KR102345188B1 - 가공 장치 - Google Patents

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린타로 차노
유지 우에무라
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

본 발명은 오퍼레이터에게 조작 조건의 설정을 용이하고 또한 확실하게 확인시키는 것을 목적으로 한다.
각종 처리가 실시되는 각 구성 요소에서, 일련의 처리순으로 피가공물이 풀 오토 동작으로 가공되는 가공 장치이며, 각 구성 요소에서 각종 처리를 실시하는 가공 수단과, 각 구성 요소의 조작 조건을 접수하는 조작 패널(79)과, 조작 조건에 대응한 처리 동작을 이미지 화상으로서 기억하는 이미지 화상 기억부(77)를 구비하고, 풀 오토 동작 전에 각 처리 동작의 이미지 화상을 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 조작 패널에 표시하는 구성으로 하였다.

Description

가공 장치{PROCESSING APPARATUS}
본 발명은 피가공물을 가공하는 가공 장치에 관한 것이다.
IC, LSI 등의 복수의 디바이스가 형성된 웨이퍼에 대해서는, 연삭 장치 및 연마 장치에 의한 박화(薄化), 레이저 가공 장치 및 절삭 장치에 의한 개편화(個片化), 세정 장치에 의한 세정 등의 여러 가지 프로세스를 거쳐 개개의 디바이스가 형성된다(예컨대, 특허문헌 1 참조). 예컨대, 연삭 연마 장치에 있어서는, 웨이퍼의 위치 검출, 거친 마무리 연삭, 연마, 세정 등의 여러 가지 프로세스가 풀 오토 동작으로 실시되고 있고, 각각의 프로세스마다 피가공물에 대해 최적의 조작 조건이 설정되어 있다. 이들의 조작 조건은, 장치 측면의 조작 패널에 표시된 디바이스 데이터 등의 설정 화면에서 개별적으로 설정되어 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 평성 제8-107095호 공보
그러나, 풀 오토 동작에서는 프로세스가 다방면에 걸치기 때문에, 프로세스마다 조작 조건을 정밀하게 설정하면, 디바이스 데이터의 설정 화면의 설정 항목이 증가하여 오퍼레이터가 모든 설정을 확인하는 데 많은 시간을 요한다고 하는 문제가 있다. 또한, 오퍼레이터의 확인 미스에 의해 디바이스 데이터에 설정 오류가 있었던 경우에는, 풀 오토 동작의 스타트 후에 비로소 디바이스 데이터의 설정 오류가 판명된다. 이 때문에, 풀 오토 동작을 중지하고 피가공물을 원래의 위치로 복귀시키는 등의 복귀 작업에 시간을 요하고, 생산이 도중에 스톱해 버려 경제적이지 않다.
본 발명은 이러한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 오퍼레이터에게 조작 조건의 설정을 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있는 가공 장치를 제공하는 것을 목적의 하나로 한다.
본 발명의 일 양태의 가공 장치는, 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 피가공물을 복수개 수용하는 카세트와, 상기 카세트를 배치하는 카세트 배치대와, 상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트와 상기 척 테이블에 피가공물을 반입·반출하는 반송 수단과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 수단과, 각 구성 요소의 조작 조건을 입력 설정하는 조작 패널을 적어도 구비하고, 피가공물이 일련의 처리순으로 각 구성 요소에 있어서 풀 오토 동작으로 가공되는 가공 장치로서, 상기 제어 수단은, 각 구성 요소에 있어서 설정할 수 있는 복수의 조작 조건에 대응한 처리 동작을 각각 이미지 화상으로서 기억하는 이미지 화상 기억부를 구비하고, 상기 조작 패널에는, 설정된 상기 조작 조건에 따라 해당하는 상기 이미지 화상이 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 표시되어, 풀 오토 동작 전에 상기 각 구성 요소의 상기 조작 조건의 설정이 올바른지의 여부를 확인할 수 있는 것을 특징으로 한다.
이 구성에 의하면, 조작 패널에 의해 설정 입력된 각 구성 요소의 조작 조건에 기초하여, 이미지 화상 기억부에 기억된 처리 동작의 이미지 화상이 판독된다. 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 이미지 화상이 프리뷰로서 표시되기 때문에, 프리뷰에 의해 풀 오토 동작 전에 각 구성 요소의 조작 조건의 설정에 오류가 없는지를 오퍼레이터에게 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 조작 패널의 설정 입력에 따라, 풀 오토 동작의 처리순으로 이미지 화상이 프리뷰로서 표시되기 때문에, 오퍼레이터에게 조작 조건의 설정을 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있다.
도 1은 본 실시형태의 가공 장치의 상면 모식도이다.
