JP2006272207A - 塗布装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板上に塗布液を精度よく塗布する。
【解決手段】塗布装置のヘッド部は、基板の上面に塗布液を吐出するライン状の吐出口を有するノズル部32、ノズル部32の長手方向に沿う複数の部位にそれぞれ配置される複数の圧電素子351、および、基板の上面の高さ情報を取得する検出ユニットを有する。ヘッド部および検出ユニットは吐出口から塗布液を吐出しつつ基板に対して主走査方向へと移動する。塗布途上において、検出ユニットからの出力に基づいて各圧電素子351がノズル部32の対応する部位に対して基板の上面に垂直な方向に力を作用させることにより、基板9の上面の形状に合わせてノズル部32が撓む。これにより、塗布装置では基板の上面と吐出口との間の間隔のばらつきを低減して、基板上に塗布液を精度よく塗布することができる。
【選択図】図6
【解決手段】塗布装置のヘッド部は、基板の上面に塗布液を吐出するライン状の吐出口を有するノズル部32、ノズル部32の長手方向に沿う複数の部位にそれぞれ配置される複数の圧電素子351、および、基板の上面の高さ情報を取得する検出ユニットを有する。ヘッド部および検出ユニットは吐出口から塗布液を吐出しつつ基板に対して主走査方向へと移動する。塗布途上において、検出ユニットからの出力に基づいて各圧電素子351がノズル部32の対応する部位に対して基板の上面に垂直な方向に力を作用させることにより、基板9の上面の形状に合わせてノズル部32が撓む。これにより、塗布装置では基板の上面と吐出口との間の間隔のばらつきを低減して、基板上に塗布液を精度よく塗布することができる。
【選択図】図6
Description
本発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置に関する。
従来より、液晶表示装置製造用のガラスの基板上に所定の塗布液を塗布する塗布装置が利用されている。塗布装置では、例えば、水平な面を有するステージである定盤上に基板を吸着保持し、基板の主面に沿う方向に伸びる細長い吐出口が形成されたスリットノズルを、吐出口から塗布液を吐出しつつ基板の主面に沿って移動させることにより基板上への塗布液の塗布(いわゆる、コーティング)が行われる。特許文献1では、このような塗布装置において、それぞれがスリットノズルの基板とは反対側の面に当接するとともにスリットノズルが伸びる方向に沿って配置される複数のねじを用いてスリットノズルを撓ませることにより、スリットノズルの基板側の面の平面度を補正する技術が開示されている。
なお、特許文献2では、スリットノズルから現像液を吐出する基板現像装置において、基板上に形成されたレジスト膜の種類に応じてスリットノズルが位置すべき高さを記憶部にて記憶し、基板上への現像液の付与に際して、基板上のレジスト膜の種類に応じてスリットノズルの高さを自動的に変更し、現像液を吐出しつつスリットノズルを当該高さのままで基板の主面に沿って移動することにより現像を行う技術が開示されている。また、特許文献3では、回転する半導体の基板上にレジスト液を滴下してレジスト膜を形成した後に、レジスト膜の表面に存在するパーティクルの分布状態を取得することにより、次の基板へのレジスト膜の形成時に対策を講じる手法が開示されている。さらに、特許文献4では、回転する半導体の基板に向けて洗浄水噴射ノズルから洗浄水を噴出して基板を洗浄しつつ、基板の半径方向に伸びるライン状のレーザ光を基板に照射して基板からの散乱光を検出することにより、基板を洗浄しつつ基板上のパーティクルを検出する技術が開示されている。
特開2004−14607号公報
特開平11−76918号公報
特開2000−218218号公報
特開2001−93873号公報
ところで、塗布装置において処理対象であるガラスの基板の清浄度等によっては、基板と定盤との間にパーティクルが介在したり、基板上にパーティクルが存在することにより、スリットノズルが基板やパーティクルに接触してスリットノズルが損傷することがある。この場合、基板上への塗布液の塗布を適切に行うことができなくなるとともに、スリットノズルの補修(または、スリットノズルの交換)に要するコストも発生してしまう。
一方で、基板上にパターンを精度よく形成するには、基板上に塗布液を均一な厚さにて塗布する必要がある。塗布液の均一な塗布を実現するには、スリットノズルを基板に近接させてスリットノズルの吐出口と基板との間を微小な間隔にて一定にすることが重要であるが、一般的なガラス基板では厚さのばらつき(基板間または基板内におけるばらつき)が数十マイクロメートル(μm)となっており、スリットノズルの吐出口と基板との間を一定の微小距離に高精度に保つことは困難である。なお、スリットノズルを基板に近接させるほどスリットノズルが基板に接触してしまう可能性が高くなる。
また、通常、基板上に存在するパーティクルの面積や分布等によって基板が良品であるか否かが判定されるため、基板上への塗布液の塗布前または後に、基板上のパーティクルを検出する検査が検査装置を利用して別途行われており、その際、塗布装置と検査装置との間で基板が搬送される。しかしながら、ガラスの基板は搬送途上において欠け等が生じ易いため、基板の搬送回数を減少させることが望ましい。
本発明は上記課題に鑑みなされたものであり、基板上への塗布液の塗布を適切に行うことを目的とし、基板上に塗布液を塗布しつつ基板上のパーティクルを検出することも目的としている。
