KR101455938B1

KR101455938B1 - 식각기용 글라스 클램프

Info

Publication number: KR101455938B1
Application number: KR1020130083689A
Authority: KR
Inventors: 이부락; 손정윤
Original assignee: 주식회사 에스비비테크
Priority date: 2013-07-16
Filing date: 2013-07-16
Publication date: 2014-11-03

Abstract

본 발명은 지그에 설치되는 클램프를 측면이 경사진 고정몸체와, 상기 고정몸체를 회전 가능하게 수용하는 삽입공과 슬라이딩 직선이동이 가능토록 가이드공이 일체로 형성된 가동몸체로 분리 형성하여 가변형으로 구성하므로서 , 상기 고정몸체를 지그에 체결하고, 가동몸체는 상기 고정몸체에 회전 및 위치이동이 가능하게 삽입하여서 된 것이다.
본 발명은 지그에 장착된 글라스를 고정시키고자 할 경우에는 가동몸체를 하측으로 밀어 가이드홈 내에 고정몸체가 위치되게 하면 된다.
이렇게 하면, 가동몸체가 하측으로 슬라이딩 이동하면서 가이드공이 고정몸체의 안내를 받으며 하측으로 이동하고, 고정몸체가 가이드공에 완전이 삽입되면, 가동몸체가 고정되면서 그 일측의 걸림돌기가 글라스를 가압하여 고정시킨다.
또한, 식각이 완료된 다음에는 가동몸체를 상측으로 밀어 그 가이드공 내에 위치하였던 고정몸체를 삽입공 내에 위치시킨 뒤 일측으로 회전시키면 된다.
이렇게 하면, 가동몸체의 글라스를 가압하였던 걸림돌기가 상기 글라스로 부터 이탈되어 고정력이 해제되며, 글라스를 지그로 부터 탈거시킬 수 있다.

Description

식각기용 글라스 클램프{The glasses etching machine for glasses clamp}

본 발명은 액정표시장치(LCD: Liquid Crystal Display) 등에 사용하는 글라스를 용해시켜 얇은 두께로 식각하는 식각기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 식각할 글라스가 장착되는 지그(또는 카세트)의 클램프 구조를 개선하여 지그로 부터 글라스의 착탈이 용이하고, 잔류 용해물질과 슬러지의 제거가 용이하도록 한 식각기용 글라스 클램프에 관한 것이다.

액정표시장치 등에 사용하는 글라스는 상판에 해당하는 CF(Color Filter)와 하판에 해당하는 TFT(Thin Film Transister) 사이에 광학활성을 갖는 액정이 충진되어 셀(Cell) 형태로 제조된다.

하판을 제조하기 위해서는 TFT 공정이 완료된 글라스를 얇은 두께로 가공할 필요가 있으며, 이를 위해서는 TFT 공정이 완료된 글라스에 용해물질인 불산(Hf)용액을 고르게 분사하여 그 표면을 용해시켜 주므로서 원하는 두께를 얻어내는 에칭(etching)방법이 주로 사용된다.

통상, 에칭에 의한 식각방법은 글라스를 지그(또는 카세트)에 장착한 후 상기 지그를 식각(에칭), 세척, 건조 등의 공정별로 이송시키면서 박막의 글라스를 얻어낸다.

식각공정에서는 TFT 공정이 완료된 하나 또는 둘 이상의 글라스를 지그(또는 카세트)에 장착한 후, 상기 지그를 밀폐된 장소인 에칭실에 투입하고, 투입된 글라스의 표면에 용해물질인 불산용액을 분사하여 상기 글라스의 표면을 용해시켜 주므로서 적정두께의 글라스를 얻어내게 된다.

세척공정에서는 식각공정에서 에칭된 글라스를 QDR(Quick Dump Rinse)용기에 투입하여 식각물질인 불산용액을 글라스의 표면으로 부터 세척하게 된다.

