유리기판 식각용 카세트를 도시한 사시도,
도 3과 도 4는 각각 도 1과 도 2의 분해 사시도,
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 단부지지부를 도시한 사시도,
도 6 내지 도 8은 도 5의 단부지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면,
도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 바닥지지부를 도시한 사시도,
도 10은 도 9의 바닥지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면,
도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 바닥지지부를 도시한 사시도,
도 12는 도 11의 바닥지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면,
도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 보조지지부를 도시한 사시도,
도 14는 도 13의 보조지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면,
도 15는 본 발명의 제2실시예에 따른 보조지지부를 도시한 사시도,
도 16은 도 15의 보조지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면,
도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 측면지지부를 도시한 사시도,
도 18은 도 17의 측면지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 일실시예에 따른 유리기판 식각용 카세트에 대하여 상세하게 설명한다. 본 발명의 일실시예에서는 유리기판 또는 대면적의 기판을 제작하는 공정 중 기판을 식각 또는 세정할 때 사용되는 카세트에 대하여 설명한다.
첨부 도면 도 1과 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 카세트를 도시한 사시도이고, 도 3과 도 4는 각각 도 1과 도 2의 분해 사시도로써, 도 1과 도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 카세트를 나타내고, 도 2와 도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 카세트를 나타낸다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 유리기판 식각용 카세트는 수용부재(1)와, 단부지지부(2)와, 바닥지지부(3)를 포함하고, 여기에 보조지지부(4)와 측면지지부(5) 중 적어도 하나의 지지부가 더 포함된다.
수용부재(1)는 일측에 기판투입구(11)가 형성되고, 내부에 기판(B)이 수용되도록 수용공간(12)이 형성된다. 수용부재(1)는 다수의 프레임 또는 판을 배치하여 형성될 수 있다.
단부지지부(2)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12) 바닥 사이에 설치되어 수용공간(12)에 삽입된 기판(B)에서 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 한다.
바닥지지부(3)는 수용공간(12)의 바닥에 설치되어 수용공간(12)에 삽입된 기판(B)에서 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 한다.
또한, 보조지지부(4)는 단부지지부(2)와 마찬가지로 기판투입구(11)부터 수용공간(12) 바닥 사이에 설치되어 수용공간(12)에 삽입된 기판(B)에서 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 한다.
또한, 측면지지부(5)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12) 바닥 사이에 설치되어 수용공간(12)에 삽입된 기판(B)에서 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 측면을 지지하도록 한다.
그러면, 수용공간(12)에 삽입되는 기판(B)의 크기에 따라 단부지지부(2)와 바닥지지부(3) 중 적어도 하나의 지지부를 자유롭게 이동시킬 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판 카세트는 하나의 카세트(C)에 다양한 크기의 기판(B)을 다단으로 수용할 수 있게 된다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 단부지지부에 대하여 좀더 자세하게 설명한다.
첨부 도면 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 단부지지부를 도시한 사시도로써, 도 5를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 단부지지부(2)는 단부지지부재(21)와 단부리테이너(22)로 구분할 수 있다. 본 발명의 제1실시예에 따른 단부지지부재(21)는 바 형상으로 수용부재(1)의 가장자리에서 마주보도록 적어도 한 쌍이 형성되고, 본 발명의 제2실시예에 따른 단부지지부재(21)는 바 형상으로 수용공간(12)의 가장자리에서 마주보도록 한 쌍이 형성됨은 물론 한 쌍의 단부지지부재(21) 사이에 적어도 한 쌍이 더 형성되며, 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)에 상호 이격되어 형성되어 있다.
단부지지부재(21)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12)의 바닥 사이에서 수용부재(1)에 형성되고, 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)에 형성되고 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)에서 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 하고 있다.
여기서 수용부재(1)에 형성되는 단부지지부재(21)는 수용부재(1)와 별도로 형성될 수 있고, 수용부재(1)와 일체로 형성될 수 있으며, 수용부재(1)의 일부로 형성될 수 있다. 또한, 단부지지부재(21)에 형성되는 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)와 별도로 형성될 수 있고, 단부지지부재(21)와 일체로 형성될 수 있으며, 단부지지부재(21)의 일부로 형성될 수 있다.
