JP4594959B2 - 半導体ウエハの搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体装置の製造工程において、半導体前処理工程内の搬送システムの搬送制御方法に関するものであり、半導体ウエハの洗浄、乾燥、エッチング等の処理をする装置が、複数の半導体ウエハからなるロットに対する前記処理を終了することをロット搬送車に予告通知することにより、処理が終了したロットを処理装置からすぐに搬出し、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）を短縮することができる半導体ウエハの搬送方法を提供するものである。

従来、半導体装置の製造システムは、主に、複数の半導体ウエハからなるロットを一時的に保管するストッカ、ロットを搬送する自動搬送車、自動搬送車を制御する自動搬送車コントローラ、ロットに対する洗浄、乾燥、エッチング等の処理を行う処理装置、製造システムを管理する仕掛かり管理コンピュータにより構成されていた。そして、仕掛かり管理コンピュータにより、自動搬送車がストッカから処理装置へ、あるいはある処理装置から別の処理装置へロットを搬送する。

ここで、例えば、処理装置Ａから処理装置Ｂへロットを搬送する場合、ロットが処理装置Ａで処理された後に仕掛かり管理コンピュータによりそのロットに対して施されるべき処理をすることが可能な処理装置Ｂが検索され、その処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにあるかどうかが判断される。仕掛かり管理コンピュータは、処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにない場合はロットをストッカへ搬送する指示を自動搬送車コントローラに与え、処理装置Ｂが処理装置Ａと同一の処理エリアにある場合は、さらに処理装置Ｂへロットを搬入することができるかどうかを判断する。仕掛かり管理コンピュータは、ロットを処理装置Ｂへ搬入することができない場合はロットをストッカへ搬送する指示を自動搬送車コントローラに与え、ロットを処理装置Ｂへ搬入することができる場合はロットを処理装置Ｂへ搬送する指示を自動搬送車コントローラに与える。以上のようにして、半導体装置製造工程内においてロットを搬送していた。

なお、本件の親出願である特願平１０−３２９１１２号においては、拒絶理由通知の際に以下の１件の文献が挙げられている。

特開平１０−１３３７０６号公報

しかしながら、従来の半導体装置製造工程の搬送方法においては、処理装置で処理されたロットを処理装置外へ搬出しようとしても、その処理が終了した後に、処理装置から仕掛かり管理コンピュータに対してロットの処理が終了したことを通知する。この通知に基づいて、仕掛かり管理コンピュータが自動搬送車コントローラに対して、自動搬送車を処理装置へ移動させるように指示していた。自動搬送車が処理装置に到着するまでは数分以上かかるので、処理装置から処理済みのロットをすぐに搬出することができない。従って、ロットが処理され終わってから自動搬送車が処理装置に到着するまでの時間、つまり処理済みのロットの待ち時間が、半導体装置の生産TATの増加に影響していた。また、この待ち時間は、半導体後処理工程内における処理エリアにあるストッカへロットが到着するのが遅れることにも影響する。

そして、特にロットが前処理工程から後処理工程に搬送されている途中の場合、この搬送途中のロットが実際には後処理工程における処理装置の処理対象になるロットであっても、その処理装置の仕掛かり対象ロットの検索リストから外れてしまうことがある。さらに、後処理工程の処理装置が処理すべき対象ロットとしてその搬送途中のロットしかない場合は、処理装置がロットの到着待ちのために停止してしまい、処理装置の稼動効率が低下してしまう可能性があった。