도 2는 조작 패널의 화면 표시의 일례를 도시한 도면이다.
도 3은 본 실시형태의 프리뷰 화상의 표시 기능을 도시한 기능 블록도이다.
도 4는 본 실시형태의 위치 결정 처리의 이미지 화상의 표시예를 도시한 도면이다.
도 5는 본 실시형태의 트리밍 처리의 이미지 화상의 표시예를 도시한 도면이다.
도 6은 본 실시형태의 척 테이블 세정 처리의 표시예를 도시한 도면이다.
도 7은 본 실시형태의 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 실시형태의 프리뷰 화상의 표시 기능을 구비한 가공 장치에 대해 설명한다. 도 1은 본 실시형태의 가공 장치의 상면 모식도이다. 도 2는 조작 패널의 화면 표시의 일례를 도시한 도면이다. 한편, 이하의 설명에서는, 웨이퍼의 외주부를 트리밍 가공하는 가공 장치에, 프리뷰 화상의 표시 기능을 적용하는 구성에 대해 설명하지만, 이 구성에 한정되지 않는다. 또한, 프리뷰 화상의 표시 기능은 다른 가공 장치에 이용되어도 좋다.
도 1에 도시된 바와 같이, 가공 장치(1)는, 풀 오토 타입의 가공 장치이며, 원판형의 피가공물(W)에 대한 반입 처리, 절삭 처리, 세정 처리, 반출 처리로 이루어지는 일련의 작업을 전자동으로 실시하도록 구성되어 있다. 피가공물(W)의 외주 에지에는, 제조 공정 중에 있어서의 균열이나 발진(發塵) 방지를 위한 모따기부(도시하지 않음)가 형성되어 있다. 또한, 피가공물(W)의 외주부에는 결정 방위를 나타내는 노치(N)가 형성되어 있다. 한편, 피가공물(W)은, 반도체 기판에 반도체 디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼여도 좋고, 사파이어 기판에 광디바이스가 형성된 광디바이스 웨이퍼여도 좋다.
가공 장치(1)에는, 장치 전방에 반입 영역(A1), 장치 안쪽에 가공 영역(A2), 반입 영역(A1) 및 가공 영역(A2)에 인접하여 세정 영역(A3)이 설정되어 있다. 또한, 가공 장치(1)의 전면(前面; 12)에는, 반입 영역(A1)으로부터 전방으로 돌출되도록, 한 쌍의 카세트 스테이지(카세트 배치대)(13, 14)가 설치되어 있다. 카세트 스테이지(13)에는, 가공 전의 피가공물(W)이 수용된 반입용 카세트(C1)가 배치된다. 카세트 스테이지(14)에는, 가공 후의 피가공물(W)이 수용되는 반출용 카세트(C2)가 배치된다. 카세트 스테이지(13)는 가공 장치(1)의 반입구로서 기능하고, 카세트 스테이지(14)는 가공 장치(1)의 반출구로서 기능한다.
반입 영역(A1)에는, 반입용 카세트(C1) 및 반출용 카세트(C2)에 대해 피가공물(W)을 출납하는 다관절 로봇(반송 수단)(21)이 설치되어 있다. 다관절 로봇(21)은, 리니어 모터식의 이동 기구(24)의 슬라이드 헤드에 로봇 아암(22)을 부착하고, 로봇 아암(22)의 선단에 핸드부(23)를 장착하여 구성되어 있다. 다관절 로봇(21)은, 이동 기구(24)에 의해 X축 방향으로 이동되고, 로봇 아암(22)의 각 관절의 회전이 서보 모터 등으로 제어됨으로써, 반입용 카세트(C1) 및 반출용 카세트(C2)에 대해 핸드부(23)가 원하는 위치나 자세로 조정된다.
가공 영역(A2)에는, 포지션 테이블(26) 상에서 가공 전의 피가공물(W)이 위치 결정 상태로 임시 배치되는 위치 결정 기구(25)와, 척 테이블(31) 상에서 피가공물(W) 표면의 외주부를 절삭하는 절삭 기구(가공 수단)(41)가 설치되어 있다. 위치 결정 기구(25)에서는, 포지션 테이블(26)에 복수의 배치 핀(27)이 돌출되어 설치되어 있고, 웨이퍼(W)의 외주부가 복수의 배치 핀(27)에 하방으로부터 지지됨으로써, 테이블로부터 뜬 상태로 웨이퍼(W)가 위치 결정된다. 또한, 포지션 테이블(26) 근방에는, 노치(N) 검출용의 광학 센서(28)(도 4a 참조)가 설치되어 있다. 포지션 테이블(26)의 안쪽에는, 피가공물(W)의 반입 위치와 절삭 위치 사이에서 X축 방향으로 왕복 이동하는 척 테이블(31)이 설치되어 있다. 베이스(11) 상에는, 이 척 테이블(31)의 이동 궤적을 따라 X축 방향으로 연장되는 개구부(17)가 형성되어 있다.
