TW202336684A - 基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質 - Google Patents

基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質 Download PDF

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Abstract

本發明提供了一種基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質，屬於晶圓傳送控制領域，方法包括製造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收根據指令序列發送的傳輸指令；物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；物流管控單元根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。通過本發明的處理方案，一次性傳輸多條指令，減少不同單元之間傳輸的交互時間及次數，提高程式處理速度。

Description

基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質
本發明屬於半導體晶圓傳送控制領域，尤指一種基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質。
半導體元件在製作過程中通常包含一系列技術，上述技術按照特定的順序且通常在特定的時間段內利用各種設備實現。晶圓製造廠(Fab)中的物料流系統的主要功能在於在正確時間點將晶圓傳送到每一設備上，並追蹤整個製造過程中晶圓的位置以及狀態。
自動化物料搬運系統(Automated Material Handing System，AMHS)由於相對手動裝置能更有效、一致、以及安全地實現自動化功能，因而近年來被廣泛地用於物料流系統中。
當晶圓傳送盒(Front Opening Unified Pod，FOUP)欲傳送時，製造執行系統(Manufacturing Execution System，MES)將給出目標存儲櫃(Destination Stocker)，之後，製造執行系統向自動化物料搬運系統中的物料控制系統(Material Control System，MCS)發出傳送命令，後者接受命令後，通知傳送管理者執行該傳送。上述執行該傳送過程中，MES僅能將傳輸指令一條一條發送給MCS，MCS需要和MES多次進行交互，然而這需要較長時間週期且成本較大。
因此，為了克服上述相關技術的缺點，本發明提供一種基於晶圓傳送監管控制方法、系統、電腦設備和存儲介質。
為了實現上述目的，本發明提供一種基於晶圓傳送監管控制方法，包括：製造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令；物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；物流管控單元根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在其中一個實施例中，根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：識別傳送資訊中攜帶目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置；獲取由初始儲存位置以及目的儲存位置映射的路由節點列表，路由節點列表攜帶有與初始儲存位置以及目的儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重；基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點；根據傳送路由節點確定初始儲存位置以及目的儲存位置的第二傳送路徑，第二傳送路徑攜帶有各傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間；將該第二傳送路徑與第一傳送路徑進行比對，生成目標晶圓的目標傳送路徑。
在其中一個實施例中，基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，包括：獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值；根據預設存儲閾值、目標晶圓以及晶圓清單中的排隊晶圓確定可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，並將不可存儲目標晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。
在其中一個實施例中，獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值之前，還包括：接收發送來針對特定路由節點的關閉命令；根據關閉命令對路由節點列表中的各特定路由節點的狀態更新為否定狀態。
在其中一個實施例中，物料管控單元接收生產單元發送的傳輸指令，包括：物料管控單元接收傳輸指令，將傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將傳輸指令和狀態資訊進行對應存儲；物料管控單元根據物料搬運單元回饋的轉移資訊將傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。
