KR20180003639A - 카세트 장치, 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 - Google Patents

카세트 장치, 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 Download PDF

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Abstract

카세트 장치는, 기판의 공급 및 회수 중 일방을 행하는 제1 유닛부와, 상기 기판의 공급 및 회수 중 타방을 행하는 제2 유닛부를 가지며, 상기 제1 유닛부 및 상기 제2 유닛부는, 서로 접근 또는 이간 가능하다.

Description

카세트 장치, 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법{CASSETTE APPARATUS, SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD}
본 발명은, 카세트 장치, 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법에 관한 것이다.
본원은, 2012년 4월 13일에 출원된 일본특허출원 2012－092132호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.
디스플레이 장치 등의 표시 장치(표시 패널)를 구성하는 표시 소자로서, 예를 들면 액정 표시 소자, 유기 일렉트로 루미네선스 발광(유기 EL) 소자가 알려져 있다. 현재, 이들 표시 소자에서는, 각 화소에 대응하여 기판 표면에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor：TFT)를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류가 되고 있다.
최근에는, 가요성을 가지는 시트 모양의 기판(예를 들면 필름 부재 등) 상에 표시 소자를 형성하는 기술이 제안되어 있다. 이러한 기술로서, 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 간단하게 「롤 방식」으로 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허 문헌 1 참조). 롤 방식은, 기판 공급측의 공급용 롤러에 감겨진 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)을 송출함과 아울러 송출된 기판을 기판 회수측의 회수용 롤러에서 권취하면서, 공급용 롤러와 회수용 롤러와의 사이에 설치된 처리 장치에 의해, 기판 상에 표시 패널이나 태양 전지 패널 등의 전자 디바이스를 형성하기 위한 원하는 가공 처리를 실시해 가는 것이다.
그리고, 기판이 송출되고나서 권취될 때까지의 사이에, 예를 들면 복수의 반송 롤러 등을 이용하여 기판이 반송되고, 표시 패널의 생산의 경우는, 복수의 처리 장치(유닛)를 이용하여 TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성하며, 기판의 피처리면 상에 표시 소자의 구성요소를 순차적으로 형성한다. 예를 들면, 유기 EL 소자를 형성하는 경우에는, 발광층, 양극, 음극, 전기 회로 등을 기판 상에 순차적으로 형성한다.
특허 문헌 1 : 국제공개 제2006/100868호
그렇지만, 상기의 구성에서는, 송출되고나서 권취될 때까지의 동안, 기판은, 복수의 처리 장치에 걸쳐 놓여지기 때문에, 기판의 전체 길이가 길게 되어, 기판의 관리가 곤란하게 되는 경우가 있다.
본 발명의 형태는, 반송시에서의 기판의 관리 부담을 저감할 수 있는 카세트 장치, 기판 반송 장치 및 기판 처리 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1 형태에 따르면, 기판의 공급 및 회수 중 일방을 행하는 제1 유닛부와, 기판의 공급 및 회수 중 타방을 행하는 제2 유닛부를 가지며, 제1 유닛부 및 제2 유닛부는, 서로 접근 또는 이간(離間) 가능한 카세트 장치가 제공된다.
본 발명의 제2 형태에 따르면, 제1 이동 경로를 이동 가능하게 마련되며, 기판의 공급 및 회수 중 일방을 행하는 제1 유닛부와, 제2 이동 경로를 이동 가능하게 마련되며, 기판의 공급 및 회수 중 타방을 행하는 제2 유닛부와, 제1 이동 경로와 제2 이동 경로와의 사이에 배치된 제1 기판 처리부에 대해, 제1 유닛부를 제어하여 기판의 공급 및 회수 중 일방을 행하게 함과 아울러, 제2 유닛부를 제어하여 기판의 공급 및 회수 중 타방을 행하게 하는 제어부를 가지며, 제어부는, 제1 이동 경로와 제2 이동 경로와의 사이에 배치되고, 또한 제1 기판 처리부와는 다른 제2 기판 처리부에 대해서, 제1 유닛부 및 제2 유닛부를 이동하고, 제1 유닛부를 제어하여 기판의 공급 및 회수 중 타방을 행하게 함과 아울러, 제2 유닛부를 제어하여 상기 기판의 공급 및 회수 중 일방을 행하게 하는 기판 반송 장치가 제공된다.
본 발명의 제3 형태에 따르면, 제1 이동 경로와 제2 이동 경로와의 사이에 배치되고, 가요성을 가지는 기판에 대해서 처리를 행하는 복수의 처리부와, 본 발명의 제2 형태에 따른 기판 반송 장치를 구비하는 기판 처리 장치가 제공된다.
본 발명의 제4 형태에 따르면, 가요성을 가지는 장척(長尺)의 기판을 복수의 처리 장치에 순차적으로 보내어, 상기 기판 상에 전자 디바이스를 형성하기 위한 처리 방법으로서, 제1 기판 처리부에 공급해야 할 상기 기판이 장척 방향으로 감겨진 공급 롤을 포함하는 제1 유닛부와, 상기 제1 기판 처리부로부터 회수해야 할 상기 기판이 장척 방향으로 감겨지는 회수 롤을 포함하는 제2 유닛부를, 상기 제1 기판 처리부를 사이에 두도록 배치하고, 상기 공급 롤로부터 공급되는 상기 기판을 상기 제1 기판 처리부에 의해서 처리하여 상기 회수 롤에서 회수하는 제1 처리 공정과, 상기 공급 롤과 상기 회수 롤의 사이의 상기 기판이 상기 제1 기판 처리부로부터 떨어지는 제1 방향을 따라서, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를 함께 이동시키는 제1 이동 공정과, 상기 공급 롤과 상기 회수 롤의 상기 장척 방향의 간격을 좁히기 위해, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부 중 적어도 일방을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라서 이동시키는 제2 이동 공정과, 상기 제1 방향의 병진(竝進) 운동, 상기 제2 방향의 병진 운동, 상기 제1 방향과 제2 방향을 포함하는 면내에서의 회전 운동 중, 적어도 두 개의 운동을 동반하여, 소정 간격으로 대향한 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를, 상기 제1 기판 처리부와 다른 제2 기판 처리부를 향해서 함께 이동시키는 제3 이동 공정을 포함하는 기판 처리 방법이 제공된다.
본 발명의 형태에 따르면, 반송시에서의 기판의 관리 부담을 저감할 수 있다.
도 1은 제1 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 실시 형태에 관한 제1 유닛부측의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 3은 본 실시 형태에 관한 카세트 장치의 일부 구성을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 실시 형태에 관한 제2 유닛부측의 구성을 나타내는 분해 사시도이다.
도 5는 본 실시 형태에 관한 카세트 장치의 구성을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 실시 형태에 관한 처리부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 10은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 11은 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 12는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 동작의 일 형태를 나타내는 도면이다.
도 13은 제2 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 14는 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치의 일부의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 15는 본 실시 형태에 관한 리프트부의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 16은 기판 처리 장치의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 17은 기판 처리 장치의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 18은 기판 처리 장치의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 19는 기판 처리 장치의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 20은 기판 처리 장치의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 21은 기판의 다른 구성을 나타내는 도면이다.
도 22는 기판 처리 장치의 다른 구성과 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 23은 도 22의 기판 처리 장치의 다음의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 24는 도 23의 기판 처리 장치의 다음의 동작 상태를 나타내는 도면이다
도 25는 도 24의 기판 처리 장치의 다음의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 26은 도 25의 기판 처리 장치의 다음의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
도 27은 도 26의 기판 처리 장치의 다음의 동작 상태를 나타내는 도면이다.
[제1 실시 형태]
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 제1 실시 형태를 설명한다. 　
도 1은, 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(기판 반송 장치)(100)의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(100)는, 가요성을 가지는 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름 부재)(S)에 대해서 소정의 처리를 행하는 처리부(제1 기판 처리부, 제2 기판 처리부)(10)와, 기판(S)을 반송하는 반송부(카세트 장치)(20)와, 처리부(10) 및 카세트 장치(20)를 통괄적으로 제어하는 제어부(CONT)를 가진다. 기판 처리 장치(100)는, 예를 들면 제조 공장의 바닥면(FL) 상에 마련되어 있다.
기판 처리 장치(100)는, 기판(S)의 처리면(표면)에 각종 처리를 실행하는 롤·투·롤 방식(이하, 간단하게 「롤 방식」으로 표기함)의 장치이다. 기판 처리 장치(100)는, 기판(S) 상에 예를 들면 유기 EL 소자, 액정 표시 소자 등의 표시 소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용된다. 물론, 이들 소자 이외의 소자(예를 들면, 솔라 셀(solar cell), 컬러 필터, 터치 패널 등)을 형성하는 시스템에서 기판 처리 장치(100)를 이용해도 괜찮다.
이하, 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(100)의 구성을 설명함에 있어서, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해 설명한다. 이하의 도면에서는, XYZ 직교 좌표계 중 바닥면(FL)에 평행한 평면을 XY 평면으로 하고 있다. XY 평면 중 기판(S)이 이동하는 방향을 Y축 방향으로 하고, Y축 방향에 직교하는 방향을 X축 방향으로 하고 있다. 또, 바닥면(FL)(XY 평면)에 수직인 방향을 Z축 방향으로 하고 있다. 또, Z축 둘레의 방향을 θZ축 방향으로 표기한다.
기판 처리 장치(100)에서 처리 대상이 되는 기판(S)으로서는, 예를 들면 수지 필름이나 스테인리스강 등의 박(箔)(호일)을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지 필름은, 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스틸렌 수지, 초산비닐수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프타 레이트, 스테인리스박 등의 재료를 이용할 수 있다.
기판(S)의 단척(短尺) 방향의 치수는 예를 들면 50cm ~ 2m 정도로 형성되어 있고, 장척(長尺) 방향의 치수(1롤분(roll分)의 치수)는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 지나지 않으며, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 기판(S)의 단척 방향의 치수가 1m 이하, 또는 50cm 이하라도 괜찮고, 2m 이상이라도 괜찮다. 또, 기판(S)의 장척 방향의 치수가 10m 이하라도 괜찮다.
기판(S)은, 예를 들면 1mm 이하의 두께를 가지며, 가요성을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중 정도의 소정의 힘을 가해도 전단(剪斷)하거나 파단하거나 하지는 않고, 상기 기판을 휘게 하는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은, 상기 기판의 재질, 크기, 두께, 온도, 또는 주위의 온도, 습도 등의 환경 등에 따라 변한다. 또, 기판(S)으로서는, 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 좋지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성으로 해도 괜찮다.
기판(S)은, 비교적 고온(예를 들면 200℃ 정도)의 열을 받아도 치수가 실질적으로 변하지 않는(열변형이 작은) 것과 같은 열팽창 계수가 비교적 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기 필러를 수지 필름에 혼합하여 열팽창 계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.
기판 처리 장치(100)는, 디바이스 제조의 공장 내에 설치된다. 공장 내의 바닥면(FL)에는, 가이드 레일(제1 이동 경로, 제2 이동 경로)(30)이 형성되어 있다. 가이드 레일(30)은, 제1 레일(31), 제2 레일(32) 및 제3 레일(33)을 가진다. 제1 레일(31) 및 제2 레일(32)은, 복수의 처리부의 배열 방향(X축 방향)으로 연장하도록 형성되어 있다. 또, 제1 레일(31)은, Y축 방향에 관해서, 처리부(10)의 일방측에 배치되고, 제2 레일(32)은, Y축 방향에 관해서, 처리부(10)의 타방측에 배치된다. 즉, 제1 레일(31) 및 제2 레일(32)은, 처리부(10)를 Y축 방향으로 사이에 두는 위치에 마련되어 있다. 제3 레일(33)은, X축 방향에서 복수의 처리부(10)의 사이에 각각 배치되어 있다. 제3 레일(33)은, Y축 방향으로 평행하게 형성되어 있으며, 제1 레일(31)과 제2 레일(32)을 접속하고 있다. 제1 레일(31), 제2 레일(32) 및 제3 레일(33)에는, 예를 들면 X좌표나 Y좌표 등의 위치 정보가 설정되어 있다. 상기 위치 정보는, 광 센서나 자기(磁氣) 센서 등의 센서에 의해서 읽어낼 수 있도록 각 레일에 형성되어 있다.
