KR19980071645A - 기판반송방법 및 기판반송카셋트 - Google Patents

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KR19980071645A KR1019980005728A KR19980005728A KR19980071645A KR 19980071645 A KR19980071645 A KR 19980071645A KR 1019980005728 A KR1019980005728 A KR 1019980005728A KR 19980005728 A KR19980005728 A KR 19980005728A KR 19980071645 A KR19980071645 A KR 19980071645A
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오사무 마쯔나가
키요히코 키타가와
타카유키 타구찌
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모리시타 요오이찌
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Abstract

근래의 LCD나 PDP의 대형화에 대응하기 위해서는, 제조면에 있어서는 효율이 좋은 대형기판반송기술이 요구되고 있고, 이 요구에 대응할 수 있는 소요공간이 작은 대형기판반송방법 및 그것을 가능하게 하는 기판반송카셋트가 필요로 되고 있다. 복수의 기판을 수납한 기판반송카셋트(50)와, 그 기판반송카셋트(50)를 적재하는 대차(55)와, 수직방향으로 회전운동하는 회전운동암(71)을 갖는 복수의 카셋트유지대(70)로 이루어지고, 다른 카셋트유지대의 근방으로부터 반송전의 카셋트유지대의 근방에 대차(55)로 운반되어 온 기판반송카셋트(50)를, 반송전의 카셋트유지대(70)의 회전운동암(71)에 의해 대차(55)의 아래쪽에서 윗쪽으로 들어 올려, 대차(55)에서 카셋트유지대(70)로 기판반송카셋트(50)를 옮기는 것이다.

Description

기판반송방법 및 기판반송카셋트
본 발명은 LCD(액정 디스플레이)나 PDP(플라즈마 디스플레이) 등을 제조하는데 있어서의 기판반송방법 및 기판반송카셋트에 관한 것이다.
근래, LCD나 PDP는, 용도면에서는, 보다 보기 쉽고, 보다 표현력이 있는 디스플레이로서 사이즈의 대형화가 요구되어지고, 또한 제조비용면에서는 1장의 기판으로부터 다수의 패널을 얻는 것이 요구되어지고 있다. 그 요구에 부응하기 위해서 패널의 기판사이즈는 점차 대형화되고 있다. 특히, PDP에 있어서는, LCD보다도 큰 사이즈의 생산이 용이하기 때문에, 특히 대형의 기판이 요구되어지고 있고, 제조시에 효율이 좋은 대형기판반송기술이 필요하게 된다.
이하 도면을 참조하면서, 종래의 기판반송방법의 한 예에 관해서 설명한다.
도 19는 종래의 기판반송카셋트(이하 카셋트라고 함)(10)와 대차(20)와 카셋트유지대(30)를 이용한 기판반송방법을 모식적으로 측면도로 나타낸 것이다. 도 19에 있어서, 카셋트(10)는 복수의 기판(1)을 수납하고 있다. 카셋트(10)에 설치되어, 기판(1)을 피치(P)만큼 띄워 유지하기 위한 선반부는 도면에 표시되어 있지 않다. 또한 도 19는 자동 혹은 손으로 미는 것에 의해, 카셋트(10)를 적재한 대차(20)를, 앞의 공정의 카셋트유지대(도면에 나타내지 않음)의 근방에서 다음 공정의 카셋트유지대(30)의 근방으로 이동해 온 상태를 나타내고 있다. 다음에, 대차(20)는, 도 20에 나타내듯이 대차(20)에 설치된 암(21a, 21b)를 화살표A의 방향으로 연장시켜서, 카셋트(10)를 카셋트유지대(30)의 위까지 이송하고, 암(21a,21b)을 화살표B의 방향으로 내려서 카셋트(10)를 카셋트유지대(30)의 소정의 위치에 놓는다. (31)은 암(21a,21b)과 카셋트유지대(30)와의 간섭을 피하기 위한 오목부이다. 그리고 암(21a,21b)이 화살표A와는 반대방향으로 줄어들어 대차(20)에 수납되어 도 21의 상태로 된다. 계속해서, 카셋트유지대(30)에 설치된 기판정렬바아(32)에 의해, 기판(1)을 카셋트(10)의 기판출입방향(화살표 C방향)과 직교하는 방향의 중앙부에 정렬시킨다. 이것은, 공지의 로봇(도면에 표시하지 않음)으로, 도 20에 나타낸 카셋트유지대(30)에 대해서 대차(20)와는 반대측(도 20의 HD측)에서 기판(1)을 카셋트(10)에서 화살표A방향으로 빼낼 때에, 기판(1)이 도 22에 나타내는 카셋트(10)의 측판(11)에 닿지 않도록 하기 위해, 혹은, 로봇이 카셋트(10)로부터 뺀 기판(1)을, 기판처리장치(도면에 표시하지 않음)의 소정의 위치에 정확히 놓을 수 있도록 하기 위해서 행해진다. 이 기판(1)을 정렬시키는 동작을 도 21의 정면도를 나타내는 도 22를 이용해서 설명한다. 도 22에 있어서 기판정렬바아(32)를 에어실린더(도면에 표시하지 않음) 등으로 화살표D 방향으로 밀어 넣으면, 도 23에 나타내듯이 기판정렬바아(32)가 일점쇄선으로 나타내는 위치(32a)까지 진행하고, 도 22에 나타내듯이 고르지 않았던 기판(1)의 양측면을 밀어서, 모든 기판(1)을 카셋트(10)의 상기한 기판출입방향(도 21의 화살표C 방향)과 직교하는 방향(도 23의 화살표D, E 방향)의 중앙부에 위치시킨다. 다음에 기판정렬바아(32)를 화살표E 방향으로 에어실린더 등으로 구동하여 원래의 위치로 되돌려 정렬동작을 종료한다.