請求項1に記載の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、基板を保持するステージと、前記ステージに保持される基板の主面に近接するとともに前記主面に沿う第1の方向に伸びるライン状の吐出口を有し、前記吐出口から前記主面に向けて所定の塗布液を吐出するノズル部と、前記吐出口に対向する前記主面上の吐出位置から前記第1の方向に垂直かつ前記主面に沿う第2の方向に所定の距離だけ離れた前記主面上の領域であって、前記吐出口に平行なライン状の被検出領域における前記ステージに対する表面高さの最大値を少なくとも含む高さ情報を取得する高さ検出部と、前記被検出領域を前記吐出位置よりも先行させて前記ノズル部および前記高さ検出部を前記第2の方向に前記ステージに対して相対的に移動する移動機構と、前記吐出口と前記ステージとの間の間隔を変更する間隔変更機構と、前記ノズル部および前記高さ検出部の前記ステージに対する相対移動に伴って前記吐出口から塗布液を吐出させつつ、前記高さ検出部からの高さ情報に基づいて前記間隔変更機構を制御する制御部とを備える。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の塗布装置であって、前記高さ検出部が、前記主面上の前記被検出領域に照射された光の反射光を受光することにより前記被検出領域における前記高さ情報を取得する。
請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の塗布装置であって、前記高さ検出部が、前記被検出領域上にて光のスポットを前記第1の方向に走査させることにより、前記第1の方向に関する前記被検出領域内の各位置における表面高さを順次取得する。
請求項4に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、前記制御部が、塗布途上において前記高さ検出部により取得される前記被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上である場合に、前記移動機構の停止、または、前記間隔変更機構による前記ノズル部と前記ステージに保持された基板との離間により、前記ノズル部の前記基板への接触を回避する。
請求項5に記載の発明は、請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、前記被検出領域に付着するパーティクルを検出するパーティクル検出部をさらに備え、前記制御部が、塗布途上において前記パーティクル検出部によりパーティクルが検出され、かつ、前記高さ検出部にて取得される前記被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上である場合に、前記移動機構の停止、または、前記間隔変更機構による前記ノズル部と前記ステージに保持された基板との離間により、前記ノズル部の当該パーティクルへの接触を回避する。
請求項6に記載の発明は、請求項5に記載の塗布装置であって、前記パーティクル検出部が、前記被検出領域に照射された光の散乱光を検出することによりパーティクルを検出する。
請求項7に記載の発明は、請求項1ないし6のいずれかに記載の塗布装置であって、前記間隔変更機構が、前記ノズル部の前記第1の方向に沿う3カ所以上の部位に前記主面に垂直な方向に力を作用させることにより、前記ノズル部を撓ませるノズル変形機構を有し、前記高さ検出部が、前記第1の方向に関する前記被検出領域内の各位置における表面高さを取得し、前記制御部が、前記高さ検出部からの出力に基づいて前記ノズル変形機構を制御する。
請求項8に記載の発明は、基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、基板を保持する保持部と、前記保持部に保持される基板の主面に向けて所定の塗布液を吐出する吐出部と、前記主面に付着するパーティクルを検出するパーティクル検出部と、前記吐出部および前記パーティクル検出部を前記主面に沿う走査方向に前記保持部に対して相対的に移動する移動機構と、塗布途上において前記パーティクル検出部により取得される検出結果を記憶する記憶部とを備える。
請求項1ないし7の発明では、高さ情報に基づいて吐出口とステージとの間の間隔を変更することにより、基板上への塗布液の塗布を適切に行うことができる。
また、請求項2の発明では、非接触式にて容易に高さ情報を取得することができ、請求項3の発明では、被検査領域内の各位置での表面高さを正確に取得することができる。
また、請求項4の発明では、ノズル部が基板に接触してノズル部が損傷することを防止することができ、請求項5の発明では、ノズル部が基板上のパーティクルに接触してノズル部が損傷することを防止することができる。
また、請求項6の発明では、非接触式にて容易にパーティクルを検出することができ、請求項7の発明では、基板の主面と吐出口との間の間隔のばらつきを低減することにより、基板上に塗布液を精度よく塗布することができる。
請求項8の発明では、基板上に塗布液を塗布しつつ基板上のパーティクルを検出することができる。
図1は本発明の一の実施の形態に係る塗布装置1を示す斜視図である。塗布装置1は、液晶表示装置やプラズマ表示装置、有機EL表示装置等のフラットパネル表示装置に用いられるガラス基板上に塗布液を塗布するためのものである。
図1に示すように塗布装置1は本体2および制御部5を備える。制御部5は各種情報を記憶する記憶部51、および、各種情報の表示を行う表示部52を有し、制御部5により本体2の各構成が制御される。本体2は、ガラスの基板9を真空吸着により保持するとともに本体2の各構成の基台となるステージ21を備え、ステージ21の上方(図1中の(+Z)方向)には基板9のステージ21とは反対側の主面である上面に向けて所定の塗布液(例えば、レジスト液)を吐出するとともに、基板9の上面に沿う図1中のY方向に伸びる長尺のヘッド部3が設けられる。ヘッド部3のY方向の各端部はヘッド昇降機構41に接続され、2つのヘッド昇降機構41によりヘッド部3が基板9の主面に垂直なZ方向に移動する。各ヘッド昇降機構41はヘッド移動機構42の移動体側に固定され、2つのヘッド移動機構42によりヘッド部3が基板9の主面に沿う図1中のX方向に移動(主走査)する。以下、ヘッド部3が伸びる方向であるY方向を長手方向とも呼ぶ。
