JP2015138856A

JP2015138856A - 切削装置

Info

Publication number: JP2015138856A
Application number: JP2014009129A
Authority: JP
Inventors: 信哉安田; Shinya Yasuda; 央松山; O Matsuyama
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2014-01-22
Filing date: 2014-01-22
Publication date: 2015-07-30

Abstract

【課題】従来に比べて更なる生産性の向上を可能とする加工装置を提供する。【解決手段】切削装置１では、第一カセット検出手段１４が、カセット載置台１０の第一載置部１２に第一のカセット１７ａが載置されていないと検出したら、制御手段４１が搬出入手段２０による第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入を規制し第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入を許可し、第二カセット検出手段１５が、カセット載置台１０の第二載置部１３に第二のカセット１７ｂが載置されていないと検出したら、制御手段４１が搬出入手段２０による第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入を規制し第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入を許可するため、例えば第一のカセット１７ａ内のウェーハＷに対する加工が完了しても、切削装置１を停止せずに第二のカセット１７ｂ内のウェーハＷに対する加工を続行できる。【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物を収容するカセットを複数載置できる加工装置に関する。

切削装置やレーザ加工装置などの加工装置には、複数の被加工物（例えば、円形のウェーハ）に対し連続して加工を行うため、ウェーハを複数収容したカセットが使用される。このカセットは、例えば箱状に形成されており、その内部には上下方向に所定の間隔を設けて棚部が複数形成されている。また、１カセットには、例えば２５枚のウェーハが収容可能となっている。

加工装置に供給されたカセットから搬出入手段等によってウェーハが搬出されて加工装置の加工エリアで加工が施された後、該搬出入手段により加工後のウェーハが再度カセットに収容される（例えば、下記の特許文献１を参照）。カセットに収容された全てのウェーハに対する加工が完了すると加工装置が停止するため、その間に、作業者が、加工済みのウェーハが収容されたカセットを次の工程（例えば、ウェーハが複数のチップに分割された後、各チップをそれぞれピックアップする工程）に移すとともに、未加工のウェーハが収容された新たなカセットを加工装置に投入している。

特開２０１１−１５９８２３号公報

しかしながら、上記のように１カセットに対する加工が完了する毎に加工装置が一旦停止していると、製品の生産効率が悪くなるため、更なる製品の生産性の向上が切望されている。

本発明は、上記の事情にかんがみてなされたものであり、従来に比べて加工装置の更なる生産性の向上を可能とすることに発明の解決すべき課題を有している。

本発明は、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、を備えた加工装置であって、被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセット載置台と、該カセット載置台に載置されたカセットに対して被加工物を搬出入する搬出入手段と、該カセット載置台に載置されたカセットに収容された被加工物が該搬出入手段に対向するように該カセット載置台と該搬出入手段とを相対的に昇降移動させる移動手段と、少なくとも該搬出入手段と該移動手段とを制御する制御手段と、を備え、該カセット載置台は、第一のカセットが載置される第一載置部と、該第一のカセットより上方で該第二のカセットが載置される第二載置部と、該第一載置部に第一のカセットが載置されているか否かを検出する第一カセット検出手段と、該第二載置部に第二のカセットが載置されているか否かを検出する第二カセット検出手段と、を有し、該制御手段は、該第一載置部に第一のカセットが載置されていないことが該第一カセット検出手段によって検出された場合には、該搬出入手段による該第一のカセットに対する被加工物の搬出入は規制するが、該搬出入手段による該第二のカセットに対する被加工物の搬出入は許可し、該第二載置部に第二のカセットが載置されていないことが該第二カセット検出手段によって検出された場合には、該搬出入手段による該第二のカセットに対する被加工物の搬出入は規制するが、該搬出入手段による該第一のカセットに対する被加工物の搬出入は許可する。

また、本発明は、上記第一載置部に載置された上記第一のカセットに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に該第一のカセットに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知するとともに上記第二載置部に載置された上記第二のカセットに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に該第二のカセットに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知する報知手段を更に備える。

