KR101751994B1 - 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터 - Google Patents

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wheel housing
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Abstract

본 발명은 반도체 포드 운반을 위한 캐리어의 하단부에 설치되는 캐스터에 관한 것으로, 바퀴; 상기 바퀴가 회전가능하게 설치되어 상기 바퀴를 구름 가능하게 지지하는 바퀴하우징; 상기 캐리어의 하단부에 고정되는 피벗축이 회전가능하게 구비되어 상기 피벗축을 중심으로 피벗 회전하고, 상기 바퀴하우징이 하부에 결합되어 상기 바퀴하우징과 함께 피벗 회전하면서 상기 바퀴의 방향을 전환시키는 피벗축 하우징; 및 상기 바퀴하우징을 상기 피벗축 하우징에 상하유동 가능하게 결합시키면서 탄성력을 제공하여 상기 바퀴에 가해지는 충격을 완충하는 완충커넥터;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 바퀴하우징이 피벗축 하우징에 상하유동 가능하게 결합되면서 탄성부재에 의해 탄성력이 제공됨에 따라 캐리어의 이송과정에서 발생하는 충격이 완충되므로 충격이나 마찰에 의한 파티클이 최소화될 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터{CASTER FOR CARRIER OF SEMICONDUCTOR POD}
본 발명은 캐리어에 설치되는 캐스터에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 웨이퍼 또는 레티클이 수납되는 포드를 운반하기 위한 캐리어에 설치되어 바퀴에 가해지는 충격을 완충함으로써 운반시 충격이나 마찰에 의해 발생하는 파티클을 최소화시킬 수 있는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터에 관한 것이다.
일반적으로 캐스터(caster)는 수레나 가구 등의 다리 부분에 설치되는 이동용 바퀴를 말한다.
통상적인 수레에 설치되는 캐스터를 살펴보면 도 1의 (가)에 도시된 바와 같이, 지주(1)의 하단에 결합하는 원통형 연결구(102) 하부 개구에 나사공(104)을 형성한 지지판(105) 을 용접하여 결합한 후, 캐스터(103)를 결합하는 축볼트(106)를 나사 결합하여 부착하는 구조를 가진다.
통상적인 캐스터의 또 다른 예를 살펴보면 도 1의 (나)에 도시된 바와 같이, 원통형 연결구(102) 하단에 너트삽치요구(107)를 형성하고, 이에 축볼트(106)에 결합된 너트(108)가 끼워져 설치되는 상태로 원통형 연결구(102) 내에 축볼트(106)를 삽입시킨 후, 원통형 연결구(102) 내부에서 너트(109)로 체결하여 캐스터(103)를 부착하는 구조를 가진다.
그런데, 상기와 같은 종래의 캐스터는 단순히 축볼트(106)를 통해 결합되는 구성일 뿐 충격을 완충할 수 있는 구성이 결여되어 있어서 반도체 포드의 운반과 같이 정밀성을 요하는 운반에는 적합하지 못한 문제점이 있다.
한편, 일반적인 반도체 소자의 제조과정을 살펴보면, 반도체 소자는 웨이퍼 상에 막을 형성시킨 후 원하는 모양으로 패터닝함으로써 제조된다. 패터닝 작업은 주로 포토레지스트를 이용한 사진 식각 공정에서 이루어진다. 사진 식각 공정(Photo lithography)은 웨이퍼 상에 포토레지스트 막을 도포하는 도포 공정으로 시작해 노광, 현상, 에칭, 포토레지스트 제거에 이르는 일련의 프로세스이다.
노광(exposure)이란 포토 마스크(photo mask)를 통해 자외선 영역의 빛을 조사(照射)함으로써 마스크 상의 미세회로 형상(pattern)을 웨이퍼 상에 코팅된 포토레지스트(PR:photoresist)에 전사(轉寫)하는 과정을 말한다. 노광은 전등 아래 손을 대면 바닥에 그림자가 생기는 원리를 이용한다. 여기서 손과 같이 빛을 차단(또는 투과) 하는 역할을 하는 것이 마스크(Mask) 또는 레티클(Raticle)이다. 마스크는 정사각형의 투명한 퀄츠(quartz)에 불투명한 크롬으로 그림 그려져 있는 형태를 가진다.