在其中一個實施例中，當物料搬運單元回饋傳送發生故障時，物料管控單元根據故障資訊確定故障起因；當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑；控制物料搬運單元根據物流管控單元重新生成的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在其中一個實施例中，當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：獲取接收節點附近的臨時節點，並從傳送資訊中獲取目標晶圓的目的儲存位置；根據臨時節點、目的存儲位置以及路由節點列表，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑。
一種基於晶圓傳送監管控制系統，系統包括：製造執行單元，用於生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元，用於接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令；獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；物料搬運單元，用於根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
一種電腦設備，包括記憶體和處理器，記憶體存儲有電腦程式，處理器執行電腦程式時實現上述方法的步驟。
一種電腦可讀存儲介質，其上存儲有電腦程式，電腦程式被處理器執行時實現上述的方法的步驟。
與相關技術相比，本發明的優點在於：可以一次性傳輸多條指令，減少不同單元之間傳輸的交互時間及次數，提高程式處理速度。
下面結合附圖對本發明實施例進行詳細描述。
以下通過特定的具體實例說明本發明的實施方式，本領域具通常知識者可由本說明書所揭露的內容輕易地瞭解本發明的其他優點與功效。顯然，所描述的實施例僅僅是本發明一部分實施例，而不是全部的實施例。本發明還可以通過另外不同的具體實施方式加以實施或應用，本說明書中的各項細節也可以基於不同觀點與應用，在沒有背離本發明的精神下進行各種修飾或改變。需說明的是，在不衝突的情況下，以下實施例及實施例中的特徵可以相互組合。基於本發明中的實施例，本領域具通常知識者在沒有作出進步性改良前提下所獲得的所有其他實施例，都屬於本發明保護的範圍。
要說明的是，下文描述在所附請求項書的範圍內的實施例的各種方面。應顯而易見，本發明中所描述的方面可體現於廣泛多種形式中，且本發明中所描述的任何特定結構及/或功能僅為說明性的。基於本發明，所屬領域具通常知識者應瞭解，本發明中所描述的一個方面可與任何其它方面獨立地實施，且可以各種方式組合這些方面中的兩者或兩者以上。舉例來說，可使用本發明中所闡述的任何數目和方面來實施設備及/或實踐方法。另外，可使用除了本發明中所闡述的方面中的一或多者之外的其它結構及/或功能性實施此設備及/或實踐此方法。
還需要說明的是，以下實施例中所提供的圖示僅以示意方式說明本發明的基本構想，圖式中僅顯示與本發明中有關的組件而非按照實際實施時的元件數目、形狀及尺寸繪製，其實際實施時各元件的型態、數量及比例可為一種隨意的改變，且其元件佈局型態也可能更為複雜。
另外，在以下描述中，提供具體細節是為了便於透徹理解實例。然而，所屬領域具通常知識者將理解，可在沒有這些特定細節的情況下實踐方面。
如圖1所示，本發明實施例提供一種基於晶圓傳送監管控制系統，系統包括製造執行單元101、物料管控單元102和物料搬運單元103。
製造執行單元101，用於生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑。製造執行單元101為面向製造企業車間執行層的生產資訊化管理單元(MES)，MES可以根據存儲倉清單向物料管控單元102(MCS)發出傳輸命令，由MES通知MCS晶圓下一站的傳送位置，MCS收到MES的傳送請求後，MCS使用存儲倉中的存儲庫作為基礎來進行負載平衡。
物料管控單元102，用於接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令；獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元。物料管控單元為MCS(Material Control System)，主要應用於半導體工廠對晶圓傳送盒(Foup)的運送管理，運送的範圍包括潔凈室(FAB)內部運送、潔凈室(FAB)與潔凈室(FAB)之間的運送、跨樓層的運送，運送的地點包括機臺、存儲倉(STK)、懸掛式暫存貨架(OHB)、傳送機(Convery)，其目標是減少機臺之間運送時間，提升運送效率。
物料搬運單元103，用於根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。物料搬運單元103為自動物料搬送單元(AMHS：Automatic Material Handling System)。AMHS的搬送一般分為Interbay（隔室間）和Intrabay（隔室內），OHS（空中走行式穿梭車）負責Interbay（隔室間），而OHT（空中走行式穿梭車）負責Intrabay（隔室內）。OHT（空中走行式穿梭車）可以是AGV（自動導引傳送車）或者PGV（導航定位車輛）或者RGV（有軌制導車輛）。
如圖2所示，本發明實施例提供一種基於晶圓傳送監管控制方法，方法包括以下步驟：
步驟201，製造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑。
製造執行單元MES可以生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊。傳送資訊可以至少包含目標晶圓的第一傳送路徑，也可以至少包含目標晶圓的初始初始儲存位置以及目的儲存位置。傳送資訊還可以包含目標晶圓需要的存儲空間等。傳輸指令可以包含多條命令，多條命令共同組成第一傳送路徑。多條命令之間存在先後關係，製造執行單元可以根據命令的先後關係將命令逐條發送給物料管控單元。MES將傳輸指令發送給MCS，正常情況下會將傳輸指令中的命令一條一條發送，當出現一次性發送兩條命令時，MCS保證在此傳輸鏈路上將兩條命令依據收到指令序列發送給OHVC（序列不可混淆）。因而可以一次性傳輸多條指令，減少不同單元之間傳輸的交互時間及次數，提高程式處理速度。