건조공정에서는 세척된 글라스를 초순수(Deionized Water)가 담긴 용기에 침지시킨 후 서서히 상승시키면서 건조용 기체를 분사하여 그 표면에 남아있는 수분을 제거하게 된다.

그런데, 상기의 식각공정에서 사용하는 불산용액은 불산이 20∼50% 정도 함유된 액상의 맹독성 물질로서, 휘발성 및 독성이 강하기 때문에 인체와의 접촉 또는 호흡기로의 흡입시 치명적인 해를 끼치므로 취급에 상당한 주의를 요하며, 에칭 후 발생한 슬러지(글라스 찌꺼기와 잔류불산의 혼합물)의 처리에도 주의를 요한다.

즉, 에칭에 사용되는 불산용액을 취급함에 있어서는 글라스의 표면을 균일하게 용해시켜 주는 것도 중요하지만, 작업자의 안전에도 상당한 주의가 요구되는 것이다.

좀더 상세히 설명하면, TFT용 글라스를 에칭하고자 할 경우, 불산용액을 글라스의 표면에 균일하게 분사시켜 주는 것도 중요하지만, 글라스에 내장된 회로를 파괴시키지 않고 에칭이 이루어져야 하며, 또한, 전술한 바와 같이 불산용액 자체가 휘발성이 강한 맹독성 물질이기 때문에 에칭 후 깨끗이 제거되어야 하고, 지그에 남은 유착 슬러지 까지도 깨끗이 제거되어야 한다.

이를 위해서는, 에칭하고자 하는 복수개의 글라스를 지그로 부터 신속히 장착 내지는 탈거시킬 수 있어야 하고, 일단 장착된 후에는 각 공정별로 이송하는 동안 또는 하나의 공정에서 작업이 진행되는 동안 지그 내에서 유동이 없어야 하며, 에칭이 완료된 후에는 지그에 남아 있는 잔류 불산용액이나 에칭에 의해 발생한 슬러지가 제거되어야 한다.

상기의 문제점을 해결하기 위한 방법의 하나로 한국 특허공보에 게재된 등록특허 제 10-0843983호의 "식각기용 카세트"가 있다.

상기 "식각기용 카세트"의 내용을 요약하면 다음과 같다.

『하단면이 볼록구조로 형성되는 다수개의 개방부를 구비하는 전후면 플레이트:

상기 전후면 플레이트를 연결하는 적어도 한 쌍의 측면 프레임: 그리고

상기 측면 프레임에 일정간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트와,

하단면이 일측으로 경사지게 형성되는 다수개의 개방부를 구비하며, 각부의 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 전후면 플레이트:

상기 전후면 플레이트를 연결하며 상단면이 일측으로 경사지게 형성되는 적어도 한 쌍의 측면 프레임: 그리고

상기 측면 프레임에 일정간격을 가지고 형성되어 삽입된 글라스를 고정하는 다수개의 고정돌기를 포함하여 이루어지는 식각기용 카세트로서,

상기 고정돌기의 상면에는 식각공정시 사용되는 식각액이 유착되는 것을 방지하기 위한 일정각도의 경사면이 형성되는 것과,

상기 카세트의 재질이 테프론 계열의 PFA, PTFE, PVDF 또는 PVC 수지인 것과,

상기 고정돌기는 글라스와 접촉하는 양측면에 경사면이 형성되는 것과,

상기 전후면 플레이트 또는 측면 프레임의 각부 상단면이 볼록구조로 형성되는 것』을 특징으로 하고 있다.

즉, 상기 등록특허 제 10-0843983호의 요지는, 카세트(지그)를 구성하는 전후면 플레이트와 측면 프레임의 상단면 및 상기 전후면 플레이트에 형성되는 개방부의 하단면을 모두 볼록구조나 경사면으로 형성하여 식각액의 유착을 방지하고, 측면 프레임에 형성되는 고정돌기의 양측면과 상단면에도 각각 삽탈되는 글라스의 손상을 방지함과 동시 식각액의 유착을 방지하기 위한 경사면을 형성하여 식각액의 유착방지로 인한 작업자의 안전보장과 함께 식각공정 후 세척공정에서 사용하는 초순수의 오염이 방지되도록 한 것이다.