그러나 상기와 같은 구성으로는 도 19에 나타내는 기판의 길이(L)가 길어지면, 대차(20)와 카셋트유지대(30)와의 전체의 길이(Sl)가 매우 길어진다. 카셋트유지대(30)는, 기판처리장치의 기판출입구에 배치되기 때문에, 그 기판처리장치의 대수가 많아지면 대차(20)와 카셋트유지대(30)가 차지하는 면적이 매우 커지고, 큰 크린룸이 필요하게 된다. 크린룸을 크게 하면 크린룸의 건설비가 비싸게 될 뿐만 아니라, 크린도 유지를 위한 운전비용이 커지고, 생산비용이 비싸진다라는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기한 문제점에 감안해서, 대차와 카셋트유지대와의 전체길이를 작게 할 수 있는 기판반송방법 및 기판반송카셋트를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기한 문제점을 해결하기 위해서 본 발명의 청구항1에 기재된 본 발명의 기판반송방법은, 기판을 수납한 기판반송카셋트를 적재한 대차를 카셋트유지대의 근방으로 이동하고, 상기한 카셋트유지대에 설치된 회전운동암에 의해 상기한 기판반송카셋트를 들어 올려, 상기한 대차위의 상기한 기판반송카셋트를 상기한 카셋트유지대로 옮기는 것이다.
이 방법에 의해서, 카셋트유지대의 길이는 회전운동암과 그 구동부를 수납하는 길이이면 좋기 때문에, 대차와 카셋트유지대의 토탈 길이를 종래의 구성보다도 비약적으로 작게 할 수 있다.
청구항2에 기재된 본 발명의 기판반송방법은, 기판을 수납한 기판반송카셋트를 적재한 대차를 카셋트유지대의 근방으로 이동하고, 상기한 카셋트유지대에 설치된 회전운동암에 의해 상기한 기판반송카셋트를 들어 올려, 상기한 대차상의 상기한 기판반송카셋트를 상기한 카셋트유지대로 옮기고, 상기한 카셋트유지대상에서 상기한 기판반송카셋트를 상기한 대차와는 반대방향으로 소요거리 보내는 것이다. 이 방법에 의해서, 카셋트를 대차측과 반대방향으로 밀어서 카셋트유지대상에 얹어 놓을 수 있기 때문에 카셋트유지대의 반대차측에서 기판을 뽑아 내는 거리를 짧게 할 수 있다. 따라서, 카셋트에서 기판을 빼내는 로봇의 스트로오크를 짧게 할 수 있고, 로봇을 싼 값으로 구성할 수 있다.
청구항3에 기재된 본 발명의 기판반송방법은, 기판을 수납한 기판반송카셋트를 적재한 대차를 카셋트유지대로 이동하고, 상기한 대차의 바깥둘레 양측면을 끼우듯이 상기한 카셋트유지대에 설치된 적어도 한 조의 롤러사이에 상기한 대차를 밀어 넣어 위치결정하는 것이다. 이 방법에 의해서, 작업자가 손으로 밀어서 대차를 위치 결정할 경우, 그 대차의 바깥둘레 측면을 보면서 그 바깥둘레 측면이 상기한 가이드롤러에 접촉하도록 밀어 넣으면 쉽게 위치결정할 수 있기 때문에 양호한 작업성을 얻을 수 있다.
청구항4에 기재된 본 발명의 기판반송방법은, 청구항1에 기재된 기판반송방법에 있어서, 기판반송카셋트와 대차, 및, 상기한 기판반송카셋트와 카셋트유지대의 회전이동암과는 각각 끼워맞춤부를 가지고 있고, 외형치수가 다른 복수의 상기한 기판반송카셋트가 공통의 사이즈의 상기한 끼워맞춤부를 갖는 것을 사용하는 것이다. 이 방법에 의해서, 사이즈가 다른 카셋트라도 대차나 카셋트유지대(25)의 치수를 바꿀 필요는 없으므로, 다른 사이즈의 기판을 효율좋게 공정으로 보낼 수 있다.
청구항5에 기재된 본 발명의 기판반송방법은, 청구항2에 기재된 기판반송방법에 있어서, 기판반송카셋트와 대차, 및, 상기한 기판반송카셋트와 카셋트유지대의 회전이동암과는 각각 끼워맞춤부를 가지고 있고, 외형치수가 다른 복수의 상기한 기판반송카셋트가 공통의 사이즈의 상기한 끼워맞춤부를 갖는 것을 사용하는 것이다. 이 방법에 의해서, 사이즈가 다른 카셋트라도 대차나 카셋트유지대(25)의 치수를 바꿀 필요는 없으므로, 다른 사이즈의 기판을 효율좋게 공정으로 보낼 수 있다.
청구항6에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체에의 상기한 기판의 출입구를 개폐하는 개폐부재와, 상기한 기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단(5)의 양단 각부에 근접하여, 상기한 기판의 후단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판후단 위치결정부재와, 상기한 개폐부재에 설치되어 있고, 상기한 기판의 출입구측인 상기한 기판의 전단의 양단 각부에 근접하고, 상기한 기판의 전단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판전단 위치결정부재를 갖는 것이다.
이 구성에 의해서, 개폐부재의 개폐에 의해서 기판을 카셋트의 중앙부로 정렬할 수 있기 때문에 카셋트유지대에서 기판정렬할 필요가 없다. 따라서, 청구항1에 기재된 반송을 행하기 위한 카셋트유지대의 구조가 대단히 간단해 진다.
청구항7에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체에의 상기한 기판의 출입구이외의 5면을 막는 커버와, 상기한 출입구를 개폐가능한 앞면커버와, 상기한 기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단의 양단 각부에 근접하고, 상기한 기판의 후단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판후단위치 결정부재와, 상기한 앞면커버에 설치되어 있고, 상기한 기판의 출입구측인 상기한 기판의 전단의 양단 각부에 근접하고, 상기한 기판의 전단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판전단 위치결정부재를 갖는 것이다. 이 구성에 의해서, 청구항6와 같은 효과와, 또 카셋트의 6면을 막음으로써, 크린도가 나쁜 환경속을 반송해도 내부의 기판은 오염되지 않으므로, 기판반송로의 크린도를 떨어뜨릴 수 있게 된다. 따라서 크린룸의 건설비가 싼 값으로 될 뿐만 아니라, 크린도유지를 위한 운전비용도 낮출 수 있다.
