JP2018195729A - 加工装置 - Google Patents
加工装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018195729A JP2018195729A JP2017098954A JP2017098954A JP2018195729A JP 2018195729 A JP2018195729 A JP 2018195729A JP 2017098954 A JP2017098954 A JP 2017098954A JP 2017098954 A JP2017098954 A JP 2017098954A JP 2018195729 A JP2018195729 A JP 2018195729A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- workpiece
- cassette
- holding
- temporary placement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 14
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 33
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 11
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 6
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 abstract 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 6
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 4
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 3
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Dicing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
Description
前記保持テーブルは、前記保護テープを介して板状ワークを吸引保持し、該切削ブレードの先端を該保持テープまで切り込ませることにより分割された板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出した板状ワークを受け取る受け取り手段と、を備え、該搬出手段は、該切削ブレードの先端を該保護テープにまで切り込ませ分割した板状ワークを、ベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、該吸引保持部を該保持テーブルから該受け取り手段へ移動させる第3の移動手段と、を備えることが好ましい。
第2の移動手段722は、Y方向に延びる矩形板状の本体部材723と、本体部材723に沿って水平移動するスライドアーム724と、スライドアーム724を移動させる図示しない駆動機構とを有する。本体部材723は、仮置きテーブル移動手段60の−X側に配置され、図示しない支持部材を介して基台2から所定の高さ位置に設けられている。本体部材723は、仮置きテーブル移動手段60側(+X側)に開口してY方向に延びるガイド溝723aを有し、ガイド溝723aにスライドアーム724の基部(−X側端部)が摺動可能に連結されている。スライドアーム724は、本体部材723から+X側に延びる板状の部材である。スライドアーム724の先端部+X側端部には昇降部726が設けられている。昇降部726は、スライドアーム724の先端部から下方に延びる円柱状の昇降部材727と、昇降部材727を上下に移動させる昇降機構728とを有する。保持部721は、昇降部材727の下端部に固定されている。昇降機構728が昇降部材727を上下に移動させることにより保持部721が上下に移動し、図示しない駆動機構がスライドアーム724を移動させることにより保持部721が左右方向に移動する。
図3(a)に示すように、カセットエレベータ58がカセットステージ57を昇降させることにより、カセット50に棚状に保持された一の板状ワークWが仮置きテーブル59の載置面591と同じ高さに位置づけられる。また、仮置きテーブル移動手段60が仮置きテーブル59をX方向に横移動させることにより、2つのカセット50(50A、50B)のいずれか一方の前に仮置きテーブル59が位置づけられる。
その後、第1の移動手段712によりアーム部材713を前方(−Y方向)に移動させていく。アーム部材713の先端の押し部711がカセット50内に第2の開口52から進入し、板状ワ一クWの外周縁Waを押し始める。押し部711が前方に移動するにつれて、板状ワ一クWは第1の開口51から仮置きテーブル59上へ押し出されていく。
その後、仮置きテーブル59が−X側に横移動することにより、板状ワークWが保持部721による保持が可能な位置に位置づけられる。
10:保持テーブル 11:載置面
20:加工手段 21:切削ブレード
30:加工送り手段
31:ボールネジ 32:ガイドレール 33:パルスモータ 34:可動板
35:支持部
40:加工手段移動機構
410:Y方向移動機構
411:ボールネジ 412:ガイドレール 413:パルスモータ
414:水平移動板
420:Z方向移動機構
421:ボールネジ 422:ガイドレール 423:パルスモータ
424:上下移動板
50(50A、50B):カセット 51:第1の開口 52:第2の開口
511、512:支持棚 510、520:側壁 530:天板 540:底板
57:カセットステージ
58:カセットエレベータ
581:柱部材 582:ボールネジ 583:パルスモータ
59:仮置きテーブル 591:載置面
592:第1の磁着部 593:第2の磁着部
59a:第1の辺 59b:第2の辺
60:仮置きテーブル移動手段
601:本体部材 602:ボールネジ 603:パルスモータ
70:搬入手段
710:第1の搬入手段 711:押し部 712:第1の移動手段
713:アーム部材 716:ガイド部材 717:移動部材 718:反転部
720:第2の搬入手段
721:保持部 722:第2の移動手段 723:本体部材
724:スライドアーム 726:昇降部 727:昇降部材
728:昇降機構
80:搬出手段 810:吸引保持部 820:第3の移動手段
821:本体部材 822:スライドアーム 823:昇降部
824:昇降部材 825:昇降機構
90:受け取り手段 910:水槽 920:籠 921:取手部
S:水溶液
T:保護テープ W:板状ワーク Wa:外周縁
Claims (2)
- 棚状に複数の板状ワークを収納したカセットが載置されるカセットステージと、板状ワークを保持する保持テーブルと、該カセット内に収納された板状ワークを該保持テーブルに搬入する搬入手段と、該保持テーブルが保持した板状ワークを加工する加工手段と、を備える加工装置であって、
該加工装置は、該カセットステージを昇降させるカセットエレベータと、該カセットステージに隣接して配設される仮置きテーブルと、を備え、
該カセットは、板状ワークを棚状に支持する支持棚を対面させた側壁と、該側壁の上端を連結する天板と、該側壁の下端を連結する底板と、該支持棚に支持された板状ワークを搬出するための前方の第1の開口と、該支持棚に支持された板状ワークに後方からアクセス可能とする第2の開口と、を備え、
該搬入手段は、該カセットステージに載置された該カセットに収納された板状ワークを該仮置きテーブルに搬入する第1の搬入手段と、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワ一クを該保持テーブルに搬入する第2の搬入手段と、を備え、
