CN110047789A - 一种卡匣及其传送设备 - Google Patents

一种卡匣及其传送设备 Download PDF

Info

Publication number
CN110047789A
CN110047789A CN201910249265.8A CN201910249265A CN110047789A CN 110047789 A CN110047789 A CN 110047789A CN 201910249265 A CN201910249265 A CN 201910249265A CN 110047789 A CN110047789 A CN 110047789A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cassette
accommodation layer
layer
substrate
slide bar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201910249265.8A
Other languages
English (en)
Inventor
施杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Original Assignee
Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd filed Critical Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co Ltd
Priority to CN201910249265.8A priority Critical patent/CN110047789A/zh
Publication of CN110047789A publication Critical patent/CN110047789A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6732—Vertical carrier comprising wall type elements whereby the substrates are horizontally supported, e.g. comprising sidewalls
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67736—Loading to or unloading from a conveyor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

一种卡匣及其传送设备，所述卡匣包括收纳层和驱动组件，所述驱动组件可移动至所述卡匣中任意一层所述收纳层，并驱动所述收纳层进入或移出所述卡匣，所述传送设备设置有升降机构，可取放所述卡匣内任意一层所述收纳层中的基板；有益效果：通过设置抽屉式收纳层，并配套设置驱动组件，提高了卡匣内空间利用率，提升了卡匣容量，并且新型的传送设备采用升降机构，可以更快速，更灵活的传送基板，提高了取放效率。