청구항8에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체의 상기한 기판의 출입구 이외의 면을 막는 커버와, 상기한 출입구를 개폐가능한 앞면커버와, 상기한 카셋트본체의 하부에 설치한 차륜으로 이루어진 것이다. 이 구성에 의해서, 기판사이즈가 커져서 기판을 넣는 카셋트의 중량이 커져도 대차가 없어도 용이하고, 더구나 기판을 오염시키는 일없이, 예를 들면 바닥위를 굴려서 이동시킬 수 있기때문에 긴급시에 우수한 대응성을 발휘할 수 있다.
청구항9에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리에 접촉해서 기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축과, 이 축으로 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제해서 설치한 복수의 회전지지부재로 구성한 것이다. 이 구성에 의해서, 수작업으로 기판을 카셋트에 넣고 뺄 경우, 기판을 지지하는 지지부재에 기판이 충돌했을 때에도 그 지지부재가 회전하기 때문에 충돌시의 충격이 완화되고, 먼지발생을 최소한으로 할 수 있다.
청구항10에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리에, 접촉해서 상기한 기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축과, 그 축에 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제해서 설치한 복수의 회전지지부재로 구성하고, 상기한 회전지지부재와 상기한 규제부재와의 접촉회전에 의해 발생한 먼지를 받는 먼지받이플랜지를 상기한 회전지지부재에 형성한 것이다. 이 구성에 의해서, 회전접촉부에서 발생하는 먼지가 카셋트내의 공간으로 확산하기 전에 받을 수 있기 때문에 기판의 오염을 방지할 수 있다.
청구항11에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리에 접촉하여 상기한 기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축과, 이 축으로 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제하여설치한 복수의 회전지지부재에 의해 구성하고, 상기한 회전지지부재를 원통부와 기판을 지지하는 플랜지로 구성하고, 상기한 원통부의 상부의 측면과 상기한 원통부의 저면과의 이루는 각도는, 상기한 원통부의 하부의 측면과 상기한 원통부의 저면과 이루는 각도보다도 크고, 상기한 원통부의 하부의 하부 큰 지름단부와 상기한 기판의 가장자리가 근접한 것이다. 이 구성에 의해서, 회전지지부재의 원통부의 하부외주면의 하부 큰 지름단부를 기판의 가장자리에 근접시키게 되므로, 그 기판을 위치결정할 수 있고, 청구항6에 기재된 기판반송카셋트와 같이 카셋트유지대에서 기판정렬할 필요가 없다. 따라서, 기판반송을 행하기 위한 카셋트유지대의 구조가 매우 간단해 진다.
청구항12에 기재된 본 발명의 기판반송카셋트는, 청구항11에 기재된 기판반송카셋트에 있어서, 카셋트본체에의 기판의 출입구를 개폐하는 개폐부재와, 상기한기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단에 근접한 기판후단 위치결정부재와, 상기한 개폐부재에 설치되어져 있어, 상기한 기판의 출입구측인 상기한 기판의 전단에 근접한 기판전단위치 결정부재를 갖는 것이다. 이 구성에 의해서 청구항7에 기재된 기판반송카셋트의 경우와 같은 효과를 발휘할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시예1에 있어서의 기판반송방법을 설명하기 위한 일부 절결측면도이다.
도 2는, 동일한 실시예에 있어서의 동작을 설명하기 위한 일부 절결측면도이다.
도 3은, 동일한 실시예에 있어서의 요부동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는, 본 발명의 실시예2에 있어서의 기판반송방법을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는, 도 4의 K-K선 단면을 대차를 포함해서 나타낸 단면도이다.
도 6은, 동일한 실시예에 있어서의 대차와 회전운동암의 평면도이다.
도 7은, 본 발명의 실시예3에 있어서의 기판반송방법을 설명하기 위한 평면도이다.
도 8은, 동일한 실시예에 있어서의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 9는, 동일한 실시예에 있어서의 동작을 설명하기 위한 일부 절결측면도이다.
도 10은, 동일한 실시예에 있어서의 그 밖의 다른 기판반송방법의 예를 나타낸 평면도이다.
도 11은, 본 발명의 실시예4에 있어서의 기판반송카셋트의 측면도이다.
도 12는, 동일한 실시예에 있어서의 평면도이다.
도 13은, 동일한 실시예에 있어서의 요부확대도이다.
도 14는, 본 발명의 실시예5에 있어서의 기판반송카셋트의 요부단면도이다.
도 15는, 동일한 실시예에 있어서의 요부확대단면도이다.
도 16a는, 본 발명의 실시예6을 설명하기 위한 기판(직선형상 모따기의 경우)의 단면확대도이다.
도 16b는, 본 발명의 실시예6을 설명하기 위한 기판(알모따기의 경우)의 단면확대도이다.
도 17은, 본 발명의 실시예6에 있어서의 기판반송카셋트의 요부단면도이다.
도 18은, 동일한 실시예에 있어서의 평면도이다.
도 19는, 종래의 기판반송방법을 설명하기 위한 측면도이다.
도 20은, 동일한 방법에 있어서의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 21은, 동일한 방법에 있어서의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 22는, 동일한 방법에 있어서의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
도 23은, 동일한 방법에 있어서의 동작을 설명하기 위한 정면도이다.
이하 본 발명의 실시예에 관해서, 도면을 참조하면서 설명한다.
(실시예1)
도 1 및 도 2는 본 발명의 한 실시예에 있어서의 기판반송방법의 기본동작을 설명하기 위한 도이다. 도 1에 있어서, 카셋트(50)는 복수의 기판(41)을 수납하고 있다. 카셋트(50)내에 설치되고, 기판(41)을 피치(P)만 띄워 유지하기 위한 선반부는 도면에 표시되어 있지 않다. 또한 도 l은, 자동 혹은 손으로 미는 것에 의해, 카셋트(50)를 적재한 대차(55)를, 앞의 공정의 카셋트유지대(도면에 표시하지 않음)의 근방에서 다음 공정의 카셋트유지대(70)의 근방으로 이동시켜, 대차(55)를 위치결정한 상태를 나타내고 있다. 필요에 따라서 대차(55)에 공지의 브레이크장치를 설치해서, 그 상태에서 브레이크를 걸도록 해도 좋다. 또, 카셋트유지대(70)에서 공지의 후크를 늘려 대차(55)에 걸어서, 대차(55)가 카셋트유지대(70)로부터 떨어지는 것을 방지하도록 해도 좋다.
