CN116031189A - 传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统 - Google Patents

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CN116031189A CN202310302082.4A CN202310302082A CN116031189A CN 116031189 A CN116031189 A CN 116031189A CN 202310302082 A CN202310302082 A CN 202310302082A CN 116031189 A CN116031189 A CN 116031189A
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汪杰
徐东东
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Abstract

本发明涉及一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。传送路径规划方法包括：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各轨道单元的传送参数；基于各轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，邻接链表包括各轨道单元构成的头节点、各头节点对应的传送参数、与各头节点相连接的轨道单元以及与各头节点相连接的轨道单元的传送参数；基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。本发明的传送路径规划方法可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。

Description

传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统
技术领域
本申请涉及半导体技术领域，特别是涉及一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。
背景技术
在半导体生产制造过程中，工艺制程非常复杂，待加工的晶圆需要多次往返于清洗、氧化、刻蚀等制程之间，晶圆制造系统中可能会同时有成千上万笔晶圆等待被各种机台加工；因此，高效的自动物料搬运系统（AMHS，Automatic Material Handling System）对于提升晶圆制造系统的整体性能和效率意义重大。又晶圆是通过自动物料搬运系统中的天车和传送轨道在不同机台之间进行传送，天车的传送路径的最优化无疑是至关重要的。
目前的天车的传送路径的规划方法中，一般以工艺制程节点为传送节点，并基于邻接矩阵来进行最优路径的优化；上述方法存在与半导体厂实际需求不符，使用邻接矩阵会导致消耗大量内存，影响规划效率的问题。
发明内容
基于此，有必要针对现有技术中的与半导体厂实际需求不符，使用邻接矩阵会导致消耗大量内存，影响规划效率的问题提供一种传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统。
为了实现上述目的，第一方面，本发明提供了一种传送路径规划方法，包括：
将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；
基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
在其中一个实施例中，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。
在其中一个实施例中，若与同一所述头节点相连接的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。
在其中一个实施例中，所述基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，包括：
于所述邻接链表中选取起始轨道单元对应的头节点作为当前头节点；
于所述邻接链表中选取与所述当前头节点相连接的所述轨道单元，将选取的所述轨道单元对应的头节点作为新的当前头节点，并于邻接链表中选取与新的当前头节点相连接的轨道单元；
重复上一步骤若干次，直至遍历所有具有连接关系的所述轨道单元，以得到所述天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；
自多条所述传送路径中，选取所有所述轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为所述最佳传送路径。
第二方面，本发明还提供一种传送路径规划系统，包括：
划分获取模块，用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
邻接链表生成模块，与所述划分获取模块相连接，用于基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；
规划模块，与所述邻接链表生成模块相连接，用于基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
在其中一个实施例中，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。