개구부(17)는, 주름상자형의 방수 커버(18)에 덮여 있고, 방수 커버(18)의 하방에는 척 테이블(31)을 X축 방향으로 왕복 이동시키는 이송 나사식의 척 테이블 이동 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 척 테이블(31)의 표면에는, 다공질재에 의해 피가공물(W)을 흡착하는 유지면(32)이 형성되어 있다. 유지면(32)은, 척 테이블(31) 내의 유로를 통해 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있고, 유지면(32)에 발생하는 부압에 의해 피가공물(W)이 흡인 유지된다. 또한, 척 테이블(31)은, 회전 기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 주위로 회전 가능하게 구성되어 있다.
절삭 기구(41)는, 한 쌍의 블레이드 유닛(42)을 교대로 이용하여, 척 테이블(31) 상의 피가공물(W)의 외주부를 절삭하도록 구성되어 있다. 절삭 기구(41)는, 개구부(17)에 걸치도록 베이스(11) 상에 세워져 설치된 문형의 기둥부(43)를 갖고 있다. 기둥부(43)의 표면에는, 한 쌍의 블레이드 유닛(42)을 이동시키는 이송 나사식의 블레이드 유닛 이동 기구(44)가 설치되어 있다. 블레이드 유닛 이동 기구(44)는, Y축 방향으로 이동하는 한 쌍의 Y축 테이블(45)과, 각 Y축 테이블(45)에 대해 Z축 방향으로 이동되는 Z축 테이블(46)을 갖고 있다. 블레이드 유닛(42)은, Y축 테이블(45) 및 Z축 테이블(46)에 의해 Y축 방향 및 Z축 방향으로 이동된다.
블레이드 유닛(42)은, 스핀들(47)의 선단에 원판형의 절삭 블레이드(48)를 장착하여 구성되어 있다. 고속 회전한 절삭 블레이드(48)에 의해 척 테이블(31) 상의 피가공물(W)의 모따기부가 절입된 상태에서, 척 테이블(31)을 회전시킴으로써, 피가공물(W)의 모따기부가 전체 둘레에 걸쳐 트리밍 가공된다. 피가공물(W)의 외주부로부터 표면측의 모따기부가 제거됨으로써, 후단의 연삭 공정에서 피가공물(W)이 이면측으로부터 마무리 두께까지 연삭되어도 모따기부가 남는 일이 없고, 피가공물(W)의 외주부가 나이프 에지형으로 형성되는 일이 없다.
또한, 블레이드 유닛(42)에는, 얼라인먼트용의 촬상 기구(51)(도 5a 참조)가 설치되어 있다. 촬상 기구(51)의 촬상 화상은 절삭 블레이드(48)와 피가공물(W)의 얼라인먼트 처리에 이용된다. 또한, 블레이드 유닛(42) 근방에는, 비접촉으로 피가공물(W)의 상면 높이를 측정하는 하이트 센서(52)(도 5b 참조)가 설치되어 있다. 하이트 센서(52)로서는, 예컨대 NSD(Non Contact Surface Detector)가 이용되고, 노즐로부터 에어를 배출할 때의 배압값을 검지하여, 피가공물(W)의 상면 위치가 검출된다. 하이트 센서(52)를 이용함으로써, 피가공물(W)의 절입량을 정밀도 좋게 조정할 수 있다.
또한, 베이스(11) 상에는, 절삭 기구(41)에 인접하여, 피가공물(W)의 반송 후의 척 테이블(31)을 세정하는 척 테이블 세정 기구(55)가 설치되어 있다. 척 테이블 세정 기구(55)에는, 베이스(11)의 상방에서 Y축 방향으로 평행하게 연장되는 세정 노즐(56)과 건조 노즐(57)이 설치되어 있다. 세정 노즐(56)로부터의 세정수에 의해 워터 커튼이 형성되고, 건조 노즐(57)로부터의 에어에 의해 에어 커튼이 형성된다. 워터 커튼 및 에어 커튼을 척 테이블(31)이 빠져 나감으로써 척 테이블(31)의 유지면(32)이 세정 및 건조된다. 또한, 척 테이블 세정 기구(55)에는, 유지면(32)의 외연(外緣) 부근을 세정하는 2유체 노즐(58)(도 6b 참조)이 설치되어 있다.