本発明は、上述した課題を解決するために、管理コンピュ−タによって、半導体ウエハを保管するストッカと、半導体ウエハを搬送する搬送車を制御する搬送車コントローラと、半導体ウエハを処理する複数の処理装置とが管理され、複数の処理装置には、半導体ウエハを処理する第１の処理装置と、第１の処理装置で処理された半導体ウエハに対して次工程の処理を行う第２の処理装置とが含まれており、管理コンピュータが搬送車コントローラを介して搬送車に、第１の処理装置で処理された半導体ウエハを第１の処理装置から第２の処理装置へ搬送させるにあたって、管理コンピュータによって第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハがストッカ内に存在するか否かが確認され、第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハがストッカ内に存在する場合、第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハが前記ストッカから出庫され、搬送車が、ストッカから出庫された半導体ウエハを受け取り、その後、ストッカから第１の処理装置に向かって移動することによって、第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハをストッカから第１の処理装置へ搬送し、第１の処理装置で半導体ウエハの処理が終了した後に、搬送車は第１の処理装置で処理された半導体ウエハを第１の処理装置から受け取り、かつ、ストッカから出庫された半導体ウエハを第１の処理装置に渡し、その後、第１の処理装置で処理された半導体ウエハを第１の処理装置から第２の処理装置へ搬送するために搬送車が第１の処理装置から第２の処理装置に向かって移動するものである。

本発明の半導体ウエハの搬送方法によれば、第１の処理装置で処理された半導体ウエハを、第１の処理装置から次工程の処理を行う第２の処理装置へ搬送させるにあたって、管理コンピュータによって第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハがストッカ内に存在するか否かが確認され、第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハがストッカ内に存在する場合は、この半導体ウエハがストッカから第１の処理装置へ搬送される。すなわち、半導体ウエハの搬送効率が向上し、ひいては、処理装置の稼動効率をも向上させることができる。その結果、半導体装置の生産TATを短縮することができる。

本発明の実施の形態を、以下図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御システムの構成図である。本発明における半導体装置の製造システムは、主に、ロットを一時的に保管するストッカ、ロットを搬送する自動搬送車、自動搬送車を制御する自動搬送車コントローラ、ロットに対する洗浄、乾燥、エッチング等の処理を行う処理装置、この製造システムを管理する仕掛かり管理コンピュータにより構成されている。ストッカ、自動搬送車コントローラ、処理装置の各々は、ターミナルサーバを介して通信ケーブルとLAN（Local Area Network）により仕掛かり管理コンピュータと接続されることにより仕掛かり管理コンピュータに制御されるようになっている。自動搬送車は、無線通信で次工程の処理装置等のデータを送受信することにより、自動搬送車コントローラによって制御されるようになっている。

図２は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程内における搬送システムのレイアウト図である。半導体装置製造工程内の処理エリア１には、ロットを一時的に保管するストッカ２、自動搬送車３を走行ライン４に沿って制御する自動搬送車コントローラ５、処理装置６、処理装置７が図２に示すように配置されており、この搬送システムが仕掛かり管理コンピュータ８により制御されている。

次に、本発明の第１の実施の形態における搬送制御方法について、図３及び図４を用いて説明する。

図３は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフローチャートである。図４は、本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シーケンスである。

複数の半導体ウエハからなるロットの処理を行っている処理装置６において、そのロット処理が間もなく終了する時刻になると、処理装置から仕掛かり管理コンピュータ８に対してロット処理がいつ終了するかということを表すロット処理終了予告信号が通知される（Ｓ１０１）。
この時、すなわち、仕掛かり管理コンピュータ８が処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６における処理終了予定ロットを次にどの処理装置で処理することができるかということを、各処理装置からの処理進捗状況に基づいて検索し（Ｓ１０２）、次の搬送先（処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置）を決定する（Ｓ１０７）。

処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ１０６）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がある場合は、その装置が処理装置６と同一エリアに存在するかどうかを調べる（Ｓ１０４）。同一エリアに存在しない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ１０６）、同一エリアに存在する場合は、さらにその処理装置に処理すべきロットを搬入することが可能なバッファが存在するかどうかを調べる（Ｓ１０５）。

ここで、搬入可能なバッファがない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ１０６）。搬入可能なバッファがある場合は、その処理装置を搬送先として決定する（Ｓ１０７）。（ここでは例えば、この装置を処理装置７とする。）そして、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車コントローラ５に対して、シーケンス番号（搬送指示を代表する重複しない正の整数）、待機位置ＩＤ（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ）、ロットＩＤ１（処理終了予定のロットＩＤ）、搬送元位置１（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ＋処理終了したロットを搬出する処理装置におけるロット取出口のＩＤ（ポートＩＤ））、搬送先位置１（搬送先の処理装置のＩＤ＋搬送先の処理装置のロット搬入口ＩＤ（ポートＩＤ））を搬送指示内容として含んだ搬送指示データを通知する（Ｓ１０８）。