在其中一个实施例中，若与同一所述头节点相连接的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。
在第三方面，本发明还提供一种天车传送方法，包括：
采用如第一方面中所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
控制所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台。
在第四方面，本发明还提供一种天车传送系统，包括：
传送轨道；
如第二方面中所述的传送路径规划系统；
控制单元，与所述传送路径规划系统和所述天车均相连接，用于控制所述天车沿所述最佳传送路径由所述起始机台传送至所述目标机台。
第五方面，本发明还提供一种天车需求量的评估方法，包括：
采用如第一方面中所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
基于所述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
在其中一个实施例中，所述基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量的公式为：
其中，为所述天车每小时的搬运量，CT为所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间，为第一安全系数。
在其中一个实施例中，获取所述传送轨道的单位时间搬送量的公式为：
其中，为所述传送轨道每小时的搬送量，为所述传送轨道一个月的产能，为一个制程工序需要所述天车搬运晶圆盒的次数，表示抽检比例，为第二安全系数。
第六方面，本发明还提供一种天车需求量的评估系统，包括：
如第二方面中所述的传送路径规划系统；
第一处理模块，与所述传送路径规划系统相连接，用于获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
第二处理模块，与所述第一处理模块相连接，用于基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
第三处理模块，用于获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
评估模块，与所述第二处理模块和所述第三处理模块均相连接，用于基于所述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
上述的传送路径规划方法、规划系统、天车传送方法及传送系统中，由于机台是与传送轨道单元对应绑定，通过将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，并获取各轨道单元的传送参数，使得本申请的传送路径规划方法更符合半导体厂的实际需求；又本发明的传送路径规划方法中，先基于轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，再基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，在规划过程中，只需要提取邻接链表中的头节点进行规划即可，可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为一种传送轨道规划方法中不同节点之间的传送示意图；
图2为本发明一实施例中提供的传送路径规划方法的流程图；
图3为本发明提供的传送路径规划方法中不同轨道单元之间的传送示意图；
图4为本发明提供的传送路径规划方法中基于图3的传送示意图的邻接链表；
图5为本发明另一实施例中提供的传送路径规划系统的结构框图；
图6为本发明又一实施例中提供的天车传送方法的流程示意图；
图7为本发明又一实施例中提供的天车传送系统的结构框图；
图8为本发明又一实施例中提供的天车需求量的评估方法的流程图；
图9为本发明又一实施例中提供的半天车需求量的评估系统的结构框图。
附图标记说明：1、传送路径规划系统，10、划分获取模块，11、邻接链表生成模块，12、规划模块，2、传送轨道，3、天车，4、控制单元，5、第一处理模块，6、第二处理模块，7、第三处理模块，8、评估模块。
具体实施方式
为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使本申请的公开内容更加透彻全面。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本申请的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本申请的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本申请。
应当明白，当元件或层被称为“在......上”、“与......相邻”、“连接到”或“耦合到”其它元件或层时，其可以直接地在其它元件或层上、与之相邻、连接或耦合到其它元件或层，或者可以存在居间的元件或层。相反，当元件被称为“直接在......上”、“与......直接相邻”、“直接连接到”或“直接耦合到”其它元件或层时，则不存在居间的元件或层。应当明白，尽管可使用术语第一、 第二、第三等描述各种元件、部件、区、层、掺杂类型和/或部分，这些元件、部件、区、层、掺杂类型和/或部分不应当被这些术语限制。这些术语仅仅用来区分一个元件、部件、区、层、掺杂类型或部分与另一个元件、部件、区、层、掺杂类型或部分。因此，在不脱离本发明教导之下，下面讨论的第一元件、部件、区、层、掺杂类型或部分可表示为第二元件、部件、区、层或部分；举例来说，可以将第一掺杂类型成为第二掺杂类型，且类似地，可以将第二掺杂类型成为第一掺杂类型；第一掺杂类型与第二掺杂类型为不同的掺杂类型，譬如，第一掺杂类型可以为P型且第二掺杂类型可以为N型，或第一掺杂类型可以为N型且第二掺杂类型可以为P型。