가공 영역(A2)에 있어서는, 에지 클램프식의 반송 수단(61)에 의해 척 테이블(31) 상에 피가공물(W)이 반입되고, 에지 클램프식의 반송 수단(64)에 의해 척 테이블(31)로부터 피가공물(W)이 반출된다. 이 경우, 반송 수단(61)에 의해 포지션 테이블(26)로부터 가공 전의 피가공물(W)이 픽업되고, 리니어 모터식의 이동 기구(62)에 의해 피가공물(W)이 척 테이블(31)에 반송된다. 또한, 반송 수단(64)에 의해 척 테이블(31)로부터 가공 후의 피가공물(W)이 픽업되고, 반송 수단(64)의 기단부를 중심으로 한 선회 이동에 의해 세정 영역(A3)에 피가공물(W)이 반송된다.
세정 영역(A3)에는, 피가공물(W)의 이면을 세정하는 이면 세정 기구(71)와, 피가공물(W)의 표면을 세정하는 표면 세정 기구(72)가 설치되어 있다. 이면 세정 기구(71)에서는, 복수의 배치 핀(73) 상에 웨이퍼(W)의 외주부가 지지된 상태에서, 피가공물(W)의 이면에 세정수가 분사되어 회전 브러시(74)에 의해 이면 세정된다. 이면 세정 후의 피가공물(W)은, 에지 클램프식의 반송 수단(67)에 의해 이면 세정 기구(71)로부터 픽업되고, 리니어 모터식의 이동 기구(68)에 의해 표면 세정 기구(72)에 반송된다. 표면 세정 기구(72)에서는, 스피너 테이블(70)의 복수의 클램프부(78)에 의해 웨이퍼(W)의 외주부가 유지된 상태에서, 피가공물(W)에 세정수가 분사되어 표면 세정된 후, 건조 에어가 분무되어 건조된다.
또한, 가공 장치(1)에는, 위치 결정 처리, 트리밍 처리, 표면 세정 처리, 이면 세정 처리 등을 실시하는 각 구성 요소를 통괄 제어하는 제어 수단(75)이 설치되어 있다. 제어 수단(75)은, 가공 장치(1)를 동작시키는 프로세서나 메모리 등에 의해 구성되어 있다. 메모리는, 용도에 따라 ROM(Read Only Memory), RAM(Random Access Memory) 등의 하나 또는 복수의 기억 매체로 구성된다. 또한, 가공 장치(1)의 장치 측면에는, 각 구성 요소의 조작 조건을 입력 설정하는 조작 패널(79)이 설치되어 있다. 가공 장치(1)에서는, 조작 조건에 기초하여 피가공물(W)이 각 구성 요소에 있어서 일련의 처리순으로 풀 오토 동작으로 가공된다.
도 2a에 도시된 바와 같이, 조작 패널(79)(도 1 참조)에는 피가공물(W)의 처리 상황을 모니터하기 위한 맵 화면(80)이 표시되어 있다. 맵 화면(80)에는, 일련의 처리의 각 구성 요소를 나타내는 심볼 화상(81)이 표시되어 있고, 이들 심볼 화상(81) 상을 피가공물 화상(82)이 이동함으로써 피가공물(W)에 대한 처리 상황을 확인할 수 있다. 그러나, 맵 화면(80)에서는, 피가공물(W)에 대한 일련의 처리 상황을 확인할 수 있으나, 올바른 처리가 실시되는지의 여부를 확인할 수 없다. 예컨대, 절삭 가공에서는 얼라인먼트 등의 옵션을 지정할 수 있으나, 실제로 얼라인먼트가 실시되는지의 여부까지는 확인할 수 없다.
이 때문에 통상은, 도 2b에 도시된 바와 같이 조작 패널(79)(도 1 참조)에 표시된 처리마다의 디바이스 데이터 등의 설정 화면(90)에 의해, 풀 오토 동작의 개시 전에 얼라인먼트 등의 옵션을 갖는 처리인지의 여부가 확인된다. 구체적으로는, 설정 화면(90)에는, 조작 조건의 입력을 접수하는 각종 입력 박스나 체크 박스 등이 표시되어 있고, 이들 입력 박스의 파라미터나 체크 박스의 체크가 확인된다. 그러나, 풀 오토 타입의 가공 장치(1)에서는 설정 화면(90)이 많아져 오퍼레이터의 부담이 되고 있었다. 또한, 오퍼레이터가 설정 화면(90)의 설정 오류를 못 보고 놓치면, 풀 오토 동작의 개시 후에 동작을 중지하고 복귀 작업을 하지 않으면 안 된다.