步驟202，物料管控單元接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令。
物料管控單元MCS接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令。物料管控單元可以不按照命令的先後關係接收多條命令，物料管控單元會暫存接收到的多條命令，直至判定命令接收完全，物料管控單元再分析多條命令，並從命令獲取第一傳送路徑。
步驟203，物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊。
物料管控單元MCS獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊。傳輸狀態資訊可以包含目標晶圓是否存在、當前實際所處的位置、是否存在未被執行的歷史傳送指令等。
步驟204，根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元。
物流管控單元MCS根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑。如圖3所示，物流管控單元MCS根據傳輸狀態資訊確定目標晶圓是否在傳送系統中存在，當不存在時，物流管控單元MCS報錯並拒絕執行該指令。物流管控單元MCS還根據傳輸狀態資訊判斷是否存在歷史傳送指令，當不存在時，物流管控單元MCS生成目標傳送路徑；當存在歷史傳送指令時，物流管控單元MCS根據新接收的傳送指令替代歷史傳送指令，並根據新接收的傳送指令生成目標晶圓的目標傳送路徑。圖3中所指的貨物均為目標晶圓，目的地為目的存儲位置。物料管控單元可以按照指令序列根據命令的先後關係將命令逐條發送給物料搬運單元。
步驟205，控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
物料搬運單元AMHS根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
上述方法中，當出現一次性發送兩條命令時，MCS保證在此傳輸鏈路上將兩條命令依據收到指令序列發送給OHVC（序列不可混淆）。因而可以一次性傳輸多條指令，減少不同單元之間傳輸的交互時間及次數，提高程式處理速度。
如圖4所示，在其中一個實施例中，物流管控單元根據傳輸狀態資訊對傳送資訊進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：
步驟401，識別傳送資訊中攜帶目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置。
物流管控單元MCS的伺服器可以識別出傳送資訊中攜帶目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置。
步驟402，獲取由所有儲存位置映射的路由節點列表，路由節點清單攜帶有與儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重。
物流管控單元MCS的伺服器獲取由所有儲存位置映射的路由節點列表，路由節點清單攜帶有與儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重。儲存位置囊括在MCS單元的所有可以存儲晶圓傳送盒(Foup)的地理位址，因而也包含初始儲存位置以及目的儲存位置的地理位址。一個路由節點可與一個儲存位置對應，但一個儲存位置可以與多個路由節點對應。一個儲存位置可以具有至少一個晶圓傳送盒(Foup)的存儲入口和晶圓傳送盒(Foup)的傳送出口，存儲入口和傳送出口分別與一個路由節點對應。屬性資訊可以包含該路由節點可對接的傳輸設備、存儲狀態資訊和權重等。權重是根據物料管控單元的歷史資料中傳輸設備的工作頻次得到的。存儲狀態資訊可以包含該路由節點已存儲的晶圓資訊、該路由節點在特定時間段即將存儲的晶圓資訊等。
步驟403，基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點。
MCS單元中的伺服器基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲待傳送晶圓的傳送路由節點。伺服器可以根據存儲狀態資訊篩選出所有空閒的傳送路由節點。
步驟404，根據傳送路由節點確定初始儲存位置以及目的儲存位置的多條第二傳送路徑，第二傳送路徑攜帶有各傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間。
MCS單元中的伺服器根據篩選出的傳送路由節點、初始儲存位置以及目的儲存位置確定各節點之間的連線，並根據各節點之間的連線確定初始儲存位置以及目的儲存位置之間的多條第二傳送路徑。節點之間的連線表示節點之間存在可以傳送晶圓的輸送設備。MCS單元中的伺服器根據當前等待時間和預估當前轉移時間計算總消耗時間，並選取總消耗時間最小的第二傳送路徑。
步驟405，將該第二傳送路徑與第一傳送路徑進行比對，生成目標晶圓的目標傳送路徑。
MCS單元中的伺服器根據當前等待時間和預估當前轉移時間計算第一傳送路徑的總消耗時間，並將第二傳送路徑與第一傳送路徑中的總消耗時間小的傳送路徑選擇為目標傳送路徑。
上述方法，可以篩選從初始儲存位置以及目的儲存位置中的可使用的最短路徑，從而達到傳送時間短的效果，並保證傳送設備到達各接收待傳送晶圓的設備之間的傳送均勻性，避免某些傳送設備過於忙碌或是過於空閒，實現傳送資源的充分利用。