그런데, 이와 같은 식각기용 카세트(지그)는 글라스를 고정시키기 위하여 클램프 역할을 하는 다수개의 고정돌기가 모두 각각의 측면 프레임에 일체로 형성되는 것이어서, 측면 프레임의 구조가 복잡하여 사출성형이 어렵고, 조립시에는 이들 고정돌기가 일직선상으로 배열되지 못할 경우 글라스의 삽입 및 탈거가 어려우며, 이 경우 삽입된 글라스의 유동방지를 위한 지지력이 일측으로 편중되어 작용하므로 글라스의 휨을 유발하는 단점이 있었다.

또한, 식각할 글라스를 고정돌기 사이에 삽입 및 탈거하는 방식이어서, 상기 고정돌기에 반복적인 외력이 가해질 경우, 고정돌기의 조기마모로 인한 카세트(지그)의 수명단축과 함께 글라스의 손상을 초래하는 폐단이 있었다.

아울러, 클램프 역할을 하는 고정돌기가 과다하게 마모되어 그 사이의 간격이 벌어질 경우, 식각도중 글라스의 유동으로 인한 파손 및 식각불량과 같은 문제점이 발생하였던 것이다.

또 다른 종래기술로는 도 1 내지 도 3에서 보는 바와 같이 불산용액에 견딜 수 있는 PVC 재질로 지그(10)를 사출성형하여 그 중앙에 하나 또는 둘 이상의 글라스(G)가 삽입될 수 있는 크기의 공간부(11)를 사각형으로 형성하고(도면에서는 두 개의 글라스가 장착되는 것으로 도시됨), 상기 공간부(11)의 전면 상측과 양측면에 각각 상기 공간부(11) 쪽을 향하여 개방되는 복수개의 지지홈(12)을 형성하였던 것이다.

그리고, 상기 공간부(11)의 상면과 양측면에 각각 글라스(G)의 후면을 지지하기 위한 복수개의 스토퍼 돌기(13,14)를 동일면상에 형성하고, 상기 공간부의 하면에는 글라스(G)의 하단을 지지하기 위한 복수개의 또 다른 스토퍼 돌기(15)를 형성 또는 별도로 형성하여 조립하며, 공간부의 양측면에도 글라스(G)의 양측면을 지지하기 위한 복수개의 또 다른 스토퍼 돌기(16)를 형성하였던 것이다.

또한, 상기 지지홈(12) 내에는 일측으로 걸림돌기(21)가 형성된 클램프(20)를 볼트(30)로 회전 가능하게 체결하였던 것이다.

이와 같은 종래의 지그(10)는 도 4와 같이 클램프(20)를 회전시켜 걸림돌기(21)가 공간부(11)로 부터 이탈되도록 한 후, 식각하고자 하는 글라스(G)를 상기 공간부(11) 내에 삽입하고, 다시 클램프(20)를 도 2와 같이 회전시켜 걸림돌기(21)로 글라스(G)의 전면을 가압하여 고정시켰던 것이다.

이렇게 하면, 글라스(G)는 공간부(11) 내에서 그 후면이 상면과 양측면의 스토퍼 돌기(13,14)에, 하단은 하면의 스토퍼 돌기(15)에, 양측면은 양측의 스토퍼 돌기(16)에, 전면은 클램프(20)의 걸림돌기(21)에 각각 구속되어 이들 사이에서 고정된다.

즉, 공간부(11)의 상면과 양측면에 형성된 스토퍼 돌기(13,14)는 글라스(G)의 후면을 지지하고, 공간부(11)의 하면에 형성된 스토퍼 돌기(15)는 글라스(G)의 하중을 지탱하며, 양측면의 스토퍼 돌기(16)는 글라스(G)의 양측면을 지지한다.