図2は塗布装置1の本体2を示す平面図であり、図3は本体2を示す正面図である。各ヘッド移動機構42は、固定体421および移動体422を有するリニアモータ423(図3参照)、移動体422をX方向に案内するガイドレール424、並びに、移動体422のX方向に関する位置を検出するリニアエンコーダ425を備える。各リニアエンコーダ425により検出される移動体422の位置情報は制御部5(図1参照)に出力され、この情報に基づいて各リニアモータ423が制御されることにより、2つの移動体422がY方向に並んでX方向へと移動する。これにより、各ヘッド昇降機構41を介して移動体422に接続されたヘッド部3が、主走査方向(X方向)に垂直な姿勢にて基板9の上方を主走査する。
図4はヘッド昇降機構41の構成を示す図である。各ヘッド昇降機構41は、モータ411、モータ411に接続されたボールねじ機構412、および、モータ411に接続されたロータリーエンコーダ413を備え、実際には、これらの構成はカバー414にて覆われている。各ボールねじ機構412のナットにはヘッド部3の対応する端部が接続される。各ロータリーエンコーダ413により検出されるモータ411の回転角は制御部5(図1参照)に出力され、この回転角に基づいてこのモータ411が制御されることにより、ヘッド部3の両端部を同じ高さに保ちつつヘッド部3がZ方向に移動(昇降)する。
図3に示すヘッド部3は長手方向(Y方向)に伸びるヘッド支持板31を備え、ヘッド支持板31の下面には長手方向に伸びるライン状の吐出口を基板9に対向して有するノズル部32、並びに、それぞれが基板9の上面に光を照射して基板9の高さ情報を取得する複数の(図3では6個の)検出ユニット33が取り付けられる。図2中に破線にて示すように、複数の検出ユニット33はノズル部32の(+X)側において長手方向に千鳥状に配列される。また、ノズル部32は図示省略の塗布液供給部に接続され、塗布液供給部からノズル部32に塗布液が供給される。
図5はヘッド部3を示す縦断面図であり、図6は図5中の矢印A−Aにて示す位置におけるヘッド部3の断面を示す図である。図5に示すように、ヘッド支持板31の下面において(+X)側の部位には複数の検出ユニット33が固定されており、(−X)側の部位には断面形状が略凹状であって、底部の中央に長手方向(Y方向)に伸びる開口311aが形成されたノズル支持部311が取り付けられる。ノズル部32は、長手方向に伸びるライン状の吐出口321aが下端面に形成されるスリットノズル321を有し、開口311aにはスリットノズル321の上部が挿入される。スリットノズル321の上端面には長手方向に伸びる板状のノズル固定板322が取り付けられる。X方向に関してノズル固定板322の幅は開口311aの幅よりも大きくされ、ノズル固定板322の下面(ヘッド支持板31とは反対側の面)においてスリットノズル321の(+X)側の部位および(−X)側の部位のそれぞれが、ノズル支持部311の底部のヘッド支持板31側を向く面((+Z)側を向く面であり、以下、「対向面」という。)311bに対向する。
ノズル固定板322の下面にはノズル変形機構35が固定され、ノズル変形機構35はノズル固定板322に垂直なZ方向に伸縮可能な複数の圧電素子351を有する。詳細には、図6に示すように、スリットノズル321の(+X)側において複数の(図6では5個の)圧電素子351が長手方向に所定の間隔で配置され、各圧電素子351は上方を向く端面がノズル固定板322に固定され、下方を向く端面が長手方向に伸びる素子支持板352に固定される。スリットノズル321の(−X)側においても、長手方向に関して(+X)側の複数の圧電素子351とそれぞれ同じ位置に複数の圧電素子351が設けられ、複数の圧電素子351は長手方向に伸びる素子支持板352に固定される(図5参照)。各素子支持板352はノズル支持部311の対向面311bと当接する。また、各圧電素子351の真上であって、ノズル固定板322とヘッド支持板31との間にはバネ等の弾性体312が設けられ、弾性体312によりノズル固定板322がノズル支持部311の対向面311b側へと付勢されてノズル部32がノズル変形機構35を介してノズル支持部311に支持される。なお、ノズル部32の重さによっては、弾性体312が省略され、ノズル部32の自重のみによりノズル部32がノズル支持部311に支持されてもよい。
ノズル部32では長手方向のある位置に配置された(+X)側の圧電素子351および(−X)側の圧電素子351(以下、長手方向の同じ位置に配置された2つの圧電素子351を「1対の圧電素子351」ともいう。)が同じ量だけ伸縮することにより、長手方向に関してノズル部32の対応する部位に長手方向に垂直なZ方向の力が作用する。これにより、ノズル部32のこの部位がZ方向に変位し、ノズル部32が撓む。また、ヘッド部3では、スリットノズル321を(+Z)側へと突き上げる方向にスリットノズル321に対して直接的に外力が作用した場合には、素子支持板352がノズル支持部311の対向面311bから離間してスリットノズル321への衝撃が緩和される。