그래서, 본 실시형태의 가공 장치(1)에서는, 설정 화면(90)에 입력된 조작 조건에 기초하여, 풀 오토 동작의 개시 전에 피가공물(W)에 대한 처리순으로 각 처리의 이미지 화상을 프리뷰로서 조작 패널(79)에 표시하도록 하고 있다. 풀 오토 동작 전에 실제의 처리 동작이 프리뷰로서 표시되기 때문에, 오퍼레이터가 다수의 설정 화면(90)의 설정 항목을 확인하지 않고, 직접적으로 실제의 처리 동작을 오퍼레이터에게 파악시킬 수 있다. 따라서, 설정 화면(90)에 설정된 조작 조건에 오류가 없는지를 오퍼레이터에게 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있다.
이하, 도 3 내지 도 7을 참조하여, 프리뷰 화상의 표시 처리에 대해 설명한다. 도 3은 본 실시형태의 프리뷰 화상의 표시 기능을 도시한 기능 블록도이다. 도 4는 본 실시형태의 위치 결정 처리의 이미지 화상의 표시예를 도시한 도면이다. 도 5는 본 실시형태의 트리밍 처리의 이미지 화상의 표시예를 도시한 도면이다. 도 6은 본 실시형태의 척 테이블 세정 처리의 표시예를 도시한 도면이다. 도 7은 본 실시형태의 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 조작 패널(79)에는 제어 수단(75)이 접속되어 있고, 조작 패널(79)에 표시된 디바이스 데이터 등의 설정 화면(90)으로부터 제어 수단(75)에 조작 조건이 입력된다. 또한, 제어 수단(75)에 의해 맵 화면(80)과 함께 조작 조건에 기초한 각 구성 요소의 처리 동작의 이미지 화상이 조작 패널(79)에 프리뷰로서 표시된다. 제어 수단(75)에는, 조작 패널(79)의 설정 화면(90) 및 맵 화면(80) 등을 표시 제어하는 표시 제어부(76)와, 각 구성 요소에 설정 가능한 복수의 조작 조건에 대응한 처리 동작을 각각 이미지 화상(IM)으로서 기억하는 이미지 화상 기억부(77)가 설치되어 있다.
이미지 화상 기억부(77)에서는, 구성 요소의 처리마다 조작 조건과 이미지 화상이 관련되어 기억되어 있다. 예컨대, 위치 결정 처리에서는, 조작 조건으로서 옵션으로 노치 검출의 유무 등이 설정 가능하고, 옵션마다 위치 결정 처리의 이미지 화상(IM11, IM12)(도 4 참조)이 기억되어 있다. 트리밍 처리에서는, 조작 조건으로서 옵션으로 커트의 유무, 얼라인먼트의 유무, NSD(상면 높이 측정)의 유무, 에어 커트의 유무 등이 설정 가능하고, 옵션마다 트리밍 처리의 이미지 화상(IM21-IM25)(도 5 참조)이 기억되어 있다.
한편, 에어 커트란, 절삭 블레이드(48)를 피가공물(W)에 접근시킬 때에, 피가공물(W) 바로 앞에서 절삭 블레이드(48)의 접근 속도를 감속하여 공(空)절삭하는 것을 말한다(도 5c 참조). 이에 의해, 피가공물(W)에 대해 절삭 블레이드(48)가 강하게 충돌하는 일이 없어, 피가공물(W)과 절삭 블레이드(48)의 파손이 방지된다. 척 테이블 세정 처리에서는, 워터 커튼의 유무, 에어 커튼의 유무, 2유체 세정의 유무 등이 설정 가능하고, 옵션마다 척 테이블 세정 처리의 이미지 화상(IM31, IM32)(도 6 참조)이 기억되어 있다. 또한, 이미지 화상 기억부(77)에는 상기한 옵션 이외에도, 절삭 블레이드(48)의 오토 셋업 등의 다른 옵션에 대응한 이미지 화상(IM)이 기억되어 있어도 좋다.
표시 제어부(76)는, 조작 패널(79)로부터의 조작 조건이 입력되면, 조작 조건에 포함되는 각종 정보로부터 해당 처리의 옵션을 선택하고, 이 옵션에 대응한 이미지 화상(IM)을 이미지 화상 기억부(77)로부터 판독하고 있다. 그리고, 표시 제어부(76)는, 조작 패널(79)에 맵 화면(80)을 표시하고, 맵 화면(80)에서의 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 이미지 화상을 프리뷰로서 표시한다. 이에 의해, 가공 장치(1)의 풀 오토 동작 전에, 각종 처리를 실시하는 각 구성 요소의 조작 조건의 설정이 올바른지의 여부를 오퍼레이터에게 확인시키는 것이 가능해지고 있다.
