JP2005019911A - 工程進捗管理システムおよび半導体装置の製造方法 - Google Patents
工程進捗管理システムおよび半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 83
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 72
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims abstract description 238
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 22
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims description 26
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 19
- 238000004891 communication Methods 0.000 abstract description 30
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 32
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 26
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
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Abstract
【課題】半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、通信不良による不具合を解消し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上することができる工程進捗管理技術を提供する。
【解決手段】被処理物に対して加工処理を行う処理装置１０と、前記被処理物を一時的に保管するストッカ１１と、処理装置１０とストッカ１１との間で前記被処理物を搬送する搬送装置１２と、処理装置１０・ストッカ１１・搬送装置１２を制御するホストコンピュータ１３などからなり、処理装置１０へ前記被処理物が搬送された時刻から、想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ前記被処理物を搬送することを、ホストコンピュータ１３または搬送装置１２に対して指示する。
【選択図】 図１
【解決手段】被処理物に対して加工処理を行う処理装置１０と、前記被処理物を一時的に保管するストッカ１１と、処理装置１０とストッカ１１との間で前記被処理物を搬送する搬送装置１２と、処理装置１０・ストッカ１１・搬送装置１２を制御するホストコンピュータ１３などからなり、処理装置１０へ前記被処理物が搬送された時刻から、想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ前記被処理物を搬送することを、ホストコンピュータ１３または搬送装置１２に対して指示する。
【選択図】 図１
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程進捗管理システムおよび半導体装置の製造方法に関し、特に半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおける被処理物の搬送制御に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、本発明者が検討した技術として、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいては、以下の技術が考えられる。
【０００３】
すなわち、半導体装置などの工業製品の製造過程において、ウェハなどの被処理物を処理装置で処理する場合、製造ラインの進捗を管理するホストコンピュータが、ストックから被処理物を取り出すよう指示を出し、同時に搬送装置に被処理物の搬送指示を出し、被処理物を指定の処理装置に搬送する。そして、ホストコンピュータの指示により適切な処理条件を探索し、搬送された被処理物は直ちに処理される。処理終了後、処理装置は速やかに処理終了報告をホストコンピュータに知らせる。ホストコンピュータは処理装置からの処理終了報告を受け取り、被処理物を処理装置から取り除きストッカに戻すよう搬送装置に指示を出し、被処理物はストッカへと搬送される。そして、被処理物は、ストッカにおいて一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【０００４】
また、通信不能時に自動的に工程進捗管理を行う技術として、工程処理ブロック内に装置制御コントローラを設け、通信不能時に当該装置制御コントローラが内部の制御プログラムに従い自動的に進捗管理を行うものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−３１５１０７号公報（第３−６頁、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような工程進捗管理の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００７】
ホストコンピュータと処理装置との間がオンラインで接続されていても、通信不良（不適切な通信タイミングなど）により、処理装置において被処理物の処理が終了しているにもかかわらず、処理終了報告が処理装置からホストコンピュータへ適切に伝達されないため、被処理物が処理装置に仕掛かったまま次工程へ搬送されない（ストッカに被処理物を戻せない）という不具合が発生する場合がある。この不具合は、処理装置は処理終了と認識しているが、その認識がホストコンピュータに適切に伝わっていないために起きるものである。この不具合のため、無駄な待ち時間が発生し、サイクルタイムおよびスループットに影響を及ぼす。
【０００８】
また、前記特許文献１に記載された技術は、工程処理ブロック内に別途、装置制御コントローラを設ける必要があり不便である。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、通信不良などにより被処理物が処理装置に仕掛かったまま次工程へ搬送されないという不具合を解消し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上することができる工程進捗管理技術を提供するものである。
【００１０】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
すなわち、本発明による工程進捗管理システムは、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、被処理物（ウェハ、複数のウェハからなるロットなど）に対して加工処理を行う処理装置と、前記被処理物を一時的に保管するストッカと、前記処理装置と前記ストッカとの間で前記被処理物を搬送する搬送装置と、前記処理装置・前記ストッカ・前記搬送装置を制御するホストコンピュータなどからなり、前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻から、想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示するものである。