마지막으로, 클램프(20)의 걸림돌기(21)는 글라스(G)의 전면을 지지하여 결국, 글라스(G)는 각각의 스토퍼 돌기와 걸림돌기 사이에서 상,하,전,후,좌,우 방향이 모두 구속되어 제자리에서 고정되는 것이다.

이와 같은 상태에서 글라스(G)가 장착된 지그(10)를 각각의 공정별로 이송시키면서 식각을 진행하고, 식각이 완료된 뒤에는 지그(10)에 설치된 클램프(20)를 다시 도 4와 같이 회전시켜 글라스(G)로 부터 걸림돌기(21)가 이탈되도록 한 후 상기 글라스를 빼내면 되었던 것이다.

그런데, 이와 같은 기술은 사출품인 지그의 형상과 구조가 너무 복잡하여 제작이 어렵고, 원가상승의 요인이 되며, 에칭이 완료된 후에는 잔류 불산용액과 슬러지의 세척이 잘 이루어지지 않아 작업자의 안전을 해치는 단점이 있었다.

더욱이, 클램프(20)가 제자리에서만 회전하는 정위치 회전방식이므로 클램프와 지그 사이의 틈새로 불산용액과 슬러지가 침투하여 유착될 수 있으며, 이 경우 복잡한 구조상 세척이 어렵고, 세척을 위해서는 클램프를 일일이 해체해야 하는 번거로움이 있었다.

또한, 지그를 장기간 사용할 경우, 클램프(20)를 체결하고 있는 볼트(30)가 점진적으로 이완되어 클램프(20)와 지그(10) 사이에 유격이 발생하므로, 식각도중 유동으로 인한 글라스(G)의 손상 및 식각불량과 같은 문제점이 발생하였던 것이다.

또 다른 종래 기술로는 도 5 내지 도 7과 같이 지그(110)의 사출성형시 그 지지홈(112) 내에 마그네트(140)를 매설하고, 걸림돌기(121)가 구비된 클램프(120)의 몸체 내에도 마그네트(150)를 매설하여 상기 두 개의 마그네트(140,150)가 서로 대응한 곳에 위치하도록 볼트(130)로 회전 가능하게 체결하였던 것이다.

상기와 같은 기술은 도 8과 같이 클램프(120)를 회전시켜 일측의 걸림돌기(121)가 공간부(111)로 부터 이탈되도록 한 후, 식각하고자 하는 글라스(G)를 공간부(111) 내에 삽입하고, 다시 클램프(120)를 도 6과 같이 회전시켜 걸림돌기(121)가 글라스(G)의 전면을 가압하도록 고정시켰던 것이다.

이렇게 하면, 글라스(G)는 공간부(111) 내에 위치한 채 그 후면이 상면과 양측면의 스토퍼 돌기(113,114)에, 하단은 하면의 스토퍼 돌기(115)에, 양측면은 양측의 스토퍼 돌기(115)에, 전면은 클램프(120)의 걸림돌기(121)에 의해 구속되어 그 자리에서 고정된다.

즉, 공간부(111)의 상면과 양측면에 형성된 스토퍼 돌기(113,114)는 글라스(G)의 후면을 지지하고, 공간부의 하면에 형성된 스토퍼 돌기(115)는 글라스(G)의 하중을 지지하며, 양측면의 스토퍼 돌기(116)는 글라스(G)의 양측면을 지지하게 된다.

또한, 클램프(120)의 걸림돌기(121)는 글라스(G)의 전면을 지지하여 결국, 글라스(G)는 각각의 스토퍼 돌기와 걸림돌기에 의해 상,하,전,후,좌,우 방향 모두 구속되어 고정되는 것이다.

이와 같은 상태에서 지그(110)를 식각, 세척, 건조 등의 공정별로 이송시키면서 식각을 완료하고, 식각이 완료된 뒤에는 지그(110)에 설치된 클램프(120)를 다시 도 8과 같이 회전시켜 글라스(G)로 부터 걸림돌기(121)가 이탈되도록 한 후 상기 글라스를 탈거시키면 된다.