한편, 이미지 화상 기억부(77)에서는, 조작 조건으로부터 추정되는 에러 처리의 이미지 화상이 기억되어 있어도 좋다. 예컨대, 위치 결정 처리의 조작 조건으로서, 노치가 없는 피가공물에 노치 검출의 옵션이 설정된 경우에, 에러 처리의 이미지 화상이 프리뷰로서 표시된다. 또한, 트리밍 처리의 조작 조건으로서, 피가공물(W)의 두께 이상으로 절삭 블레이드(48)(도 5a 참조)에 의해 절입하는 것과 같은 수치가 설정된 경우에, 에러 처리의 이미지 화상이 프리뷰로서 표시된다. 이미지 화상은, 조작 패널(79)에 애니메이션 화상으로 표시되어도 좋고, 조작 패널(79)에 실제의 동작을 촬상한 촬상 화상으로 표시되어도 좋다.
또한, 조작 조건은, 오퍼레이터에 의해 입력되는 조건에 한하지 않고, 장치 내의 센서 등으로 검출되는 조건이어도 좋다. 예컨대, 카세트 스테이지에는 카세트의 유무를 검출하는 센서가 설치되어 있고, 이 센서의 검출 결과가 조작 조건으로서 제어 수단(75)에 입력되어도 좋다. 카세트 스테이지에서 카세트가 검출되지 않는 경우에는, 가공 장치(1)에 의해 피가공물(W)에 대한 각종 처리가 실시되지 않는다고 하여, 모든 처리에서 에러 처리의 이미지 화상이 프리뷰로서 표시된다. 이와 같이, 조작 조건에는, 오퍼레이터에 의해 설정되는 조작 조건 외에, 장치 스스로가 자동적으로 설정하는 조작 조건이 포함되어도 좋다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 조작 패널(79)(도 3 참조)의 맵 화면(80)에는, 각종 처리를 실시하는 구성 요소를 나타내는 심볼 화상이 표시되어 있다. 예컨대, 도 4에서는 심볼 화상으로서, 반입용 카세트 화상(83), 반출용 카세트 화상(84), 다관절 로봇 화상(85), 포지션 테이블 화상(86), 반송 수단 화상(87), 척 테이블 화상(88)이 표시된다. 또한, 맵 화면(80)에서는, 이들 구성 요소의 심볼 화상 상을 피가공물 화상(82)이 이동하도록 표시되어 있다. 그리고, 피가공물 화상(82)의 이동에 맞춰, 일련의 처리순으로 각 구성 요소의 처리 동작의 이미지 화상이 표시된다.
도 4a에 도시된 바와 같이, 피가공물 화상(82)이 포지션 테이블 화상(86)으로 이동하면, 위치 결정 처리의 이미지 화상이 포지션 테이블 화상(86)에 관련되어 표시된다. 예컨대, 노치 검출 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)(도 3 참조)로부터 포지션 테이블(26) 및 광학 센서(28)를 포함하는 이미지 화상(IM11)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 노치 검출 있음의 위치 결정 처리가 표시된다. 또한, 도 4b에 도시된 바와 같이, 노치 검출 없음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)로부터 포지션 테이블(26)을 포함하는 이미지 화상(IM12)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 노치 검출 없음의 위치 결정 처리가 표시된다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 피가공물 화상(82)이 척 테이블 화상(88)으로 이동하면, 트리밍 처리의 이미지 화상이 척 테이블 화상(88)에 관련되어 표시된다. 예컨대, 커트 있음이고 얼라인먼트 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)(도 3 참조)로부터 척 테이블(31), 절삭 블레이드(48), 촬상 기구(51)를 포함하는 이미지 화상(IM21)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 얼라인먼트 있음의 트리밍 처리가 표시된다. 도 5b에 도시된 바와 같이, 커트 있음이고 NSD 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)로부터 척 테이블(31), 절삭 블레이드(48), 하이트 센서(52)를 포함하는 이미지 화상(IM22)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 NSD 있음의 트리밍 처리가 표시된다.
도 5c에 도시된 바와 같이, 에어 커트 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)(도 3 참조)로부터 척 테이블(31) 및 절삭 블레이드(48)를 포함하는 이미지 화상(IM23)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 에어 커트 있음의 트리밍 처리가 표시된다. 도 5d에 도시된 바와 같이, 커트 없음이고 NSD 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)로부터 척 테이블(31) 및 하이트 센서(52)를 포함하는 이미지 화상(IM24)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 트리밍 없음의 NSD 처리가 표시된다. 도 5e에 도시된 바와 같이, 커트 없음이고 얼라인먼트 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)로부터 척 테이블(31) 및 촬상 기구(51)를 포함하는 이미지 화상(IM25)이 판독되어, 피가공물(W)에 대한 트리밍 없음의 얼라인먼트 처리가 표시된다.