【００１３】
また、前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻から、あらかじめ設定された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信していないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示するものである。
【００１４】
また、前記設定時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、または、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信していないことが確認された場合は、異常発生のアラームを発信してオペレータに知らせるものである。
【００１５】
また、前記処理装置に備えられた荷重センサ等を利用して前記被処理物が搬送されたか否かを検知するものである。
【００１６】
また、本発明による半導体装置の製造方法は、前記工程進捗管理システムを使用するものである。
【００１７】
よって、前記工程進捗管理システムおよび前記半導体装置の製造方法によれば、ホストコンピュータと処理装置との間で通信不良があった場合であっても、処理終了後、速やかに次の被処理物を処理することができるため、処理装置のサイクルタイム短縮およびスループット向上が可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１の工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図、図２は本実施の形態１の工程進捗管理システムにおいて、正常時のシーケンスを示す図、図３〜図５は本実施の形態１の工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【００２０】
まず、図１により、本実施の形態１の工程進捗管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態１の工程進捗管理システムは、例えば半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて各工程の進捗を管理するシステムであって、処理装置１０と、ストッカ１１と、搬送装置１２と、ホストコンピュータ１３などから構成され、それぞれが通信ネットワーク１４に接続されている。
【００２１】
処理装置１０は、半導体装置などの工業製品の製造過程において、被処理物（ウェハ、または複数のウェハからなるロットなど）に対して加工処理を行う装置である。処理装置１０には、被処理物の受け入れ口であるロードポートが装備されており、当該ロードポートには被処理物が搭載されているか否かを検知することができるよう例えば荷重センサ等の機能が備えられている。図１では、処理装置１０は１つしか示されていないが、実際には、複数の処理装置１０が通信ネットワーク１４に接続されている。
【００２２】
ストッカ１１は、ある処理工程から次の処理工程へ行くまでの間、被処理物を一時的に保管するものである。図１では、ストッカ１１は１つしか示されていないが、複数のストッカ１１が通信ネットワーク１４に接続されていてもよい。
【００２３】
搬送装置１２は、ストッカ１１から処理装置１０へ、または処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する装置である。図１では、搬送装置１２は１つしか示されていないが、複数の搬送装置１２が通信ネットワーク１４に接続されていてもよい。
【００２４】
ホストコンピュータ１３は、製造ラインの工程進捗管理を行い、通信ネットワーク１４を介して処理装置１０、ストッカ１１、搬送装置１２などを制御するコンピュータである。
【００２５】
さらに、本実施の形態１の工程進捗管理システムは、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物が搬送された時刻を記憶する第１の記憶部（第１の手段）１５と、処理装置１０における被処理物の想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間を記憶する第２の記憶部（第２の手段）１６と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されたか否かを確認する第１の確認部（第３の手段）１７と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または処理装置１０に対して指示する第１の指示部１８と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認された場合、異常発生のアラームを発信する第１のアラーム発信部１９と、を備えている。第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７、第１の指示部１８および第１のアラーム発信部１９は、ホストコンピュータ１３、処理装置１０もしくは処理装置１０内のロードポートまたはそれらの外部に設けられている。図１では、ホストコンピュータ１３内に設けられている場合を実線で示し、処理装置１０内に設けられている場合を破線で示している。
【００２６】
次に、本実施の形態１の工程進捗管理システムの動作を説明する。
【００２７】
まず、図２により、本実施の形態１の工程進捗管理システムの正常時のシーケンスを説明する。通信不良などが発生せずに工程進捗管理システムが正常に動作しているときは、以下のように動作する。
【００２８】
すなわち、処理装置１０において処理の着工が可能となった時、処理装置１０はホストコンピュータ１３に対して処理着工可能の信号を送信する。ホストコンピュータ１３は処理着工可能の信号を受けて、ストッカ１１に対して被処理物の出庫を指示し、搬送装置１２に対して被処理物の搬送を指示する。ストッカ１１は被処理物出庫指示を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の出庫を行う。搬送装置１２は被処理物搬送指示を受けて、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送を行う。処理装置１０は被処理物が搬送されて来たら、被処理物に対して処理を行う。処理が終了したら、処理装置１０はホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信する。ホストコンピュータ１３は処理終了報告を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の撤去（搬送）を指示する。搬送装置１２は被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する。搬送装置１２は被処理物をストッカ１１まで搬送したら、ストッカ１１へ被処理物を返却する。そして、被処理物はストッカ１１において一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【００２９】
次に図３により、通信不良などにより異常が発生した場合のシーケンスを説明する。図３は、第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７および第１の指示部１８などがホストコンピュータ１３内に設けられている場合を示す（図１の実線部分参照）。
【００３０】