다음에, 카셋트유지대(70)는, 도 1에 나타내듯이 회전운동암(71)을 축(72)을 중심으로 해서 화살표 H방향으로 회전운동시켜, 도 2에 나타내듯이 카셋트(50)를 들어 올려 유지한다. (56)은, 회전운동암(71)과 대차(55)와의 간섭을 피하기 위한 도출부(逃出部)를 나타낸다. (73)은, 카셋트유지대(70)가 넘어지지 않도록 바닥(5)에 고정하기 위한 앵커볼트를 나타낸다.
상기한 회전운동암(71)에 회전운동동작을 부여하는 방법의 한 예를 도 3을 이용해서 설명한다. (74)는 공지의 에어실린더로, 본체하단(74a) 및 로드(74b)의 각 전단은 핀(75,76)으로 각각 카셋트유지대(70) 및 회전운동암(71)에 접속되어 있다. 에어실린더(74)의 로드(74b)가 늘어나면, 일점쇄선으로 나타내듯이 회전운동암(71)은 화살표 H방향으로 회전운동한다. 에어실린더(74) 대신에 모우터와 나사 및 너트를 이용한 구동방법으로 해도 좋다.
이상의 구성에 의하면, 도 2에 나타내는 대차(55)와 카셋트유지대(70)의 전체의 길이(S2)를 도 19에 나타내는 종래의 전체의 길이(S1)보다도 비약적으로 작게 할 수 있다. 카셋트유지대는 기판처리장치의 기판출입구에 배치되므로, 기판처리장치, 대차, 카셋트유지대를 포함하는 총합면적을 종래보다도 현저하게 작게 할 수 있다. 따라서 크린룸의 소요면적을 작게 할 수 있으므로, 그 건설비를 싸게 할 수 있을 뿐만 아니라, 크린도유지를 위한 운전비용도 절감할 수 있다라는 큰 효과를 발휘할 수 있다.
(실시예2)
다음에 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 기판반송방법을 도 4∼도 6을 이용해서 설명한다.
도 4는 카셋트(60)를 기판을 생략해서 나타낸 것이다. 도 5는, 이 카셋트(60)와 이 카셋트(60)에 적용하는 대차(80)와 회전운동암(91)을, 도 4의 K-K 단면으로 나타낸 것이다. 도 6은, 도 5에 있어서 카셋트(60)를 떼어 낸 상태로, 대차(80)와 회전운동암(91)을 위에서 본 도이다. 도 6에 있어서, (90)은, 도 1에 나타낸 카셋트유지대(70)와 같은 카셋트유지대로, 회전운동암(91)을 갖고 있다. (93)은 도 l에 나타낸 축(72)과 같은 축을 나타낸다.
도 4 및 도 5에 있어서, (61)은 카셋트(60)의 하부에 설치한 차륜이고, (62,63)는 동일하게 핀을 나타낸다. 도 5 및 도 6에 있어서, (82)는 대차(80)에 설치한 오목부로, 핀(62)이 끼워맞춰지기 가능하게 되어 있다. (92)는 회전운동암(91)에 설치한 오목부로, 핀(63)이 끼워맞춰지기 가능하게 되어 있다. 도 5로부터 알 수 있듯이, 카셋트(60)가 대차(80)로 운반되고 있을 때에는, 핀(62)은 오목부(82)에 끼워맞추어져 있으므로, 카셋트(60)는 대차(80)의 소정위치로부터 어긋나는 일은 없다. 또한, 회전운동암(91)으로 카셋트(60)를 들어 올리는 때에는, 핀(63)이 오목부(92)에 끼워 맞춰지기 때문에, 카셋트(60)가 회전운동암(91)의 소정의 위치로부터 어긋나는 일은 없다.
여기서, 카셋트에 수납하는 기판의 사이즈가 변하면 카셋트의 사이즈도 변한다. 도 4 및 도 5에 나타내듯이, 예를 들면 기판사이즈가 작게 되어 카셋트(60)의 길이가, L1에서 L2로 되고, 카셋트(60)의 폭W1가 W2로 된 경우라도, 카셋트(60)의 전단에서 핀(62,63)까지의 치수L3, 핀(62,63)의 중심간 피치W3를 공통화, 즉 카셋트(60)와 대차(80) 및 회전운동암(91)과의 끼워맞춤부의 치수를 공통화해 두면, 사이즈가 다른 카셋트라도 대차나 카셋트유지대의 치수를 바꿀 필요는 없기 때문에, 다른 사이즈의 기판을 효율좋게 공정으로 돌릴 수 있다.
(실시예3)
다음에 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 기판반송방법을, 실시예2의 경우와 동일구성요소는 동일번호로써 도 7∼도 9를 이용해서 설명한다.
도 7 및 도 8은 도 6과 동일하게, 대차(80)와 카셋트유지대(100)와 그 회전운동암(101)을, 카셋트(60)를 떼어 낸 상태로 위에서 본 도이다. 도 7에 있어서, 카셋트보내기부재(103)는 도 6에 나타낸 오목부(92)와 같은 오목부(102)를 갖고 있다. (104)는 회전운동암(101)에 고정된 공지의 에어실린더를 나타낸다. 그 로드(105)는 카셋트보내기부재(103)에 접속되어 있다. 상기한 구성에 따라, 에어실린더(104)를 동작시켜, 그 로드(105)를 늘리면 카셋트보내기부재(103)는, 도 8에 나타내듯이 화살표J1방향으로 보내여진다. 이 때, 카셋트(60)는 오목부(102)에 끼워 맞추는 핀(63)에 의해 보내여지고, 도 9에 나타내듯이 카셋트(60)의 전단(60)이 카셋트유지대(100)의 전단위치(100a)까지 보내여진다. 이와 같이 카셋트(60)를, 회전운동암(101)으로 들어 올려 이 카셋트(60)를 카셋트유지대(100)로 옮기고, 다시 이 카셋트유지대(100)상에서 카셋트(60)를 대차(80)와는 반대의 J1방향으로 소요거리 보내는 것에 의해, 카셋트(60)를 대차측과 반대방향으로 밀어 카셋트유지대(100)상에 얹어놓을 수 있으므로, 도 9에 나타내듯이 카셋트유지대(100)에 대해서 대차(80)의 반대측 즉 HD측에서 기판을 빼내는 거리를, 도 2의 경우보다도 거리 L4만큼 짧게 할 수 있다. 따라서, 카셋트(60)로부터 기판(41)을 로봇(도면에 표시하지 않음)으로 빼낼 경우, 로봇의 동작스트로오크를 짧게 할 수 있으므로, 로봇을 싸게 구성할 수 있다.
