JPH0430550A - ウエハー搬送方式及びその装置 - Google Patents
ウエハー搬送方式及びその装置Info
- Publication number
- JPH0430550A JPH0430550A JP2137517A JP13751790A JPH0430550A JP H0430550 A JPH0430550 A JP H0430550A JP 2137517 A JP2137517 A JP 2137517A JP 13751790 A JP13751790 A JP 13751790A JP H0430550 A JPH0430550 A JP H0430550A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shelf
- wafer
- computer
- transport
- destination
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims abstract description 137
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 81
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 19
- 238000007726 management method Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野１
本発明はウェハー搬送方式に関し、特にウェハーを搬送
車で搬送する場合に複数の搬送先の中から搬送先を、ウ
ェハーを収納可能な棚に特定して決定する方式及びその
装置に関する。
車で搬送する場合に複数の搬送先の中から搬送先を、ウ
ェハーを収納可能な棚に特定して決定する方式及びその
装置に関する。
［従来の技術］
従来のウェハー搬送先決定方式は、予めホストコンピュ
ータに各ウェハ一の各工程における搬送先を登録してお
き、棚を管理する棚コンピュータがホストコンピュータ
に行き先を問い合わせてその搬送先を受けとってウェハ
ーを搬送する方式であった。
ータに各ウェハ一の各工程における搬送先を登録してお
き、棚を管理する棚コンピュータがホストコンピュータ
に行き先を問い合わせてその搬送先を受けとってウェハ
ーを搬送する方式であった。
〔発明が解決しようとする課題］
この従来のウェハー搬送先決定方式では、ウェハーを棚
に入庫すると、棚を管理する棚コンピュータがウェハ一
の搬送先を管理しているホストコンピュータにウェハ一
の搬送先を問い合わせてその情報に基づき、搬送車に対
してウェハ一の搬送指示を吊していたが、その搬送指示
を呂力する際には、搬送先の棚の状況の情報が加味され
ていないため、搬送車がウェハーを搬送先の棚に搬送し
た場合に、目的の棚が一杯でウェハーを搬送車から下ろ
すことができないという状況が発生するおそれがあった
。
に入庫すると、棚を管理する棚コンピュータがウェハ一
の搬送先を管理しているホストコンピュータにウェハ一
の搬送先を問い合わせてその情報に基づき、搬送車に対
してウェハ一の搬送指示を吊していたが、その搬送指示
を呂力する際には、搬送先の棚の状況の情報が加味され
ていないため、搬送車がウェハーを搬送先の棚に搬送し
た場合に、目的の棚が一杯でウェハーを搬送車から下ろ
すことができないという状況が発生するおそれがあった
。
本発明は、ウェハ一の搬送先を決定する際ルこ、搬送先
の棚の状況情報を加味し、搬送車のウェハー搬送先とし
て必ず収容スペースをもつ棚を特定しうるウェハー搬送
方式及びその装置を提供することを目的とする。
の棚の状況情報を加味し、搬送車のウェハー搬送先とし
て必ず収容スペースをもつ棚を特定しうるウェハー搬送
方式及びその装置を提供することを目的とする。
［課題を解決するための手段］
前記目的を達成するため、本考案に係るウェハー搬送方
式においては、複数の棚と、搬送車と、ホストコンピュ
ータと、棚コンピュータとを有し、データの受渡処理と
、搬送先決定処理とを行うウェハー搬送方式であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、書棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報をウェハー在庫情報に
照合し、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚を特
定してウェハ一の搬送先を決定する機能とを有するもの
であり、 搬送車は、棚コンピュータの指令に基づき、の棚から取
り出されたウェハーを搭載して、指令された他の棚に搬
送するものであり、 データの受渡処理は、ホストコンピュータと該ホストコ
