JPH11116015A - 輸送システムおよびその制御方法 - Google Patents

輸送システムおよびその制御方法

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JPH11116015A
JPH11116015A JP10211421A JP21142198A JPH11116015A JP H11116015 A JPH11116015 A JP H11116015A JP 10211421 A JP10211421 A JP 10211421A JP 21142198 A JP21142198 A JP 21142198A JP H11116015 A JPH11116015 A JP H11116015A
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Harald Heinrich
ハインリッヒ ハラルト
Peter Oesterreich
エステルライヒ ペーター
Joerg Recklies
レクリース イエルク
Falk Odrich
オトリッヒ ファルク
Andre Welzk
ウェルツク アンドレ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 輸送システムを、システムの堅牢性が保証さ
れており、また個々の構成要素に誤りまたは故障が生じ
た場合にも残りのシステムが安定に引き続いて動作し得
るように構成する。 【解決手段】 各輸送物品１が１つの情報担体５を有
し、そのなかに少なくとも１つの第１の宛先アドレスが
記憶されており、それにより輸送物品がこの宛先アドレ
スに相応する１つの特定の処理装置４へ輸送可能であ
り、この第１の宛先アドレスが１つの処理装置４におけ
る各入口または出口において読まれ、処理の後に第２の
宛先アドレスが書かれ、各分岐装置３において各輸送物
品１の情報担体５が読出されることによって、各分岐装
置３が１つの内部の宛先アドレスリストを用いて分岐方
向を決定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は輸送システムまたは
輸送システムを制御するための方法に関する。このよう
な輸送システムは本発明の実施例ではウェーハの製造の
際に使用され、生産‐および自動化コンセプトの主要な
構成部分である。
【０００２】
【従来の技術】たとえばワゴンシステムとして知られて
いる従来の輸送システムは多数の欠点を有し、その際に
これらの公知のシステムの主要な欠点は、輸送路の拡張
および変更が多くの費用をかけなければ実行可能でない
こと、また制御動作にエラーが生じやすいことにある。
これらの欠点はなかんずく、上位の制御ユニットがすべ
ての生ずるデータに対して権限を持っていること、また
輸送システムのなかに個々のワゴンの監視を可能にする
ために設けられているコントロールポイントが過度に少
ないことに帰せられる。誤りが生じた場合に、コントロ
ールポイントが少ないため、また上位の制御ユニットが
処理すべきシステム通信が広範囲にわたるため、輸送シ
ステム全体の故障に通じ得る誤りの伝搬が生ずる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】それにくらべて、本発
明の課題は、輸送システムおよび輸送システムを制御す
るための方法であって、システムの堅牢性が保証されて
おり、また個々の構成要素に誤りまたは故障が生じた場
合にも残りのシステムが安定に引き続いて動作する輸送
システムおよびその制御方法を提供することである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題は請求項１によ
る輸送システムにより、または請求項１６による輸送シ
ステムを制御するための方法により解決される。
【０００５】それによれば、特にウェーハを輸送するた
めに使用される輸送システムは、ウェーハを収容する多
数のキャリア装置と、キャリア装置を輸送する多数の搬
送装置と、キャリア装置を相い異なる搬送装置へ分岐さ
せる多数の分岐装置と、ウェーハが処理される処理装置
における多数の入口または出口（リフト）と、ウェーハ
を有するキャリア装置が一時保管される多数の保管装置
とを含んでおり、その際に各キャリア装置は情報担体を
有し、そのなかに少なくとも１つの第１の宛先アドレス
が記憶されており、それにより所属のウェーハがこの宛
先アドレスに相応する特定の処理装置へ輸送可能であ
り、この第１の宛先アドレスが処理装置における各リフ
トにおいて読まれ、また処理の後にリフトから第２の宛
先アドレスが書かれ、また各分岐装置において各キャリ
ア装置の情報担体が読出されることによって、各分岐装
置が内部の宛先アドレスリストを用いて分岐方向を決定
する。
【０００６】本輸送システムの有利な実施態様の特徴は
従属請求項２ないし１５にあげられている。
【０００７】請求項２によれば、第２の宛先アドレスは
製造範囲に相応し、輸送物品は第１の宛先アドレスにお
ける処理の後にこの製造範囲の第１の保管装置へ輸送さ
れる。
【０００８】請求項３と合致して、この製造範囲の第１
の保管装置が占められているとき、空いている保管場所