이러한 반도체 제조공정에서 웨이퍼 및 레티클 등은 웨이퍼 카세트 또는 레티클 박스 등을 포함하는 포드에 수납된 상태로 캐리어에 의해 제조공정상 해당하는 단계로 이송된다.
이때, 캐리어의 이송과정에서 충격이 발생할 경우에는 웨이퍼 또는 레티클과 포드 사이의 마찰에 의해 파티클이 발생하게 되며, 이러한 파티클은 포토 공정 등의 반도체 제조 공정에서 문제를 일으켜 정밀도를 저하시키게 된다.
즉, 종래의 캐리어에 설치되는 캐스터는 이동시 발생하는 충격을 완충할 수 없기 때문에 파티클 발생에 취약한 단점이 있으며, 이에 따라 반도체 포드 운반을 위한 캐리어에는 적용될 수 없는 한계가 있다.
대한민국 등록실용신안공보 제20-0377232호 대한민국 공개특허공보 제10-2007-0001629
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 개선하기 위하여 창출된 것으로, 반도체 포드의 이송과정에서 바퀴를 통해 가해지는 충격을 완충시킴으로써 충격이나 마찰에 의해 발생하는 파티클을 최소화시킬 수 있는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터를 제공하는 것이 그 목적이다.
구체적으로, 본 발명은 바퀴를 상하유동 가능하게 구성하면서 바퀴에 탄성력을 제공하여 충격을 완충시킴과 아울러, 탄성력의 텐션을 조절할 수 있는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터를 제공하는 것이 그 목적이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터는, 반도체 포드 운반을 위한 캐리어의 하단부에 설치되는 캐스터에 있어서, 바퀴; 상기 바퀴가 회전가능하게 설치되어 상기 바퀴를 구름 가능하게 지지하는 바퀴하우징; 상기 캐리어의 하단부에 고정되는 피벗축이 회전가능하게 구비되어 상기 피벗축을 중심으로 피벗 회전하고, 상기 바퀴하우징이 하부에 결합되어 상기 바퀴하우징과 함께 피벗 회전하면서 상기 바퀴의 방향을 전환시키는 피벗축 하우징; 및 상기 바퀴하우징을 상기 피벗축 하우징에 상하유동 가능하게 결합시키면서 탄성력을 제공하여 상기 바퀴에 가해지는 충격을 완충하는 완충커넥터;를 포함하여 구성될 수 있다.
예컨대, 상기 완충커넥터는, 상기 바퀴하우징과 상기 피벗축 하우징을 회전가능하게 연결하여 상기 바퀴하우징의 회동중심을 이루면서 상기 바퀴의 상하유동을 허용하는 힌지축; 상기 피벗축 하우징에 돌출되면서 상기 바퀴하우징의 회전궤적 내에 돌출되는 스토퍼돌기; 상기 바퀴하우징에 구비되어 상기 스토퍼돌기를 수용하고, 상기 바퀴하우징의 회동에 따라 상기 스토퍼돌기에 걸리면서 상기 바퀴하우징의 회동범위를 제한하는 스토퍼홀더; 및 상기 바퀴하우징과 상기 피벗축 하우징의 사이에 개재되어 탄성력을 제공하면서 상기 바퀴의 상하유동에 따른 충격을 완충시키는 탄성부재;를 포함하여 구성될 수 있다.
예컨대, 상기 탄성부재는, 상기 힌지축의 길이방향을 따라 끼워진 상태로 결합되고, 상기 바퀴하우징에 일단부가 걸려 지지된 상태로 상기 피벗축 하우징에 타단부가 걸려 지지되고, 상기 바퀴하우징의 상하유동에 따라 일단부가 타단부측으로 오므라지거나 타단부의 반대편으로 벌어지는 토션스프링;을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 상기 탄성부재는, 상기 토션스프링의 일단부 또는 상기 토션스프링의 타단부를 가압하면서 상기 토션스프링의 탄성력을 조절하는 텐셔너;를 더 포함하여 구성될 수 있다.