기판 처리 장치(100)는, 카세트 장치(20)를 구비한다. 이 카세트 장치(20)는, 기판(S)의 공급 및 회수 중 일방을 행하는 제1 유닛부(21)와, 기판(S)의 공급 및 회수 중 타방을 행하는 제2 유닛부(22)를 가진다. 그리고, 기판(S)은, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 일방측으로부터 타방측으로 반송된다.
제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)는, 각각 복수 준비되어 있다. 바닥면(FL)에는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22) 중 적어도 일방을 대기시키는 버퍼(buffer)부(BF)가 마련되어 있다. 이 버퍼부(BF)에, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 대기시키는 것이 가능하다. 버퍼부(BF)는, 가이드 레일(30)의 일부를 매개로 하여 제1 레일(31), 제2 레일(32) 또는 제3 레일(33)에 접속되어 있다.
도 2는, 카세트 장치(20) 중, 제1 유닛부(21)측의 구성을 나타내는 분해 사시도이다. 도 3은, 카세트 장치(20)의 일부의 구성을 나타내는 도면이다. 이하, 설명의 편의상, 도 2 및 도 3에서의 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 표시를 도 1에 대응시키는 것으로 한다.
카세트 장치(20)는, 제1 유닛부(21)를 제2 유닛부(22)에 대해서, 이동시키는 이동 기구(24)를 구비한다. 이동 기구(24)는, 제1 유닛부(21)를 이동시키는 이동부(제1 이동부)(42)를 구비한다. 또, 카세트 장치(20)는, 후술하는 이동부측 통신부(44) 및 접촉 억제부(47)를 가진다.
제1 유닛부(21)는, 제1 벽부(40a), 제2 벽부(40b), 저부(40c) 및 외부 접속부(40d)를 가진다. 또, 제1 유닛부(21)에는, 배터리 등의 전원부(미도시)가 마련되어 있다.
제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)는, 각각 판 모양으로 형성되어 있다. 제1 벽부(40a)는, 예를 들면 -X축측의 단부에 배치되어 있다. 제2 벽부(40b)는, 예를 들면 ＋X축측의 단부에 배치되어 있다. 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)는, 서로 평행하게 배치되어 있다. 또, 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)가, 도어 모양으로 형성되어 있어도 괜찮다.
저부(40c)는, XY 평면(바닥면(FL))에 평행하게 형성되어 있으며, 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)를 연결하고 있다. 외부 접속부(40d)는, 예를 들면, X축 방향으로 연장하는 원기둥의 막대 모양 부재로 형성되고, 제1 유닛부(21)의 ＋Y축측 단부에 마련되어 있다. 제1 유닛부(21)의 ＋Y축측 단부는, 외부의 반송 기구에 접속되는 접속부로서 기능을 한다. 외부 접속부(40d)는, 제1 유닛부(21)의 높이 방향(Z축 방향)의 예를 들면 2개소에 마련되어 있다.
제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b) 중, 접속부측의 각부(角部)에는, 각각 노치부(40f)가 형성되어 있다. 노치부(40f)는, 외부 구조물에 맞닿을 수 있도록 마련되어 있다. 노치부(40f)를 외부 구조물에 맞닿게 하는 것에 의해, 제1 유닛부(21)와 상기 외부 구조물과의 사이에서 위치 결정이 행해진다. 또, 도 2에서 노치부(40f)는 ＋Y축측 단부에 형성되어 있지만, 예를 들면 -Y축측 단부에 노치부(40f)가 마련된 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 노치부(40f)를 처리부(10)의 일부에 맞닿게 함으로써, 제1 유닛부(21)와 처리부(10)와의 사이에서 위치 결정을 행할 수 있다.
제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)의 -Y축측의 단부에는, 각각 제1 접속부(23a)가 형성되어 있다. 제1 유닛부(21)는, 상기 제1 접속부(23a)를 매개로 하여 제2 유닛부(22)에 접속된다. 제1 접속부(23a)로서는, 예를 들면 착탈 상태를 자동으로 전환 가능한 구성, 예를 들면 전자석 등이 이용되고 있다.
제1 유닛부(21)는, 기판을 수용하는 제1 수용부(40)를 가진다. 이 제1 수용부(40)에는, 기판(S)이 감겨진 기판 공급 롤러(공급 롤)(41c)가 장착되는 기판 구동부(제1 기판 구동부)(41)가 마련된다. 기판 구동부(41)는, 기판(S)을 회전시키는 것에 의해서, 제2 유닛부(22)측으로 기판(S)을 공급하는 공급 동작을 행한다. 기판 구동부(41)는, 축부(제1 축부)(41a) 및 회전 구동부(제1 구동부)(41b)를 가진다. 축부(41a)는, 원통 모양 또는 원기둥 모양으로 형성되어 있으며, 신축 가능하게 구성되어 있다. 축부(41a)가 신축하는 것에 의해서, 제1 벽부(40a)와 제2 벽부(40b)의 사이로부터 뗄 수 있고, 기판 공급 롤러(41c)의 장착이 가능하게 된다. 축부(41a)는, 예를 들면 중심축의 축선 방향이 X축 방향으로 평행이 되도록 배치되어 있다. 축부(41a)의 일방의 단부는, 제1 유닛부(21)의 제2 벽부(40b)에 의해서 원주 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 축부(41a)에는, 기판 공급 롤러(41c)의 단부를 유지할 수 있는 유지부(미도시)가 마련되어 있다. 회전 구동부(41b)는, 축부(41a)를 회전시킨다. 회전 구동부(41b)가 축부(41a)를 회전시킴으로써, 기판(S)의 공급 동작(송출 동작)이 가능하게 되어 있다.
제1 수용부(40)에는, 보호 기판 공급 롤러(48c)가 장착되는 보호 기판 구동부(제1 보조부)(48)가 마련된다. 보호 기판 공급 롤러(48c)에는, 기판(S)의 피처리면을 덮는 보호 기판(보호 필름)(C)이 감겨져 있다. 보호 기판 구동부(48)는, 보호 기판 공급 롤러(48c)를 회전시키는 것에 의해서, 제2 유닛부(22)측에 보호 기판(C)을 공급하는 공급 동작을 행한다. 보호 기판(C)은, 기판(S)의 피처리면을 덮음으로써 상기 피처리면을 보호한다. 보호 기판(C)은, 기판(S)과 마찬가지로 가요성을 가지는 재료를 이용하여 띠 모양으로 형성되어 있고, 기판(S)과 거의 동일한 치수를 가진다.
보호 기판 구동부(48)는, 축부(48a) 및 회전 구동부(48b)를 가진다. 축부(48a)는, 원통 모양 또는 원기둥 모양으로 형성되어 있고, 신축 가능하게 구성되어 있다. 축부(48a)가 신축하는 것에 의해서, 제1 벽부(40a)와 제2 벽부(40b)의 사이로부터 뗄 수 있고, 보호 기판 공급 롤러(48c)의 장착이 가능하게 된다. 축부(48a)는, 예를 들면 중심축의 축선 방향이 X축 방향으로 평행이 되도록 배치되어 있다. 즉, 축부(41a) 및 축부(48a)는, 중심축의 축선 방향이 서로 평행이 되도록 배치되어 있다. 축부(48a)의 일방의 단부는, 제1 유닛부(21)의 제2 벽부(40b)에 의해서 원주 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 축부(48a)에는, 보호 기판 공급 롤러(48c)의 단부를 유지할 수 있는 유지부(미도시)가 마련되어 있다. 회전 구동부(48b)는, 축부(48a)를 회전시킨다. 회전 구동부(48b)가 축부(48a)를 회전시킴으로써, 보호 기판(C)의 공급 동작(송출 동작)이 가능하게 되어 있다. 보호 기판 구동부(48)에는, 송출한 보호 기판(C)을 기판(S)에 겹치는 기구(미도시)가 마련되어 있다.
제1 유닛부(21)는, 기판측 통신부(제1 통신부)(43)를 가진다. 기판측 통신부(43)는, 제1 벽부(40a)의 ＋Z축측 단면(端面)에 마련되어 있다. 기판측 통신부(43)는, 예를 들면 제어부(CONT)나 제2 유닛부(22) 등과의 사이에서 통신 가능하다.
제1 유닛부(21)는, 접촉 억제부(47)를 가진다. 접촉 억제부(47)는, 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)의 ＋Y축측의 단면(端面)에 마련되어 있다. 접촉 억제부(47)는, 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)의 ＋Y축측의 단면(端面)이 외부 구조물에 접촉하는 것을 억제함과 아울러, 접촉시의 충격을 완화한다. 접촉 억제부(47)는, 예를 들면 제1 벽부(40a) 및 제2 벽부(40b)로부터 ＋Y축측으로 돌출한 막대 모양 부재와, 상기 막대 모양 부재에 대해서 작용하는 -Y축 방향의 힘을 받는 탄성 부재를 가진다.
전술한 이동부(42)는, 제1 유닛부(21)를 뗄 수 있도록 지지한다. 이동부(42)는, 제1 유닛부(21)를 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킨다. 이동부(42)는, 케이스(51), 캐스터(52), 승강부(53) 및 캐스터 구동부(54)를 가진다. 또, 이동부(42)에는, 배터리 등의 전원부(미도시)가 마련되어 있다.
케이스(51)는, 가동부(51a) 및 베이스부(51b)를 가진다. 가동부(51a)는, 케이스(51)의 ＋Z축측 단부에 마련되어 있으며, 승강부(53)의 구동에 의해서 Z축 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 가동부(51a)가 ＋Z축 방향으로 이동함으로써, 제1 유닛부(21)가 상기 가동부(51a)와 일체적으로 ＋Z축 방향으로 이동한다. 베이스부(51b)는, 가동부(51a)를 이동 가능하게 지지한다.
캐스터(52)는, 케이스(51)의 베이스부(51b)의 -Z축측 단면(端面)에 4개 마련되어 있다. 캐스터(52)는, 캐스터 구동부(54)의 구동에 의해 회전 가능하게 마련되어 있다. 캐스터(52)가 회전함으로써, 케이스(51) 및 제1 유닛부(21)가 일체적으로 X축 방향, Y축 방향 및 θZ축 방향으로 이동한다.
가동부(51a)의 ＋Z축측의 단면(端面, 51c)에는, 홈부(50)가 형성되어 있다. 홈부(50)는, 상기 단면(51c)에 대해서 V자 모양으로 형성되어 있다. 한편, 제1 유닛부(21)의 -Z축측의 단면(端面, 40e)에는 4개의 구 모양 지지부(49)가 형성되어 있다. 상기 4개의 구 모양 지지부(49)는, 각각 상기 홈부(50)에 지지된다. 구 모양 지지부(49)가 홈부(50)에 지지되는 것에 의해, 제1 유닛부(21)와 케이스(51)와의 사이에서의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 상대적인 이동이 규제된다. 또, 홈부(50) 및 구 모양 지지부(49)의 수는, 각각 3개라도 괜찮다.
또, 가동부(51a)에는, 착탈 검출부(46)가 마련되어 있다. 착탈 검출부(46)는, 제1 유닛부(21)가 케이스(51)에 장착되어 있는지 아닌지를 검출한다. 착탈 검출부(46)로서는, 예를 들면 홈부(50)와 구 모양 지지부(49)와의 사이에서의 전기 저항값을 검출하는 센서나 홈부(50)에서의 압력을 검출하는 센서 등, 각종 센서를 이용할 수 있다. 착탈 검출부(46)에 의한 검출 결과는, 예를 들면 이동부측 통신부(44)로부터 외부(제어부(CONT), 기판측 통신부(43) 등)에 송신되도록 되어 있다.