상기 동작중, 지그(110)와 클램프(120)에 매설된 마그네트(140,150)는 자력에 의해 클램프의 유동을 방지하여 식각도중 발생할 수 있는 글라스의 손상을 방지한다.

그런데, 이와 같은 기술은 지그(110) 및 클램프(120)의 사출성형시 PVC 소재 내에 금속재인 마그네트(140,150)를 내장하는 인서트(Insert) 사출방식을 채택할 수 밖에 없어서, 사출 및 냉각하는 과정에서 상기 마그네트 주위에 잔류응력이 존재하고, 이 잔류응력은 나중에 지그 및 클램프의 균열을 초래하는 단점이 있었다.

이 때문에, 사용도중 균열부위로 불산용액 및 슬러지가 침투하여 부식을 가속화시키고, 더욱이 침투된 불산용액 및 슬러지는 세척공정 또는 건조공정에서도 제거되지 않아 작업자의 안전을 해칠 뿐만 아니라 지그 또는 클램프를 조기에 폐기처분해야 하는 폐단이 있으며, 마그네트의 자력이 약화될 경우에는 클램프가 제기능을 하지 못하는 문제점이 있었다.

또한, 이 엮시 클램프(120)가 제자리에서만 회전하는 정위치 회전방식이므로 클램프와 지그 사이에 틈새가 발생하여, 이 틈새로 불산용액과 슬러지가 침투한 후 유착되는 단점이 있었다.

그리고, 지그를 장기간 사용할 경우에는 클램프(120)를 체결하고 있는 볼트(130)의 점진적인 이완으로 클램프(120)와 지그(110) 사이에 유격이 발생하고, 이 유격은 식각용 글라스(G)의 유동을 야기시켜 식각도중 글라스의 손상 및 식각불량과 같은 문제점을 발생시켰던 것이다.

본 발명은 이러한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 식각기용 지그에 설치되는 클램프를 가변형으로 형성하여 불산용액과 슬러지의 배출이 용이하게 이루어지고, 글라스의 지지력을 뛰어나게 하여 식각도중 발생하는 글라스의 손상 및 식각불량이 방지되도록 함에 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 클램프의 구조를 간단하게 형성하여 불산용액 및 슬러지의 유착을 최소화하고, 제작 및 교체가 용이토록 함에 있다.

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 지그에 설치되는 클램프를 상기 지그의 공간부 주위에 고정되며 그 측면이 경사면으로 형성되는 고정몸체와;

상기 고정몸체를 회전 및 수직이동이 가능하게 수용하며 그 측면이 상기 경사면과 대응하게 경사면으로 형성되는 삽입공과 가이드공을 구비하고, 상기 공간부를 향하여 글라스를 가압하기 위한 걸림돌기가 형성된 가동몸체; 로 분리 형성한 것이다.

상기와 같이 구성된 본 발명은 고정몸체가 볼트를 통하여 지그에 체결되고, 가동몸체는 상기 고정몸체에 회전 및 수직이동이 가능하게 삽입된다.

따라서, 지그에 장착된 글라스를 고정시키고자 할 경우에는 가동몸체를 하측으로 밀어 가이드공 내에 고정몸체를 위치시키면 된다.

이렇게 하면, 가동몸체가 하측으로 슬라이딩 이동하면서 가이드공에 고정몸체가 끼워져 고정되고, 가동몸체가 고정되면 그 일측의 걸림돌기가 글라스를 가압하여 견고히 고정시킨다.

또한, 식각이 완료된 다음에는 가동몸체를 상측으로 밀어 일측으로 회전시키면 된다.

이렇게 하면, 가이드공 내에 있던 고정몸체가 삽입공 내에 위치하여 가동몸체의 고정상태가 해제되며, 이 상태에서 일측으로 회전시키면 가동몸체의 걸림돌기가 글라스로 부터 분리되어 지지력이 해제되므로 글라스를 지그로 부터 손쉽게 탈거시킬 수 있다.