が到達されるまで、輸送物品は順次にこの製造範囲のす
べての他の保管装置へ向けられる。
【０００９】請求項２、３および４による実施態様は互
いに無関係な制御に役立つので、輸送システムの最下位
の制御レベルで輸送が続行されている。
【００１０】請求項４によれば、すべての保管装置が占
められている場合には、輸送物品がこの製造範囲のなか
で循環して輸送されるので、搬送装置自体が輸送物品に
対する一時的保管装置として使用されている。
【００１１】請求項５による実施態様によれば、各分岐
装置のなかの宛先アドレスリストが固有に構成されてお
り、この分岐装置を経て到達可能なすべての宛先を含ん
でおり、その際に請求項６によれば、宛先アドレスリス
トが、分岐装置の優先方向で到達すべきでない宛先のみ
を含んでいる。これによりアドレスリストの最適化が達
成されるので、一方ではその大きさが小さく保たれてお
り、また他方ではそれにもかかわらず代替的経路で輸送
することができる。
【００１２】経路計画の別の改善は請求項７の特徴によ
り達成される。それによれば、輸送経路を最適化するた
めに分岐方向が決定されるとき、各分岐装置が追加的に
隣の分岐装置の動作状態を考慮に入れる。これにより、
既に強く負荷されている輸送経路が迂回され得る。
【００１３】請求項８によれば、電源喪失の後にも宛先
アドレスが保たれ、輸送ジョブが続行され得るように、
情報担体の内容が不揮発性である。
【００１４】例外的状況に適当に反応し得るように、請
求項１１によれば、輸送システムは各分岐装置（３）
が、火災警報のような例外的状況で輸送システムの停止
および輸送システムの部分停止を能動化可能である追加
的なアドレスリストを含んでおり、その際に請求項１２
によれば、宛先アドレスリストおよび追加的なアドレス
リストが、輸送システムの構成の変更を連続的に把握す
るために、連続的に更新される。
【００１５】輸送の確実さを一層高めるため、請求項１
３ないし１５と合致して、異常に長く輸送途中である輸
送ジョブの確認を保証する措置が講じられており、その
際に輸送ジョブが保管装置からの輸送物品の取り出しに
より開始され、この輸送物品の情報担体が宛先アドレス
を書かれ、この輸送物品が搬送装置により輸送され、分
岐装置により第１の宛先アドレスへの方向に分岐され、
その際に第１の宛先アドレスに相応する処理装置に到達
した後に処理が実行され、その後に輸送物品が、引き続
いて輸送されるため、第２の宛先アドレスを付けられ、
その際に、保管装置からの取り出しと処理との間の時間
が予め定められた時間よりも長い場合には、その輸送物
品が誤りリストの上に置かれる。
【００１６】輸送物品を一義的に識別するため、各輸送
物品に、同じく情報担体のなかに記憶されている一義的
な番号が割り当てられており、その際にこの番号がエラ
ーリストのなかに記入される。
【００１７】本発明による方法は、請求項１６により、
保管装置から輸送物品を取り出す過程と、輸送物品の情
報担体のなかに少なくとも１つの第１の宛先アドレスを
書込む過程と、多数の搬送装置により輸送物品を輸送す
る過程とを含んでおり、その際に輸送物品を相い異なる
搬送装置へ分岐させるため、多数の分岐装置が搬送装置
の間に設けられており、各分岐装置において輸送物品の
情報担体から宛先アドレスを読出す過程と、読出された
宛先アドレスを分岐装置のなかで内部の宛先アドレスリ
ストと比較する過程と、この比較の結果に関係して、輸
送物品が第１の宛先アドレスの方向に分岐されるよう
に、分岐装置の分岐方向を設定する過程と、宛先アドレ
スに相応する処理装置が到達されるまで、輸送／読出し
／比較／設定の過程を繰り返す過程と、輸送物品を処理
する過程と、輸送物品をすぐ次の製造範囲へ引き続いて
輸送するため、第２の宛先アドレスを情報担体のなかに
書込み、かつ／またはそれから読出す過程とを含んでい
ることを特徴とする。
【００１８】輸送システムを制御するための方法の有利
な実施態様の特徴は従属請求項１７ないし２１にあげら
れている。
【００１９】請求項１７によれば、そのつどの内部の宛
先アドレスリストがこの分岐装置（３）を経て到達可能
なすべての宛先を含んでおり、従って輸送経路の最適化
および輸送物品の代替的な経路決定が行われ得る。
【００２０】システム内の通信を最小にするため、請求
項１８に合致して、第２の宛先アドレスが保管装置から
の取り出しの際に第１の宛先アドレスと一緒に情報担体
のなかに書込まれ、処理の後に第１の宛先アドレスが第
２の宛先アドレスにより置換ないし重ね書きされる。
【００２１】本発明の基礎となっている考え方により、
すなわち最下位の制御レベルで非集中的な輸送続行を実
現するという考え方により、分岐装置は内部の宛先アド
レスリストにより、上位の制御装置に無関係に、分岐方
向を求め、その際に、請求項２０によれば、この上位の
制御装置が、輸送システムの構成（拡張、変更、輸送経
路の（部分的‐）停止、分岐装置の追加など）が変更さ
れたときに、分岐装置のなかの宛先アドレスリストの更
新を実行する。
【００２２】請求項２１によれば、宛先アドレスリスト
に追加して、火災または輸送システムの（部分‐）停止
のような例外的な場合に能動化可能である別のアドレス