예컨대, 상기 텐셔너는, 상기 토션스프링의 타단부에 끼워져 걸린 상태로 상기 토션스프링의 타단부와 함께 이동하는 걸림블록; 및 상기 걸림블록에 공회전가능하게 결합된 상태로 돌출되어 상기 피벗축 하우징에 나사결합되고, 회전에 의해 상기 걸림블록을 이동시키면서 상기 토션스프링의 타단부를 가압하는 가압스크루;를 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터에 따르면, 바퀴하우징이 피벗축 하우징에 상하유동 가능하게 결합되면서 탄성부재에 의해 탄성력이 제공됨에 따라 캐리어의 이송과정에서 발생하는 충격이 완충되므로 충격이나 마찰에 의한 파티클이 최소화될 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 탄성부재를 구성하는 토션스프링의 탄성력을 조절할 수 있는 텐셔너가 마련되므로 바닥상태나 이송중량에 따라 탄성력을 조절하여 사용할 수 있다.
도 1은 종래의 통상적인 캐스터를 나타내는 구성도.
도 2는 본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터를 나타내는 종단면도.
도 3은 도 2에 도시된 캐스터를 나타내는 횡단면도.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터의 작동상태를 나타내는 종단면도.
이하에서 첨부 도면을 참고하여 본 발명의 실시예에 대해서 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지의 범용적인 기능 또는 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.
본 발명의 개념에 따른 실시 예는 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본 명세서 또는 출원에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명의 개념에 따른 실시 예를 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터(10)는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어(1)의 하단에 설치되는 것으로, 구체적인 구성으로는 도 2에 도시된 바와 같이 바퀴(100), 바퀴하우징(200), 피벗축 하우징(300) 및 완충커넥터(400)를 포함하여 구성될 수 있다.
바퀴(100)는 후술되는 바퀴하우징(200) 및 피벗축 하우징(300)을 통해 캐리어(1)의 하단에 부착되어 지면에 지지되면서 캐리어(1)의 이동을 가능하게 하는 것으로, 캐리어(1)의 크기나 형태에 따라 복수로 설치된다.
이러한 바퀴(100)는 예컨대, 진동흡수성이 뛰어난 실리콘재로 구성될 수 있으며, 이와 달리 정전기 발생을 방지하도록 제전성 처리가 된 우레탄재로 제작될 수도 있다.
바퀴하우징(200)은 바퀴(100)를 회전가능하게 지지하면서 바퀴(100)와 함께 상하유동하는 구성요소이다.
이러한 바퀴하우징(200)은 도 3에 도시된 바와 같이 바퀴(100)를 구성하는 휠축(110)의 양측에 결합된 상태로 바퀴(100)의 일측 상부로 연장되며, 후술되는 완충커넥터(400)를 통해 피벗축 하우징(300)에 상하유동 가능하게 결합되어 바퀴(100)와 함께 상하 유동하면서 충격을 완충시킨다.
한편, 바퀴하우징(200)에는 도 2에 도시된 바와 같이 브레이크(250)가 설치될 수도 있다.
브레이크(250)는 바퀴하우징(200)에 회전가능하게 설치된 상태로 사용자의 가압에 의해 회전하여 바퀴(100)에 밀착되면서 바퀴(100)의 회전을 구속시킨다.
즉, 브레이크(250)는 평상시에는 도 2에 도시된 바와 같이 바퀴(100)와 분리된 상태를 이루며, 작동시에는 회전에 의해 하강하여 바퀴(100)에 밀착된다.
피벗축 하우징(300)은 바퀴(100)의 방향전환이 가능하도록 바퀴하우징(200)을 피벗회전이 가능하게 캐리어(1)에 결합시키는 구성요소이다.
구체적으로, 피벗축 하우징(300)은 도 2에 도시된 바와 같이 캐리어(1)의 하단에 일체적으로 고정되는 피벗축(310)이 회전가능하게 구비되는 동시에 후술되는 완충커넥터(400)에 의해 바퀴하우징(200)이 하부에 결합됨에 따라 바퀴하우징(200)과 함께 피벗회전한다.