도 6a에 도시된 바와 같이, 피가공물 화상(82)이 척 테이블 화상(88)으로부터 반출되면, 척 테이블 세정 처리의 이미지 화상이 표시된다. 예컨대, 워터 커튼 및 에어 커튼 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)(도 3 참조)로부터 척 테이블(31), 세정 노즐(56), 건조 노즐(57)을 포함하는 이미지 화상(IM31)이 판독되어 척 테이블 세정 처리가 표시된다. 도 6b에 도시된 바와 같이, 워터 커튼 및 에어 커튼 있음이고 2유체 세정 있음의 설정에서는, 이미지 화상 기억부(77)로부터 척 테이블(31), 세정 노즐(56), 건조 노즐(57), 2유체 노즐(58)을 포함하는 이미지 화상(IM32)이 판독되어 2유체 세정 있음의 척 테이블 세정 처리가 표시된다.
한편, 도 7에 도시된 바와 같이, 설정 화면(90)에 대한 조작 조건은, 체크 박스(91)에의 체크가 아니라, 입력 박스(92)에의 수치 입력에 의해 설정되어도 좋다. 예컨대, 척 테이블 세정 처리의 설정 화면(90)에서, 에어 커튼 통과 속도의 입력 박스(92)에 0[㎜/s]이 입력되어 있는 경우에는, 에어 커튼 없음이라고 판단된다. 또한, 에어 커튼 통과 속도의 입력 박스(92)에 60[㎜/s]이 입력되어 있는 경우에는, 에어 커튼 있음이라고 판단된다. 또한, 입력 박스에 대해 무효인 수치가 입력된 경우에는, 에러 처리가 표시되어도 좋다.
이상과 같이, 본 실시형태의 가공 장치(1)에 의하면, 조작 패널(79)에 의해 설정 입력된 각 구성 요소의 조작 조건에 기초하여, 이미지 화상 기억부(77)에 기억된 처리 동작의 이미지 화상이 판독된다. 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 이미지 화상이 프리뷰로서 표시되기 때문에, 프리뷰에 의해 풀 오토 동작 전에 각 구성 요소의 조작 조건의 설정에 오류가 없는지를 오퍼레이터에게 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있다.
한편, 본 실시형태에서는, 트리밍 장치에서 풀 오토 동작의 일련의 처리를 프리뷰로서 표시하는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 본 발명의 위치 맞춤 장치는, 풀 오토 타입의 가공 장치에 적용 가능하다. 예컨대, 풀 오토 타입의 가공 장치이면, 절삭 장치, 연삭 장치, 연마 장치, 레이저 가공 장치, 플라즈마 에칭 장치, 익스팬드 장치, 브레이킹 장치, 및 이들을 조합한 클러스터 장치 등의 다른 가공 장치의 풀 오토 동작의 일련의 처리를 프리뷰로서 표시해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 상기한 바와 같이 가공 장치가 트리밍 장치에 한정되지 않기 때문에, 가공 장치의 종류에 따른 가공 수단이 사용된다. 예컨대, 가공 수단으로서, 절삭 장치이면 웨이퍼 분할용의 절삭 블레이드, 절삭 장치이면 연삭 휠, 연마 장치이면 연마 패드가 사용된다. 이와 같이, 가공 수단은, 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 것이면 된다.
또한, 피가공물로서, 가공의 종류에 따라, 예컨대, 반도체 디바이스 웨이퍼, 광디바이스 웨이퍼, 패키지 기판, 반도체 기판, 무기 재료 기판, 산화물 웨이퍼, 그린 세라믹스 기판, 압전 기판 등의 각종 워크가 이용되어도 좋다. 반도체 디바이스 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후의 실리콘 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼가 이용되어도 좋다. 광디바이스 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후의 사파이어 웨이퍼나 실리콘 카바이드 웨이퍼가 이용되어도 좋다. 또한, 패키지 기판으로서는 CSP(Chip Size Package) 기판, 반도체 기판으로서는 실리콘이나 갈륨비소 등, 무기 재료 기판으로서는 사파이어, 세라믹스, 유리 등이 이용되어도 좋다. 또한, 산화물 웨이퍼로서는, 디바이스 형성 후 또는 디바이스 형성 전의 리튬탄탈레이트, 리튬니오베이트가 이용되어도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 반송 수단으로서 다관절 로봇, 에지 클램프식의 반송 수단을 예시하여 설명하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 반송 수단은, 척 테이블에 피가공물을 반입·반출 가능한 구성이면 되고, 예컨대, 푸시 풀식의 반송 로봇, 진공 클램프식의 반송 수단이어도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 이미지 화상 기억부에는, 처리 동작의 이미지 화상이 기억되는 구성으로 하였으나, 이 구성에 한정되지 않는다. 이미지 화상 기억부에는, 척 테이블이나 절삭 블레이드 등의 각 구성 부품의 이미지 화상이 기억되어 있어도 좋다. 이 경우, 조작 조건에 따라 이미지 화상 기억부로부터 판독한 구성 부품의 이미지 화상을 조합하여 각 처리 동작의 이미지 화상을 생성하는 화상 생성부를 구비하도록 한다. 또한, 이미지 화상 기억부에는, 외부로부터 이미지 화상이 등록 가능하게 구성되어 있어도 좋고, 예컨대, 외부 기억 매체나 유선 또는 무선으로 이미지 화상이 이미지 화상 기억부에 등록되어도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 조작 패널에 풀 오토 동작 전에 풀 오토 동작의 처리 동작을 일련의 처리순으로 표시하는 프리뷰 표시 버튼을 구비하도록 해도 좋다.