リストが分岐装置のなかに格納されている。
【００２３】他の特徴および利点は以下の説明から明ら
かになる。
【００２４】
【実施例】以下、付属の図面により本発明を一層詳細に
説明する。
【００２５】図面中には、輸送システムの個々の構成要
素がシンボルにより示されている。参照符号１を付して
つの輸送物品（例では１つまたは複数のウェーハに対す
るキャリヤ）が示されている。この輸送物品１は多数の
搬送装置２（例ではコンベア）により輸送され、またこ
うして輸送物品が任意の処理装置４（例では処理装置に
おけるリフトまで）または保管装置４ａ（例ではストッ
カ）へ輸送され得る。相い異なる搬送装置２の間に、輸
送物品１を相い異なる方向に分岐させる分岐装置３（た
とえば回転皿）が位置している。各輸送物品１には、少
なくともすぐ次に目指すべき処理装置４のアドレスを記
憶している情報担体５（例ではいわゆるタグ）が設けら
れている。各分岐装置３には、輸送物品１のこの情報担
体５を読出すために、読出し装置が設けられているの
で、分岐装置３の各々の内部に記憶されている宛先アド
レスリストと読出されたアドレスとの間の比較により、
分岐装置が決定され得る。それに応じて分岐装置３が回
転され、また輸送物品１が目指すべき処理装置４の方向
に搬送される。
【００２６】理解を容易にするため下記の用語を簡単に
説明しておく。
【００２７】輸送物品：輸送すべき製品有りまたは無し
のキャリヤ装置、またはキャリヤ装置が存在しないとき
にば製品自体（テキスト中にあげられている実施例では
輸送物品は処理すべき製品、ウェーハを入れるキャリヤ
装置から成っている）。
【００２８】輸送システムの入口または出口：輸送物品
が輸送システムを去る点または輸送システムに入る点
（たとえば処理ステーションへの移行点─実施例ではそ
れはリフトである）。
【００２９】制御をコーディネートするため、上位の制
御装置（図示されていない）が設けられている。この制
御装置（コントロールシステム）は、ネットワーク接続
を経て保管装置４ａに、どの輸送物品１を保管装置４ａ
から取り出すべきか、またどの宛先に、すなわちどの処
理装置４にこの輸送物品１を送付または搬送すべきかを
決定するために必要な情報を伝達する。好ましくは、さ
らに、この輸送物品１を処理装置４の後でどこへ輸送す
べきかについての別の情報が伝達される。
【００３０】そのために保管装置４ａのなかに、上記の
情報を輸送物品１の情報担体５のなかに書込み得る書込
み装置（図示されていない）が設けられている。輸送シ
ステムのなかの各処理装置４には一義的なアドレスが対
応付けられている。
【００３１】輸送物品１が保管装置４ａから取り出され
た後に、この輸送物品１は搬送装置２により輸送され
る。輸送システムのなかの分岐点において、すなわち分
岐装置３において、読出し装置（図示されていない）に
より輸送物品１の情報担体５が読出され、またそれによ
ってこの輸送物品１の宛先を知らせる情報が得られる。
【００３２】情報担体５から読出されたこの情報（宛先
アドレス）と分岐装置３の内部に記憶されている宛先ア
ドレスリストとを用いて、分岐装置３が輸送物品１を搬
送すべき方向を決定する。
【００３３】各分岐装置３の内部に記憶されている宛先
アドレスリストは、この分岐装置３に対して固有にまた
不揮発性に記憶されているので、電源喪失の際にもこの
宛先アドレスリストは保たれている。宛先アドレスリス
トは階層的形態で、この分岐装置３により到達可能であ
るすべての宛先を含んでいる。好ましくは、その際に、
分岐装置３が優先方向に設定または回転されていないと
きに、この分岐装置３を経て到達可能である宛先アドレ
スのみが宛先アドレスリストのなかに記憶されている。
これにより、記憶すべき情報の量の減少、従ってまた宛
先アドレスリストの短縮が達成される。その際各分岐装
置３の優先方向は、輸送システムのなかの輸送物品１の
循環、すなわち輸送物品１を常に再び同じ分岐装置３を
経て輸送する循環する輸送、が保証されている方向であ
る。たとえば図面中には左下の分岐装置３の優先方向が
矢印により示されている。
【００３４】この宛先アドレスリストに対して追加的
に、各分岐装置３のなかにそれぞれ１つの探索リスト、
火災警報リストならびにシャットダウンリストが設けら
れることができ、それらの構成および機能は後で説明さ
れる。
【００３５】これらの宛先リストは、製造範囲の一部分
が故障したとき、処理装置４が故障したとき、搬送装置
２が故障したとき、または輸送システムの構成が変化し
た（製造範囲、分岐装置３などが追加または除去され
る）ときに更新される。
【００３６】輸送システムのなかの輸送物品の通過およ
び輸送を最適化するため、本発明の別の好ましい実施例
では、分岐装置３の分岐方向の設定が隣の分岐装置の動
作状態および（または）分岐方向を考慮に入れて行われ
る。すなわち、多くの代替的な経路が輸送物品１の現在
の位置と宛先との間で可能である複雑な輸送システムに
おいて、宛先への最短の行程および（または）最短の時
間に通ずる経路がとられ得る。そのために、前記のよう
に、隣のまた代替的な輸送路に位置している分岐装置３
の動作状態が輸送物品１の現在の位置における分岐方向