ンピュータにウェハ一の搬送先を問合せた一の棚コンピ
ュータとの間、及び該一の棚コンピュータと他の棚コン
ピュータとの間で行われるもので、ホストコンピュータ
にウェハ一の搬送先を問合わせた一の棚コンピュータに
、ホストコンピュータの登録した各ウェハー毎の複数の
ウェハー搬送先情報、及び他の棚コンピュータの管理す
るウェハー在庫情報を受け渡すものであり、搬送先決定
処理は、ホストコンピュータにウェハ一の搬送先を問合
わせた一の棚コンピュータで行われるもので、該一の棚
コンピュータが管理する棚から取り出されたウェハーに
対応してホストコンピュータから得たウェハー搬送先情
報と、該ウェハー搬送先情報に基づいて該一の棚コンピ
ュータから他の棚コンピュータに問合せて得たウェハー
在庫情報とを照合し、ウェハーを収納し得る空スペース
をもつ棚を特定してウェハ一の搬送先を決定し、その決
定したウェハ一の搬送先を搬送者に指示するものである
。
式においては、複数の棚と、搬送車と、ホストコンピュ
ータと、棚コンピュータとを有し、データの受渡処理と
、搬送先決定処理とを行うウェハー搬送方式であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、書棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報をウェハー在庫情報に
照合し、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚を特
定してウェハ一の搬送先を決定する機能とを有するもの
であり、 搬送車は、棚コンピュータの指令に基づき、の棚から取
り出されたウェハーを搭載して、指令された他の棚に搬
送するものであり、 データの受渡処理は、ホストコンピュータと該ホストコ
ンピュータにウェハ一の搬送先を問合せた一の棚コンピ
ュータとの間、及び該一の棚コンピュータと他の棚コン
ピュータとの間で行われるもので、ホストコンピュータ
にウェハ一の搬送先を問合わせた一の棚コンピュータに
、ホストコンピュータの登録した各ウェハー毎の複数の
ウェハー搬送先情報、及び他の棚コンピュータの管理す
るウェハー在庫情報を受け渡すものであり、搬送先決定
処理は、ホストコンピュータにウェハ一の搬送先を問合
わせた一の棚コンピュータで行われるもので、該一の棚
コンピュータが管理する棚から取り出されたウェハーに
対応してホストコンピュータから得たウェハー搬送先情
報と、該ウェハー搬送先情報に基づいて該一の棚コンピ
ュータから他の棚コンピュータに問合せて得たウェハー
在庫情報とを照合し、ウェハーを収納し得る空スペース
をもつ棚を特定してウェハ一の搬送先を決定し、その決
定したウェハ一の搬送先を搬送者に指示するものである
。
また、本発明に係るウェハー搬送装置においては、複数
の棚と、ホストコンピュータと、棚コンピュータと、搬
送車と、移載機と、伝送器とを有するウェハー搬送装置
であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、書棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報とウェハー在庫情報と
を照合して、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚
を特定してウェハ一の搬送先を決定する機能とを有する
ものであり、 ホストコンピュータと複数の棚コンピュータとの間、及
び複数の棚コンピュータ相互間はネットワークによりそ
れぞれ接続したものであり、伝送器は、棚コンピュータ
から出力される搬送先情報を搬送車に伝送するものであ
り、搬送車は、搬送器からの搬送情報に基づいて、一の
棚から取り出されたウェハーを、ウェハ一の収納用空ス
ペースをもつ特定の棚に搬送するものであり、 移載機は、棚コンピュータからの指示を受けて、搬送車
と棚との間でウェハ一の積卸しを行うものである。
の棚と、ホストコンピュータと、棚コンピュータと、搬
送車と、移載機と、伝送器とを有するウェハー搬送装置
であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、書棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報とウェハー在庫情報と
を照合して、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚
を特定してウェハ一の搬送先を決定する機能とを有する
ものであり、 ホストコンピュータと複数の棚コンピュータとの間、及
び複数の棚コンピュータ相互間はネットワークによりそ
れぞれ接続したものであり、伝送器は、棚コンピュータ
から出力される搬送先情報を搬送車に伝送するものであ