이동부(42)는, 이동부측 통신부(제1 통신부)(44)를 가진다. 이동부측 통신부(44)는, 케이스(51)의 내부에 마련되어 있다. 이동부측 통신부(44)는, 예를 들면 제어부(CONT)나 기판측 통신부(43), 제2 유닛부(22) 등과의 사이에서 통신할 수 있다. 기판측 통신부(43) 및 이동부측 통신부(44)는, 제1 유닛부(21)의 동작을 제어하기 위한 제1 제어 신호를 수신할 수 있다. 제1 제어 신호에는, 예를 들면 이동부(42)의 이동 동작을 제어하는 신호나, 제1 유닛부(21)에서의 기판(S)의 공급 및 회수 동작을 제어하는 신호 등이 포함된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 케이스(51)의 베이스부(51b)의 -Z축측의 단면(端面, 51d)(바닥면(FL)에 대향하는 면)에는, 위치 검출부(제1 검출부)(55)가 마련되어 있다. 위치 검출부(55)는, 제1 유닛부(21)의 위치 정보를 검출한다. 위치 검출부(55)는, 상기 위치 정보로서, 예를 들면 가이드 레일(30)(제1 레일(31), 제2 레일(32) 및 제3 레일(33))에 설정된 위치 정보를 검출한다. 위치 검출부(55)에 의한 검출 결과는, 예를 들면 이동부측 통신부(44)로부터 외부(제어부(CONT), 기판측 통신부(43) 등)에 송신되도록 되어 있다. 예를 들면 제어부(CONT)는, 위치 검출부(55)의 검출 결과를 이용함으로써, 가이드 레일(30)을 따라서 제1 유닛부(21)를 이동시킨다.
도 4는, 카세트 장치(20) 중 제2 유닛부(22)의 구성을 나타내는 분해 사시도이다. 이하, 설명의 편의상, 도 4에서의 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향의 표시를 도 1에 대응시키는 것으로 한다. 　
도 4에 나타내는 바와 같이, 제2 유닛부(22)는, 기판 구동부(제2 기판 구동부)(61), 기판측 통신부(63), 접촉 억제부(67), 보호 기판 구동부(제2 보조부)(68)를 가진다. 또, 카세트 장치(20)에 마련되는 이동 기구(24)는, 제2 유닛부(22)를 이동시키는 이동부(제2 이동부)(62)를 가진다.
제2 유닛부(22)는, 제1 벽부(60a), 제2 벽부(60b), 저부(60c) 및 외부 접속부(60d)를 가진다. 또, 제2 유닛부(22)에는, 배터리 등의 전원부(미도시)가 마련되어 있다. 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)는, XZ 평면을 기준으로 한 경면(鏡面, 거울면) 구조를 가지고 있다.
제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)는, 각각 판 모양으로 형성되어 있다. 제1 벽부(60a)는, 예를 들면 -X축측의 단부에 배치되어 있다. 제2 벽부(60b)는, 예를 들면 ＋X축측의 단부에 배치되어 있다. 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)는, 서로 평행하게 배치되어 있다. 또, 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)가, 도어 모양으로 형성되어 있어도 괜찮다.
저부(60c)는, XY 평면(바닥면(FL))에 평행하게 형성되어 있고, 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)를 연결하고 있다. 외부 접속부(60d)는, 예를 들면, X축 방향으로 연장하는 원기둥의 막대 모양 부재로 형성되고, 제2 유닛부(22)의 -Y축측 단부에 마련되어 있다. 제2 유닛부(22)의 -Y축측 단부는, 외부의 반송 기구에 접속되는 접속부로서 기능을 한다. 외부 접속부(60d)는, 제2 유닛부(22)의 높이 방향(Z축 방향)의 예를 들면 2개소에 마련되어 있다.
제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b) 중, 접속부측의 각부(角部)에는, 각각 노치부(60f)가 형성되어 있다. 노치부(60f)는, 외부 구조물에 맞닿을 수 있도록 마련되어 있다. 노치부(60f)를 외부 구조물에 맞닿게 하는 것에 의해, 제2 유닛부(22)와 상기 외부 구조물과의 사이에서 위치 결정이 행해진다. 또, 도 4에서 노치부(60f)는 -Y축측 단부에 형성되어 있지만, 예를 들면 ＋Y축측 단부에 노치부(60f)가 마련된 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 노치부(60f)를 처리부(10)의 일부에 맞닿게 함으로써, 제2 유닛부(22)와 처리부(10)와의 사이에서 위치 결정을 행할 수 있다.
제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)의 ＋Y축측의 단부에는, 각각 제2 접속부(23b)가 형성되어 있다. 제2 유닛부(22)는, 상기 제2 접속부(23b)를 매개로 하여 제1 유닛부(21)에 접속된다. 제2 접속부(23b)로서는, 예를 들면 착탈 상태를 자동으로 전환 가능한 구성, 예를 들면 전자석 등이 이용되고 있다.
제2 유닛부(22)는, 기판을 수용하는 제2 수용부(60)를 가진다. 이 제2 수용부(60)에는, 기판(S)이 감겨진 기판 회수 롤러(회수 롤)(61c)가 장착되는 기판 구동부(61)가 마련된다. 기판 구동부(61)는, 기판(S)을 회전시키는 것에 의해서, 제1 유닛부(21)측으로부터 공급된 기판(S)을 회수하는 회수 동작을 행한다. 기판 구동부(61)는, 축부(제2 축부)(61a) 및 회전 구동부(제2 구동부)(61b)를 가진다. 축부(61a)는, 원통 모양 또는 원기둥 모양으로 형성되어 있고, 신축 가능하게 구성되어 있다. 축부(61a)가 신축하는 것에 의해서, 제1 벽부(60a)와 제2 벽부(60b)의 사이로부터 뗄 수 있고, 기판 회수 롤러(61c)의 장착이 가능하게 된다. 축부(61a)는, 예를 들면 중심축의 축선 방향이 X축 방향으로 평행이 되도록 배치되어 있다. 축부(61a)의 일방의 단부는, 제2 유닛부(22)의 제2 벽부(60b)에 의해서 원주 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 축부(61a)에는, 기판 회수 롤러(61c)의 단부를 유지할 수 있는 유지부(미도시)가 마련되어 있다. 회전 구동부(61b)는, 축부(61a)를 회전시킨다. 회전 구동부(61b)가 축부(61a)를 회전시킴으로써, 기판(S)의 공급 동작(권취 동작)이 가능하게 되어 있다.
제2 수용부(60)는, 보호 기판 공급 롤러(68c)가 장착되는 보호 기판 구동부(제2 보조부)(68)가 마련된다. 보호 기판 공급 롤러(68c)에는, 기판(S)의 피처리면을 덮는 보호 기판(보호 필름)(C)이 감겨져 있다. 보호 기판 구동부(68)는, 보호 기판 공급 롤러(68c)를 회전시키는 것에 의해서, 제1 유닛부(21)측으로부터 공급되는 보호 기판(C)을 회수하는 회수 동작을 행한다.
보호 기판 구동부(68)는, 축부(68a) 및 회전 구동부(68b)를 가진다. 축부(68a)는, 원통 모양 또는 원기둥 모양으로 형성되어 있고, 신축 가능하게 구성되어 있다. 축부(68a)가 신축하는 것에 의해서, 제1 벽부(60a)와 제2 벽부(60b)의 사이로부터 뗄 수 있고, 보호 기판 공급 롤러(68c)의 장착이 가능하게 된다. 축부(68a)는, 예를 들면 중심축의 축선 방향이 X축 방향으로 평행이 되도록 배치되어 있다. 즉, 축부(61a) 및 축부(68a)는, 중심축의 축선 방향이 서로 평행이 되도록 배치되어 있다. 축부(68a)의 일방의 단부는, 제2 유닛부(22)의 제2 벽부(60b)에 의해서 원주 방향으로 회전 가능하게 지지되어 있다. 축부(68a)에는, 보호 기판 공급 롤러(68c)의 단부를 유지할 수 있는 유지부(미도시)가 마련되어 있다. 회전 구동부(68b)는, 축부(68a)를 회전시킨다. 회전 구동부(68b)가 축부(68a)를 회전시킴으로써, 보호 기판(C)의 공급 동작(권취 동작)이 가능하게 되어 있다. 보호 기판 구동부(68)에는, 송출한 보호 기판(C)을 기판(S)에 겹치는 기구(미도시)가 마련되어 있다. 또, 보호 기판(C)이 기판(S)과 겹쳐진 상태에서 기판 구동부(61)에 감기는 경우, 제2 유닛부(22)측의 보호 기판 구동부(68)를 생략하는 것도 가능하다.
제2 유닛부(22)는, 기판측 통신부(제2 통신부)(63)를 가진다. 기판측 통신부(63)는, 제2 벽부(60b)의 ＋Z축측 단면(端面)에 마련되어 있다. 기판측 통신부(63)는, 예를 들면 제어부(CONT)나 제1 유닛부(21) 등과의 사이에서 통신 가능하다.
제2 유닛부(22)는, 접촉 억제부(67)를 가진다. 접촉 억제부(67)는, 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)의 -Y축측의 단면(端面)에 마련되어 있다. 접촉 억제부(67)는, 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)의 -Y축측의 단면(端面)이 외부 구조물에 접촉하는 것을 억제함과 아울러, 접촉시의 충격을 완화한다. 접촉 억제부(67)는, 예를 들면 제1 벽부(60a) 및 제2 벽부(60b)로부터 -Y축측으로 돌출한 막대 모양 부재와, 상기 막대 모양 부재에 대해서 작용하는 ＋Y축 방향의 힘을 받는 탄성 부재를 가진다.
가동부(71a)의 ＋Z축측의 단면(端面, 71c)에는, 홈부(70)가 형성되어 있다. 홈부(70)는, 상기 단면(71c)에 대해서 V자 모양으로 형성되어 있다. 한편, 제2 유닛부(22)의 -Z축측의 단면(端面, 60e)에는 4개의 구 모양 지지부(69)가 형성되어 있다. 상기 4개의 구 모양 지지부(69)는, 각각 상기 홈부(70)에 지지된다. 구 모양 지지부(69)가 홈부(70)에 지지되는 것에 의해, 제2 유닛부(22)와 케이스(71)와의 사이에서의 X축 방향 및 Y축 방향으로의 상대적인 이동이 규제된다. 또, 홈부(70) 및 구 모양 지지부(69)의 수는, 각각 3개라도 괜찮다.
또, 가동부(71a)에는, 착탈 검출부(66)가 마련되어 있다. 착탈 검출부(66)는, 제2 유닛부(22)가 케이스(71)에 장착되어 있는지 아닌지를 검출한다. 착탈 검출부(66)로서는, 예를 들면 홈부(70)와 구 모양 지지부(69)와의 사이에서의 전기 저항값을 검출하는 센서나 홈부(70)에서의 압력을 검출하는 센서 등, 각종 센서를 이용할 수 있다. 착탈 검출부(66)에 의한 검출 결과는, 예를 들면 이동부측 통신부(64)로부터 외부(제어부(CONT), 기판측 통신부(63) 등)에 송신되도록 되어 있다.
또, 제2 유닛부(22)는, 상기 구성 외에, 접속 검출부(제2 검출부)(65)를 가진다. 접속 검출부(65)는, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이가 접속되어 있는지 아닌지를 검출한다. 접속 검출부(65)로서는, 제2 접속부(23b)의 전기적 특성을 검출하는 센서 등을 이용할 수 있다. 접속 검출부(65)에 의한 검출 결과는, 예를 들면 이동부측 통신부(64)로부터 외부(제어부(CONT), 기판측 통신부(63) 등)에 송신되도록 되어 있다.
전술한 이동부(62)는, 제2 유닛부(22)를 뗄 수 있도록 지지한다. 이동부(62)는, 제2 유닛부(22)를 X축 방향, Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동시킨다. 이동부(62)는, 케이스(71), 캐스터(72), 승강부(73) 및 캐스터 구동부(74)를 가진다. 케이스(71)는, 가동부(71a) 및 베이스부(71b)를 가진다. 제어부(CONT)는, 캐스터(72)의 회전 속도를 제어한다. 이것에 의해, 제어부(CONT)는, 이동부(62)의 이동 속도를 제어할 수 있다. 또, 이동부(62)에는, 배터리 등의 전원부(미도시)가 마련되어 있다.
상기 제2 유닛부(22)의 이동부(62)와, 상기 제1 유닛부(21)의 이동부(42)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 상대 이동시키는 이동 기구(24)를 구성한다. 이동부(42) 및 이동부(62)는, 각각 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 독립적으로 구동 가능하다.