の設定の際に考慮に入れられ、たとえば既に高頻度また
は高負荷で利用されている分岐装置３が迂回され得る。
【００３７】すなわち上位の制御装置に無関係に、本発
明の原理と合致して、輸送物品１の輸送が非集中的に制
御されて実行される。特定の輸送物品１が保管装置４ａ
から取り出され、輸送物品１の情報担体５のなかに宛先
アドレスが記憶された後に、この輸送物品１は制御装置
のそれ以上の干渉なしに、輸送路に配置されている分岐
装置が自動的にまた内部の宛先アドレスリストを用いて
輸送物品１を宛先へ導くための分岐方向を決定すること
によって、宛先へ輸送される。
【００３８】こうして、たとえ制御装置に故障が生じて
も、輸送システムの持続的な作動が可能であり、輸送シ
ステムのなかに位置している輸送物品１が引き続いて搬
送され得る。
【００３９】特定の輸送物品１がその宛先に到達する
と、すなわち処理装置４に到着すると直ちに、この輸送
物品１が制御装置に報知され、また、処理が行われた後
に、この輸送物品１が再び制御装置に報知され、その際
に同時に第２のアドレスが新しい第１のアドレスとして
輸送物品１の情報担体５のなかに書込まれ、それにより
新しい宛先が目指され得る。
【００４０】情報担体５のなかへの第２のアドレスの書
込みは、既に第１のアドレスの記憶と一緒に、保管装置
４ａからの輸送物品１の取り出しの際に行われてもよい
し、処理装置４による、または例のリフトにおける処理
の後の再報知の際に行われてもよい。
【００４１】以下に、宛先アドレスリストに追加して分
岐装置３のなかに記憶され得る前記のリストを説明す
る：
【００４２】探索リスト：制御装置は各分岐装置３に探
索リストを伝達し得る。この探索リストを用いて各分岐
装置３は通過する輸送物品１をチェックし、また、特定
の輸送物品１が特定の分岐装置３に位置決めされている
場合には、この位置を制御装置に報知する。そのために
各輸送物品１は情報担体５のなかに一義的な番号を与え
られる。分岐装置３が読出し装置により輸送物品１の情
報担体５を読出し終わり、また探索リストとの比較によ
り、この輸送物品１の位置を制御装置に報知すべきであ
ることを確認し終わると直ちに、この輸送物品１の現在
の位置がネットワーク接続を経て制御装置に報知され
る。
【００４３】火災警報リスト：製造範囲のなかで火災警
報が発せられ、また防火扉が閉じられる場合には、制御
装置からの信号もしくは防火扉からの直接的な信号に関
係して、防火扉の直前に配置されている分岐装置のなか
の特別な火災警報リストが能動化され得る。後者の場合
には制御装置の故障の際にも火災警報の際の確実な反応
が可能である。火災警報リストを用いて分岐装置３は輸
送物品１を迂回させ、または適当に先へ送り得る。
【００４４】シャットダウンリスト：各分岐装置３のな
かに輸送システムの運び降ろし後の走行の場合に対する
宛先リストが記憶されている。計画された運び降ろし後
の走行が行われる場合には、これらのシャットダウンリ
ストが制御装置を介して能動化される。これらのシャッ
トダウンリストは輸送システムのなかの場所的に限られ
たシャットダウン（運び降ろし後の走行または不能動
化）を許す。たとえば（図面中の左上の）製造範囲Ａが
たとえば待機目的、拡張などのために停止されるべきで
あれば、その前に位置している分岐装置３が相応に報知
または能動化されなければならず、また製造範囲Ａのな
かに位置している分岐装置３が、そこに位置している輸
送物品１をコントロールして動かすため、そのシャット
ダウンリストを能動化しなければならない。これらのシ
ャットダウンリストは、システムが非集中的に（すなわ
ち各分岐装置３のなかで）またいつでも、保管装置４ａ
の充満度に関係して常に更新され、したがって製造範囲
のなかの保管容量がシャットダウンの場合にそこに存在
している保管装置４ａのなかのすべての輸送物品１を格
納するために十分であるかどうかについて報知されてい
るように、る。製造範囲Ａのなかの保管容量が十分でな
い場合には、シャットダウンリストの相応の更新により
製造範囲Ａのなかに位置している輸送物品１の一部分が
製造範囲Ａから運び出され得る。シャットダウンおよび
それに続く始動の後に、製造範囲のなかで搬送装置２の
上に位置している輸送物品１は、すぐ次の分岐装置３に
おいて自動的な転送が行われるので新たに同定される必
要なしに、引き続いて輸送され得る。
【００４５】製造範囲のなかで電源が喪失または中断し
た場合には、輸送物品１は搬送装置２の上にとどまる。
分岐装置３のなかの宛先リストおよび情報担体５のなか
のアドレスは（たとえばＥＥＰＲＯＭのなかに）不揮発
性に記憶されているので、電源の復旧後に輸送物品１
は、上位の制御装置による干渉なしに、再び引き続いて
輸送され得る。
【００４６】上位の制御装置の故障の際には、すべての
進行中の輸送ジョブは完遂され得る。なぜならば、相応
の制御情報が非集中的に分岐装置３および輸送物品１の
情報担体５のなかに記憶されているからである。保管装
置４ａにおいて課せられる新しい輸送ジョブは上位の制
御装置の故障の際にむろん監視なしで開始され得る。
【００４７】全輸送システムを監視かつ最適化するた
め、保管装置４ａから輸送物品１を取り出す際に相応の
信号が上位の制御装置に伝達され、この信号を受けた後
に制御装置がタイマーを始動させること、すなわちこの
輸送物品１が予め定められた時間スパン内でその宛先に
到着しているかどうかを確認する時間が測定されるよう
にすることが可能である。この時間スパンが過度に長い
ならば、制御装置がこの輸送物品１（またはその番号）
を誤りリストの上に置く。
【００４８】保管装置からの取り出しと宛先への到着と
の間の過度に長い時間スパンの原因はさまざまであり得
るので、たとえば情報担体５に部分的に誤りがある場合
には分岐装置３における正しい分岐がもはや可能でなく
なり、従って所属の輸送物品１が連続的に分岐装置３の
（最初に述べたような）優先方向において循環する。こ
のような誤りがある情報担体５は、たとえば宛先アドレ
スの読出しを妨げ、従って分岐装置３は優先方向に回転
する。このような連続的に循環して輸送される輸送物品
１は誤りリストにより同定され、最終的に手動で輸送シ
ステムから除去され、または標準誤り宛先へ運ばれ得
る。保管装置からの取り出しと宛先への到着との間の時
間スパンが過度に長い他の場合は、たとえば分岐装置３
の読出し装置が故障しているときに生じ得る。その場合
にはやはり分岐装置３が優先方向に切換えられているの
で、優先方向ではない特定の方向への正しい輸送はもは
や可能でない。輸送物品１はその場合にやはり、相応の
分岐装置３の読出し装置が再び機能するまで、もしくは
輸送物品１がやはり手動で除去され、または標準誤り宛
先へ運ばれるまで、循環する。
【００４９】輸送物品１が製造範囲（図面中ではたとえ
ば“Ａ”）の処理装置４における最後の処理を通過し終
わり、前記のように再び輸送‐循環路に戻され、またシ
ステムにおいて報知された後に、この輸送物品１はすぐ
次の宛先へ搬送される。この新しい宛先は、本発明によ
る実施例と合致して、別の製造範囲（ベイ）であり、従
って前記の第２のアドレスは製造範囲の名前（たとえば
“Ｂ”）である。
【００５０】こうして別の製造範囲Ｂへ搬送された輸送
物品１がこの製造範囲Ｂの第１の保管装置４ａに到達す
ると、この輸送物品１はこの第１の保管装置４ａのなか
に、そのなかに保管場所が存在しているかぎり、保管さ
れる。この第１の保管装置４ａのなかに保管場所が存在
していないならば、輸送物品１はこの製造範囲Ｂのすぐ
次の保管装置４ａへ輸送され、そこに保管場所が存在し
ているかぎり保管される。同じ仕方で、すべての保管装
置４ａが占められている場合には、輸送物品１が再びこ
の製造範囲Ｂの最初の保管装置４ａに到着するまで、こ
の製造範囲Ｂのすべての保管装置４ａが目指される。こ
の際にもタイマーを介して、キャリア装置１が特定の時
間スパンの超過の後に誤りリストの上に置かれることが
保証されている。別の実施例では、より長い循環が望ま
れていないならば、搬送装置のなかに位置している最後
の保管装置４ａが自動的に、輸送物品１の情報担体５の
なかに記憶されている宛先をすぐ次の製造範囲により重
ね書きする。
【００５１】その際に保管装置４ａからの取り出しおよ
びそれへの保管は下記のように進行する：保管装置４ａ
からの輸送物品１の取り出しの際に、走っている輸送物
品１との衝突を避けるため、付属の搬送装置２が短時間
停止される。保管装置４ａへの輸送物品１の保管の際に
はこの輸送物品１は、保管場所が空いていることを保管
装置４ａが信号しているならば、搬送装置２の上に短時
間停止される。そのために保管装置４ａの前に情報担体
５に対する読出し装置および書込み装置が設けられてい
る。有利な仕方で、製造範囲のすべての保管装置４ａが
占められているときには、キャリア装置１の情報担体５
が新たに書込まれ、これらのキャリア装置１が他の製造
範囲へ送られ、その際にこの指令は上位の制御装置また
は輸送方向に最後に位置している保管装置４ａにより与
えられる。
【００５２】このような取り出し‐および保管技術の利
点は、タイマーがそれに応じて設定されているならば、
輸送物品１がそれぞれの製造範囲のなかで何回も巡回す
ることができ、また後の巡回の際にも保管装置４ａのな
かの場所を見い出すことができることである。これによ
り保管装置４ａの非常に良好な負担軽減および搬送装置
２の高められた輸送キャパシタンスが保証される。
【００５３】輸送システムおよびその制御装置の堅牢性
は、輸送物品１に設けられている情報担体５と相応の読
出し装置を備えている分岐装置３とを用いて、輸送物品
１の輸送を非集中的に制御することから生ずる。輸送物
品１の宛先アドレスが記憶されていれば直ちに、上位の
制御装置による介入なしに、それぞれの宛先を自動的に
目指すことが可能である。こうして、従来の技術により
これまでに実現されたシステムにくらべて明らかな利点
を有する最下位のレベルの制御が実現されている。これ
らの利点は引き続いて以下にまとめて示される。
【００５４】上位の制御装置の課題は下記のように定義
され得る：保管装置４ａに輸送ジョブを与えること；処
理装置４ごとに輸送ジョブを数えること；分岐装置３の
探索リストを構成すること；タイマーを監視し、誤りリ
ストを導くこと；誤りの場合に宛先リストを再構成かつ
／または能動化すること；防火扉と通信すること；分岐