空间关系术语例如“在......下”、“在......下面”、“下面的”、“在......之下”、“在......之上”、“上面的”等，在这里可以用于描述图中所示的一个元件或特征与其它元件或特征的关系。应当明白，除了图中所示的取向以外，空间关系术语还包括使用和操作中的器件的不同取向。例如，如果附图中的器件翻转，描述为“在其它元件下面”或“在其之下”或“在其下”元件或特征将取向为在其它元件或特征“上”。因此，示例性术语“在......下面”和“在......下”可包括上和下两个取向。此外，器件也可以包括另外地取向(譬如，旋转90度或其它取向)，并且在此使用的空间描述语相应地被解释。
在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述/该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式。还应当理解的是，术语“包括/包含”或“具有”等指定所陈述的特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征、整体、步骤、操作、组件、部分或它们的组合的可能性。同时，在本说明书中，术语“和/或”包括相关所列项目的任何及所有组合。
这里参考作为本发明的理想实施例(和中间结构)的示意图的横截面图来描述发明的实施例，这样可以预期由于例如制造技术和/或容差导致的所示形状的变化。因此，本发明的实施例不应当局限于在此所示的区的特定形状，而是包括由于例如制造技术导致的形状偏差。例如，显示为矩形的注入区在其边缘通常具有圆的或弯曲特征和/或注入浓度梯度，而不是从注入区到非注入区的二元改变。同样，通过注入形成的埋藏区可导致该埋藏区和注入进行时所经过的表面之间的区中的一些注入。因此，图中显示的区实质上是示意性的，它们的形状并不表示器件的区的实际形状，且并不限定本发明的范围。
如图1所示，以存在A、B、C、D、E和F六个节点（可以为工艺制程节点），A与C、B与C、B与E、C与D、E与D、E与F及D与F之间存在传送轨道为例，图1中的箭头表示传送轨道上的传送方向，均为单向传送，箭头上对应的数字为对应传送轨道的长度（譬如，A至C的传送轨道长度为5米，B至C的轨道长度为10米，B至E的轨道长度为30米，C至D的轨道长度为50米，E至D的轨道长度为20米，E至F的轨道长度为9米，D至F的轨道长度为10米）。将图1中不存在传送轨道的两节点之间的距离记为，图1中的各节点对应的邻接矩阵G如下：
在基于上述邻接链表的传送路径规划方法中，由于邻接矩阵中包含大量的0和，会消耗大量不必要的内存，从而影响规划效率。
请参阅图2，本发明提供一种传送路径规划方法，包括如下步骤：
S10：将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各轨道单元的传送参数，传送参数包括轨道单元的长度或天车在轨道单元上的传送时间；
S11：基于各轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，邻接链表包括各轨道单元构成的头节点、各头节点对应的传送参数、与各头节点相连接的轨道单元以及与各头节点相连接的轨道单元的传送参数；
S12：基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
上述实施例中的传送路径规划方法中，由于机台是与传送轨道单元对应绑定，通过将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，并获取各轨道单元的传送参数，使得本申请的传送路径规划方法更符合半导体厂的实际需求；又本发明的传送路径规划方法中，先基于轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，再基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，在规划过程中，只需要提取邻接链表中的头节点进行规划即可，可以大大减小循环次数，显著降低内存消耗，从而改善规划效率。
在步骤S10中，请参阅图2中的步骤S10及图3，将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获轨道单元的传送参数，传送参数包括轨道单元的长度或天车在轨道单元上的传送时间。
作为示例，以图3中将传送轨道划分为D1、D2、D3、D4、D5、D6和D7这七个轨道单元为例，图3中的单箭头表示各轨道单元上天车的单向传送方向，图3中各轨道单元的箭头对应的数字即为轨道单元的传送参数，图3中以表示对应轨道单元的长度为例，譬如，轨道单元D1的长度为5米，轨道单元D2的长度为10米，轨道单元D3的长度为30米，轨道单元D4的长度为50米，轨道单元D5的长度为9米，轨道单元D6的长度为10米，轨道单元D7的长度为20米。由图3可知，轨道单元D1和轨道单元D4相连接，轨道单元D2与轨道单元D4相连接，轨道单元D3与轨道单元D5和轨道单元D7均相连接，轨道单元D4与轨道单元D6相连接，轨道单元D7与轨道单元D6相连接。当然，在其他示例中，传送轨道可以根据实际需要进行轨道单元的划分，并不以图3中的示例为限。