本発明にかかる加工装置は、第一のカセットを載置する第一載置部と第二のカセットを載置する第二載置部と第一載置部に第一のカセットが載置されているか否かを検出する第一カセット検出手段と第二載置部に第二のカセットが載置されているか否かを検出する第二カセット検出手段とを有するカセット載置台と、該カセット載置台に載置された第一のカセット及び第二のカセットに対して被加工物を搬出入する搬出入手段と、該カセット載置台に載置された第一のカセット及び第二のカセットに収容された被加工物が該搬出入手段に対向するように該カセット載置台と該搬出入手段とを相対的に昇降移動させる移動手段と、少なくとも該搬出入手段と該移動手段とを制御する制御手段とを備えていることから、第一カセット検出手段及び第二カセット検出手段の検出に基づいて、制御手段が搬出入手段を制御することにより、第一のカセットに対する被加工物の搬出入と第二のカセットに対する被加工物の搬出入とを交互に実施することができる。
したがって、加工装置を停止することなく被加工物の加工を続行でき、従来の加工装置と比べて生産性が向上する。

また、本発明にかかる加工装置には、第一のカセットに収容された全ての被加工物の加工が完了したことを報知するとともに、第二のカセットに収容された全ての被加工物の加工が完了したことを報知する報知手段を備えているため、第一のカセット、第二のカセットに収容された全ての被加工物に対する加工が終了したことを作業者に即座に知らせることができる。したがって、適切なタイミングで新たなカセットに交換でき、更なる生産性の向上が可能となる。

加工装置の一例を示す斜視図である。カセット載置台及びこれに載置されたカセットの構成を示す正面図である。加工装置内部の構成を示す斜視図である。搬出入手段によって第一のカセットに対して被加工物を搬出入する状態を側面側から示す断面図である。第一載置部に載置された第一のカセットが引き出された状態を側面側から示す断面図である。搬出入手段による第一のカセットに対する搬出入が制御手段により規制された状態を側面側から示す断面図である。搬出入手段による第二のカセットに対する搬出入が制御手段により許可された状態を側面側から示す断面図である。搬出入手段による第二のカセットに対する搬出入が制御手段により規制された状態を側面側から示す断面図である。搬出入手段による第一のカセットに対する搬出入が制御手段により許可された状態を側面側から示す断面図である。

１装置構成
図１に示す切削装置１は、被加工物に切削を施す加工装置であり、基台２と、基台２のＸ２方向側の上面に配設された筐体３とを有している。基台２の上面中央部には、被加工物を保持する保持面５ａを有する保持テーブル５が配設されている。保持テーブル５は、Ｘ軸方向に移動可能なテーブルベース４によって下方から支持されている。そして、テーブルベース４が蛇腹６の伸縮をともないＸ軸方向に移動することにより、保持テーブル５をＸ軸方向に移動させることができる。

切削装置１は、被加工物を複数収容できるカセットを複数載置できるカセット載置台１０を備えている。カセットとしては、例えば、図１に示す箱状の第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂを使用することができる。第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂの前方側（図１におけるＹ２方向側）は開口しており、第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂの内部に対して被加工物を搬出入できるようになっている。被加工物の例であるウェーハＷは、テープＴを介して環状のフレームＦによって支持されて第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂに複数収容される。また、第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂの内部には、図２に示すように、複数の棚部１８が上下方向に所定の間隔をあけて形成されており、棚部１８において被加工物を水平な状態で複数収容することが可能となっている。

図２を参照しながらカセット載置台１０の構成について説明する。カセット載置台１０の上面には、内部がＹ１方向及びＹ２方向に開口し一対の側版１１ｂと天板１１ｃとからなるキャビネット１１を備えている。カセット載置台１０は、キャビネット１１の内部において第一のカセット１７ａが載置される第一載置部１２と、第一のカセット１７ａよりも上方の位置である天板１１ｃの上面において第二のカセット１７ｂが載置される第二載置部１３とを備えている。