그러면, 단부리테이너(22)는 회전축(205)을 중심으로 회동되기도 하고, 기판(B)의 수용폭 방향을 따라 단부지지부재(21)에서 슬라이드 이동되기도 하며, 단부지지부재(21)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 기판(B)의 수용폭이 조절되는 것이 특징이다. 이때, 제1리테이너고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부를 지지하고 있는 단부리테이너(22)를 단부지지부재(21)에 고정시킬 수 있다. 제1리테이너고정부재(미도시)는 단부리테이너(22)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 단부리테이너(22)를 단부지지부재(21)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
또한, 단부지지부재(21)는 기판(B)의 수용폭 방향을 따라 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 수용부재(1)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 수용폭이 조절되는 것이 특징이다. 이때, 단부고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부가 단부리테이너(22)에 고정될 때 단부지지부재(21)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있다. 단부고정부재(미도시)는 단부리테이너(22)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때, 단부지지부재(21)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
여기서 단부리테이너(22)에는 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 수용하도록 단부지지홈(221)이 함몰 형성될 수 있다. 단부지지홈(221)의 단면은 반원형 또는 삼각형 또는 다각형의 단면 형상을 가질 수 있고, 단부지지홈(221)과 기판(B)의 모서리가 선접촉 또는 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다. 이때, 단부리테이너(22)에는 단부지지홈(221)에서 돌출 형성되어 기판(B)의 측면을 지지하는 단부지지돌기(222)가 더 포함될 수 있다. 단부지지돌기(222)는 탄성 재질로 외력에 의해 신축되거나 구부러질 수 있고, 단부지지돌기(222)와 기판(B)의 측면이 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다.
또한, 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부에 대응하는 단부리테이너(22)의 일측이 탄성 재질로 형성될 수 있다. 그러면, 단부리테이너(22)가 기판(B)의 단부를 지지할 때, 탄성 재질인 단부리테이너(22)가 기판(B)의 모서리와 선접촉 또는 점접촉되어 함몰될 수 있다.
지금부터는 단부지지부를 통한 기판의 지지 상태에 대하여 살펴본다.
첨부 도면 도 6 내지 도 8은 도 5의 단부지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
도 5와 도 6을 참조하면, 본 발명의 일실시예에서 단부리테이너(22)가 단부지지부재(21)에 회전축(205)을 중심으로 회동하도록 결합되어 있다. 또한, 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)에서 탈부착될 수 있다. 그러면, 기판(B)의 크기(수용폭, 수용깊이, 두께 등)에 따라 단부리테이너(22)를 교체할 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 바닥을 향하는 기판(B)의 단부가 바닥리테이너(32)에 지지되고, 회전축(205)을 중심으로 단부리테이너(22)를 회동시킴으로써, 단부리테이너(22)의 단부지지홈(221)에 기판(B)의 단부가 수용됨은 물론 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 각각 지지하게 된다. 다단으로 수용되는 기판(B)의 크기가 서로 다르더라도 단부리테이너(22)가 회전되는 정도에 따라 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 지지함은 물론 단부지지홈(221)에서 기판(B)의 단부를 지지할 수 있으므로 수용폭이 다른 기판(B)이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 수용 지지된다.