Description

一种卡匣及其传送设备
技术领域
本发明涉及显示基板加工领域，尤其涉及一种卡匣及其传送设备。
背景技术
在液晶面板行业，自动化搬送系统是十分重要的基本设备系统，其搬送效率、存储能力直接影响到面板厂产能，其存储条件也一定程度上影响到产品质量。
在自动化搬送系统中，Cassette(卡匣/CST)即存放收纳Glass基板的盒子，LUL(搬运装置/Load/Unload)即将CST内基板取出投入产线和将产线内基板收纳进CST的设备。
现有技术中，卡匣内承载杆为单头固定式，为保证其刚性，承载杆直径较粗，导致卡匣内存放空间利用率低，现行卡匣容量多为28或56片，因卡匣容量小，为保障生产连续性，避免搬送卡匣不及时而断料，LUL内需提供至少3个卡匣储位，加上Robot取放需要活动空间大，导致卡匣占用空间大，卡匣内基板间距大，易受气流影响，基板洁净度易受影响。
为了提高CST容量，简化LUL设备空间，提高取放效率，降低设备成本，本发明提供一种新型的卡匣及其传送设备。
发明内容
本发明提供一种卡匣及其传送设备，通过设置抽屉式收纳层及其配套升降机结构，以解决现有卡匣容量小，占用空间大，其传送设备效率不高的问题。
为解决上述问题，本发明提供的技术方案如下：
本发明提供一种卡匣，用于存放玻璃基板和显示面板，包括：
箱体、以及设置于所述箱体内的至少一层收纳层，其中：
所述收纳层可移动地连接于所述箱体两侧内壁，以使所述收纳层可朝所述卡匣的出口方向水平移动；
驱动组件，至少包括连接件和驱动件，所述驱动组件可移动地设置于所述箱体两侧，以使所述驱动组件可沿所述箱体两侧上下移动至任意一层所述收纳层，其中：
所述连接件可与所述收纳层锁定连接或分开；
所述驱动件驱动所述连接件与所述收纳层锁定连接或分开，以及驱动所述收纳层进入或被移出所述卡匣。
根据本发明一优选实施例，所述收纳层两侧设置有滑杆，且所述滑杆可移动地连接于所述箱体两侧内壁，在两侧所述滑杆之间设置有至少两根承载杆，所述承载杆均垂直连接于两侧所述滑杆。
根据本发明一优选实施例，所述承载杆上设置有软质防滑垫。
根据本发明一优选实施例，所述连接件为驱动杆，所述驱动件中设置有齿轮；
所述驱动杆一侧为齿条状，并与所述驱动件中的所述齿轮啮合连接，通过所述齿轮的转动带动所述驱动杆运动。
根据本发明一优选实施例，所述驱动杆与所述滑杆平行，且所述驱动杆另一侧设置有一凸起，所述滑杆与所述凸起的相对位置设置有一凹槽，所述凹槽形状与所述凸起形状相吻合。
根据本发明一优选实施例，所述凸起及所述凹槽的形状为方形或弧形。
一种传送设备，用于传送所述卡匣中所收纳的基板，包括：
升降机构，设置于所述卡匣的出口前方；
升降台，设置于所述升降机构上，由所述升降机构驱动所述升降台上下移动；
至少一个支撑件，设置于所述升降台上，用于支撑所述基板；
当所述收纳层被完全移出时，所述支撑件与所述承载杆为交错分布，以使得所述支撑件上升过程中从所述承载杆之间穿过，并支撑所述基板。
根据本发明一优选实施例，所述支撑件处于最低位置时，其顶端低于所述卡匣中最底层的所述收纳层。
根据本发明一优选实施例，所述支撑件为支撑板，所述支撑板垂直于所述升降台。
根据本发明一优选实施例，所述支撑件为传送滚筒，所述传送滚筒平行于所述承载杆。
本发明的有益效果为：通过设置抽屉式收纳层，并配套设置驱动组件，提高了卡匣内空间利用率，提升了卡匣容量，并且新型的传送设备采用升降机构，可以更快速，更灵活的传送基板，提高了取放效率。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a为本发明卡匣结构正视图；
图1b为本发明卡匣结构俯视图；
图1c为本发明卡匣架构侧视图。
图2a为本发明卡匣及其传送设备一优选实施例的侧视图；
图2b为本发明卡匣及其传送设备一优选实施例的侧视图。
图3a为本发明卡匣及其传送设备一优选实施例的侧视图；
图3b为本发明卡匣及其传送设备一优选实施例的侧视图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。在图中，结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有的卡匣及传送设备，由于卡匣内空间利用率低，传送设备占用空间大，传送效率不高的技术问题，本实施例能够解决该问题。
本发明提供一种卡匣及其传送设备，用于存放及传送玻璃基板和显示面板，其中所述卡匣包括：
箱体、以及设置于所述箱体内的至少一层收纳层，其中：
所述收纳层可移动地连接于所述箱体两侧内壁，以使所述收纳层可朝所述卡匣的出口方向水平移动；
驱动组件，至少包括连接件和驱动件，所述驱动组件可移动地设置于所述箱体两侧，以使所述驱动组件可沿所述箱体两侧上下移动至任意一层所述收纳层，其中：
所述连接件可与所述收纳层锁定连接或分开；
所述驱动件驱动所述连接件与所述收纳层锁定连接或分开，以及驱动所述收纳层进入或被移出所述卡匣。