또한, 본 실시형태에서는, 척 테이블은 흡인 척식의 테이블에 한하지 않고, 정전 척식의 테이블이어도 좋다.
또한, 본 실시형태 및 변형예를 설명하였으나, 본 발명의 다른 실시형태로서, 상기 실시형태 및 변형예를 전체적 또는 부분적으로 조합한 것이어도 좋다.
또한, 본 발명의 실시형태는 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 기술적 사상의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지로 변경, 치환, 변형되어도 좋다. 나아가서는, 기술의 진보 또는 파생되는 다른 기술에 의해, 본 발명의 기술적 사상을 다른 방식으로 실현할 수 있으면, 그 방법을 이용하여 실시되어도 좋다. 따라서, 특허청구의 범위는, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에 포함될 수 있는 모든 실시형태를 커버하고 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 본 발명을 피가공물의 가공 장치에 적용한 구성에 대해 설명하였으나, 조작 패널의 설정 입력에 따라, 처리순으로 이미지 화상이 프리뷰로서 표시되는 다른 장치에 적용하는 것도 가능하다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 오퍼레이터에게 조작 조건의 설정을 용이하고 또한 확실하게 확인시킬 수 있다고 하는 효과를 가지며, 특히, 피가공물에 대한 반입 처리, 절삭 처리, 세정 처리, 반출 처리로 이루어지는 일련의 작업을 전자동으로 실시하는 가공 장치에 유용하다.
1: 가공 장치
13, 14: 카세트 스테이지(카세트 배치대)
21: 다관절 로봇(반송 수단)
25: 위치 결정 기구(구성 요소)
26: 포지션 테이블
27: 가동 핀(가공 수단)
31: 척 테이블
41: 절삭 기구(구성 요소)
48: 절삭 블레이드(가공 수단)
55: 척 테이블 세정 기구(구성 요소)
56: 세정 노즐(가공 수단)
57: 건조 노즐(가공 수단)
58: 2유체 노즐(가공 수단)
61, 64, 67: 반송 수단
71: 이면 세정 기구(구성 요소)
72: 표면 세정 기구(구성 요소)
75: 제어 수단
77: 이미지 화상 기억부
79: 조작 패널
C1: 반입용 카세트(카세트)
C2: 반출용 카세트(카세트)
W: 피가공물

Claims (1)

  1. 피가공물을 유지하는 척 테이블과, 상기 척 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 수단과, 피가공물을 복수개 수용하는 카세트와, 상기 카세트를 배치하는 카세트 배치대와, 상기 카세트 배치대에 배치된 상기 카세트와 상기 척 테이블에 피가공물을 반입·반출하는 반송 수단과, 각 구성 요소를 제어하는 제어 수단과, 각 구성 요소의 조작 조건을 입력 설정하는 조작 패널을 적어도 구비하고, 피가공물이 일련의 처리순으로 각 구성 요소에 있어서 풀 오토 동작으로 가공되는 가공 장치로서,
    상기 제어 수단은,
    각 구성 요소에 있어서 설정할 수 있는 복수의 조작 조건에 대응한 처리 동작을 각각 이미지 화상으로서 기억하는 이미지 화상 기억부와,
    상기 조작 패널의 화면을 표시 제어하는 표시 제어부를 구비하고,
    상기 표시 제어부는, 상기 조작 패널에 설정된 상기 각 구성 요소의 조작 조건에 따라 해당하는 상기 이미지 화상을 풀 오토 동작의 일련의 처리순으로 상기 조작 패널의 화면 상에 프리뷰 표시하는 것을 특징으로 하는 가공 장치.
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