在其中一個實施例中，基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，包括：獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值；根據預設存儲閾值、目標晶圓以及晶圓列表中的排隊晶圓確定可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，並將不可存儲目標晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。
伺服器獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值。預設存儲閾值可以包含路由節點所在的儲存倉的最小存儲容量和最大存儲容量等。伺服器可以根據各路由節點的排隊晶圓清單統計已使用的存儲容量。伺服器根據預設存儲閾值、待傳送晶圓以及晶圓清單中的排隊晶圓確定可暫時存儲待傳送晶圓的傳送路由節點，並將不可存儲待傳送晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。每次傳送任務被記為一個傳送周次，因此路由節點的狀態資訊會隨時發生變化。當路由節點處於接收晶圓狀態或即將接收晶圓狀態時，狀態資訊為否定資訊；當路由節點處於空閒狀態時，狀態資訊為肯定資訊。
在其中一個實施例中，物料管控單元接收生產單元發送的傳輸指令，包括：物料管控單元接收傳輸指令，將傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將傳輸指令和狀態資訊進行對應存儲；物料管控單元根據物料搬運單元回饋的轉移資訊將傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。
物料管控單元MCS接收傳輸指令，將傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將傳輸指令和狀態資訊進行對應存儲。當MCS接收到新的傳輸指令時，MCS將傳輸指令的狀態設置為「佇列等待中」，並將傳輸指令存儲在佇列清單中。物料管控單元根據物料搬運單元回饋的轉移資訊將傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。狀態資訊將根據AMHS報告的事件進行更新，例如，當AMHS報告指令完成時，狀態資訊可以變更為「已完成」；當AMHS報告指令「存儲倉滿，無法存儲」時，狀態資訊可以變更為「倉滿，未完成」等。
在其中一個實施例中，當物料搬運單元回饋傳送發生故障時，物料管控單元根據故障資訊確定故障起因；當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑；控制物料搬運單元根據物流管控單元重新生成的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
當物料搬運單元AMHS回饋傳送發生故障時，物料管控單元MCS根據故障資訊確定故障起因，物料管控單元MCS根據回饋的故障資訊確定是存儲倉故障還是物料搬運單元AMHS的故障。當確定為存儲倉故障時，由於FOUP仍在物料搬運單元AMHS的搬運車上，MCS可以重新生成目標晶圓的目標傳送路徑；控制物料搬運單元根據物流管控單元重新生成的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。MCS也可以通過發出從車輛到附近存儲倉的轉移命令，將FOUP從車輛移動到存儲倉，在FOUP返回到存儲倉之後，MCS再次將FOUP移動到其目的儲存位置。如果新的傳輸再次失敗，MCS應計算錯誤號，然後重試。如果錯誤計數超過50，MCS應發出報警並停止該命令。
在其中一個實施例中，當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：獲取接收節點附近的臨時節點，並從傳送資訊中獲取目標晶圓的目的儲存位置；根據臨時節點、目的存儲位置以及路由節點列表，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑。
MCS獲取接收節點附近的臨時節點，並從傳送資訊中獲取目標晶圓的目的儲存位置。物料管控單元可以採用步驟401~405根據臨時節點、目的存儲位置以及路由節點清單，重新生成目標晶圓的目標傳送路徑。
在一個實施例中，提供了一種電腦設備，包括記憶體和處理器，該記憶體存儲有電腦程式，該處理器執行電腦程式時實現以下步驟：製造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令；物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；物流管控單元根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：識別傳送資訊中攜帶目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置；獲取由所有儲存位置映射的路由節點列表，路由節點清單攜帶有與儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重；基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點；根據傳送路由節點確定初始儲存位置以及目的儲存位置的第二傳送路徑，第二傳送路徑攜帶有各傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間；將該第二傳送路徑與第一傳送路徑進行比對，生成目標晶圓的目標傳送路徑。