전술한 이동부(62)는, 이동부측 통신부(제2 통신부)(64)를 가진다. 이동부측 통신부(64)는, 케이스(71)의 내부에 마련되어 있다. 이동부측 통신부(64)는, 예를 들면 제어부(CONT)나 기판측 통신부(63), 제1 유닛부(21) 등과의 사이에서 통신 가능하다. 기판측 통신부(63) 및 이동부측 통신부(64)는, 제2 유닛부(22)의 동작을 제어하기 위한 제2 제어 신호를 수신할 수 있다. 제2 제어 신호에는, 예를 들면 이동부(62)의 이동 동작을 제어하는 신호나, 제2 유닛부(22)에서의 기판(S)의 공급 동작을 제어하는 신호 등이 포함된다.
이동부(62)는, 기판 반송 제어부(77)를 가진다. 기판 반송 제어부(77)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)에 의한 기판(S) 및 보호 기판(C)의 반송 동작을 제어한다. 기판 반송 제어부(77)는, 이동부측 통신부(64) 및 기판측 통신부(63)를 매개로 하여 축부(61a) 및 축부(68a)의 회전 속도를 제어한다. 이것에 의해, 기판 반송 제어부(77)는, 기판(S) 및 보호 기판(C)의 회수 속도(권취 속도)를 제어할 수 있다.
또, 기판 반송 제어부(77)는, 예를 들면 이동부측 통신부(64) 및 제1 유닛부(21)의 기판측 통신부(43)를 매개로 하여 축부(41a) 및 축부(48a)의 회전 속도를 제어한다. 이것에 의해, 기판 반송 제어부(77)는, 기판(S) 및 보호 기판(C)의 공급 속도(송출 속도)를 제어할 수 있다.
기판 반송 제어부(77)는, 제2 유닛부(22)의 캐스터(72)의 회전 속도를 제어한다. 이것에 의해, 기판 반송 제어부(77)는, 이동부(62)에 의한 이동 속도를 제어할 수 있다. 또, 기판 반송 제어부(77)는, 이동부측 통신부(64) 및 제1 유닛부(21)의 이동부측 통신부(44)를 매개로 하여 제1 유닛부(21)의 캐스터(52)의 회전 속도를 제어한다. 이것에 의해, 기판 반송 제어부(77)는, 이동부(42)의 이동 속도를 제어할 수 있다.
도 5는, 카세트 장치(20)의 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 접속시킨 상태를 나타내는 사시도이다. 　
도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)는, 제1 접속부(23a)와 제2 접속부(23b)가 대향한 상태에서 접속 가능하다. 제1 접속부(23a)와 제2 접속부(23b)와의 사이는, 전자석의 자기력에 의해서 흡착되어 있다. 이와 같이, 카세트 장치(20)는, 제1 접속부(23a) 및 제2 접속부(23b)에 의해, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 접속하는 접속부(23)를 구비한다.
제1 유닛부(21)가 이동부(42)의 케이스(51)에 지지되고, 또한, 제2 유닛부(22)가 이동부(62)의 케이스(71)에 지지되어 있는 경우, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)가 접속됨으로써, 카세트 장치(20)가 구성된다. 이 경우, 이동부(42) 및 이동부(62)는, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 접속한 상태인 채로 일체적으로 이동시킬 수 있다.
또, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)가 접속되어 있는 경우에, 예를 들면 제1 접속부(23a) 및 제2 접속부(23b)에 접속 단자가 마련되어, 상기 접속 단자끼리를 접속하는 것에 의해서 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이에서 정보의 교환이 가능한 구성으로 해도 괜찮다.
카세트 장치(20)는, 제1 유닛부(21)에 마련되고, 또한 커버 부재(CV)가 장착되는 장착부(81)를 가진다. 게다가, 카세트 장치(20)는, 제2 유닛부(22)에 마련되고, 또한 커버 부재(CV)가 장착되는 장착부(82)를 가진다. 커버 부재(CV)는, 예를 들면 먼지 등의 이물이 들어가지 않도록, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 내부를 씰링한다. 커버 부재(CV)는, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이에 걸쳐서 장착된다.
도 5의 커버 부재(CV)는, 예를 들면 Z축 방향으로 착탈 가능한 구성이 나타내어져 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 유닛부(21)의 저부(40c) 및 제2 유닛부(22)의 저부(60c)에, 커버 부재(CV)를 회전 가능하게 장착해도 괜찮다. 또, 커버 부재(CV)를 신축 또는 폴딩 가능한 시트 모양 부재로 형성하고, 이 커버 부재(CV)의 일부를 저부(40c)에 수용 가능하게 구성해도 괜찮다. 이 경우, 제1 유닛부(21)의 저부(40c)에서의 ＋Y축측 단부로부터 커버 부재(CV)를 인출하고, 제1 유닛부(21)의 ＋Y축측의 측면으로부터 ＋Z축측의 측면으로 거는 것에 의해, 제1 유닛부(21)를 덮을 수 있다. 마찬가지로, 제2 유닛부(22)의 저부(60c)의 -Y축측 단부로부터 커버 부재(CV)를 인출하고, 제2 유닛부(22)의 -Y축측의 측면으로부터 ＋Z축측의 측면으로 거는 것에 의해, 제2 유닛부(22)를 덮을 수 있다. 또, 제1 유닛부(21)측으로부터 제2 유닛부(22)측으로 커버 부재(CV)를 감는 구성이라도 괜찮다.
도 6은, 처리부(10)의 구성을 나타내는 측면도이다. 도 6에서는, 보호 기판(C), 보호 기판 구동부(48) 및 보호 기판 구동부(68)의 도시를 생략한다. 　
도 6에 나타내는 바와 같이, 처리부(10)에서의 기판(S)의 반송 방향에 관해, 상류측에 제1 유닛부(21)를 배치하고, 하류측에 제2 유닛부(22)를 배치한다. 그리고, 처리부(10)는, 제1 유닛부(21)로부터 공급되어 제2 유닛부(22)로 반송되는 기판(S)의 이동 경로 상에서, 상기 기판(S)의 피처리면(Sa)에 대해서 처리를 행한다. 처리부(10)는, 처리 장치(15), 안내 장치(16) 및 얼라이먼트 계측 장치(17)를 가진다.
처리 장치(15)는, 기판(S)의 피처리면(Sa)에 대해서 예를 들면 유기 EL소자를 형성하기 위한 각종 장치를 가진다. 이러한 장치로서는, 예를 들면 피처리면(Sa) 상에 격벽을 형성하기 위한 격벽 형성 장치, 전극을 형성하기 위한 전극 형성 장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성 장치 등을 들 수 있다. 보다 구체적으로는, 액적(液滴) 도포 장치(예를 들면 잉크젯형 도포 장치 등), 성막(成膜) 장치(막 형성 장치, 예를 들면 증착 장치, 스퍼터링(sputtering) 장치), 노광 장치, 현상(現像) 장치, 표면 개질 장치, 세정 장치, 건조 장치, 기판을 검사하는 검사 장치 등을 들 수 있다. 이들 각 장치는, 기판(S)의 반송 경로를 따라서 적절히 마련된다.
본 실시 형태에서는, 처리 장치(15)는, 기판(S)에 현상 처리를 행하기 위한 현상액(11b)을 수용하는 현상액 수용 용기(11a)를 구비하는 현상 장치(11)와, 기판(S)을 세정하는 세정액(12b)을 수용하기 위해서 세정액 수용 용기(12a)를 구비하는 세정 장치(12)를 가진다. 또, 처리 장치(15)는, 상술한 액체 이외를 이용한 처리를 행하는 장치를 수용하는 것이 가능하다.
안내 장치(16)는, 현상측 안내부(13)와, 세정측 안내부(14)를 가진다. 현상측 안내부(13)는, 제1 패드(13a), 제2 패드(13d), 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)를 가진다.
제1 패드(13a)는, 처리 장치(15)의 내부에 고정되어 있고, 제1 유닛부(21)로부터 공급된 기판(S)을 현상액 수용 용기(11a)로 안내한다. 제2 패드(13d)는, 처리 장치(15)의 내부에 고정되어 있고, 현상액(11b)을 통과한 기판(S)을 현상액 수용 용기(11a)의 외부로 안내한다.
제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)는, 현상액 수용 용기(11a)에 대해서 상하 방향(Z축 방향)으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 제1 패드(13a)와 제1 롤러(13b)와의 사이, 및 제2 패드(13d)와 제2 롤러(13c)와의 사이에 기판(S)을 반입한 후, 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)를 현상액 수용 용기(11a)측(하부, 즉 -Z축 방향)으로 이동시킴으로써, 제1 패드(13a)에서 기판(S)의 반송 방향이 -Z축 방향으로 변경되고, 또한 기판(S)이 현상액(11b)에 담그어짐과 동시에, 기판(S)이 현상액(11b)의 내부를 통과하도록 안내되는 것이 가능하게 된다.
세정측 안내부(14)는, 제1 패드(14a), 제2 패드(14d), 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)를 가진다. 세정측 안내부(14)의 각 롤러는, 현상측 안내부(13)의 각 롤러와 동일한 구성이기 때문에, 설명을 생략한다.
또, 현상측 안내부(13)의 제1 패드(13a) 및 제2 패드(13d)와, 세정측 안내부(14)의 제1 패드(14a) 및 제2 패드(14d)는, 기판(S)의 피처리면(Sa)의 이면(裏面)을 안내한다. 따라서, 이들 제1 패드(13a), 제2 패드(13d), 제1 패드(14a) 및 제2 패드(14d)는, 각각 실린더 모양의 안내면을 가지고, 이 안내면으로부터 기체를 분출하는 미도시한 분출구를 복수 가지고 있으며, 안내면 상에 기체층을 형성할 수 있는 구성으로 되어 있다. 이 기체층에 의해, 안내면에서 기판(S)의 이면(피처리면(Sa)의 반대측의 면)에 대해서 비접촉으로 안내할 수 있도록 되어 있다. 또, 제1 패드(13a) 및 제2 패드(13d)를 교체하여, 회전 롤러를 이용해도 괜찮다. 회전 롤러를 이용하는 경우에는, 회전 롤러의 안내면에 기판(S)의 이면이 접촉한 상태에서, 회전 롤러가 기판(S)을 안내하게 된다.
얼라이먼트 계측 장치(17)는, 기판(S)의 엣지부, 또는 기판(S)에 마련되어 있는 얼라이먼트 마크를 계측하고, 그 계측 결과에 기초하여, 기판(S)에 대해서 얼라이먼트 동작을 행한다. 얼라이먼트 계측 장치(17)는, 기판(S)의 엣지부, 또는 얼라이먼트 마크를 검출하는 얼라이먼트 카메라나, 상기 얼라이먼트 카메라의 검출 결과에 기초하여 기판(S)의 위치(예를 들면, 기판(S)의 폭 방향의 위치) 및 자세(예를 들면, 반송 방향에 대한 경사) 중 적어도 일방을 조정하는 조정 장치 등을 가진다. 기판(S)의 위치 계측, 속도 계측으로서, 광학 마우스와 같은 방식으로, 기판(S) 상에 레이저광을 투사하여, 기판(S) 상에 생기는 스펙클 패턴(speckle pattern)의 변화를 광전(光電) 검출하는 방식을 이용할 수도 있다.
다음으로, 상기와 같이 구성된 기판 처리 장치(100)의 동작을 설명한다. 도 7 ~ 도 12는, 기판 처리 장치(100)의 동작을 나타내는 도면이다. 도 7 ~ 도 12에서는, 보호 기판(C), 보호 기판 구동부(48) 및 보호 기판 구동부(68)의 도시를 생략 한다. 　
먼저, 반송 기구(24) 중 축부(41a)와 축부(61a)와의 사이에 기판(S)을 걸쳐 놓는 동작을 행하는 경우에 대해 설명한다. 이후의 동작에서는, 제어부(CONT)가 예를 들면 기판측 통신부(43) 및 기판측 통신부(63)나, 이동부측 통신부(44) 및 이동부측 통신부(64)에 대해서 통신함으로써 각 부를 제어하는 경우를 예로 들어 설명한다.
우선, 이동부(42)에 지지된 제1 유닛부(21)와, 이동부(62)에 지지된 제2 유닛부(22)를, 각각 복수 버퍼부(BF)에 대기시킨다. 제어부(CONT)는, 1조의 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)에 대해서, 제1 접속부(23a)와 제2 접속부(23b)와의 사이를 흡착시켜 제1 수용부(40)와 제2 수용부(60)를 접속시킨다. 이것에 의해, 상기 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)는 일체적으로 이동 가능해진다.