装置３および処理装置４（リフト）のなかの制御論理を
遠隔構成すること；より高い制御システムと通信するこ
と。
【００５５】輸送物品１が個々の輸送物品１の行程の相
違に無関係に個々の処理装置４に正しい順序で到着する
ことを保証するため、各処理装置４に対してカウンタが
設けられており、それぞれ“１”だけ高められる。この
数は輸送ジョブと一緒に保管装置４ａに伝達され、また
最初の宛先アドレスと共通に輸送物品１の情報担体５の
なかに書込まれる。この輸送物品１が宛先に到達する
と、そこに設けられている読出し装置により情報担体５
が読出され、また輸送ジョブの番号／数が確認され；こ
の番号が最後に処理された輸送物品１の番号と比較され
る。新しい番号が古い番号よりも“１”だけ大きいなら
ば、輸送物品１の順序は正常であり、また処理が行われ
得る。しかし古い番号と新しい番号との間の差が“１”
よりも大きいならば、この輸送物品１は待ちループのな
かに送られ、処理装置４は正しい輸送物品１を待つ。輸
送ジョブの番号のこの比較により、保管装置４ａにおけ
る輸送ジョブが、処理装置４における順序が守られてい
るかどうかを顧慮することなしに、開始され得る。なぜ
ならば、処理装置４が自動的に正しい順序の遵守に配慮
し、また過度に早く到来する輸送物品１を待ちループの
なかに送るからである。この制御により配達時間が短縮
される。輸送物品１の処理の順序に意義がないならば、
この輸送物品１には数０（ヌル）が割り当てられ、それ
により処理装置４はこの輸送物品１が任意の順序で処理
され得ることを認識し得る。
【００５６】輸送物品１（すなわち順序のなかですぐ次
の輸送物品）が欠けている場合に処理装置４が適切な通
し番号を有する輸送物品を待ち続けて、この処理装置４
がブロックされるのを防ぐため、予め定められた時間ス
パンの経過後にこの処理装置４または付属の分岐装置３
のカウントが新たに初期化される。
【００５７】本発明による輸送システムまたはそれを制
御するための方法の利点は下記のとおりである。
【００５８】分岐装置３の読出し装置の故障の際または
輸送物品１の情報担体５の欠陥の際に、輸送物品１が失
われずに、輸送システムのなかを優先方向に、読出し装
置が機能を回復するまで、または輸送物品１が手作業で
搬送装置２から取り出され、または標準誤り宛先に動か
されるまで循環する。残りのシステムは被害を受けるこ
となく引き続いて動作する。
【００５９】遮断後または電源喪失後のシステムの始動
の際には、輸送のために必要なデータが輸送物品１の不
揮発性の情報担体５のなかに記憶されているので、問題
が生じない。
【００６０】輸送システムの構成の変更（拡張、個々の
処理装置４または全製造範囲Ａ、Ｂの除去、追加的な分
岐装置３の組み入れ）がいつでも可能である。
【００６１】火災警報の場合に、防火扉の閉鎖により輸
送問題が生じ得ないように、簡単な解決策が講じられて
いる。
【００６２】上位の制御装置の故障またはネットワーク
接続の障害が生じた場合に、進行中の輸送ジョブが阻害
されず、キャリア装置１を処理装置４から保管装置４ａ
の方向へ、および保管装置４ａから処理装置４へ送るこ
とが（たとい監視なしでも）引き続いて可能である。
【００６３】輸送システムの場所的に局限された遮断
（シャットダウン）が可能である。
【００６４】もし処理装置４が故障した場合には、宛先
アドレスリストの変更により迅速かつ簡単な反応が可能
である。
【００６５】輸送過程の制御が上位のロジスティックか
ら分離されている。
【００６６】保管装置４ａと処理装置４との間の輸送物
品１の運動の制御が非集中的にかつ上位の制御装置に無
関係に行われる。
【００６７】輸送システムのなかに生ずるデータおよび
そのなかで伝送すべきデータが最小限に減ぜられる。
【００６８】正常な場合には（出発‐）保管装置４ａに
おけるジョブと後続の保管装置４ａにおける輸送物品１
の再到来との間の輸送は、上位の制御装置の干渉なしに
進行する。
【００６９】輸送システムはいつでも、また建物を越え
ても拡張可能である。
【００７０】タイマーを介して輸送時間の把握が可能で
ある。
【００７１】処理装置あたりの同時に可能な輸送ジョブ
の数（順序の可能な通し番号の数）の設定により、搬送
装置の負担または負担軽減の簡単なコントロールが可能
である。
【００７２】代替的な経路選定が可能である。
【００７３】処理装置４における輸送物品１の配達の正
しい順序が、経過した行程に無関係に保証されている。
【００７４】搬送装置２は、制御に負担をかけずに、一
時的な保管装置として利用され得る。
【００７５】個々の分岐装置３を制御するためのプログ
ラムは、輸送システムの小さい見渡しやすい部分集合に
のみ関係するので、これらの開発および保守が簡単であ
る。
【００７６】実施例ではウェーハの輸送のために使用さ
れた本発明による輸送システムは、多数の輸送物品（例
ではウェーハを収容するキャリア装置）と、輸送物品を
輸送する多数の搬送装置と、輸送物品を相い異なる搬送
方向に分岐させる多数の分岐装置と、輸送物品（例では
ウェーハ）を処理する多数の処理装置と、輸送物品を一
時的に保管する多数の保管装置とを含んでおり、その際
に各輸送物品は情報担体を有し、そのなかに少なくとも