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，包括：獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值；根據預設存儲閾值、目標晶圓以及晶圓列表中的排隊晶圓確定可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，並將不可存儲目標晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值之前，還包括：接收發送來針對特定路由節點的關閉命令；根據關閉命令對路由節點列表中的各特定路由節點的狀態更新為否定狀態。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的物料管控單元接收生產單元發送的傳輸指令，包括：物料管控單元接收傳輸指令，將傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將傳輸指令和狀態資訊進行對應存儲；物料管控單元根據物料搬運單元回饋的轉移資訊將傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的當物料搬運單元回饋傳送發生故障時，物料管控單元根據故障資訊確定故障起因；當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑；控制物料搬運單元根據物流管控單元重新生成的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在一個實施例中，處理器執行電腦程式時實現的當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：獲取接收節點附近的臨時節點，並從傳送資訊中獲取目標晶圓的目的儲存位置；根據臨時節點、目的存儲位置以及路由節點列表，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑。
在一個實施例中，提供了一種電腦可讀存儲介質，其上存儲有電腦程式，電腦程式被處理器執行時實現以下步驟：製造執行單元生成傳輸指令，傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，傳輸指令包含多條命令，多條命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑；物料管控單元接收生產單元根據指令序列發送的傳輸指令；物料管控單元獲取傳輸指令中目標晶圓的傳輸狀態資訊；物流管控單元根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，根據指令序列將目標傳送路徑發送給物料搬運單元；控制物料搬運單元根據物流管控單元發送來的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的根據傳輸狀態資訊對傳送資訊中的第一傳送路徑進行調整，並生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：識別傳送資訊中攜帶目標晶圓的第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置；獲取由所有儲存位置映射的路由節點列表，路由節點清單攜帶有與儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重；基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點；根據傳送路由節點確定初始儲存位置以及目的儲存位置的第二傳送路徑，第二傳送路徑攜帶有各傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間；將該第二傳送路徑與第一傳送路徑進行比對，生成目標晶圓的目標傳送路徑。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的基於存儲狀態資訊從路由節點清單中篩選可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，包括：獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值；根據預設存儲閾值、目標晶圓以及晶圓列表中的排隊晶圓確定可暫時存儲目標晶圓的傳送路由節點，並將不可存儲目標晶圓的路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的獲取路由節點清單中狀態為肯定狀態的各路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值之前，還包括：接收發送來針對特定路由節點的關閉命令；根據關閉命令對路由節點列表中的各特定路由節點的狀態更新為否定狀態。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的物料管控單元接收生產單元發送的傳輸指令，包括：物料管控單元接收傳輸指令，將傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將傳輸指令和狀態資訊進行對應存儲；物料管控單元根據物料搬運單元回饋的轉移資訊將傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的當物料搬運單元回饋傳送發生故障時，物料管控單元根據故障資訊確定故障起因；當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑；控制物料搬運單元根據物流管控單元重新生成的目標傳送路徑對目標晶圓進行搬運。
在一個實施例中，電腦程式被處理器執行時實現的當確定故障起因與存儲目標晶圓的接收節點相關時，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑，包括：獲取接收節點附近的臨時節點，並從傳送資訊中獲取目標晶圓的目的儲存位置；根據臨時節點、目的存儲位置以及路由節點列表，物料管控單元重新生成目標晶圓的目標傳送路徑。