第一載置部１２には、第一のカセット１７ａが第一載置部１２に載置されているか否かを検出する第一カセット検出手段１４が配設されている。第一カセット検出手段１４は、例えば押圧センサによって構成されており、第一載置部１２にかかる押圧力を検出して第一載置部１２に第一のカセット１７ａが載置されているか否かを検出することができる。第二載置部１３においても、第二のカセット１７ｂが第二載置部１３に載置されているか否かを検出する第二カセット検出手段１５が配設されている。第二カセット検出手段１５についても例えば押圧センサによって構成されている。

カセット載置台１０は、第一載置部１２に載置された第一のカセット１７ａをカセット載置台１０から水平方向（Ｙ１方向）に引き出す引き出し機構１６を備えている。引き出し機構１６は、第一載置部１２の一端に連結された連結板１６ａと、転動により第一載置部１２を水平方向（Ｙ軸方向）に移動ローラー１６ｂと、キャビネット１１の内壁１１ａに配設されたガイド１６ｃと、連結板１６ａに取り付けられた取っ手１６ｄとにより少なくとも構成されている。この引き出し機構１６は作業者によって操作可能となっている。例えば、作業者が取っ手１６ｄを手前側に引っ張ることで第一載置部１２を手前側に引き出すことができる。

第一載置部１２には、載置された第一のカセット１７ａが動かないように固定するための位置決め部１９ａが少なくとも２つ配設されている。また、第二載置部１３にも、載置された第二のカセット１７ｂが動かないように固定するための位置決め部１９ｂが少なくとも２つ配設されている。

図１に示す切削装置１は、カセット載置台１０に載置された第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂに対して被加工物を搬出入する搬出入手段２０と、基台２に形成された凹状の洗浄領域８に配設された洗浄手段７０と、搬出入手段２０に連結され被加工物を保持テーブル５と洗浄手段７０との間で搬送する第一の搬送手段２３と、洗浄手段７０と保持テーブル５との間で被加工物を搬送する第二の搬送手段３２とを備えている。洗浄手段７０は、被加工物を保持し回転可能なスピンナーテーブル７１と、スピンナーテーブル７１に保持された被加工物に洗浄液を噴出するノズル７２とを備えている。

搬出入手段２０は、Ｙ軸方向にのびるプレート２１と、プレート２１の先端に配設されたクランプ部２２とを有している。搬出入手段２０は、クランプ部２２でウェーハＷと一体となったフレームＦの外周縁を把持することができる。第一の搬送手段２３は、プレート２１に連結されたＬ字状のアーム部２６と、アーム部２６の下部に装着された保持部２４と、保持部２４の端部に装着され被加工物を吸着する少なくとも４つの吸着部２５とを備えている。

筐体３の側部３ａには、搬出入手段２０及び第一の搬送手段２３をＹ軸方向に移動させる第一のＹ軸方向送り手段２８が配設されている。第一のＹ軸方向送り手段２８は、Ｙ軸方向にのびるボールネジ２８ａと、ボールネジ２８ａの先端に接続されたモータ２８ｂと、ボールネジ２８ａと平行に配設された一対のガイドレール２８ｃと、中央内部のナットがボールネジ２８ａに螺合するとともに側部が一対のガイドレール２８ｃに摺接する第一の移動部２８ｄとを備えている。第一の搬送手段２３のアーム部２６は、昇降部２７を介して第一の移動部２８ｄに接続されており、昇降部２７が上下方向に移動することにより、搬出入手段２０及び第一の搬送手段２３をＺ軸方向に昇降させることができる。また、第一のＹ軸方向送り手段２８によって駆動されてアーム部２６がＹ軸方向に移動することにより、搬出入手段２０を同一方向に移動させることができる。

カセット載置台１０のＹ２方向側には、Ｙ軸方向にのびる一対のガイドフレーム７が配設されており、それぞれのガイドフレーム７の一端部７ａが基台２の上面に形成されたＸ軸方向にのびる案内溝７ｂにおいて移動可能に配設されている。ガイドフレーム７は、断面Ｌ字状に形成されており、被加工物を支持するフレームを載置できる載置面を有している。ガイドフレーム７の該載置面の高さは、搬出入手段２０によって第一のカセット１７ａもしくは第二のカセット１７ｂから被加工物を引き出される引き出し位置に対応した位置に設定されている。

