JP2022051281A - 産業用ロボット - Google Patents

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Abstract

【課題】上下方向において所定のピッチで重なる複数のハンドを有する搭載機構を備える産業用ロボットにおいて、複数のハンドのそれぞれの搭載部を、他のハンドの搭載部を取り外すことなく、個別に着脱することが可能であっても、搭載機構の基端側部分を小型化することが可能な産業用ロボットを提供する。【解決手段】この産業用ロボットでは、たとえば、ハンド１５において、頭部６２ａが下側に配置されるボルト６２によって、ハンド１５の搭載部の一部を構成する被固定部３８がハンド１５の固定部５０に固定されている。ボルト６２の下側に配置される全ての固定部５１～５９および被固定部３９～４７には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６２ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ１が形成されており、貫通穴ｈ１の内径は、頭部６２ａの外径よりも大きくなっている。【選択図】図６

Description

本発明は、半導体ウエハ等の搬送対象物を搬送する産業用ロボットに関する。
従来、半導体ウエハ等の基板を搬送する産業用ロボットが知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の産業用ロボットは、複数の基板が搭載される基板搭載機構と、基板搭載機構の基端側を回動可能に支持する第１アームとを備えている。基板搭載機構は、基板が搭載されるハンドフォークを有するとともに上下方向において所定のピッチで重なる５個のハンドを備えている。ハンドは、ハンドフォークが固定されるフォーク固定部と、フォーク固定部にハンドフォークを固定するための頭付きのボルトとを備えている。フォーク固定部は、ハンドの基端側部分を構成している。
５個のハンドのうちの１番上に配置されるハンド、および、上から２番目に配置されるハンドでは、上側からねじ込まれるボルトによってハンドフォークがフォーク固定部に固定されている。１番上に配置されるハンドのフォーク固定部と、上から２番目に配置されるハンドのフォーク固定部とは、前後方向においてずれた位置に配置されている。上から２番目に配置されるハンドのフォーク固定部は、１番上に配置されるハンドに上側から覆われない位置に配置されている。
また、１番下に配置されるハンド、および、下から２番目に配置されるハンドでは、下側からねじ込まれるボルトによってハンドフォークがフォーク固定部に固定されている。１番下に配置されるハンドのフォーク固定部と、下から２番目に配置されるハンドのフォーク固定部とは、前後方向においてずれた位置に配置されている。下から２番目に配置されるハンドのフォーク固定部は、１番下に配置されるハンドに下側から覆われない位置に配置されている。
さらに、上から３番目に配置されるハンドのフォーク固定部は、残りの４個のハンドのフォーク固定部と前後方向においてずれた位置に配置されている。このフォーク固定部は、残りの４個のハンドに、上側および下側の少なくともいずれか一方から覆われない位置に配置されている。
そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、５個のハンドが上下方向で重なるように配置されていても、また、全てのハンドのハンドフォークがフォーク固定部に固定された状態でも、５個のハンドのそれぞれのボルトを個別に着脱することが可能になっている。したがって、この産業用ロボットでは、５個のハンドが上下方向で重なるように配置されていても、５個のハンドのそれぞれのハンドフォークを、他のハンドのハンドフォークを取り外すことなく、フォーク固定部に対して個別に着脱することが可能になっており、産業用ロボットのメンテナンス性が高くなっている。
特開２０１０－１７９４２０号公報
特許文献１に記載の産業用ロボットでは、５個のハンドのそれぞれのハンドフォークを、他のハンドのハンドフォークを取り外すことなく、フォーク固定部に対して個別に着脱することができるように、１番上のハンドのフォーク固定部と上から２番目のハンドのフォーク固定部とが前後方向においてずれた位置に配置され、かつ、１番下のハンドのフォーク固定部と下から２番目のハンドのフォーク固定部とが前後方向においてずれた位置に配置されるとともに、上から３番目に配置されるハンドのフォーク固定部が残りの４個のハンドのフォーク固定部と前後方向においてずれた位置に配置されている。そのため、特許文献１に記載の産業用ロボットでは、メンテナンス性を高めることが可能となる一方で、基板搭載機構の基端側部分が大型化し、その結果、産業用ロボットが大型化するおそれがある。
また、特許文献１に記載の産業用ロボットにおいて、より多くの基板を一度に搬送できるように基板搭載機構が備えるハンドの数を増やす場合、複数のハンドのそれぞれのハンドフォークを、他のハンドのハンドフォークを取り外すことなく、フォーク固定部に対して個別に着脱できるように、各ハンドのフォーク固定部が上下方向で重ならない状態で各ハンドのフォーク固定部を配置すると、基板搭載機構の基端側部分がより大型化し、その結果、産業用ロボットがより大型化するおそれがある。
そこで、本発明の課題は、上下方向において所定のピッチで重なる複数のハンドを有するとともに複数の搬送対象物が搭載される搭載機構を備える産業用ロボットにおいて、複数のハンドのそれぞれの搭載部を、他のハンドの搭載部を取り外すことなく、個別に着脱することが可能であっても、搭載機構の基端側部分を小型化することが可能な産業用ロボットを提供することにある。
上記の課題を解決するため、本発明の産業用ロボットは、複数の搬送対象物が搭載される搭載機構を備える産業用ロボットにおいて、搭載機構は、搬送対象物の搭載部を有し上下方向において所定のピッチで重なる少なくとも３個以上の複数のハンドを備え、ハンドは、搭載部の被固定部が固定される固定部と、固定部に被固定部を固定するための頭付きのボルトとを備え、複数のハンドの固定部は、上下方向において所定のピッチで重なっており、被固定部は、上下方向を軸方向として配置されるボルトによって、固定部と上下方向で重なった状態で固定部に固定され、頭部が下側に配置されるボルトを上向きボルトとし、頭部が上側に配置されるボルトを下向きボルトとし、複数のハンドのうちの１番上に配置されるハンドと１番下に配置されるハンドとを除いたハンドであって上向きボルトを有するハンドを第１ハンドとし、複数のハンドのうちの１番上に配置されるハンドと１番下に配置されるハンドとを除いたハンドであって下向きボルトを有するハンドを第２ハンドとすると、搭載機構が第１ハンドを備えている場合には、第１ハンドの上向きボルトの下側に配置される全てのハンドの固定部および被固定部には、１番下に配置されるハンドの下側から第１ハンドの上向きボルトの頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成され、搭載機構が第２ハンドを備えている場合には、第２ハンドの下向きボルトの上側に配置される全てのハンドの固定部および被固定部には、１番上に配置されるハンドの上側から第２ハンドの下向きボルトの頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成され、貫通穴の内径は、頭部の外径よりも大きくなっていることを特徴とする。
本発明の産業用ロボットでは、ハンドは、搭載部の被固定部が固定される固定部と、固定部に被固定部を固定するための頭付きのボルトとを備えており、被固定部は、上下方向を軸方向として配置されるボルトによって、固定部と上下方向で重なった状態で固定部に固定されている。また、本発明では、複数のハンドの固定部は、上下方向において所定のピッチで重なっているが、搭載機構が第１ハンドを備えている場合には、第１ハンドの上向きボルトの下側に配置される全てのハンドの固定部および被固定部には、１番下に配置されるハンドの下側から第１ハンドの上向きボルトの頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成され、搭載機構が第２ハンドを備えている場合には、第２ハンドの下向きボルトの上側に配置される全てのハンドの固定部および被固定部には、１番上に配置されるハンドの上側から第２ハンドの下向きボルトの頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成されている。さらに、本発明では、貫通穴の内径は、頭部の外径よりも大きくなっている。
そのため、本発明では、複数のハンドの固定部が上下方向において重なっていても、また、全てのハンドの搭載部が固定部に固定された状態でも、１番下に配置されるハンドの下側から、あるいは、１番上に配置されるハンドの上側から、工具を用いて、複数のハンドのそれぞれのボルトを着脱することが可能になる。したがって、本発明では、複数のハンドの固定部が上下方向において重なっていても、複数のハンドのそれぞれの搭載部を、他のハンドの搭載部を取り外すことなく、個別に着脱することが可能になる。また、本発明では、複数のハンドの固定部が上下方向において重なっているため、搭載機構の基端側部分を小型化することが可能になる。すなわち、本発明では、複数のハンドのそれぞれの搭載部を、他のハンドの搭載部を取り外すことなく、個別に着脱することが可能であっても、搭載機構の基端側部分を小型化することが可能になる。