その搬送指示データに基づいて、自動搬送車コントローラ５は自動搬送車３を制御し、自動搬送車３は処理終了したロットを搬出する処理装置６（搬送元の処理装置６）までの移動を開始する。また、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６からロット処理終了予告信号を受信し、前述のロット搬送指示後、処理装置６においてロット処理終了予告信号が発信されてからロット処理が終了する時刻をセットした、処理装置６に設けられた監視タイマー９を起動させる（Ｓ１０９）。

その後、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着するのを待つ。自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着すると、自動搬送車コントローラ５は仕掛かり管理コンピュータ８に対して、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着したことを通知する（Ｓ１１０）。この時、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６からロット処理の終了が通知されているかどうかを確認する（Ｓ１１１）。

ここで、処理装置６からロット処理の終了が通知されている場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理済みのロットを、処理装置６から処理装置６で処理終了したロットの次工程の処理をすることができる処理装置（例えば、処理装置７）へ搬送する指示を出し（Ｓ１１２）、自動搬送車３はロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する。

ここでは、ロットの処理終了が予め時かかり管理コンピュータ８に通知されているので、自動搬送車３はロットの処理終了とほぼ同時に処理装置６に到着することができ、その結果、自動搬送車３が処理装置６に到着した後すぐに処理済みのロットを搬出することができる。その後、再び仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち（Ｓ１１３）、その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ１１４）。

一方、処理装置６からロット処理の終了が通知されていない場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時に起動した監視タイマー９が設定された時刻を過ぎているかどうか、つまり監視タイマー９のタイムアウトが発生したかどうかを確認する（Ｓ１１５）。

ここでさらに、監視タイマー９のタイムアウトが発生していなければ、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６においてロット処理が終了しているかどうかを再度確認する（Ｓ１１１）。そこで、ロットの処理が終了していれば、仕掛かり管理コンピュータ８は、前述したように処理済みのロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する指示を出し（Ｓ１１２）、自動搬送車３がロットの搬送を開始する。

しかし、処理装置６のトラブル等で処理装置６のロット処理終了時刻が処理終了予定時刻よりも遅れることによって監視タイマー９のタイムアウトが発生している場合、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６からロットを搬出するのを中止することを自動搬送車コントローラ５に通知する（Ｓ１１６）。
その後、処理装置６の前で待機していた自動搬送車３は、処理装置６からのロットの搬出がキャンセルされたことにより、処理装置６以外の処理装置から処理済みのロットを搬出すること、あるいはストッカ２から未処理のロットを搬出すること等のように任意に利用することができる。

また、監視タイマー９のタイムアウトが発生した後に、処理装置６からロットの処理終了が仕掛かり管理コンピュータ８に通知された場合（Ｓ１１７）には、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車コントローラ５に対して、別の自動搬送車３が処理装置６へ移動するように指示し（Ｓ１１８）、その自動搬送車３に処理装置６から処理済みのロットを搬出させる。その後、再び仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち、（Ｓ１１３）その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す。（Ｓ１１４）

以上説明したように、本発明の第１の実施の形態における半導体装置製造工程の搬送システムによれば、ロットを処理している処理装置６から仕掛かり管理コンピュータ８に対して、ロットが間もなく処理終了することを伝える信号が予め送信され、自動搬送車３は処理装置６がロットの処理を終了した後に速やかに処理済みロットを処理装置６外へ送出することができ、自動搬送車３により次工程の処理装置７へ搬送することができる。

すなわち、処理装置６において処理されたロットの、自動搬送車３の到着を待つ時間が減少し、その結果、半導体製造装置の稼働率を向上させることができるので、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）の短縮が可能となる。また、監視タイマー９を設置して、自動搬送車３が処理装置６におけるロットの処理状況を把握できるようにしたので、自動搬送車３が処理装置６に到着するまでの間、自動搬送車３を時間的に有効に利用することができる。