通信不良などにより、処理装置１０において被処理物の処理が終了したにもかかわらず、ホストコンピュータ１３が処理終了報告を受信していなかった場合は、以下のように動作する。
【００３１】
あらかじめ、処理装置１０における被処理物の想定処理時間に基づき設定された時間を第２の記憶部１６に記憶させておく。設定時間は、固定値であってもよく（例えば２時間）、また、（規定の処理時間）×（１＋安全係数）などとしてもよい。
【００３２】
搬送装置１２が、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送を行うまでは、図２に示した前記正常時のシーケンスと同じである。
【００３３】
ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送が行われたら、第１の記憶部１５にその時の時刻を記憶させる。そして同時に、処理装置１０は、被処理物に対して処理を行う。処理装置１０は処理が終了したら、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信する。この時、不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することを、第１の指示部１８が搬送装置１２に対して指示する（被処理物撤去指示）。ただし、被処理物の処理途中で処理装置１０に不具合が起こった場合は、この対象ではない。第１の確認部１７における搬送の確認は、処理装置１０に備えられた荷重センサなどを利用して搬送されたか否かの検知を行う。
【００３４】
搬送装置１２は被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する（被処理物撤去）。被処理物をストッカ１１まで搬送したら、搬送装置１２は被処理物をストッカ１１へ返却する。そして、被処理物はストッカ１１において一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【００３５】
次に図４により、異常時のシーケンスとして、第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７および第１の指示部１８などが処理装置１０内に設けられている場合について説明する（図１の破線部分参照）。
【００３６】
あらかじめ、処理装置１０における被処理物の想定処理時間やストッカ返却までに必要な時間などに基づき設定された時間を第２の記憶部１６に記憶させておく。
【００３７】
ストッカ１１から処理装置１０への被処理物の搬送を搬送装置１２が行うまでは、図２に示した前記正常時のシーケンスと同じである。また、処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは、図３に示した前記異常時のシーケンスと同じである。
【００３８】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、第１の指示部１８は、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することを、ホストコンピュータ１３に対して依頼（被処理物撤去依頼）、または搬送装置１２に対して指示する（被処理物撤去指示）。このホストコンピュータ１３に対しての被処理物撤去依頼は、処理終了報告の再送により行ってもよい。
【００３９】
ホストコンピュータ１３は、第１の指示部１８からの被処理物撤去依頼（指示）を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の撤去を指示する。また、搬送装置１２は、第１の指示部１８からの被処理物撤去指示またはホストコンピュータ１３からの被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する。その後のシーケンスは、図２および図３と同じである。
【００４０】
また、被処理物の受け入れ口であるロードポートが処理装置１０内に備えられている場合、ホストコンピュータ１３と処理装置１０内のコントローラとの通信は、ロードポートを経由して実行される。処理装置１０が処理の終了を認識し、ロードポートまでは処理終了報告が伝達されている場合、ロードポートが処理終了報告を受信した後、一定時間経過してもロードポートから被処理物が離脱されていないときは、ロードポートがホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を再送してもよい。
【００４１】
次に図５により、通信不良などにより異常が発生した場合、アラームを発信しオペレータに知らせるシーケンスを説明する。
【００４２】
ストッカ１１から処理装置１０への被処理物の搬送を搬送装置１２が行うまでは、図２に示した正常時のシーケンスと同じである。また、処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは図３に示した異常時のシーケンスと同じである。
【００４３】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、第１のアラーム発信部１９は、処理装置１０またはオペレータに対してアラームメッセージを送信する。処理装置１０はアラームメッセージを受信したらブザーや回転灯（パトランプ）でオペレータに異常を知らせる。これにより、オペレータは、異常発生を直ちに認識することができ、迅速な対応をとることが可能となる。
【００４４】
したがって、本実施の形態１の工程進捗管理システムによれば、処理装置１０へ被処理物が搬送されてから一定時間経過後、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されない場合は、搬送の指示をすることにより、通信不良などにより処理装置１０における処理の終了をホストコンピュータ１３が認識できないといった不具合が解消されるため、被処理物は速やかにストッカ１１に戻され、次の工程に搬送される。そのため、無駄な待ち時間を削除することができ、サイクルタイムの短縮を図ることができる。さらに、処理が終了した被処理物が処理装置１０上に置きっ放しにされることがなく、処理終了後直ちに次の被処理物につき処理を実行することができるため、処理装置１０のスループットの改善にも効果がある。
【００４５】
（実施の形態２）
図６は本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図、図７は本実施の形態２の工程進捗管理システムの異常時のシーケンスを示す図である。
【００４６】
まず図６により、本実施の形態２の工程進捗管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態２の工程進捗管理システムの基本的な構成は、図１に示した前記実施の形態１の基本構成と同じである。
【００４７】
異なる点は、第１の確認部（第３の手段）１７に代えて第２の確認部（第４の手段）２７があり、第１の指示部１８に代えて第２の指示部２８があり、第１のアラーム発信部１９に代えて第２のアラーム発信部２９があることである。
【００４８】
第２の確認部２７は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信したか否かを確認するものである。また、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが確認された場合、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促すものである。
【００４９】
第２の指示部２８は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または処理装置１０に対して指示するものである。
【００５０】
第２のアラーム発信部２９は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、異常発生のアラームを発信するものである。
【００５１】
第２の確認部２７、第２の指示部２８および第２のアラーム発信部２９は、ホストコンピュータ１３、処理装置１０もしくは処理装置１０内のロードポートまたはそれらの外部に設けられている。図６では、ホストコンピュータ１３内に設けられている場合を実線で示し、処理装置１０内に設けられている場合を破線で示している。
【００５２】
次に、本実施の形態２である工程進捗管理システムの動作を説明する。まず、本実施の形態２の工程進捗管理システムの正常時のシーケンスは図２と同じである。
【００５３】
次に図７により、通信不良などにより異常が発生した場合のシーケンスを説明する。通信不良などにより、処理装置１０において被処理物の処理が終了したにもかかわらず、ホストコンピュータ１３が処理終了報告を受信していなかった場合は、以下のように動作する。
【００５４】
処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは前記実施の形態１の図３と同じである。
【００５５】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された搬送時刻から第２の記憶部１６に記憶された設定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認されたら、第２の確認部２７は、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促す。例えば、ホストコンピュータ１３から処理装置１０へ終了確認の信号を送信する。終了確認を受けて、処理装置１０は処理終了報告を再送する。処理終了報告（再送）を受けて、ホストコンピュータ１３は、搬送装置１２に対して被処理物の撤去を指示する。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図２および図３と同じである。
【００５６】
また、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促す代わりに、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、第２の指示部２８は、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または搬送装置１２に対して指示する。この時、ホストコンピュータ１３への指示は、処理装置１０が送信する処理終了報告により、行ってもよい。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図３および図４と同じである。
【００５７】
また、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、第２のアラーム発信部２９は、処理装置１０またはオペレータに対してアラームメッセージを送信する。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図５などと同じである。
【００５８】
したがって、本実施の形態２の工程進捗管理システムによれば、処理装置１０へ被処理物が搬送されてから一定時間経過後、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信しない場合は、搬送の指示をすることにより、前記実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６０】
例えば、前記実施の形態においては、半導体装置の製造ラインに適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、薄膜製品など他の工業製品の製造ラインについても適用可能である。
【００６１】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００６２】
すなわち、ホストコンピュータと処理装置との間で通信不良があった場合であっても、処理終了後、速やかに次の被処理物を処理することができるため、処理装置のサイクルタイム短縮およびスループット向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、正常時のシーケンスを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図である。
【図７】本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【符号の説明】
１０ 処理装置
１１ ストッカ
１２ 搬送装置
１３ ホストコンピュータ
１４ 通信ネットワーク
１５ 第１の記憶部（第１の手段）
１６ 第２の記憶部（第２の手段）
１７ 第１の確認部（第３の手段）
１８ 第１の指示部
１９ 第１のアラーム発信部
２７ 第２の確認部（第４の手段）
２８ 第２の指示部
２９ 第２のアラーム発信部
【発明の属する技術分野】
本発明は、工程進捗管理システムおよび半導体装置の製造方法に関し、特に半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおける被処理物の搬送制御に適用して有効な技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、本発明者が検討した技術として、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいては、以下の技術が考えられる。
【０００３】
すなわち、半導体装置などの工業製品の製造過程において、ウェハなどの被処理物を処理装置で処理する場合、製造ラインの進捗を管理するホストコンピュータが、ストックから被処理物を取り出すよう指示を出し、同時に搬送装置に被処理物の搬送指示を出し、被処理物を指定の処理装置に搬送する。そして、ホストコンピュータの指示により適切な処理条件を探索し、搬送された被処理物は直ちに処理される。処理終了後、処理装置は速やかに処理終了報告をホストコンピュータに知らせる。ホストコンピュータは処理装置からの処理終了報告を受け取り、被処理物を処理装置から取り除きストッカに戻すよう搬送装置に指示を出し、被処理物はストッカへと搬送される。そして、被処理物は、ストッカにおいて一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【０００４】
また、通信不能時に自動的に工程進捗管理を行う技術として、工程処理ブロック内に装置制御コントローラを設け、通信不能時に当該装置制御コントローラが内部の制御プログラムに従い自動的に進捗管理を行うものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００５】
【特許文献１】
特開２０００−３１５１０７号公報（第３−６頁、図１）
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、前記のような工程進捗管理の技術について、本発明者が検討した結果、以下のようなことが明らかとなった。
【０００７】
ホストコンピュータと処理装置との間がオンラインで接続されていても、通信不良（不適切な通信タイミングなど）により、処理装置において被処理物の処理が終了しているにもかかわらず、処理終了報告が処理装置からホストコンピュータへ適切に伝達されないため、被処理物が処理装置に仕掛かったまま次工程へ搬送されない（ストッカに被処理物を戻せない）という不具合が発生する場合がある。この不具合は、処理装置は処理終了と認識しているが、その認識がホストコンピュータに適切に伝わっていないために起きるものである。この不具合のため、無駄な待ち時間が発生し、サイクルタイムおよびスループットに影響を及ぼす。
【０００８】
また、前記特許文献１に記載された技術は、工程処理ブロック内に別途、装置制御コントローラを設ける必要があり不便である。
【０００９】
そこで、本発明の目的は、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、通信不良などにより被処理物が処理装置に仕掛かったまま次工程へ搬送されないという不具合を解消し、サイクルタイムを短縮しスループットを向上することができる工程進捗管理技術を提供するものである。
【００１０】
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。
【００１２】
すなわち、本発明による工程進捗管理システムは、半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、被処理物（ウェハ、複数のウェハからなるロットなど）に対して加工処理を行う処理装置と、前記被処理物を一時的に保管するストッカと、前記処理装置と前記ストッカとの間で前記被処理物を搬送する搬送装置と、前記処理装置・前記ストッカ・前記搬送装置を制御するホストコンピュータなどからなり、前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻から、想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示するものである。
【００１３】
また、前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻から、あらかじめ設定された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信していないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示するものである。
【００１４】
また、前記設定時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、または、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信していないことが確認された場合は、異常発生のアラームを発信してオペレータに知らせるものである。
【００１５】
また、前記処理装置に備えられた荷重センサ等を利用して前記被処理物が搬送されたか否かを検知するものである。
【００１６】
また、本発明による半導体装置の製造方法は、前記工程進捗管理システムを使用するものである。
【００１７】
よって、前記工程進捗管理システムおよび前記半導体装置の製造方法によれば、ホストコンピュータと処理装置との間で通信不良があった場合であっても、処理終了後、速やかに次の被処理物を処理することができるため、処理装置のサイクルタイム短縮およびスループット向上が可能となる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一部材には同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。
【００１９】
（実施の形態１）
図１は本発明の実施の形態１の工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図、図２は本実施の形態１の工程進捗管理システムにおいて、正常時のシーケンスを示す図、図３〜図５は本実施の形態１の工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【００２０】
まず、図１により、本実施の形態１の工程進捗管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態１の工程進捗管理システムは、例えば半導体装置などの複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて各工程の進捗を管理するシステムであって、処理装置１０と、ストッカ１１と、搬送装置１２と、ホストコンピュータ１３などから構成され、それぞれが通信ネットワーク１４に接続されている。
【００２１】
処理装置１０は、半導体装置などの工業製品の製造過程において、被処理物（ウェハ、または複数のウェハからなるロットなど）に対して加工処理を行う装置である。処理装置１０には、被処理物の受け入れ口であるロードポートが装備されており、当該ロードポートには被処理物が搭載されているか否かを検知することができるよう例えば荷重センサ等の機能が備えられている。図１では、処理装置１０は１つしか示されていないが、実際には、複数の処理装置１０が通信ネットワーク１４に接続されている。
【００２２】
ストッカ１１は、ある処理工程から次の処理工程へ行くまでの間、被処理物を一時的に保管するものである。図１では、ストッカ１１は１つしか示されていないが、複数のストッカ１１が通信ネットワーク１４に接続されていてもよい。
【００２３】
搬送装置１２は、ストッカ１１から処理装置１０へ、または処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する装置である。図１では、搬送装置１２は１つしか示されていないが、複数の搬送装置１２が通信ネットワーク１４に接続されていてもよい。
【００２４】
ホストコンピュータ１３は、製造ラインの工程進捗管理を行い、通信ネットワーク１４を介して処理装置１０、ストッカ１１、搬送装置１２などを制御するコンピュータである。
【００２５】
さらに、本実施の形態１の工程進捗管理システムは、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物が搬送された時刻を記憶する第１の記憶部（第１の手段）１５と、処理装置１０における被処理物の想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間を記憶する第２の記憶部（第２の手段）１６と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されたか否かを確認する第１の確認部（第３の手段）１７と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または処理装置１０に対して指示する第１の指示部１８と、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認された場合、異常発生のアラームを発信する第１のアラーム発信部１９と、を備えている。第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７、第１の指示部１８および第１のアラーム発信部１９は、ホストコンピュータ１３、処理装置１０もしくは処理装置１０内のロードポートまたはそれらの外部に設けられている。図１では、ホストコンピュータ１３内に設けられている場合を実線で示し、処理装置１０内に設けられている場合を破線で示している。
【００２６】
次に、本実施の形態１の工程進捗管理システムの動作を説明する。
【００２７】
まず、図２により、本実施の形態１の工程進捗管理システムの正常時のシーケンスを説明する。通信不良などが発生せずに工程進捗管理システムが正常に動作しているときは、以下のように動作する。
【００２８】
すなわち、処理装置１０において処理の着工が可能となった時、処理装置１０はホストコンピュータ１３に対して処理着工可能の信号を送信する。ホストコンピュータ１３は処理着工可能の信号を受けて、ストッカ１１に対して被処理物の出庫を指示し、搬送装置１２に対して被処理物の搬送を指示する。ストッカ１１は被処理物出庫指示を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の出庫を行う。搬送装置１２は被処理物搬送指示を受けて、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送を行う。処理装置１０は被処理物が搬送されて来たら、被処理物に対して処理を行う。処理が終了したら、処理装置１０はホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信する。ホストコンピュータ１３は処理終了報告を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の撤去（搬送）を指示する。搬送装置１２は被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する。搬送装置１２は被処理物をストッカ１１まで搬送したら、ストッカ１１へ被処理物を返却する。そして、被処理物はストッカ１１において一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【００２９】
次に図３により、通信不良などにより異常が発生した場合のシーケンスを説明する。図３は、第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７および第１の指示部１８などがホストコンピュータ１３内に設けられている場合を示す（図１の実線部分参照）。
【００３０】
通信不良などにより、処理装置１０において被処理物の処理が終了したにもかかわらず、ホストコンピュータ１３が処理終了報告を受信していなかった場合は、以下のように動作する。
【００３１】
あらかじめ、処理装置１０における被処理物の想定処理時間に基づき設定された時間を第２の記憶部１６に記憶させておく。設定時間は、固定値であってもよく（例えば２時間）、また、（規定の処理時間）×（１＋安全係数）などとしてもよい。
【００３２】
搬送装置１２が、ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送を行うまでは、図２に示した前記正常時のシーケンスと同じである。
【００３３】
ストッカ１１から処理装置１０へ被処理物の搬送が行われたら、第１の記憶部１５にその時の時刻を記憶させる。そして同時に、処理装置１０は、被処理物に対して処理を行う。処理装置１０は処理が終了したら、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信する。この時、不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することを、第１の指示部１８が搬送装置１２に対して指示する（被処理物撤去指示）。ただし、被処理物の処理途中で処理装置１０に不具合が起こった場合は、この対象ではない。第１の確認部１７における搬送の確認は、処理装置１０に備えられた荷重センサなどを利用して搬送されたか否かの検知を行う。
【００３４】
搬送装置１２は被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する（被処理物撤去）。被処理物をストッカ１１まで搬送したら、搬送装置１２は被処理物をストッカ１１へ返却する。そして、被処理物はストッカ１１において一時的に保管され、次工程の処理時に再び取り出される。
【００３５】
次に図４により、異常時のシーケンスとして、第１の記憶部１５、第２の記憶部１６、第１の確認部１７および第１の指示部１８などが処理装置１０内に設けられている場合について説明する（図１の破線部分参照）。
【００３６】
あらかじめ、処理装置１０における被処理物の想定処理時間やストッカ返却までに必要な時間などに基づき設定された時間を第２の記憶部１６に記憶させておく。
【００３７】
ストッカ１１から処理装置１０への被処理物の搬送を搬送装置１２が行うまでは、図２に示した前記正常時のシーケンスと同じである。また、処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは、図３に示した前記異常時のシーケンスと同じである。
【００３８】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、第１の指示部１８は、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することを、ホストコンピュータ１３に対して依頼（被処理物撤去依頼）、または搬送装置１２に対して指示する（被処理物撤去指示）。このホストコンピュータ１３に対しての被処理物撤去依頼は、処理終了報告の再送により行ってもよい。
【００３９】
ホストコンピュータ１３は、第１の指示部１８からの被処理物撤去依頼（指示）を受けて、搬送装置１２に対して被処理物の撤去を指示する。また、搬送装置１２は、第１の指示部１８からの被処理物撤去指示またはホストコンピュータ１３からの被処理物撤去指示を受けて、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送する。その後のシーケンスは、図２および図３と同じである。
【００４０】
また、被処理物の受け入れ口であるロードポートが処理装置１０内に備えられている場合、ホストコンピュータ１３と処理装置１０内のコントローラとの通信は、ロードポートを経由して実行される。処理装置１０が処理の終了を認識し、ロードポートまでは処理終了報告が伝達されている場合、ロードポートが処理終了報告を受信した後、一定時間経過してもロードポートから被処理物が離脱されていないときは、ロードポートがホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を再送してもよい。
【００４１】
次に図５により、通信不良などにより異常が発生した場合、アラームを発信しオペレータに知らせるシーケンスを説明する。
【００４２】
ストッカ１１から処理装置１０への被処理物の搬送を搬送装置１２が行うまでは、図２に示した正常時のシーケンスと同じである。また、処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは図３に示した異常時のシーケンスと同じである。
【００４３】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されていないことが第１の確認部１７において確認されたら、第１のアラーム発信部１９は、処理装置１０またはオペレータに対してアラームメッセージを送信する。処理装置１０はアラームメッセージを受信したらブザーや回転灯（パトランプ）でオペレータに異常を知らせる。これにより、オペレータは、異常発生を直ちに認識することができ、迅速な対応をとることが可能となる。
【００４４】
したがって、本実施の形態１の工程進捗管理システムによれば、処理装置１０へ被処理物が搬送されてから一定時間経過後、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物が搬送されない場合は、搬送の指示をすることにより、通信不良などにより処理装置１０における処理の終了をホストコンピュータ１３が認識できないといった不具合が解消されるため、被処理物は速やかにストッカ１１に戻され、次の工程に搬送される。そのため、無駄な待ち時間を削除することができ、サイクルタイムの短縮を図ることができる。さらに、処理が終了した被処理物が処理装置１０上に置きっ放しにされることがなく、処理終了後直ちに次の被処理物につき処理を実行することができるため、処理装置１０のスループットの改善にも効果がある。
【００４５】
（実施の形態２）
図６は本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図、図７は本実施の形態２の工程進捗管理システムの異常時のシーケンスを示す図である。
【００４６】
まず図６により、本実施の形態２の工程進捗管理システムの構成の一例を説明する。本実施の形態２の工程進捗管理システムの基本的な構成は、図１に示した前記実施の形態１の基本構成と同じである。
【００４７】
異なる点は、第１の確認部（第３の手段）１７に代えて第２の確認部（第４の手段）２７があり、第１の指示部１８に代えて第２の指示部２８があり、第１のアラーム発信部１９に代えて第２のアラーム発信部２９があることである。
【００４８】
第２の確認部２７は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信したか否かを確認するものである。また、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが確認された場合、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促すものである。
【００４９】
第２の指示部２８は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または処理装置１０に対して指示するものである。
【００５０】
第２のアラーム発信部２９は、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、異常発生のアラームを発信するものである。
【００５１】
第２の確認部２７、第２の指示部２８および第２のアラーム発信部２９は、ホストコンピュータ１３、処理装置１０もしくは処理装置１０内のロードポートまたはそれらの外部に設けられている。図６では、ホストコンピュータ１３内に設けられている場合を実線で示し、処理装置１０内に設けられている場合を破線で示している。
【００５２】
次に、本実施の形態２である工程進捗管理システムの動作を説明する。まず、本実施の形態２の工程進捗管理システムの正常時のシーケンスは図２と同じである。
【００５３】
次に図７により、通信不良などにより異常が発生した場合のシーケンスを説明する。通信不良などにより、処理装置１０において被処理物の処理が終了したにもかかわらず、ホストコンピュータ１３が処理終了報告を受信していなかった場合は、以下のように動作する。
【００５４】
処理装置１０が処理を終了した後、ホストコンピュータ１３に対して処理終了報告を送信するところまでは前記実施の形態１の図３と同じである。
【００５５】
不適切な通信タイミングなどによる通信不良が原因で処理終了報告がホストコンピュータ１３に伝達されなかった場合、第１の記憶部１５に記憶された搬送時刻から第２の記憶部１６に記憶された設定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認されたら、第２の確認部２７は、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促す。例えば、ホストコンピュータ１３から処理装置１０へ終了確認の信号を送信する。終了確認を受けて、処理装置１０は処理終了報告を再送する。処理終了報告（再送）を受けて、ホストコンピュータ１３は、搬送装置１２に対して被処理物の撤去を指示する。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図２および図３と同じである。
【００５６】
また、処理終了報告をホストコンピュータ１３へ送信することを処理装置１０に対して促す代わりに、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、第２の指示部２８は、処理装置１０からストッカ１１へ被処理物を搬送することをホストコンピュータ１３または搬送装置１２に対して指示する。この時、ホストコンピュータ１３への指示は、処理装置１０が送信する処理終了報告により、行ってもよい。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図３および図４と同じである。
【００５７】
また、第１の記憶部１５に記憶された時刻から第２の記憶部１６に記憶された一定時間が経過するまでに、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信していないことが第２の確認部２７において確認された場合、第２のアラーム発信部２９は、処理装置１０またはオペレータに対してアラームメッセージを送信する。その後のシーケンスは、前記実施の形態１の図５などと同じである。
【００５８】
したがって、本実施の形態２の工程進捗管理システムによれば、処理装置１０へ被処理物が搬送されてから一定時間経過後、ホストコンピュータ１３が処理装置１０から処理終了報告を受信しない場合は、搬送の指示をすることにより、前記実施の形態１と同様の効果を得ることができる。
【００５９】
以上、本発明者によってなされた発明をその実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることはいうまでもない。
【００６０】
例えば、前記実施の形態においては、半導体装置の製造ラインに適用した場合について説明したが、これに限定されるものではなく、薄膜製品など他の工業製品の製造ラインについても適用可能である。
【００６１】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち、代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、以下のとおりである。
【００６２】
すなわち、ホストコンピュータと処理装置との間で通信不良があった場合であっても、処理終了後、速やかに次の被処理物を処理することができるため、処理装置のサイクルタイム短縮およびスループット向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図である。
【図２】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、正常時のシーケンスを示す図である。
【図３】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図４】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図５】本発明の実施の形態１である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【図６】本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムの構成を示す概略構成図である。
【図７】本発明の実施の形態２である工程進捗管理システムにおいて、異常時のシーケンスを示す図である。
【符号の説明】
１０ 処理装置
１１ ストッカ
１２ 搬送装置
１３ ホストコンピュータ
１４ 通信ネットワーク
１５ 第１の記憶部（第１の手段）
１６ 第２の記憶部（第２の手段）
１７ 第１の確認部（第３の手段）
１８ 第１の指示部
１９ 第１のアラーム発信部
２７ 第２の確認部（第４の手段）
２８ 第２の指示部
２９ 第２のアラーム発信部
Claims (10)
- 複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、
被処理物に対して加工処理を行う処理装置と、
前記被処理物を一時的に保管するストッカと、
前記処理装置と前記ストッカとの間で前記被処理物を搬送する搬送装置と、
前記処理装置、前記ストッカおよび前記搬送装置を制御するホストコンピュータと、
前記ストッカから前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻を記憶する第１の手段と、
前記処理装置における前記被処理物の想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間を記憶する第２の手段と、
前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されたか否かを確認する第３の手段と、を有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項１記載の工程進捗管理システムであって、
前記第３の手段において、前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示する手段をさらに有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項１または２記載の工程進捗管理システムであって、
前記第３の手段において、前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物が搬送されていないことが確認された場合、異常発生のアラームを発信する手段をさらに有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項１〜３のいずれか１項に記載の工程進捗管理システムであって、
前記第３の手段における確認は、前記処理装置に備えられた荷重センサを利用して前記被処理物が搬送されたか否かを検知することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 複数の処理工程を有する自動化された製造ラインにおいて、
被処理物に対して加工処理を行う処理装置と、
前記被処理物を一時的に保管するストッカと、
前記処理装置と前記ストッカとの間で前記被処理物を搬送する搬送装置と、
前記処理装置、前記ストッカおよび前記搬送装置を制御するホストコンピュータと、
前記ストッカから前記処理装置へ前記被処理物が搬送された時刻を記憶する第１の手段と、
前記処理装置における前記被処理物の想定処理時間に基づきあらかじめ設定された時間を記憶する第２の手段と、
前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信したか否かを確認する第４の手段と、を有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項５記載の工程進捗管理システムであって、
前記第４の手段において、前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から処理終了報告を受信していないことが確認された場合、前記処理終了報告を前記ホストコンピュータへ送信することを前記処理装置に対して促すことを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項５記載の工程進捗管理システムであって、
前記第４の手段において、前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から前記処理終了報告を受信していないことが確認された場合、前記処理装置から前記ストッカへ前記被処理物を搬送することを、前記ホストコンピュータまたは前記搬送装置に対して指示する手段をさらに有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項５〜７のいずれか１項に記載の工程進捗管理システムであって、
前記第４の手段において、前記第１の手段に記憶された時刻から前記第２の手段に記憶された時間が経過するまでに、前記ホストコンピュータが前記処理装置から前記処理終了報告を受信していないことが確認された場合、異常発生のアラームを発信する手段をさらに有することを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項２、３、４、７または８記載の工程進捗管理システムであって、
前記ホストコンピュータに対する前記処理装置から前記ストッカへの搬送指示は、前記処理装置が送信する前記処理終了報告により行われることを特徴とする工程進捗管理システム。 - 請求項１〜９のいずれか１項に記載の工程進捗管理システムを使用することを特徴とする半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
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Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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|---|---|
| JP2005019911A true JP2005019911A (ja) | 2005-01-20 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003186053A Pending JP2005019911A (ja) | 2003-06-30 | 2003-06-30 | 工程進捗管理システムおよび半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| JP (1) | JP2005019911A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
| KR20140049542A (ko) | 2011-07-28 | 2014-04-25 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 처리 설비 |
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| KR20150001615A (ko) | 2013-06-26 | 2015-01-06 | 가부시키가이샤 다이후쿠 | 보관 시스템 및 보관 방법 |
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2003
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