즉, 바퀴(100)는 바퀴하우징(200)에 결합된 상태로 구르면서 바퀴하우징(200)이 피벗축 하우징(300)과 함께 피벗축(310)을 중심으로 피벗회전함에 따라 방향이 전환된다.
완충커넥터(400)는 바퀴하우징(200)을 피벗축 하우징(300)에 연결하면서 상하유동이 가능한 상태로 연결하여 바퀴(100)의 상하유동을 허용함과 아울러, 탄성력을 제공함으로써 바퀴(100)에 가해지는 충격을 완충시키는 구성요소이다.
즉, 완충커넥터(400)는 바퀴(100)에 탄성력을 부여하면서 바닥상태에 따라 바퀴(100)를 상하유동시킴으로써 바닥면에 의한 충격이 반도체 포드에 전달되지 않도록 하는 구성요소이다.
이러한 완충커넥터(400)의 세부구성은 도 2에 도시된 바와 같이 힌지축(410), 스토퍼돌기(420), 스토퍼홀더(430) 및 탄성부재(500)를 포함하여 구성될 수 있다.
힌지축(410)은 바퀴하우징(200)과 피벗축 하우징(300)을 관통하면서 고정되어 바퀴하우징(200)과 피벗축 하우징(300)을 회전가능하게 연결한다.
힌지축(410)은 바퀴하우징(200)의 회동중심을 이루면서 바퀴(100)의 상하유동을 가능하게 한다.
즉, 바퀴(100)는 바퀴하우징(200)과 함께 힌지축(410)을 중심으로 회전하여 왕복운동하면서 상하유동한다.
스토퍼돌기(420)는 후술되는 스토퍼홀더(430)와 함께 바퀴하우징(200)의 회동범위를 제한하는 구성요소이다.
구체적으로, 스토퍼돌기(420)는 도 2에 도시된 바와 같이 피벗축 하우징(300)에 돌출형성되면서 힌지축(410)을 중심으로 하는 바퀴하우징(200)의 회전궤적 내에 배치된다.
스토퍼홀더(430)는 도 2에 도시된 바와 같이 바퀴하우징(200)에 홈형태로 형성되어 스토퍼돌기(420)를 수용하며, 바퀴하우징(200)의 회동에 따라 양단부가 스토퍼돌기(420)에 걸리면서 바퀴하우징(200)의 회동범위를 제한한다.
즉, 바퀴(100)는 바퀴하우징(200)과 함께 힌지축(410)을 중심으로 회전하여 상하유동하면서 바퀴하우징(200)의 스토퍼홀더(430)가 피벗축 하우징(300)의 스토퍼돌기(420)에 걸림에 따라 상하유동 범위가 제한된다.
따라서, 바퀴(100)는 스토퍼홀더(430)의 길이에 해당하는 범위에서만 상하유동한다.
탄성부재(500)는 바퀴하우징(200)과 피벗축 하우징(300)의 사이에 개재된 상태로 탄성력을 제공하면서 바퀴하우징(200)과 함께 상하유동하는 바퀴(100)의 충격을 완충하는 구성요소이다.
이러한 탄성부재(500)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 토션스프링(510)을 포함하여 구성될 수 있다.
토션스프링(TORSION SPRING)은 알려진 바와 같이 스프링의 비트림을 이용하여 요구하는 탄성력을 얻는 스프링이다.
구체적으로, 토션스프링(510)은 도 2에 도시된 바와 같이 힌지축(410)의 길이방향을 따라 끼워져 결합되며, 일단부(511)가 바퀴하우징(200)에 걸려 지지된 상태로 타단부(512)가 피벗축 하우징(300)에 걸려 지지되어 바퀴하우징(200)과 피벗축 하우징(300)의 사이에서 탄성력을 제공한다.