本発明において、１番上に配置されるハンドが有するボルトは、下向きボルトであり、複数のハンドのうちの１番上に配置されるハンドを除いた残りのハンドが有するボルトは、上向きボルトであることが好ましい。このように構成すると、工具を用いて緩めた上向きボルトを、１番下に配置されるハンドの下側まで自重で落下させることが可能になる。したがって、１番上に配置されるハンドを除いた残りのハンドが有するボルトを容易に取り外すことが可能になり、その結果、ボルトの取外し作業を容易に行うことが可能になる。
本発明において、ハンドは、搬送対象物の搬送時に水平方向に直線的に移動し、ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を直交方向とすると、被固定部は、直交方向におけるハンドの中心に対して直交方向の両側に配置されるボルトによって固定部に固定され、複数のハンドのうちの１番上に配置されるハンドを除いた残りのハンドが有するボルトは、上側に配置されるハンドから下側に配置されるハンドに向かうにしたがって直交方向の内側に向かって次第にずれていることが好ましい。このように構成すると、複数のハンドの固定部が上下方向において所定のピッチで重なっていて、１番上に配置されるハンドを除いた残りのハンドのそれぞれが有するボルトの位置を上側から目視で確認することができなくても、１番上に配置されるハンドを除いた残りのハンドのそれぞれが有するボルトが水平方向においてどの位置に配置されているのかを把握しやすくなる。
本発明において、搭載部は、搬送対象物が搭載される搭載部本体を備え、搭載部本体は、被固定部と別体で形成されていることが好ましい。本発明では、被固定部に形成される貫通穴等の数に応じて、被固定部の形状を複数のハンドごとに変えなければならない場合が生じるが、このように構成すると、搭載部本体は、全てのハンドにおいて共通の形状とすることが可能になる。したがって、ハンドの部品コストを低減することが可能になる。
以上のように、本発明では、上下方向において所定のピッチで重なる複数のハンドを有するとともに複数の搬送対象物が搭載される搭載機構を備える産業用ロボットにおいて、複数のハンドのそれぞれの搭載部を、他のハンドの搭載部を取り外すことなく、個別に着脱することが可能であっても、搭載機構の基端側部分を小型化することが可能になる。
本発明の実施の形態にかかる産業用ロボットの斜視図である。 図１に示す搭載機構、リニア駆動機構および傾き補正機構等の斜視図である。 図１に示す搭載機構の斜視図である。 図３に示す搭載機構を異なる方向から示す斜視図である。 図３に示す搭載機構の一部分の底面図である。 図５のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。 図５のＦ－Ｆ断面の構成を説明するための断面図である。 図５のＧ－Ｇ断面の構成を説明するための断面図である。 図５のＨ－Ｈ断面の構成を説明するための断面図である。 図５のＪ－Ｊ断面の構成を説明するための断面図である。 図５のＫ－Ｋ断面の構成を説明するための断面図である。 図３において上から２番目に配置されるハンドの構成を説明するための底面図である。 図３において上から５番目に配置されるハンドの構成を説明するための底面図である。 図３において１番下に配置されるハンドの構成を説明するための底面図である。 図３に示す搭載機構の基端部の側面図である。 図３に示す搭載機構の背面図である。 図３に示す搭載機構の背面図である。
以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態を説明する。
（産業用ロボットの全体構成）
図１は、本発明の実施の形態にかかる産業用ロボット１の斜視図である。図２は、図１に示す搭載機構３、リニア駆動機構５～７および傾き補正機構８等の斜視図である。図３は、図１に示す搭載機構３の斜視図である。
本形態の産業用ロボット１（以下、「ロボット１」とする。）は、搬送対象物である半導体ウエハ２（以下、「ウエハ２」とする。）を搬送するためのロボットである。ウエハ２は、薄い円板状に形成されている。ロボット１は、たとえば、複数のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容されるカセット（図示省略）から複数のウエハ２を同時に搬出して、半導体製造システム（図示省略）を構成する所定の処理装置の中へカセットから搬出した複数のウエハ２を搬入する。また、ロボット１は、複数のウエハ２が所定のピッチで積層されて収容される処置装置から複数のウエハ２を同時に搬出して、搬出した複数のウエハ２をカセットの中へ搬入する。
ロボット１は、複数のウエハ２が搭載される搭載機構３と、１枚のウエハ２が搭載されるハンド４と、搭載機構３を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構５と、ハンド４を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構６と、リニア駆動機構５、６を水平方向に直線的に移動させるためのリニア駆動機構７と、搭載機構３およびハンド４の傾きを補正するための傾き補正機構８と、傾き補正機構８を保持する本体部９と、本体部９を水平方向に移動可能に支持するベース部材１０とを備えている。
搭載機構３には、上下方向において一定のピッチで重なる複数枚のウエハ２が搭載される。搭載機構３は、ウエハ２が搭載される複数のハンド１４～２４を備えている。本形態の搭載機構３は、１１個のハンド１４～２４を備えている。ハンド１４～２４のそれぞれには、１枚のウエハ２が搭載される。１１個のハンド１４～２４は、上下方向において所定のピッチで重なっている。具体的には、１１個のハンド１４～２４は、一定のピッチで重なっている。１１個のハンド１４～２４は、同じ方向を向いている。
また、搭載機構３は、１１個のハンド１４～２４の上下方向のピッチを変えるためのピッチ変更機構２５を備えている。ハンド４は、ハンド１４～２４よりも上側に配置されている。ハンド４は、ハンド１４～２４と同じ方向を向いている。ハンド１４～２４およびピッチ変更機構２５の具体的な構成については後述する。なお、搭載機構３の基端側部分は、カバー２７によって覆われているが（図２参照）、図３等では、カバー２７の図示を省略している。
リニア駆動機構５は、搭載機構３を直線的に往復移動させる。すなわち、リニア駆動機構５は、１１個のハンド１４～２４を直線的に往復移動させる。リニア駆動機構５は、ハンド１４～２４よりも下側に配置されている。リニア駆動機構５は、たとえば、モータ、ボールネジおよびガイド機構等を備えている。リニア駆動機構６は、リニア駆動機構５によって移動するハンド１４～２４の往復移動方向と同方向へハンド４を直線的に往復移動させる。リニア駆動機構６は、ハンド１４～２４よりも下側に配置されている。リニア駆動機構６は、リニア駆動機構５と同様に、たとえば、モータ、ボールネジおよびガイド機構等を備えている。
リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６によって移動するハンド４、１４～２４の往復移動方向と同方向へリニア駆動機構５、６を直線的に往復移動させる。すなわち、リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６によって移動するハンド４、１４～２４の往復移動方向と同方向へ、ハンド１４～２４をリニア駆動機構５と一緒にさらに往復移動させるとともに、ハンド４をリニア駆動機構６と一緒にさらに往復移動させる。リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６の下側に配置されている。リニア駆動機構７は、リニア駆動機構５、６と同様に、たとえば、２個のモータ、２本のボールネジおよびガイド機構等を備えている。
傾き補正機構８は、リニア駆動機構７の下側に配置されている。リニア駆動機構７は、傾き補正機構８に搭載されている。傾き補正機構８は、リニア駆動機構７を傾けることで、ウエハ２が搭載されるハンド４、１４～２４の傾きを補正する。傾き補正機構８は、上下方向に対して傾いた所定の第１方向を回動の軸方向として、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４～２４を回動させる第１傾き補正機構と、上下方向に対して傾くとともに第１方向に対して傾いた第２方向を回動の軸方向として、リニア駆動機構７等と一緒にハンド４、１４～２４を回動させる第２傾き補正機構とを備えている。第１方向は、搭載機構３およびハンド４の往復移動方向と略一致している。第２方向は、第１方向に直交する方向である。
本体部９は、傾き補正機構８を昇降可能に保持する柱状フレーム３１を備えている。柱状フレーム３１は、上下方向に細長い柱状に形成されている。また、本体部９は、本体部９の下端部を構成するとともにベース部材１０に対して水平移動可能な基台３２と、柱状フレーム３１の下端が固定されるとともに基台３２に対して回動可能な回動ベース３３とを備えている。ロボット１は、柱状フレーム３１に対して傾き補正機構８を昇降させる昇降機構と、上下方向を回動の軸方向として基台３２に対して回動ベース３３を回動させる回動機構と、ベース部材１０に対して基台３２を水平移動させる水平移動機構とを備えている。
（ハンドの構成）
