JPH05211224A

JPH05211224A - 板状体移載装置

Info

Publication number: JPH05211224A
Application number: JP11562491A
Authority: JP
Inventors: Michio Takayama; 道夫高山
Original assignee: Texas Instruments Japan Ltd
Current assignee: Texas Instruments Japan Ltd
Priority date: 1991-04-19
Filing date: 1991-04-19
Publication date: 1993-08-20

Abstract

(57)【要約】【構成】本発明に基く板状体（ウエハ）移載装置は、
キャリアを支持して回転可能なターンテーブルと；この
ターンテーブルに設けられ、キャリアを固定するキャリ
ア押えと；キャリア又はボート内のウエハを支持して上
下動可能なリフタと；このリフタの上下動時にウエハを
案内するガイド（キャリア内のウエハを固定するウエハ
押えを兼ねる）とを有する。【効果】ウエハの運動が回転と上下動だけなのでウエ
ハ移動距離を小さくでき、これにより、不所望な塵が発
生してこれがウエハに付着することによるウエハ品質の
劣化が、効果的に防止される。ウエハを把持する必要が
なく、従って、ウエハに無理な力が加わってウエハを損
傷するおそれがない。ウエハは移動時にガイドに案内さ
れるので、キャリアやボートの正確な位置決めのための
高精度な機構を必要とせず、装置の維持管理が容易であ
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、板状体移載装置に関
し、例えば、キャリアと石英ボートとの間で半導体ウエ
ハを移載する半導体ウエハ移載装置に関する。

【０００２】

【従来技術】半導体ウエハ（以下、単にウエハと呼
ぶ。）は、珪素又はガリウム−砒素等の半導体単結晶の
インゴットをスライスして薄い円板状としたもので、通
常、キャリアと呼ばれる容器内に、鉛直状態でかつ水平
方向に並べられて25枚が収容されている。

【０００３】ウエハは、例えば珪素を使用する場合表面
に二酸化珪素の膜を形成させるため、石英製のボートと
呼ばれる支持具に前記と同様の状態で支持されて化学的
気相成長（ＣＶＤ）処理や熱酸化雰囲気中で酸化処理を
受ける。また、後の工程で、ウエハはボートに支持され
た状態でエッチング、洗浄等の化学的処理が施される。
このように、ウエハは、キャリアからボートへ移載さ
れ、或いは次工程への搬送のためにボートからキャリア
へ移載される。

【０００４】キャリアとボートとの間でウエハを移し換
えるのに、従来はピンセットまたは真空ピンセットでウ
エハを１枚ずつ移し換える方法が採られていたが、この
方法では、ウエハが傷付き易く、また、作業能率が低
い。そこで、図24に正面図で、図25に側面図で示す装置
が使用されるようになってきている。

【０００５】ウエハは次のようにしてキャリアからボー
トへ移載される。

【０００６】載置台71上にはウエハＷを収容したキャリ
ア１と空のボート２とが所定位置に載置される（図24に
で示す）。

【０００７】先ず、キャリア１の下方からプッシャ45Ａ
が上昇してキャリア１内のウエハＷを上昇させる。載置
台71よりも上の背壁73には１対のクランプ72Ａ、72Ｂが
待機している。クランプ72Ａ、72Ｂ間に上昇してきたウ
エハＷをクランプ72Ａ、72Ｂが把持し、その後、プッシ
ャ45Ａが元の位置に下降する（図24にで示す）。

【０００８】次に、クランプ72Ａ、72Ｂは、ウエハＷを
把持した儘、ボート２の上方位置に水平移動する（図24
中にで示す）。

【０００９】次に、ボート２下のプッシャ45Ｂが上昇し
てウエハＷを支持し、次いでクランプ72Ａ、72Ｂはウエ
ハ把持を解除する。次に、プッシャ45Ｂが下降してウエ
ハＷがボート２に載置される（図24にで示す）。

【００１０】ボート中のウエハをキャリアに移載するに
は、上記と逆の手順によれば良い。

【００１１】このような装置にあっては、25枚のウエハ
を一括してキャリアからボートへ、或いはボートからキ
ャリアへ移し換えられ、作業能率が向上するのである
が、次のような問題がなお残されている。