본 발명에 의하면, 식각기용 지그로 부터 글라스를 장착 및 탈거시키기 위한 클램프를 상기 지그에 고정되는 고정몸체와, 상기 고정몸체의 안내를 받으며 회전 및 수직이동이 가능한 가동몸체로 분리 형성하여, 가동몸체의 위치이동으로 글라스의 장착 및 탈거가 손쉽게 이루어진다.

또한, 가동몸체의 위치이동과 함께 고정몸체와 지그 사이의 접촉면적이 적으므로 불산용액과 슬러지의 배출이 신속하게 이루어지고, 글라스의 지지력이 뛰어나 식각도중 유동으로 인한 손상 및 식각불량을 방지할 수 있다.

그리고, 클램프 자체의 구조가 간단하여 제작 및 교체가 용이하고, 불산용액 및 슬러지의 유착이 최소화되는 장점이 있다.

도 1은 종래 지그의 정면도
도 2는 도 1의 요부 확대도
도 3은 도 2의 A-A선 단면도
도 4는 도 2의 동작 상태를 나타낸 정면도
도 5는 또 다른 종래 지그의 정면도
도 6은 도 5의 요부 확대도
도 7은 도 6의 B-B선 단면도
도 8은 도 6의 동작 상태를 나타낸 정면도
도 9는 본 발명에 따른 지그의 정면도
도 10은 도 9의 요부 확대도
도 11은 도 9의 C-C선 단면도
도 12는 본 발명의 동작상태를 나타낸 정면도
도 13은 본 발명의 타 실시 예를 나타낸 저면도

이하에서 본 발명을 첨부된 실시 예의 도면에 의거 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 9는 본 발명에 따른 지그의 정면도이고, 도 10은 요부의 확대도이다.

도시한 바와 같이 본 발명의 식각기용 글라스 클램프(220)는 지그(210)의 공간부(211)에 글라스(G)를 장착하고, 상기 글라스의 표면에 불산용액(Hf)을 분사하여 원하는 두께로 식각(에칭)하는 식각기에 있어서,

상기 지그(210)의 공간부(211) 주위에 고정되며 그 측면이 경사면(221a)으로 형성되는 고정몸체(221) 및;

상기 고정몸체(221)를 회전 및 수직이동이 가능하게 수용하며 그 측면이 상기 경사면(221a)과 대응하게 경사면(222a,223a)으로 형성되는 삽입공(223)과 가이드공(224)을 구비하고, 상기 공간부(211)를 향하여 글라스(G)를 가압하기 위한 걸림돌기(225)가 형성된 가동몸체(222); 로 구성된다.

상기 고정몸체(221)는 도 10 및 도 11에서 보는 바와 같이 사각형으로 형성되고, 지그(210)의 공간부(211) 주위에 형성된 복수개의 지지홈(212)에 볼트(230)로 체결되어 견고히 고정되며, 4개의 측면은 모두 경사면(221a)으로 형성된다.

상기 경사면(221a)은 지그(210)와 접촉하는 후면이 좁고 전면이 넓게 형성되며, 그 경사각(α)은 지그(210)의 수직면으로 부터 20°∼45°기울어지게 형성된다.

또한, 상기 고정몸체(221)는 상측이 좁고 하측으로 갈수록 넓어지는 마름모형의 단면을 갖는다.

상기 가동몸체(222)의 삽입공(223)은 그 몸체의 중앙에 고정몸체(221)를 회전 가능하게 수용할 수 있는 크기의 원형으로 형성되고, 가이드공(224)은 삽입공(223)의 상측으로 상호 연통되게 형성되며, 상기 삽입공(223)과 가이드공(224)의 측면은 경사면(223a,224a)으로 형성된다.

