JP4646561B2 - 円盤状ワークの周縁加工装置 - Google Patents
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Description
2 加工ステージ
4 ローダハンド
9 ディスク
20 制御装置
23 カセット
27 ロック装置
Claims (3)
- 多数の円盤状ワーク(9)を収容したカセット(23)の複数個を位置決め固定するワーク台(1)と、このワーク台に隣接する加工ステージ(2)と、前記ワーク台上に位置決め固定されたカセット(23)の上方を移動して、当該カセットに収容された円盤状ワーク(9)を当該カセットから順次取上げて加工ステージ(2)に搬送するローダハンド(4)とを備え、
前記ワーク台上に配置された互いに平行な水平方向の複数対のガイドレール(24)を備え、前記カセットのそれぞれが前記ガイドレールの各対に案内されて前記ワーク台上に側方より装置外へと引出式に装脱されることを特徴とする、円盤状ワークの周縁加工装置。 - ワーク台(1)が、前記ガイドレールの各対毎に各ガイドレールに挿入されたカセットを固定するロック装置(27)を備え、前記ローダハンド(4)を制御している制御装置(20)は、ワークの取出し及び戻し位置が一のカセットから次のカセットに移ったときに、当該一のカセットを固定しているロック装置(27)を解除可能にすることを特徴とする、請求項1記載の周縁加工装置。
- ワーク(9)がカセット(23)にその円盤面を縦方向にして収納されている、請求項1又は2記載の周縁加工装置。
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2004
- 2004-07-13 JP JP2004206320A patent/JP4646561B2/ja active Active
Patent Citations (3)
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---|---|---|---|---|
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JP2001105203A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-17 | Nakamura Tome Precision Ind Co Ltd | 旋盤のシャフトワーク用ローダアンローダ |
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