図４は、図３に示す搭載機構３を異なる方向から示す斜視図である。図５は、図３に示す搭載機構３の一部分の底面図である。図６は、図５のＥ－Ｅ断面の構成を説明するための断面図である。図７は、図５のＦ－Ｆ断面の構成を説明するための断面図である。図８は、図５のＧ－Ｇ断面の構成を説明するための断面図である。図９は、図５のＨ－Ｈ断面の構成を説明するための断面図である。図１０は、図５のＪ－Ｊ断面の構成を説明するための断面図である。図１１は、図５のＫ－Ｋ断面の構成を説明するための断面図である。図１２は、図３に示すハンド１５の構成を説明するための底面図である。図１３は、図３に示すハンド１８の構成を説明するための底面図である。図１４は、図３に示すハンド２４の構成を説明するための底面図である。図１５は、図３に示す搭載機構３の基端部の側面図である。図１６、図１７は、図３に示す搭載機構３の背面図である。
搭載機構３は、上述のように、１１個のハンド１４～２４を備えている。ハンド１４～２４は、上側から下側に向かってこの順番で配置されている。ハンド１４～２４は、ウエハ２の搬送時に水平方向に直線的に移動する。以下の説明では、ハンド１４～２４の移動方向（往復移動方向）である図３等のＸ方向を「前後方向」とし、上下方向と前後方向とに直交する図３等のＹ方向を「左右方向」とする。本形態の左右方向（Ｙ方向）は、ハンド１４～２４の移動方向と上下方向とに直交する直交方向である。
また、以下では、説明の便宜上、前後方向の一方側である図３等のＸ１方向側を「前」側とし、その反対側である図３等のＸ２方向側を「後ろ」側とし、左右方向の一方側である図３等のＹ１方向側を「右」側とし、その反対側である図３等のＹ２方向側を「左」側とする。本形態では、前側は、ハンド１４～２４の先端側であり、後ろ側は、ハンド１４～２４の基端側である。
ハンド１４～２４は、ウエハ２が搭載されるブレード３６を備えている。図６に示すように、ハンド１４は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材３７と、ブレード保持部材３７が固定される固定部材４９と、固定部材４９にブレード保持部材３７を固定するための頭付きのボルト６１とを備えている。ハンド１４と同様に、ハンド１５は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材３８と、ブレード保持部材３８が固定される固定部材５０と、固定部材５０にブレード保持部材３８を固定するための頭付きのボルト６２とを備えている。
同様に、ハンド１６は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材３９と、ブレード保持部材３９が固定される固定部材５１と、固定部材５１にブレード保持部材３９を固定するための頭付きのボルト６３とを備え、ハンド１７は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４０と、ブレード保持部材４０が固定される固定部材５２と、固定部材５２にブレード保持部材４０を固定するための頭付きのボルト６４とを備え、ハンド１８は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４１と、ブレード保持部材４１が固定される固定部材５３と、固定部材５３にブレード保持部材４１を固定するための頭付きのボルト６５とを備えている（図６、図７参照）。
また、ハンド１９は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４２と、ブレード保持部材４２が固定される固定部材５４と、固定部材５４にブレード保持部材４２を固定するための頭付きのボルト６６とを備え、ハンド２０は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４３と、ブレード保持部材４３が固定される固定部材５５と、固定部材５５にブレード保持部材４３を固定するための頭付きのボルト６７とを備え、ハンド２１は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４４と、ブレード保持部材４４が固定される固定部材５６と、固定部材５６にブレード保持部材４４を固定するための頭付きのボルト６８とを備えている（図８、図９参照）。
さらに、ハンド２２は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４５と、ブレード保持部材４５が固定される固定部材５７と、固定部材５７にブレード保持部材４５を固定するための頭付きのボルト６９とを備え、ハンド２３は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４６と、ブレード保持部材４６が固定される固定部材５８と、固定部材５８にブレード保持部材４６を固定するための頭付きのボルト７０とを備え、ハンド２４は、ブレード３６が固定されるブレード保持部材４７と、ブレード保持部材４７が固定される固定部材５９と、固定部材５９にブレード保持部材４７を固定するための頭付きのボルト７１とを備えている（図９～図１１参照）。
本形態では、ブレード保持部材３７～４７のそれぞれとブレード３６とによってウエハ２の搭載部が構成されている。また、本形態のブレード３６は、ウエハ２が搭載される搭載部本体であり、ブレード保持部材３７～４７は、搭載部の被固定部である。また、固定部材４９～５９は、被固定部であるブレード保持部材３７～４７が固定される固定部となっている。なお、ハンド１４～２４と同様に、ハンド４は、ウエハ２が搭載されるブレード７３を備えている（図２参照）。
ブレード３６は、平板状に形成されている。ブレード３６は、ブレード３６の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。上下方向から見たときのブレード３６の形状は略Ｕ形状となっている。ブレード３６は、ブレード保持部材３７～４７と別体で形成されている。
ブレード保持部材３７～４７は、略長方形の平板状に形成されている。ブレード保持部材３７～４７は、ブレード保持部材３７～４７の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。本形態のハンド１４は、２枚のブレード保持部材３７を備えており、２枚のブレード保持部材３７は、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。同様に、ハンド１５～２４のそれぞれは、２枚のブレード保持部材３８～４７を備えており、２枚のブレード保持部材３８～４７のそれぞれは、左右方向に間隔をあけた状態で配置されている。
２枚のブレード保持部材３７は互いに同形状となっており、上下方向から見たときに、２枚のブレード保持部材３７は、左右方向におけるハンド１４の中心に対して線対称に配置されている。同様に、２枚のブレード保持部材３８～４７のそれぞれは互いに同形状となっており、上下方向から見たときに、２枚のブレード保持部材３８～４７のそれぞれは、左右方向におけるハンド１５～２４のそれぞれの中心に対して線対称に配置されている。また、ブレード保持部材３７～４７のそれぞれの外形は互いに同形状となっている。
ブレード３６の後端部（基端部）は、皿ボルト等のボルトによって２枚のブレード保持部材３７～４７の前端部に固定されている。ブレード３６の後端部は、ブレード保持部材３７～４７の前端部の上側に配置されており、上下方向においてブレード保持部材３７～４７の前端部と重なった状態でブレード保持部材３７～４７に固定されている。ブレード３６の後端部の下面は、ブレード保持部材３７～４７の前端部の上面に接触している。ブレード保持部材３７～４７の前端部の上面は、下側に向かってわずかに窪んでいる。
固定部材４９～５９は、平板状に形成されている。固定部材４９～５９は、固定部材４９～５９の厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。固定部材４９～５９の外形は互いにほぼ同形状となっている。固定部材４９～５９は、上下方向において所定のピッチで重なっている。上述のように、ハンド１４～２４は、上側から下側に向かってこの順番で配置されており、固定部材４９～５９は、上側から下側に向かってこの順番で配置されている。固定部材４９の下側に配置される固定部材５０～５９は、固定部材４９の上側から見えない。
ブレード保持部材３７は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６１によって、固定部材４９の前端部に固定されている。ブレード保持部材３７は、上下方向において固定部材４９と重なった状態で固定部材４９に固定されている。具体的には、ブレード保持部材３７は、固定部材４９の前端部の上側に配置されており、固定部材４９の前端部と重なった状態で固定部材４９に固定されている。ブレード保持部材３７の下面は、固定部材４９の前端部の上面に接触している。固定部材４９の前端部の上面は、下側に向かってわずかに窪んでいる。なお、ブレード保持部材３７の下面と固定部材４９の前端部の上面との間に、高さ調整用のシムが配置されていても良い。
同様に、ブレード保持部材３８は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６２によって、固定部材５０の前端部に固定され、ブレード保持部材３９は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６３によって、固定部材５１の前端部に固定され、ブレード保持部材４０は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６４によって、固定部材５２の前端部に固定され、ブレード保持部材４１は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６５によって、固定部材５３の前端部に固定され、ブレード保持部材４２は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６６によって、固定部材５４の前端部に固定されている。