該第1の搬入手段は、該カセットエレベータが該カセットステージを昇降させることにより該仮置きテーブルと同じ高さに位置する板状ワークに対し、該カセットの該第2の開口から進入し板状ワ一クの外周縁を押す押し部と、該押し部を該第2の開口から該第1の開口に向かって移動させる第1の移動手段と、を備え、
該第2の搬入手段は、該仮置きテーブルに仮置きされた板状ワークを吸引保持する保持部と、該保持部を該仮置きテーブルから該保持テーブルに移動させる第2の移動手段と、を備えた加工装置。 - 前記加工手段は、円板状の切削ブレードを回転可能に装着した切削手段であり、
前記板状ワークは、該切削ブレードによって切削される分割予定ラインにより上面が区画されるとともに下面に保護テープが貼着されており、
前記保持テーブルは、前記保護テープを介して板状ワークを吸引保持し、
該切削ブレードの先端を該保持テープまで切り込ませることにより分割された板状ワークを該保持テーブルから搬出する搬出手段と、該搬出手段が搬出した板状ワークを受け取る受け取り手段と、を備え、
該搬出手段は、該切削ブレードの先端を該保護テープにまで切り込ませ分割した板状ワークを、ベルヌーイ効果を利用して吸引保持する吸引保持部と、該吸引保持部を該保持テーブルから該受け取り手段へ移動させる第3の移動手段と、を備える請求項1記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017098954A JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017098954A JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018195729A true JP2018195729A (ja) | 2018-12-06 |
JP6955900B2 JP6955900B2 (ja) | 2021-10-27 |
Family
ID=64571824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017098954A Active JP6955900B2 (ja) | 2017-05-18 | 2017-05-18 | 加工装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6955900B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110047789A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-07-23 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种卡匣及其传送设备 |
CN114284191A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-04-05 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备 |
WO2022201701A1 (ja) * | 2021-03-24 | 2022-09-29 | Towa株式会社 | 加工装置、及び加工品の製造方法 |
-
2017
- 2017-05-18 JP JP2017098954A patent/JP6955900B2/ja active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110047789A (zh) * | 2019-03-29 | 2019-07-23 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种卡匣及其传送设备 |
WO2022201701A1 (ja) * | 2021-03-24 | 2022-09-29 | Towa株式会社 | 加工装置、及び加工品の製造方法 |
TWI806486B (zh) * | 2021-03-24 | 2023-06-21 | 日商Towa股份有限公司 | 加工裝置及加工品的製造方法 |
CN114284191A (zh) * | 2022-03-02 | 2022-04-05 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备 |
CN114284191B (zh) * | 2022-03-02 | 2022-08-02 | 华芯半导体研究院(北京)有限公司 | 片盒及其承载装置和取放装置、半导体处理设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6955900B2 (ja) | 2021-10-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6679157B2 (ja) | 加工装置の搬送機構 | |
TWI674180B (zh) | 切削裝置 | |
TWI699265B (zh) | 切削裝置 | |
JP6218600B2 (ja) | 加工装置 | |
JP2018195729A (ja) | 加工装置 | |
JP7061012B2 (ja) | 加工装置 | |
CN107030902B (zh) | 切削装置 | |
JP2011159823A (ja) | 切削装置 | |
CN110303607B (zh) | 切削装置 | |
CN111696904A (zh) | 搬送装置 | |
JP6665041B2 (ja) | 切削装置 | |
JP2003203887A (ja) | 切削装置 | |
TW201830559A (zh) | 加工裝置的搬運機構 | |
JP2021048271A (ja) | 加工装置 | |
JP6689543B2 (ja) | 被加工物のアライメント方法 | |
JP6208587B2 (ja) | 切削装置 | |
KR20170061599A (ko) | 가공 장치 | |
JP2005045134A (ja) | 半導体ウエーハの加工装置 | |
JP6608297B2 (ja) | 搬送調節ジグ | |
KR102226221B1 (ko) | 절삭 장치 | |
JP2012051093A (ja) | 加工装置 | |
JP2015038944A (ja) | 加工装置 | |
JP3222726U (ja) | 切削装置 | |
CN219053275U (zh) | 加工设备 | |
JP6855130B2 (ja) | 加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210202 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210204 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210629 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210826 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210907 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20211004 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6955900 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |