JP2010218141A - 搬送制御方法、制御装置及び搬送システム - Google Patents

Abstract

【目的】搬送効率を実質的に高めることのできる搬送制御方法、制御装置及び搬送システムを提供する。
【構成】新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが１台の搬送車によって一括して搬送可能か否かを判定し、当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、該１台の搬送車に向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する。当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間または距離を予測し、当該移動時間または距離が所定閾値を越えている場合には、先の一括搬送制御信号の生成を抑止する。
【選択図】図５

Description

本発明は、半導体製品等の製品ロット（以下、単にロットと称する）を自動搬送車に積載して所定の搬送エリア周辺に位置する搬送元から搬送先に搬送する搬送制御方法、制御装置及び搬送システムに関する。

半導体装置の製造システムにおいては、従来から複数の半導体ウエハがまとめられたロットを搬送するのに自動搬送システムが用いられる。かかる自動搬送システムにおいては、ロットを搬送する自動搬送車とこれを制御する自動搬送制御装置とが備えられ、製造プロセスの進展に応じて、半導体ウエハに対する洗浄、乾燥及びエッチング等の処理を行う処理装置間や、これら処理装置とロットを一時的に保管する保管倉庫（ストッカ）との間においてロットを自動的に搬送することが行われる。

半導体装置の製造システムにおける使用に限られず、幾つかの自動搬送システムが知られている。例えば、特許文献１は、搬送物をある搬送方向へ搬送中の自動搬送車に対して、同じ搬送方向への搬送物がさらにあった場合にはその搬送物も合わせて１台の自動搬送車により搬送する技術を開示している。特許文献２は、搬送要求に対して複数の搬送車がその要求に応じて移動するのに要する時間（ステーションへの到達時間）を算出し、最短となる搬送車へ搬送要求をするように制御する技術を開示している。これら何れの技術もが１台で搬送元からの搬送物を搬送することを前提とし、搬送効率の向上が意図されている。

特開平１１−２８２５３４号公報 特開平１１−３２７６４４号公報

しかしながら、１台の搬送車が複数の搬送元からの搬送物を搬送する自動制御は、むしろ搬送効率を損なう場合がある。例えば、搬送車の現在位置に対して搬送元の一方までの距離が長い場合や、複数の搬送元との間の距離が長い場合に移動時間を多く要することがある。

図１を参照すると、イントラベイ（INTRA BAY）とも称される自動化された半導体設備のレイアウトが示されている。搬送車１１及び１２の各々は、ホストコンピュータから送信される搬送元及び搬送先を指示する搬送指令を元にロット毎に搬送を個別に実行する。しかし、ロット毎の搬送指令が複数同時刻帯に生成された場合、双方の搬送指令の搬送先が同一であれば、空き状態の搬送車が他に何台あるかに関わらず、１台で搬送できる最大ロット数を搬送するように当該搬送車へ指示がなされる。例えば、複数の搬送指令が結合され、装置Ｂ３２のロットと装置Ｄ３４のロットとを格納倉庫３５に搬送するように指令されたとする。この場合、本図に示されるに、搬送車１１が当初の停止位置（Ｐ１４）から下方に移動し装置Ｂ３２の移載点である停止位置（Ｐ１５）に移動し、装置Ｂからロットを積載して姿勢変更の後に停止位置（Ｐ２７）に移動する。さらに、ここで姿勢変更した後に装置Ｄ３４の移載点である停止位置（Ｐ２５）に移動する。搬送車１１は装置Ｄ３４からロットを積載して姿勢変更の後に格納倉庫３５の移載点である停止位置Ｐ１まで移動する。例えば、各停止位置間の距離すなわち１区間を「１ｍ」、搬送車の速度は一律「１ｍ／ｓ」、搬送車の姿勢変更時間を「１ｓｅｃ」と仮定する。この場合、搬送指令が結合されず搬送車１１及び１２の各々が各ロットを個別に搬送する場合には、搬送車１１が装置Ｂ３２に到達するには姿勢変更を含めて２ｓｅｃで足り、搬送車１２が装置Ｄ３４に到達するにも２ｓｅｃで足りる。しかし、搬送指令が結合された場合には、搬送車１１は装置Ｂ３２と装置Ｄ３４に移動するのに計１０ｓｅｃを必要とする。このように、搬送指令が結合されて複数の搬送元から各々のロットを搬送しようとする場合に、搬送車の現在位置によっては、実質的にはむしろより長い移動時間を必要とすることになる。

本発明の目的は、搬送効率を実質的に高めることのできる搬送制御方法、制御装置及び搬送システムを提供することである。

本発明による制御方法は、各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車と、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を前記搬送車の何れかに供給する制御装置と、を含む自動搬送システムにおける制御方法であって、新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定ステップと、当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御ステップと、当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間または距離を予測し、当該移動時間または距離が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止ステップと、を含むことを特徴とする。

本発明による制御装置は、各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車の何れかに、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を供給する制御装置であって、新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定手段と、当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御手段と、当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間または距離を予測し、当該移動時間または距離が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止手段と、を含むことを特徴とする。

本発明による搬送システムは、各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車と、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を前記搬送車の何れかに供給する制御装置と、を含む搬送システムであって、新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定手段と、当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御手段と、当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間または距離を予測し、当該移動時間または距離が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止手段と、を含むことを特徴とする。

本発明による搬送制御方法、制御装置及び搬送システムによれば、複数の製品ロットを一台の搬送車による一括搬送を行った場合に発生する移動時間の増大を抑止する構成が与えられる。これにより、搬送効率を実質的に高めることができる。

従来技術による個別搬送形態を説明する説明図である。 本発明の実施例であり、本発明による自動搬送システムの構成を示すブロック図である。 図２に示した自動搬送制御装置の内部構成を示すブロック図である。 図２に示した制御情報テーブル群の設定例を示す図である。 本発明による制御方法の処理手順を示すシーケンス図である。 本発明を用いた第１の運用例を示す図である。 本発明を用いた第２の運用例を示す図である。 本発明を用いた第３の運用例を示す図である。

本発明の実施例について添付の図面を参照しつつ詳細に説明する。

図２は、本発明の実施例であり、本発明による自動搬送システムの構成を示している。ここで、自動搬送システムは、基本的に、複数の自動搬送車（本実施例においては３つの自動搬送車）１１〜１３（以下、搬送車１１〜１３と称す）と、搬送車１１〜１３が移動する範囲を画定する搬送エリア３０と、搬送車１１〜１３の各々に制御信号を無線にて供給することによって制御する自動搬送制御装置２０と、を含む。自動搬送制御装置２０は、操作入力またはホストコンピュータ等から製品ロット毎の搬送要求信号を受け付ける。

搬送エリア３０は、本実施例においては、ロットを格納する１台の格納倉庫３５と、４台の半導体処理装置である装置Ａ３１、装置Ｂ３２、装置Ｃ３３及び装置Ｄ３４とに接している。搬送エリア３０は、搬送車１１〜１３が移動可能な範囲を与え、搬送車１１〜１３の各々の位置を画定する停止位置（Ｐ１〜Ｐ３０）が３０箇所登録されている。移載点は５箇所登録されている。格納倉庫３５の移載点は停止位置Ｐ１であり、装置Ａ３１の移載点は停止位置Ｐ７であり、装置Ｂ３２の移載点は停止位置（Ｐ１５）であり、装置Ｃ３３の移載点は停止位置（Ｐ２４）であり、装置Ｄ３４の移載点は停止位置（Ｐ２５）である。

図３は、図２に示した自動搬送制御装置の内部構成を示している。ここで、自動搬送制御装置２０は、制御信号送信部２１と、搬送要求信号受信部２２と、個別搬送制御部２３と、一括搬送制御部２４と、一括搬送抑止部２５と、制御情報テーブル群２６とを含む。

制御信号送信部２１は、搬送車の状態を管理すると共に、個別搬送制御部２３が生成した個別搬送制御信号または一括搬送制御部２４が生成した一括搬送制御信号を搬送車１１〜１３の各々に供給する。搬送要求信号受信部２２は、操作入力またはホストコンピュータ等から供給される搬送要求信号を受け付ける。搬送要求信号は、通常、製品ロット毎に生成され、当該製品ロットの搬送元及び搬送先に各々が対応する２つの移載点を指示する情報を含む。個別搬送制御部２３は、搬送要求信号に応じて、製品ロット毎に１つの搬送車が個別に搬送するための個別搬送制御信号を生成する。一括搬送制御部２４は、複数の製品ロットについて１つの搬送車が一括して搬送するための一括搬送制御信号を生成する。一括搬送抑止部２５は、一括搬送制御部２４が複数の製品ロットについて１つの搬送車が一括して搬送すると決定した場合にも、当該搬送車の予想移動時間を予測し、当該予測時間が所定の閾値を越えている場合に、当該一括搬送制御信号の生成を抑止する。制御情報テーブル群２６は、個別搬送制御部２３、一括搬送制御部２４及び一括搬送抑止部２５の動作に必要な各種情報を保持する。

予想移動時間は、例えば、「走行時間の総和＋搬送車の姿勢変更時間の総和」として求められ、より具体的には（（最短走行距離÷搬送車の速度）＋（搬送車の姿勢変更時問×搬送車の姿勢変更回数））として求められる。ここで、予想移動時間をＴとし、搬送エリア１区間の距離をｄとし、各搬送車の速度をｖとし、移載点間の経路に沿った累積区間数をｎとし、移載点間の経路に沿って移動する際に必要とする姿勢変更の累積回数をｍとし、１回の姿勢変更に要する時間をＴａとすると、予想移動時間Ｔは、以下の式（１）により与えられる。

Ｔ＝ｄ／ｖ×ｎ＋Ｔａ×ｍ 式（１）
図４は、図３に示した制御情報テーブル群の設定例を示している。制御情報テーブル群２６は、共通情報テーブル２６１と、移載点情報テーブル２６２と、搬送車情報テーブル２６３とからなる。共通情報テーブル２６１は、自動搬送システムにおいて共通する情報を保持する。例えば、本図に示されるように、共通情報テーブル２６１は、搬送エリア内の複数区間各々の区間長（ｄ）と、搬送車速度（ｖ）と、搬送車の姿勢変更時間Ｔａと、搬送車１台に積載可能な製品ロット数と、閾値Ｔｄと、同一時間帯判定の時間幅ΔＴと、を含む。閾値Ｔｄは予想移動時間と比較される値であり、予想移動時間が越える場合には一括搬送を抑制される。閾値Ｔｄの値は使用者によって任意の値に設定され得る。同一時間帯判定の時間幅ΔＴは、結合対象の複数の搬送要求信号を待つ時間幅を意味する。

移載点情報テーブル２６２は、移載点の位置情報に対応付けて移載点の識別情報を含む。例えば、本図に示されるように、移載点情報テーブル２６２は、位置情報として搬送エリアの停止位置の番号を保持し、各停止位置の番号に対応付けて装置Ａ３１〜装置Ｄ３４等の装置名を指定している。搬送車情報テーブル２６３は、各搬送車毎に、最新すなわち現在時点における位置情報と姿勢情報とを保持する。例えば、本図に示されるように、搬送車情報テーブル２６３は、各搬送車毎に、最新の現在位置と現在姿勢と現在状態とが設定される。現在位置は、例えば、搬送エリアの停止位置番号にて表記される。現在姿勢は、例えば、搬送エリアのＸ軸及びＹ軸との配向関係を表す表記方法、例えば、「＋／−Ｘ方向」の如き方法によって表記される。もちろん、現在位置は通常の座標表記であっても良いし、現在姿勢は通常の方位角表記であっても良い。現在状態は、空車または配車の何れかの状態が設定される。

図５は、本発明による制御方法の処理手順を示している。この処理手順は、自動搬送制御装置２０と、搬送車１１及び１２とが連携して実行される。

先ず、自動搬送制御装置２０は、製品ロット毎に搬送要求信号を受信する（ステップＳ１）。製品ロット毎の搬送要求信号は、例えば半導体製造プロセスを統括制御するホストコンピュータにより生成される。ホストコンピュータは、各処理工程の完了毎にこれを認識して、次の処理工程に対応する装置に当該ロットを搬送するように搬送要求信号を生成する。また、次の処理工程に対応する装置が搬送エリア内に無い場合には、ホストコンピュータは、当該ロットを格納倉庫に搬送するように搬送要求信号を生成する。

次に、自動搬送制御装置２０は、略同時に複数の搬送要求信号が到来したか否かを判定する（ステップＳ２）。ここで、略同時とは同時刻帯に到来したか否かを意味する。同時刻帯に到来したか否かの判定に必要な時間幅ΔＴは、半導体製造プロセスにおける各処理工程の処理時間や次工程への許容待ち時間等から使用者が適切に設定する必要がある。時間幅は例えば２ｍｉｎ（分）である。略同時に複数の搬送要求信号が到来しない場合はステップＳ８に進む。

略同時に複数の搬送要求信号が到来した場合、自動搬送制御装置２０は、当該複数のロットについて一括搬送可能か否かを判定する（ステップＳ３）。複数の搬送車のうちの何れか１台、ここでは、搬送車１１が空車状態にあって当該複数のロットが積載可能であるかが判定される。一括搬送が不可能と判定した場合にはステップＳ８に進む。

一括搬送が可能と判定した場合、自動搬送制御装置２０は、搬送車１１について予想移動時間が所定の閾値を越えているか否かを判定する（ステップＳ４）。予想移動時間は、上記した式（１）に基づいて算出される。予想移動時間が所定の閾値を越えている場合にはステップＳ８に進む。

予想移動時間が所定の閾値を越えていない場合に、自動搬送制御装置２０は、搬送車１１に向けて一括搬送制御信号を生成して送信する（ステップＳ５）。これにより、複数ロットの各搬送要求信号が結合されて、１つの一括搬送制御信号が生成されたことになる。

一方、搬送車１１は、常に一括搬送制御信号や個別搬送制御信号の到来を待ち受け状態にあり、一括搬送制御信号が到来したか否かを判定する（ステップＳ６）。もし一括搬送制御信号が到来すれば、これに応じて、搬送車１１は一括搬送を実行する（ステップＳ７）。

ステップＳ２〜Ｓ５の処理手順の結果、一括搬送制御信号が生成されない、すなわち抑止された場合に、自動搬送制御装置２０は、個別搬送制御信号を生成して搬送車１１及び１２に各々送信する（ステップＳ８）。これに応じて、搬送車１１は、個別搬送を実行する（ステップＳ９）。搬送車１２も、個別搬送を実行する（ステップＳ１０）。

以上の処理手順は、２ロットを１台で一括搬送する形態が示されたが、３ロット以上を１台で一括搬送する形態も可能である。かかる形態おいて一括搬送が抑止された場合には、３ロットを３つの搬送車で個別搬送することも可能であるが、２ロットを３台の搬送車のうちの１台に、残りの１ロットを残りの２台の搬送車のうちの１台に振り分ける処理も可能である。

図６〜図８は、本発明を用いた３つの運用例を各々示している。上記したように、予想移動時間は式（１）により表されるが、ここでは説明の容易性のために１区間（ｄ）を「１ｍ」とし、搬送車の速度（ｖ）を一律「１ｍ／ｓ」とし、さらに搬送車の姿勢変更時間Ｔａを「１ｓｅｃ」とする。また、抑制判定の閾値Ｔｄは「７」に設定されているとする。従って、予想移動時間Ｔに関する式（１）は、以下の式（２）にて簡略化して表され、予想移動時間Ｔの値は閾値Ｔｄと容易に比較することができる。

Ｔ＝ ｎ ＋ ｍ 式（２）
図６を参照すると、第１の運用例が示されている。ここで、装置Ｂ３２（搬送元）と装置Ｃ３３（搬送元）から格納倉庫３５（搬送先）へ同時刻帯に搬送要求信号があったとする。この場合、まず、自動搬送制御装置２０が搬送車の位置を認識する。この場合は停止位置（Ｐ１４）に搬送車１１がいると認識する。

現在搬送車１１がＸ軸方向へ向いているとすると、装置Ｂ３２へはＹ軸方向へ移動しなければならないので、姿勢変更を１回必要とする。この段階で、累積姿勢変更回数ｍについて見ると、ｍ＝１となる。