여기서 제1리테이너고정부재(미도시)는 자석을 포함하여 구성되어 단부지지부재(21)와 단부리테이너(22)에 각각 개재됨으로써, 단부리테이너(22)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 회동된 단부리테이너(22)가 자력에 의해 단부지지부재(21)에 고정되도록 할 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 제1리테이너고정부재(미도시)는 단부리테이너(22)와 단부지지부재(21)에 각각 형성되는 후크를 포함하여 구성되어 회동된 단부리테이너(22)가 후크 결합에 의해 단부지지부재(21)에 고정되도록 할 수 있다. 또한, 제1리테이너고정부재(미도시)는 스프링 등과 같은 탄성부재를 포함하여 구성되어 회동되는 단부리테이너(22)가 탄성부재에 의해 기판(B)의 단부에 탄성 지지되도록 할 수 있다. 제1리테이너고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 단부리테이너(22)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 단부리테이너(22)를 단부지지부재(21)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
도 5와 도 7을 참조하면, 본 발명의 일실시예에서 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)에서 슬라이드 이동되도록 결합되어 있다. 또한, 단부리테이너(22)는 단부지지부재(21)에서 탈부착될 수 있다. 그러면, 기판(B)의 크기(수용폭, 수용깊이, 두께 등)에 따라 단부리테이너(22)를 교체할 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 바닥을 향하는 기판(B)의 단부가 바닥리테이너(32)에 지지되고, 안내가이드(203)를 따라 단부리테이너(22)를 슬라이드 이동시킴으로써, 단부리테이너(22)의 단부지지홈(221)에 기판(B)의 단부가 수용됨은 물론 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 각각 지지하게 된다. 다단으로 수용되는 기판 크기가 서로 다르더라도 단부리테이너(22)가 슬라이드 이동되는 정도 또는 단부지지부재(21)에 탈부착되는 단부리테이너(22)의 크기에 따라 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 지지함은 물론 단부지지홈(221)에서 기판(B)의 단부를 지지할 수 있으므로 수용폭이 다른 기판이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 지지된다.
여기서 제1리테이너고정부재(미도시)는 나사 또는 볼트를 포함하여 구성되어 단부지지부재(21) 또는 단부리테이너(22)에 관통 고정됨으로써, 단부리테이너(22)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 슬라이드 이동되는 또는 탈부착되는 단부리테이너(22)를 단부지지부재(21)에 고정시킬 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 제1리테이너고정부재(미도시)는 단부리테이너(22)와 단부지지부재(21)에 각각 형성되는 돌기와 홈을 포함하여 구성되어 단부리테이너(22)가 슬라이드 이동되거나 탈부착됨에 따라 돌기와 홈의 결합에 의해 단부지지부재(21)에 고정되도록 할 수 있다. 제1리테이너고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 단부리테이너(22)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 단부리테이너(22)를 단부지지부재(21)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
도 5와 도 8을 참조하면, 본 발명의 일실시예에서 단부지지부재(21)는 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 탈부착될 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 바닥을 향하는 기판(B)의 단부가 바닥리테이너(32)에 지지되고, 단부지지부재(21)를 슬라이드 이동시키거나 탈부착하여 이동됨으로써, 단부지지부재(21)에 형성된 단부리테이너(22)의 단부지지홈(221)에 기판(B)의 단부가 수용됨은 물론 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 각각 지지하게 된다. 다단으로 수용되는 기판(B)의 크기가 서로 다르더라도 단부지지부재(21)가 슬라이드 이동되는 또는 탈부착하여 이동되는 정도에 따라 단부지지돌기(222)가 기판(B)의 측면을 지지함은 물론 단부지지홈(221)에서 기판(B)의 단부를 지지할 수 있으므로 수용폭이 다른 기판(B)이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 지지된다.
여기서 단부고정부재(미도시)는 나사 또는 볼트를 포함하여 구성되어 수용부재(1) 또는 단부지지부재(21)에 관통 고정됨으로써, 단부리테이너(22)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 슬라이드 이동된 또는 탈부착되어 이동된 단부지지부재(21)를 수용부재(1)에 고정되도록 할 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 단부고정부재(미도시)는 수용부재(1)와 단부지지부재(21)에 각각 형성되는 돌기와 홈을 포함하여 구성되어 단부지지부재(21)가 슬라이드 이동되거나 탈부착 이동됨에 따라 돌기와 홈의 결합에 의해 수용부재(1)에 고정되도록 할 수 있다. 단부고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 단부리테이너(22)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 단부지지부재(21)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 바닥지지부에 대하여 좀더 자세하게 설명한다.
첨부 도면 도 9는 본 발명의 제1실시예에 따른 바닥지지부를 도시한 사시도이고, 도 10은 도 9의 바닥지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이며, 도 11은 본 발명의 제2실시예에 따른 바닥지지부를 도시한 사시도이고, 도 12는 도 11의 바닥지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
도 9와 도 11을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 바닥지지부(3)는 수용되는 기판(B)에 대응하여 상호 이격 배치됨은 물론 기판(B)의 수용폭 방향과 평행하게 설치되고, 본 발명의 제2실시예에 따른 바닥지지부(3)는 다수가 상호 이격 배치됨은 물론 기판(B)의 수용폭 방향과 수직으로 설치된다.