【００１２】ウエハは、例えば珪素ウエハの場合径５イ
ンチのものでは厚さが0.63mmといった極めて薄いもの
で、ランプ72Ａ、72Ｂでの把持では、無理な力が加わる
と大量に破損するおそれがあり、従って、装置を構成す
る各部分の位置関係を極めて高精度にする必要があって
装置の維持管理が厄介である。

【００１３】また、ウエハ移動の延べ距離が長く、クラ
ンプによる把持及び把持解除並びに移動中に塵が付着す
るという問題がある。この問題は、ウエハ受け渡しの回
数が４回に及ぶので、特に起こり易い。因みに、ウエハ
に塵が付着すると、製品（各種デバイス）の品質を甚だ
しく低下させるので、塵の極少なクリールーム内で移載
その他の作業が遂行される。

【００１４】また、上記の装置では、ウエハの水平移動
のため、装置の幅方向に占有面積が大きくなる。

【００１５】

【発明の目的】本発明は、第一、第二の板状体収容具間
で複数の板状体を一括して又は一部を移載でき、この移
載に際して、板状体に損傷を与えたり、好ましくない塵
の付着が起こったりすることがなく、装置の維持管理が
容易な板状体移載装置を提供することを目的としてい
る。

【００１６】

【発明の構成】第一の発明は、板状体（例えば後述のウ
エハＷ）を略鉛直に収容する第一及び第二の板状体収容
具（例えば後述のキャリア１及びボート２）間で、前記
板状体を移載するのに用いられ、前記第一の板状体収容
具を着脱可能な状態で一時的に支持する第一の支持手段
と（例えば後述のキャリア押え29）、前記第一の板状体
収容具と前記第一の支持手段とを、前記板状体の板面の
法線又はこの法線に平行な軸線の周りに回転させる回転
手段と（例えば後述のターンテーブル12）、この回転手
段に支持され、前記第一の板状体収容具内の前記板状体
を一時的に支持し、支持解除し、また案内（例えば後述
の溝16ａによって案内）することができる第二の支持手
段と（例えば後述のウエハ押え16Ｌ、16Ｒ）、前記板状
体を前記回転手段によって回転させた後、前記第二の支
持手段によって前記第一の板状体収容具内の第一の支持
位置から前記第二の板状体収容具内の第二の支持位置に
前記板状体を移送する、往復動可能な第三の支持手段と
（例えば後述のリフタ45）を有する板状体移載装置に係
る。

【００１７】第二の発明は、前記第一の発明において、
前記第二の板状体収容具から前記第一の板状体収容具へ
前記板状体を移載する際、前記第三の支持手段が、前記
第二の板状体収容具内の前記板状体を移送させてこの板
状体を前記第一の板状体収容具内へ導き、前記第二の支
持手段が、前記第一の板状体収容具内へ導かれた前記板
状体を支持し、前記第三の支持手段による板状体支持の
解除後に、前記回転手段が前記第一の板状体収容具を所
定角度回転させる板状体移載装置に係る。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。

【００１９】図18はウエハを収容するための溝の位置で
切断したキャリアの断面図である。キャリア１の側壁１
ｃ、１ｃには内側に溝１ａ、１ａが設けられていて、溝
１ａ、１ａに周縁の一部が嵌入したウエハＷ（仮想線で
示す）は、溝１ａ、１ａの下側の彎曲部の底面１ｂ、１
ｂに接当してキャリア１に支持、収容される。溝１ａ、
１ａは、通常、夫々25個設けられている。側壁１ｃ、１
ｃは前後の壁１ｄによって連結され、キャリア下部に
は、後述するリフタが通過できるように空間１ｅが形成
されている。