次に、本発明の第２の実施の形態を、以下図面を参照しながら説明する。

第２の実施の形態では、半導体装置の製造工程内における搬送制御の構成及びレイアウトは、第１の実施の形態の場合と同様にそれぞれ図１及び図２のようになっている。

図５は、本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフローチャートである。図６は、本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シーケンスである。

複数の半導体ウエハからなるロットの処理を行っている処理装置６において、そのロット処理が間もなく終了する時刻になると、処理装置から仕掛かり管理コンピュータ８に対してロット処理がいつ終了するかということを表すロット処理終了予告信号が通知される（Ｓ２０１）。

この時、すなわち、仕掛かり管理コンピュータ８が処理装置６からロット処理終了予告信号を受信した時、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６における処理終了予定ロットを次にどの処理装置で処理することができるかということを、各処理装置からの処理進捗状況に基づいて検索し（Ｓ２０２）、次の搬送先（処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置）、例えば処理装置７を決定する（Ｓ２０７）。

処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がない場合は、ストッカ２を搬送先として決定する（Ｓ２０６）。処理終了予定ロットの次工程処理をすることができる装置がある場合は、その装置が処理装置６と同一エリアに存在するかどうかを調べる（Ｓ２０４）。

同一エリアに存在しない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ２０６）、同一エリアに存在する場合は、さらにその処理装置に処理すべきロットを搬入することが可能なバッファが存在するかどうかを調べる（Ｓ２０５）。ここで、仕掛かり管理コンピュータ８は、搬入可能なバッファがない場合は、ストッカ２を搬送先として決定し（Ｓ２０６）、搬入可能なバッファがある場合は、その処理装置を搬送先として決定する（Ｓ２０７）。その後、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理装置６で処理すべきロットがストッカ２内に存在するか否かということも確認する（Ｓ２０８）。

ここでまず、ストッカ２内に処理すべきロットが存在する場合について説明する。この場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、ストッカ２に対して、処理装置６で処理すべきロットをストッカ２から出庫するように指示する（Ｓ２０９）。仕掛かり管理コンピュータ８は、ストッカ２からそのロットが出庫されたことを認識した後、自動搬送車コントローラ５に対して、その出庫されたロットを処理装置６まで搬送することを指示する（Ｓ２１０）。

この時の搬送指示データは、シーケンス番号（搬送指示を代表する重複しない正の整数）、待機位置ＩＤ（処理終了したロットを搬出する処理装置のＩＤ）、ロットＩＤ１（ストッカ内にある処理装置６で処理すべきロットのＩＤ）、搬送元位置１（ストッカのＩＤ＋ストッカにおけるロット取出口のＩＤ（ポートＩＤ））、搬送先位置１（搬送先の処理装置のＩＤ＋搬送先の処理装置のロット搬入口ＩＤ（ポートＩＤ））、ロットＩＤ２（処理装置６内の処理終了予定のロットのＩＤ）、搬送元位置２（処理終了したロットを搬出する処理装置６のＩＤ＋処理終了したロットを搬出する処理装置６におけるロット取出口のＩＤ（ポートＩＤ））を含んでいる。その後、自動搬送車３はストッカ２まで移動し、そして、ストッカ２のロット取出口から出庫された、処理装置６で処理すべきロットを処理装置６へ搬送する。

一方、ストッカ２内に処理すべきロットが存在しない場合について説明する。この場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車コントローラ５に対して、ストッカ２を経由せずに処理装置６に向かって移動し、処理装置６から処理終了済みロットを搬出することを指示する（Ｓ２１２）。また、ここでは、自動搬送車コントローラ５に設けられた遅延タイマー１０を起動する（Ｓ２１１）ことにより、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由して処理装置６へ到着するまでにかかる時間から、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由せずに処理装置６へ到着するまでにかかる時間を差し引いた時間だけ遅れて自動搬送車３は処理装置６までの移動を開始する。