다음에, 대차(80)를 카셋트유지대(100)의 폭방향으로 위치결정하는 방법의 한 예를 도 10을 이용해서 설명한다.
이 방법은, 실시예l 또는 실시예2의 경우에도 적용할 수 있다. 카셋트유지대(95)는 카셋트유지대(100)와 같고, 브래킷(96)과 축(97)에 회전이 자유롭게 지지된 예를 들면 바깥둘레가 고무제인 가이드롤러(98)를 2개 한 조 갖고 있다. 다른 카셋트유지대의 근방으로부터 반송앞의 카셋트유지대의 근방으로, 동력 혹은 손으로 미는 것에 의해 운반되어 온 대차(80)는, 그 바깥둘레측면(80a,80b)이 가이드롤러(98)끼리의 사이에 끼워져 안내되어 카셋트유지대(95)의 소정의 위치에 위치결정된다. 이 작업은, 대차(80)의 바깥둘레측면(80a,80b)의 어느 한 쪽을 작업자가 보고, 그 측의 가이드롤러(98)에 접촉하도록 대차(80)를 밀어 넣음으로써 행해지고, 용이하게 위치결정할 수 있기 때문에 양호한 작업성을 얻을 수 있다.
이상의 실시예1∼3에 있어서는, 회전운동암(71, 91,101)으로 직접 카셋트(50,60)를 들어 올렸지만, 차륜(61)을 들어 올려도 좋다.
(실시예4)
다음에 본 발명의 한 실시예에 있어서의 기판반송카셋트를 도 11∼도 13을 이용해서 설명한다.
도 11 및 도 12는 각각 카셋트(110)의 측면도 및 평면도이다. 카셋트(101)는, 윗면(110a), 아랫면(110b), 양측면(110c,110d) 및 뒷면(110j)이 커버로 막혀져 있고, 카셋트(50,60)와 같이 내부에 기판(121)을 수납하고 있다. 앞면커버(111)는, 카셋트(110)에 설치한 브래킷(112)의 핀(113)에 회전운동이 자유롭게 지지되어 있다. 패킹(114)은, 앞면커버(111)에 설치되어 있고, 카셋트(110)의 앞면(110e)에 밀착하고 있다. 도 13에 나타내듯이 로크레버(115)는, 앞면커버(111)와 얇은 두께의 힌지부(116)로 접속되어 있고, 일단에 로크해제돌기(117), 타단에 로크폴(lock pawl)(118)이 각각 형성되어 있다. 그 로크폴(118)은 카셋트(110)의 측면의 오목부(110f)에 걸어 맞추면, 앞면커버(111)는 패킹(114)을 매개로 해서 카셋트(110)의 앞면(110e)을 밀폐한다. 로크해제돌기(117)를 누르면, 로크레버(115)는 도 13의 일점쇄선으로 나타내듯이 힌지부(116)를 중심으로 회전운동하고, 로크폴(118)은 오목부(110f)에서 빠져, 도 11의 화살표N으로 나타내듯이 앞면커버(111)를 열 수 있다.
도 12에 있어서, 기판후단 위치결정부재(110g,110h)는, 카셋트(110)에 설치되어 각각 기판(121)의 후단 각부의 코너커트(121a,121b)에 소요의 간극을 가지고 근접하고, 그 기판(121)의 후단부(121e)를 카셋트(110)의 상기한 기판출입방향과 직교하는 방향, 즉 도 12의 T방향의 중앙부에 위치결정한다. 기판전단 위치결정부재(111a,111b)는, 앞면커버(111)에 설치되어 각각 기판(121)의 전단각부의 코너커트(121c,121d)에 소요의 간극을 가지고 근접하여, 상기와 같이, 기판(121)의 전단부(121f)를 T방향의 중앙부에 위치결정한다. 이 소요의 간극은, 로봇(도면에 표시하지 않음)이 카셋트(110)로부터 뺀 기판(121)을 기판처리장치(도면에 표시하지 않음)의 소정의 위치에 둘 수 있도록, 기판(121)이 카셋트(110)의 중앙부에 위치결정된 상태로 유지할 수 있을 정도의 간극이면 좋다. 또, 기판전단 위치결정부재(llla,111b)는 각각 기판(121)의 코너커트(121c,1121d)에 접해도 좋다. 기판후단 위치결정부재(110g,110h)는 각각 기판(121)의 코너커트(121a,121b)에 접해도 좋다. 코너커트(121c)는, 기판의 방향을 특정하기 위해서 다른 코너커트보다도 크게 하고 있지만, 그 필요가 없으면 같은 크기라도 좋다.
기판후단 위치결정부재(110g,110h) 혹은 기판전단 위치결정부재(111a,111b) 중 적어도 한 쪽이 탄성부재일 경우에는, 기판전단 위치결정부재(111a,111b), 기판후단 위치결정부재(110g,110h)를 기판(121)의 코너커트에 밀접시켜도 좋다.