본 발명의 일실시예에 따른 바닥지지부(3)는 바닥지지부재(31)와 바닥리테이너(32)로 구분할 수 있다. 바닥지지부재(31)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12)의 바닥 사이에서 수용부재(1)에 형성되고, 바닥리테이너(32)는 바닥지지부재(31)에 형성되고 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)에서 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 하고 있다.
여기서 수용부재(1)에 형성되는 바닥지지부재(31)는 수용부재(1)와 별도로 형성될 수 있고, 수용부재(1)와 일체로 형성될 수 있으며, 수용부재(1)의 일부로 형성될 수 있다. 또한, 바닥지지부재(31)에 형성되는 바닥리테이너(32)는 바닥지지부재(31)와 별도로 형성될 수 있고, 바닥지지부재(31)와 일체로 형성될 수 있으며, 바닥지지부재(31)의 일부로 형성될 수 있다.
그러면, 바닥리테이너(32)는 기판(B)의 수용깊이 방향을 따라 바닥지지부재(31)에서 슬라이드 이동되기도 하며, 바닥지지부재(31)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 기판(B)의 수용깊이가 조절되는 것이 특징이다. 이때, 제2리테이너고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부를 지지하고 있는 바닥리테이너(32)를 바닥지지부재(31)에 고정시킬 수 있다. 제2리테이너고정부재(미도시)는 바닥리테이너(32)가 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 바닥리테이너(32)를 바닥지지부재(31)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
또한, 바닥지지부재(31)는 기판(B)의 수용깊이 방향을 따라 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 수용부재(1)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 수용깊이가 조절되는 것이 특징이다. 이때, 바닥고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부가 바닥리테이너(32)에 고정될 때 바닥지지부재(31)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있다. 바닥고정부재(미도시)는 바닥리테이너(32)가 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때, 바닥지지부재(31)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
여기서 바닥리테이너(32)에는 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 수용하도록 바닥지지홈(321)이 함몰 형성될 수 있다. 바닥지지홈(321)의 단면은 반원형 또는 삼각형 또는 다각형의 단면 형상을 가질 수 있고, 바닥지지홈(321)과 기판(B)의 모서리가 선접촉 또는 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다. 이때, 바닥리테이너(32)에는 바닥지지홈(321)에서 돌출 형성되어 기판(B)의 측면을 지지하는 바닥지지돌기(미도시)가 더 포함될 수 있다. 바닥지지돌기(미도시)는 탄성 재질로 외력에 의해 신축되거나 구부러질 수 있고, 바닥지지돌기(미도시)와 기판(B)의 측면이 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다.
또한, 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부에 대응하는 바닥리테이너(32)의 일측이 탄성 재질로 형성될 수 있다. 그러면, 바닥리테이너(32)가 기판(B)의 단부를 지지할 때, 탄성 재질인 바닥리테이너(32)의 일측이 기판(B)의 모서리와 선접촉 또는 점접촉되도록 함몰될 수 있다.
지금부터는 바닥지지부를 통한 기판의 지지 상태에 대하여 살펴본다.
도 10과 도 12를 참조하면, 본 발명의 일실시예에서 바닥리테이너(32)는 바닥지지부재(31)에서 슬라이드 이동되도록 결합되어 있다. 또한, 바닥리테이너(32)는 바닥지지부재(31)에서 탈부착될 수 있다. 그러면, 기판(B)의 크기(수용폭, 수용깊이, 두께 등)에 따라 바닥리테이너(32)를 교체할 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 측면을 향하는 기판(B)의 단부가 단부리테이너(22)에 지지되고, 안내가이드(미도시)를 따라 바닥리테이너(32)를 슬라이드 이동시킴으로써, 바닥리테이너(32)의 바닥지지홈(321)에 기판(B)의 단부가 수용되어 지지된다. 다단으로 수용되는 기판(B)의 크기가 서로 다르더라도 바닥리테이너(32)가 슬라이드 이동되는 정도 또는 바닥지지부재(31)에 탈부착되는 바닥리테이너(32)의 크기에 따라 바닥지지홈(321)에서 기판(B)의 단부를 지지할 수 있으므로 수용깊이가 다른 기판(B)이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 지지된다.