상기 경사면(223a,224a)은 고정몸체(221)의 경사면(221a)과 대응하게 지그(210)와 접촉하는 후면이 좁고 전면이 넓게 형성되며, 그 경사각(β)은 지그(210)의 수직면으로 부터 20°∼45°의 각도로 기울어진다.

상기 가동몸체(222)의 가이드공(224)은 상측으로 갈수록 점점 좁아지는 마름모형으로 형성된다.

상기 고정몸체(221)와 가동몸체(222)의 측면을 경사지게 형성하는 이유는, 용해물질인 불산용액과 슬러지의 배출이 용이하게 이루어지도록 하기 위함이다.

상기의 고정몸체(221)와 이 고정몸체가 삽입되는 삽입공(223) 및 가이드공(224)의 경사각(α,β)을 20°∼45°로 하는 이유는, 이보다 작을 경우 세척공정에서 클램프(220)에 묻은 불산용액과 슬러지를 완전히 제거하기가 어렵고, 이보다 클 경우에는 조립된 뒤 고정몸체와 가동몸체 사이에 유격이 발생하여 글라스(G)를 견고히 지지하기가 어렵기 때문이다.

또한, 상기 지그(210)에는 비사용시 상기 가동몸체를 걸쳐놓기 위한 스토퍼 핀(240)이 설치된다.

상기 스토퍼 핀(240)은 가동몸체(222)의 걸림돌기(225)가 글라스(G)로 부터 이탈된 뒤, 더 이상의 회전이 방지되도록 하여 상기 가동몸체의 불필요한 회전과 유동을 방지하게 된다.

상기와 같이 구성된 실시 예에서는 고정몸체(221)가 가동몸체(222)의 삽입공(223) 내부에 위치해 있을 때 회전이 가능하며, 가이드공(224)에 위치해 있을 때는 상하 이동이 가능하게 되므로 결국, 가동몸체는 고정몸체의 안내를 받으면서 회전 및 상하 이동이 가능하게 된다.

또한, 전술한 바와 같이 스토퍼 핀(240)는 가동몸체(222)로 부터 이격된 위치의 지그(210)에 고정되어 가동몸체의 회전을 규제하므로서 가동몸체의 쓸데없는 공회전과 유동을 방지하게 된다.

상기의 실시 예에 따른 동작 및 작용에 대하여 설명하면 다음과 같다.

지그(210)를 사용치 않을 때는 도 12의 (d)와 같이 클램프(220)의 가동몸체(222)가 스토퍼 핀(240)에 걸려 있게 되고, 이 상태에서는 고정몸체(221)가 가동몸체(222)의 삽입공(223) 내에 위치해 있게 되며, 일측의 걸림돌기(225)는 공간부(211)로 부터 이격된다.

이와 같은 상태에서 지그(210)에 식각하고자 하는 글라스(G)를 장착한 후 이를 고정시키고자 할 경우에는 다음과 같다.

즉, 가동몸체(222)를 공간부(211) 쪽으로 회전시켜 (a)와 같이 가이드공(224)과 고정몸체(221)를 일치시킨다.

이후, 가동몸체(222)를 하측으로 밀어 (b)와 같이 가이드공(224) 내에 고정몸체(221)를 끼운다.

이렇게 하면, 가동몸체(222)는 가이드공(224) 내에서 고정되며, 일측의 걸림돌기(225)가 글라스(G)를 가압하여 지지하게 된다.

식각이 완료된 다음에는 (c)와 같이 가동몸체(222)를 상측으로 밀어 가이드공 내에 있던 고정몸체(221)를 삽입공(223) 내에 위치시키고, 가동몸체를 회전시켜 (d)와 같이 원래의 위치로 복귀시키면 된다.

이 상태에서는 걸림돌기(225)에 의해 구속되었던 글라스의 지지력이 해제되므로 지그로 부터 식각이 완료된 글라스를 탈거시킬 수 있다.

즉, 상기의 실시 예에서 본 바와 같이 본 발명은 가동몸체가 고정몸체를 중심으로 회전 및 상하 위치이동이 가능한 가변형으로 구성하여 글라스(G)를 지그로 부터 손쉽게 장착 내지는 탈거하는 것이다.