需要说明的是，在其他示例中，也可以以天车在各轨道单元上的传送时间作为各轨道单元的传送参数。
需要进一步说明的是，各轨道单元两端均可以连接机台，即各轨道单元均为经由轨道单元相连接的两个机台之间的传送轨道。
在步骤S11中，请结合图3参阅图2中的步骤S11以及图4，基于各轨道单元和各轨道单元的传送参数生成邻接链表，邻接链表包括各轨道单元构成的头节点、各头节点对应的传送参数、与各头节点相连接的轨道单元以及与各头节点相连接的轨道单元的传送参数。
作为示例，如图4所示，邻接链表中，构成各头节点的各轨道单元位于邻接链表的第一列，与头节点相连接的轨道单元和对应的头节点位于同一行；各轨道单元的传送参数均位于对应的轨道单元的相邻列。具体的，在图4的邻接链表中，轨道单元D1、轨道单元D2、轨道单元D3、轨道单元D4、轨道单元D5、轨道单元D6和轨道单元D7分别作为头节点置于邻接链表中的第一列的不同行；与轨道单元D1相连接的轨道单元D4和轨道单元D1位于第一行，与轨道单元D2相连接的轨道单元D4和轨道单元D2位于第二行，与轨道单元D3相连接的轨道单元D5及轨道单元D7和轨道单元D3位于第三行，与轨道单元D4相连接的轨道单元D6和轨道单元D4位于第四行，轨道单元D5由于没有其他下游连接轨道单元，其独占作为头节点位于第五行，轨道单元D6由于没有其他下游连接轨道单元，其独自作为头节点位于第六行，与轨道单元D7相连接的轨道单元D6和轨道单元D7位于第七行。各轨道单元的传送参数均紧跟其后，位于与其相邻列。
作为示例，若与同一头节点相连接的轨道单元的数量为多个，与同一头节点相连接的多个轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。如图4中，轨道单元D5及轨道单元D7均与轨道单元D4相连接，但轨道单元D5的传送参数为5，轨道单元D7的传送参数为20，此时，则将轨道单元D5及其传送参数排列至轨道单元D7之前，以便于根据邻接链表可以最先遍历到与头节点传送参数最小的轨道单元。
在步骤S12中，请结合图3及图4参阅图2中的步骤S12，基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
作为示例，步骤S12可以包括如下步骤：
S121：于邻接链表中选取起始轨道单元对应的头节点作为当前头节点；
S122：于邻接链表中选取与当前头节点相连接的轨道单元，将选取的轨道单元对应的头节点作为新的当前头节点，并于邻接链表中选取与新的当前头节点相连接的轨道单元；
S123：重复上一步骤若干次，直至遍历所有具有连接关系的轨道单元，以得到天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；
S124：自多条传送路径中，选取所有轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为最佳传送路径。
具体的，请继续参阅图3及图4，以轨道单元D2和轨道单元D3相交处的机台为起始机台，轨道单元D5和轨道单元D6相交处的机台为目标机台，并以轨道单元D3作为当前头节点基于所述邻接链表进行遍历，由图4中的邻接链表可知，头节点D3相连接的轨道单元有轨道单元D5和轨道单元D7；先将轨道单元D5作为新的当前头节点进行遍历，由于轨道单元D5远离轨道单元D3的一端为目标机台，此传送路径结束，得到自起始机台至目标机台的、由轨道单元D3和轨道单元D5构成的第一条传送路径；再将轨道单元D7作为新的当前头节点，由图4中的邻接链表可知，轨道单元D7相连接的为轨道单元D6，由于轨道单元D6远离轨道单元D7的一端为目标机台，此传送路径结束，得到自其实机台至目标机台的、由轨道单元D3、轨道单元D7和轨道单元D6共同构成的第二传送路径。根据轨道单元D3的传送参数和轨道单元D5的传送参数，可以得到第一传送路径的长度为39米，根据轨道单元D3的传送参数、轨道单元D7的传送参数和轨道单元D6的传送参数，可以得到第二传送路径的60米，由此可知，第一传送路径小于第二传送路径，故第一传送路径为最佳传送路径。
由上可知，采用邻接链表寻找最佳传送路径的过程中，仅需要对应的头节点及与头节点相连接的轨道单元，并将与头节点相连接的轨道单元作为新的头节点继续进行遍历，即可得到最佳传送路径，无需对所有轨道单元都进行遍历，可以显著提高规划效率。
请结合图2至图4参阅图5，本发明还提供一种传送路径规划系统1，传送路径规划系统1包括：
划分获取模块10，划分获取模块10用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各轨道单元的传送参数，传送参数包括轨道单元的长度或天车在轨道单元上的传送时间；
邻接链表生成模块11，邻接链表生成模块11与划分获取模块相连接，用于基于各轨道单元和轨道单元的传送参数生成邻接链表，邻接链表包括各轨道单元构成的头节点、各头节点对应的传送参数、与各头节点相连接的轨道单元以及与各头节点相连接的轨道单元的传送参数；
规划模块12，规划模块12与邻接链表生成模块相连接，用于基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
作为示例，传送路径规划系统可以用于执行图2至图4的传送路径规划方法。邻接链表生成模块11生成的邻接链表可以为如图4所示的邻接链表。