여기서 제2리테이너고정부재(미도시)는 나사 또는 볼트를 포함하여 구성되어 바닥지지부재(31) 또는 바닥리테이너(32)에 관통 고정됨으로써, 바닥리테이너(32)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 슬라이드 이동되는 또는 탈부착되는 바닥리테이너(32)를 바닥지지부재(31)에 고정시킬 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 제2리테이너고정부재(미도시)는 바닥리테이너(32)와 바닥지지부재(31)에 각각 형성되는 돌기와 홈을 포함하여 구성되어 바닥리테이너(32)가 슬라이드 이동되거나 탈부착됨에 따라 돌기와 홈의 결합에 의해 바닥지지부재(31)에 고정되도록 할 수 있다. 제2리테이너고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 바닥리테이너(32)가 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 바닥리테이너(32)를 바닥지지부재(31)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
도시되지 않았지만, 본 발명의 일실시예에서 바닥지지부재(31)는 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 탈부착될 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 측면을 향하는 기판(B)의 단부가 단부리테이너(22)에 지지되고, 바닥지지부재(31)가 슬라이드 이동시키거나 탈부착하여 이동됨으로써, 바닥지지부재(31)에 형성된 바닥리테이너(32)의 바닥지지홈(321)에 기판(B)의 단부가 지지된다. 다단으로 수용되는 기판(B) 크기가 서로 다르더라도 바닥지지부재(31)가 슬라이드 이동되는 또는 탈부착하여 이동되는 정도에 따라 바닥지지홈(321)에서 기판(B)의 단부를 지지할 수 있으므로 수용깊이가 다른 기판(B)이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 지지된다.
여기서 바닥고정부재(미도시)는 나사 또는 볼트를 포함하여 구성되어 수용부재(1) 또는 바닥지지부재(31)에 관통 고정됨으로써, 바닥리테이너(32)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 슬라이드 이동된 또는 탈부착되어 이동된 바닥지지부재(31)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 바닥고정부재(미도시)는 수용부재(1)와 바닥지지부재(31)에 각각 형성되는 돌기와 홈을 포함하여 구성되어 바닥지지부재(31)가 슬라이드 이동되거나 탈부착 이동됨에 따라 돌기와 홈의 결합에 의해 수용부재(1)에 고정되도록 할 수 있다. 바닥고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 바닥리테이너(32)가 수용공간(12)의 바닥 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 바닥지지부재(31)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
도 10의 도면부호 W는 본 발명의 카세트(C)를 용이하게 이동시키기 위해 수용부재(1)에 결합된 바퀴이다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 보조지지부에 대하여 좀더 자세하게 설명한다.
첨부 도면 도 13은 본 발명의 제1실시예에 따른 보조지지부를 도시한 사시도이고, 도 14는 도 13의 보조지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이며, 도 15는 본 발명의 제2실시예에 따른 보조지지부를 도시한 사시도이고, 도 16은 도 15의 보조지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
첨부 도면 도 13과 도 15를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 보조지지부(4)는 보조지지부재(41)와 보조리테이너(42)로 구분할 수 있다. 본 발명의 제1실시예에 따른 보조지지부재(41)는 수용부재(1)의 일부로 형성되고, 본 발명의 제2실시예에 따른 보조지지부재(41)는 수용부재(1)와 별도로 형성되어 수용부재(1)에 결합되어 있다. 이때, 보조리테이너(42)는 봉 형상으로 양단부가 각각 보조지지부재(41)에 연결된다.
보조지지부재(41)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12)의 바닥 사이에서 수용부재(1)에 형성되고, 보조리테이너(42)는 보조지지부재(41)에 형성되고 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)에서 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지하도록 하고 있다.