이상의 구성에 의해, 앞면커버(111)를 닫으면 기판후단 위치결정부재(110g,110h), 및 기판전단 위치결정부재(111a,111b)에 의해 기판(121)은 카셋트(110)의 중앙부에 위치결정되어, 카셋트(110)를 대차 등으로 반송할 때에 진동이나 충격이 가해지더라도 기판(121)의 위치가 카셋트의 중앙부에서 벗어나는 일은 없다. 따라서, 예를 들면, 이 카셋트(110)를 도 1의 실시예1과 같이 대차(55)로 카셋트유지대(70)의 근방에 보내고, 그 대차(55)가 카셋트유지대(70)의 근방에 위치결정되기 전에, 혹은 위치 결정된 뒤에 앞면커버(111)를 열면, 기판(121)은 카셋트(110)의 중앙부에 위치결정된 상태가 유지된다. 물론, 이 때 대차(55)의 위치결정조작, 카셋트의 회전운동암에 의한 들어 올리기 동작에 있어서, 기판(121)이 카셋트(110)의 중앙부에서 벗어날 정도의 충격이 발생해서는 안되지만, 통상의 조작, 동작에서는 문제가 발생할 정도로 벗어나는 일은 없다.
이상의 구성에 의하면, 앞면커버(111)의 개폐에 의해서 기판(121)을 카셋트(110)의 중앙부에 정렬할 수 있기 때문에, 카셋트유지대에서 기판정렬할 필요가 없다. 따라서 도 21, 도 22, 도 23에 나타내는 것과 같은 종래의 기판정렬기구는 필요하지 않기 때문에, 카셋트유지대의 구조가 대단히 간단해 진다.
또한, 카셋트(110)의 앞면(110e)을 제외한 5면을 고정커버로 막고, 앞면을 밀폐가능한 앞면커버(111)로 막는 것에 의해, 크린도가 나쁜 환경속을 반송해도 내부의 기판은 오염되지 않기 때문에, 기판반송로의 크린도를 떨어뜨릴 수 있게 된다. 따라서 크린룸의 건설비가 싸게 될 뿐만 아니라, 크린도유지를 위한 운전비용도 낮게 할 수 있다.
크린환경이 정비되어 있는 환경에서 이용할 경우에는, 상기한 5면을 막을 필요는 없고, 또한, 카셋트(110)의 앞면(110e)도 밀폐할 필요는 없고, 앞면커버(111)에는 기판전단 위치결정부재(111a,111b)를 설치해 두면 좋다.
또한, 카셋트(110)에 도 4에 나타낸 차륜(61)을 설치해 두면, 기판사이즈가 커져 기판들이카셋트의 중량이 커져도, 대차없이도 용이하게, 더구나 기판을 오염시키는 일없이, 예를 들면 바닥 위 등을 굴려 이동시킬 수 있으므로, 긴급시에 우수한 대응성을 발휘할 수 있다.
(실시예5)
다음에 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 기판반송카셋트를 도 14 및 도 15를 이용해서 설명한다.
도 14는, 도 19의 카셋트(10)의 설명시에 설명을 생략한, 기판(41)을 간격(P)만큼 띄워 유지하기 위한 선반부의 구조를 단면으로 나타낸 도이다. 도 15는 도14의 요부확대도이다. 도 14 및 도 15에 있어서, 축(130)은 카셋트의 본체(도면에 표시하지 않음)에 설치되어, 복수의 회전지지부재(140)를 공지의 쐐기(131)로 피치(P)만큼 띄워 회전이 자유롭게 지지한다. 기판지지플랜지(141)는 그 회전지지부재(140)에 형성되어, 기판(41)의 가장자리(41a)를 그 윗면(141a)에 얹어 놓고, 피치(P)만큼 띄워 복수의 기판(41)을 지지한다. 작은 지름 플랜지(142)는 회전지지부재(140)에 형성되어, 오목부(142a)를 갖고 있다. 이 오목부(142a)는, 쐐기(131)와 회전지지부재(140)와의 회전접촉에 의해 발생한 먼지(150)를 받는다. 따라서 작은 지름 플랜지(142)는, 먼지받이 플랜지로서의 역할을 하게 된다.
이상의 회전가능한 회전지지부재(140)의 기판지지플랜지(141)에 의해 기판(41)을 지지하는 구성으로 하는 것에 의해, 수작업으로 기판(41)을 카셋트에 출납할 경우, 기판(41)이 회전지지부재(140)의 기판지지 플랜지(141)나, 바깥둘레가 테이퍼상으로 형성된 원통부(143)에 충돌했을 때에도, 회전지지부재(140)가 회전하기 때문에 충돌시의 충격이 완화되어, 먼지가 나는 것을 최소한으로 억제할 수 있다.
또한, 먼지받이 플랜지로서의 역할을 하는 작은 지름 플랜지(142)를 회전지지부재(140)에 설치함으로써, 회전접촉부에서 발생하는 먼지가 카셋트내의 공간으로 확산하기 전에 받을 수 있으므로, 기판의 오염을 방지할 수 있다.
(실시예6)
다음에 본 발명의 다른 실시예에 있어서의 기판반송카셋트를 도 16a, 도 16b) 및 도 17을 이용해서 설명한다.
최근은, 기판의 단면의 모따기는 도 16a에 나타내는 직선상의 모따기에서 도 16b에 나타내는 곡선상의 알모따기로 변해오고 있다. 그 이유는, 기판반송시에 반송통로에 단면이 충돌했을 경우에, 도 16a의 직선상의 모따기의 가장자리(160)가 떨어져 나가기 쉬운 것에 비해, 도 16b의 알모따기는 그와 같은 가장자리가 없이 매끄럽기 때문에 떨어져 나가기 어려운 것에 있다. 또한 이 알모따기를 갖는 기판이, 그 기판보다도 유연한 물건을 그 알모따기부로 문지른 경우라도 상대를 깎기 어려운 것도 특징이다. 이 특징을 살린 카셋트의 구조에 관해서 도 17 을 이용해서 설명한다.