第二の搬送手段３２は、円盤状のカバー部３３と、カバー部３３の下部に配設された保持部３４と、保持部３４の端部に装着され被加工物を吸着する少なくとも４つの吸着部３５と、カバー部３３の上部に取り付けられたＬ字状のアーム部３６とを備えている。筐体３の側部３ａには、第二の搬送手段３２をＹ軸方向に移動させる第二のＹ軸方向送り手段３８が配設されている。第二のＹ軸方向送り手段３８も第一のＹ軸方向送り手段２８と同様の構成となっており、Ｙ軸方向にのびるボールネジ３８ａと、ボールネジ３８ａの先端に接続されたモータ３８ｂと、ボールネジ３８ａと平行に配設された一対のガイドレール３８ｃと、中央内部のナットがボールネジ３８ａに螺合するとともに側部が一対のガイドレール３８ｃに摺接する第二の移動部３８ｄとを備えている。第二の搬送手段３２のアーム部３６は、昇降部３７を介して第二の移動板３８ｄに接続されており、昇降部３７が上下方向に移動することにより、第二の搬送手段３２をＺ軸方向に昇降させることができる。また、第二のＹ軸方向送り手段３８によって駆動されてアーム部３６がＹ軸方向に移動することにより、第二の搬送手段３２を同一方向に移動させることができる。

切削装置１は、カセット載置台１０に載置された第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂに収容された被加工物が搬出入手段２０に対向するようにカセット載置台１０を昇降移動させる移動手段４０と、切削装置１の各種の動作機構を制御する制御手段４１とを備えている。移動手段４０は、例えばエレベーター機構であり、カセット載置台１０を下方から支持している。制御手段４１は、ＣＰＵ及びメモリを備えており、搬出入手段２０，移動手段４０，図２で示した第一カセット検出手段１４及び第二カセット検出手段１５に接続されている。なお、移動手段４０は、搬出入手段２０を昇降させるように構成されていてもよく、カセット載置台１０と搬出入手段２０とが相対的に昇降する構成であればよい。

切削装置１は、カセット載置台１０に載置された第一のカセット１７ａと第二のカセット１７ｂとに収容された被加工物の全ての加工が完了したことを報知する報知手段４２を備えている。報知手段４２は、図２で示す第一載置部１２に載置された第一のカセット１７ａに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に第一のカセット１７ａに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知する第一の報知ランプ４２ａと、第二載置部１３に載置された第二のカセット１７ｂに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に第二のカセット１７ｂに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知する第二の報知ランプ４２ｂとにより構成されている。第一の報知ランプ４２ａが点灯することにより、作業者が第一のカセット１７ａに収容された全ての被加工物の加工が完了したことを確認することができる。また、第二の報知ランプ４２ｂが点灯することにより、作業者が第二のカセット１７ｂに収容された全ての被加工物の加工が完了したことを確認することができる。なお、報知手段４２の構成としては、報知ランプに限定されるものではなく、表示モニタ、スピーカー、パトライト（登録商標）等でもよい。

筐体３の中央部下側には、保持テーブル５が通過できる開口部３ｂが形成されている。筐体３の内部は、図３に示すように、基台２の上面のＸ２方向側において保持テーブル５の移動経路（Ｘ軸方向）を跨ぐようにして門型のコラム９が立設されている。コラム９の側方には、保持テーブル５に保持された被加工物に切削加工を施す一対の切削手段５０と、一対の切削手段５０をそれぞれＺ軸方向に昇降させる加工送り手段６０と、一対の切削手段５０をそれぞれＹ軸方向に割り出し送りする２つの割り出し送り手段６５とが配設されている。

２つの切削手段５０は、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル５１と、スピンドル５１を回転可能に囲繞するスピンドルハウジング５２と、スピンドル５１の先端に着脱可能に装着された切削ブレード５３とをそれぞれ備えている。