また、ブレード保持部材４３は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６７によって、固定部材５５の前端部に固定され、ブレード保持部材４４は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６８によって、固定部材５６の前端部に固定され、ブレード保持部材４５は、上下方向を軸方向として配置されるボルト６９によって、固定部材５７の前端部に固定され、ブレード保持部材４６は、上下方向を軸方向として配置されるボルト７０によって、固定部材５８の前端部に固定され、ブレード保持部材４７は、上下方向を軸方向として配置されるボルト７１によって、固定部材５９の前端部に固定されている。
ブレード保持部材３８～４７のそれぞれは、固定部材５０～５９のそれぞれの前端部の上側に配置されており、上下方向において固定部材５０～５９のそれぞれの前端部と重なった状態で固定部材５０～５９に固定されている。ブレード保持部材３８～４７のそれぞれの下面は、固定部材５０～５９のそれぞれの前端部の上面に接触している。固定部材５０～５９の前端部の上面は、下側に向かってわずかに窪んでいる。なお、ブレード保持部材３８～４７のそれぞれの下面と固定部材５０～５９の前端部のそれぞれの上面との間に、高さ調整用のシムが配置されていても良い。
ブレード保持部材３７～４７が固定される固定部材４９～５９の前端部を除いた固定部材４９～５９の大半部分は、搭載機構３の下面を構成する下フレーム７５と、搭載機構３の上面を構成する上フレーム７６（図１５～図１７参照）との間に配置されている。下フレーム７５は、リニア駆動機構５の可動部に固定されている。下フレーム７５の上面には、上側に向かって立ち上がる複数の支柱が固定されており、上フレーム７６は、複数の支柱の上端部に固定されている。なお、図３、図４等では、上フレーム７６の図示を省略している。
ボルト６１は、頭部６１ａに六角形の凹部が形成された六角穴付きボルトである。ボルト６２～７１も同様に、頭部６２ａ～７１ａに六角形の凹部が形成された六角穴付きボルトである。ボルト６１の頭部６１ａは、ボルト６１の軸部の上側に配置されている。ボルト６２～７１の頭部６２ａ～７１ａは、ボルト６２～７１の軸部の下側に配置されている。本形態のボルト６２～７１は、頭部６２ａ～７１ａが下側に配置されるボルトである上向きボルトとなっており、ボルト６１は、頭部６１ａが上側に配置されるボルトである下向きボルトとなっている。
すなわち、本形態では、一番上に配置されるハンド１４が有するボルト６１は、下向きボルトとなっている。また、１１個のハンド１４～２４のうちの一番上に配置されるハンド１４を除いた残りのハンド１５～２４が有するボルト６２～７１は、上向きボルトとなっている。本形態のハンド１５～２３は、１１個のハンド１４～２４のうちの１番上に配置されるハンド１４と１番下に配置されるハンド２４とを除いたハンドであって、上向きボルトを有するハンドである第１ハンドとなっている。
図３に示すように、ブレード保持部材３７は、４本のボルト６１によって固定部材４９に固定されている。具体的には、２枚のブレード保持部材３７のうちの一方のブレード保持部材３７が２本のボルト６１によって固定部材４９に固定され、他方のブレード保持部材３７が２本のボルト６１によって固定部材４９に固定されている。一方のブレード保持部材３７を固定する２本のボルト６１は、ハンド１４の左右方向の中心に対して左右方向の一方側に配置され、他方のブレード保持部材３７を固定する２本のボルト６１は、ハンド１４の左右方向の中心に対して左右方向の他方側に配置されている。すなわち、ブレード保持部材３７は、ハンド１４の左右方向の中心に対して左右方向の両側に配置されるボルト６１によって固定部材４９に固定されている。
同様に、ブレード保持部材３８～４７のそれぞれは、４本のボルト６２～７１のそれぞれによって、固定部材５０～５９のそれぞれに固定されている。また、ブレード保持部材３８～４７のそれぞれは、ハンド１５～２４のそれぞれの左右方向の中心に対して左右方向の両側に配置されるボルト６２～７１のそれぞれによって、固定部材５０～５９のそれぞれに固定されている。
左右方向の一方側に配置される２本のボルト６１は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向の他方側に配置される２本のボルト６１も、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向の一方側に配置される２本のボルト６１と左右方向の他方側に配置される２本のボルト６１とは、前後方向において同じ位置に配置されている。
同様に、左右方向の一方側に配置される２本のボルト６２は、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向の他方側に配置される２本のボルト６２も、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。左右方向の一方側に配置される２本のボルト６２と左右方向の他方側に配置される２本のボルト６２とは、前後方向において同じ位置に配置されている。
同様に、左右方向の一方側に配置される２本のボルト６３～７１のそれぞれは、前後方向において間隔をあけた状態で配置され、左右方向の他方側に配置される２本のボルト６３～７１のそれぞれも、前後方向において間隔をあけた状態で配置されている。また、同様に、左右方向の一方側に配置される２本のボルト６３～７１のそれぞれと左右方向の他方側に配置される２本のボルト６３～７１のそれぞれとは、前後方向において同じ位置に配置されている。
左右方向の両側において、２本のボルト６１は、ブレード保持部材３７の左右方向の外側端部に配置されている（図３参照）。左右方向の両側において、２本のボルト６１と２本のボルト６２とは、左右方向および前後方向で同じ位置に配置されており、２本のボルト６１の真下に２本のボルト６２が配置されている。左右方向の両側において、２本のボルト６２と２本のボルト６３とは、左右方向において同じ位置に配置されるとともに前後方向でずれた位置に配置されている。ボルト６２とボルト６３とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で交互に配置されている。
また、左右方向の両側において、２本のボルト６４と２本のボルト６５とは、左右方向において同じ位置に配置されるとともに前後方向でずれた位置に配置されている。ボルト６４とボルト６５とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で交互に配置されている。ボルト６４、６５は、ボルト６２、６３よりも左右方向の内側に配置されている。また、左右方向の両側において、２本のボルト６６と２本のボルト６７とは、左右方向において同じ位置に配置されるとともに前後方向でずれた位置に配置されている。ボルト６６とボルト６７とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で交互に配置されている。ボルト６６、６７は、ボルト６４、６５よりも左右方向の内側に配置されている。
また、左右方向の両側において、２本のボルト６８と２本のボルト６９とは、左右方向において同じ位置に配置されるとともに前後方向でずれた位置に配置されている。ボルト６８とボルト６９とは、後ろ側から前側に向かってこの順番で交互に配置されている。ボルト６８、６９は、ボルト６６、６７よりも左右方向の内側に配置されている。ボルト７０は、ボルト６８、６９よりも左右方向の内側に配置されている。ボルト７１は、ボルト７０よりも左右方向の内側に配置されている。
このように、ボルト６１とボルト６２とは、水平方向において同じ位置に配置されているが、ボルト６２～７１のそれぞれは、水平方向において互いにずれた位置に配置されている。すなわち、上下方向から見たときに、ボルト６１とボルト６２とは重なっているが、ボルト６２～７１のそれぞれは、互いにずれた位置に配置されていて重なっていない。
また、ボルト６４、６５はボルト６２、６３よりも左右方向の内側に配置され、ボルト６６、６７はボルト６４、６５よりも左右方向の内側に配置され、ボルト６８、６９はボルト６６、６７よりも左右方向の内側に配置され、ボルト７０はボルト６８、６９よりも左右方向の内側に配置されるとともに、ボルト７１はボルト７０よりも左右方向の内側に配置されており、複数のハンド１４～２４のうちの１番上に配置されるハンド１４を除いた残りのハンド１５～２４が有するボルト６２～７１は、上側に配置されるハンド１５から下側に配置されるハンド２４に向かうにしたがって左右方向の内側に向かって次第にずれている。また、本形態では、前後方向において、ボルト６２とボルト６４とボルト６６とボルト６８とボルト７０とボルト７１とが同じ位置に配置され、ボルト６３とボルト６５とボルト６７とボルト６９とが同じ位置に配置されている。