以上所述，僅為本發明的具體實施方式，但本發明的保護範圍並不局限於此，任何熟悉本技術領域具通常知識者在本發明揭露的技術範圍內，可輕易想到的變化或替換，都應涵蓋在本發明的保護範圍之內。因此，本發明的保護範圍應以請求項的保護範圍為准目前。
101:製造執行單元 102:物料管控單元 103:物料搬運單元 201~205:步驟流程 401~405:步驟流程
1 圖1是本發明的實施例中基於晶圓傳送監管控制系統的結構簡圖； 圖2是本發明的實施例中基於晶圓傳送監管控制方法的流程示意圖； 圖3是本發明的實施例中物料管控單元運行的流程示意圖； 圖4是本發明的實施例中目標傳送路徑生成步驟的流程示意圖。
201~205:步驟流程

Claims (10)

  1. 一種基於晶圓傳送監管控制方法，包括： 製造執行單元生成傳輸指令，該傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，該傳輸指令包含多條命令，該等命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑； 物料管控單元接收該生產單元根據該指令序列發送的該傳輸指令； 該物料管控單元獲取該傳輸指令中該目標晶圓的傳輸狀態資訊； 該物流管控單元根據該傳輸狀態資訊對該傳送資訊中的該第一傳送路徑進行調整，並生成該目標晶圓的目標傳送路徑，根據該指令序列將該目標傳送路徑發送給物料搬運單元； 控制該物料搬運單元根據該物流管控單元發送來的該目標傳送路徑對該目標晶圓進行搬運。
  2. 如請求項1所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中該物流管控單元根據該傳輸狀態資訊對該傳送資訊中的該第一傳送路徑進行調整，並生成該目標晶圓的該目標傳送路徑，包括： 識別該傳送資訊中攜帶該目標晶圓的該第一傳送路徑、初始儲存位置以及目的儲存位置； 獲取由該初始儲存位置以及該目的儲存位置映射的路由節點列表，該路由節點列表攜帶有與該初始儲存位置以及該目的儲存位置對應的路由節點的屬性資訊，該屬性資訊包括存儲狀態資訊和權重； 基於該存儲狀態資訊從該路由節點清單中篩選可暫時存儲該目標晶圓的複數傳送路由節點； 根據該等傳送路由節點確定該初始儲存位置以及該目的儲存位置的第二傳送路徑，該第二傳送路徑攜帶有該等傳送路由節點的當前等待時間和預估當前轉移時間； 將該第二傳送路徑與該第一傳送路徑進行比對，生成該目標晶圓的目標傳送路徑。
  3. 如請求項2所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中基於該存儲狀態資訊從該路由節點清單中篩選可暫時存儲該目標晶圓的該等傳送路由節點，包括： 獲取該路由節點清單中狀態為肯定狀態的該等路由節點的排隊晶圓清單以及預設存儲閾值； 根據該等預設存儲閾值、該目標晶圓以及該等排隊晶圓清單中的排隊晶圓確定可暫時存儲該目標晶圓的該等傳送路由節點，並將不可存儲該目標晶圓的該等路由節點在預設次數的傳送周次中的狀態設置為否定狀態。
  4. 如請求項3所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中獲取該路由節點清單中狀態為肯定狀態的該等路由節點的該等排隊晶圓清單以及該等預設存儲閾值之前，還包括： 接收發送來針對特定路由節點的關閉命令； 根據該關閉命令對該路由節點列表中的特定路由節點的狀態更新為否定狀態。
  5. 如請求項1所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中該物料管控單元接收該生產單元發送的該傳輸指令，包括： 該物料管控單元接收該傳輸指令，將該傳輸指令的狀態資訊設置為等待中，並將該傳輸指令和該狀態資訊進行對應存儲； 該物料管控單元根據該物料搬運單元回饋的轉移資訊將該傳輸指令的狀態資訊進行變更並存儲。
  6. 如請求項1所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中當該物料搬運單元回饋傳送發生故障時，該物料管控單元根據故障資訊確定故障起因；當確定該故障起因與存儲該目標晶圓的接收節點相關時，該物料管控單元重新生成該目標晶圓的該目標傳送路徑；該控制物料搬運單元根據該物流管控單元重新生成的該目標傳送路徑對該目標晶圓進行搬運。
  7. 如請求項6所述的基於晶圓傳送監管控制方法，其中當確定該故障起因與存儲該目標晶圓的該接收節點相關時，該物料管控單元重新生成該目標晶圓的該目標傳送路徑，包括： 獲取該接收節點附近的臨時節點，並從該傳送資訊中獲取該目標晶圓的目的儲存位置； 根據該臨時節點、該目的存儲位置以及該路由節點列表，該物料管控單元重新生成該目標晶圓的該目標傳送路徑。
  8. 一種基於晶圓傳送監管控制系統，其主要包括： 製造執行單元，用於生成傳輸指令，該傳輸指令攜帶有目標晶圓的傳送資訊，該傳輸指令包含多條命令，該等命令根據指令序列共同組成第一傳送路徑； 物料管控單元，用於接收該生產單元根據該指令序列發送的該傳輸指令；獲取該傳輸指令中該目標晶圓的傳輸狀態資訊；根據該傳輸狀態資訊對該傳送資訊中的該第一傳送路徑進行調整，並生成該目標晶圓的目標傳送路徑，根據該指令序列將該目標傳送路徑發送給物料搬運單元； 該物料搬運單元，用於根據該物流管控單元發送來的該目標傳送路徑對該目標晶圓進行搬運。
  9. 一種電腦設備，包括記憶體和處理器，該記憶體存儲有電腦程式，該處理器執行該電腦程式時執行如請求項1至7中任一項所述的基於晶圓傳送監管控制方法的步驟。
  10. 一種電腦可讀存儲介質，其主要存儲有電腦程式，該電腦程式被處理器執行時執行如請求項1至7中任一項所述的基於晶圓傳送監管控制方法的步驟。
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