즉, 토션스프링(510)은 도 2에 도시된 바와 같이 일단부(511)가 타단부(512)의 반대편으로 벌어지는 형태로 탄성력을 제공하면서 바퀴하우징(200) 및 바퀴(100)를 하강시킨 상태로 지지하며, 도 4에 도시된 바와 같이 바퀴(100) 및 바퀴하우징(200)이 상승함에 따라 일단부(511)가 타단부(512)측으로 오므라지면서 탄성력을 제공하여 충격을 완충한다.
한편, 본 발명의 탄성부재(500)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 텐셔너(520)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
텐셔너(520)는 토션스프링(510)의 타단부(512) 또는 일단부(511)를 가압하면서 토션스프링(510)의 탄성력을 조절하는 구성요소이다.
이러한 텐셔너(520)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 걸림블록(521) 및 가압스크루(522)를 포함하여 구성될 수 있다.
걸림블록(521)는 토션스프링(510) 타단부(512)의 걸림부위를 제공하면서 후술되는 가압스크루(522)에 의해 토션스프링(510)의 타단부(512)와 함께 이동하는 부재이다.
이러한 걸림블록(521)은 관체형으로 형성되어 토션스프링(510)의 타단부(512)가 끼워져 걸리며, 피벗축 하우징(300)의 벽면에 대면한 상태로 배치된다.
가압스크루(522)는 회전에 의해 전후진하면서 걸림블록(521)을 이동시켜 토션스프링(510)의 타단부(512)를 가압함으로써 토션스프링(510)의 탄성력을 조절하는 구성요소이다.
구체적으로, 가압스크루(522)는 도 3에 도시된 바와 같이 걸림블록(521)의 일측에 공회전가능하게 결합되면서 피벗축 하우징(300)측으로 돌출되어 피벗축 하우징(300)에 관통상태로 나사결합되며, 회전에 의해 전후진하면서 걸림블록(521)을 이동시켜 토션스프링(510)의 타단부(512)를 일단부(511)측으로 오므리거나 일단부(511)의 반대편으로 벌리면서 토션스프링(510)의 탄성력을 조절한다.
여기서, 가압스크루(522)는 걸림블록(521)에 형성되는 미도시된 안착홈에 안착된 상태로 공회전하면서 걸림블록(521)을 이동시킬 수 있으며, 미도시된 베어링을 매개로 공회전가능하게 걸림블록(521)에 결합될 수도 있다.
이러한 가압스크루(522)는 사용자의 공구가 결합되기 위한 미도시된 결합홈이 형성되어 사용자의 제어에 의해 회전하면서 토션스프링(510)의 타단부(512)를 가압한다.
즉, 토션스프링(510)은 도 5의 (a)에 도시된 바와 같이 가압스크루(522)가 조여질 경우에는 타단부(512)가 걸림블록(521)과 함께 일단부(511)측으로 오므라짐에 따라 탄성력이 감소하며, 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 가압스크루(522)가 풀어질 경우에는 타단부(512)가 걸림블록(521)과 함께 일단부(511)의 반대편으로 벌어짐에 따라 탄성력이 증가한다.
여기서, 토션스프링(510)은 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍으로 구성되어 대칭상태를 이루면서 힌지축(410)에 결합되는 것이 바람직하며, 한 쌍의 토션스프링(510)의 타단부(512)가 각각 걸림블록(521)의 양측에 끼워져 걸리는 것이 바람직하다.
이에 따라, 토션스프링(510)은 바퀴하우징(200)과 피벗축 하우징(300)의 사이를 좀 더 견고하게 지지하면서 탄성력을 제공함으로써 바퀴(100)의 충격을 원활하게 완충할 수 있다.
또한, 가압스크루(522)는 도 3에 도시된 바와 같이 한 쌍을 이루면서 걸림블록(521)에 결합되는 것이 바람직하다.
즉, 가압스크루(522)는 한 쌍의 토션스프링(510)에 각각 대응하도록 구성될 수 있으며, 이에 따라 토션스프링(510)들의 탄성력을 각각 조절할 수 있다.