図６に示すように、ブレード保持部材３７には、ボルト６１の頭部６１ａ等が配置される配置穴３７ａが形成されている。固定部材４９には、ボルト６１のオネジが係合するネジ穴が形成されている。ボルト６１は、固定部材４９に上側からねじ込まれている。なお、本形態では、ハンド４とハンド１４とが重なっていてもボルト６１がハンド４に上側から覆われない位置に、ボルト６１が配置されている。
ブレード保持部材３８には、ボルト６２のオネジが係合するネジ穴が形成されている。同様に、ブレード保持部材３９～４７のそれぞれにも、ボルト６３～７１のそれぞれのオネジが係合するネジ穴が形成されている。固定部材５０には、ボルト６２の頭部６２ａ等が配置される配置穴５０ａが形成されている。同様に、固定部材５１～５９のそれぞれには、ボルト６３～７１のそれぞれの頭部６３ａ～７１ａ等が配置される配置穴５１ａ～５９ａが形成されている（図６～図１１参照）。ボルト６２～７１のそれぞれは、ブレード保持部材３８～４７のそれぞれに下側からねじ込まれている。
図６に示すように、ボルト６２の下側に配置されるブレード保持部材３９～４７のそれぞれおよび固定部材５１～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６２の頭部６２ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ１が形成されている。すなわち、ボルト６２の下側に配置される全てのハンド１６～２４のブレード保持部材３９～４７および固定部材５１～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６２ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ１が形成されている。貫通穴ｈ１は、頭部６２ａの真下に形成されている。
また、ボルト６３の下側に配置されるブレード保持部材４０～４７のそれぞれおよび固定部材５２～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６３の頭部６３ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ２が形成されている。すなわち、ボルト６３の下側に配置される全てのハンド１７～２４のブレード保持部材４０～４７および固定部材５２～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６３ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ２が形成されている。貫通穴ｈ２は、頭部６３ａの真下に形成されている。
図７に示すように、ボルト６４の下側に配置されるブレード保持部材４１～４７のそれぞれおよび固定部材５３～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６４の頭部６４ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ３が形成されている。すなわち、ボルト６４の下側に配置される全てのハンド１８～２４のブレード保持部材４１～４７および固定部材５３～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６４ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ３が形成されている。貫通穴ｈ３は、頭部６４ａの真下に形成されている。
また、ボルト６５の下側に配置されるブレード保持部材４２～４７のそれぞれおよび固定部材５４～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６５の頭部６５ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ４が形成されている。すなわち、ボルト６５の下側に配置される全てのハンド１９～２４のブレード保持部材４２～４７および固定部材５４～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６５ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ４が形成されている。貫通穴ｈ４は、頭部６５ａの真下に形成されている。
図８に示すように、ボルト６６の下側に配置されるブレード保持部材４３～４７のそれぞれおよび固定部材５５～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６６の頭部６６ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ５が形成されている。すなわち、ボルト６６の下側に配置される全てのハンド２０～２４のブレード保持部材４３～４７および固定部材５５～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６６ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ５が形成されている。貫通穴ｈ５は、頭部６６ａの真下に形成されている。
また、ボルト６７の下側に配置されるブレード保持部材４４～４７のそれぞれおよび固定部材５６～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６７の頭部６７ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ６が形成されている。すなわち、ボルト６７の下側に配置される全てのハンド２１～２４のブレード保持部材４４～４７および固定部材５６～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６７ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ６が形成されている。貫通穴ｈ６は、頭部６７ａの真下に形成されている。
図９に示すように、ボルト６８の下側に配置されるブレード保持部材４５～４７のそれぞれおよび固定部材５７～５９のそれぞれには、固定部材５９の下側からボルト６８の頭部６８ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ７が形成されている。すなわち、ボルト６８の下側に配置される全てのハンド２２～２４のブレード保持部材４５～４７および固定部材５７～５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６８ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ７が形成されている。貫通穴ｈ７は、頭部６８ａの真下に形成されている。
また、ボルト６９の下側に配置されるブレード保持部材４６、４７および固定部材５８、５９には、固定部材５９の下側からボルト６９の頭部６９ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ８が形成されている。すなわち、ボルト６９の下側に配置される全てのハンド２３、２４のブレード保持部材４６、４７および固定部材５８、５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部６９ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ８が形成されている。貫通穴ｈ８は、頭部６９ａの真下に形成されている。
図１０に示すように、ボルト７０の下側に配置されるブレード保持部材４７および固定部材５９には、固定部材５９の下側からボルト７０の頭部７０ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ９が形成されている。すなわち、ボルト７０の下側に配置される全てのハンド２４のブレード保持部材４７および固定部材５９には、１番下に配置されるハンド２４の下側から頭部７０ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ９が形成されている。貫通穴ｈ９は、頭部７０ａの真下に形成されている。
このように、ブレード保持部材３９および固定部材５１には、貫通穴ｈ１が形成され、ブレード保持部材４０および固定部材５２には、貫通穴ｈ１、ｈ２が形成され、ブレード保持部材４１および固定部材５３には、貫通穴ｈ１～ｈ３が形成され（図１３参照）、ブレード保持部材４２および固定部材５４には、貫通穴ｈ１～ｈ４が形成され、ブレード保持部材４３および固定部材５５には、貫通穴ｈ１～ｈ５が形成されている。また、ブレード保持部材４４および固定部材５６には、貫通穴ｈ１～ｈ６が形成され、ブレード保持部材４５および固定部材５７には、貫通穴ｈ１～ｈ７が形成され、ブレード保持部材４６および固定部材５８には、貫通穴ｈ１～ｈ８が形成され、ブレード保持部材４７および固定部材５９には、貫通穴ｈ１～ｈ９が形成されている（図１４参照）。
貫通穴ｈ１～ｈ９は、上下方向に貫通する丸穴である。貫通穴ｈ１～ｈ９の内径は、ボルト６２～７０の頭部６２ａ～７０ａの外径よりも大きくなっている。工具Ｔは、Ｔレンチである。工具Ｔの先端部には、頭部６２ａ～７０ａの凹部に係合する六角柱状の係合部が形成されている。
固定部材４９には、固定部材５０を下側から支持するための支持部７８ａを有する支持部材７８が固定されている。すなわち、ハンド１４は、ハンド１５を下側から支持するための支持部７８ａを備えている。本形態では、左右方向の両側において固定部材４９に支持部材７８が固定されており、２個の支持部７８ａによって、左右方向の両側において固定部材５０を下側から支持することが可能になっている。