作为示例，邻接链表中，构成各头节点的各轨道单元位于邻接链表的第一列，与头节点相连接的轨道单元和对应的头节点位于同一行；各轨道单元的传送参数均位于对应的轨道单元的相邻列。具体的，在图4的邻接链表中，轨道单元D1、轨道单元D2、轨道单元D3、轨道单元D4、轨道单元D5、轨道单元D6和轨道单元D7分别作为头节点置于邻接链表中的第一列的不同行；与轨道单元D1相连接的轨道单元D4和轨道单元D1位于第一行，与轨道单元D2相连接的轨道单元D4和轨道单元D2位于第二行，与轨道单元D3相连接的轨道单元D5及轨道单元D7和轨道单元D3位于第三行，与轨道单元D4相连接的轨道单元D6和轨道单元D4位于第四行，轨道单元D5由于没有其他下游连接轨道单元，其独占作为头节点位于第五行，轨道单元D6由于没有其他下游连接轨道单元，其独自作为头节点位于第六行，与轨道单元D7相连接的轨道单元D6和轨道单元D7位于第七行。各轨道单元的传送参数均紧跟其后，位于与其相邻列。
作为示例，若与同一头节点相连接的轨道单元的数量为多个，与同一头节点相连接的多个轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。如图4中，轨道单元D5及轨道单元D7均与轨道单元D4相连接，但轨道单元D5的传送参数为5，轨道单元D7的传送参数为20，此时，则将轨道单元D5及其传送参数排列至轨道单元D7之前，以便于根据邻接链表可以最先遍历到与头节点传送参数最小的轨道单元。
作为示例，规划模块12可以被配置为按如图2中步骤S12的方法来基于邻接链表选择天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，具体请参阅图2中的步骤S12及相关描述。
请结合图2至图4参阅图6，本发明还提供一种天车传送方法，包括：
S20：采用如图2至图4中的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
S21：控制天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台。
在步骤S20中，请结合图2至图4参阅图6中的S20步骤，采用如图2至图4中的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
具体的，规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径的具体方法请参阅图2至图4及相关描述，此处不再累述。
在步骤S21中，请参阅图6中的S21步骤，控制天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台。
具体的，控制天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的具体方法可以为任意一种控制天车沿固定传送路径传送的方法，此处不做具体限定。
请结合图2至图5参阅图7，本发明还提供一种天车传送系统，包括：
传送轨道3；
如图5中所述的传送路径规划系统1；
控制单元4，控制单元4与传送路径规划系统1和天车3均相连接，控制单元4用于控制天车沿最佳传送路径由起始机台传送至目标机台。
作为示例，传送轨道为现有集成电路领域用于传送晶圆盒的传送轨道，其具体结构此处不做限定。
作为示例，传送路径规划系统1的具体结构请参阅图5及相关文字描述，此处不再赘述。
作为示例，控制单元4可以为现有的天车控制系统，其具体结构此处不做限定。
请结合图2至图4参阅图8，本发明还提供一种天车需求量的评估方法，包括：
S30：采用如图2至图4中的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
S31：获取天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间；
S32：基于单次传送时间得到天车的单位时间搬送量；
S33：获取传送轨道的单位时间搬送量；
S34：基于传送轨道的单位时间搬送量和天车的单位时间搬送量评估天车的需求量。
本发明通过获取天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径后，基于最佳传送路径来评估天车的需求量，可以在保证满足所需搬送量的前提下，投入使用的天车数量达到最优化，从而降低生产成本。
在步骤S30中，请结合图2至图4参阅图8中的S30步骤，采用如图2至图4中的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
具体的，规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径的具体方法请参阅图2至图4及相关描述，此处不再累述。
在步骤S31中，请参阅图8中的S31步骤，获取天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间。
作为示例，如果图2至图4中的传送路径规划方法中的传送参数为各轨道单元的长度，可以基于各轨道单元的长度和天车在各轨道单元上的运行速度得到天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间。
需要说明的是，在天车接收到传送指令至天车就位开始传送之前，还会有一定的准备时间，天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间是包括了天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间和准备时间，即天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间为天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间和准备时间的加和。