여기서 수용부재(1)에 형성되는 보조지지부재(41)는 수용부재(1)와 별도로 형성될 수 있고, 수용부재(1)와 일체로 형성될 수 있으며, 수용부재(1)의 일부로 형성될 수 있다. 또한, 보조지지부재(41)에 형성되는 보조리테이너(42)는 보조지지부재(41)와 별도로 형성될 수 있고, 보조지지부재(41)와 일체로 형성될 수 있으며, 보조지지부재(41)의 일부로 형성될 수 있다.
그러면, 보조리테이너(42)는 회전축(미도시)을 중심으로 회동되기도 하고, 기판(B)의 수용폭 방향을 따라 보조지지부재(41)에서 슬라이드 이동되기도 하며, 보조지지부재(41)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 기판(B)의 수용폭이 조절되는 것이 특징이다. 이때, 제3리테이너고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부를 지지하고 있는 보조리테이너(42)를 보조지지부재(41)에 고정시킬 수 있다. 제3리테이너고정부재(미도시)는 보조리테이너(42)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 보조리테이너(42)를 보조지지부재(41)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
또한, 보조지지부재(41)는 기판(B)의 수용폭 방향을 따라 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 수용부재(1)에 탈부착되게 결합되어 수용공간(12)에 수용되는 기판(B)의 크기에 따라 수용폭이 조절되는 것이 특징이다. 이때, 보조고정부재(미도시)를 통해 기판(B)의 단부가 보조리테이너(42)에 고정될 때 보조지지부재(41)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있다. 보조고정부재(미도시)는 보조리테이너(42)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때, 보조지지부재(41)를 수용부재(1)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
여기서 보조리테이너(42)에는 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 수용하도록 보조지지홈(미도시)이 함몰 형성될 수 있다. 보조지지홈(미도시)의 단면은 반원형 또는 삼각형 또는 다각형의 단면 형상을 가질 수 있고, 보조지지홈(미도시)과 기판(B)의 모서리가 선접촉 또는 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다. 이때, 보조리테이너(42)에는 보조지지홈(미도시)에서 돌출 형성되어 기판(B)의 측면을 지지하는 보조지지돌기(미도시)가 더 포함될 수 있다. 보조지지돌기(미도시)는 탄성 재질로 외력에 의해 신축되거나 구부러질 수 있고, 보조지지돌기(미도시)와 기판(B)의 측면이 점접촉될 수 있도록 하는 것이 유리하다.
또한, 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부에 대응하는 보조리테이너(42)의 일측이 탄성 재질로 형성될 수 있다. 그러면, 보조리테이너(42)가 기판(B)의 단부를 지지할 때, 탄성 재질인 보조리테이너(42)의 일측이 기판(B)의 모서리와 선접촉 또는 점접촉되도록 함몰될 수 있다.
지금부터는 보조지지부를 통한 기판의 지지 상태에 대하여 살펴본다.
도 14와 도 16을 참조하면, 본 발명의 일실시예에서 보조리테이너(42)는 보조지지부재(41)에서 슬라이드 이동되도록 결합되어 있다. 또한, 보조리테이너(42)는 보조지지부재(41)에서 탈부착될 수 있다. 그러면, 기판(B)의 크기(수용폭, 수용깊이, 두께 등)에 따라 보조리테이너(42)를 교체할 수 있다. 여기서 수용공간(12)으로 기판(B)을 삽입하면, 수용공간(12)의 바닥을 향하는 기판(B)의 단부가 바닥리테이너(32)에 지지되고, 수용공간(12)의 측면을 향하는 기판(B)의 단부가 단부리테이너(22)에 지지된다. 이때, 안내가이드(403)를 따라 보조리테이너(42)를 슬라이드 이동시킴으로써, 탄성 재질로 형성된 보조리테이너(42)의 일측이 기판(B)의 단부를 지지하게 된다. 다단으로 수용되는 기판(B)의 크기가 서로 다르더라도 보조리테이너(42)가 슬라이드 이동되는 정도에 따라 보조리테이너(42)가 기판(B)의 단부를 추가로 지지할 수 있으므로 수용폭이 다른 기판(B)이 다단으로 카세트(C)에 안정되게 지지된다.