図7は検出ユニット33の内部構成を示す図である。検出ユニット33は、光ビームを出射する光ビーム出射部331(例えば、波長830nmの光ビームを出射する半導体レーザ)を有し、光ビーム出射部331からの光ビームはハーフミラー332および1/4波長板(以下、「1/4λ板」という。)333を介して回転するポリゴンミラー334へと導かれる。ポリゴンミラー334にて反射された光ビームはレンズ群335およびトロイダルレンズ336を介して基板9へと導かれ、基板9の上面に光のスポットが形成される。光のスポットはポリゴンミラー334の回転角に応じて基板9の上面上をY方向(長手方向)に沿って一定の向きに走査する(実際には、光のスポットの走査により光が照射される基板9上の領域のY方向の長さは、検出ユニット33の長手方向の幅(長さ)に近いものとなる。)。
基板9の上面にて正反射した光ビームの反射光はトロイダルレンズ336およびレンズ群335を介してポリゴンミラー334へと導かれる。ポリゴンミラー334にて反射された光は、1/4λ板333を通過した後にハーフミラー332にてレンズ群337側に向けて反射され、レンズ群337を介して4分割センサ338に導かれる。ここで、レンズ群337はシリンドリカルレンズを含み、レンズ群337を通過した光は、光軸に垂直な光束断面がX方向に長い楕円形から次第にY方向に長い楕円形へと変化するようにされ、ヘッド部3がステージ21に対して所定の基準高さに位置する状態において、基板9の上面(ただし、基板9が理想的な厚さであるものとする。)からの反射光が丁度円形となる位置に4分割センサ338が配置される。したがって、4分割センサ338の受光位置における反射光の光束断面の形状から基板9の上面上の光ビームが照射される位置におけるステージ21からの高さが検出可能となる(すなわち、非点収差法による高さ検出が行われる。)。実際には、4分割センサ338は制御部5に接続され、4分割センサ338の各受光領域にて取得される光強度に基づいて制御部5が所定の演算を行うことにより、基板9上の光ビームの照射位置におけるステージ21からの高さが取得される。以下の説明において、検出ユニット33にて検出された値を表面高さと呼ぶ。なお、表面高さの検出は非点収差法以外に光を利用する他の手法を用いて行われてもよい。
また、検出ユニット33はパーティクル検出部34をさらに備える。図8はパーティクル検出部34の構成を示す図である。パーティクル検出部34は基板9の上面近傍に設けられるとともにY方向に長い(検出ユニット33のY方向の長さに近い長さ)1対の楕円ミラー341、および、楕円ミラー341と同様にY方向に伸びるラインセンサ342を有する。ZX平面に平行なある面上において基板9の上面上の光ビームの照射位置は、1対の楕円ミラー341の反射面341aを一部とする楕円(図8中にて二点鎖線にて示す。)の焦点と重なり、この位置における散乱光のうち反射面341aへと入射する光は、この楕円のもう1つの焦点に配置されるラインセンサ342に向けて反射される。ラインセンサ342は制御部5に接続され、ラインセンサ342にて取得される光強度を示す信号は、制御部5へと出力される。
図9は、塗布装置1が基板9上に塗布液を塗布する動作の流れを示す図である。図2の塗布装置1では、まず、外部の搬送機構により搬入される処理対象の基板9がステージ21上に載置されて吸引吸着により保持される。このとき、ヘッド部3は基板9の(−X)側に位置する。続いて、2つのヘッド昇降機構41によりヘッド部3が所定の基準高さに配置され、2つのヘッド移動機構42を駆動することにより、ヘッド部3が(+X)方向へと移動(主走査)を開始する(ステップS11)。これにより、複数の検出ユニット33がノズル部32に対して先行するように移動し、やがて検出ユニット33が基板9の上方へと到達する。
図7の各検出ユニット33では、基板9上における光のスポットがポリゴンミラー334によりY方向に高速に走査しつつヘッド部3の移動に伴って主走査方向にも移動し、各照射位置における正反射光が4分割センサ338に導かれて検出される。このとき、光のスポットのY方向への走査はヘッド部3の主走査に比べて十分に高速であるため、基板9の上面上においてポリゴンミラー334の1つの反射面による1回の走査により連続的に光ビームが照射されるライン状の領域(以下、「被検出領域」という。)は、Y方向にほぼ平行となり、ヘッド部3の移動に伴って被検出領域も主走査方向に移動する。制御部5では、各検出ユニット33に対応する被検出領域内において光ビームが照射される各位置のステージ21に対する表面高さが4分割センサ338からの出力に基づいて求められ、この被検出領域内の各位置における表面高さの集合が高さ情報として取得される(ステップS12)。このように、被検出領域の高さ情報は、実際には、制御部5の演算により最終的に取得されるが、制御部5では形式的な演算が行われるのみであることから、実質的には高さ情報は検出ユニット33(の4分割センサ338)において基板9の上面上の被検出領域に照射された光の反射光を受光することにより取得されるといえる。もちろん、各検出ユニット33に当該演算を行う電気的回路が設けられ、この回路にて基板9の表面高さを求める演算が行われてもよい。
前述のように、実際には、図2のヘッド部3には6個の検出ユニット33がY方向に配列して設けられ、各検出ユニット33において被検出領域のY方向の幅は300ミリメートル(mm)とされる。したがって、基板9上の主走査方向のある位置において、基板9のY方向の長さに相当する1800mmの範囲に亘ってY方向に伸びるライン状の領域内の各位置に対して、いずれかの検出ユニット33により表面高さが取得されることとなる。ただし、複数の検出ユニット33は千鳥状に配列されるため、(+X)側の検出ユニット33の列と(−X)側の検出ユニット33の列とでは基板9上の主走査方向のある位置に対して高さ情報が求められる時刻は異なる(後述するパーティクルの検出において同様。)。