【００２０】図19はボートの図18と同様の断面図であ
る。ボート２は、図において前後に（紙面に垂直方向
に）各々１対のビーム２ｃ、２ｃ及び２ｄ、２ｄを有
し、ビーム２ｃ、２ｃは１対のビーム２ｅによって、ビ
ーム２ｄ、２ｄは１対のビーム２ｆによって夫々連結さ
れる。各ビーム２ｃ、２ｃと各ビーム２ｄ、２ｄとは、
支柱２ｇ、２ｇによって夫々連結され、互に固定され
る。ビーム２ｃ、２ｃ、２ｄ、２ｄにはウエハＷ（仮想
線で示す）の周縁の一部を嵌入させる溝２ａ、２ａ、２
ａ、２ａが設けられ、ウエハＷは、下側のビーム２ｄ、
２ｄの溝２ａ、２ａの底面２ｂ、２ｂに接当してボート
２に収容、支持される。ボート２は石英製であり、ビー
ム２ｄ、２ｄを連結する１対のビーム２ｆ間に形成され
る空間２ｈを、後述するリフタが通過できるようにして
ある。

【００２１】図１〜図７はキャリアからボートへウエハ
を移載する手順を示すウエハ移載装置内部の要部正面
図、図８は図２の状態におけるウエハ移載装置内部の要
部側面図である。なお、図８には、キャリアを仮想線で
示してあり、ボート及びウエハは図示省略してある。

【００２２】装置の筐体３は筐体上部３Ａと筐体下部３
Ｂとからなり、筐体３の底板56上には第一の支柱４と第
二の支柱55とが立設する。第一の支柱４は、その下部の
大部分４Ｂが筐体下部３Ｂ内に収容され、上部４Ａが筐
体上部３Ａ内に侵入している。第二の支柱55は、筐体下
部３Ｂ内の図１において左側に位置している。図中、３
ａは、筐体３の背面板である。

【００２３】第一の支柱４の上部４Ａにはモータ15が固
定され、これに連設された減速機14の従節軸13にはター
ンテーブル12が固定される。ターンテーブル12は筐体上
部３Ａの前面の大部分を構成する。ターンテーブル12に
は、筐体上部３Ａの前面側に、キャリア載置台５Ａ、キ
ャリア押え29及び左右のウエハ押え16Ｌ、16Ｒが取付け
られ、これらは、モータ15の駆動によるターンテーブル
12の回動と共に回動するようにしてある。

【００２４】第一の支柱４の下部４Ｂには１対のブラケ
ット38Ａ、38Ｂが固定され、ブラケット38Ａ、38Ｂには
ボールねじ36をその両端部で軸支する軸受37Ａ、37Ｂが
夫々取付けられ、ブラケット38Ａ、38Ｂ間には第一の支
柱４の下部４Ｂにガイドレール44Ｃが固定される。ボー
ルねじ36にはボールねじのソケット33が螺合し、ボール
ねじ36の下端のプーリ39Ａと、モータ41に連設された減
速機40の従節軸40ａに取付けられたプーリ39Ｂとに、ベ
ルト39Ｃが掛けられる。

【００２５】ソケット33下面にはドーナツ形の支持板34
が固定され、支持板34はブラケット35を介して１対のボ
ート載置台支持柱32Ａを支持する。ブラケット35の図８
において右側にはガイド支持部44Ａが立設し、ガイド支
持部44Ａにはガイド44Ｂが固定されていて、モータ41の
駆動によるボールねじ36の回動によってソケット33が上
下動する。これにより、第一の支柱４の下部４Ｂに取付
けられたガイドレール44Ｃにガイド44Ｂが案内されてボ
ート載置台支持柱32Ａが上下動する。そして、ボート載
置台支持柱32Ａの上下動により、その上部32ａ上に支持
されたボート載置台31が上下動する。

【００２６】図８には、ボート載置台31が最下位に位置
する状態を実線で、最上位に位置する状態を仮想線で示
してある。この上下動の最下位の位置決めは、第一の支
柱４の下部４Ｂに固定されたブラケット38Ｃに取付けら
れているストッパ57Ａにブラケット35が接当することに
よってなされ、最上位の位置決めは、ブラケット38Ａに
取付けされたストッパ57Ｂにガイド支持部44Ａが接当す
ることによってなされる。ストッパ57Ａ、57Ｂは、ボル
トからなっていて、ナットによって夫々ブラケット38
Ｃ、38Ａに上下方向の位置調節可能に固定される。