如图1a、1b、1c所示，分别为本发明中卡匣的正视图、俯视图、侧视图，且为本发明一优选实施例，其中，包括有所述箱体111以及设置于所述箱体111内的至少一层所述收纳层101，所述收纳层101用于收纳基板110，其中：
每个所述收纳层101两侧设置有滑杆102，且所述滑杆102可移动地设置于所述箱体两侧内壁，即所述收纳层101依靠所述滑杆102在所述箱体111内可朝所述卡匣的出口方向水平运动，在两侧所述滑杆102之间设置有至少两根所述承载杆103，且每根所述承载杆103均与两侧所述滑杆102垂直连接。
优选的，所述滑杆102可采用耐磨无尘PET(聚对苯二甲酸乙二醇酯)材质。
其中，可在所述箱体111两侧内壁对称设置多对滑槽，以使所述滑杆102于所述箱体111内可自由滑动，此为本发明一优选实施例，还可以在所述滑杆102上设置滚轮，使得所述滑杆102可自由滑动于所述箱体111内壁，在此对其他方案不作限定。
优选的，所述承载杆103需要支撑所述基板110的重量，所以所述承载杆103可采用不锈钢等硬性材质，保证其足够细的尺寸和承载能力。
优选的，所述承载杆103可设置4～6根，并在每根所述承载杆103上均匀包裹3～4个软质防滑垫，避免其承载所述基板110时将所述基板110划伤。
另外，所述卡匣上还设置有驱动装置，包括两个升降轨104和两组所述驱动组件，所述驱动组件包括驱动件105和驱动杆106(即为所述连接件)，且所述驱动组件设置于所述升降轨104上，可在所述升降轨104上自由升降，所述升降轨104对位设置于所述箱体111两侧，以使所述驱动组件在所述箱体111两侧上下移动，保证所述驱动组件可到达任意一层的所述收纳层101。
其中，所述驱动杆106与所述滑杆102平行，所述驱动杆106一侧为齿条状(如图1b所述)，且所述驱动件105中设置有齿轮107，使得所述驱动杆与所述齿轮107啮合连接，通过所述齿轮107的转动，可带动所述驱动杆106在所述箱体两侧沿所述收纳层101水平方向运动。
另外，所述驱动件105内匹配设置有气缸，能驱动所述驱动杆106向内锁定所述滑杆102或向外脱离所述滑杆102，同时，所述驱动杆106另一侧设置有一凸起108，相对的，每根所述滑杆102与所述驱动杆106相对的位置设置有一凹槽109，且所述凹槽109的形状与所述凸起108的形状相吻合，保证所述凸起108能与所述凹槽109自由结合以及分开。
当所述凸起108与所述凹槽109结合时，所述驱动杆106能锁定所述滑杆102，并带动所述滑杆102一起沿水平方向运动，即带动所述收纳层101运动，使得所述驱动杆106能带动所述收纳层101移出或进入所述卡匣。
优选的，所述凸起108和所述凹槽109可为方形或弧形，本实施例中为方形。
当要进行取放指定收纳层基板动作时，所述驱动组件上升至所述指定收纳层101位置，所述驱动件105驱动所述驱动杆106向内锁定所述滑杆102(即所述凸起108与所述凹槽109相结合)，然后所述齿轮107转动并带动所述驱动杆106进行水平运动，使得所述驱动杆106带动所述滑杆102运动，即带动所述指定收纳层101朝所述卡匣出口方向上水平运动，通过控制所述齿轮107的转动方向，来控制所述指定收纳层101进入或移出所述卡匣，且在完成收取工作时，所述驱动件105驱动所述驱动杆106向外退开，使得所述驱动杆106与所述滑杆102自由分离(即所述凸起108与所述凹槽109分开)。
如图2a、2b所示，为所述卡匣及其传送设备侧视图，其中，所述传送设备包括升降机构203、升降台202、至少一个支撑件204。
所述升降机构203设置于所述卡匣取放所述基板205出口前方，所述升降台202设置于所述升降机构203上，使得所述升降台202能进行升降运动，并能运动至所述卡匣内任意一层所述收纳层，所述支撑件204垂直设置于所述升降台上，用于承托所述基板205，且当所述收纳层被完全移出时，所述支撑件204与所述承载杆交错分布，所述支撑件204上升过程中从所述承载杆之间穿过，并支撑所述基板205。
优选的，在本实施例中，所述支撑件204可为支撑板，垂直设置于所述升降台上，其板面与所述卡匣出口面平行。
另外，当所述支撑件204位于最底层时，其顶端高度不能超过所述卡匣内最底层所述收纳层的高度，以便于收取最底层的所述基板。
综上，当要进行收纳所述基板205时，所述升降台202和所述支撑件204上升至所述收纳层201下方，不能直接上升至所述收纳层201处，否侧所述升降台202和所述支撑件204将会挡住所述收纳层201向外移出，同时，两侧所述驱动杆上升至所述收纳层201处，并将所述收纳层201移出，当所述收纳层201完全被移出时，所述升降台202继续上升，所述支撑件204将从所述承载杆之间穿过，此时将所述基板205放置于所述支撑件204上，然后所述升降台202开始下降，当所述支撑件204顶端下降至所述收纳层201处，则所述基板205将落至所述收纳层201上，最后所述驱动杆驱动所述收纳层201进入所述卡匣内，完成收纳动作。