제어부(CONT)는, 우선 버퍼부(BF)로부터 가이드 레일(30) 상으로 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 일체적으로 이동시킨다. 그 후, 제어부(CONT)는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 상기 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 가이드 레일(30)을 따라서 이동시켜, 제3 레일(33)의 ＋Y축측 단부, 즉 제1 레일(31)에 배치시킨다. 또, 제1 유닛부(21)의 축부(41a)에는 롤 모양의 기판(S)을 장착해 둔다. 기판(S)의 선단(Sf)에는, 예를 들면 도 7에 나타내는 구성에서는 리더(reader, Lf)가 장착되어 있지만, 상기 리더(Lf)가 생략된 구성이라도 괜찮다.
다음으로, 제어부(CONT)는, 회전 구동부(41b)에 의해서 축부(41a)를 회전시킨다. 이 동작에 의해, 기판(S)의 선단(Sf)이 축부(61a)측으로 송출되어, 기판(S)의 선단(Sf)이 축부(61a)에 도달하여 상기 축부(61a)에 감겨진다. 또, 기판(S)의 선단(Sf)을 축부(61a)에 감는 조작은, 자동화되어 있어도 괜찮지만, 사람의 손에 의해서, 선단(Sf)을 축부(61a)에, 고정 테이프 등을 이용하여 붙여도 괜찮다.
제어부(CONT)는, 기판(S)의 선단(Sf)이 축부(61a)에 걸린 후, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 접속을 뗀다. 이것에 의해, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)가, 독립적으로 이동 가능해진다. 그 후, 제어부(CONT)는, 축부(41a)를 회전시켜 기판(S)을 송출하면서, 제2 유닛부(22)를 제3 레일(33)을 따라서 -Y축 방향으로 이동시킨다.
제어부(CONT)는, 제2 유닛부(22)가 제3 레일(33)의 -Y축측 단부, 즉, 제2 레일(32)에 도달할 때까지, 제2 유닛부(22)를 이동시킨다. 제2 유닛부(22)가 이동하는 동안, 제1 유닛부(21)는 제1 레일(31)에 배치된 상태를 유지한다. 이 동작에 의해, 도 8에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21)가 제1 레일(31)에 배치되고, 제2 유닛부(22)가 제2 레일(32)에 배치된다. 또, 기판(S)의 선단(Sf)이 축부(61a)에 걸려진 상태에서 -Y축 방향으로 인출되게 된다.
그 후, 제어부(CONT)는, 처리 장치(15)의 현상측 안내부(13)의 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)와, 세정측 안내부(14)의 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)를 상부(＋Z축 방향)로 이동시켜 둔다. 이것에 의해, 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)와 현상액 수용 용기(11a)(즉, 제1 패드(13a) 및 제2 패드(13d))와의 사이, 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)와 세정액 수용 용기(12a)(즉, 제3 패드(14a) 및 제4 패드(14d))와의 사이에, 기판(S)이 통과 가능한 틈새가 형성된다.
제어부(CONT)는, 축부(41a)와 축부(61a)와의 사이에 걸쳐 놓여진 기판(S)에 대해서, Y축 방향으로 적당한 텐션을 부여하여, 기판(S)이 그 틈새를 통과할 수 있도록 한다. 기판(S)의 텐션은, 예를 들면 기판 반송 제어부(77)를 이용하여 제2 유닛부(22)측을 제어함으로써 조정할 수 있다.
이 상태에서, 제어부(CONT)는, 도 9에 나타내는 바와 같이, 회전 구동부(41b) 및 회전 구동부(61b)에 의해서 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 동기(同期) 시켜, 각각 제1 레일(31) 상 및 제2 레일(32) 상을 처리 장치(15)측(＋X축 방향)으로 이동시킨다. 이 상태에서, 기판(S)은 Z축 방향에서 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)와 현상액 수용 용기(11a)와의 사이, 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)와 세정액 수용 용기(12a)와의 사이에, 각각 배치되게 된다.
제어부(CONT)는, 우선, 축부(41a) 및 축부(61a)를 회전시켜 기판(S)을 -Y축 방향으로 보내면서, 현상측 안내부(13)의 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)를 -Z축 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 기판(S)이 현상액(11b)에 담겨져, 기판(S)에 대해서 현상 처리가 행해진다. 그 후, 제어부(CONT)는, 축부(41a) 및 축부(61a)를 회전시켜 기판(S)을 -Y축 방향으로 송출한다. 이 동작에 의해, 기판(S) 중 현상액(11b)을 통과한 부분이 세정 장치(12)에 도달한다.
다음으로, 제어부(CONT)는, 축부(41a) 및 축부(61a)를 회전시켜 기판(S)을 -Y축 방향으로 보내면서, 세정측 안내부(14)의 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)를 -Z축 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 기판(S)이 세정액(12b)에 담겨져, 기판(S)에 대해서 현상 처리가 행해진다.
이 때, 도 10에 나타내는 바와 같이, 기판(S) 중 반송 방향(－Y축 방향)의 상류측에는 현상 처리가 실시되고, 반송 방향의 하류측에는 세정 처리가 실시된다. 그 후, 제어부(CONT)는, 축부(41a) 및 축부(61a)를 회전시켜 기판(S)을 -Y축 방향으로 송출한다. 이 동작에 의해, 기판(S) 중 세정액(12b)을 통과한 부분이 세정 장치(12)로부터 외부로 송출된다.
도 10에 나타내는 바와 같이, 기판(S)의 이면(피처리면(Sa)의 반대측의 면)을 지지하는 것은, 현상측 안내부(13)에서는 제1 패드(13a) 및 제2 패드(13d)이고, 세정측 안내부(14)에서는 제1 패드(14a) 및 제2 패드(14d)이기 때문에, 그들 패드의 안내면 상에 형성되는 기체층에 의해서, 이면에 대해서 비접촉의 상태로 기판(S)을 반송할 수 있다.
제어부(CONT)는, 현상 장치(11) 및 세정 장치(12)의 처리 속도에 따라서, 축부(41a)로부터 축부(61a)로 이동하는 기판(S)의 이동 속도를 조정한다. 또, 제어부(CONT)는, 도 11에 나타내는 바와 같이, 축부(41a)에 감겨진 기판(S)의 권취 지름 R1과, 축부(61a)에 감겨진 기판(S)의 권취 지름 R2에 따라서, 회전 구동부(41b) 및 회전 구동부(61b)에서의 구동 속도를 조정시킨다. 이 동작에 의해, 반송 속도가 일정한 채로 기판(S)이 반송되게 된다. 기판(S)의 속도의 모니터는, 도 3의 얼라이먼트 계측 장치(17)가, 기판(S)에 마련되어 있는 얼라이먼트 마크를 계측하는 타이밍(시간)에 의해서도 행해진다. 또, 기판(S)의 권취 지름 R1, 기판(S)의 권취 지름 R2의 변화에 의해 승강부(53) 및 승강부(73)를 조정해도 괜찮다.
현상 처리 및 세정 처리가 종료한 후, 제어부(CONT)는, 축부(41a) 및 축부(61a)를 회전시켜 기판(S)을 -Y축 방향으로 보내면서, 현상측 안내부(13)의 제1 롤러(13b) 및 제2 롤러(13c)를 ＋Z축 방향으로 이동시킴과 아울러, 세정측 안내부(14)의 제1 롤러(14b) 및 제2 롤러(14c)를 ＋Z축 방향으로 이동시킨다.
그 후, 제어부(CONT)는, 도 12에 나타내는 바와 같이, 이동부(42) 및 이동부(62)의 동기 제어에 의해서 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 동기시켜, 각각 제1 레일(31) 및 제2 레일(32)을 따라서 ＋X축 방향으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 처리 장치(15)로부터 ＋X축측으로 퇴피한 상태가 된다. 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)가 제3 레일(33)까지 도달한 후, 상기 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 이동을 정지시킨다.
제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 이동을 정지시킨 후, 축부(61a)를 회전시키면서 제2 유닛부(22)를 ＋Y축 방향으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 축부(61a)가 기판(S)을 권취하면서 축부(41a)와 축부(61a)가 다시 가까워져, 제1 유닛부(21)의 제1 접속부(23a)와 제2 유닛부(22)의 제2 접속부(23b)가 맞닿는다. 그 후, 제어부(CONT)는, 전자석을 기동(起動)시켜 제1 접속부(23a)와 제2 접속부(23b)를 흡착시킨다. 이것에 의해, 제1 수용부(40)와 제2 수용부(60)가 재차 접속되어, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)가 일체화된다. 그 후, 제어부(CONT)는, 일체화된 상태의 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를, 제1 레일(31), 제2 레일(32) 및 제3 레일(33)을 따라서 적절히 이동시킨다. 이상의 동작에서, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)끼리가 충돌하거나 혼잡하거나 하지 않도록, 위치 검출부(55) 및 위치 검출부(제1 검출부)(75)에 의해서 검출된 위치 정보를 이용하여 적절히 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 배치를 정리시킨다.
이상과 같이, 본 실시 형태의 카세트 장치는, 가요성을 가지는 기판(S)의 공급을 행하는 기판 구동부(41)를 가지는 제1 유닛부(21)와, 상기 제1 유닛부(21)와의 사이에서 착탈 가능하게 마련되며, 기판 구동부(41)와의 사이에서 기판(S)의 회수를 행하는 기판 구동부(61)를 가지는 제2 유닛부(22)를 구비하므로, 상기 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이에서 기판(S)의 공급 및 회수가 완결하게 된다. 이것에 의해, 송출되고나서 권취될 때까지 걸쳐 놓여지는 기판(S)의 치수가 길게 되는 것을 억제할 수 있기 때문에, 반송시의 기판(S)의 관리 부담을 저감할 수 있다.
[제2 실시 형태]
다음으로, 제2 실시 형태를 설명한다. 　
도 13은, 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(200)의 구성을 모식적으로 나타내는 도면이다. 　
도 13에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 기판 처리 장치(200)가 Z축 방향으로 복수 계층(階層)(도 13에서는 3계층)으로 형성되어 있다. 기판 처리 장치(200)는, 각 층에 처리부(10) 및 카세트 장치(20)를 가진다. 또, 각 층의 바닥면(FL1), 바닥면(FL2) 및 바닥면(FL3)에는, 각각 처리부(10)를 따라서 가이드 레일(30)이 형성되어 있다.
카세트 장치(20)는, 상기 실시 형태와 동일한 구성을 가진다. 즉, 제1 유닛부(21)와 케이스(51)와의 사이는 착탈 가능하게 마련되어 있다. 또, 제2 유닛부(22)와 케이스(71)와의 사이는 착탈 가능하게 마련되어 있다. 또, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이는, 착탈 가능하게 마련되어 있다.
도 14는, 기판 처리 장치(200)의 구성을 나타내는 단면도이다. 　
도 14에 나타내는 바와 같이, 기판 처리 장치(200)는, 3개의 처리실(111 ~ 113)을 가진다. 처리실(111 ~ 113)은, 칸막이부(114)에 의해서 나뉘어져 있다. 칸막이부(114)는, 처리실(111)의 바닥면(FL1)을 구성하는 칸막이 부재(114a)와, 처리실(111)의 천정부 및 처리실(112)의 바닥면(FL2)을 구성하는 칸막이 부재(114b)와, 처리실(112)의 천정부 및 처리실(113)의 바닥면(FL3)을 구성하는 칸막이 부재(114c)와, 처리실(113)의 천정부를 구성하는 칸막이 부재(114d)를 구비한다.
처리실(111)은, 복수의 처리실 중에서, 중력 방향의 최하부(가장 -Z축측)에 배치되어 있다. 처리실(111)은, 기판(S)에 대해서 액체를 이용한 처리(웨트(wet) 처리)를 행하는 처리 공간을 형성하고 있다. 처리실(111)에는, 예를 들면 도 14에 나타내는 바와 같이, 처리 장치(110)로서, 기판(S)에 도포하기 위한 레지스터액을 수용하는 레지스터액 수용 용기(141a)를 구비하는 도포 장치(141)와, 기판(S)에 현상 처리를 행하기 위한 현상액을 수용하는 현상액 수용 용기(142a)를 구비하는 현상 장치(142)와, 기판(S)을 세정하는 세정액을 수용하기 위해서 세정액 수용 용기(143a)를 구비하는 세정 장치(143)와, 세정 처리 후의 기판(S)에 대해서 패턴을 형성하기 위한 도금액을 수용하는 도금액 수용 용기(144a)를 구비하는 도금 장치(144)가 마련되어 있다. 또, 처리실(111)에는, 상술한 액체 이외를 이용한 처리를 행하는 장치를 수용하는 것이 가능하다.
칸막이 부재(114a)에는, 미도시한 회수 장치에 접속된 폐액 회수 유로의 일부를 구성하는 복수의 회수관(145)이 마련되어 있다. 회수관(145)의 일단부는, 도포 장치(141), 현상 장치(142) 및 세정 장치(143)의 각각에 접속되고, 타단부는, 회수 장치에 접속된 미도시한 폐액 회수 유로에 접속되어 있다. 각 회수관(145)은, 도포 장치(141), 현상 장치(142) 및 세정 장치(143)에서 폐액가 된 레지스터액, 현상액 및 세정액을, 폐액 회수 유로를 통해서 회수 장치로 배출한다. 회수관(145)에는, 미도시한 개폐 밸브 등이 마련되어 있다. 제어부(CONT)는, 상기 개폐 밸브의 개폐의 타이밍을 제어할 수 있다. 본 실시 형태에서는, 중력 방향의 최하부의 처리실(111)에 웨트 처리용 장치가 마련되어 있기 때문에, 이들 장치와 회수 장치와의 사이의 폐액 회수 유로의 유로계(系)의 길이를 억제할 수 있다.
처리실(112)은, 처리실(111)의 상부(＋Z축측)에 배치되어 있다. 처리실(112)은, 기판(S)에 대해서 가열 처리를 행하는 처리 공간을 형성하고 있다. 처리실(112)에는, 처리 장치(110)로서, 기판(S)을 가열하는 가열 장치(151 ~ 153)가 마련되어 있다. 가열 장치(151)는, 도포 장치(141)에 의해서 레지스터액이 도포된 기판(S)을 가열하여, 레지스터액을 건조시킨다. 가열 장치(152)는, 처리실(113)의 노광 장치(EX)를 통과한 기판(S)을 다시 가열하여, 레지스터액을 건조시킨다. 가열 장치(152)는, 가열 장치(151)의 가열 온도와 다른 온도, 예를 들면, 가열 장치(151)의 가열 온도 보다도 높은 온도로 기판(S)을 가열하고 있다. 가열 장치(153)는, 현상 장치(142)에 의해서 현상 처리가 행해지고, 또한 세정 장치(143)에 의해서 세정된 후의 기판(S)을 가열하여, 기판(S)의 표면을 건조시킨다. 가열 장치(151 ~ 153)는, 내부에 기판(S)을 복수회 되풀이하는 구성을 가지고 있다. 가열 장치(151 ~ 153)의 내부에서는, 기판(S)이 서로 접촉하지 않도록 겹쳐 접어 꺾은 상태로 반송된다. 이 때문에, 기판(S)의 피처리면(Sa)의 상태를 유지하면서, 기판(S)이 가열 장치(151 ~ 153)에 효율적으로 수용된다.
처리실(113)은, 처리실(112)의 상부(＋Z축측)에 배치되어 있다. 처리실(113)은, 기판(S)에 대해서 노광 처리를 행하는 처리 공간이다. 처리실(113)에는, 처리 장치(110)로서, 노광 장치(EX)가 마련되어 있다. 노광 장치(EX)는, 도포 장치(141)에서 기판(S)에 도포된 레지스터층에, 마스크의 패턴을 매개로 한 노광광(露光光)을 조사한다.
상기 구성의 기판 처리 장치(200)에는, 복수의 리프트부(160(161 ~ 166))가 마련되어 있다. 리프트부(160)는, 다른 층의 사이에서 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 반송한다. 예를 들면, 리프트부(161), 리프트부(164), 리프트부(165) 및 리프트부(166)는, 제1 층과 제2 층과의 사이에서 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 반송한다. 또, 예를 들면 리프트부(162) 및 리프트부(163)는, 제2 층과 제3 층과의 사이에서 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 반송한다.
각 리프트부(160)는, 각각 칸막이 부재(114b) 및 칸막이 부재(114c)를 Z축 방향으로 관통하는 승강 기구(160a)를 가진다. 　
도 15는, 리프트부(160)의 개략 구성을 나타내는 사시도이다. 　
도 15에 나타내는 바와 같이, 승강 기구(160a)는, 제1 유닛부(21)의 외부 접속부(40d)나 제2 유닛부(22)의 접속부(60d)에 접속된다. 승강 기구(160a)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 Z축 방향으로 이동시키는 미도시한 이동 기구를 가진다. 승강 기구(160a)는, 일체화된 상태의 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 Z축 방향으로 이동할 수 있다.
또, 리프트부(160)는, 층을 넘어 반송한 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를, 반송처의 층에 마련되는 이동부(42) 및 이동부(62)의 케이스(51 및 71)에 각각 장착시키는 장착부(미도시)를 가진다. 이것에 의해, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)에 수용되는 기판(S)이 층을 넘어 이동할 수 있게 된다.
다음으로, 상기 기판 처리 장치(200)의 동작을 설명한다. 　
제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 소정의 입구로부터 처리실(111)에 반입시켜, 가이드 레일(30)을 따라서 도포 장치(141)로 이동시킨다. 제어부(CONT)는, 도포 장치(141)에서, 상기 제1 실시 형태와 동일한 동작에 의해, 제1 유닛부(21)를 도포 장치(141)의 ＋Y축측에 배치시키고, 제2 유닛부(22)를 도포 장치(141)의 -Y축측에 배치시킨다. 이 상태에서, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21)로부터 제2 유닛부(22)로 기판(S)을 반송하면서, 기판(S)의 피처리면에 대해서 감광제의 도포 처리를 행하게 한다.
도포 장치(141)에서 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 일체화시켜, 리프트부(161)로 이동시킨다. 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)가 리프트부(161)에 도착한 후, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 접속시킨 채로, 예를 들면 제2 유닛부(22)의 접속부(60d)를 리프트부(161)의 승강 기구(160a)에 접속시킨다. 그 후, 제어부(CONT)는, 승강 기구(160a)를 이용하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 일체화시킨 상태에서 ＋Z축 방향으로 반송한다. 이 동작에 의해, 제1 유닛부(21)와 케이스(51)와의 사이, 제2 유닛부(22)와 케이스(71)와의 사이의 장착 상태가 해제되고, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)가 케이스(51) 및 케이스(71)로부터 분리되어 ＋Z축 방향으로 이동하여, 처리실(111)로부터 처리실(112)로 반송된다.
제어부(CONT)는, 처리실(112)에 배치된 이동부(42) 및 이동부(62)를 미리 리프트부(161)의 근방에 대기시켜 둔다. 제어부(CONT)는, 미도시한 장착부를 이용하고, 처리실(112)로 반송된 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 상기 이동부(42) 및 이동부(62)에 각각 장착시킨다.
그 후, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 이용하여 기판(S)을 가열 장치(151)에 반입시켜, 기판(S)에 대해서 가열 처리를 행하게 한다. 가열 장치(151)에서는, 기판(S)이 예를 들면 복수회 절곡된 상태로 기판(S)이 반송되고, 이 반송 상태로 기판(S)의 가열을 한다. 이 때문에, 스페이스를 효율적으로 이용한 가열 처리가 행해지게 된다. 가열 장치(151)에서는, 가열에 의해 기판(S)에 형성된 도포막을 건조시킨다.
가열 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 상기 동일한 동작에 의해, 리프트부(162)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(113)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(113)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 노광 장치(EX)에 반입시켜, 기판(S)에 도포된 감광제에 대해서 노광 처리를 행하게 한다.
노광 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 리프트부(163)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(112)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(112)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 가열 장치(152)에 반입시켜, 기판(S)에 대해서 가열 처리를 행하게 한다. 가열 장치(152)에서는, 감광된 도포막에 대한 가열 처리가 행해진다.
가열 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 리프트부(164)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(111)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(111)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 현상 장치(142)에 반입시켜, 기판(S)에 대해서 현상 처리를 행하게 한다. 현상 장치(142)에서는, 기판(S)은 현상액에 담그어지면서 제1 유닛부(21)로부터 제2 유닛부(22)로 반송되어, 반송의 과정에서 현상 처리가 행해진다.
현상 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 일체화시킨 채로 세정 장치(143)로 이동시키고, 기판(S)을 세정 장치(143)에 반입시킨다. 세정 장치(143)에서는, 기판(S)은 세정액에 담겨지면서 제1 유닛부(21)로부터 제2 유닛부(22)로 반송되어, 반송의 과정에서 세정 처리가 행해진다.
세정 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 리프트부(165)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(112)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(112)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 가열 장치(153)에 반입시켜, 기판(S)에 대해서 가열 처리를 행하게 한다. 가열 장치(153)에서는, 세정된 기판(S)을 건조시키기 위한 가열 처리나, 도포막을 가열하기 위한 가열 처리 등이 행해진다.
가열 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 리프트부(166)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(111)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(111)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 도금 장치(144)로 이동시켜, 기판(S)을 도금 장치(144)에 반입시킨다. 도금 장치(144)에서는, 기판(S)은 도금액에 담겨지면서 제1 유닛부(21)로부터 제2 유닛부(22)로 반송되고, 반송의 과정에서 도금 처리가 행해진다. 도금 처리가 행해진 기판(S)에는, 소정의 패턴이 형성된다.
도금 처리가 행해진 후, 제어부(CONT)는, 리프트부(166)를 매개로 하여 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 처리실(112)로 반송한다. 제어부(CONT)는, 처리실(112)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 미도시한 가열 장치로 반입하여, 가열 처리를 행하게 한다.
이상과 같이, 본 실시 형태에 관한 기판 처리 장치(200)는, 예를 들면 처리실(111)에서, 제1 레일(31)과 제2 레일(32)과의 사이에, 처리 장치(110)로서 서로 다른 처리를 행하는 도포 장치(141), 현상 장치(142), 세정 장치(143) 및 도금 장치(144)가 마련되어 있고, 이들 각 장치(도포 장치(141), 현상 장치(142), 세정 장치(143) 및 도금 장치(144))의 사이에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 이동시키면서, 장치마다 제1 유닛부(21)가 기판(S)을 공급하고, 제2 유닛부(22)가 기판(S)을 회수하므로, 복수의 처리 장치(110)에서 매엽(枚葉) 처리를 행할 수 있다.
이것에 의해, 송출되고나서 권취될 때까지 놓여지는 기판(S)의 치수가 길게 되어 버리는 것을 억제할 수 있기 때문에, 반송시의 기판(S)의 관리 부담을 저감할 수 있다. 또, 하나의 제조 라인에 처리 속도가 다른 복수의 처리 장치(110)가 포함되는 경우라도, 라인 전체에서 처리 속도를 맞출 필요가 없기 때문에, 각 처리 장치(110)를 효율적으로 이용할 수 있다. 게다가, 복수 계층을 가지는 기판 처리 장치(200)에서, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 이동부(42) 및 이동부(62)로부터 분할시켜 다른 계층의 사이를 반송시킬 수 있기 때문에, 효율적인 반송이 가능해진다.
본 발명의 기술 범위는 상기 실시 형태에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 가할 수 있다. 　
예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)와의 사이가 착탈 가능하게 마련된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
예를 들면, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)가 서로 장착되지 않고 근접 및 이간만을 행하는 구성이라도 괜찮다. 또, 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)가 장착되는 것이 아니라, 제1 유닛부(21)를 지지하는 이동부(42)와, 제2 유닛부(22)를 지지하는 이동부(62)가 착탈 가능한 구성이라도 괜찮다.