同様に、固定部材５０の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５１を下側から支持するための支持部７９ａを有する支持部材７９が固定され、固定部材５１の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５２を下側から支持するための支持部８０ａを有する支持部材８０が固定され、固定部材５２の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５３を下側から支持するための支持部８１ａを有する支持部材８１が固定され、固定部材５３の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５４を下側から支持するための支持部８２ａを有する支持部材８２が固定されている。
また、固定部材５４の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５５を下側から支持するための支持部８３ａを有する支持部材８３が固定され、固定部材５５の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５６を下側から支持するための支持部８４ａを有する支持部材８４が固定され、固定部材５６の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５７を下側から支持するための支持部８５ａを有する支持部材８５が固定され、固定部材５７の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５８を下側から支持するための支持部８６ａを有する支持部材８６が固定され、固定部材５８の左右方向の両端側には、左右方向の両側において固定部材５９を下側から支持するための支持部８７ａを有する支持部材８７が固定されている。
すなわち、ハンド１５～２３のそれぞれは、ハンド１６～２４のそれぞれを下側から支持するための２個の支持部７９ａ～８７ａを備えている。支持部７８ａ～８７ａは、平板状に形成されている。支持部７８ａ～８７ａは、支持部７８ａ～８７ａの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。固定部材５０～５９の左右方向の両端側部分の下面には、支持部７８ａ～８７ａのそれぞれが配置される凹部５０ｂ～５９ｂが形成されている。
凹部５０ｂ～５９ｂは、固定部材５０～５９のそれぞれの下面から上側に向かって、かつ、固定部材５０～５９のそれぞれの左右方向の両端面から左右方向の内側に向かって窪んでいる。凹部５０ｂ～５９ｂの上面は、上下方向に直交する平面となっている。支持部７８ａ～８７ａの厚さ（上下方向の厚さ）は、凹部５０ｂ～５９ｂの上下方向の幅よりも薄くなっている。固定部材４９～５８のそれぞれに対する支持部材７９～８７のそれぞれの上下方向の位置は、調整用のボルト８８によって調整可能となっている。
また、搭載機構３の上フレーム７６には、左右方向の両側において固定部材４９を下側から支持するための支持部８９ａを有する支持部材８９が固定されている。支持部８９ａは、平板状に形成されており、支持部８９ａの厚さ方向と上下方向とが一致するように配置されている。なお、図１５以外では、支持部材８９の図示を省略している。
固定部材４９の左右方向の両端側部分の下面には、支持部８９ａが配置される凹部４９ｂが形成されている。凹部５０ｂ～５９ｂと同様に、凹部４９ｂは、固定部材４９の下面から上側に向かって、かつ、固定部材４９の左右方向の両端面から左右方向の内側に向かって窪んでいる。凹部４９ｂの上面は、上下方向に直交する平面となっている。支持部８９ａの厚さ（上下方向の厚さ）は、凹部４９ｂの上下方向の幅よりも薄くなっている。上フレーム７６に対する支持部材８９の上下方向の位置は、調整用のボルトによって調整可能となっている。
（ピッチ変更機構の構成）
ピッチ変更機構２５は、１１枚のブレード３６の上下方向のピッチを変える。すなわち、ピッチ変更機構２５は、１１個のハンド１４～２４の搭載部の上下方向のピッチを変える。具体的には、ピッチ変更機構２５は、１１枚のブレード３６の上下方向のピッチを所定の第１ピッチ（図１７参照）と第１ピッチよりも広い第２ピッチ（図１６参照）とにする。第１ピッチは、たとえば、８ｍｍ程度であり、第２ピッチは、たとえば、１０ｍｍ程度である。ピッチ変更機構２５は、ハンド２４を昇降させる昇降機構９１と、ハンド１４～２４を上下方向に直線的に案内するガイド機構９２とを備えている。
昇降機構９１は、駆動源としてエアシリンダ９３と、エアシリンダ９３とハンド２４とを繋ぐ連結部材９４とを備えている。エアシリンダ９３は、ロッド（ピストン）の移動速度が比較的遅い低速エアシリンダである。エアシリンダ９３は、下フレーム７５の上面側に固定されている。エアシリンダ９３は、エアシリンダ９３のロッドが下側に向かって突出するように配置されている。連結部材９４は、エアシリンダ９３のロッドの下端部と、ハンド２４の固定部材５９の下面とに固定されている。
ガイド機構９２は、複数のスプライン軸９５～９８と、スプライン軸９５～９８が挿通される複数の外筒９９とを備えるボールスプライン機構である。本形態のガイド機構９２は、４本のスプライン軸９５～９８と、２２個の外筒９９とを備えている。スプライン軸９５～９８は、スプライン軸９５～９８の軸方向と上下方向とが一致するように配置されている。スプライン軸９５～９８の下端は、下フレーム７５に固定され、スプライン軸９５～９８の上端は、上フレーム７６に固定されている。外筒９９は、円筒状に形成されている。外筒９９は、ハンド１４～２４のそれぞれに固定されている。具体的には、外筒９９は、固定部材４９～５９のそれぞれに２個ずつ固定されている。
本形態では、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっているときには、エアシリンダ９３のロッドが引っ込んで、ハンド２４を押し上げた状態になっている。このときには、図１７に示すように、固定部材４９の上面が上フレーム７６の下面に接触し、固定部材５０の上面が固定部材４９の下面に接触し、固定部材５１の上面が固定部材５０の下面に接触し、固定部材５２の上面が固定部材５１の下面に接触し、固定部材５３の上面が固定部材５２の下面に接触し、固定部材５４の上面が固定部材５３の下面に接触し、固定部材５５の上面が固定部材５４の下面に接触し、固定部材５６の上面が固定部材５５の下面に接触し、固定部材５７の上面が固定部材５６の下面に接触し、固定部材５８の上面が固定部材５７の下面に接触し、固定部材５９の上面が固定部材５８の下面に接触している。
また、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっているときには、上下方向において、固定部材４９と支持部８９ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５０と支持部７８ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５１と支持部７９ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５２と支持部８０ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５３と支持部８１ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５４と支持部８２ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５５と支持部８３ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５６と支持部８４ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５７と支持部８５ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５８と支持部８６ａの上面との間に隙間が形成され、固定部材５９と支持部８７ａの上面との間に隙間が形成されている。
また、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっているときには、上下方向において、固定部材５０と支持部８９ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５１と支持部７８ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５２と支持部７９ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５３と支持部８０ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５４と支持部８１ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５５と支持部８２ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５６と支持部８３ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５７と支持部８４ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５８と支持部８５ａの下面との間に隙間が形成され、固定部材５９と支持部８６ａの下面との間に隙間が形成されている。