同理，要取出基板205时，由所述驱动杆将所述收纳层201移出，同时所述升降台202上升，所述支撑件204穿过所述承载杆并将所述基板205顶起，并由机械臂或其他设备取走所述基板205，然后所述升降台202下降，所述驱动杆将所述收纳层201收回，完成取件工作。
如图3a、3b所示，为本发明所述传送机构另一优选实施例，其中，将所述支撑件设置为传送滚筒，通过所述传送滚筒的转动将所述基板传送至其他设备。
同理，所述传送滚筒304在最底层时其顶端高度要小于所述卡匣内最底层所述收纳层高度，以便于收取最底层的所述基板。
如图3a所示，当取出基板305时，所述收纳层301被完全移出，所述升降台302开始上升，且所述传送滚筒304穿过所述承载杆并将所述基板305顶起，达到指定高度，同时所述传送滚筒304开始运行，使得所述基板305开始移动，移向下游设备306，且所述下游设备306在指定高度同样设置有滚筒，便于接收所述基板305，直至将所述基板305完全移至所述下游设备306上，此时所述传送滚筒304停止运行，且所述升降台302开始下降，最后所述收纳层301收入所述卡匣内，完成取件工作。
同理，如图3b所示，与所述传送机构配套设置有辅助装置307，所述辅助装置307同样可进行升降运动，其上设置有滚筒，便于传送所述基板305。
当需要收纳所述基板305时，所述升降台302升至指定层数，同时所述传送滚筒304穿过所述承载杆，此时，将所述基板305放置于所述辅助装置307的滚筒上，并将所述辅助装置307上升至指定层数，并运行所述辅助装置307的滚筒，同时所述传送滚筒304开始运行，以此将所述基板305完全传送至所述传送滚筒304上指定区域，此时所述传送滚筒304停止运行，所述升降台302开始下降，使得所述基板305落至所述收纳层301上，最后所述收纳层301收入所述卡匣，完成收纳工作。
采用所述传送滚筒304进行取放片操作时，将比机械钳和机械臂更加迅速和平稳。
通过设置抽屉式收纳层，并配套设置驱动组件，提高了卡匣内空间利用率，提升了卡匣容量，并且新型的传送设备采用升降机构，可以更快速，更灵活的传送基板，提高了取放效率。
综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种卡匣，用于存放玻璃基板和显示面板，其特征在于，包括：
箱体、以及设置于所述箱体内的至少一层收纳层，其中：
所述收纳层可移动地连接于所述箱体两侧内壁，以使所述收纳层可朝所述卡匣的出口方向水平移动；
驱动组件，至少包括连接件和驱动件，所述驱动组件可移动地设置于所述箱体两侧，以使所述驱动组件可沿所述箱体两侧上下移动至任意一层所述收纳层，其中：
所述连接件可与所述收纳层锁定连接或分开；
所述驱动件驱动所述连接件与所述收纳层锁定连接或分开，以及驱动所述收纳层进入或被移出所述卡匣。
2.根据权利要求1所述的卡匣，其特征在于，所述收纳层两侧设置有滑杆，且所述滑杆可移动地连接于所述箱体两侧内壁，在两侧所述滑杆之间设置有至少两根承载杆，所述承载杆均垂直连接于两侧所述滑杆。
3.根据权利要求2所述的卡匣，其特征在于，所述承载杆上设置有软质防滑垫。
4.根据权利要求1所述的卡匣，其特征在于，所述连接件为驱动杆，所述驱动件中设置有齿轮；
所述驱动杆一侧为齿条状，并与所述驱动件中的所述齿轮啮合连接，通过所述齿轮的转动带动所述驱动杆运动。
5.根据权利要求2或4所述的卡匣，其特征在于，所述驱动杆与所述滑杆平行，且所述驱动杆另一侧设置有一凸起，所述滑杆与所述凸起的相对位置设置有一凹槽，所述凹槽形状与所述凸起形状相吻合。
6.根据权利要求5所述的卡匣，其特征在于，所述凸起及所述凹槽的形状为方形或弧形。
7.一种传送设备，用于传送所述卡匣中所收纳的基板，其特征在于，包括：
升降机构，设置于所述卡匣的出口前方；
升降台，设置于所述升降机构上，由所述升降机构驱动所述升降台上下移动；
至少一个支撑件，设置于所述升降台上，用于支撑所述基板；
当所述收纳层被完全移出时，所述支撑件与所述承载杆为交错分布，以使得所述支撑件上升过程中从所述承载杆之间穿过，并支撑所述基板。
8.根据权利要求7所述的传送设备，其特征在于，所述支撑件处于最低位置时，其顶端低于所述卡匣中最底层的所述收纳层。
9.根据权利要求8所述的传送设备，其特征在于，所述支撑件为支撑板，所述支撑板垂直于所述升降台。
10.根据权利要求8所述的传送设备，其特征在于，所述支撑件为传送滚筒，所述传送滚筒平行于所述承载杆。
CN201910249265.8A 2019-03-29 2019-03-29 一种卡匣及其传送设备 Pending CN110047789A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910249265.8A CN110047789A (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种卡匣及其传送设备