また、仕掛かり管理コンピュータ８は、ストッカ２内に処理装置６で処理すべきロットがあるないにかかわらず、自動搬送車コントローラ５に対する自動搬送車の移動を指示する（自動搬送車移動指示信号を発信する）と共に、この自動搬送車移動指示信号が発信されてから処理装置６内のロット処理が終了する時刻をセットした、処理装置６に設けられた監視タイマー９を起動させる（Ｓ２１３）。

その後、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着するのを待つ。自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着すると、自動搬送車コントローラ５は仕掛かり管理コンピュータ８に対して、自動搬送車３が処理装置６の待機位置に到着したことを通知する（Ｓ２１４）。この時、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６からロット処理の終了が通知されているかどうかを確認する（Ｓ２１５）。

ここで、処理装置６からロット処理の終了が通知されている場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、処理済みのロットを、処理装置６から処理装置６で処理終了したロットの次工程の処理をすることができる処理装置（例えば、処理装置７）へ搬送する指示を出す（Ｓ２１６）。

すると、自動搬送車３はストッカ２内から取り出した未処理のロットを処理装置６に搬入し、かつ処理済みのロットを処理装置６から取り出して処理装置７へ搬送する。その後、再び仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち（Ｓ２１７）、その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ２１８）。

一方、処理装置６からロット処理の終了が通知されていない場合、仕掛かり管理コンピュータ８は、前述の自動搬送車を移動させるための指示信号が発信された時に起動した監視タイマー９において設定された時刻を過ぎているかどうか、つまり監視タイマー９のタイムアウトが発生したかどうかを確認する（Ｓ２１９）。

ここでさらに、監視タイマー９のタイムアウトが発生していなければ、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６においてロット処理が終了しているかどうかを再度確認する。再確認後、ロットの処理が終了していれば、仕掛かり管理コンピュータ８は、前述したように処理済みのロットを処理装置６から処理装置７へ搬送する指示を出し、自動搬送車３がロットの搬送を開始する。

しかし、処理装置６のトラブル等で処理装置６のロット処理終了時刻が処理終了予定時刻よりも遅れることによって監視タイマー９のタイムアウトが発生している場合、仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置６からロットを搬送するのを中止することを自動搬送車コントローラ５に通知する（Ｓ２２０）。

その後、処理装置６の前で待機していた自動搬送車３は、処理装置６からのロットの搬出がキャンセルされたことにより、処理装置６以外の処理装置から処理済みのロットを搬出すること、あるいはストッカ２から未処理のロットを搬出すること等のように任意に利用することができる。

また、監視タイマー９のタイムアウトが発生した後に、処理装置６からロットの処理終了が仕掛かり管理コンピュータ８に通知された場合（Ｓ２２１）には、仕掛かり管理コンピュータ８は、自動搬送車コントローラ５に対して、別の自動搬送車３が処理装置６へ移動するように指示し（Ｓ２２２）、その自動搬送車３に処理装置６から処理済みのロットを搬出させる。その後、再び仕掛かり管理コンピュータ８は処理装置におけるロットの処理終了を予告する信号の受信を待ち、（Ｓ２１７）その予告信号を受信したら、上述した動作を繰り返す（Ｓ２１８）。

以上説明したように、本発明の第２の実施の形態における半導体装置製造工程の搬送システムによれば、次のような効果が現れる。つまり、仕掛かり管理コンピュータ８が、ロットを処理している処理装置６からロットが間もなく処理終了することを伝える信号を受信することにより、もしストッカ２内にその処理装置６内で次に処理することができるロットがあれば、自動搬送車３をストッカ経由で処理装置６に移動させ、処理装置６に到着した後、未処理のロットを処理装置６内に搬入し、かつ処理済みのロットを処理装置６から搬出するようにしたので、半導体装置製造工程における処理装置の稼働効率を向上させることができる。

また、ストッカ２内に未処理のロットがない場合は、遅延タイマー１０を用いることにより、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由して処理装置６へ到着するまでにかかる時間から、自動搬送車３が現在地からストッカ２を経由せずに処理装置６へ到着するまでにかかる時間を差し引いた時間だけ遅れて、自動搬送車３を処理装置６まで移動させるようにしたので、自動搬送車３を時間的に有効利用することができる。これらの結果、半導体装置の製造工程におけるTAT（Turn Around Time）の短縮が可能となる。