り、搬送車は、搬送器からの搬送情報に基づいて、一の
棚から取り出されたウェハーを、ウェハ一の収納用空ス
ペースをもつ特定の棚に搬送するものであり、 移載機は、棚コンピュータからの指示を受けて、搬送車
と棚との間でウェハ一の積卸しを行うものである。
本発明では、ホストコンピュータにおいてウェハ一の搬
送先を複数登録しておき、ウェハーを搬送する場合に棚
コンピュータがホストコンピュータに問い合わせてホス
トコンピュータからおくられてくる複数の搬送先を棚コ
ンピュータが棚の在庫情報をもとにして複数の搬送先の
中から選択する。
送先を複数登録しておき、ウェハーを搬送する場合に棚
コンピュータがホストコンピュータに問い合わせてホス
トコンピュータからおくられてくる複数の搬送先を棚コ
ンピュータが棚の在庫情報をもとにして複数の搬送先の
中から選択する。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構成図である。
図において、複数の棚３１〜３３は、それぞれ予め定め
られた位置に設置され、棚３１〜３３相互間でのウェハ
ー搬送に搬送車６が用いられる。また、各棚３１〜３３
には移載機４１〜４３及び伝送器７１〜７３がそれぞれ
備えられている。
られた位置に設置され、棚３１〜３３相互間でのウェハ
ー搬送に搬送車６が用いられる。また、各棚３１〜３３
には移載機４１〜４３及び伝送器７１〜７３がそれぞれ
備えられている。
また、各機３１〜３３には、専用の棚コンピュータ２１
〜２３が設けられ、棚３１〜３３の在庫管理が専用の棚
コンピュータ２１〜２３により行われる。複数の棚コン
ピュータ２１〜２３相互間及び棚コンピュータ２１〜２
３とホストコンピュータ１との間はネットワーク８にて
それぞれ接続されている。
〜２３が設けられ、棚３１〜３３の在庫管理が専用の棚
コンピュータ２１〜２３により行われる。複数の棚コン
ピュータ２１〜２３相互間及び棚コンピュータ２１〜２
３とホストコンピュータ１との間はネットワーク８にて
それぞれ接続されている。
ホストコンピュータｌは、各ウェハー毎の複数の搬送先
情報を登録して保持するものである。
情報を登録して保持するものである。
棚コンピュータ２１〜２３は、各機３１〜３３のウェハ
ー在庫管理機能と、棚コンピュータ２１〜２３が管理す
る棚３１〜３３から取高されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータから得た搬送先情報に基づ
いて他の棚コンピュータにウェハー在庫情報を問合せす
る機能と、各コンピュータ１゜２１〜２３から得た搬送
先情報とウェハー在庫情報とを照合して、ウェハーを収
納し得る空スペースをもつ棚３１〜３３を特定してウェ
ハ一の搬送先を決定する機能とを有する。
ー在庫管理機能と、棚コンピュータ２１〜２３が管理す
る棚３１〜３３から取高されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータから得た搬送先情報に基づ
いて他の棚コンピュータにウェハー在庫情報を問合せす
る機能と、各コンピュータ１゜２１〜２３から得た搬送
先情報とウェハー在庫情報とを照合して、ウェハーを収
納し得る空スペースをもつ棚３１〜３３を特定してウェ
ハ一の搬送先を決定する機能とを有する。
また、伝送器７１〜７３は、棚コンピュータ２１〜２３
から出力される搬送先情報を搬送車６に伝送するもので
ある。また、搬送車６は、伝送器７１〜７３からの搬送
先情報に基づいて、一の棚から取り出されたウェハーを
、ウェハ一の収納用空スペースをもつ特定の棚に搬送す
るものである。
から出力される搬送先情報を搬送車６に伝送するもので
ある。また、搬送車６は、伝送器７１〜７３からの搬送
先情報に基づいて、一の棚から取り出されたウェハーを
、ウェハ一の収納用空スペースをもつ特定の棚に搬送す
るものである。
また、移載機４１〜４３は、棚コンピュータからの指示
を受けて、搬送車６と棚との間でウェハ一の積卸しを行
うものである。
を受けて、搬送車６と棚との間でウェハ一の積卸しを行
うものである。
第２図は本発明の搬送方式による搬送車６の搬送先決定
手順を示している。
手順を示している。
ウェハー５を棚３１に入庫した後に、棚３１がらよりの
棚３２又は棚３３までに搬送する際の搬送先決定方式に
ついて説明する。まず、ウェハー５が棚３１に入庫され
ると（ステップＩ○１）、棚３１はウェハ一の在庫情報
を棚コンピュータ２１に送る。棚コンピュータ２１は、
ネットワーク８を介してホストコンピュータ１にウェハ
ー５の搬送先を問合せる（ステップ１０２）。ホストコ
ンピュータ１にはウェハー５の搬送先である棚３２と棚
３３の情報が蓄えられているので、ウェハー５の搬送先
として棚３２と棚３３へ搬送可能であることを棚コンピ
ュータ２１に受け渡す（ステップ１２１）。棚コンピュ