また、基板9の上面上の被検出領域内にパーティクルが存在する場合には、光ビームがパーティクルにより乱反射されて散乱光が図8の楕円ミラー341によりラインセンサ342へと導かれて検出される。これにより、検出ユニット33では被検出領域内の各位置における基板9の上面に付着するパーティクルの有無が検出される(ステップS13)。検出ユニット33における表面高さの取得およびパーティクルの検出は、ヘッド部3の主走査に並行して連続的に行われ、基板9の上面上の各位置における表面高さおよびパーティクルの有無を示す情報が制御部5の記憶部51に順次記憶される。なお、データ処理の能力を考慮して基板9上に形成される光のスポットの外径は約100マイクロメートル(μm)、ポリゴンミラー334の回転速度は毎分15000回転とされる。
スリットノズル321が基板9上の所定の塗布開始位置の上方へと到達すると、基板9の上面に近接する吐出口321aからの塗布液の吐出が開始される。ここで、図5のスリットノズル321の吐出口321aに対向する基板9の上面上の吐出位置と、吐出口321aにほぼ平行な各被検出領域とは、Y方向に垂直かつ基板9の上面に沿う主走査方向に関して、対応する検出ユニット33のヘッド支持板31への取り付け位置に応じた距離だけ離れており、被検出領域は吐出位置に対して先行して主走査方向に移動する。塗布装置1では、基板9上の吐出位置が主走査方向のある位置へと到達した際に、この位置に対して複数の検出ユニット33により先行して取得された基板9の上面のY方向の表面高さの変化に基づいて複数の圧電素子351の駆動が制御され、1対の圧電素子351が取り付けられたノズル部32のY方向(長手方向)の各部位に基板9の上面に垂直なZ方向に力が作用する。すなわち、吐出口321aからの塗布液の吐出に並行して、吐出口321aが形成されるスリットノズル321の下端面を、対向する基板9の上面のY方向に関する表面高さの変化(低周波成分の変化)におよそ倣うように各1対の圧電素子351が伸縮してノズル部32を撓ませる(ステップS14)。これにより、基板9の上面と吐出口321aとの間の間隔が所定の目標間隔に可能な範囲で近づけられる。
塗布装置1では、例えば、Y方向の長さが約2mであるノズル部32に対して、基板9の上面と吐出口321aとの間の目標間隔は80〜100μmとされる。通常、Y方向に関して基板9の上面の形状は1〜2カ所にてノズル部32側に凸または凹となっており、凸部と凹部との表面高さの差も20μm程度である。したがって、各1対の圧電素子351を僅かに伸縮させるのみにより、図6のノズル部32のY方向に沿う5カ所の部位に基板9の上面に垂直な方向に力を作用させ、スリットノズル321の下端面の撓みを最大2カ所で凸または最大2カ所で凹として吐出口321aとステージ21との間の間隔を部分的に変更し、基板9の上面の主走査方向の高さの変化に対しては、全ての圧電素子351を駆動して吐出口321aとステージ21との間の間隔を全体的に変更することにより、スリットノズル321の下端面の撓みを通常の基板9の表面の形状におよそ沿わせることが可能となる。これにより、基板9の上面と吐出口321aとの間の間隔のばらつきが低減され、基板9上に塗布液が均一の厚さにて精度よく塗布される。
また、塗布途上において、例えば、検出ユニット33により取得される被検出領域内のいずれかの位置の表面高さが、圧電素子351の制御を行ってもスリットノズル321が基板9に接触すると想定される高さ以上である場合には(ステップS15)、制御部5が図3のヘッド昇降機構41を駆動することによりヘッド部3が上昇され、ノズル部32とステージ21上の基板9とが離間される(ステップS15a)。このように、塗布装置1では被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上であるとしてエラーが検出された場合に、スリットノズル321の基板9への接触が回避されることにより、スリットノズル321が基板9に接触してスリットノズル321が損傷することが防止される。スリットノズル321の基板9への接触の回避が行われた場合には、表示部52にその旨が表示されて操作者に報告されるとともにヘッド部3の移動が停止される(ステップS17)。
さらに、塗布途上において、ラインセンサ342によりパーティクルが検出され、かつ、4分割センサ338にて取得される被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上であるとしてエラーが検出された場合にも(ステップS15)、制御部5がヘッド昇降機構41を駆動することによりヘッド部3が上昇する(ステップS15a)。例えば、ラインセンサ342により基板9の上面上にパーティクルの存在が検出され、かつ、基板9の厚さが理想的なものであると仮定して被検出領域の表面高さの最大値に基づいて推定されるパーティクルの高さが60μm以上である場合に、ノズル部32とステージ21上の基板9とが離間される。このようにして、スリットノズル321のパーティクルへの接触が回避されることにより、スリットノズル321がパーティクルに接触してスリットノズル321が損傷することが防止される。スリットノズル321のパーティクルへの接触の回避が行われた場合には、表示部52にその旨が表示されて操作者に報告されるとともにヘッド部3の移動が停止される(ステップS17)。
なお、検出ユニット33により基板9上に外径100μmの光のスポットが形成される場合に、大きさが100μm未満(例えば、60μm程度)のパーティクルが基板9上に存在するとしても、4分割センサ338にて当該パーティクルからの反射光がある程度検出される限り、当該パーティクルのおよその高さは検出可能である。