本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御の構成図である。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置製造工程内における搬送システムのレイアウトである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シーケンスである。 本発明の第２の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における搬送制御のフローチャートである。 本発明の第１の実施の形態を示す半導体装置の製造工程における通信シーケンスである。

符号の説明

１：半導体装置製造工程内の処理エリア
２：ストッカ
３：自動搬送車
４：走行ライン
５：自動搬送車コントローラ
６，７：処理装置
８：仕掛かり管理コンピュータ
９：監視タイマー
１０：遅延タイマー

Claims (6)

1. 管理コンピュ−タによって、半導体ウエハを保管するストッカと、前記半導体ウエハを搬送する搬送車を制御する搬送車コントローラと、前記半導体ウエハを処理する複数の処理装置とが管理され、前記複数の処理装置には、前記半導体ウエハを処理する第１の処理装置と、前記第１の処理装置で処理された前記半導体ウエハに対して次工程の処理を行う第２の処理装置とが含まれており、
   前記管理コンピュータが前記搬送車コントローラを介して前記搬送車に、前記第１の処理装置で処理された半導体ウエハを前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ搬送させるにあたって、前記第１の処理装置で処理された半導体ウエハを前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ搬送させることが決定された後に、前記管理コンピュータによって前記第１の処理装置で処理すべき半導体ウエハが前記ストッカ内に存在するか否かが確認され、
   前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハが前記ストッカ内に存在する場合、前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハが前記ストッカから出庫され、前記搬送車が、前記ストッカから出庫された前記半導体ウエハを受け取り、その後、前記ストッカから前記第１の処理装置に向かって移動することによって、前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハを前記ストッカから前記第１の処理装置へ搬送し、
   前記第１の処理装置で前記半導体ウエハの処理が終了した後に、前記搬送車は、前記第１の処理装置で処理された前記半導体ウエハを前記第１の処理装置から受け取り、かつ、前記ストッカから出庫された前記半導体ウエハを前記第１の処理装置に渡し、その後、前記第１の処理装置から前記第２の処理装置に向かって移動することによって、前記第１の処理装置で処理された前記半導体ウエハを前記第１の処理装置から前記第２の処理装置へ搬送することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
2. 請求項１記載の半導体ウエハの搬送方法において、
   前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハが前記ストッカ内に存在する場合、
   前記管理コンピュータから前記ストッカに対しては、前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハを前記ストッカから出庫させるための出庫指示が通知され、前記出庫指示に従って、前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハは前記ストッカから出庫され、
   前記管理コンピュータから前記搬送車コントローラに対しては、前記ストッカから出庫された前記半導体ウエハを前記第１の処理装置へ搬送させるための移動指示が通知され、前記移動指示に従って、前記搬送車は前記ストッカから前記第１の処理装置に向かって移動することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
3. 請求項１又は２記載の半導体ウエハの搬送方法において、
   前記搬送車が前記第１の処理装置に到着したことは、前記搬送車コントローラによって前記管理コンピュータに対して通知され、その後、前記管理コンピュータは、前記第１の処理装置での前記半導体ウエハに対する処理が終了されているか否かを確認することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載された半導体ウエハの搬送方法において、
   前記第１の処理装置で前記半導体ウエハの処理が終了したことは、前記第１の処理装置から前記管理コンピュータに対して通知されることを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載された半導体ウエハの搬送方法において、
   前記第１の処理装置で前記半導体ウエハの処理が終了した後に、前記管理コンピュータから前記搬送車コントローラに対して、前記搬送車を前記第１の処理装置から前記第２の処理装置に向かって移動させる指示が通知されることを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載された半導体ウエハの搬送方法において、
   前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハが前記ストッカ内に存在する場合、前記搬送車は、前記第１の処理装置で処理すべき前記半導体ウエハを受け取るために前記ストッカまで移動することを特徴とする半導体ウエハの搬送方法。

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