또, 예를 들면, 상기 실시 형태에서는, 제1 유닛부(21)를 기판(S)의 공급용으로 하고, 제2 유닛부(22)를 기판(S)의 회수용으로 하여 이용하는 예를 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 유닛부(21)를 기판(S)의 회수용으로 하고, 제2 유닛부(22)를 기판(S)의 공급용으로 하여 이용해도 괜찮다. 또, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 동일 구성으로 하고, 가이드 레일(30) 상에서 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 서로 바꾸어, 적절히 공급 동작과 회수 동작을 전환하면서 기판(S)의 반송을 행해도 괜찮다.
또, 상기 제2 실시 형태에서는, 기판 처리 장치가 복수 계층을 가지는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 16에 나타내는 바와 같이, Y축 방향으로 복수의 라인이 배치된 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 처리부(10)의 구성으로서, Y축 방향으로는 동일 종류의 처리를 행하는 장치를 배치시키는 구성이라도 괜찮다.
또, 상기 실시 형태에서는, 베이스부(51b) 및 베이스부(71b)의 -Z축측의 단면(端面)(51d 및 71d)에 위치 검출부(55 및 75)가 마련된 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 도 17에 나타내는 바와 같이, 가이드 레일(30)에 접촉시키는 단자(전력 취득부)(56 및 76)가 마련된 구성이라도 괜찮다. 이 경우, 가이드 레일(30)을 전원에 접속시켜 둠으로써, 단자(56 및 76)를 매개로 하여 전력을 취득할 수 있다.
또, 예를 들면 상기 실시 형태에서는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)가 처리부(10)를 일방향으로 통과하도록 이동하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다.
도 18의 (a) ~ 도 18의 (c)는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)의 이동 동작의 일례를 나타내는 도면이다. 　
예를 들면 제어부(CONT)는, 도 18의 (a)에 나타내는 바와 같이 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 떼어 놓고 기판(S)을 인출하고, 도 18의 (b)에 나타내는 바와 같이 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 ＋X축 방향을 따라서 처리부(10)에 반입시켜 처리를 행하게 한다. 그 후, 도 18의 (c)에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 -X축 방향을 따라서 되돌리도록 이동시켜도 괜찮다. 이것에 의해, 처리부(10)의 구성상, 기판(S)이 X축 방향으로 통과하는 것이 곤란한 경우라도, 효율적으로 기판(S)을 반송시킬 수 있다.
또, 상기 실시 형태에서는, 제1 레일(31)측에 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 배치시킨 후, 제2 유닛부(22)를 제2 레일(32)측으로 이동시킴으로써 기판(S)을 인출하는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 제2 레일(32)측으로부터 제1 레일(31)측으로 제1 유닛부(21)를 이동시킴으로써 기판(S)을 인출하도록 해도 괜찮다.
또, 도 19의 (a)에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 제3 레일(33)의 Y축 방향의 중앙부에 배치시키고, 그 후 도 19의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21)를 ＋Y축 방향으로, 제2 유닛부(22)를 -Y축 방향으로 각각 이동시키는 것에 의해, 기판(S)을 인출하록 해도 괜찮다.
또, 상기 실시 형태에서는, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 Y축 방향으로 늘어놓은 상태에서 X축 방향으로 이동시키는 경우를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 X축 방향으로 늘어놓은 상태에서 Y축 방향으로 이동시키도록 해도 괜찮다.
예를 들면 도 20의 (a)에 나타내는 바와 같이, 처리부(10)를 X축 방향으로 사이에 두는 2개의 제3 레일(33)과 제2 레일(32)과의 교점(交点)에 제1 유닛부(21)와 제2 유닛부(22)를 각각 배치시킨다. 이 때, 기판(S)을 인출한 상태로 한다. 그 후, 도 20의 (b)에 나타내는 바와 같이, 제1 유닛부(21) 및 제2 유닛부(22)를 ＋Y축 방향으로 이동시킴으로써 기판(S)을 처리부(10)에 반입시킨다. 이것에 의해, 처리부(10)의 구성상, 기판(S)이 X축 방향으로 반입하는 것이 곤란한 경우라도, 효율적으로 기판(S)을 반송시킬 수 있다.
또, 상기 실시 형태에서는, 접속부(23)의 구성으로서, 제1 접속부(23a)와 제2 접속부(23b)와의 사이가 전자석에 의해서 흡착하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 기계적으로 락(lock)함으로써 접속되는 구성이라도 괜찮다.
또, 상기 실시 형태에서는, 기판(S)을 구동하는 축부(41a) 및 축부(61a)나, 보호 기판(C)을 구동하는 축부(48a) 및 축부(68a)에 대해서, 예를 들면 중심축의 축선 방향이 X축 방향으로 평행이 되도록 배치되며, 기판(S)이나 보호 기판(C)이 XY 평면에 평행하게 반송되는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 축부(41a) 및 축부(61a)나 축부(48a) 및 축부(68a)에 대해서, 중심축의 축선 방향이 Z축 방향으로 평행이 되도록 배치되고, 기판(S)이나 보호 기판(C)이 YZ 평면이나 ZX 평면에 평행하게 반송되는 구성이라도 괜찮다.
또, 상기 실시 형태에서는, 이동부(42) 및 이동부(62)의 케이스(51) 및 케이스(71)가 Z축 방향으로 승강함으로써 축부(41a), 축부(61a), 축부(48a) 및 축부(68a)의 Z축 방향의 위치를 조정할 수 있는 형태를 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 축부(41a), 축부(61a), 축부(48a) 및 축부(68a)가 Z축 방향으로 승강할 수 있는 구성이라도 괜찮다.
또, 상기 실시 형태와는 다른 구성의 기판(S)을 이용할 수 있다. 　
도 21은, 기판(S)의 구성을 나타내는 도면이다. 　
도 21에 나타내는 바와 같이, 기판(S)의 피처리면(Sa) 중, 예를 들면 배선이나 전극, 소자 등을 형성하는 패턴 형성 영역(P)을 둘러싸도록 보호층(90)이 형성된 구성이라도 괜찮다.
상기 보호층(90)은, 패턴 형성 영역(P) 보다도 층 두께가 두껍게 되도록 형성한다. 이 구성에 의해, 피처리면(Sa)에 보호 기판(C)을 겹친 경우라도, 보호 기판(C)이 패턴 형성 영역(P)에 접촉하는 것을 막을 수 있다. 또, 보호층(90)은 보호 기판(C)측에 형성되어 있어도 괜찮다.
도 22 ~ 도 27은, 기판 반송 장치의 다른 실시 형태를 나타내는 사시도이다. 앞의 도 2, 도 3에서 설명한 바와 같이, 제1 유닛부(21)를 탑재하여 자력으로 움직일 수 있는 이동부(42)는, 캐스터(52)의 회전에 의해서 X축 방향, Y축 방향 및 θZ축 방향으로 이동 가능하다. 이것은, 제2 유닛부(22)를 탑재하여 자력으로 움직일 수 있는 이동부(62)에 대해서도 마찬가지이다. 여기서, 앞의 도 18 ~ 20에서 나타낸 바와 같은, X축 방향으로 연장하는 제1 레일(31)과 제2 레일(32), Y축 방향으로 연장하는 제3 레일(33)에 의해서 구성되는 반송 가이드 기구에 대해서, 도 22에 나타내는 바와 같이, 부가적인 반송 가이드부로서의 고리 모양 레일(34a, 35a)을 부설한다.
고리 모양 레일(34a)은, 제1 레일(31)과 제3 레일(33)이 교차하는 중심점(TC1)으로부터 일정 반경의 링 모양으로 부설된다. 또, 고리 모양 레일(35a)은, 제2 레일(32)과 제3 레일(33)이 교차하는 중심점(TC2)으로부터 일정 반경의 링 모양으로 부설된다. 고리 모양 레일(34a, 35a)은, 이동부(42)나 이동부(62)를 중심점(TC1)이나 중심점(TC2)의 둘레로 회동(선회)시키기 위한 안내로(案內路)로서 기능을 한다. 또, 중심점(TC1, TC2)의 각각에는, 이동부(42, 62)를 정확하게 위치 결정하기 위한 원판 모양의 마커부(지표가 되는 마크나 유도(誘導) 신호 발생기 등을 포함함)(34b, 35b)가 부설되어 있다.
그런데, 도 22에 나타내는 처리 장치(10)는, 예를 들면, 대기압 CVD 장치이며, 상부 구조체(10a)와 하부 구조체(10b)로 구성된다. 하부 구조체(10b)는 공장의 바닥면(FL)에 마련되고, 상부 구조체(10a)는 하부 구조체(10b)에 대해서, Z축 방향으로 가동(可動)하도록 구성된다.
상부 구조체(10a)를 Z축 방향의 상부로 이동시키는 것에 의해서, 제1 유닛부(21)의 축부(41c)와 제2 유닛부(22)의 축부(61c)와의 사이에 놓여진 기판(S)을, X축 방향으로 병진(竝進) 이동시켜 처리 장치(10) 밖으로 반출할 수 있다.
도 22는, 처리 장치(10)에 의한 기판(S)의 처리가 종료하고, 상부 구조체(10a)가 상부에 위치한 상태에서, 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))를 X축 방향으로 동기 이동시키고 있는 상태를 나타낸 것이다. 이동부(42)(제1 유닛부(21))는, 제1 레일(31)에 의해 안내되면서, 홈 포지션으로서의 중심점(TC1)을 향해 -X축 방향으로 이동하고, 이동부(62)(제2 유닛부(22))는, 제2 레일(32)에 의해 안내되면서, 홈 포지션으로서의 중심점(TC2)을 향해 -X축 방향으로 이동한다.
그 후, 도 23에 나타내는 바와 같이, 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))는, 동시에 X축 방향의 홈 포지션(중심점(TC1, TC2)의 위치)에 도달한다. 이 때, 이동부(42)와 이동부(62)와의 사이에는, 정확히, Y축 방향으로 연장한 제3 레일(33)이 위치한다.
그 후, 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22)) 중 어느일방이 타방을 향해서, Y축 방향으로 이동한다. 그 상태가 도 24이며, 여기에서는, 이동부(42)(제1 유닛부(21))가 이동부(62)(제2 유닛부(22))를 향하여, 제3 레일(33)에 의해 안내되어 이동한다. 그 때, 제1 유닛부(21)의 축부(41c), 또는 제2 유닛부(22)의 축부(61c)가, 이동부(42)(제1 유닛부(21))의 Y축 방향의 이동에 연동하여 회전하고, 기판(S)이 느슨해지지 않도록 권취해 간다.
도 25는, 이동부(42)(제1 유닛부(21))가 이동부(62)(제2 유닛부(22))에 접근하여, 앞의 도 5와 같이 연결(연접)한 상태를 나타낸다. 이 때, 이동부(62)(제2 유닛부(22))는 중심점(TC2)(마커부(35b)) 상에 위치하고, 이동부(42)(제1 유닛부(21))는, 고리 모양 레일(35a) 상에 위치한다.
이 상태로부터, 이동부(62)의 캐스터(72)는, 중심점(TC2)의 둘레로 θZ축 방향으로 이동부(62)(제2 유닛부(22))를 회동(자전)시킬 정도의 구동력을 발생한다. 아울러, 이동부(42)의 캐스터(52)는, 고리 모양 레일(35a)의 둘레 방향을 따라서 이동부(42)(제1 유닛부(21))를 회동(선회)시킬 정도의 구동력을 발생한다. 게다가 이 때, 이동부(62)의 캐스터(72), 또는 이동부(42)의 캐스터(52)는, 마커부(35b)의 검출 결과에 기초하여, 이동부(62)의 자전 중심이 중심점(TC2)으로부터, X축 방향과 Y축 방향으로 크게 위치가 어긋나지 않을 정도의 방향 제어도 행한다.
도 26은, 연결한 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))가, 도 25의 상태로부터, XY 면내에서 중심점(TC2)을 중심으로 하여 시계 방향으로 90도 회전한 상태를 나타낸다. 그 회전 방향은, 여기에서는 시계 방향으로 90도로 했지만, 반시계 방향으로 90도라도 상관없다. 어느 방향으로 회전시킬지는, 다음의 처리 장치에 대해서, 기판(S)을 어떻게 장전할지에 따라서 결정된다.