【００２７】ストッパ57Ａ、57Ｂと前述のガイドレール
44Ｃによるガイド44Ｂの案内とにより、ボート載置台31
は正確な位置で上下動することとなる。

【００２８】第二の支持柱55には１対のブラケット52
Ａ、52Ｂが固定され、ブラケット52Ａ、52Ｂには夫々軸
受51Ａ、51Ｂが取付けられる。軸受51Ａ、51Ｂにはボー
ルねじ50の両端部が軸支され、ボールねじ50にはボール
ねじのソケット48が螺合していて、ソケット48の下面に
はドーナツ形の支持板49が固定される。支持板49にはブ
ラケット47を介してリフタ支持板46が固定されている。
ボールねじ50の下端部に取付けられたプーリ53には、モ
ータに連設された減速機の従節軸に取付けられたプーリ
との間にベルト（いずれも図示省略）が掛けられてい
る。

【００２９】リフタ支持板46上には、ウエハを支持して
上下させるための45が固定される。前記モータの駆動に
よるボールねじ50の正逆方向の回転によってソケット48
が上下動し、これによってリフタ45が上下動する。リフ
タ支持板46は、１対のボート載置台支持柱32Ａ、32Ａの
下端を連結する連結板32Ｂの長方形の貫通孔32ｂに摺動
可能に嵌入し、貫通孔32ｂに案内される。これにより、
リフタ45が正確な位置で上下動することとなる。なお、
リフタ45は、図８において、筐体上部３Ａの前方のキャ
リア載置台５Ａの下方に位置する。

【００３０】次に、キャリアからボートへとウエハを一
括して移載する手順を、図１〜図７によって説明する。

【００３１】先ず、図１に示すように、キャリア載置台
５Ａ上に、ウエハＷを収容したキャリア１を載置し、所
定位置に位置させる。図中、１ａは、ウエハＷを保持す
るためにキャリア側壁に設けられた溝である。上記の所
定位置への移動は、図８に示す歯付きベルト11上のキャ
リア載置台５Ａを、歯付きベルト11を周回させることに
よってなされる。

【００３２】筐体上部３Ａ内には駆動プーリ８Ａ及び従
動プーリ８Ｂ、８Ｄが設けられ、これらのプーリ８Ａ、
８Ｂ、８Ｄと、筐体上部３Ａ前方でブラケット７の先端
部に設けられた従動プーリ８Ｃとに掛けられた歯付きベ
ルト11には、キャリア載置台５Ａを支承する支承板５Ｂ
が、取付け部５Ｃによって取付けられている。キャリア
載置台５Ａは、図示しないモータによって駆動される駆
動プーリ８Ａの回転により、図８において左側から右方
へ移動し、所定位置でキャリア１が停止するようにして
ある。支承板５Ｂは、図９に示すように、下面両側縁部
に固定されたガイド６、６がガイドレール10、10を跨ぐ
ようにして案内され、上記のように往復動するようにし
てある。

【００３３】次に、図２に示すように、キャリア押え29
が下降して左右の爪29ａ、29ａでキャリア１の上端面両
側縁部を押え、キャリア１を固定する。引続き（同時で
も良い）、左右のウエハ押え16Ｌ、16Ｒが下方内側に移
動してウエハＷを押える。

【００３４】キャリア押え29は、図10に示すように、コ
の字形を呈し、エアシリンダ30の駆動によって上下動す
るようにしてあり、下降時に左右のアーム29ｂ、29ｂに
固定された爪29ａ、29ａが上述のうようにキャリア１を
固定する。

【００３５】ウエハ押え16Ｌ、16Ｒの移動は、図11に示
すように、リンク機構によってなされる。即ち、ウエハ
押え16Ｌ、16Ｒは夫々第一のリンク17Ｌ、17Ｒの上端に
固定されている。そして、第一のリンク17Ｌ、17Ｒの２
箇所に、第二のリンク18Ｌ、18Ｒが軸20Ｌ、20Ｒによ
り、第三のリンク19Ｌ、19Ｒが軸21Ｌ、21Ｒにより、夫
々揺動可能に取付けられる。第二のリンク18Ｌ、18Ｒは
夫々軸22Ｌ、22Ｒによってターンテーブル12に揺動可能
に取付けられる。第三のリンク19Ｌ、19Ｒは、ターンテ
ーブル12を貫通する軸23Ｌ、23Ｒに夫々固定されてい
る。図11では、図１の状態を仮想線で、図２の状態を実
線で示してある（後述の図13も同様）。軸23Ｌ、23Ｒの
回動により、第一、第二、第三のリンク17Ｌ、17Ｒ、18
Ｌ、18Ｒ、19Ｌ、19Ｒが仮想線位置と実線位置との間で
回動し、第一のリンク17Ｌ、17Ｒに固定されたウエハ押
え16Ｌ、16Ｒが円弧運動する。