１つの第１の宛先アドレスが記憶されており、それによ
り輸送物品がこの宛先アドレスに相応する特定の処理装
置へ輸送可能であり、この第１の宛先アドレスが輸送シ
ステムの各入口および出口（例ではリフト）において処
理装置において読出され、また入口または出口における
処理の後に第２の宛先アドレスが書込まれ、また各分岐
装置が内部の宛先アドレスリストを用いて、各分岐装置
において各輸送物品の情報担体が読出されることによっ
て、分岐方向を決定する。輸送システムの制御の主要な
部分、すなわち輸送物品の輸送追跡はその際に非集中的
に、かつ最下位のレベルで行われ、それによってシステ
ムが一層堅牢に構成されている。
【００７７】要約すると、本発明により、キャリア装置
１の純粋な輸送追跡が最下位の制御レベルに移されこと
が提案され、それによりシステムが生起する誤りに対し
て一層堅牢に構成されている。上位の制御装置は負担軽
減され、またこの制御装置の故障の際にその下位に配置
されている制御範囲が自動的に引き続いて動作し、進行
中の輸送ジョブを遂行し、完了させ得る。
【図面の簡単な説明】
【図１】輸送システムの構成の一部分の概要を示す図。
【符号の説明】
１ 輸送物品 ２ 搬送装置 ３ 分岐装置 ４ 処理装置 ４ａ 保管装置 ５ 情報担体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 イエルク レクリース ドイツ連邦共和国 09397 ノイヴュルシ ュニッツ ヴュルシュニッツアウエ 22 (72)発明者 ファルク オトリッヒ ドイツ連邦共和国 01099 ドレスデン プリースニッツアウエ ６ (72)発明者 アンドレ ウェルツク ドイツ連邦共和国 01237 ドレスデン シルフヴェーク ７

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 輸送システムにおいて、 多数の輸送物品（１）と、 輸送物品（１）を輸送する多数の搬送装置（２）と、 輸送物品（１）を相い異なる搬送装置（２）に分岐させ
    る多数の分岐装置（３）と、 輸送物品が処理される処理装置（４）における多数の入
    口または出口と、 輸送物品が一時保管される（１）多数の保管装置（４
    ａ）とを有し、その際に各輸送物品（１）が情報担体
    （５）を有し、そのなかに少なくとも１つの第１の宛先
    アドレスが記憶されており、それにより輸送物品がこの
    宛先アドレスに相応する特定の処理装置（４）へ輸送可
    能であり、 この第１の宛先アドレスが処理装置（４）における各入
    口または出口において読まれ、処理の後に第２の宛先ア
    ドレスが書かれ、 各分岐装置（３）において各輸送物品（１）の情報担体
    （５）が読出されることによって、各分岐装置（３）が
    内部の宛先アドレスリストを用いて分岐方向を決定する
    ことを特徴とする輸送システム。
  2. 【請求項２】 第２の宛先アドレスが製造範囲（Ｂ）に
    相応し、輸送物品（１）が第１の宛先アドレスにおける
    処理の後にこの製造範囲（Ｂ）の第１の保管装置（４
    ａ）へ輸送されることを特徴とする請求項１記載の輸送
    システム。
  3. 【請求項３】 この製造範囲（Ｂ）の第１の保管装置
    （４ａ）が占められているとき、空いている保管場所が
    到達されるまで、輸送物品（１）が順次にこの製造範囲
    （Ｂ）のすべての他の保管装置（４ａ）へ向けられるこ
    とを特徴とする請求項２記載の輸送システム。
  4. 【請求項４】 すべての保管装置（４ａ）が占められて
    いる場合には、輸送物品（１）がこの製造範囲（Ｂ）の
    なかで循環して輸送されることを特徴とする請求項３記
    載の輸送システム。
  5. 【請求項５】 各分岐装置（３）のなかの宛先アドレス
    リストが固有に構成されており、この分岐装置（３）を
    経て到達可能なすべての宛先を含んでいることを特徴と
    する請求項１ないし４の１つに記載の輸送システム。
  6. 【請求項６】 宛先アドレスリストが、分岐装置（３）
    の優先方向で到達すべきでない宛先のみを含んでいるこ
    とを特徴とする請求項１ないし４の１つに記載の輸送シ
    ステム。
  7. 【請求項７】 輸送経路を最適化するために分岐方向が
    決定されるとき、各分岐装置（３）が追加的に隣の分岐
    装置（３）のアクティビティを考慮に入れることを特徴
    とする請求項１ないし６の１つに記載の輸送システム。
  8. 【請求項８】 情報担体（５）の内容が不揮発性である
    ことを特徴とする請求項１ないし７の１つに記載の輸送
    システム。
  9. 【請求項９】 各分岐装置（３）が、情報担体（５）を
    読出すための読出し装置を有することを特徴とする請求
    項１ないし８の１つに記載の輸送システム。
  10. 【請求項１０】 処理装置（４）における各入口または
    出口が、情報担体（５）に対する読出し装置および書込
    み装置を有することを特徴とする請求項１ないし９の１
    つに記載の輸送システム。