그 후, 도 27에 나타내는 바와 같이, 처리 장치(10)(예를 들면, 대기압 CVD 장치)에 의해서 성막 처리된 기판(S)의 롤을 유지하는 제2 유닛부(22)(이동부(62))와, 잔존한 미처리의 기판(S)의 롤을 유지하는 제1 유닛부(21)(이동부(42))가, 제2 레일(32)의 안내에 의해서, ＋X축 방향으로 일체가 되어 병진 이동하고, 처리 장치(10)의 옆을 통과하여 다음의 처리 장치로 향한다.
그것에 따라서, 홈 포지션(중심점(TC1, TC2))이 비어 있기 때문에, 다음에 처리해야 할 기판(S)을 탑재한 이동부(42-1)(제1 유닛부(21-1))와 이동부(62-1)(제2 유닛부(22)-1)가, 일체가 되어 중심점(TC1)측의 홈 포지션으로 보내져 온다.
그 후, 도 27과 같이, 미처리의 기판(S)의 롤을 유지하는 제1 유닛부(21-1)(이동부(42-1))가 중심점(TC1)(제1 레일(31)과 제3 레일(33)의 교점부)에 위치한 상태에서, 처리 완료의 기판(S)을 롤 모양으로 권취하기 위한 제2 유닛부(22-1)(이동부(62-1))가, 중심점(TC2)을 향해 제3 레일(33)을 따라서 이동한다.
이상과 같이, 이동부(42)(제1 유닛부(21))나 이동부(62)(제2 유닛부(22))가, 공장의 바닥면(FL) 상에서 자유자재로 회전 운동할 수 있는 스페이스(고리 모양 레일(34a, 35a) 등)를 마련하는 것에 의해, 처리 장치의 배치의 자유도, 기판(S)(롤 모양)의 반송 방향의 자유도, 반송 효율을 향상시킬 수 있다.
이상의 실시 형태에서, 도 25, 도 26에서는, 일정 간격으로 연결한 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))를 90도 회전시키도록 했다. 그러나, 다음의 처리 장치가, 예를 들면 도 25 중의 처리 장치(10)의 -Y축측에 마련되어 있는 경우는, －Y축 방향으로 연장되어 마련되는 제3 레일(33)을 따라서, 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))를 그대로 -Y축 방향으로 이동시켜도 괜찮고, 도 25의 상태로부터 중심점(TC2)의 둘레로 180도 회전시키고 나서 -Y축 방향으로 이동시켜도 괜찮다.
또, 도 25 ~ 27에서, 이동부(42)(제1 유닛부(21))로 이동부(62)(제2 유닛부(22))는 일정 간격으로 연결한 상태에서 이동한다. 그러나, 양자는 반드시 기계적으로 접촉하고 있을 필요는 없고, 비접촉 센서 등을 사용하여, 일정한 공간 갭을 유지하면서, 일정한 위치 어긋남 범위 내(예를 들면 1mm 이하)에서 이동부(42)와 이동부(62)가 서로 추종 이동하는 것과 같은 구성이라도 괜찮다.
어쨌든, 기판(S)에의 처리가 완료한 이동부(42)(제1 유닛부(21))와 이동부(62)(제2 유닛부(22))를, 다음의 처리 장치(제2 처리 장치)로 반송하기 위해서는, 기판(S)이 상기 처리를 행한 처리 장치로부터 떨어지는 제1 방향(도 22 ~ 27에서는 X축 방향)으로의 병진 운동과, 그 제1 방향과 교차하는 제2 방향(도 22 ~ 27에서는 Y축 방향)으로의 병진 운동과, 제1 방향과 제2 방향을 포함하는 면내(도 22 ~ 27에서는 XY면)에서의 회전 운동 중, 적어도 2개의 운동을 동반하도록(2개의 운동이 연속하도록), 각 캐스터(52, 72)를 구동하여, 이동부(42)와 이동부(62)를 함께 이동시키게 된다. 또, 병진 운동이란, 반드시 X축 방향이나 Y축 방향으로 한정되지 않고, XY 면내에서 X축과 Y축의 양쪽 모두에 대해서 경사진 방향(예를 들면, 45도 방향)으로, 이동부(42)(제1 유닛부(21))나 이동부(62)(제2 유닛부(22))가 직선적으로 이동하는 경우도 포함한다.
이상, 도 2 ~ 도 5에 나타낸 카세트 장치(제1 유닛부(21), 제2 유닛부(22))를 이용한 기판(S)(또는 보호 기판(C))의 반송 형태를 설명했다. 그러나, 각 카세트 장치 내에, 기판(S)의 온도의 조정 기구, 습도의 조정 기구, 자외선의 조사 기구 등을 마련하거나, 처리 장치의 하나로서, 온도 조정 장치, 습도 조정 장치, 자외선 조사 장치를 마련하거나 하여, 처리 공정 중의 적당한 타이밍으로, 기판(S)에 대해서, 온조, 제습, 가습, UV 조사를 행하도록 해도 괜찮다.
일반적으로, 대형의 높은 정밀함과 세밀함을 가진 플랫 패널 디바이스 등을 생산하는 경우, 모재(母材)인 기판(S)은, 여러 가지 처리 장치로 보내어져, 다양한 처리를 받는다. 특히, 롤·투·롤 방식에서, PET나 PEN 등의 플렉시블 필름 기판을 연속적으로 처리하는 경우, 각 처리 공정마다 필름 기판에 응력이 남아, 필름 기판이 변형하는 것이 생각되어진다. 게다가, 처리를 받는 필름 기판, 또는 기판 상에 이미 퇴적된 막 재료는, 각 처리 공정마다 온도, 함유 수분량, 젖음성 등을 적절한 상태로 설정해 두는 것도 필요하다.
여기서, 기판(S)을 장전한 카세트 장치(20)(제1 유닛부(21), 제2 유닛부(22))의 이동 중, 또는 대기 중에, 제1 유닛부(21) 또는 제2 유닛부(22) 내에 마련한 온도 조정 기구, 습도 조정 기구, 혹은 자외선 조사 기구를 작동시킨다. 혹은, 공장 내에 독립적으로 마련된 온도 조정 장치, 습도 조정 장치, 자외선 조사 장치에 카세트 장치(20)를 이동시켜 기판(S)을 통과한다. 이와 같이 하면, 기판(S)(또는 그 표면의 막 재료)의 온도, 수분 함유량, 젖음성, 내부 응력 등의 상태를, 다음의 처리 공정용 처리 장치의 사양에 맞도록, 사전에 조정할 수 있다.
본 발명의 실시 형태에서는, 롤 모양의 기판(S)을 유지하는 카세트 장치(20)가, 각종의 처리 장치에 대해서 이동 가능한 구성으로 되어 있기 때문에, 카세트 장치 단위로의 배치(batch) 처리가 가능하다. 그 때문에, 처리 공정의 전에, 기판(S)(또는 그 표면의 막 재료)의 각종 상태를 조정하는 공정(1개의 처리 공정에 상당)을 조립했다고 해도, 제조 라인 전체에서의 생산 효율을 크게 저하시키지 않아, 수율이 좋은 생산이 가능해진다.
S - 기판 CONT - 제어부　
BF - 버퍼부 C - 보호 기판　
CV - 커버 부재 10 - 처리부　
20 - 카세트 장치 21 - 제1 유닛부
22 - 제2 유닛부　 23 - 접속부　
24 - 이동 기구　 30 - 가이드 레일　
31 - 제1 레일 32 - 제2 레일
33 - 제3 레일　 34a, 35a - 고리 모양 레일
42, 62 - 이동부　 43, 63 - 기판측 통신부
44, 64 - 이동부측 통신부 46, 66 - 착탈 검출부　
47, 67 - 접촉 억제부　 51, 71 - 케이스
52, 72 - 캐스터　 53, 73 - 승강부
54, 74 - 캐스터 구동부　 55, 75 - 위치 검출부
56, 76 - 단자 65 - 접속 검출부　
100, 200 - 기판 처리 장치　 111 ~ 113 - 처리실
160 - 리프트부

Claims (9)

  1. 가요성을 가지는 장척(長尺)의 기판을 복수의 처리 장치에 순차적으로 보내어, 상기 기판 상에 전자 디바이스를 형성하기 위한 기판 처리 방법으로서,
    제1 기판 처리부에 공급해야 할 상기 기판이 장척 방향으로 감겨진 공급 롤을 포함하는 제1 유닛부와, 상기 제1 기판 처리부로부터 회수해야 할 상기 기판이 장척 방향으로 감겨지는 회수 롤을 포함하는 제2 유닛부를, 상기 제1 기판 처리부를 사이에 두도록 배치하고, 상기 공급 롤로부터 공급되는 상기 기판을 상기 제1 기판 처리부에 의해서 처리하여 상기 회수 롤에서 회수하는 제1 처리 공정과,
    상기 공급 롤과 상기 회수 롤의 사이의 상기 기판이 상기 제1 기판 처리부로부터 떨어지는 제1 방향을 따라서, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를 함께 이동시키는 제1 이동 공정과,
    상기 공급 롤과 상기 회수 롤의 상기 장척 방향의 간격을 좁히도록, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부 중 적어도 일방을 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향을 따라서 이동시키는 제2 이동 공정과,
    상기 제1 방향의 병진(竝進) 운동, 상기 제2 방향의 병진 운동, 상기 제1 방향과 제2 방향을 포함하는 면내에서의 회전 운동 중, 적어도 두 개의 운동을 따라서, 소정 간격으로 대향한 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를, 상기 제1 기판 처리부와 다른 제2 기판 처리부를 향해서 함께 이동시키는 제3 이동 공정을 포함하는 기판 처리 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 기판 처리부와 상기 제2 기판 처리부 각각은, 상기 기판에 막을 형성하는 막 형성 장치, 상기 기판을 가열하는 가열 장치, 상기 기판을 세정하는 세정 장치, 상기 기판을 노광하는 노광 장치, 및 상기 기판을 검사하는 검사 장치 중 적어도 하나를 포함하는 기판 처리 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제1 이동 공정, 상기 제2 이동 공정, 및 상기 제3 이동 공정 각각은, 소정의 이동 경로를 따라서 마련된 레일 또는 안내로를 따라서, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를 이동시키는 이동 기구에 의해서 행해지는 기판 처리 방법.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제1 이동 공정, 상기 제2 이동 공정, 및 상기 제3 이동 공정 각각은, 위치 검출부에 의해서 검출되는 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부 각각의 위치 정보에 기초하여, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부의 이동을 제어하는 것에 의해서 행해지는 기판 처리 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1 유닛부는, 상기 병진 운동과 상기 회전 운동을 행하는 자주(自走) 가능한 제1 이동부에 착탈 가능하게 탑재되며,
    상기 제2 유닛부는, 상기 병진 운동과 상기 회전 운동을 행하는 자주 가능한 제2 이동부에 착탈 가능하게 탑재되고,
    상기 제1 이동 공정 및 상기 제3 이동 공정에서는, 상기 제1 이동부의 이동과 상기 제2 이동부의 이동이 동기 제어되는 기판 처리 방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 이동 공정에서는, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부와의 상기 제2 방향의 간격을 좁혀, 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부가 서로 연결 가능한 상태까지 접근하도록, 상기 제1 이동부와 상기 제2 이동부 중 적어도 일방의 상기 제2 방향으로의 이동이 제어되는 기판 처리 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 제3 이동 공정에서는,
    상기 제2 이동 공정에서 서로 접근한 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를 일체로 연결한 상태에서, 상기 제2 기판 처리부를 향하여 함께 이동하도록 상기 제1 이동부와 상기 제2 이동부가 동기 제어되는 기판 처리 방법.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 제3 이동 공정은,
    일체로 연결된 상태의 상기 제1 유닛부와 상기 제2 유닛부를 각각 상기 제1 이동부와 상기 제2 이동부로부터 떼어 내어, 상기 제1 방향과 상기 제2 방향을 포함하는 면과 수직인 방향으로 승강기구에 의해서 이동시키는 공정을 더 포함하는 기판 처리 방법.
  9. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 제1 기판 처리부는, 공장의 바닥면에 설치되는 하부 구조체와, 상기 하부 구조체에 대해서 바닥면과 수직인 방향으로 이동 가능한 상부 구조체로 구성되며,
    상기 제1 이동 공정시에는, 상기 상부 구조체가 상기 하부 구조체에 대해서 상방으로 이동되는 기판 처리 방법.
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