도 17은, 도 14와 마찬가지로, 기판(171)을 간격(P)만 띄워 유지하기 위한 선반부의 구조를 단면으로 나타낸 도이다. 도 17에 나타내듯이, 회전지지부재(180)는 기판지지 플랜지(181), 작은 지름 플랜지(182), 원통부(183)로 이루어지고, 기판지지 플랜지(181)는 그 회전지지부재(180)에 형성되어, 기판(171)의 가장자리(171a)를 그 윗면(181a)에 얹어 놓고, 피치(P)만큼 띄워 복수의 기판(171)을 지지한다. 원통부(183)는 기판지지플랜지(181)사이이의 대략 중앙부보다 윗부분의 원통부 상부(183-1)와 아랫부분의 원통부 하부(183-2)로 이루어지고, 원통부 상부(183-1) 및 원통부 하부(183-2)의 바깥지름은 각각 윗쪽에서부터 아래 쪽으로 감에 따라서 크게 되어 있다. 또한, 원통부 상부(183-1)의 측면과 저면과의 이루는 각도는, 원통부 하부(183-2)의 측면과 저면과의 이루는 각도보다도 크게 형성하고 있다. 즉, 원통부 상부(183-l)보다도 원통부 하부(183-2)의 쪽이, 보다 넓게 되어 있다. 이렇게 하면, 로봇(도면에 표시하지 않음)이 카셋트에 기판(171)을 삽입할 때에는, 기판지지 플랜지(181)사이의 대략 중앙부의 위치(Pc)에서 행하므로, 원통부(183)와 기판(171)의 단면(171-1)과의 간격(Dc)은 충분하고 기판(171)과 회전지지부재(180)가 충돌하는 일은 없다. 로봇이 이 위치(Pc)에서 기판(171)을 삽입한 후 강하시키면, 기판(171)은 기판지지플랜지(181)상의 위치(ps)에 얹어놓게 된다. 이 상태에서는, 원통부 하부(183-2)의 저면측 바깥둘레면인 하부 큰 지름단부(183-3)와 기판(171)의 단면(171-1)과의 간격(Ds)은 좁기 때문에, 기판(171)은 기판반송중에 위치가 크게 벗어나는 일은 없다. 즉 기판(171)은 T방향의 중앙부에 위치결정되게 된다. 위치(Pc) 있어서 기판(171)이 T방향의 중앙부에서 어긋나 있는 경우는, 기판(171)이 위치(Ps)에 강하할 때, 기판(171)의 단면(171-1)이 원통부 하부(183-2)에 접촉하지만, 전술하였듯이 단면(17l-1)에는 알모따기가 이루어져 있고, 원통부 하부(183-2)가 수지재료여도 깎이기 어려우므로 먼지는 발생하기 어렵다. 이상의 구성에 의해서 지장없이 T방향의 기판위치 결정이 가능해진다. 또, 원통부 상부(183-1)의 바깥지름은 윗쪽에서부터 아래쪽으로 걸쳐 같아도 좋다.
다음에, T방향과 직교하는 방향에도 기판을 위치 결정하는 경우의 카셋트의 실시예를 도 18을 이용해서 설명한다.
도 18은 카셋트(190)의 평면도이다. 도 18에 있어서, 카셋트(190)는, 윗면,아랫면, 양측면(190c,190d) 및 뒷면(190j)이 커버로 막혀져 있고, 내부에 기판(171)을 수납하고 있다. 앞면커버(191)는, 도 11에 나타낸 앞면커버(111)와 같이 회전운동이 자유롭게 지지되어 있다. 패킹(114)은 도 11에 나타낸 것과 같다.
기판후단 위치결정부재(190g)는 카셋트(190)에 설치되고, 기판(171)의 후단면(171e)에 소요의 간극을 가지고 근접한다. 기판전단 위치결정부재(191a)는 앞면커버(191)에 설치되고, 기판(171)의 전단면(171f)에 소요의 간극을 가지고 근접한다. 이 소요의 간극은, 로봇(도면에 표시하지 않음)이 카셋트(190)에서 뺀 기판(171)을 기판처리장치(도면에 표시하지 않음)의 소정의 위치에 둘 수 있도록, 기판(171)이 카셋트(190)의 중앙부에 위치결정된 상태로 유지할 수 있을 정도의 간극이면 좋다. 또한, 기판전단 위치결정부재(191a)와 기판후단 위치결정부재(190g)는, 각각 기판(171)의 전단면(171f)과 후단면(171e)에 접촉해도 좋다. 기판후단 위치결정부재(190g) 혹은 기판전단 위치결정부재(191a)의 적어도 한 쪽이 탄성부재인 경우는, 기판전단 위치결정부재(191a)와 기판후단 위치결정부재(190g)는, 각각 기판(171)의 전단면(171f)과 후단면(171e)에 밀접시켜도 좋다.
이상의 구성에 의하면, 기판(171)은 원통부 하부(183-2)의 하부 큰 지름단부(183-3)에 의해 T방향의 중앙부에 위치결정되고, 또, 기판후단 위치결정부재(190g)와 기판전단 위치결정부재(191a)에 의해 카셋트(190)의 전후방향(T방향과 직교하는 방향)의 중앙부에 위치결정된다.
따라서, 실시예4와 같이 기판(171)을 카셋트(190)의 중앙부에 정렬할 수 있으므로 종래의 기판정렬기구는 필요하지 않고, 카셋트유지대의 구조를 매우 간단하게 할 수 있다.
본 실시예의 이점은, 실시예4에 비교하여 코너커트의 정밀도를 필요로 하지 않는 것에 있다.
이상 설명한 바와 같이 본 발명의 기판반송방법에 의하면, 대차와 카셋트유지대의 전체의 길이를 종래의 구성보다도 비약적으로 작게 할 수 있고, 카셋트유지대는 기판처리장치의 기판출입구에 배치되기 때문에, 기판처리장치, 대차, 카셋트유지대를 포함하는 종합면적을 종래보다도 현저하게 작게 할 수 있다. 따라서 크린룸의 소요면적을 작게 할 수 있으므로, 그 건설비를 싸게 할 수 있을 뿐만 아니라, 크린도유지를 위한 운전비용도 삭감할 수 있다라고 하는 큰 효과를 발휘할 수 있다. 또, 카셋트를 대차측과 반대방향으로 밀어 유지대상에 얹어놓을 수 있으므로, 카셋트에서 기판을 빼 내는 로봇을 싸게 구성할 수 있다. 그리고, 반송작업이 양호해지고, 다른 사이즈의 기판을 효율이 좋게 공정에 돌릴 수 있다.