ータ２１は、ウェハー５が搬送される棚３２及び棚３３
の在庫を管理する棚コンピュータ２２及び棚コンピュー
タ２３に対して棚在庫情報を問合せる（ステップ１ｏ３
）。棚コンピュータ２２及び棚コンピュータ２３は、棚
３１及び棚３３の在庫情報をネットワーク８を介して棚
コンピュータ２１に受け渡す（ステップ１３１）。棚コ
ンピュータ２１では、棚コンピュータ２２及び棚コンピ
ュータ２３からネットワーク８を介して受渡された棚３
２及び棚３３の在庫情報を基にしてウェハー５の最終搬
送先を一つだけに限定する（ステップ１０４）。ここで
、ウェハー５の搬送先を棚３２に特定して決定したとす
る。最終搬送先が決定したならば、棚コンピュータ２１
は移載機４１に対して棚３１に入庫されたウェハー５を
引き呂すように指示する。さらに、棚コンピュータ２１
は伝送器７１を介して搬送車６を呼び寄せ、移載機４１
に指示を出してウェハー５を搬送車６に積載し、伝送器
７１を介してウェハー５の最終搬送先を搬送車６に伝え
る。搬送車６は、伝送器７１を介して棚コンピュータ２
１から受け取ったウェハー５を棚３２に搬送する。搬送
車６が棚３２に到着すると、棚コンピュータ２２が移載
機４２に指示して、搬送車６上のウェハー５を棚３２の
空スペースに入庫させる。
棚３２又は棚３３までに搬送する際の搬送先決定方式に
ついて説明する。まず、ウェハー５が棚３１に入庫され
ると（ステップＩ○１）、棚３１はウェハ一の在庫情報
を棚コンピュータ２１に送る。棚コンピュータ２１は、
ネットワーク８を介してホストコンピュータ１にウェハ
ー５の搬送先を問合せる（ステップ１０２）。ホストコ
ンピュータ１にはウェハー５の搬送先である棚３２と棚
３３の情報が蓄えられているので、ウェハー５の搬送先
として棚３２と棚３３へ搬送可能であることを棚コンピ
ュータ２１に受け渡す（ステップ１２１）。棚コンピュ
ータ２１は、ウェハー５が搬送される棚３２及び棚３３
の在庫を管理する棚コンピュータ２２及び棚コンピュー
タ２３に対して棚在庫情報を問合せる（ステップ１ｏ３
）。棚コンピュータ２２及び棚コンピュータ２３は、棚
３１及び棚３３の在庫情報をネットワーク８を介して棚
コンピュータ２１に受け渡す（ステップ１３１）。棚コ
ンピュータ２１では、棚コンピュータ２２及び棚コンピ
ュータ２３からネットワーク８を介して受渡された棚３
２及び棚３３の在庫情報を基にしてウェハー５の最終搬
送先を一つだけに限定する（ステップ１０４）。ここで
、ウェハー５の搬送先を棚３２に特定して決定したとす
る。最終搬送先が決定したならば、棚コンピュータ２１
は移載機４１に対して棚３１に入庫されたウェハー５を
引き呂すように指示する。さらに、棚コンピュータ２１
は伝送器７１を介して搬送車６を呼び寄せ、移載機４１
に指示を出してウェハー５を搬送車６に積載し、伝送器
７１を介してウェハー５の最終搬送先を搬送車６に伝え
る。搬送車６は、伝送器７１を介して棚コンピュータ２
１から受け取ったウェハー５を棚３２に搬送する。搬送
車６が棚３２に到着すると、棚コンピュータ２２が移載
機４２に指示して、搬送車６上のウェハー５を棚３２の
空スペースに入庫させる。
また、同様に棚３２から取り高したウェハー５は、空ス
ペースをもつ棚３１又は３３に搬送車６により搬送され
入庫される。
ペースをもつ棚３１又は３３に搬送車６により搬送され
入庫される。
尚、実施例では棚を３基備えた場合について説明したか
、これに限定されるものではない。
、これに限定されるものではない。
［発明の効果］
以上説明したように本発明は、予めホストコンピュータ
でウェハ一の搬送可能な複数の搬送先を複数登録してお
き、棚コンピュータがホストコンピュータにウェハ一の
搬送先を問合せてホストコンピュータが棚コンピュータ
に回答した搬送先情報と、在庫情報とを基にして最終搬
送先を決定するので、ウェハーを積載した搬送車の搬送
先として予め収納空スペースを有する棚を特定でき、し
たがって目的の棚に向けて搬送車を無駄なく運行させる
とともに目的地での積み卸しを能率よく行うことができ
、ひいては搬送効率を向上できる効果を有する。
でウェハ一の搬送可能な複数の搬送先を複数登録してお
き、棚コンピュータがホストコンピュータにウェハ一の
搬送先を問合せてホストコンピュータが棚コンピュータ
に回答した搬送先情報と、在庫情報とを基にして最終搬
送先を決定するので、ウェハーを積載した搬送車の搬送
先として予め収納空スペースを有する棚を特定でき、し
たがって目的の棚に向けて搬送車を無駄なく運行させる
とともに目的地での積み卸しを能率よく行うことができ
、ひいては搬送効率を向上できる効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明の一実施例を示す概略図、第２図は本発