その後、搬送車１１は、停止位置（Ｐ１４）から（Ｐ１５）へ移動し、装置Ｂ３２よりロットを搬出する。この段階で、累積区間移動数ｎを見ると、ｎ＝１となる。

その後、搬送車１１は、停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２４）まで移動するが、停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２４）までは姿勢変更を１回必要とし、停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２４）までの移動区間の数は３である。この段階で、ｎ＝４及びｍ＝２となる。

この段階で算出される総和Ｔは、Ｔ＝ｎ＋ｍから「６」となる。この値が所定の閾値「７」と比較され、少ない値と判定される為、搬送車１１に対し同一搬送先への結合指令が生成される。

図７を参照すると、第２の運用例が示されている。ここで、装置Ｂ３２と装置Ｄ３４から格納倉庫３５へ同時刻帯に搬送要求信号があったとする。この場合、まずは上記と同様の処理がなされ、搬送車１１の現在位置が認識される。現在、搬送車１１はＸ軸方向へ向いているとする。装置Ｂ３２へはＹ軸方向へ移動しなければならないので、姿勢変更を１回必要とする。この段階でｍ＝１となる。

その後、搬送車１１は停止位置（Ｐ１４）から（Ｐ１５）へ移動し、装置Ｂ３２よりロットを搬出する。この段階でｎ＝１となる。その後、搬送車１１は停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２５）まで移動するが、停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２５）までは姿勢変更を２回必要とし、停止位置（Ｐ１５）から（Ｐ２５）までの移動区間は６である。この段階で、ｎ＝７及びｍ＝３となる。

この段階で算出される総和Ｔは、Ｔ＝ｎ＋ｍから「１０」となり、所定の閾値「７」と比較され、大きい値と判定される為、搬送車１１に対し同一搬送先への指令は結合されない。

図８を参照すると、第３の運用例が示されている。ここでは、第２の運用例に引き続いて、搬送車１１に対し同一搬送先への指令は結合されなかったことから、搬送車１２に対し同様の処理がなされる。装置Ｂ３２と装置Ｄ３４から格納倉庫３５へ同時刻帯に搬送要求信号があったことから、先ず、搬送車１２の現在位置が停止位置（Ｐ２３）であると認識される。現在搬送車１２はＸ軸方向へ向いているとする。装置Ｄ３４へはＹ軸方向へ移動しなければならないので、姿勢変更を１回必要とする。この段階でｍ＝１となる。

その後、搬送車１２は停止位置（Ｐ２３）から（Ｐ２２）へ移動する。この段階でｎ＝１となる。その後、搬送車１２は停止位置（Ｐ２２）から（Ｐ２５）まで移動するが、停止位置（Ｐ２２）から（Ｐ２５）までは姿勢変更を１回必要とし、停止位置（Ｐ２２）から（Ｐ２５）までの移動区間の数は１である。この段階でｎ＝２となる。

その後、搬送車１２は停止位置（Ｐ２５）から（Ｐ１５）まで移動するが、停止位置（Ｐ２５）から（Ｐ１５）までは姿勢変更を２回必要とし、移動区間の数は６ある。この段階で、ｎ＝８及びｍ＝４となる。

この段階で算出される総和Ｔは、Ｔ＝ｎ＋ｍから「１２」となり、使用者が設定した閾値「７」と比較され大きい値と判定される為、搬送車１２に対しても同一搬送先への指令は結合されない。これ以上、搬送エリア内に搬送車が存在しない場合、装置Ｂ３２から格納装置３５への搬送指令と装置Ｄ３４から格納倉庫３５への搬送制御信号は個別に生成されることになる。

以上の実施例から明らかなように、本発明による搬送制御方法、制御装置及び搬送システムは、予想移動時間に基づき、効率が悪いと判断される無軌道自動搬送車等の搬送車における同一搬送先への搬送要求の結合を抑制する。言い換えると、同一搬送先への搬送指令を結合することで、搬送先が同一な複数のロットを１台の搬送車を配車することによって効率的な搬送を実現し最大効率達成を目指すものであったが、従来は、配車される搬送車の位置、移動距離または移動時間に対する考慮が不十分であった。これに対して、本発明は効率の悪い同一搬送先への制御信号の結合を抑制し、さらに搬送効率を高めることができる。