一方、１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになっているときには、エアシリンダ９３のロッドが突出して、ハンド２４を引き下げた状態になっている。このときには、図１６に示すように、固定部材４９は支持部８９ａの上面に接触し、固定部材５０は支持部７８ａの上面に接触し、固定部材５１は支持部７９ａの上面に接触し、固定部材５２は支持部８０ａの上面に接触し、固定部材５３は支持部８１ａの上面に接触し、固定部材５４は支持部８２ａの上面に接触し、固定部材５５は支持部８３ａの上面に接触し、固定部材５６は支持部８４ａの上面に接触し、固定部材５７は支持部８５ａの上面に接触し、固定部材５８は支持部８６ａの上面に接触し、固定部材５９は支持部８７ａの上面に接触している。
また、１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになっているときには、上下方向において、固定部材４９の上面と上フレーム７６の下面との間に隙間が形成され、固定部材５０の上面と固定部材４９の下面との間に隙間が形成され、固定部材５１の上面と固定部材５０の下面との間に隙間が形成され、固定部材５２の上面と固定部材５１の下面との間に隙間が形成され、固定部材５３の上面と固定部材５２の下面との間に隙間が形成され、固定部材５４の上面と固定部材５３の下面との間に隙間が形成され、固定部材５５の上面と固定部材５４の下面との間に隙間が形成され、固定部材５６の上面と固定部材５５の下面との間に隙間が形成され、固定部材５７の上面と固定部材５６の下面との間に隙間が形成され、固定部材５８の上面と固定部材５７の下面との間に隙間が形成され、固定部材５９の上面と固定部材５８の下面との間に隙間が形成されている。
１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を上昇させると（具体的には、エアシリンダ９３がハンド２４を上昇させると）、固定部材５９の上面が固定部材５８の下面に接触して固定部材５８を持ち上げ、固定部材５８の上面が固定部材５７の下面に接触して固定部材５７を持ち上げ、固定部材５７の上面が固定部材５６の下面に接触して固定部材５６を持ち上げ、固定部材５６の上面が固定部材５５の下面に接触して固定部材５５を持ち上げ、固定部材５５の上面が固定部材５４の下面に接触して固定部材５４を持ち上げ、固定部材５４の上面が固定部材５３の下面に接触して固定部材５３を持ち上げ、固定部材５３の上面が固定部材５２の下面に接触して固定部材５２を持ち上げ、固定部材５２の上面が固定部材５１の下面に接触して固定部材５１を持ち上げ、固定部材５１の上面が固定部材５０の下面に接触して固定部材５０を持ち上げ、固定部材５０の上面が固定部材４９の下面に接触して固定部材４９を持ち上げて１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになる。
このように、１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を上昇させると、ハンド２４～１５の上面がハンド２３～１４の下面に順次接触しハンド２３～１４をこの順番で順次持ち上げて、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになる。すなわち、１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を上昇させると、ハンド２４の上昇に伴ってハンド１４～２３が上昇して１１枚のブレード３６の上下方向のピッチが第１ピッチになる。
一方、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を降下させると（具体的には、エアシリンダ９３がハンド２４を降下させると）、固定部材５９が支持部８７ａの上面に接触して固定部材５８を引き下げ、固定部材５８が支持部８６ａの上面に接触して固定部材５７を引き下げ、固定部材５７が支持部８５ａの上面に接触して固定部材５６を引き下げ、固定部材５６が支持部８４ａの上面に接触して固定部材５５を引き下げ、固定部材５５が支持部８３ａの上面に接触して固定部材５４を引き下げ、固定部材５４が支持部８２ａの上面に接触して固定部材５３を引き下げ、固定部材５３が支持部８１ａの上面に接触して固定部材５２を引き下げ、固定部材５２が支持部８０ａの上面に接触して固定部材５１を引き下げ、固定部材５１が支持部７９ａの上面に接触して固定部材５０を引き下げ、固定部材５０が支持部７８ａの上面に接触して固定部材４９を引き下げて１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになる。
このように、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を降下させると、ハンド２４～１５が支持部８７ａ～７８ａの上面に順次接触しハンド２３～１４をこの順番で順次引き下げて、１１枚のブレード３６のピッチが第２ピッチになる。すなわち、１１枚のブレード３６のピッチが第１ピッチになっている状態で、昇降機構９１がハンド２４を降下させると、ハンド２４の降下に伴ってハンド１４～２３が降下して１１枚のブレード３６の上下方向のピッチが第２ピッチになる。
（本形態の主な効果）
以上説明したように、本形態では、ブレード保持部材３９～４７および固定部材５１～５９に、１番下に配置されるハンド２４の下側からボルト６２の頭部６２ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ１が形成されている。また、本形態では、ブレード保持部材４０～４７および固定部材５２～５９に、ハンド２４の下側からボルト６３の頭部６３ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ２が形成され、ブレード保持部材４１～４７および固定部材５３～５９に、ハンド２４の下側からボルト６４の頭部６４ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ３が形成され、ブレード保持部材４２～４７および固定部材５４～５９に、ハンド２４の下側からボルト６５の頭部６５ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ４が形成されている。
さらに、本形態では、ブレード保持部材４３～４７および固定部材５５～５９に、ハンド２４の下側からボルト６６の頭部６６ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ５が形成され、ブレード保持部材４４～４７および固定部材５６～５９に、ハンド２４の下側からボルト６７の頭部６７ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ６が形成され、ブレード保持部材４５～４７および固定部材５７～５９に、ハンド２４の下側からボルト６８の頭部６８ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ７が形成され、ブレード保持部材４６、４７および固定部材５８、５９に、ハンド２４の下側からボルト６９の頭部６９ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ８が形成され、ブレード保持部材４７および固定部材５９に、ハンド２４の下側からボルト７０の頭部７０ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴ｈ９が形成されている。また、本形態では、貫通穴ｈ１～ｈ９の内径は、ボルト６２～７０の頭部６２ａ～７０ａの外径よりも大きくなっている。
そのため、本形態では、固定部材４９～５９が上下方向において重なっていても、また、ブレード保持部材３８～４６が固定部材５０～５８に固定されている状態においても、１番下に配置されるハンド２４の下側から、工具Ｔを用いて、ボルト６２～７０を着脱することが可能になる。また、本形態では、ボルト６１が固定部材４９に上側からねじ込まれているため、１番上に配置されるハンド１４の上側からボルト６１を着脱することが可能であるとともに、ボルト７１がブレード保持部材４７に下側からねじ込まれているため、ハンド２４の下側からボルト７１を着脱することが可能である。
したがって、本形態では、固定部材４９～５９が上下方向において重なっていても、ブレード保持部材３７～４７の中の任意のブレード保持部材３７～４７を、他のブレード保持部材３７～４７を固定部材４９～５９から取り外すことなく、ブレード３６と一緒に固定部材４９～５９に対して個別に着脱することが可能になる。また、本形態では、固定部材４９～５９が上下方向において重なっているため、搭載機構３の基端側部分（後端側部分）を小型化することが可能になる。すなわち、本形態では、ブレード保持部材３７～４７の中の任意のブレード保持部材３７～４７を、他のブレード保持部材３７～４７を固定部材４９～５９から取り外すことなく、ブレード３６と一緒に固定部材４９～５９に対して個別に着脱することが可能であっても、搭載機構３の基端側部分を小型化することが可能になる。