여기서 제3리테이너고정부재(미도시)는 나사 또는 볼트를 포함하여 구성되어 보조지지부재(41) 또는 보조리테이너(42)에 관통 고정됨으로써, 보조리테이너(42)가 기판(B)의 단부를 지지할 때 슬라이드 이동되는 보조리테이너(42)를 보조지지부재(41)에 고정시킬 수 있다. 또한, 도시되지 않았지만, 제3리테이너고정부재(미도시)는 봉 형상의 보조리테이너(42)에 일체로 연결된 연결부와 단부지지부재(21)에 각각 형성되는 돌기와 홈을 포함하여 구성되어 보조리테이너(42)가 슬라이드 이동됨에 따라 돌기와 홈의 결합에 의해 보조리테이너(42)에 일체로 연결된 연결부가 보조지지부재(41)에 고정되어 보조리테이너(42)가 보조지지부재(41)에 고정되도록 할 수 있다. 제3리테이너고정부재(미도시)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 보조리테이너(42)가 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 단부를 지지할 때 보조리테이너(42)를 보조지지부재(41)에 고정시킬 수 있으면 충분하다.
도시되지 않았지만, 본 발명의 일실시예에서 보조리테이너(42)가 보조지지부재(41)에 회전축(미도시)을 중심으로 회동하도록 결합될 수 있다. 또한, 보조리테이너(42)는 보조지지부재(41)에서 탈부착될 수 있다. 이러한 보조리테이너(42)는 상술한 회전축(203)을 중심으로 회동하도록 결합되는 단부리테이너(22)와 동일 또는 유사한 구성으로 상술한 설명으로 대신한다.
도시되지 않았지만, 본 발명의 일실시예에서 보조지지부재(41)는 수용부재(1)에서 슬라이드 이동되거나 탈부착될 수 있다. 이러한 보조지지부재(41)는 상술한 단부지지부재(21)와 동일 또는 유사한 구성으로 상술한 설명으로 대신한다.
지금부터는 본 발명의 일실시예에 따른 측면지지부에 대하여 좀더 자세하게 설명한다.
첨부 도면 도 17은 본 발명의 일실시예에 따른 측면지지부를 도시한 사시도이고, 도 18은 도 17의 측면지지부를 통한 기판의 지지 상태를 도시한 도면이다.
도 17과 도 18을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 측면지지부(5)는 측면지지부재(51)와 측면리테이너(52)로 구분할 수 있다. 본 발명의 일실시예에 따른 측면지지부재(51)는 봉형상으로 양단부가 상호 이격되게 설치된 단부리테이너(22)의 일측에서 단부지지부재(21)에 각각 결합되어 있고, 측면리테이너(52)는 적어도 하나의 링으로 봉형상인 측면지지부재(51)의 길이 방향을 따라 이격 배열되어 있다.
측면지지부재(51)는 기판투입구(11)부터 수용공간(12)의 바닥 사이에서 단부지지부재(21) 또는 수용부재(1)에 상호 이격되도록 형성된다. 측면지지부재(51)는 봉형상 또는 바 형상으로 양단이 각각 단부지지부재(21) 또는 수용부재(1)에 지지될 수 있다. 측면리테이너(52)는 측면지지부재(51)에 형성되고 수용공간(12)의 측면 부분을 향하는 기판(B)의 측면을 지지하도록 한다. 측면리테이너(52)는 측면지지부재(51)를 감싸는 링 형상 또는 다각형이거나 측면지지부재(51)에서 기판(B)의 측면을 향해 돌출 형성되는 돌기 형상일 수 있고, 측면리테이너(52)는 여기에 한정하는 것은 아니며, 기판(B)의 측면에 점접촉되도록 하는 것이 유리하다.
그러면, 측면지지부(5)의 형성에 따라 수용공간(12)에 삽입된 기판(B)의 측면을 지지하게 되므로 기판(B)의 처짐 등을 방지할 수 있다.