  11. 【請求項１１】 各分岐装置（３）が、火災警報のよう
    な例外的状況で輸送システムの停止および輸送システム
    の部分停止を能動化可能である追加的なアドレスリスト
    を含んでいることを特徴とする請求項１ないし１０の１
    つに記載の輸送システム。
  12. 【請求項１２】 宛先アドレスリストおよび追加的なア
    ドレスリストが、輸送システムの構成の変更を連続的に
    把握するために、連続的に更新されることを特徴とする
    請求項１ないし１１の１つに記載の輸送システム。
  13. 【請求項１３】 輸送ジョブが保管装置（４ａ）からの
    輸送物品（１）の取り出しにより開始され、この輸送物
    品（１）の情報担体（５）が宛先アドレスを書かれ、こ
    の輸送物品（１）が搬送装置（２）により輸送され、分
    岐装置（３）により第１の宛先アドレスへの方向に分岐
    され、その際に第１の宛先アドレスに相応する処理装置
    （４）に到達した後に処理が実行され、その後に輸送物
    品（１）が、引き続いて輸送されるようにするため、第
    ２の宛先アドレスを付けられることを特徴とする請求項
    １ないし１２の１つに記載の輸送システム。
  14. 【請求項１４】 保管装置からの取り出しと処理との間
    の時間が予め定められた時間よりも長い場合には、この
    輸送物品（１）が誤りリストの上に置かれることを特徴
    とする請求項１３記載の輸送システム。
  15. 【請求項１５】 各輸送物品（１）に、同じく情報担体
    （５）のなかに記憶されている一義的な番号が割り当て
    られており、この番号が誤りリストのなかに記入される
    ことを特徴とする請求項１４記載の輸送システム。
  16. 【請求項１６】 輸送システムを制御するための方法に
    おいて、 保管装置（４ａ）から輸送物品（１）を取り出す過程
    と、 輸送物品（１）の情報担体（５）のなかに少なくとも１
    つの第１の宛先アドレスを書込む過程と、 多数の搬送装置（２）により輸送物品（１）を輸送する
    過程とを含んでおり、その際に輸送物品（１）を相い異
    なる搬送装置（２）へ分岐させるため、多数の分岐装置
    （３）が搬送装置（２）の間に設けられており、 各分岐装置（３）において輸送物品（１）の情報担体
    （５）から宛先アドレスを読出す過程と、 読出された宛先アドレスを分岐装置（３）のなかで内部
    の宛先アドレスリストと比較する過程と、 この比較の結果に関係して、輸送物品（１）が第１の宛
    先アドレスの方向に分岐されるように、分岐装置（３）
    の分岐方向を設定する過程と、 宛先アドレスに相応する処理装置（４）が到達されるま
    で、輸送／読出し／比較／設定の過程を繰り返す過程
    と、 輸送物品（１）を処理する過程と、 輸送物品（１）をすぐ次の製造範囲へ引き続いて輸送す
    るため、第２の宛先アドレスを情報担体（５）のなかに
    書込み、かつ（または）それから読出す過程とを含んで
    いる輸送システムの制御方法。
  17. 【請求項１７】 内部の宛先アドレスリストがこの分岐
    装置（３）を経て到達可能なすべての宛先を含んでいる
    ことを特徴とする請求項１６記載の方法。
  18. 【請求項１８】 第２の宛先アドレスが保管装置からの
    取り出しの際に第１の宛先アドレスと一緒に情報担体
    （５）のなかに書込まれ、処理の後に第１の宛先アドレ
    スが第２の宛先アドレスにより置換ないし重ね書きされ
    ることを特徴とする請求項１６または１７記載の方法。
  19. 【請求項１９】 分岐装置（３）が内部の宛先アドレス
    リストにより、上位の制御装置に無関係に、分岐方向を
    求めることを特徴とする請求項１６ないし１８の１つに
    記載の方法。
  20. 【請求項２０】 輸送システムの構成が変更されたとき
    に、上位の制御装置が分岐装置（３）のなかの宛先アド
    レスリストの更新を実行することを特徴とする請求項１
    ９記載の方法。
  21. 【請求項２１】 宛先アドレスリストに追加して、火災
    または輸送システムの（部分‐）停止のような例外的な
    場合に能動化可能である別のアドレスリストが分岐装置
    （３）のなかに格納されていることを特徴とする請求項
    １６ないし２０の１つに記載の方法。
  22. 【請求項２２】 最初に予定された製造範囲のなかに保
    管場所が見い出されなかった場合に、特定の製造範囲内
    で利用可能な最後の保管装置（４ａ）の到達の後に、輸
    送物品（１）の情報担体（５）のなかの宛先情報が保管
    装置によりすぐ次の製造範囲により重ね書きされること
    を特徴とする請求項１６ないし２１の１つに記載の方
    法。
JP10211421A 1997-07-28 1998-07-27 輸送システムおよびその制御方法 Abandoned JPH11116015A (ja)

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