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201910249265.8A CN110047789A (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种卡匣及其传送设备

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN110047789A true CN110047789A (zh) 2019-07-23

Family

ID=67275632

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201910249265.8A Pending CN110047789A (zh) 2019-03-29 2019-03-29 一种卡匣及其传送设备

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN110047789A (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005145713A (ja) * 2003-08-29 2005-06-09 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 基板の搬送装置
CN1836990A (zh) * 2005-07-22 2006-09-27 友达光电股份有限公司 供基板用的储存卡匣
CN101661874A (zh) * 2008-08-29 2010-03-03 东京毅力科创株式会社 热处理装置和热处理方法
CN102616567A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
CN204150700U (zh) * 2014-10-15 2015-02-11 昆山国显光电有限公司 玻璃基板的传送装置
CN204257592U (zh) * 2014-11-21 2015-04-08 格兰达技术（深圳）有限公司 一种用于ic料盘芯片自动转移机的小料盘传送模组装置
CN106531673A (zh) * 2016-12-02 2017-03-22 长江大学 引线框架自动上板机
JP2018195729A (ja) * 2017-05-18 2018-12-06 株式会社ディスコ 加工装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005145713A (ja) * 2003-08-29 2005-06-09 Hitachi Kiden Kogyo Ltd 基板の搬送装置
CN1836990A (zh) * 2005-07-22 2006-09-27 友达光电股份有限公司 供基板用的储存卡匣
CN101661874A (zh) * 2008-08-29 2010-03-03 东京毅力科创株式会社 热处理装置和热处理方法
CN102616567A (zh) * 2012-03-23 2012-08-01 深圳市华星光电技术有限公司 玻璃基板的取出装置
CN204150700U (zh) * 2014-10-15 2015-02-11 昆山国显光电有限公司 玻璃基板的传送装置
CN204257592U (zh) * 2014-11-21 2015-04-08 格兰达技术（深圳）有限公司 一种用于ic料盘芯片自动转移机的小料盘传送模组装置
CN106531673A (zh) * 2016-12-02 2017-03-22 长江大学 引线框架自动上板机
JP2018195729A (ja) * 2017-05-18 2018-12-06 株式会社ディスコ 加工装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7225310B2 (ja) 物品の保管、取り扱い、及び回収システム及び方法
CN201681534U (zh) 教学用自动化立体仓库实验台
CN106005857B (zh) 一种自动仓储储存系统
CN109571619B (zh) 自动裁切摆盘装置
EP2383209A1 (en) Automated warehouse
JP2019530624A (ja) 保管システムからユニットを回収するための方法および装置
CN104003090B (zh) 一种可智能分拣的物料自动存取装置
CN107472792B (zh) 血框出入库系统
CN210456544U (zh) 载板缓存装置及pvd镀膜设备
CN115362108A (zh) 多行自动存储塔
CN102502260B (zh) 玻璃基板存储搬运系统以及玻璃基板存储平台
CN103295324A (zh) 自动售货机的出货机构
CN109801454A (zh) 智能物流柜
CN205312576U (zh) 一种玻璃下料机
CN109571617B (zh) 自动裁切摆盘装置
CN110047789A (zh) 一种卡匣及其传送设备
CN115667095A (zh) 自动存储和取出系统
CN101003326A (zh) 搬送系统
CN209834952U (zh) 自动输送料盘装置
CN110539998A (zh) 一种智能货仓
CN213504568U (zh) 一种滑动式捡料架
CN210794516U (zh) 一种智能货仓
CN211077342U (zh) 一种上下料设备
CN208326375U (zh) 一种垂直牵引式物流仓储系统
CN207312496U (zh) 一种料盘锁紧移动装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20190723