【００３６】図12は図２の状態における左側リンク機構
の要部概略斜視図である。ターンテーブル12の背面側で
軸24Ｌに取付けた従動平歯車24Ｌの回転により、ウエハ
押え16Ｌが上述のように円弧運動する。ウエハ押え16Ｌ
（16Ｒも同様）の内側には、後述の図６のステップでウ
エハ移動を案内するための溝16ａがウエハの数だけ設け
られていて、溝16ａの下端はウエハの円周に一致する円
弧形としてある。ウエハ押え16Ｌ、16Ｒは、溝16ａの下
端の円弧状底面16ｂでウエハＷを押えるようにしてある
（図２参照）。

【００３７】ウエハ押え16Ｌ、16Ｒは左右対称に設けら
れているので、両者は常に対称に位置する必要がある。
図13はこのうよな運動をさせる伝導機構を示す概略図で
ある。図示しないモータ及び減速機構の駆動によって軸
28が回転し、駆動平歯車27が仮想線と実線との間で回転
する。駆動平歯車27は中間平歯車25及び右側従動平歯車
24Ｒが噛合し、中間平歯車25には左側従動平歯車24Ｒが
噛合している。駆動平歯車27の上記回転により、右側従
動平歯車24Ｒ及び中間平歯車25が夫々軸23Ｒ、26の周囲
で所定角度回転する。かくして、左右の従動平歯車24
Ｌ、24Ｒが同時に同角度だけ互に逆方向に回転する。

【００３８】次に、図８のモータ15を駆動させ、図３に
示すようにターンテーブル12を180度回転させる。この
回転角度は、図示しないフォトセンサによる制御によっ
て正確に180 度になる。これにより、ウエハＷ、キャリ
ア１及びキャリア載置台５Ａが図２とは上下が逆にな
る。このとき、キャリア１はキャリア載置台５Ａとキャ
リア押え29とによって押えられ、ウエハＷはキャリア１
とウエハ押え16Ｌ、16Ｒとによって押えられているの
で、キャリア１及びウエハＷはターンテーブル12に安定
に支持される。これに続いて( 同時でも良い) 、空のボ
ート2 を載置したボート載置台31が、前述した機構によ
って上昇する。

【００３９】次に、前述した機構により、図４に示すよ
うに、リフタ45がボート載置台31の貫通孔31ａを通って
上昇し、リフタ45の上面でウエハＷの周縁の一部を支承
するようになる。

【００４０】次に、図５に示すように、ウエハ押え16
Ｌ、16Ｒが図１におけると同様に退避してウエハＷの支
持を解除する。このとき、ウエハＷはリフタ45に支承さ
れている。

【００４１】次に、図６に示すように、リフタ45が元の
位置に下降する。このとき、ウエハＷは、ウエハ押え16
Ｌ、16Ｒの溝16ａ、16ａに案内されて正確な経路を経て
下降し、ボート２の溝２ａに周縁の一部が嵌入してウエ
ハＷがボート２に収容される。

【００４２】次に、図７に示すように、ボート載置台31
が元の位置に下降し、これにより、ウエハＷを収容した
ボート２も元の位置に下降する。引続き、ターンテーブ
ル12が180 度逆回転し（図３と同方向の回転でも良
い）、更にキャリア押え29がキャリア１の固定を解除す
る。

【００４３】そして、ウエハＷを収容したボート２を撤
去して次工程へ搬送し、代りに空のボートをボート載置
台31に載置させ、空になったキャリア１とウエハを収容
したキャリアとを交換すると、図１の状態に戻る。