塗布装置1ではヘッド部3の主走査方向への移動を継続しつつ、上記ステップS12〜S14の動作およびステップS15のエラー判定が繰り返し行われ、スリットノズル321が基板9上の塗布停止位置の上方へと到達すると(ステップS16)、吐出口321aからの塗布液の吐出が停止されるとともにヘッド部3の主走査も停止され、塗布装置1による基板9上への塗布液の塗布動作が終了する(ステップS17)。
塗布動作が終了すると、記憶部51にて記憶される基板9の上面上の各位置における表面高さおよびパーティクルの有無を示す情報が表示部52にて表示される。そして、これらの情報から、高さが低く(すなわち、スリットノズル32との接触を回避するほどではない高さであり)かつ面積が大きいパーティクルが存在する、あるいは、高さが低くかつ面積も小さいが多数のパーティクルが存在すると認められる場合に、基板9が不良品と判断され、必要に応じて基板9に対してリワーク工程等が行われる。なお、基板9の上面上の各位置における表面高さおよびパーティクルの有無を示す情報は、基板9の良否の判断以外に基板9に対する後続の処理に利用されてもよい。
以上のように、図1の塗布装置1では、検出ユニット33が被検出領域上にて光のスポットをY方向に走査させることにより、Y方向に関する被検出領域内の各位置における正確な表面高さが順次取得される。そして、検出ユニット33からの出力に基づく制御部5の制御により、ノズル変形機構35が基板9の上面の形状に合わせてノズル部32を適切な形状に撓ませるとともに、ノズル部32の全体をZ方向に移動する。これにより、塗布装置1では基板9の上面と吐出口321aとの間の間隔のばらつきを低減して、基板9上に塗布液を精度よく塗布することができる。また、塗布途上において、検出ユニット33により取得される表面高さの最大値が所定の値以上である場合にヘッド昇降機構41が制御されることにより、ノズル部32の基板9への接触が回避され、さらに、検出ユニット33により所定の高さ以上のパーティクルが検出された場合にも、ノズル部32のパーティクルへの接触が回避される。これにより、ノズル部32が基板9またはパーティクルに接触してノズル部32が損傷することが防止される。
このように、塗布装置1では、制御部5がノズル部32および検出ユニット33の移動に伴って吐出口321aから塗布液を吐出させつつ、検出ユニット33からの高さ情報に基づいてノズル変形機構35を制御して吐出口321aとステージ21との間の間隔を部分的にまたは全体的に微小に変更し、また、ヘッド昇降機構41を制御して吐出口321aとステージ21との間の間隔を大きく変更することにより、基板9上への塗布液の塗布を適切に行うことが実現される。なお、ノズル部32の基板9またはパーティクルへの接触の回避は、ヘッド昇降機構41によるノズル部32の上昇に代えて、制御部5によるヘッド移動機構42の停止により実現することも可能である。
また、図5のヘッド部3では、ノズル支持部311によりノズル部32およびノズル変形機構35が基板9側から離間可能な状態で当接して支持される。これにより、上記のように基板9に近接して設けられるノズル部32を基板9の上面の形状に合わせて柔軟に撓ませて基板9上に塗布される塗布液の厚さのばらつきを低減しつつ、万一、想定しない要因によりノズル部32が基板9やパーティクルに接触した場合であっても、ノズル部32およびノズル変形機構35がノズル支持部311から離間してノズル部32への衝撃が緩和されることにより、ノズル部32の損傷を軽減することができる。
さらに、塗布装置1では、塗布途上においてパーティクル検出部34により取得されるパーティクルの検出結果が記憶部51にて記憶される。ここで、基板への塗布液の塗布前または塗布後に他の検査装置にて基板上のパーティクルの検査を行う場合には、塗布装置と検査装置との間で基板を搬送する必要があるが、ガラス基板では搬送途上において端部等が容易に損傷してしまうため、基板の搬送回数を減少させることが望ましい。これに対し、塗布装置1では基板9上に塗布液を塗布しつつ基板9上のパーティクルが検出されるため、他の検査装置における基板9上のパーティクルの検査を省略してフラットパネル表示装置の製造に係る処理の簡略化を図りつつ、基板9の搬送回数を減少させることができる。
以上、本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、様々な変形が可能である。
上記実施の形態では、各検出ユニット33によりY方向に関する被検出領域内の各位置における表面高さの集合が高さ情報として取得されるが、ノズル部32の基板9またはパーティクルへの接触を回避するという観点では、高さ情報は被検出領域内の実際の表面の高さの最大値を少なくとも含むものであればよい。
基板9上の被検出領域の高さ情報の取得、または、パーティクルの検出は光を利用しない他の手法により実現されてもよいが、検出ユニット33では、被検出領域に照射された光の反射光を受光することにより被検出領域の高さ情報が非接触式にて容易に取得され、被検出領域に照射された光の散乱光を検出することによりパーティクルが非接触式にて容易に検出される。