在步骤S32中，请参阅图8中的S32步骤，基于单次传送时间得到天车的单位时间搬送量。
作为示例，基于单次传送时间得到天车的单位时间搬送量的公式可以为：
其中，为天车每小时的搬运量，CT为天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间，为第一安全系数。
需要说明的是，为天车每小时的搬运量，天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间CT的单位为秒，故上述公式中是以一小时的3600秒除以天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间CT；如果为天车每天、每周或每月的搬运量，或天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间CT的单位不是秒时，作为分子的3600可以更换为对应情况的其他数值，此处不再一一举例示意。
作为示例，第一安全系数可以为小于1的整数，譬如，第一安全系数可以为0.9、0.85、0.8/0.75、0.7、0.65或0.6等等。
在步骤S33中，请参阅图8中的S33步骤，获取传送轨道的单位时间搬送量。
作为示例，获取传送轨道的单位时间搬送量的公式可以为：
其中，为传送轨道每小时的搬送量，为传送轨道一个月的产能，为一个制程工序需要天车搬运晶圆盒的次数，表示抽检比例，为第二安全系数。
需要说明的是，传送轨道的单位时间搬运量是指传送轨道的单位时间搬运盛放晶圆的晶圆盒的单位时间搬运量，一个晶圆盒内盛放的晶圆的数量为25片，即为传送轨道一个月可以传送的晶圆盒的数量。
需要进一步说明的是，上述公式中涉及抽检比例是为了考虑抽检部分晶圆时，譬如对抽取部分晶圆进行膜厚量测等，也是需要将抽取的晶圆进行传送。
作为示例，第二安全系数为大于1的数值，譬如，第二安全系数以为1.5、1.6、1.7、1.8或1.9等等。
需要说明的是，由于在半导体工厂内会存在晶圆盒的暂存站点，在机台之间进行晶圆盒的传送时，时长会碰到目标机台有制程正在进行，需要将传送过来的晶圆盒先传送至暂存站点进行暂存，当目标机台空闲时，再将晶圆盒传送至目标机台。再考虑暂存站点的基础上，为了准确体现传送轨道的单位时间搬送量，上述公式中在第二安全系数后有乘以2。
在步骤S34中，请参阅图8中的S34步骤，基于传送轨道的单位时间搬送量和天车的单位时间搬送量评估天车的需求量。
作为示例，可以将传送轨道的单位时间搬送量除以天车的单位时间搬送量，即可得到所需天车的数量。
请结合图5参阅图9，本发明还提供一种天车需求量的评估系统，包括：
如图5中的传送路径规划系统1；
第一处理模块5，第一处理模块5与传送路径规划系统1相连接，用于获取天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间；
第二处理模块6，第二处理模块6与第一处理模块5相连接，用于基于单次传送时间得到天车的单位时间搬送量；
第三处理模块7，第三处理模块7用于获取传送轨道的单位时间搬送量；
评估模块8，评估模块8与第二处理模块6和第三处理模块7均相连接，用于基于传送轨道的单位时间搬送量和天车的单位时间搬送量评估天车的需求量。
具体的，传送路径规划系统1的具体结构请参阅图5及相关文字描述，此处不再赘述。
作为示例，如果图2至图4中的传送路径规划方法中的传送参数为各轨道单元的长度，第一处理模块5可以基于各轨道单元的长度和天车在各轨道单元上的运行速度得到天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间。
需要说明的是，在天车接收到传送指令至天车就位开始传送之前，还会有一定的准备时间，天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间是包括了天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间和准备时间，即天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间为天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台的运行时间和准备时间的加和。
作为示例，第二处理模块6可以基于如下公式得到天车的单位时间搬送量：
其中，为天车每小时的搬运量，CT为天车沿最佳传送路径自起始机台传送至目标机台所需的单次传送时间，为第一安全系数。
作为示例，第一安全系数可以为小于1的整数，譬如，第一安全系数可以为0.9、0.85、0.8/0.75、0.7、0.65或0.6等等。
作为示例，第三处理模块7可以基于如下公式得到传送轨道的单位时间搬送量：
其中，为传送轨道每小时的搬送量，为传送轨道一个月的产能，为一个制程工序需要天车搬运晶圆盒的次数，表示抽检比例，为第二安全系数。
作为示例，第二安全系数为大于1的数值，譬如，第二安全系数以为1.5、1.6、1.7、1.8或1.9等等。
作为示例，评估模块8可以将传送轨道的单位时间搬送量除以天车的单位时间搬送量，以得到所需天车的数量。