【００４４】ボートからキャリアへとウエハを移載する
には、図１〜図７の逆の手順に従えば良い。

【００４５】２個のキャリア間でのウエハ移載の手順
は、基本的には前述のキャリアからボートへのウエハ移
載におけると同様である。ボートはキャリアに較べて高
さ寸法が可なり小さいため、図６のステップでウエハ押
え16Ｌ、16Ｒがガイドとして確実に機能するよう、図３
で説明したようにウエハ移換えに先立ってボートを上昇
させ、図７で説明したように最終ステップでボートを元
の位置に下降させている。従って、キャリア同士間での
ウエハ移載に当たっては、一方のキャリアを上下動させ
る必要がない。図14〜図17はキャリア同士間でのウエハ
移載の手順を示す装置内部の要部正面図である。但し、
図１〜図７と共通する一部のステップは図示省略してあ
る。

【００４６】先ず、図１におけると同様に、ターンテー
ブル12に支持されたキャリア載置台５Ａに、ウエハＷを
収容したキャリア１を載置する。そして、図１のボート
載置台31の代りに別のキャリア載置台62を取付け、キャ
リア載置台62に空のキャリア61を載置する。図14はこの
状態を示している。

【００４７】次に、図２と同様に、キャリア押え29でキ
ャリア１を押え、次いでウエハ押え16Ｌ、16Ｒでウエハ
Ｗを押えてから、図３と同様にターンテーブル12を180
度回転させる。

【００４８】次に、図15に示すように、リフタ45を上昇
させてウエハＷを支持するうようにする。

【００４９】次に、図５におけると同様に、ウエハ押え
によるウエハの支持を解除し、次いで、図17に示すよう
に、リフタ45を元の位置に下降させ、ウエハＷを下のキ
ャリア61に収容する。ウエハＷはキャリア61の溝底面61
ｂに支承される。

【００５０】図15のステップから図17のステップに移行
する過程で、図16に示すように、ウエハ支持を解除した
ウエハ押え16Ｌ、16Ｒの溝16ａ、16ａをウエハＷの周縁
の一部が通過し、溝16ａ、16ａがウエハＷを案内するガ
イドとして機能する。従って、図15から図16を経て図17
に移行する間、ウエハＷは、キャリア１の溝１ａ、１
ａ、ウエハ押え16Ｌ、16Ｒの溝16ａ、16ａ、キャリア61
の溝61ａ、61ａに順次案内されて下降することになり、
正確な位置で下降する。

【００５１】前記のいずれの例にあっても、ウエハを収
容したキャリアを180 度回転させて上下を逆にし、然る
後にリフタに支持されたウエハを下降させ、下で待機し
ている空のボート又はキャリアにウエハを移載するよう
にしている。従って、ウエハは、回転と下降との運動を
するだけであって移動距離が小さく、クランプ等の把持
手段で把持されることがないので、好ましくない塵が発
生してこれがウエハに付着したり、或いはウエハに無理
な力が加わってこれを破損したり、ウエハの微細片を発
生させたりすることがない。また、ウエハは、下降時に
支持解除した１対のウエハ押えの溝に案内されて下降す
るので、装置を高精度にせずとも正確な位置を以て下降
する。装置の製造原価が低廉で済む。更に、ウエハは左
右方向の運動をしないので、装置の幅寸法が小さくて済
み、幅方向の装置占有スペースを小さくできる。

【００５２】図20は他の例によるウエハ移載装置の概略
正面図、図21は同様概略側面図である。この例では、図
21に示すように、上側キャリア載置台62、下側キャリア
載置台63を前後方向に長くし、これら載置台上前後方向
に夫々複数（この例では２個）のキャリア１、１、61、
61を載置し、キャリア１、１内のウエハＷを空のキャリ
ア61、61に同時移載する。空のキャリア61、61に替えて
２個の空のボートを載置し、キャリア−ボート間でウエ
ハ移載を行って良いことは言う迄もない（後述の図22、
図23の例にあっても同様）。ウエハ移載の手順は前記の
例における図１〜図７と同様である。