本形態では、ボルト６２～７０は、頭部６２ａ～７０ａが下側に配置されるボルトである上向きボルトとなっている。そのため、本形態では、工具Ｔを用いて緩めたボルト６２～７０を、１番下に配置されるハンド２４の下側まで自重で落下させることが可能になる。したがって、本形態では、固定部材４９～５９が上下方向において重なっていても、ボルト６２～７０を容易に取り外すことが可能になり、その結果、ボルト６２～７０の取外し作業を容易に行うことが可能になる。
本形態では、ボルト６２～７１は、上側に配置されるハンド１５から下側に配置されるハンド２４に向かうにしたがって左右方向の内側に向かって次第にずれている。そのため、本形態では、固定部材４９～５９が上下方向において重なっていて、ボルト６２～７０の位置を目視で確認しにくくなっていても、ボルト６２～７０が水平方向においてどの位置に配置されているのかを把握しやすくなる。
本形態では、ブレード保持部材３７に形成される配置穴３７ａや、ブレード保持部材３８～４７に形成されるネジ穴の位置および貫通穴ｈ１～ｈ９の数等の影響で、ブレード保持部材３７～４７の形状をハンド１４～２４ごとに変えなければならないが、本形態では、ブレード保持部材３７～４７と別体で形成されるブレード３６は、全てのハンド１４～２４において共通になっている。そのため、本形態では、ハンド１４～２４の部品コストを低減することが可能になる。
（他の実施の形態）
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
上述した形態において、ボルト６１の頭部６１ａがボルト６１の軸部の下側に配置されていても良い。この場合には、ボルト６１の頭部６１ａ等が配置される配置穴が固定部材４９に形成され、ボルト６１のオネジが係合するネジ穴がブレード保持部材３７に形成されている。また、この場合には、ボルト６１とボルト６２とは、左右方向および前後方向の少なくともいずれか一方において互いにずれた位置に配置されている。すなわち、ボルト６１とボルト６２とは、水平方向において互いにずれた位置に配置されている。また、この場合には、ボルト６１の下側に配置される全てのブレード保持部材３８～４７および固定部材５０～５９に、固定部材５９の下側から頭部６１ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴が形成されている。
上述した形態において、緩めたボルト６２～７０の取外しができるのであれば、ボルト６２～７０の中に、頭部６２ａ～７０ａが軸部の上側に配置される下向きボルトがあっても良い。この場合には、この下向きボルトの上側に配置される全てのブレード保持部材３７～４５および固定部材４９～５７に、ブレード保持部材３７の上側から（すなわち、１番上に配置されるハンド１４の上側から）この下向きボルトの頭部に工具Ｔを係合させるための貫通穴が形成されている。
この場合であっても、上述した形態と同様に、ブレード保持部材３７～４７の中の任意のブレード保持部材３７～４７を、他のブレード保持部材３７～４７を固定部材４９～５９から取り外すことなく、ブレード３６と一緒に固定部材４９～５９に対して個別に着脱することが可能になる。また、この場合であっても、搭載機構３の基端側部分を小型化することが可能になる。なお、ハンド１５～２３の中に下向きボルトを有するハンドがある場合、この下向きボルトを有するハンドは、第２ハンドである。
上述した形態において、ボルト７１の頭部７１ａがボルト７１の軸部の上側に配置されていても良い。この場合には、ボルト７１の上側に配置される全てのブレード保持部材３７～４６および固定部材４９～５８に、ブレード保持部材３７の上側から頭部７１ａに工具Ｔを係合させるための貫通穴が形成されている。また、上述した形態では、ボルト６２～７１は、上側に配置されるハンド１５から下側に配置されるハンド２４に向かうにしたがって左右方向の内側に向かって次第にずれているが、ボルト６２～７１は、左右方向においてランダムに配置されていても良い。
上述した形態において、ブレード保持部材３７～４７のそれぞれとブレード３６とが一体で形成されていても良い。すなわち、ウエハ２の搭載部は、一体で形成された１個の部品によって構成されていても良い。また、上述した形態において、ボルト６１～７１は、六角穴付きボルト以外のボルトであっても良い。また、上述した形態において、ブレード保持部材３７～４７は、２本または３本のボルト６１～７１によって固定部材４９～５９に固定されていても良いし、５本以上のボルト６１～７１によって固定部材４９～５９に固定されていても良い。
上述した形態において、ブレード保持部材３７～４７のそれぞれは、固定部材４９～５９のそれぞれの前端部の下側に配置されていても良い。この場合には、ブレード保持部材３７および固定部材５０～５９のそれぞれにネジ穴が形成され、ブレード保持部材３８～４７および固定部材４９に、頭部６１ａ～７１ａ等が配置される配置穴が形成されている。また、上述した形態において、搭載機構３が備えるハンドの数は、３個以上であれば１０個以下であっても良いし、１２個以上であっても良い。
上述した形態において、ロボット１は、ハンド４を備えていなくても良い。この場合には、リニア駆動機構６等が不要になる。また、上述した形態において、ロボット１は、傾き補正機構８を備えていなくても良い。さらに、上述した形態において、ロボット１は、水平多関節型のロボットであっても良い。この場合には、ロボット１は、リニア駆動機構５～７に代えて、搭載機構３が先端部に回動可能に連結される多関節アームと、ハンド４が先端部に回動可能に連結される多関節アームとを備えている。また、上述した形態において、ロボット１は、ウエハ２以外の搬送対象物を搬送しても良い。たとえば、ロボット１は、液晶ディスプレイ装置用のガラス基板を搬送しても良い。
１ ロボット（産業用ロボット）
２ ウエハ（半導体ウエハ、搬送対象物）
３ 搭載機構
１４ ハンド
１５～２３ ハンド（第１ハンド）
２４ ハンド
３６ ブレード（搭載部本体、搭載部の一部）
３７～４７ ブレード保持部材（被固定部、搭載部の一部）
４９～５９ 固定部材（固定部）
６１ ボルト（下向きボルト）
６１ａ～７１ａ 頭部
６２～７１ ボルト（上向きボルト）
ｈ１～ｈ９ 貫通穴
Ｔ 工具
Ｘ ハンドの移動方向
Ｙ 直交方向

Claims (4)

  1. 複数の搬送対象物が搭載される搭載機構を備える産業用ロボットにおいて、
    前記搭載機構は、前記搬送対象物の搭載部を有し上下方向において所定のピッチで重なる少なくとも３個以上の複数のハンドを備え、
    前記ハンドは、前記搭載部の被固定部が固定される固定部と、前記固定部に前記被固定部を固定するための頭付きのボルトとを備え、
    複数の前記ハンドの前記固定部は、上下方向において所定のピッチで重なっており、
    前記被固定部は、上下方向を軸方向として配置される前記ボルトによって、前記固定部と上下方向で重なった状態で前記固定部に固定され、
    頭部が下側に配置される前記ボルトを上向きボルトとし、頭部が上側に配置される前記ボルトを下向きボルトとし、複数の前記ハンドのうちの１番上に配置される前記ハンドと１番下に配置される前記ハンドとを除いた前記ハンドであって前記上向きボルトを有する前記ハンドを第１ハンドとし、複数の前記ハンドのうちの１番上に配置される前記ハンドと１番下に配置される前記ハンドとを除いた前記ハンドであって前記下向きボルトを有する前記ハンドを第２ハンドとすると、
    前記搭載機構が前記第１ハンドを備えている場合には、前記第１ハンドの前記上向きボルトの下側に配置される全ての前記ハンドの前記固定部および前記被固定部には、１番下に配置される前記ハンドの下側から前記第１ハンドの前記上向きボルトの前記頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成され、
    前記搭載機構が前記第２ハンドを備えている場合には、前記第２ハンドの前記下向きボルトの上側に配置される全ての前記ハンドの前記固定部および前記被固定部には、１番上に配置される前記ハンドの上側から前記第２ハンドの前記下向きボルトの前記頭部に工具を係合させるための貫通穴が形成され、
    前記貫通穴の内径は、前記頭部の外径よりも大きくなっていることを特徴とする産業用ロボット。
  2. １番上に配置される前記ハンドが有する前記ボルトは、前記下向きボルトであり、
    複数の前記ハンドのうちの１番上に配置される前記ハンドを除いた残りの前記ハンドが有する前記ボルトは、前記上向きボルトであることを特徴とする請求項１記載の産業用ロボット。
  3. 前記ハンドは、前記搬送対象物の搬送時に水平方向に直線的に移動し、
    前記ハンドの移動方向と上下方向とに直交する方向を直交方向とすると、
    前記被固定部は、前記直交方向における前記ハンドの中心に対して前記直交方向の両側に配置される前記ボルトによって前記固定部に固定され、
    複数の前記ハンドのうちの１番上に配置される前記ハンドを除いた残りの前記ハンドが有する前記ボルトは、上側に配置される前記ハンドから下側に配置される前記ハンドに向かうにしたがって前記直交方向の内側に向かって次第にずれていることを特徴とする請求項２記載の産業用ロボット。
  4. 前記搭載部は、前記搬送対象物が搭載される搭載部本体を備え、
    前記搭載部本体は、前記被固定部と別体で形成されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の産業用ロボット。
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