明のウェハー搬送先決定方式に基づいて搬送先を決定す
る際の手順を示す図である。 ｌ・・・ホストコンピュータ ２１〜２３・・・棚コンピュータ ３１〜３３・・・
棚４１〜４３・・・移載機 ５・・・ウェハ
ー６・・・搬送車 ７１〜７３・・・伝送
器８・・・ネットワーク 特許出願人 日本電気株式会社 ／ホストコンと？−夕 第 図
明のウェハー搬送先決定方式に基づいて搬送先を決定す
る際の手順を示す図である。 ｌ・・・ホストコンピュータ ２１〜２３・・・棚コンピュータ ３１〜３３・・・
棚４１〜４３・・・移載機 ５・・・ウェハ
ー６・・・搬送車 ７１〜７３・・・伝送
器８・・・ネットワーク 特許出願人 日本電気株式会社 ／ホストコンと？−夕 第 図
Claims (2)
- （１）複数の棚と、搬送車と、ホストコンピュータと、
棚コンピュータとを有し、データの受渡処理と、搬送先
決定処理とを行うウェハー搬送方式であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、各棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報をウェハー在庫情報に
照合し、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚を特
定してウェハーの搬送先を決定する機能とを有するもの
であり、 搬送車は、棚コンピュータの指令に基づき、一の棚から
取り出されたウェハーを搭載して、指令された他の棚に
搬送するものであり、 データの受渡処理は、ホストコンピュータと該ホストコ
ンピュータにウェハーの搬送先を問合せた一の棚コンピ
ュータとの間、及び該一の棚コンピュータと他の棚コン
ピュータとの間で行われるもので、ホストコンピュータ
にウェハーの搬送先を問合わせた一の棚コンピュータに
、ホストコンピュータの登録した各ウェハー毎の複数の
ウェハー搬送先情報、及び他の棚コンピュータの管理す
るウェハー在庫情報を受け渡すものであり、搬送先決定
処理は、ホストコンピュータにウェハーの搬送先を問合
わせた一の棚コンピュータで行われるもので、該一の棚
コンピュータが管理する棚から取り出されたウェハーに
対応してホストコンピュータから得たウェハー搬送先情
報と、該ウェハー搬送先情報に基づいて該一の棚コンピ
ユータから他の棚コンピュータに問合せて得たウェハー
在庫情報とを照合し、ウェハーを収納し得る空スペース
をもつ棚を特定してウェハーの搬送先を決定し、その決
定したウェハーの搬送先を搬送者に指示するものである
ことを特徴とするウェハー搬送方式。 - （２）複数の棚と、ホストコンピュータと、棚コンピュ
ータと、搬送車と、移載機と、伝送器とを有するウェハ
ー搬送装置であって、 複数の棚は、ウェハーをそれぞれ収納するものであり、 ホストコンピュータは、各ウェハー毎の複数のウェハー
搬送先情報を登録して保持するものであり、 棚コンピュータは、複数の棚に対応して設置されたもの
で、各棚のウェハー在庫管理機能と、該棚コンピュータ
が管理する棚から取り出されたウェハーに対応する搬送
先情報をホストコンピュータに問合せする機能と、ホス
トコンピュータから得た搬送先情報に基づいて他の棚コ
ンピュータにウェハー在庫情報を問合せする機能と、各
コンピュータから得た搬送先情報とウェハー在庫情報と
を照合して、ウェハーを収納し得る空スペースをもつ棚
を特定してウェハーの搬送先を決定する機能とを有する
ものであり、 ホストコンピュータと複数の棚コンピュータとの間、及
び複数の棚コンピュータ相互間はネットワークによりそ
れぞれ接続したものであり、伝送器は、棚コンピュータ
から出力される搬送先情報を搬送車に伝送するものであ
り、 搬送車は、搬送器からの搬送情報に基づいて、一の棚か
ら取り出されたウェハーを、ウェハーの収納用空スペー
スをもつ特定の棚に搬送するものであり、 移載機は、棚コンピュータからの指示を受けて、搬送車
と棚との間でウェハーの積卸しを行うものであることを
特徴とするウェハー搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13751790A JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13751790A JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0430550A true JPH0430550A (ja) | 1992-02-03 |
| JP2880764B2 JP2880764B2 (ja) | 1999-04-12 |
Family