【００５３】このようにして、ウエハ移載作業の能率を
複数倍（この例では２倍）にし、生産性を著しく高める
ことができる。

【００５４】図22は更に他の例によるウエハ移載装置の
概略正面図、図23は同概略側面図である。この例では、
ターンテーブルに、図１〜図７のターンテーブル12に替
えてこれの約２倍の径のターンテーブル66を使用し、タ
ーンテーブル66に支持されたキャリア載置台５Ａ上のキ
ャリア１内のウエハＷを空のキャリア61に移載する。一
方のキャリア載置台５Ａはターンテーブル66中心の図22
において左側に位置し、空のキャリア61はターンテーブ
ル66の中心に関してキャリア１の対称位置の下方で他方
のキャリア載置台64上に載置される。ターンテーブル66
を180 度回転させることにより、キャリア１は仮想線位
置で上下逆になる。この回転に当っては、キャリア１が
ターンテーブル66の上方で円弧運動するように回転させ
る( この例では時計方向の回転) 。次に、リフタ45によ
って二点鎖線で示すウエハＷをその下方で待機している
空のキャリア61に三点鎖線で示すように移載る。その他
は図１〜図７におけると同様である。

【００５５】この例では、キャリア１の初期状態での鉛
直方向下方に空のキャリア61が位置しておらず、回転方
向が時計方向であり、従って、ターンテーブル回転時に
その駆動から発生する好ましくない塵がウエハやキャリ
アに付着することがない。

【００５６】以上、本発明の実施例を説明したが、本発
明の技術的思想に基いて前記の実施例に種々の変形を加
えることができる。例えば、各駆動部の駆動機構は他の
適宜の機構によって良く、ターンテーブルの回転角度も
180 度以外の適宜の角度とし、リフタに替えて往復同可
能な適宜のウエハ支持手段を使用して良い。ウエハの移
載も、一括して行うほか、何回かに分けて行っても良
い。また、移載すべき板状体は、半導体ウエハのほか、
液晶表示装置用基板（液晶表示パネル）、その他のガラ
ス基板、マスク用基板、コンパクトディスク用やレーザ
ディスク用の無機・有機材料の基板、あるいは金属板の
移載にも同様に本発明が適用可能である。

【００５７】

【発明の効果】本発明に基く板状体移載装置は、第一の
板状体収容具を支持する回転手段に設けられた第一の支
持手段と、往復動可能な第三の支持手段と、この板状体
の運動時に板状体を第二の板状体収容具へ案内する第二
の支持手段とを有するので、板状体は回転運動と前記第
三の支持手段の往復運動に伴う運動のみで第一、第二の
板状体収容具間で移載される。従って、この移載は、移
載能率が高いのみならず、板状体移動距離を小さくして
不所望な塵の発生を少なくし、この塵が板状体に付着し
てその品質を劣化させることが効果的に防止される。そ
の上、板状体を把持する必要がないので、板状体を破損
させるおそれがない。更に、前記第二の支持手段による
板状体の案内により、第一、第二の板状体収容手段の位
置決めのために装置全体を高精度にする必要がなく、そ
の結果、装置の維持管理が容易になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】第一の実施例のウエハ移載装置のウエハ移載の
第一のステップを示す内部概略正面図である。

【図２】同第二のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図３】同第三のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図４】同第四のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図５】同第五のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図６】同第六のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図７】同第七のステップを示す内部概略正面図であ
る。