また、パーティクル検出部34はラインセンサ342を有する上記構成以外であってもよい。図10は他の例に係るパーティクル検出部34aを示す図であり、図11はパーティクル検出部34aの伝達部材343およびピンフォトダイオード342aを示す図である。パーティクル検出部34aでは、図10に示す1対の楕円ミラー341の反射面を一部とする楕円形(図10中にて二点鎖線にて示す。)の基板9とは反対側の焦点に、図10および図11に示すように内周面が円錐形状の鏡面であり、円錐の底面に相当する部位に円形の開口343aが形成される伝達部材343が配置され、開口343aの近傍にはピンフォトダイオード342aが設けられる。伝達部材343は、Y方向に向かって伸びるスリット状の開口343bも有し、楕円ミラー341により集光された散乱光は開口343bを介して伝達部材343の内部へと入射し、円錐形状の鏡面により円形の開口343a側へと導かれて、ピンフォトダイオード342aにて受光される。これにより、図10のパーティクル検出部34aではラインセンサ342を利用することなくパーティクルを検出することができる。
上記実施の形態において、基板9の上面の主走査方向の高さの変化に対して吐出口321aとステージ21との間の間隔を全体的に微小に変更させる際に、ノズル変形機構35に代えてヘッド昇降機構41を駆動させてもよい。塗布装置1において、吐出口321aとステージ21との間の間隔を変更する間隔変更機構としての機能は、ノズル変形機構35およびヘッド昇降機構41により実現される。
上記実施の形態では、複数の圧電素子351を駆動することにより、ノズル部32の長手方向に沿う5カ所の部位に対して基板9の上面に垂直なZ方向に力が作用するが、ノズル部32の撓みを基板9の上面の形状にある程度沿わせるという観点では、力の作用を受けるノズル部32の部位は3カ所以上であれば足り、ノズル部32の撓みをより精度よく基板9の上面の形状に沿わせるには、ノズル部32の長手方向に沿う5カ所以上の部位に対してZ方向に力を作用させることが好ましい。
また、ノズル部32を変形させるノズル変形機構35として圧電素子351以外に、例えば、モータや圧縮空気を用いるものを利用することも可能であるが、ノズル変形機構35の構成を簡素化するには圧電素子を利用することが好ましい。この場合に、必ずしもノズル部32の力の作用を受ける全ての部位を圧電素子にてZ方向に強制的に変位させて力を作用させる必要はなく、例えば、3カ所の部位のうち中央にのみ圧電素子が設けられるとともに他の2つの部位はZ方向に関して当該圧電素子に対して相対的に固定されて(例えば、ヒンジ支持されて)1つの圧電素子の駆動のみにより各部位にZ方向の力を作用させてもよく、また、中央の部位のみが両側の2つの部位にそれぞれ設けられる2つの圧電素子に対してZ方向に関して相対的に固定されてもよい。このように、ノズル部32の長手方向に沿う3カ所以上の部位の少なくとも1つが、圧電素子の駆動により力の作用を受けることにより、ノズル変形機構の簡素化を図りつつノズル部32を変形することが実現される。
塗布装置1では、ヘッド移動機構42によりヘッド部3がステージ21に対して主走査方向に移動するが、ヘッド部3が固定され、ステージ21がヘッド部3に対して主走査方向に移動してもよい。すなわち、ヘッド部3は主走査方向にステージ21に対して相対的に移動すればよい。また、ステージ21を昇降するステージ昇降機構が設けられ、ノズル部32の基板9またはパーティクルへの接触を回避する際に、ステージ昇降機構を駆動してノズル部32とステージ21上の基板9との離間が行われてもよい。
塗布装置1において、塗布液の高精度な塗布が求められない場合には、検出ユニット33において表面高さの検出に係る構成が省略され、パーティクルの検出に係る構成のみが設けられてもよい。この場合、基板9を保持する保持部はステージ21以外に、基板9の下面に当接して基板9を支持する支持ピン等であってもよい。また、基板9の上面に向けて塗布液を吐出する吐出部として、スリットノズル321に代えて微小な円形(または矩形)の吐出口を有するノズルが設けられてもよい。例えば、プラズマ表示装置等に用いられるカラーフィルタの製造の際には、一般的にはR(赤)、G(緑)、B(青)のうちの1色の塗布液を基板上に塗布する毎に基板上のパーティクル検査が行われるため、塗布装置と検査装置との間で基板を繰り返し搬送する必要がある。これに対し、基板上に塗布液を塗布しつつパーティクルを検出する塗布装置によれば、他の検査装置における基板上のパーティクルの検査を省略してプラズマ表示装置の製造に係る処理の簡略化を図りつつ、基板の搬送機会を減少させることができる。
塗布装置1はフラットパネル表示装置用の大型のガラス基板への塗布液の塗布に特に適しているが、ガラス基板以外に半導体基板やプリント配線基板への塗布液の塗布に利用されてもよい。
1 塗布装置
5 制御部
9 基板
21 ステージ
32 ノズル部
33 検出ユニット
34,34a パーティクル検出部
35 ノズル変形機構
41 ヘッド昇降機構
42 ヘッド移動機構
51 記憶部
321a 吐出口
5 制御部
9 基板
21 ステージ
32 ノズル部
33 検出ユニット
34,34a パーティクル検出部
35 ノズル変形機構
41 ヘッド昇降機構
42 ヘッド移動機構
51 記憶部
321a 吐出口
Claims (8)
- 基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持するステージと、
前記ステージに保持される基板の主面に近接するとともに前記主面に沿う第1の方向に伸びるライン状の吐出口を有し、前記吐出口から前記主面に向けて所定の塗布液を吐出するノズル部と、
前記吐出口に対向する前記主面上の吐出位置から前記第1の方向に垂直かつ前記主面に沿う第2の方向に所定の距離だけ離れた前記主面上の領域であって、前記吐出口に平行なライン状の被検出領域における前記ステージに対する表面高さの最大値を少なくとも含む高さ情報を取得する高さ検出部と、