本発明による効率化を数値にて検証すると、装置Ｂ３２と装置Ｄ３４の搬出指令は搬送車１１と搬送車１２に振り分けられるため、それぞれ搬送車１１が装置Ｂ３２よりロットを搬出するのに必要とする時間は２ｓｅｃである。搬送車１２が装置Ｄ３４よりロットを搬出するのに必要とする時間は４ｓｅｃである。但し、搬送車１１と搬送車１２は同時に移動を開始するため、装置Ｂ３２と装置Ｄ３４からロットが搬出されるまで時間は最大４ｓｅｃなる。従って、一括搬送において２つの搬送元（装置Ｂ及び装置Ｄ）に跨がる移動時間が１０ｓｅｃ（図１の説明参照）であるのに比して６０％の時間短縮効果がある。

尚、以上の実施例において、一括搬送を抑制する判定基準は、予想移動時間と所定の閾値との比較によってなされたが、本発明にかかる限定はなく、他の判定基準が用いられても良い。例えば、１つの搬送元が搬送車の現在位置より所定距離以上離れている場合に抑止するという判定基準や、あるいは両方の判定基準を組み合わせた基準が用いられても良い。さらに、移積点間の移動時間を問題とするのみならず、全体の搬送時間を判定基準の対象としも良い。

また、以上の実施例において２つの移載点間の移動時間が判定基準の対象とされたが、本発明にかかる限定はなく、３つ以上のロット数に対応して３つ以上の移載点間の移動時間が判定基準の対象とされても良い。

さらに、以上の実施例において複数の搬送元から１つの搬送先への一括搬送の形態が示されたが、本発明にかかる限定はなく、１つの搬送元から複数の搬送先への一括搬送の形態においても本発明は適用され得る。

１１、１２、１３ 搬送車
２０ 自動搬送制御装置
２１ 制御信号送信部
２２ 搬送要求信号受信部
２３ 個別搬送制御部
２４ 一括搬送制御部
２５ 一括搬送抑止部
２６ 制御情報テーブル群
３０ 搬送エリア
３１〜３４ 装置Ａ〜Ｄ
３５ 格納倉庫

Claims (5)

1. 各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車と、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を前記搬送車の何れかに供給する制御装置と、を含む搬送システムにおける制御方法であって、
   新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定ステップと、
   当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御ステップと、
   当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間を予測し、当該移動時間が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止ステップと、
   を含むことを特徴とする制御方法。
2. 前記一括搬送抑止ステップは、前記移動時間として、前記複数の移載点間のうちの少なくとも２つの移載点間の経路を走行するのに要する走行時間と、当該経路を走行する際に要する搬送車姿勢変更時間と、の合計値を算定することを特徴とする請求項１記載の制御方法。
3. 前記一括搬送抑止ステップよって当該複数の製品ロットについて一括搬送制御信号の生成が抑止された場合に、当該複数の製品ロットの各製品ロットについて個別の搬送制御信号を前記制御信号として生成するステップをさらに含むことを特徴とする請求項１又は２記載の制御方法。
4. 各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車の何れかに、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を供給する制御装置であって、
   新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定手段と、
   当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御手段と、
   当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間を予測し、当該移動時間が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止手段と、
   を含むことを特徴とする制御装置。
5. 各々が製品ロットを複数の移載点間に跨がって搬送する複数の搬送車と、各製品ロットの搬送要求毎に当該製品ロットの搬送を指令する制御信号を前記搬送車の何れかに供給する制御装置と、を含む搬送システムであって、
   新たに複数の製品ロットの搬送要求が略同時にあった場合に、当該複数の製品ロットが前記搬送車の１つによって一括して搬送可能か否かを判定する一括搬送判定手段と、
   当該複数の製品ロットが一括して搬送可能であると判定した場合に、前記搬送車の１つに向けた制御信号として、当該複数の製品ロットのための一括搬送制御信号を生成する一括搬送制御手段と、
   当該複数の製品ロットの一括搬送に対応する移動時間を予測し、当該移動時間が所定閾値を越えている場合には、前記一括搬送制御ステップにおける一括搬送制御信号の生成を抑止する一括搬送抑止手段と、
   を含むことを特徴とする搬送システム。

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