【図８】同図２のステップでの内部概略側面図である。

【図９】第一の実施例のキャリア載置台支承板の移動の
要領を示す概略部分斜視図である。

【図10】同キャリア押えの上下動の要領を示す概略斜視
図である。

【図11】同ウエハ押えの運動機構を示す概略正面図であ
る。

【図12】同ウエハ押えの運動機構を示す概略部分斜視図
である。

【図13】同左右のウエハ押えを運動させる機構を示す要
部正面図である。

【図14】第二の実施例のウエハ移載装置の図１と同様の
内部概略正面図である。

【図15】同図３と同様の内部概略正面図である。

【図16】同図15のステップから後述の図17のステップに
移行する過程を示す内部概略正面図である。

【図17】同図７と同様の内部概略正面図である。

【図18】キャリアの断面図である。

【図19】ボートの正面図である。

【図20】第三の実施例のウエハ移載装置の概略正面図で
ある。

【図21】同概略側面図である。

【図22】第四の実施例のウエハ移載装置の概略正面図で
ある。

【図23】同概略側面図である。

【図24】従来例のウエハ移載装置の概略正面図である。

【図25】同概略側面図である。

【符号の説明】

１、61 キャリア１ａ、２ａ、16ａ、61ａ、溝１ｂ、２ｂ、16ｂ、61ｂ溝底面２ボート５Ａ、62、63、64 キャリア載置台 12、66 ターンテーブル 16Ｌ、16Ｒウエハ押え兼ガイド 17Ｌ、17Ｒ、18Ｌ、18Ｒ、19Ｌ、19Ｒリンク 29 キャリア押え 30 エアシリンダ 31 ボート載置台 33、48 ボールねじのソケット 36、50 ボールねじ 45、65 リフタ 46、66 リフタ支持板Ｗウエハ

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【手続補正書】

【提出日】平成４年７月６日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項２

【補正方法】変更

【補正内容】

【手続補正３】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３６

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３６】図１２は図２の状態における左側リンク機
構の要部概略斜視図である。ターンテーブル１２の背面
側で軸２３Ｌに取付けた従動平歯車２４Ｌの回転によ
り、ウエハ押え１６Ｌが上述のように円弧運動する。ウ
エハ押え１６Ｌ（１６Ｒも同様）の内側には、後述の図
６のステップでウエハ移動を案内するための溝１６ａが
ウェハの数だけ設けられていて、溝１６ａの下端はウェ
ハの円周に一致する円弧形としてある。ウエハ押え１６
Ｌ、１６Ｒは、溝１６ａの下端の円弧状底面１６ｂでウ
エハＷを押えるようにしてある（図２参照）。

【手続補正４】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００３７

【補正方法】変更

【補正内容】

【００３７】ウエハ押え１６Ｌ、１６Ｒは左右対称に設
けられているので、両者は常に対称に位置する必要があ
る。図１３はこのような運動をさせる伝導機構を示す概
略図である。図示しないモータ及び減速機構の駆動によ
って軸２８が回転し、駆動平歯車２７が仮想線と実線と
の間で回転する。駆動平歯車２７は中間平歯車２５及び
右側従動平歯車２４Ｒが噛合し、中間平歯車２５には左
側従動平歯車２４Ｌが噛合している。駆動平歯車２７の
上記回転により、右側従動平歯車２４Ｒ及び中間平歯車
２５が夫々軸２３Ｒ、２６の周囲で所定角度回転する。
かくして、左右の従動平歯車２４Ｌ、２４Ｒが同時に同
角度だけ互に逆方向に回転する。 ─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成４年７月１３日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】請求項１

【補正方法】変更

【補正内容】

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】板状体を略鉛直に収容する第一及び第二
の板状体収容具間で、前記板状体を移載するのに用いら
れ、前記第一の板状体収容具を着脱可能な状態で一時的に支
持する第一の支持手段と、前記第一の板状体収容具と前記第一の支持手段とを、前
記板状体の板面の法線又はこの法線に平行な軸線の周り
に回転させる回転手段と、この回転手段に支持され、前記第一の板状体収容具内の
前記板状体を一時的に支持し、支持解除し、また案内す
ることができる第二の支持手段と、前記板状体を前記回転手段によって回転させた後、前記
第二の支持手段によって前記第一の板状体収容具内の第
一の支持位置から前記第二の板状体収容具内の第二の支
持位置に前記板状体を移送する、往復動可能な第三の支
持手段とを有する板状体移載装置。
【請求項２】請求項１において、前記第二の板状体収
容具から前記第一の板状体収容具へ前記板状体を移載す
る際、前記第三の支持手段が、前記第二の板状体収容具内の前
記板状体を移送させてこの板状体を前記第一の板状体収
容具内へ導き、前記第二の支持手段が、前記第一の板状体収容具内へ導
かれた前記板状体を支持し、前記第三の支持手段による板状体支持の解除後に、前記
回転手段が前記第一の板状体収容具を所定角度回転させ
る板状体移載装置。