前記被検出領域を前記吐出位置よりも先行させて前記ノズル部および前記高さ検出部を前記第2の方向に前記ステージに対して相対的に移動する移動機構と、
前記吐出口と前記ステージとの間の間隔を変更する間隔変更機構と、
前記ノズル部および前記高さ検出部の前記ステージに対する相対移動に伴って前記吐出口から塗布液を吐出させつつ、前記高さ検出部からの高さ情報に基づいて前記間隔変更機構を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。 - 請求項1に記載の塗布装置であって、
前記高さ検出部が、前記主面上の前記被検出領域に照射された光の反射光を受光することにより前記被検出領域における前記高さ情報を取得することを特徴とする塗布装置。 - 請求項2に記載の塗布装置であって、
前記高さ検出部が、前記被検出領域上にて光のスポットを前記第1の方向に走査させることにより、前記第1の方向に関する前記被検出領域内の各位置における表面高さを順次取得することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記制御部が、塗布途上において前記高さ検出部により取得される前記被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上である場合に、前記移動機構の停止、または、前記間隔変更機構による前記ノズル部と前記ステージに保持された基板との離間により、前記ノズル部の前記基板への接触を回避することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記被検出領域に付着するパーティクルを検出するパーティクル検出部をさらに備え、
前記制御部が、塗布途上において前記パーティクル検出部によりパーティクルが検出され、かつ、前記高さ検出部にて取得される前記被検出領域の表面高さの最大値が予め定められた値以上である場合に、前記移動機構の停止、または、前記間隔変更機構による前記ノズル部と前記ステージに保持された基板との離間により、前記ノズル部の当該パーティクルへの接触を回避することを特徴とする塗布装置。 - 請求項5に記載の塗布装置であって、
前記パーティクル検出部が、前記被検出領域に照射された光の散乱光を検出することによりパーティクルを検出することを特徴とする塗布装置。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の塗布装置であって、
前記間隔変更機構が、前記ノズル部の前記第1の方向に沿う3カ所以上の部位に前記主面に垂直な方向に力を作用させることにより、前記ノズル部を撓ませるノズル変形機構を有し、
前記高さ検出部が、前記第1の方向に関する前記被検出領域内の各位置における表面高さを取得し、
前記制御部が、前記高さ検出部からの出力に基づいて前記ノズル変形機構を制御することを特徴とする塗布装置。 - 基板上に塗布液を塗布する塗布装置であって、
基板を保持する保持部と、
前記保持部に保持される基板の主面に向けて所定の塗布液を吐出する吐出部と、
前記主面に付着するパーティクルを検出するパーティクル検出部と、
前記吐出部および前記パーティクル検出部を前記主面に沿う走査方向に前記保持部に対して相対的に移動する移動機構と、
塗布途上において前記パーティクル検出部により取得される検出結果を記憶する記憶部と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005096985A JP2006272207A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005096985A JP2006272207A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | 塗布装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006272207A true JP2006272207A (ja) | 2006-10-12 |
Family
ID=37207456
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005096985A Pending JP2006272207A (ja) | 2005-03-30 | 2005-03-30 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006272207A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010172820A (ja) * | 2009-01-29 | 2010-08-12 | Toray Ind Inc | 塗液の塗布装置および塗布方法 |
WO2023199749A1 (ja) * | 2022-04-13 | 2023-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体 |
-
2005
- 2005-03-30 JP JP2005096985A patent/JP2006272207A/ja active Pending
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WO2023199749A1 (ja) * | 2022-04-13 | 2023-10-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 液滴吐出装置、液滴吐出方法および記憶媒体 |
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