한편, 본 발명을 실시함에 있어서는 가동몸체와 지그 사이에 용해물질인 불산용액과 식각된 슬러지의 유착을 방지하고, 유착된 용해물질과 슬러지의 배출을 용이토록 하기 위하여 도 13과 같이 가동몸체의 측면을 경사지게 형성하거나, 후면에 "V" 자 형의 배출홈(226)을 형성할 수도 있다.

이렇게 할 경우, 가동몸체와 지그 사이의 접촉면적을 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 식각공정 후의 세척 및 건조공정에서 분사되는 증류수 또는 건조가스가 가동몸체의 측면부 또는 배출홈(226)으로 쉽게 유입되어 이들 사이에 유착된 불산용액 또는 슬러지를 손쉽게 제거할 수 있다.

210 : 지그 211 : 공간부
212 : 지지홈 220 : 클램프
221 : 고정몸체 221a : 경사면
222 : 가동몸체 223 : 삽입공
224 : 가이드공 224a : 경사면
225 : 걸림돌기 226 : 배출홈
230 : 볼트 240 : 스토퍼 핀
α,β : 경사각

Claims

지그(210)의 공간부(211)에 글라스(G)를 장착하고, 상기 글라스의 표면에 불산용액(Hf)을 분사하여 원하는 두께로 식각(에칭)하는 식각기에 있어서,
상기 지그(210)의 공간부(211) 주위에 고정되며 그 측면에 경사면(221a)을 갖는 고정몸체(221) 및;
상기 고정몸체(221)를 회전 및 수직이동이 가능하게 수용하며 그 측면이 상기 경사면(221a)과 대응하게 경사면(222a,223a)으로 형성되는 삽입공(223)과 가이드공(224)을 구비하고, 상기 공간부(211)를 향하여 글라스(G)를 가압하기 위한 걸림돌기(225)를 구비하는 가동몸체(222); 로 구성됨을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 1에 있어서,
상기 고정몸체(221)는 지그(210)의 공간부(211) 주위에 형성된 복수개의 지지홈(212)에 볼트(230)로 체결되고, 4개의 측면이 모두 경사면(221a)으로 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 2에 있어서,
상기 경사면(221a)은 지그(210)와 접촉하는 후면이 좁고 전면이 넓게 형성되며, 그 경사각(α)이 지그(210)의 수직면으로 부터 20°∼45°기울어지게 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 2에 있어서,
상기 고정몸체(221)는 상측이 좁고 하측이 넓은 마름모꼴의 단면을 갖는 것임을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 1에 있어서,
상기 가동몸체(222)의 삽입공(223)은 몸체의 중앙에 고정몸체(221)를 회전 가능하게 수용할 수 있는 크기의 원형으로 형성되고, 가이드공(224)은 삽입공(223)의 상측으로 상호 연통되게 형성되며, 상기 삽입공(223)과 가이드공(224)은 그 측면이 경사면(223a,224a)으로 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 5에 있어서,
상기 경사면(223a,224a)은 고정몸체(221)의 경사면(221a)과 대응하게 지그(210)와 접촉하는 후면이 좁고 전면이 넓게 형성되며, 그 경사각(β)은 지그(210)의 수직면으로 부터 20°∼45°의 각도로 기울어진 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 5에 있어서,
상기 가동몸체(222)의 가이드공(224)은 상측으로 갈수록 좁아지는 마름모형으로 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 1에 있어서,
상기 지그(210)에 가동몸체(222)의 회전을 제어하기 위한 스토퍼 핀(240)이 설치된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 1에 있어서,
상기 가동몸체(222)는 지그(210)와의 접촉면적이 작도록 그 측면이 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.
청구항 1에 있어서,
상기 가동몸체(222)의 후면에 배출홈(226)이 형성된 것을 특징으로 하는 식각기용 글라스 클램프.