ID=15200529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13751790A Expired - Lifetime JP2880764B2 (ja) | 1990-05-28 | 1990-05-28 | 被搬送物搬送方式 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2880764B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2296818A (en) * | 1994-12-28 | 1996-07-10 | Nec Corp | Producing semiconductor wafers |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01257345A (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの自動搬送装置 |
-
1990
- 1990-05-28 JP JP13751790A patent/JP2880764B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01257345A (ja) * | 1988-04-07 | 1989-10-13 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体ウエハの自動搬送装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2296818A (en) * | 1994-12-28 | 1996-07-10 | Nec Corp | Producing semiconductor wafers |
| GB2296818B (en) * | 1994-12-28 | 1998-12-16 | Nec Corp | Method of producing semiconductor wafer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2880764B2 (ja) | 1999-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| WO2022007642A1 (zh) | 理库方法、设备、系统以及存储介质 | |
| JP7498858B2 (ja) | 注文処理及び出庫方法、設備、システム、並びに記憶媒体 | |
| WO2016147335A1 (ja) | オーダー管理装置、及びオーダー管理方法 | |
| CN111566023B (zh) | 输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置 | |
| JP7182670B2 (ja) | 倉庫管理システム、および管理装置 | |
| JP3062826B2 (ja) | フレキシブル加工システムの管理装置 | |
| JPH05261649A (ja) | 投入制御方式 | |
| US20040260423A1 (en) | Article storage and retrieval arrangement and method | |
| JPH0430550A (ja) | ウエハー搬送方式及びその装置 | |
| WO2021171989A1 (ja) | 搬送システム及び搬送ロボット | |
| JPH10338314A (ja) | 搬送システム | |
| KR101913323B1 (ko) | 컨테이너 반출 관리 시스템 및 방법 | |
| JPS63120061A (ja) | 無人搬送車への作業割付制御方式 | |
| JP2944619B1 (ja) | 自動搬送車制御装置、自動搬送システム、および、搬送スケジュール割付け方法 | |
| JP2010128907A (ja) | 搬送管理システムおよび搬送管理方法 | |
| JP2001106309A (ja) | 物流倉庫の在庫管理システム | |
| JP3832082B2 (ja) | 自動倉庫の棚管理装置 | |
| WO2023032622A1 (ja) | 保管システム | |
| JP2000317778A (ja) | 搬送先制御方法 | |
| CN111410017B (zh) | 物流控制方法、装置、输送设备及存储介质 | |
| JPS63143102A (ja) | 無人搬送車への作業割付制御方式 | |
| JP3231677B2 (ja) | ウェーハ搬送方式 | |
| WO2024032381A1 (zh) | 订单处理方法、装置、设备、仓储系统及存储介质 | |
| JP2001030146A (ja) | 搬送制御方法 | |
| JPH11353022A (ja) | 自動搬送システム |