在本说明书的描述中，参考术语“有些实施例”、“其他实施例”、“理想实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特征包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性描述不一定指的是相同的实施例或示例。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (13)

1.一种传送路径规划方法，其特征在于，包括：
将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；
基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
2.根据权利要求1所述的传送路径规划方法，其特征在于，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。
3.根据权利要求2所述的传送路径规划方法，其特征在于，若与同一所述头节点相连接的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的传送路径规划方法，其特征在于，所述基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径，包括：
于所述邻接链表中选取起始轨道单元对应的头节点作为当前头节点；
于所述邻接链表中选取与所述当前头节点相连接的所述轨道单元，将选取的所述轨道单元对应的头节点作为新的当前头节点，并于邻接链表中选取与新的当前头节点相连接的轨道单元；
重复上一步骤若干次，直至遍历所有具有连接关系的所述轨道单元，以得到所述天车自起始机台至目标机台的多条传送路径；
自多条所述传送路径中，选取所有所述轨道单元的传送参数的加和最小的传送路径作为所述最佳传送路径。
5.一种传送路径规划系统，其特征在于，包括：
划分获取模块，用于将天车的传送轨道按机台分布划分为多个轨道单元，获取各所述轨道单元的传送参数，所述传送参数包括所述轨道单元的长度或所述天车在所述轨道单元上的传送时间；
邻接链表生成模块，与所述划分获取模块相连接，用于基于各所述轨道单元和各所述轨道单元的传送参数生成邻接链表，所述邻接链表包括各所述轨道单元构成的头节点、各所述头节点对应的传送参数、与各所述头节点相连接的所述轨道单元以及与各所述头节点相连接的所述轨道单元的传送参数；
规划模块，与所述邻接链表生成模块相连接，用于基于所述邻接链表选择所述天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径。
6.根据权利要求5所述的传送路径规划系统，其特征在于，所述邻接链表中，构成各所述头节点的各所述轨道单元位于所述邻接链表的第一列，与所述头节点相连接的所述轨道单元和对应的头节点位于同一行；各所述轨道单元的传送参数均位于对应的所述轨道单元的相邻列。
7.根据权利要求6所述的传送路径规划系统，其特征在于，若与同一所述头节点相连接的所述轨道单元的数量为多个，与同一所述头节点相连接的多个所述轨道单元于同一行中按传送参数由小至大的顺序依次排布。
8.一种天车传送方法，其特征在于，包括：
采用如权利要求1至4中任一项所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
控制所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台。
9.一种天车传送系统，其特征在于，包括：
传送轨道；
如权利要求5至7中任一项所述的传送路径规划系统；
控制单元，与所述传送路径规划系统和所述天车均相连接，用于控制所述天车沿所述最佳传送路径由所述起始机台传送至所述目标机台。
10.一种天车需求量的评估方法，其特征在于，包括：
采用如权利要求1至4中任一项所述的传送路径规划方法规划天车自起始机台至目标机台的最佳传送路径；
获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
基于所述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
11.根据权利要求10所述的天车需求量的评估方法，其特征在于，所述基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量的公式为：
其中，为所述天车每小时的搬运量，CT为所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间，为第一安全系数。
12.根据权利要求10所述的天车需求量的评估方法，其特征在于，获取所述传送轨道的单位时间搬送量的公式为：
其中，为所述传送轨道每小时的搬送量，为所述传送轨道一个月的产能，为一个制程工序需要所述天车搬运晶圆盒的次数，表示抽检比例，为第二安全系数。
13.一种天车需求量的评估系统，其特征在于，包括：
如权利要求5至7中任一项所述的传送路径规划系统；
第一处理模块，与所述传送路径规划系统相连接，用于获取所述天车沿所述最佳传送路径自所述起始机台传送至所述目标机台所需的单次传送时间；
第二处理模块，与所述第一处理模块相连接，用于基于所述单次传送时间得到所述天车的单位时间搬送量；
第三处理模块，用于获取所述传送轨道的单位时间搬送量；
评估模块，与所述第二处理模块和所述第三处理模块均相连接，用于基于所述传送轨道的单位时间搬送量和所述天车的单位时间搬送量评估所述天车的需求量。
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