또한, 본 발명의 기판반송카셋트에 의하면, 카셋트유지대의 구성을 매우 간단하게 할 수 있을 뿐만 아니라, 기판반송로의 크린도를 떨어뜨릴 수 있게 되기 때문에, 크린룸의 건설비가 싸게 되는 것 뿐만 아니라, 크린도유지를 위한 운전비용도 낮게 할 수 있다. 또한, 기판사이즈가 커져 기판들이카셋트의 중량이 커져도 대차없이도 용이하게, 게다가 기판을 오염시키는 일없이, 예를 들면 바닥 위 등을 굴려 이동시킬 수 있기 때문에 긴급시에 우수한 대응성을 발휘할 수 있다. 또, 수작업으로 기판을 카셋트에 출납할 경우, 기판을 지지하는 지지부재에 기판이 충돌했을 때라도 그 지지부재가 회전하기 때문에, 충돌시의 충격이 완화되어, 먼지발생을 최소한으로 할 수 있을 뿐만 아니라, 회전접촉부에서 발생하는 먼지가 카셋트내의 공간으로 확산하기 전에 받을 수 있기 때문에, 기판의 오염을 방지할 수 있다.

Claims (12)

  1. 기판(41)을 수납한 기판반송카셋트(50)를 적재한 대차(55)를 카셋트유지대(70)의 근방으로 이동하여, 상기한 카셋트유지대에 설치된 회전운동암(71)에 의해 상기한 기판반송카셋트를 들어 올려, 상기한 대차상의 상기한 기판반송카셋트를 상기한 카셋트유지대로 옮기는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
  2. 기판을 수납한 기판반송카셋트를 적재한 대차를 카셋트유지대의 근방으로 이동하여, 상기한 카셋트유지대에 설치된 회전운동암에 의해 상기한 기판반송카셋트를 들어 올려, 상기한 대차상의 상기한 기판반송카셋트를 상기한 카셋트유지대로 옮겨, 상기한 카셋트유지대상에서 상기한 기판반송카셋트를 상기한 대차와는 반대방향으로 소요거리 보내는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
  3. 기판을 수납한 기판반송카셋트를 적재한 대차를 카셋트유지대로 이동하여, 상기한 대차의 바깥둘레 양측면(80a,80b)을 끼우듯이 상기한 카셋트유지대에 설치된 한 조의 롤러(98) 사이에 상기한 대차를 밀어 넣어 위치결정하는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
  4. 제1항에 있어서, 기판반송카셋트와 대차 및 상기한 기판반송카셋트와 카셋트유지대의 회전운동암은 각각 끼워맞춤부를 갖고 있고, 외형치수가 다른 복수의 상기한 기판반송카셋트가 공통의 사이즈의 상기한 끼워맞춤부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
  5. 제2항에 있어서, 기판반송카셋트와 대차 및 상기한 기판반송카셋트와 카셋트유지대의 회전운동암은 각각 끼워맞춤부를 갖고 있고, 외형치수가 다른 복수의 상기한 기판반송카셋트가 공통의 사이즈의 상기한 끼워맞춤부를 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송방법.
  6. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체에의 상기한 기판의 출입구를 개폐하는 개폐부재와, 상기한 기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단의 양단 각부(角部)에 근접하여, 상기한 기판의 후단부(121e)를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판후단 위치결정부재(110g,110h)와, 상기한 개폐부재에 설치되어져 있고, 상기한 기판의 출입구측인 상기한 기판의 전단의 양단 각부에 근접하여, 상기한 기판의 전단부(121f)를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판전단 위치결정부재(111a,111b)를 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  7. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체에의 상기한 기판의 출입구이외의 5면을 막는 커버와, 상기한 출입구를 개폐가능한 앞면커버(111)와, 상기한 기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단의 양단 각부에 근접하여, 상기한 기판의 후단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판후단 위치결정부재와, 상기한 앞면커버에 설치되어져 있고, 상기한 기판의 출입구측인 상기한 기판의 전단의 양단 각부에 근접하고, 상기한 기판의 전단부를 상기한 카셋트본체의 상기한 기판의 출입방향과 직교하는 방향의 중앙부에 위치결정하는 기판전단 위치결정부재를 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  8. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 이 카셋트본체의 상기한 기판의 출입구이외의 면을 막는 커버와, 상기한 출입구를 개폐가능한 앞면커버와, 상기한 카셋트본체의 하부에 설치한 차륜(61)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  9. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리(41a)에 접촉하여 기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축(130)과, 이 축에 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제하여 설치한 복수의 회전지지부재(140)로 구성한 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  10. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리에 접촉하여 상기한 기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축과, 이 축에 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제하여 설치한 복수의 회전지지부재로 구성하여, 상기한 회전지지부재와 상기한 규제부재와의 접촉회전에 의해 발생한 먼지를 받는 먼지받이플랜지(142)를 상기한 회전지지부재에 형성한 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  11. 기판을 수납하는 카셋트본체와, 상기한 기판의 가장자리에 접촉하여 상기한기판을 지지하는 복수의 기판지지부재로 이루어지는 기판반송카셋트로서, 상기한 기판지지부재를, 수직방향으로 설치한 복수의 축과, 이 축에 회전가능하게 상하방향위치를 규제부재로 규제하여 설치한 복수의 회전지지부재로 구성하고, 상기한 회전지지부재를 원통부(143)와 기판을 지지하는 플랜지로 구성하고, 상기한 원통부 상부(183-1)의 측면과 상기한 원통부의 저면과의 이루는 각도는, 상기한 원통부 하부(183-2)의 측면과 상기한 원통부의 저면과의 이루는 각도보다도 크고, 상기한 원통부 하부의 하부 큰 지름단부(183-3)와 상기한 기판의 가장자리가 근접한 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
  12. 제11항에 있어서, 카셋트본체에의 기판의 출입구를 개폐하는 개폐부재와, 상기한 기판의 출입구측과는 반대측인 상기한 기판의 후단에 근접한 기판후단 위치결정부재와, 상기한 개폐부재에 설치되어져 있고, 상기한 기판의 출입구측인 상기한기판의 전단에 근접한 기판전단 위치결정부재를 갖는 것을 특징으로 하는 기판반송카셋트.
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