２つの加工送り手段６０は、Ｚ軸方向にのびるボールネジ６１と、ボールネジ６１の一端に接続されたモータ６２と、ボールネジ６１に対して平行に配設された一対のガイドレール６３と、内部のナットがボールネジ６１に螺合するとともに側部がガイドレール６３に摺接する昇降板６４とをそれぞれ備えている。モータ６２によって駆動されてボールネジ６１が回動することにより、昇降板６４がガイドレール６３にガイドされてＺ軸方向にそれぞれ移動可能となっている。２つの昇降手段６０は、２つの割り出し送り手段６５によって駆動されてそれぞれがＹ軸方向に移動可能である。

２つの割り出し送り手段６５は、Ｙ軸方向にのびる２本のボールネジ６６と、それぞれのボールネジ６６の先端に接続されたモータ６７と、ボールネジ６６と平行に配設された一対のガイドレール６８と、内部のナットがボールネジ６６に螺合するとともに側部が一対のガイドレール６８に摺接する移動板６９とをそれぞれ備えている。それぞれの移動板６９に昇降手段６０がそれぞれ取り付けられている。そして、モータ６７がボールネジ６６を回動させることによりそれぞれの移動板６９がガイドレール６８にガイドされてＹ軸方向にそれぞれ移動し、昇降手段６０も同方向に移動可能となっている。

２切削装置の動作例
以下では、切削装置１の動作例について説明する。ウェーハＷは、被加工物の一例である。ウェーハＷを加工する際には、図２に示すように、カセット載置台１０の第一載置部１２に第一のカセット１７ａを載置し、カセット載置台１０の第二載置部１３に第二のカセット１７ｂを載置する。

まず、第一載置部１２に載置された第一のカセット１７ａに対する加工を実施する。図４に示すように、移動手段４０によりカセット載置台１０を昇降させて第一載置部１２に載置された第一のカセット１７ａを昇降させ、図１に示した第一のカセット１７ａに収容された加工しようとするウェーハＷを搬出入手段２０によって引き出せる引き出し位置に位置づける。そして、第一のＹ軸方向送り手段２８が搬出入手段２０をＹ１方向に移動させ、プレート２１に取り付けられたクランプ部２２が第一のカセット１７ａの内部に進入し、図１で示したウェーハＷを支持するフレームＦの周縁部をクランプ部２２で把持する。

次いで、第一のＹ軸方向送り手段２８が搬出入手段２０をＹ２方向に移動させ、フレームＦとともにウェーハＷを第一のカセット１７ａから外側に引き出して、図1に示した一対のガイドフレーム７の載置面にフレームＦの周縁部を載置する。このとき、一対のガイドフレーム７の中央に保持テーブル５をあらかじめ移動させておく。一対のガイドフレーム７が案内溝７ｂに沿って互いに接近する方向（Ｘ１方向及びＸ２方向）に移動することによって、一対のガイドフレーム７の載置面端部から立設した面にフレームＦの外周縁が当設することにより、ウェーハＷを保持テーブル５によって搬送開始する位置に位置決めすることができる。

その後、昇降部２７が下降しアーム部２６に装着された保持部２４を下降させ、各吸着部２５は図示しない吸引源の作動によりガイドフレーム７に載置されたフレームＦの上面を吸着する。次いで、一対のガイドフレーム７が互いに離反する方向に移動して、フレーム７の周縁部から一対のガイドフレーム７が離れたら、昇降部２７によって保持部２４をさらに下降させ、保持テーブル５の保持面５ａにウェーハＷを載置する。

各吸着部２５はフレームＦの吸着を解除し、保持テーブル５は、図示しない吸引源の作動により保持テーブル５の保持面５ａでウェーハＷを吸引保持する。その後、テーブルベース４がＸ２方向に移動し、保持テーブル５をＸ２方向に移動させて開口部３ｂを通過させ、図３に示す一対の切削手段５０の下方に保持テーブル５を移動させる。

そして、切削手段５０を構成するスピンドル５１を回転させることにより切削ブレード５３を回転させながら、昇降手段６０が切削手段５０をＺ軸方向に下降させ、保持テーブル５に保持されたウェーハＷの上面に切削ブレード５３を切り込ませて切削を行い、ウェーハＷを個々のチップに分割する。