이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터(10)는 바퀴하우징(200)이 피벗축 하우징(300)에 상하유동 가능하게 결합되면서 토션스프링(510)에 의해 탄성력이 제공됨에 따라 캐리어(1)의 이송과정에서 발생하는 충격이 완충되므로 충격이나 마찰에 의한 파티클이 최소화될 수 있으며, 특히 토션스프링(510)의 탄성력을 조절할 수 있는 텐셔너(520)가 마련되므로 바닥상태나 이송중량에 따라 탄성력을 조절하여 사용할 수 있다.
이상에서 본 발명의 구체적인 실시예를 예로 들어 설명하였으나, 이들은 단지 설명의 목적을 위한 것으로 본 발명의 보호 범위를 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자에게 자명할 것이다.
10 : 캐스터
100 : 바퀴
200 : 바퀴하우징
250 : 브레이크
300 : 피벗축 하우징
310 : 피벗축
400 : 완충커넥터
410 : 힌지축
420 : 스토퍼돌기
430 : 스토퍼홀더
500 : 탄성부재
510 : 토션스프링
511 : 일단부
512 : 타단부
520 : 텐셔너
521 : 걸림블록
522 : 가압스크루

Claims (5)

  1. 반도체 포드 운반을 위한 캐리어의 하단부에 설치되는 캐스터에 있어서,
    바퀴;
    상기 바퀴가 회전가능하게 설치되어 상기 바퀴를 구름 가능하게 지지하는 바퀴하우징;
    상기 캐리어의 하단부에 고정되는 피벗축이 회전가능하게 구비되어 상기 피벗축을 중심으로 피벗 회전하고, 상기 바퀴하우징이 하부에 결합되어 상기 바퀴하우징과 함께 피벗 회전하면서 상기 바퀴의 방향을 전환시키는 피벗축 하우징; 및
    상기 바퀴하우징을 상기 피벗축 하우징에 상하유동 가능하게 결합시키면서 탄성력을 제공하여 상기 바퀴에 가해지는 충격을 완충하는 완충커넥터를 포함하여 구성되고;
    상기 완충커넥터는,
    상기 바퀴하우징과 상기 피벗축 하우징을 회전가능하게 연결하여 상기 바퀴하우징의 회동중심을 이루면서 상기 바퀴의 상하유동을 허용하는 힌지축,
    상기 피벗축 하우징에 돌출되면서 상기 바퀴하우징의 회전궤적 내에 돌출되는 스토퍼돌기,
    상기 바퀴하우징에 구비되어 상기 스토퍼돌기를 수용하고, 상기 바퀴하우징의 회동에 따라 상기 스토퍼돌기에 걸리면서 상기 바퀴하우징의 회동범위를 제한하는 스토퍼홀더, 및
    상기 바퀴하우징과 상기 피벗축 하우징의 사이에 개재되어 탄성력을 제공하면서 상기 바퀴의 상하유동에 따른 충격을 완충시키는 탄성부재를 포함하며,
    상기 탄성부재는,
    상기 힌지축의 길이방향을 따라 끼워진 상태로 결합되고, 상기 바퀴하우징에 일단부가 걸려 지지된 상태로 상기 피벗축 하우징에 타단부가 걸려 지지되고, 상기 바퀴하우징의 상하유동에 따라 일단부가 타단부측으로 오므라지거나 타단부의 반대편으로 벌어지는 토션스프링과,
    상기 토션스프링의 일단부 또는 상기 토션스프링의 타단부를 가압하면서 상기 토션스프링의 탄성력을 조절하는 텐셔너를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 텐셔너는,
    상기 토션스프링의 타단부에 끼워져 걸린 상태로 상기 토션스프링의 타단부와 함께 이동하는 걸림블록; 및
    상기 걸림블록에 공회전가능하게 결합된 상태로 돌출되어 상기 피벗축 하우징에 나사결합되고, 회전에 의해 상기 걸림블록을 이동시키면서 상기 토션스프링의 타단부를 가압하는 가압스크루;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 포드 운반을 위한 캐리어용 캐스터.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003243473A (ja) * 2002-02-15 2003-08-29 Nec Electronics Corp 半導体基板用キャリアの搬送台車

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