본 발명의 일실시예에 따르면, 대면적의 기판(B)을 제작하는 공정 중 기판(B)을 식각 또는 세정할 때, 기판(B)의 두께가 얇아지더라도 카세트(C)에 수용되는 기판(B)을 적어도 세 지점에서 지지하게 되어 기판(B)이 카세트(C) 내에서 유동되는 것을 방지하고, 기판(B)의 식각 표면에서 안정적인 식각품질을 확보할 수 있으며, 각각의 단부지지부(2) 또는 바닥지지부(3)를 이동시킬 수 있어 하나의 카세트에 다양한 크기의 기판을 수용할 수 있음은 물론 대면적의 기판(B)을 다단으로 적재할 수 있게 된다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
1: 수용부재 11: 기판투입구 12: 수용공간
2: 단부지지부 21: 단부지지부재 22: 단부리테이너
203: 안내가이드 205: 회전축 221: 단부지지홈
222: 단부지지돌기 3: 바닥지지부 31: 바닥지지부재
32: 바닥리테이너 321: 바닥지지홈 4: 보조지지부
41: 보조지지부재 42: 보조리테이너 403: 안내가이드
5: 측면지지부 51: 측면지지부재 52: 측면리테이너
B: 기판 C: 카세트

Claims (22)

  1. 기판을 수용하는 카세트에 있어서,
    일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재;
    상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재;
    상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너;
    상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재;
    상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되,
    상기 단부리테이너는 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 단부지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되고, 상기 단부지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 단부지지돌기를 구비하고,
    상기 단부리테이너는 회전축을 중심으로 회동되기도 하고, 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 단부지지부재에서 슬라이드 이동되기도 하며, 상기 단부지지부재에 탈부착되게 결합되고, 상기 단부지지부재는 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합됨으로써, 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
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  5. 기판을 수용하는 카세트에 있어서,
    일측에 기판투입구가 개구되고, 내부에 상기 기판을 수용하는 수용공간이 형성된 수용부재;
    상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 단부지지부재;
    상기 단부지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 단부리테이너;
    상기 수용공간 바닥에서 상기 수용부재에 형성되는 바닥지지부재;
    상기 바닥지지부재에 형성되고, 상기 수용공간에 수용된 기판에서 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 바닥리테이너;를 포함하되,
    상기 단부리테이너는 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 단부지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되고, 상기 단부지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 단부지지돌기를 구비하고,
    상기 바닥리테이너는 상기 기판의 수용깊이 방향을 따라 상기 바닥지지부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 바닥지지부재에 탈부착되게 결합되고, 상기 바닥지지부재는 상기 기판의 수용깊이 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용깊이가 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
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  11. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 바닥리테이너는 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 바닥지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 바닥 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 바닥리테이너는 상기 바닥지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 바닥지지돌기가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  13. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 수용부재에 형성되는 보조지지부재;
    상기 보조지지부재에 형성되고, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지하는 보조리테이너;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 보조리테이너는 회전축을 중심으로 회동되기도 하고, 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 보조지지부재에서 슬라이드 이동되기도 하며, 상기 보조지지부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭 방향에서 상기 기판의 단부를 지지하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 보조리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 보조리테이너를 상기 보조지지부재에 고정시키는 제3리테이너고정부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 보조지지부재는 상기 기판의 수용폭 방향을 따라 상기 수용부재에서 슬라이드 이동되거나 상기 수용부재에 탈부착되게 결합되어 상기 수용공간에 수용되는 상기 기판의 크기에 따라 상기 기판의 수용폭이 조절되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 보조리테이너가 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부를 지지할 때 상기 보조지지부재를 상기 수용부재에 고정시키는 보조고정부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 보조리테이너는 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부가 수용되는 보조지지홈이 형성되거나, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 단부에 대응하는 일측이 탄성 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 보조리테이너는 상기 보조지지홈에서 돌출 형성되어 상기 기판의 측면을 지지하는 보조지지돌기가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  20. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 기판투입구부터 상기 수용공간의 바닥 사이에서 상기 단부지지부재 또는 상기 수용부재에 상호 이격되도록 형성되는 측면지지부재;
    상기 측면지지부재에 형성되고, 상기 수용공간의 측면 부분을 향하는 상기 기판의 측면을 지지하는 측면리테이너;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  21. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 단부리테이너는 상기 단부지지부재에 상호 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
  22. 제1항 또는 제5항에 있어서,
    상기 바닥리테이너는 상기 바닥지지부재에 상호 이격되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 유리기판 식각용 카세트.
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