ウェーハＷの切削が完了した後、テーブルベース４がＸ１方向に移動し、保持テーブル５をＸ１方向に移動させて開口部３ｂを通過させ、図１に示す第二の搬送手段３２によって洗浄手段７０のスピンナーテーブル７１にウェーハＷを搬送し、洗浄手段７０がウェーハＷを洗浄する。洗浄後、第一の搬送手段２３は、スピンナーテーブル７１から洗浄済みのウェーハＷを搬出するとともに、一対のガイドフレーム７にウェーハＷを支持するフレームＦを載置する。

図４に示すように、搬出入手段２０は、図１で示したウェーハＷを支持するフレームＦの周縁部をクランプ部２２で把持するとともにＹ１方向に移動して第一のカセット１７ａの内部に洗浄済みのウェーハＷを収容する。このようにして１枚のウェーハＷに対する切削加工、洗浄及び搬出入が終了する。そして、第一のカセット１７ａに収容された全てのウェーハＷに対しても上記同様の切削加工、洗浄及び搬出入が行われる。

切削装置１では、第一のカセット１７ａに収容された全てのウェーハＷに対する
加工が完了すると、報知手段４２の第一の報知ランプ４２ａが点灯し、第一のカセット１７ａを次工程（例えば、チップをピックアップする工程）に移すように作業者に報知する。なお、第一のカセット１７ａ内における全てのウェーハＷが加工されたと報知手段４２が判断するタイミングは、移動手段４０によって昇降されるカセット載置台１０のＺ軸方向の位置で判断される。例えば、第一のカセット１７ａの最上段のウェーハから加工を開始し、２段目のウェーハ、３段目のウェーハ、・・・・、最下段のウェーハ順番で加工を行った場合は、最下段にウェーハＷを収容した際のカセット載置台１０のＺ軸方向の位置を移動手段４０が認識し、そのことが制御手段４１に通知され、制御手段４１による制御の下で報知手段４２が報知を行う。

作業者は、第一の報知ランプ４２ａの点灯を確認したら、図５に示すように、引き出し機構１６の取っ手１６ｄを手前側に引いて第一載置部１２をガイド１６ｃに沿って水平に引き出す。その結果、第一載置部１２とともに第一のカセット１７ａがキャビネット１１の外側に引き出されたら、作業者は第一のカセット１７ａを搬出して次工程に移す。このとき、加工前のウェーハＷを複数収容した新たな第一のカセットを第一載置部１２に載置するようにしてもよい。

ここで、第一カセット検出手段１４は、図１で示した切削装置１の稼働中は常に作動しており、第一載置部１２にかかっている第一のカセット１７ａの押圧力の有無を検出して第一載置部１２において第一のカセット１７ａが載置されているか否かを検出する。

作業者によって、第一載置部１２から第一のカセット１７ａが搬出された時点で第一載置部１２にかかっている第一のカセット１７ａの押圧力がなくなるため、第一カセット検出手段１４は、第一のカセット１７ａが第一載置部１２に載置されていないと検出し、検出結果を制御手段４１に送る。

切削装置１では、第二のカセット１７ｂに収容されたウェーハＷの加工を続行するため、第一カセット検出手段１４の検出結果に基づいて、制御手段４１が搬出入手段２０及び移動手段４０を制御する。具体的には、図６に示すように、制御手段４１は、搬出入手段２０に対し、第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入を規制する。これにより、搬出入手段２０は、キャビネット１１の内部に進入することが禁止され、キャビネット１１の外側の位置で待機する。

図７に示すように、制御手段４１は、移動手段４０を制御することにより、カセット載置台１０を下降させて、第二載置部１３に載置された第二のカセット１７ｂに収容された加工しようとするウェーハと搬出入手段２０とを対向させる。続いて制御手段４１は、搬出入手段２０に対し第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入を許可する。次いで、搬出入手段２０がＹ１方向に移動することにより、プレート２１に取り付けられたクランプ部２２を第二のカセット１７ｂの内部に進入させ、図１で示したフレームＦの周縁部をクランプ部２２で把持する。そして、搬出入手段２０がＹ２方向に移動してウェーハＷが搬出入手段２０により引き出され、保持テーブル５で保持し、上記同様の切削加工、洗浄及び搬出入が行われる。

第二のカセット１７ｂに収容された全てのウェーハＷに対する加工が完了すると、図１で示した報知手段４２の第二の報知ランプ４２ｂが点灯し、第二のカセット１７ｂを次工程に移すように作業者に報知する。なお、第二のカセット１７ｂ内における全てのウェーハＷが加工されたと報知手段４２が判断するタイミングは、移動手段４０によって昇降されるカセット載置台１０の位置で判断される。

ここで、図７に示す第二カセット検出手段１５は、図１で示した切削装置１の稼働中は常に作動しており、第二載置部１３にかかっている第二のカセット１７ｂの押圧力の有無を検出して第二載置部１３において第二のカセット１７ｂが載置されているか否かを検出する。

第二のカセット１７ｂに収容されたウェーハがすべて加工され、作業者が、第二載置部１３から第二のカセット１７ｂを搬出すると、第二載置部１３にかかっていた第二のカセット１７ｂの押圧力がなくなるため、第二カセット検出手段１５は、第二のカセット１７ｂが第二載置部１３に載置されていないと検出し制御手段４１に検出結果を送る。このとき、加工前のウェーハＷを複数収容した新たな第二のカセットを第二載置部１３に載置するようにしてもよい。

次に、第一載置部１２に載置された新たな第一のカセット１７ａに収容されたウェーハＷの加工を続行するため、第二カセット検出手段１４の検出結果に基づいて制御手段４１が搬出入手段２０及び移動手段４０を制御する。具体的には、制御手段４１は、搬出入手段２０に対し第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入を規制する。これにより、図８に示すように、搬出入手段２０は、第二載置部１３の近傍であってカセット載置台１０の外側の位置で待機する。

図９に示すように、制御手段４１は、移動手段４０を制御することにより、カセット載置台１０を上昇させて第一載置部１２に載置された新たな第一のカセット１７ａと搬出入手段２０とが対向する位置に位置づける。続いて制御手段４１は、搬出入手段２０に対し第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入を許可する。搬出入手段２０がＹ１方向に移動することにより、プレート２１に取り付けられたクランプ部２２を第一のカセット１７ａの内部に進入させ、図１で示したフレームＦの周縁部をクランプ部２２で把持する。その後は、第一のカセット１７ａに収容された全てのウェーハＷに対しても上記同様の切削加工、洗浄及び搬出入が行われる。

以上のとおり、本発明の切削装置１では、カセット載置台１０の第一載置部１２に第一のカセット１７ａが載置されていないと第一カセット検出手段１４により検出された場合には、制御手段４１によって、搬出入手段２０による第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入は規制するが、第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入は許可するため、第一のカセット１７ａに収容された全てのウェーハＷに対する加工が完了した時点で作業者が第一のカセット１７ａを次工程に移しても、搬出入手段２０による第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入及び加工を実施できる。
また、カセット載置台１０の第二載置部１３に第二のカセット１７ｂが載置されていないと第二カセット検出手段１５により検出された場合には、制御手段４１によって、搬出入手段２０による第二のカセット１７ｂに対するウェーハＷの搬出入は規制するが、第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入は許可するため、第二のカセット１７ｂに収容された全てのウェーハＷに対する加工が完了した時点で作業者が第二のカセット１７ｂを次工程に移しても、搬出入手段２０による第一のカセット１７ａに対するウェーハＷの搬出入及び加工を実施できる。
このように、切削装置１を停止することなく第一のカセット１７ａ及び第二のカセット１７ｂに収容されたウェーハＷに対する加工を続行することが可能となり、従来の加工装置と比べて製品の生産性が向上する。

切削装置１には、第一のカセット１７ａに収容された全てのウェーハＷの加工が完了したことを報知する第一の報知ランプ４２ａと、第二のカセット１７ｂに収容された全てのウェーハＷの加工が完了したことを報知する第二の報知ランプ４２ａとにより構成される報知手段４２を備えているため、作業者に対して第一のカセット１７ａ、第二のカセット１７ｂに収容された全てのウェーハＷに対する加工が終了したことを即座に知らせることができる。そのため、適切なタイミングでカセットの交換ができ、製品の更なる生産性の向上を図ることが可能となる。

１：切削装置２：基台３：筐体３ａ：側部３ｂ：開口部４：テーブルベース
５：保持テーブル５ａ：保持面６：蛇腹７：ガイドフレーム７ａ：一端部
８：洗浄領域９：コラム
１０：カセット載置台
１１：キャビネット１１ａ：内壁１１ｂ：側版１１ｃ：天板１２：第一載置部
１３：第二載置部１４：第一検出手段１５：第二検出手段１６：引き出し機構
１６ａ：連結板１６ｂ：ローラー１６ｃ：ガイド１６ｄ：取っ手
１７ａ：第一のカセット１７ｂ：第二のカセット１８：棚部
１９ａ，１９ｂ：位置決め部
２０：搬出入手段２１：プレート２２：クランプ部２３：第一の搬送手段
２４：保持部２５：吸着部２６：アーム部２７：昇降部
２８：第一のＹ軸方向送り手段２８ａ：ボールネジ２８ｂ：モータ
２８ｃ：ガイドレール２８ｄ：第一の移動部
３２：第二の搬送手段３３：カバー部３４：保持部３５：吸着部
３６：アーム部３７：昇降部３８：第二のＹ軸方向送り手段３８ａ：ボールネジ
３８ｂ：モータ３８ｃ：ガイドレール３８ｄ：第二の移動部
４０：移動手段４１：制御手段４２：報知手段４２ａ：第一の報知ランプ
４２ｂ：第二の報知ランプ
５０：切削手段５１：スピンドル５２：スピンドルハウジング５３：切削ブレード
６０：加工送り手段６１：ボールネジ６２：モータ６３：ガイドレール
６４：昇降板６５：割り出し送り手段６６：ボールネジ
６７：モータ６８：ガイドレール６９：移動板
７０：洗浄手段７１：スピンナーテーブル

Claims

被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された被加工物に加工を施す加工手段と、を備えた加工装置であって、
被加工物を複数収容可能なカセットが載置されるカセット載置台と、
該カセット載置台に載置されたカセットに対して被加工物を搬出入する搬出入手段と、
該カセット載置台に載置されたカセットに収容された被加工物が該搬出入手段に対向するように該カセット載置台と該搬出入手段とを相対的に昇降移動させる移動手段と、
少なくとも該搬出入手段と該移動手段とを制御する制御手段と、を備え、
該カセット載置台は、第一のカセットが載置される第一載置部と、
該第一のカセットより上方で該第二のカセットが載置される第二載置部と、
該第一載置部に第一のカセットが載置されているか否かを検出する第一カセット検出手段と、
該第二載置部に第二のカセットが載置されているか否かを検出する第二カセット検出手段と、を有し、
該制御手段は、該第一載置部に第一のカセットが載置されていないことが該第一カセット検出手段によって検出された場合には、該搬出入手段による該第一のカセットに対する被加工物の搬出入は規制するが、該搬出入手段による該第二のカセットに対する被加工物の搬出入は許可し、該第二載置部に第二のカセットが載置されていないことが該第二カセット検出手段によって検出された場合には、該搬出入手段による該第二のカセットに対する被加工物の搬出入は規制するが、該搬出入手段による該第一のカセットに対する被加工物の搬出入は許可する加工装置。
前記第一載置部に載置された前記第一のカセットに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に該第一のカセットに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知するとともに前記第二載置部に載置された前記第二のカセットに収容された全ての被加工物の加工が終了した際に該第二のカセットに収容された被加工物に対する加工が完了したことを報知する報知手段を更に備えた、請求項１に記載の加工装置。